JPH1126847A - 固体レーザ装置及びその製造方法 - Google Patents

固体レーザ装置及びその製造方法

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JPH1126847A
JPH1126847A JP18127897A JP18127897A JPH1126847A JP H1126847 A JPH1126847 A JP H1126847A JP 18127897 A JP18127897 A JP 18127897A JP 18127897 A JP18127897 A JP 18127897A JP H1126847 A JPH1126847 A JP H1126847A
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laser
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Shinichi Imai
信一 今井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、固体レーザ媒質の励起効率を高くで
き、かつ励起レーザ光を照射するための光ファイバーを
容易に配置する構造にする。 【解決手段】YAGレーザロッド3の外周側に冷却媒体
を流すためのフローチューブ5の外周側に、熱収縮チュ
ーブ10を設けて硫酸バリウム粉末9を充填しての外周
面を励起レーザ光の反射面に形成し、かつ光ファイバー
12を取り付けるファイバー設置用空洞円筒型チューブ
13をフローチューブ5の外周面に接触するまで挿設す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体レーザ媒質に
励起光を照射して励起することにより大出力のレーザ光
を得るレーザ励起増幅器又はレーザ発振器の固体レーザ
装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】このようなレーザ励起増幅器又はレーザ
発振器では、固定レーザ媒質に対して励起レーザ光を照
射、例えばレーザダイオード(以下、LDと称する)か
らのダイオードレーザ光を照射して励起している。
【0003】このような固体レーザ媒質への励起レーザ
光の導入の技術としては、例えば特公昭59−1887
8号公報に記載されているようにレーザアレイからの励
起レーザ光を各光ファイバーを通して半球レンズの外周
面に配置された各ロッドレンズに伝送し、これらロッド
レンズから半球レンズを通して1点に収束し、固体レー
ザ媒質に照射する技術がある。
【0004】又、他の技術としては、Koechner 著 So
lid State Laser Engineering 第3版 p343 Fig6.59に
記載されているようにLDから出射されたダイオードレ
ーザ光を直接固体レーザ媒質に照射して励起する手法な
どがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような励起レーザ光の導入手法では、例えば光ファイバ
ーを伝送してきた励起レーザ光を固体レーザ媒質に照射
して励起しても、この固体レーザ媒質を透過する分の励
起レーザ光があり、このために全ての励起レーザ光が固
体レーザ媒質の励起に寄与するのでなく、固定レーザ媒
質を効率良く励起しているとは言えない。
【0006】又、光ファイバーから励起レーザ光を出射
して固体レーザ媒質を励起する技術では、固体レーザ媒
質に対して光ファイバーを固定設置する方法にも多くの
工夫が必要となっている。
【0007】そこで本発明は、固体レーザ媒質の励起効
率を高くでき、かつ励起レーザ光を照射するための光フ
ァイバーを容易に配置する構造にできる固体レーザ装置
及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1によれば、固体
レーザ媒質に励起光を照射することにより励起してレー
ザ光を出力する固体レーザ装置において、固体レーザ媒
質の外周側を囲んで設けられ、固体レーザ媒質との間に
冷却媒体を流すためのフローチューブと、このフローチ
ューブの外周面に一端が接触して配置され、かつ励起光
を伝送する光ファイバーが挿脱自在なファイバー取付部
材と、フローチューブの外周側を囲んで設けられ、フロ
ーチューブとの間に光反射物質を有するとともに各ファ
イバー取付部材を固定支持する固定支持部材と、を備え
た固体レーザ装置である。
【0009】請求項2によれば、請求項1記載の固体レ
ーザ装置において、光反射物質は、硫酸バリウム粉末で
ある。請求項3によれば、請求項1記載の固体レーザ装
置において、固定支持部材は、熱を加えることで収縮す
るチューブを有する。
【0010】請求項4によれば、請求項1記載の固体レ
ーザ装置において、ファイバー取付チューブは、複数本
の所定の配列パターンに従って配置されている。請求項
5によれば、固体レーザ媒質に励起光を照射することに
より励起してレーザ光を出力する固体レーザ装置の製造
方法において、固体レーザ媒質の外周側を囲んで固体レ
ーザ媒質の外周面に冷却媒体を流すフローチューブを設
ける工程と、フローチューブの外周面に一端を接触させ
て、励起光を伝送する光ファイバーを挿脱自在とするフ
ァイバー取付部材を配置する工程と、フローチューブの
外周側を囲み、かつフローチューブとの間に光反射物質
を有する熱収縮部材を設ける工程と、熱収縮部材を加熱
して収縮させ、光反射物質を前記フローチューブに密着
させるとともに複数のファイバー取付部材をフローチュ
ーブに対して固定支持させる工程と、を有する固体レー
ザ装置の製造方法である。請求項6によれば、請求項5
記載の固体レーザ装置の製造方法において、光反射物質
は、硫酸バリウム粉末である。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図1は固体レーザ装置と
してレーザ発振器に適用した構成図である。レーザ共振
器を構成する高反射ミラー1と出力ミラー2との間に
は、図2の外観図に示すような固体レーザ媒質としてY
AGレーザロッド3を有する励起モジュール4が配置さ
れている。
【0012】図3はかかる励起モジュール4の断面構成
図である。YAGレーザロッド3の外周側には、例えば
パイレックスガラスチューブから形成されるフローチュ
ーブ5が設けられ、このフローチューブ5とフローチュ
ーブ5との間には冷却水路6が形成されている。
【0013】この冷却水路6には、図1に示すように冷
却水循環用ホース7を介して冷却水循環器8が連結され
ている。この冷却水循環器8は、冷却水路6に冷却水な
どの冷却媒体を循環させる機能を有している。
【0014】フローチューブ5の外周側には、光反射物
質としての硫酸バリウム粉末9を充填するための固定支
持部材、具体的には熱収縮チューブ10が設けられてい
る。実際には、熱収縮チューブ10はフローチューブ5
との間に硫酸バリウム粉末9を充填し、この後、加熱さ
れることにより硫酸バリウム粉末9とフローチューブ5
とを密着させ、フローチューブ5の外周面側を鏡面化
し、例えばYAGレーザロッド3を透過した励起レーザ
光を反射してYAGレーザロッド3側に戻す作用を有す
るものとなる。なお、光反射物質は、フローチューブに
成膜されているものでも機能が同じならばよい。
【0015】そして、この熱収縮チューブ10の外周側
には、チューブ状の励起モジュール4の外枠11が設け
られ、フローチューブ5や熱収縮チューブ10などを支
持している。
【0016】このような励起モジュール4には、光ファ
イバー12を挿脱可能とする複数本のファイバー取付部
材としてのファイバー設置用空洞円筒型チューブ13が
所定の配列パターンに従って設けられている。例えば、
これらファイバー設置用空洞円筒型チューブ13は、例
えば外枠11の一円周上に付き5本づつ設けられ、かつ
図2に示すようにチューブ13の長手方向に所定間隔毎
に例えば角度36°づつずらして設けられている。
【0017】又、これらファイバー設置用空洞円筒型チ
ューブ13の設置は、外枠11から熱収縮チューブ10
を貫いてフローチューブ5の外周面に接触する位置まで
設けられ、かつ熱収縮チューブ10の熱収縮によりフロ
ーチューブ5に対して固定支持されている。
【0018】又、これらファイバー設置用空洞円筒型チ
ューブ13は、それぞれ挿入された光ファイバー12を
保持固定し、かつ各光ファイバー12の端面が損傷無く
フローチューブ5の外周に最近接させて固定するために
ファイバー用コネクタ14がファイバー挿入口側に設け
られている。
【0019】一方、各光ファイバー12は、図1に示す
ように励起源15に接続され、この励起源15に備えら
れた各LDから出力されたダイオードレーザ光を伝送
し、かつその端面からダイオードレーザ光を出射してY
AGレーザロッド3に照射するものとなっている。
【0020】次に、励起モジュール4の製造方法につい
て説明する。YAGレーザロッド3の外周側には、この
YAGレーザロッド3を囲んでYAGレーザロッド3の
外周面に冷却媒体を流すためのフローチューブ5が設け
られる。
【0021】次に、フローチューブ5の外周面に対して
複数本のファイバー設置用空洞円筒型チューブ13がそ
の一端をフローチューブ5の外周面に接触させて配置さ
れる。この場合、各ファイバー設置用空洞円筒型チュー
ブ13は、所定の配列パターン、例えば、図2に示すよ
うに外枠11の一円周上に付き5本づつで、かつチュー
ブ13の長手方向に沿って所定間隔毎に例えば角度36
°づつずらして設けらる。
【0022】次に、フローチューブ5の外周側に熱収縮
チューブ10がフローチューブ5を囲む如く設けられ、
かつこれらフローチューブ5と熱収縮チューブ10との
間に硫酸バリウム粉末9が充填される。
【0023】次に、熱により収縮する部材である熱収縮
チューブ10に熱が加えられることにより収縮され、こ
れにより硫酸バリウム粉末9がフローチューブ5の外周
面に密着される。これと共に熱収縮チューブ10の熱収
縮により複数のファイバー設置用の空洞円筒型チューブ
13がフローチューブ5に対して固定支持される。
【0024】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。励起源15の各LDからそれぞれダイオ
ードレーザ光が連続的に出力されると、これらダイオー
ドレーザ光は、それぞれ光ファイバー12を伝送して励
起モジュール4に入射し、各ファイバー設置用空洞円筒
型チューブ13内に挿入された各光ファイバー12の端
面から放射され、YAGレーザロッド3に連続的に照射
される。
【0025】このように各光ファイバー12の端面から
出射されたダイオードレーザ光が照射されることによ
り、YAGレーザロッド3は励起される。このとき、Y
AGレーザロッド3を透過するダイオードレーザ光があ
るが、フローチューブ5の外周面が硫酸バリウム粉末9
の密着によりダイオードレーザ光の反射面として作用
し、YAGレーザロッド3を透過したダイオードレーザ
光を反射し、再びYAGレーザロッド3に照射させてY
AGレーザロッド3の励起に寄与させる。
【0026】このようにYAGレーザロッド3が励起さ
れると、高反射ミラー1と出力ミラー2との間で光共振
が起こり、出力ミラー2から連続発振(CW)のレーザ
光Qが出力される。
【0027】ここで、例えばYAGレーザロッド3とし
て直径3mm、長さ50mmのNd:YAGレーザロッ
ドを用い、光ファイバー12の一本当たり20Wの励起
レーザ光を導入し、20本の光ファイバー12で計40
0Wの励起レーザ光でNd:YAGレーザロッドを励起
すると、165Wのレーザ光Qが得られた。そして、L
Dからの励起レーザ光、発振レーザ光変換効率として4
1%という高い励起効率が得られた。
【0028】このように上記一実施の形態においては、
フローチューブ5の外周側に熱収縮チューブ10を設け
て硫酸バリウム粉末9を充填し、フローチューブ5の外
周面をダイオードレーザ光の反射面に形成し、かつ光フ
ァイバー12を取り付けるファイバー設置用空洞円筒型
チューブ13を熱収縮チューブ10の熱収縮により固定
支持し、フローチューブ5の外周面に接触するまで挿設
した励起モジュール4を構成したので、YAGレーザロ
ッド3を透過したダイオードレーザ光を反射して再びY
AGレーザロッド3に照射させてYAGレーザロッド3
の励起に寄与でき、これによりダイオードレーザ光の殆
どをYAGレーザロッド3に照射して励起でき、このY
AGレーザロッド3の励起効率を高くできる。
【0029】又、ファイバー設置用空洞円筒型チューブ
13を固定支持することにより、各光ファイバー12の
装着、挿脱が容易にでき、かつその配置も簡単である。
従って、このような励起モジュール4を形成することに
より、実用的なレーザ励起増幅器又はレーザ発振器を得
ることができる。
【0030】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通り変形してもよい。例えば、上
記一実施の形態では、レーザ発振器に適用した場合につ
いて説明したが、これに限らず図4に示すように多段の
固体レーザ装置にも適用でき、この場合、上記一実施の
形態と同様に、高反射ミラー1、出力ミラー2、励起モ
ジュール4、冷却水循環器8及び励起源15などにより
レーザ発振器が構成されている。
【0031】又、このレーザ発振器から出力されるレー
ザ光Qの光軸上には、励起モジュール20、冷却水循環
器21及び励起源22などにより構成されるレーザ励起
増幅器が配置されている。なお、励起モジュール20、
冷却水循環器21及び励起源22は、それぞれ励起モジ
ュール4、冷却水循環器8及び励起源15と同一構成で
ある。このような構成であれば、レーザ発振器から出力
されたレーザ光Qは、励起モジュール20を透過するこ
とにより増幅されたレーザ光Q´として出力される。
【0032】
【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項1〜
5によれば、固体レーザ媒質の励起効率を高くでき、か
つ励起レーザ光を照射するための光ファイバーを容易に
配置する構造にできる固体レーザ装置を提供できる。
【0033】本発明の請求項5、6によれば、固体レー
ザ媒質の励起効率を高くでき、かつ励起レーザ光を照射
するための光ファイバーを容易に配置する構造にできる
固体レーザ装置の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる固体レーザ装置の一実施の形態
を示す構成図。
【図2】同装置における励起モジュールの外観図。
【図3】励起モジュールの断面構成図。
【図4】多段の固体レーザ装置に適用した場合の構成
図。
【符号の説明】
1…高反射ミラー、 2…出力ミラー、 3…YAGレーザロッド、 4…励起モジュール、 5…フローチューブ、 6…冷却水路、 8…冷却水循環器、 9…硫酸バリウム粉末、 10…熱収縮チューブ、 11…外枠、 12…光ファイバー、 13…ファイバー設置用空洞円筒型チューブ、 14…ファイバー用コネクタ。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体レーザ媒質に励起光を照射すること
    により励起してレーザ光を出力する固体レーザ装置にお
    いて、 前記固体レーザ媒質の外周側を囲んで設けられ、前記固
    体レーザ媒質との間に冷却媒体を流すためのフローチュ
    ーブと、 このフローチューブの外周面に一端が接触して配置さ
    れ、かつ前記励起光を伝送する光ファイバーが挿脱自在
    なファイバー取付部材と、 前記フローチューブの外周側を囲んで設けられ、前記フ
    ローチューブとの間に光反射物質を有するとともに前記
    各ファイバー取付部材を固定支持する固定支持部材と、
    を具備したことを特徴とする固体レーザ装置。
  2. 【請求項2】 前記光反射物質は、硫酸バリウム粉末で
    あることを特徴とする請求項1記載の固体レーザ装置。
  3. 【請求項3】 前記固定支持部材は、熱を加えることで
    収縮するチューブを有することを特徴とする請求項1記
    載の固体レーザ装置。
  4. 【請求項4】 前記ファイバー取付チューブは、複数本
    の所定の配列パターンに従って配置されたことを特徴と
    する請求項1記載の固体レーザ装置。
  5. 【請求項5】 固体レーザ媒質に励起光を照射すること
    により励起してレーザ光を出力する固体レーザ装置の製
    造方法において、 前記固体レーザ媒質の外周側を囲んで前記固体レーザ媒
    質の外周面に冷却媒体を流すフローチューブを設ける工
    程と、 前記フローチューブの外周面に一端を接触させて、前記
    励起光を伝送する光ファイバーを挿脱自在とするファイ
    バー取付部材を配置する工程と、 前記フローチューブの外周側を囲み、かつ前記フローチ
    ューブとの間に光反射物質を有する熱収縮部材を設ける
    工程と、 前記熱収縮部材を加熱して収縮させ、前記光反射物質を
    前記フローチューブに密着させるとともに複数の前記フ
    ァイバー取付部材を前記フローチューブに対して固定支
    持させる工程と、を有することを特徴とする固体レーザ
    装置の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記光反射物質は、硫酸バリウム粉末で
    あることを特徴とする請求項5記載の固体レーザ装置の
    製造方法。
JP18127897A 1997-07-07 1997-07-07 固体レーザ装置及びその製造方法 Pending JPH1126847A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001008275A1 (fr) * 1999-07-27 2001-02-01 Commissariat A L'energie Atomique Procede de pompage optique d'un milieu amplificateur de lumiere et module de pompage optique pour la mise en oeuvre de ce procede
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