JPH11270611A - 免震積層ゴム - Google Patents

免震積層ゴム

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JPH11270611A
JPH11270611A JP8947398A JP8947398A JPH11270611A JP H11270611 A JPH11270611 A JP H11270611A JP 8947398 A JP8947398 A JP 8947398A JP 8947398 A JP8947398 A JP 8947398A JP H11270611 A JPH11270611 A JP H11270611A
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JP
Japan
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laminated rubber
seismic isolation
rubber
sheet body
fibers
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JP8947398A
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English (en)
Inventor
Yuji Sato
雄治 佐藤
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Fujikura Composites Inc
Original Assignee
Fujikura Rubber Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動の減衰が極めて早く、しかも鉛直方向の
微振動をも除振することができる免震積層ゴムを提供す
る。 【解決手段】 積層ゴム本体と、該積層ゴム本体の軸方
向両端部に挟持されるように固着された一対のフランジ
部とを有し、積層ゴム本体は、ゴムシート体と、繊維強
化プラスチックシート体とを交互に積層配置した構造を
備えてなるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、免震積層ゴムに関
し、特に、精密機械からなる免震対象物に直接または間
接的に敷設され、免震対象物の免震を行うために用いら
れる免震積層ゴムに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置においてメモ
リ、ICを作る場合、ウエハ基板の上に回路を写真技術
を応用した焼き付け装置を備えるステッパーが用いられ
る。実際のステッパーの使用に際しては、生産効率を上
げるためにウエハ基板や焼き付け装置を所定位置に俊敏
かつ精度よく動かして位置決めする必要がある。しかし
ながら、俊敏な移動および停止を行なおうとすればする
程、ステッパーには振動の発生という問題が必然的に生
じる。特に、ICの高い集積度が求められている今日の
仕様では、たとえ微振動であっても、これを完全に除去
しないと、回路の線が二重になったりショートしたりす
る(回路のダブリの発生)という問題が生じる。このよ
うな問題を解決するために従来よりステッパーの微振動
を除去するための種々の免震用装置の提案がなされてい
る。
【0003】免震用装置の一つにいわゆる免震積層ゴム
がある。このものは、すでに周知のごとく薄いゴムと鋼
板(中間鋼板)が交互に積層された略円柱状の積層ゴム
本体と、該積層ゴム本体の軸方向の両端部に挟持される
ように固着された一対のフランジ部とを備えた構造から
なっている。このような免震積層ゴムは、ゴムと鋼板の
積層構造ゆえに鉛直方向に高い剛性、水平方向には柔ら
かい剛性を備えることができる。そして、一般に大型の
免震積層ゴムは、建築物や機器構造物を地震等の大きな
揺れから保護する目的で使用され、この一方で、特に小
型の免震積層ゴムは、上記半導体製造装置等の精密機械
の分野で高い精度を保証するために用いられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の免震積層ゴムを
半導体製造装置等の精密機械の分野で用いた場合、特
に、水平方向の振動の減衰はできるだけ早いことが望ま
れる。また、免震積層ゴムはその構造上、どうしても鉛
直方向のバネ定数が大きく除振性能が悪いのであるが、
精密機械の分野での使用では、できるだけ鉛直方向の微
振動も除振できることが望まれる。
【0005】このような実状のもとに本発明は創案され
たものであって、その目的は、振動の減衰が極めて早
く、しかも鉛直方向の微振動をも除振することができる
免震積層ゴムを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、免震対象物に直接または間接的に
敷設され、免震対象物の免震を行う免震積層ゴムであっ
て、該免震積層ゴムは、柱状の積層ゴム本体と、該積層
ゴム本体の軸方向両端部に挟持されるように固着された
一対のフランジ部とを有し、前記積層ゴム本体は、ゴム
シート体と、繊維強化プラスチックシート体とを交互に
積層配置した構造を備えてなるように構成される。
【0007】前記繊維強化プラスチックシート体は、母
材樹脂と、母材樹脂中に含有された強化繊維材料を備え
てなるように構成される。
【0008】本発明のより好ましい態様として、前記強
化繊維材料は、短繊維からなり、母材樹脂中にランダム
配列されてなるように構成される。
【0009】本発明のより好ましい態様として、前記短
繊維は、炭素繊維、アラミド繊維、ガラス繊維、ボロン
繊維、炭化ケイ素繊維、およびアルミナ繊維から選ばれ
た1種以上であるように構成される。
【0010】本発明のより好ましい態様として、前記母
材樹脂は、減衰特性に優れる樹脂であり、ウレタン樹
脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリブチレンテ
レフタレート樹脂、ポリオレフィン系エラストマーから
選ばれた1種以上であるように構成される。
【0011】本発明のより好ましい態様として、前記柱
状の積層ゴム本体の外周にはマスキング用の外周ゴム層
が形成されて構成される。
【0012】本発明のより好ましい態様として、前記一
対のフランジ部は、母材樹脂と、母材樹脂中に含有され
た強化繊維材料を備えてなるように構成される。
【0013】また、本発明のより好ましい態様として、
前記柱状の積層ゴム本体が、略円柱状の形態をなすよう
に構成される。
【0014】このような本発明の免震積層ゴムは、その
積層ゴム本体の中に、従来の鋼板(中間鋼板)に代え
て、減衰特性に優れる樹脂を母材樹脂とする繊維強化プ
ラスチックシート体を組み込んでいるために、振動の減
衰が極めて早い。しかも鉛直方向の微振動も除振するこ
とができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。本発明の免震積層ゴムを図1〜図3
に基づいて説明する。図1は、本発明の免震積層ゴム1
の正面図であって、かつ右側半片が断面の状態を示した
図である。図2は、繊維強化プラスチックシート体とゴ
ムシート体とを順次交互に積層する状態を模式的に示し
た概略断面図である。図3(a)および(b)はそれぞ
れ、本発明の免震積層ゴムの使用状況の一例を示す正面
図および平面図である。
【0016】本発明の免震積層ゴム1は、図3(a),
(b)に示されるように免震対象物である例えば、ステ
ッパー80が載置された板状のステッパー支持台90の
下に直接または間接的に敷設され、ステッパー80(免
震対象物)により発生された振動を除去するように用い
られる。免震積層ゴム1は、通常、載置の安定性を考慮
して3つ以上用いられ、好適な位置に適宜、配置され
る。
【0017】免震積層ゴム1は、図1に示されるよう
に、略円柱状の積層ゴム本体10と、この積層ゴム本体
10の軸方向(図面の上下方向)の両端部に挟持される
ように固着された一対のフランジ部21,25とを有し
ている。
【0018】本発明における積層ゴム本体10は、例え
ば円板形状のゴムシート体11と、例えば円板形状の繊
維強化プラスチックシート体30とを含む積層体から構
成される。最適な積層態様としては、ゴムシート体11
と繊維強化プラスチックシート体30のみを交互に積層
させたものである。しかしながら、本発明の作用効果を
逸脱しない範囲において、その他の素材からなるシート
体を途中に介在させることもできる。
【0019】本発明に用いられる繊維強化プラスチック
シート体30は、母材樹脂と、母材樹脂中に含有された
強化繊維材料を有して構成される。
【0020】本発明において母材樹脂は、減衰特性に優
れる樹脂が用いられ、具体的には、ウレタン樹脂、エポ
キシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリブチレンテレフタレ
ート樹脂、ポリオレフィン系エラストマー(例えば、E
PDM、NR、シリコーン、FKM)から選ばれた1種
以上であるように構成される。
【0021】このような母材樹脂を補強ないしは改質す
るために、母材樹脂中に強化繊維材料が含有される。本
発明において、強化繊維材料は短繊維のものが用いら
れ、このものは、母材樹脂中にランダム配列されてい
る。長繊維のものは、一般に、製法上ランダム配向する
ことが困難であり、特定の方向性をなくすることが難し
い。本発明で用いられる短繊維としては、炭素繊維、ア
ラミド繊維、ガラス繊維、ボロン繊維、炭化ケイ素繊
維、およびアルミナ繊維等が挙げられる。これらの中で
も、特に、炭素繊維、アラミド繊維を用いるのが好まし
い。
【0022】母材樹脂中の強化繊維材料の含有割合は、
設計仕様によって適宜選定されるが、一般には、30〜
80体積%程度とされる。
【0023】このような繊維強化プラスチックシート体
30は、例えば、プリプレグ形成法や樹脂一般の成形方
法により成形される。繊維強化プラスチックシート体3
0の厚さは、要求される免震積層ゴムの設計仕様等に応
じて適宜選定すれば良く特に限定されるものではない
が、通常、0.5mm以上、特に0.5〜20mmの範
囲とすることが好ましい。
【0024】このようにして形成された繊維強化プラス
チックシート体30は、図2に示されるように、ゴムシ
ート体11と、順次交互に積層され、積層ゴム本体10
を形成する。ゴムシート体11は、ばね機能と減衰機能
を備える材料が好ましく、例えば、天然ゴム、エチレン
・プロピレン・ジエンゴム、ブチルゴム、ポリオレフィ
ンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴムなどが好適材料
の一例として挙げられる。ゴムシート体11の厚さは、
前記繊維強化プラスチックシート体30の厚さ選定の場
合と同様、要求される免震積層ゴムの設計仕様等に応じ
て適宜選定すれば良く特に限定されるものではないが、
通常、0.2〜20mm、特に、0.2〜10mmの範
囲とすることが好ましい。
【0025】繊維強化プラスチックシート体30とゴム
シート体11との接合方法は特に限定されるものではな
い。両者の確実な接合が保証され、実用上支障をきたさ
なければよい。例えば、繊維強化プラスチックシート
体30とゴムシート体11との間に接着層を介在させて
接合させてもよいし、繊維強化プラスチックシート体
30とゴムシート体11を直接接合させてもよい。上記
の場合、繊維強化プラスチックシート体30は、その
母材樹脂を予め半架橋までの状態で止めておき(母材樹
脂は架橋硬化タイプのものに限定される)、ゴムシート
体11は、ゴムそのものを予め半加硫までの状態で止め
ておき、これらを積層した後に、加圧したままの状態で
加熱すれば、新たな接着層を介在させることなく積層ゴ
ム本体10が形成できる。この場合、積層ゴム本体10
は極めて簡易にしかも迅速に製造することできる。これ
は従来の積層部材である中間鋼板を用いた場合には、実
現出来なかった大きなメリットである。
【0026】このようにして形成された積層ゴム本体1
0の軸方向の両端部には、図1に示されるように一対の
フランジ部21,25がそれぞれ固着される。フランジ
部21,25の取り付け手法は特に限定されるものでは
ない。例えば、フランジ部21,25を積層ゴム本体1
0と一体となるように加硫接着させてもよいし(いわゆ
るフランジ一体型であり、図1に例示されているも
の)、積層ゴム本体10にゴムと一体となるように加硫
接着された連結鋼板を埋め込み、この連結鋼板と上下の
フランジ部をボルトで連結させたものであってもよい
(いわゆるフランジ組み立て型であり、図示されていな
い)。
【0027】フランジ部21,25は、通常、強度の大
きい金属等から構成されるのが一般的である。しかしな
がら、フランジ部21,25を、上記繊維強化プラスチ
ックシート体30と同様な構成、すなわち、母材樹脂
と、母材樹脂中に含有された強化繊維材料を備えてなる
ように構成することも好ましい態様である。もちろん、
所望の強度が得られるフランジ厚さは必要である。この
ような繊維強化プラスチックからなるフランジ部を用い
ることにより、振動の減衰はさらに早くなる傾向にあ
る。
【0028】さらに本発明においては、図1に示される
ように積層ゴム本体10の外周に、マスキング用の外周
ゴム層50を被覆形成することが望ましい。この外周ゴ
ム層50は、主として、積層ゴム本体10のゴム材質か
ら外部に汚染物質がでるのを防止したり、酸素、オゾ
ン、紫外線等の外的劣化要因から内部のゴムや接着性能
が劣化するのを防止する等の目的で設けられる。外周ゴ
ム層50の材質としては、例えば、フッ素ゴムが好適例
として挙げられる。このような外周ゴム層50は、積層
ゴム本体10のゴムの加硫時に、同時に一体化させられ
たものや、積層ゴム本体10のゴムの加硫後に別途幾十
にも巻つけられたもの等、いずれであってもよい。
【0029】以上、詳述してきた本発明の免震積層ゴム
を実際に作製し(繊維強化プラスチックシート体30
は、0.5mmの厚さとし、母材樹脂としてエポキシ樹
脂、強化繊維材料としてカーボン短繊維を用いた)、振
動の減衰効果を確認してみたところ、振動の減衰時間は
金属−ゴム積層体の従来品に比べ、約1/3まで短縮さ
れることが確認できた。
【0030】
【発明の効果】本発明の免震積層ゴムは、柱状の積層ゴ
ム本体と、該積層ゴム本体の軸方向両端部に挟持される
ように固着された一対のフランジ部とを有し、積層ゴム
本体は、ゴムシート体と、繊維強化プラスチックシート
体とを交互に積層配置した構造を備えてなるように構成
されているので、振動の減衰が極めて早く、しかも鉛直
方向の微振動も除振することができるという極めて優れ
た効果が発現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の免震積層ゴムの正面図であって、かつ
右側半片が断面の状態を示した図である。
【図2】繊維強化プラスチックシート体とゴムシート体
とを順次交互に積層する状態を模式的に示した概略断面
図である。
【図3】(a)および(b)はそれぞれ、本発明の免震
積層ゴムの使用状況の一例を示す正面図および平面図で
ある。
【符号の説明】
1…免震積層ゴム 10…積層ゴム本体 11…ゴムシート体 21,25…フランジ部 30…繊維強化プラスチックシート体 50…外周ゴム層 80…ステッパー 90…ステッパー支持台

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 免震対象物に直接または間接的に敷設さ
    れ、免震対象物の免震を行う免震積層ゴムであって、 該免震積層ゴムは、柱状の積層ゴム本体と、該積層ゴム
    本体の軸方向両端部に挟持されるように固着された一対
    のフランジ部とを有し、 前記積層ゴム本体は、ゴムシート体と、繊維強化プラス
    チックシート体とを交互に積層配置した構造を備えてな
    ることを特徴とする免震積層ゴム。
  2. 【請求項2】 前記繊維強化プラスチックシート体は、
    母材樹脂と、母材樹脂中に含有された強化繊維材料を備
    えてなる請求項1に記載の免震積層ゴム。
  3. 【請求項3】 前記強化繊維材料は、短繊維からなり、
    母材樹脂中にランダム配列されてなる請求項2に記載の
    免震積層ゴム。
  4. 【請求項4】 前記短繊維は、炭素繊維、アラミド繊
    維、ガラス繊維、ボロン繊維、炭化ケイ素繊維、および
    アルミナ繊維から選ばれた1種以上である請求項3に記
    載の免震積層ゴム。
  5. 【請求項5】 前記母材樹脂は、減衰特性に優れる樹脂
    であり、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹
    脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリオレフィン
    系エラストマーから選ばれた1種以上である請求項2な
    いし請求項4のいずれかに記載の免震積層ゴム。
  6. 【請求項6】 前記柱状の積層ゴム本体の外周にはマス
    キング用の外周ゴム層が形成されている請求項1ないし
    請求項5のいずれかに記載の免震積層ゴム。
  7. 【請求項7】 前記一対のフランジ部は、母材樹脂と、
    母材樹脂中に含有された強化繊維材料を備えてなる請求
    項1ないし請求項6のいずれかに記載の免震積層ゴム。
  8. 【請求項8】 前記柱状の積層ゴム本体が、略円柱状の
    形態をなす請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の
    免震積層ゴム。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012026519A (ja) * 2010-07-23 2012-02-09 Denso Corp 防振対象部材の接続構造及び接続方法
CN114290722A (zh) * 2021-11-30 2022-04-08 陕西特种橡胶制品有限公司 一种织物强化鼓型膜式隔振器的制造方法

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