JPH11267974A - スラリ管理システム - Google Patents
スラリ管理システムInfo
- Publication number
- JPH11267974A JPH11267974A JP10357544A JP35754498A JPH11267974A JP H11267974 A JPH11267974 A JP H11267974A JP 10357544 A JP10357544 A JP 10357544A JP 35754498 A JP35754498 A JP 35754498A JP H11267974 A JPH11267974 A JP H11267974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slurry
- decanter
- separation
- primary
- specific gravity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B13/00—Control arrangements specially designed for centrifuges; Programme control of centrifuges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B1/00—Centrifuges with rotary bowls provided with solid jackets for separating predominantly liquid mixtures with or without solid particles
- B04B1/20—Centrifuges with rotary bowls provided with solid jackets for separating predominantly liquid mixtures with or without solid particles discharging solid particles from the bowl by a conveying screw coaxial with the bowl axis and rotating relatively to the bowl
- B04B1/2016—Driving control or mechanisms; Arrangement of transmission gearing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 使用済みスラリの比重や粘度が変動しても、
デカンタの分離効率を一定に保つことができて、砥粒や
分散液を効率よく回収することができるスラリ管理シス
テムを提供する。 【解決手段】 原液を一次デカンタ３１により、使用可
能な砥粒と一次分離液とに遠心分離する。その一次分離
液を二次デカンタ３２により、微粒成分の不純物と使用
可能な分散液とに遠心分離する。分離された砥粒および
分散液を調合槽１１に回収して再使用する。原液の比重
および粘度のうちで、少なくともいずれか一方を比重計
３７または粘度計３８により検出し、その検出結果に応
じて、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転
速度を調整制御する。
デカンタの分離効率を一定に保つことができて、砥粒や
分散液を効率よく回収することができるスラリ管理シス
テムを提供する。 【解決手段】 原液を一次デカンタ３１により、使用可
能な砥粒と一次分離液とに遠心分離する。その一次分離
液を二次デカンタ３２により、微粒成分の不純物と使用
可能な分散液とに遠心分離する。分離された砥粒および
分散液を調合槽１１に回収して再使用する。原液の比重
および粘度のうちで、少なくともいずれか一方を比重計
３７または粘度計３８により検出し、その検出結果に応
じて、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転
速度を調整制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソー等に
おいて使用されるスラリを調製管理するスラリ管理シス
テムに関するものである。
おいて使用されるスラリを調製管理するスラリ管理シス
テムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラ間に１本のワイヤが所定ピッチで巻回され
ている。そして、このワイヤが走行されながら、ワイヤ
上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイ
ヤに対しワークが押し付け接触されて、そのワークがウ
ェハ状に切断加工されるようになっている。
加工用ローラ間に１本のワイヤが所定ピッチで巻回され
ている。そして、このワイヤが走行されながら、ワイヤ
上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイ
ヤに対しワークが押し付け接触されて、そのワークがウ
ェハ状に切断加工されるようになっている。
【０００３】この種のワイヤソーには、スラリを調製管
理するためのスラリ管理システムが付設される。そし
て、このスラリ管理システムにおいては、調合槽内で砥
粒および分散液が混合されてスラリが調製され、そのス
ラリがワイヤソーに供給されるようになっている。
理するためのスラリ管理システムが付設される。そし
て、このスラリ管理システムにおいては、調合槽内で砥
粒および分散液が混合されてスラリが調製され、そのス
ラリがワイヤソーに供給されるようになっている。
【０００４】また、ワイヤソーで使用されたスラリは、
スラリ管理システムのスラリ分離用デカンタにより使用
可能な砥粒と濁分散液とに遠心分離され、砥粒が回収さ
れる。さらに、分離された濁分散液は、濁分散液分離用
デカンタにより細かい微粒成分の不純物と使用可能な分
散液とに遠心分離され、その分散液が回収される。そし
て、回収された砥粒と分散液とが調合槽に戻されてスラ
リが再調製され、そのスラリがワイヤソーに供給されて
再使用されるようになっている。
スラリ管理システムのスラリ分離用デカンタにより使用
可能な砥粒と濁分散液とに遠心分離され、砥粒が回収さ
れる。さらに、分離された濁分散液は、濁分散液分離用
デカンタにより細かい微粒成分の不純物と使用可能な分
散液とに遠心分離され、その分散液が回収される。そし
て、回収された砥粒と分散液とが調合槽に戻されてスラ
リが再調製され、そのスラリがワイヤソーに供給されて
再使用されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、スラリ管理
システムにおいては、ワイヤソーの加工運転に伴い、使
用済みのスラリ中の砥粒が次第に破砕されたり、スラリ
中にワークの切り粉が混入したりして、スラリの比重や
粘度が変動すると、スラリ分離用デカンタおよび濁分散
液分離用デカンタの分離効率が変化して、砥粒が十分に
回収できなかったり、回収した分散液中に微粒成分の不
純物が残留していたりするという問題があった。
システムにおいては、ワイヤソーの加工運転に伴い、使
用済みのスラリ中の砥粒が次第に破砕されたり、スラリ
中にワークの切り粉が混入したりして、スラリの比重や
粘度が変動すると、スラリ分離用デカンタおよび濁分散
液分離用デカンタの分離効率が変化して、砥粒が十分に
回収できなかったり、回収した分散液中に微粒成分の不
純物が残留していたりするという問題があった。
【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、使用済みのスラリの比重や粘度が変動し
ても、スラリ分離用デカンタおよび濁分散液分離用デカ
ンタの分離効率を一定に保つことができて、使用可能な
砥粒および分散液を効率よく回収することができるスラ
リ管理システムを提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、使用済みのスラリの比重や粘度が変動し
ても、スラリ分離用デカンタおよび濁分散液分離用デカ
ンタの分離効率を一定に保つことができて、使用可能な
砥粒および分散液を効率よく回収することができるスラ
リ管理システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、スラリ管理システム
が、使用済みスラリをデカンタにより遠心分離して使用
可能な砥粒または使用可能な砥粒および分散液を回収す
る。そして、このスラリ管理システムは、使用済みスラ
リの性状を検出するスラリ性状検出手段と、その検出結
果に基づいてデカンタの回転速度を制御する制御手段と
を備えている。
めに、請求項１に記載の発明では、スラリ管理システム
が、使用済みスラリをデカンタにより遠心分離して使用
可能な砥粒または使用可能な砥粒および分散液を回収す
る。そして、このスラリ管理システムは、使用済みスラ
リの性状を検出するスラリ性状検出手段と、その検出結
果に基づいてデカンタの回転速度を制御する制御手段と
を備えている。
【０００８】従って、使用済みスラリの性状に基づいて
デカンタの回転数の補正制御が行われるため、使用済み
スラリの性状が変動しても、すなわち使用済みスラリ中
の砥粒や、切り粉等の微粒成分よりなる不純物の混入率
が変動して、その使用済みスラリの比重や粘度が変動し
ても、デカンタにおいて精度の高い分離を行うことがで
きる。このため、使用済みスラリから砥粒を十分に砥粒
や分散液を充分に回収できるとともに、回収した分散液
中に不純物が残留するのを最小限に抑制することができ
る。
デカンタの回転数の補正制御が行われるため、使用済み
スラリの性状が変動しても、すなわち使用済みスラリ中
の砥粒や、切り粉等の微粒成分よりなる不純物の混入率
が変動して、その使用済みスラリの比重や粘度が変動し
ても、デカンタにおいて精度の高い分離を行うことがで
きる。このため、使用済みスラリから砥粒を十分に砥粒
や分散液を充分に回収できるとともに、回収した分散液
中に不純物が残留するのを最小限に抑制することができ
る。
【０００９】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分
離前の性状を検出し、その検出結果に応じて、前記制御
手段はデカンタの回転数を制御するものである。
いて、前記スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分
離前の性状を検出し、その検出結果に応じて、前記制御
手段はデカンタの回転数を制御するものである。
【００１０】従って、砥粒や切り粉等により性状変化が
直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出す
るため、スラリ性状に従った検出を行うことができ、デ
カンタの回転数制御をスラリ性状に対応して的確に行う
ことができる。
直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出す
るため、スラリ性状に従った検出を行うことができ、デ
カンタの回転数制御をスラリ性状に対応して的確に行う
ことができる。
【００１１】請求項３に記載の発明では、請求項１にお
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリのデカン
タによる分離後の性状を検出し、前記制御手段は、その
スラリ性状検出手段の検出結果が所定の値になるように
デカンタの回転数を制御する。
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリのデカン
タによる分離後の性状を検出し、前記制御手段は、その
スラリ性状検出手段の検出結果が所定の値になるように
デカンタの回転数を制御する。
【００１２】従って、実際に分離が行われた結果に基づ
いて、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御
を的確に行うことができる。請求項４に記載の発明で
は、請求項１〜３のいずれかにおいて、スラリ性状検出
手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検出す
る。
いて、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御
を的確に行うことができる。請求項４に記載の発明で
は、請求項１〜３のいずれかにおいて、スラリ性状検出
手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検出す
る。
【００１３】スラリの比重，粘度は、スラリ性状を表
す。従って、それらを検出することによりスラリ性状を
的確に把握して、デカンタの回転数制御を正確に行うこ
とができる。
す。従って、それらを検出することによりスラリ性状を
的確に把握して、デカンタの回転数制御を正確に行うこ
とができる。
【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項１にお
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分離前
の比重および流量を検出するとともに、使用済みスラリ
のデカンタによる分離後の比重および流量を検出し、前
記制御手段は両検出結果からデカンタによる砥粒回収率
を演算し、この演算結果が所定の値になるようにデカン
タの回転数を制御する。
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分離前
の比重および流量を検出するとともに、使用済みスラリ
のデカンタによる分離後の比重および流量を検出し、前
記制御手段は両検出結果からデカンタによる砥粒回収率
を演算し、この演算結果が所定の値になるようにデカン
タの回転数を制御する。
【００１５】従って、デカンタの回転により実際に回収
された砥粒の率が演算され、それに基づいてデカンタの
回転数制御が行われる。このため、実際の砥粒回収状況
に応じて、前記の制御が行われるため、高精度制御が可
能になる。
された砥粒の率が演算され、それに基づいてデカンタの
回転数制御が行われる。このため、実際の砥粒回収状況
に応じて、前記の制御が行われるため、高精度制御が可
能になる。
【００１６】請求項６に記載の発明では、請求項５にお
いて、砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記制御手段は
演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデカンタの回
転数を調節する。
いて、砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記制御手段は
演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデカンタの回
転数を調節する。
【００１７】従って、砥粒回収率が適正範囲から外れた
場合には、それが修正されるようにデカンタの回転数が
調節されるため、常に砥粒回収率が適正範囲に維持され
る。請求項７に記載の発明では、スラリ管理システム
が、使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分散液とに遠
心分離する一次デカンタと、その濁分散液を微粒成分の
不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する二次デカン
タとを備え、両デカンタによって使用済みスラリから使
用可能な砥粒および分散液を分離回収する。そして、ス
ラリ管理システムは、使用済みスラリの性状を検出する
スラリ性状検出手段と、その検出結果に基づいて、両デ
カンタのうち少なくとも一次デカンタの回転速度を制御
する制御手段とを備えている。
場合には、それが修正されるようにデカンタの回転数が
調節されるため、常に砥粒回収率が適正範囲に維持され
る。請求項７に記載の発明では、スラリ管理システム
が、使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分散液とに遠
心分離する一次デカンタと、その濁分散液を微粒成分の
不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する二次デカン
タとを備え、両デカンタによって使用済みスラリから使
用可能な砥粒および分散液を分離回収する。そして、ス
ラリ管理システムは、使用済みスラリの性状を検出する
スラリ性状検出手段と、その検出結果に基づいて、両デ
カンタのうち少なくとも一次デカンタの回転速度を制御
する制御手段とを備えている。
【００１８】従って、使用済みスラリの性状が変動して
も、少なくとも一次デカンタにおいて精度の高い分離を
行うことができる。このため、使用済みスラリから砥粒
を十分に砥粒や分散液を充分に回収できるとともに、回
収した分散液中に不純物が残留するのを最小限に抑制す
ることができる。
も、少なくとも一次デカンタにおいて精度の高い分離を
行うことができる。このため、使用済みスラリから砥粒
を十分に砥粒や分散液を充分に回収できるとともに、回
収した分散液中に不純物が残留するのを最小限に抑制す
ることができる。
【００１９】請求項８に記載の発明では、請求項７にお
いて、前記スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分
離前の性状を検出し、その検出結果に応じて前記制御手
段はデカンタの回転数を制御する。
いて、前記スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分
離前の性状を検出し、その検出結果に応じて前記制御手
段はデカンタの回転数を制御する。
【００２０】従って、砥粒や切り粉等により性状変化が
直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出す
るため、スラリ性状に従った検出を行うことができ、少
なくとも第１デカンタの回転数制御をスラリ性状に対応
して的確に行うことができる。
直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出す
るため、スラリ性状に従った検出を行うことができ、少
なくとも第１デカンタの回転数制御をスラリ性状に対応
して的確に行うことができる。
【００２１】請求項９に記載の発明では、請求項７にお
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの一次デ
カンタによる分離後の濁分散液の性状を検出し、前記制
御手段は、そのスラリ性状検出手段の検出結果が所定の
値になるようにデカンタの回転数を制御する。
いて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの一次デ
カンタによる分離後の濁分散液の性状を検出し、前記制
御手段は、そのスラリ性状検出手段の検出結果が所定の
値になるようにデカンタの回転数を制御する。
【００２２】従って、実際に分離が行われた結果に基づ
いて、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御
を的確に行うことができる。請求項１０に記載の発明で
は、請求項７において、スラリ性状検出手段は、使用済
みスラリの二次デカンタによる分離後の分散液の性状を
検出し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段の検
出結果が所定の値になるように少なくとも一次デカンタ
の回転数を制御する。
いて、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御
を的確に行うことができる。請求項１０に記載の発明で
は、請求項７において、スラリ性状検出手段は、使用済
みスラリの二次デカンタによる分離後の分散液の性状を
検出し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段の検
出結果が所定の値になるように少なくとも一次デカンタ
の回転数を制御する。
【００２３】従って、実際に分離が行われた最終結果に
基づいて、一次デカンタの回転数制御が行われるため、
その制御をより的確に行うことができる。請求項１１に
記載の発明では、請求項７〜１０のいずれかにおいて、
スラリ性状検出手段は、比重および粘度のうち少なくと
も一方を検出する。
基づいて、一次デカンタの回転数制御が行われるため、
その制御をより的確に行うことができる。請求項１１に
記載の発明では、請求項７〜１０のいずれかにおいて、
スラリ性状検出手段は、比重および粘度のうち少なくと
も一方を検出する。
【００２４】従って、前述したように、スラリの比重，
粘度は、スラリ性状を表す。従って、それらを検出する
ことによりスラリ性状を的確に把握して、デカンタの回
転数制御を正確に行うことができる。
粘度は、スラリ性状を表す。従って、それらを検出する
ことによりスラリ性状を的確に把握して、デカンタの回
転数制御を正確に行うことができる。
【００２５】請求項１２に記載の発明では、請求項７に
おいて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分離
前の比重および流量を検出するとともに、使用済みスラ
リの一次デカンタまたは一次および二次デカンタによる
分離後の比重および流量を検出する。また、前記制御手
段はそれらの検出結果から一次デカンタまたは一次およ
び二次デカンタによる砥粒回収率を演算し、この演算結
果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御す
る。
おいて、スラリ性状検出手段は、使用済みスラリの分離
前の比重および流量を検出するとともに、使用済みスラ
リの一次デカンタまたは一次および二次デカンタによる
分離後の比重および流量を検出する。また、前記制御手
段はそれらの検出結果から一次デカンタまたは一次およ
び二次デカンタによる砥粒回収率を演算し、この演算結
果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御す
る。
【００２６】従って、一次デカンタまたは一次および二
次デカンタの回転により実際に回収された砥粒の率が演
算され、それに基づいて一次デカンタまたは一次および
二次デカンタの回転数制御が行われる。このため、実際
の砥粒回収状況に応じて、前記の制御が行われるため、
高精度制御が可能になる。
次デカンタの回転により実際に回収された砥粒の率が演
算され、それに基づいて一次デカンタまたは一次および
二次デカンタの回転数制御が行われる。このため、実際
の砥粒回収状況に応じて、前記の制御が行われるため、
高精度制御が可能になる。
【００２７】請求項１３に記載の発明では、請求項１２
において、砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記制御手
段は演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデカンタ
の回転数を調節する。
において、砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記制御手
段は演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデカンタ
の回転数を調節する。
【００２８】従って、前述と同様に、砥粒回収率が適正
範囲から外れた場合には、それが修正されるようにデカ
ンタの回転数が調節されるため、常に砥粒回収率が適正
範囲に維持される。
範囲から外れた場合には、それが修正されるようにデカ
ンタの回転数が調節されるため、常に砥粒回収率が適正
範囲に維持される。
【００２９】請求項１４に記載の発明では、請求項１２
において、スラリ性状検出手段には使用済みスラリの流
路と一次デカンタ分離後の濁分散液の流路と二次デカン
タ分離後の使用可能な分散液の流路とが切り換え可能に
接続されている。
において、スラリ性状検出手段には使用済みスラリの流
路と一次デカンタ分離後の濁分散液の流路と二次デカン
タ分離後の使用可能な分散液の流路とが切り換え可能に
接続されている。
【００３０】従って、単一のスラリ性状検出手段によ
り、使用済みスラリ、濁分散液及び分離液の性状を検出
することができるため、個別にスラリ性状検出手段を設
ける必要がなく、構成を簡単にできる。
り、使用済みスラリ、濁分散液及び分離液の性状を検出
することができるため、個別にスラリ性状検出手段を設
ける必要がなく、構成を簡単にできる。
【００３１】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図５に基づいて説明す
る。
発明の第１の実施形態を、図１〜図５に基づいて説明す
る。
【００３２】図１に示すように、調合槽１１の内部には
撹拌機１２が回転可能に配設されている。調合槽１１の
上方には、砥粒を収容したホッパ１３と、油性の分散液
を貯溜した分散液槽１４とが配設されている。そして、
ホッパ１３から振動フィーダ１５を介して供給される砥
粒と、分散液槽１４からポンプ１７およびバルブ１８を
介して供給される分散液とが、調合槽１１内で撹拌混合
されて、所定調合比率のスラリが調製される。
撹拌機１２が回転可能に配設されている。調合槽１１の
上方には、砥粒を収容したホッパ１３と、油性の分散液
を貯溜した分散液槽１４とが配設されている。そして、
ホッパ１３から振動フィーダ１５を介して供給される砥
粒と、分散液槽１４からポンプ１７およびバルブ１８を
介して供給される分散液とが、調合槽１１内で撹拌混合
されて、所定調合比率のスラリが調製される。
【００３３】この場合、砥粒と分散液との調合比率は、
重量比で１対０．７０〜１対０．９８程度である。ま
た、砥粒としては、窒化珪素，炭化珪素等の６００番，
８００番または１０００番が使用され、分散液として
は、シリコンオイル（例えば、パレス化学株式会社製：
製品番号ＰＳ‐ＬＷ‐１）等が使用される。
重量比で１対０．７０〜１対０．９８程度である。ま
た、砥粒としては、窒化珪素，炭化珪素等の６００番，
８００番または１０００番が使用され、分散液として
は、シリコンオイル（例えば、パレス化学株式会社製：
製品番号ＰＳ‐ＬＷ‐１）等が使用される。
【００３４】前記調合槽１１の下流側には複数のワイヤ
ソー１９が装設されている。各ワイヤソー１９にはスラ
リタンク２０が備え付けられ、それらの内部には撹拌機
２１が回転可能に配設されている。そして、調合槽１１
からバルブ２２、ポンプ２３およびバルブ２４を介し
て、各スラリタンク２０内に新規のスラリが供給され
て、常に所定量のスラリが貯溜されている。
ソー１９が装設されている。各ワイヤソー１９にはスラ
リタンク２０が備え付けられ、それらの内部には撹拌機
２１が回転可能に配設されている。そして、調合槽１１
からバルブ２２、ポンプ２３およびバルブ２４を介し
て、各スラリタンク２０内に新規のスラリが供給され
て、常に所定量のスラリが貯溜されている。
【００３５】さらに、図示しないが、前記各ワイヤソー
１９においては、加工用ローラ間に１本のワイヤが所定
ピッチで巻回され、そのワイヤが走行されながら、ワイ
ヤ上にスラリタンク２０からスラリが供給される。この
状態で、ワイヤにワークが押し付け接触されて、ワーク
がラッピング作用によりウェハ状に切断加工される。ま
た、この切断加工中には、ワイヤ上から使用済みのスラ
リがスラリタンク２０内に回収されるとともに、そのス
ラリが再び走行中のワイヤ上に供給されて、スラリの繰
り返し使用が図られる。
１９においては、加工用ローラ間に１本のワイヤが所定
ピッチで巻回され、そのワイヤが走行されながら、ワイ
ヤ上にスラリタンク２０からスラリが供給される。この
状態で、ワイヤにワークが押し付け接触されて、ワーク
がラッピング作用によりウェハ状に切断加工される。ま
た、この切断加工中には、ワイヤ上から使用済みのスラ
リがスラリタンク２０内に回収されるとともに、そのス
ラリが再び走行中のワイヤ上に供給されて、スラリの繰
り返し使用が図られる。
【００３６】前記各スラリタンク２０の下流側には廃ス
ラリ貯槽２５が装設され、その内部には撹拌機２６が回
転可能に配設されている。そして、各スラリタンク２０
内のスラリの全部または一部が、バルブ２７を介して定
期的に廃スラリ貯槽２５へ排出されるとともに、その排
出量に応じて調合槽１１からスラリタンク２０内に、新
規なスラリが補給される。
ラリ貯槽２５が装設され、その内部には撹拌機２６が回
転可能に配設されている。そして、各スラリタンク２０
内のスラリの全部または一部が、バルブ２７を介して定
期的に廃スラリ貯槽２５へ排出されるとともに、その排
出量に応じて調合槽１１からスラリタンク２０内に、新
規なスラリが補給される。
【００３７】前記廃スラリ貯槽２５の下流側には分離回
収機構２８が配設され、廃スラリ貯槽２５内の使用済み
スラリ（以下、原液という）が、バルブ２９およびポン
プ３０を介して分離回収機構２８に移送される。この分
離回収機構２８には、第１分離回収段階としての一次デ
カンタ３１と、第２分離回収段階としての二次デカンタ
３２とが装備され、原液中から不要な成分が除去され
て、再利用可能な砥粒および分散液が分離回収される。
収機構２８が配設され、廃スラリ貯槽２５内の使用済み
スラリ（以下、原液という）が、バルブ２９およびポン
プ３０を介して分離回収機構２８に移送される。この分
離回収機構２８には、第１分離回収段階としての一次デ
カンタ３１と、第２分離回収段階としての二次デカンタ
３２とが装備され、原液中から不要な成分が除去され
て、再利用可能な砥粒および分散液が分離回収される。
【００３８】すなわち、前記一次デカンタ３１および二
次デカンタ３２としては、例えば、図２に示すスクリュ
ーコンベア型の遠心分離機が使用され、二次デカンタ３
２の回転速度が一次デカンタ３１の回転速度よりも大き
くなるように設定される。
次デカンタ３２としては、例えば、図２に示すスクリュ
ーコンベア型の遠心分離機が使用され、二次デカンタ３
２の回転速度が一次デカンタ３１の回転速度よりも大き
くなるように設定される。
【００３９】そして、以上のように、一次デカンタ３１
により、原液が、例えば粒径５ミクロンメートル以上の
使用可能な砥粒と、その砥粒よりも細かい微粒成分を不
純物として含む濁分散液（以下、一次分離液という。）
とに遠心分離され、使用可能な砥粒が回収される。ま
た、二次デカンタ３２により、使用可能な砥粒よりも細
かい微粒成分の不純物と、清澄で使用可能な分散液とに
遠心分離されて、この清澄で使用可能な分散液（以下、
二次分離液という）が回収される。
により、原液が、例えば粒径５ミクロンメートル以上の
使用可能な砥粒と、その砥粒よりも細かい微粒成分を不
純物として含む濁分散液（以下、一次分離液という。）
とに遠心分離され、使用可能な砥粒が回収される。ま
た、二次デカンタ３２により、使用可能な砥粒よりも細
かい微粒成分の不純物と、清澄で使用可能な分散液とに
遠心分離されて、この清澄で使用可能な分散液（以下、
二次分離液という）が回収される。
【００４０】さらに、前記一次デカンタ３１によって回
収された使用可能な砥粒と、二次デカンタ３２によって
回収された使用可能な二次分離液とは、バルブ３３，３
４を介して調合槽１１に戻される。調合槽１１には重量
測定器（図示しない）が設けられ、この測定結果より、
調合槽１１に戻される砥粒と二次分離液との混合液の回
収量が検出される。そして、この検出結果に応じて、調
合槽１１内にホッパ１３および分散液槽１４から新しい
砥粒および分散液が補給され、戻された砥粒および二次
分離液と混合してスラリが調製される。
収された使用可能な砥粒と、二次デカンタ３２によって
回収された使用可能な二次分離液とは、バルブ３３，３
４を介して調合槽１１に戻される。調合槽１１には重量
測定器（図示しない）が設けられ、この測定結果より、
調合槽１１に戻される砥粒と二次分離液との混合液の回
収量が検出される。そして、この検出結果に応じて、調
合槽１１内にホッパ１３および分散液槽１４から新しい
砥粒および分散液が補給され、戻された砥粒および二次
分離液と混合してスラリが調製される。
【００４１】前記分離回収機構２８の上流側には、スラ
リ性状検出手段を構成する第１比重計３７および第１粘
度計３８が配設されている。そして、廃スラリ貯槽２５
から分離回収機構２８に原液が移送される際に、その原
液の比重および流量が第１比重計３７により検出される
とともに、原液の粘度が第１粘度計３８により検出され
る。
リ性状検出手段を構成する第１比重計３７および第１粘
度計３８が配設されている。そして、廃スラリ貯槽２５
から分離回収機構２８に原液が移送される際に、その原
液の比重および流量が第１比重計３７により検出される
とともに、原液の粘度が第１粘度計３８により検出され
る。
【００４２】一次デカンタ３１における出口側には、第
１の分離性状検出手段を構成する第２比重計３９および
第２粘度計４０が配設されている。そして、一次デカン
タ３１にて分離された一次分離液が二次デカンタ３２に
移送される際に、その一次分離液の比重および流量が第
２比重計３９により検出されるとともに、一次分離液の
粘度が第２粘度計４０により検出される。
１の分離性状検出手段を構成する第２比重計３９および
第２粘度計４０が配設されている。そして、一次デカン
タ３１にて分離された一次分離液が二次デカンタ３２に
移送される際に、その一次分離液の比重および流量が第
２比重計３９により検出されるとともに、一次分離液の
粘度が第２粘度計４０により検出される。
【００４３】前記二次デカンタ３２の出口側には、第２
の分離液性状検出手段を構成する第３比重計４１および
第３粘度計４２が配設されている。そして、二次デカン
タ３２にて分離された二次分離液が調合槽１１に戻され
る際に、その二次分離液の比重および流量が第３比重計
４１により検出されるとともに、二次分離液の粘度が第
３粘度計４２により検出される。
の分離液性状検出手段を構成する第３比重計４１および
第３粘度計４２が配設されている。そして、二次デカン
タ３２にて分離された二次分離液が調合槽１１に戻され
る際に、その二次分離液の比重および流量が第３比重計
４１により検出されるとともに、二次分離液の粘度が第
３粘度計４２により検出される。
【００４４】ここで、前記両デカンタ３１，３２は、図
２に示すように、外部排出孔８１を備えたケース８２
と、そのケース８２内において図２に示すモータ５１，
５２により高速回転され、図示しない多数の排液孔およ
び内部排出孔８３を有する分離筒８４と、その分離筒８
４内に設けられ、モータ８５により回転されるスクリュ
フィーダ８６とを備えている。また、一次デカンタ３１
の分離筒８４には配管８７を介して第１粘度計３８，第
１比重計３７を通過した原液が供給される。二次デカン
タ３２の分離筒８４には配管８８を介して第２粘度計４
０，第２比重計３９を通過した一次分離液が供給され
る。
２に示すように、外部排出孔８１を備えたケース８２
と、そのケース８２内において図２に示すモータ５１，
５２により高速回転され、図示しない多数の排液孔およ
び内部排出孔８３を有する分離筒８４と、その分離筒８
４内に設けられ、モータ８５により回転されるスクリュ
フィーダ８６とを備えている。また、一次デカンタ３１
の分離筒８４には配管８７を介して第１粘度計３８，第
１比重計３７を通過した原液が供給される。二次デカン
タ３２の分離筒８４には配管８８を介して第２粘度計４
０，第２比重計３９を通過した一次分離液が供給され
る。
【００４５】そして、分離筒８４が高速回転されると、
原液または一次分離液が遠心分離される。一次デカンタ
３１においては、遠心力により分離された一次分離液が
前記排液孔を介してケース８２に受けられて、配管８９
から前記第２粘度計４０，第２比重計３９に送られる。
この一次分離液に対し分離された使用可能な砥粒はスク
リューコンベア８６により分離筒８４の端部に送られ
て、その内部排出孔８３および外部排出孔８１から配管
９０を介して前記調合槽１１に送られる。二次デカンタ
３２においては、遠心力により分離された二次分離液が
前記排液孔を介してケース８２に受けられて、配管８９
から第３粘度計４２，第３比重計４１に送られ、最終的
に前記調合槽１１に送られる。この二次分離液に対し分
離された微粒成分を含む不純物はスクリューコンベア８
６により分離筒８４の端部に送られて、その内部排出孔
８３および外部排出孔８１から配管９０を介してこのシ
ステムの外部に廃棄のために送られる。
原液または一次分離液が遠心分離される。一次デカンタ
３１においては、遠心力により分離された一次分離液が
前記排液孔を介してケース８２に受けられて、配管８９
から前記第２粘度計４０，第２比重計３９に送られる。
この一次分離液に対し分離された使用可能な砥粒はスク
リューコンベア８６により分離筒８４の端部に送られ
て、その内部排出孔８３および外部排出孔８１から配管
９０を介して前記調合槽１１に送られる。二次デカンタ
３２においては、遠心力により分離された二次分離液が
前記排液孔を介してケース８２に受けられて、配管８９
から第３粘度計４２，第３比重計４１に送られ、最終的
に前記調合槽１１に送られる。この二次分離液に対し分
離された微粒成分を含む不純物はスクリューコンベア８
６により分離筒８４の端部に送られて、その内部排出孔
８３および外部排出孔８１から配管９０を介してこのシ
ステムの外部に廃棄のために送られる。
【００４６】原液および一次分離液の遠心分離に際し
て、一次デカンタ３１の回転速度は、その遠心効果が１
５０〜７００Ｇの範囲、理想的には３００〜５００Ｇの
範囲，二次デカンタ３２の回転速度は、その遠心効果が
２０００〜５０００Ｇの範囲、理想的には３０００〜４
０００Ｇの範囲である。
て、一次デカンタ３１の回転速度は、その遠心効果が１
５０〜７００Ｇの範囲、理想的には３００〜５００Ｇの
範囲，二次デカンタ３２の回転速度は、その遠心効果が
２０００〜５０００Ｇの範囲、理想的には３０００〜４
０００Ｇの範囲である。
【００４７】前記各比重計３７，３９，４１および各粘
度計３８，４０，４２は周知のものが使用され、各比重
計３７，３９，４１としては、例えば比重と流量とを同
時に検出できるマイクロモーション流量計（株式会社オ
ーバル製）が使用される。また、各粘度計３８，４０，
４２としては、例えば圧力・差圧伝送器３０５１Ｃ（フ
ィッシャー・ローズマウント・ジャパン株式会社製）が
使用され、この粘度計３８，４０，４２により原液，一
次分離液および二次分離液の粘度を正確に測定できる。
度計３８，４０，４２は周知のものが使用され、各比重
計３７，３９，４１としては、例えば比重と流量とを同
時に検出できるマイクロモーション流量計（株式会社オ
ーバル製）が使用される。また、各粘度計３８，４０，
４２としては、例えば圧力・差圧伝送器３０５１Ｃ（フ
ィッシャー・ローズマウント・ジャパン株式会社製）が
使用され、この粘度計３８，４０，４２により原液，一
次分離液および二次分離液の粘度を正確に測定できる。
【００４８】次に、前記のように構成されたスラリ管理
システムの電気的な回路構成について説明する。図３に
示すように、中央処理装置（ＣＰＵ）４５は、スラリ管
理システムの各部の動作を制御する。リードオンリメモ
リ（ＲＯＭ）４６は、スラリ管理システムの動作に必要
な各種の制御プログラムを記憶している。ランダムアク
セスメモリ（ＲＡＭ）４７は、制御プログラムの実行に
伴って得られたデータ等を一時的に記憶する。そして、
このＣＰＵ４５、ＲＯＭ４６およびＲＡＭ４７により、
制御手段が構成されている。
システムの電気的な回路構成について説明する。図３に
示すように、中央処理装置（ＣＰＵ）４５は、スラリ管
理システムの各部の動作を制御する。リードオンリメモ
リ（ＲＯＭ）４６は、スラリ管理システムの動作に必要
な各種の制御プログラムを記憶している。ランダムアク
セスメモリ（ＲＡＭ）４７は、制御プログラムの実行に
伴って得られたデータ等を一時的に記憶する。そして、
このＣＰＵ４５、ＲＯＭ４６およびＲＡＭ４７により、
制御手段が構成されている。
【００４９】前記ＣＰＵ４５には、第１〜第３比重計３
７，３９，４１および第１〜第３粘度計３８，４０，４
２からの検出信号、並びに操作パネル４８からの操作信
号が入力される。また、ＣＰＵ４５からは、駆動回路４
９，５０を介して、一次デカンタ用モータ５１および二
次デカンタ用モータ５２に作動信号が出力される。
７，３９，４１および第１〜第３粘度計３８，４０，４
２からの検出信号、並びに操作パネル４８からの操作信
号が入力される。また、ＣＰＵ４５からは、駆動回路４
９，５０を介して、一次デカンタ用モータ５１および二
次デカンタ用モータ５２に作動信号が出力される。
【００５０】そして、原液の比重または粘度に対して高
い分離効率を得るために、ＲＡＭ４７は、原液の比重、
粘度と、それに対応した各デカンタ３１，３２の適正回
転速度との相関関係（ここでは粘度について図４のグラ
フに示す。）のデータを予め設定記憶している。これに
基づいて、ＣＰＵ４５は、両デカンタ３１，３２の各モ
ータ５１、５２を制御する。例えば、図４に示すよう
に、例えば原液の粘度が１００ｃｐ（センチポイズ）の
場合は、一次，二次デカンタ３１，３２のそれぞれ遠心
効果が２００Ｇ、３０００Ｇとなるように両デカンタモ
ータ５１，５２の回転数が制御される。そして、原液の
粘度が高くなるにつれて両モータ５１，５２の回転数が
高くなり、原液の粘度が３００ｃｐの場合は、一次，二
次デカンタ３１，３２のそれぞれ遠心効果が５００Ｇ、
４０００Ｇとなるように両モータ５１，５２の回転数が
制御される。
い分離効率を得るために、ＲＡＭ４７は、原液の比重、
粘度と、それに対応した各デカンタ３１，３２の適正回
転速度との相関関係（ここでは粘度について図４のグラ
フに示す。）のデータを予め設定記憶している。これに
基づいて、ＣＰＵ４５は、両デカンタ３１，３２の各モ
ータ５１、５２を制御する。例えば、図４に示すよう
に、例えば原液の粘度が１００ｃｐ（センチポイズ）の
場合は、一次，二次デカンタ３１，３２のそれぞれ遠心
効果が２００Ｇ、３０００Ｇとなるように両デカンタモ
ータ５１，５２の回転数が制御される。そして、原液の
粘度が高くなるにつれて両モータ５１，５２の回転数が
高くなり、原液の粘度が３００ｃｐの場合は、一次，二
次デカンタ３１，３２のそれぞれ遠心効果が５００Ｇ、
４０００Ｇとなるように両モータ５１，５２の回転数が
制御される。
【００５１】次に、この実施形態のスラリ管理システム
について動作を説明する。さて、各ワイヤソー１９にお
いて、ワークの切断加工が開始されると、調合槽１１で
調合されたスラリが、スラリタンク２０を介して各ワイ
ヤソー１９のワイヤ上に供給される。また、各ワイヤソ
ー１９で使用されたスラリ、すなわちここでいう原液
は、廃スラリ貯槽２５を介して分離回収機構２８に導か
れ、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２により、
そのスラリ中から使用可能な砥粒および分散液、すなわ
ちここでいう二次分離液が分離回収されて、調合槽１１
内に戻される。
について動作を説明する。さて、各ワイヤソー１９にお
いて、ワークの切断加工が開始されると、調合槽１１で
調合されたスラリが、スラリタンク２０を介して各ワイ
ヤソー１９のワイヤ上に供給される。また、各ワイヤソ
ー１９で使用されたスラリ、すなわちここでいう原液
は、廃スラリ貯槽２５を介して分離回収機構２８に導か
れ、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２により、
そのスラリ中から使用可能な砥粒および分散液、すなわ
ちここでいう二次分離液が分離回収されて、調合槽１１
内に戻される。
【００５２】このスラリの分離時には、図５のフローチ
ャートに示すように、スラリの分離開始が確認されると
（Ｓ１）、廃スラリ貯槽２５から分離回収機構２８に移
送される原液の比重および流量と粘度とが、第１比重計
３７および第１粘度計３８により検出されて、それらの
検出信号がＣＰＵ４５に入力される（Ｓ２）。
ャートに示すように、スラリの分離開始が確認されると
（Ｓ１）、廃スラリ貯槽２５から分離回収機構２８に移
送される原液の比重および流量と粘度とが、第１比重計
３７および第１粘度計３８により検出されて、それらの
検出信号がＣＰＵ４５に入力される（Ｓ２）。
【００５３】次いで、図４に示すように、原液の粘度の
データに基づいて第１，第２デカンタ３１，３２の回転
数が制御される（Ｓ３）。よって、原液の比重および粘
度が変動しても、一次デカンタ３１において使用可能な
砥粒を十分に回収でき、砥粒の高い分離効率を維持でき
る。また、二次デカンタ３２においても、二次分離液、
すなわち清澄な分散液の純度を維持できる。制御が終了
すると、スラリの分離が終了したか否かが判別され（Ｓ
４）、スラリ分離が終了するまで、この動作が継続され
る。
データに基づいて第１，第２デカンタ３１，３２の回転
数が制御される（Ｓ３）。よって、原液の比重および粘
度が変動しても、一次デカンタ３１において使用可能な
砥粒を十分に回収でき、砥粒の高い分離効率を維持でき
る。また、二次デカンタ３２においても、二次分離液、
すなわち清澄な分散液の純度を維持できる。制御が終了
すると、スラリの分離が終了したか否かが判別され（Ｓ
４）、スラリ分離が終了するまで、この動作が継続され
る。
【００５４】以上のように第１の実施形態においては、
一次，二次分離液の比重および流量と、原液の比重およ
び流量とに基づいて、各デカンタ３１，３２の実際の分
離効率を表す砥粒回収率の演算が行われる。そして、実
際の分離効率と適切な分離効率との比較から、砥粒回収
率を適正範囲内に保持すべく、フィードバック制御によ
り、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転速
度が補正される。このため、両デカンタ３１，３２の分
離効率が常に適正範囲に維持され、砥粒および分散液の
回収精度を維持できる。従って、両デカンタ３１，３２
において効率のよい分離が行われ、砥粒および分散液を
有効に回収して、再利用に寄与できる。
一次，二次分離液の比重および流量と、原液の比重およ
び流量とに基づいて、各デカンタ３１，３２の実際の分
離効率を表す砥粒回収率の演算が行われる。そして、実
際の分離効率と適切な分離効率との比較から、砥粒回収
率を適正範囲内に保持すべく、フィードバック制御によ
り、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転速
度が補正される。このため、両デカンタ３１，３２の分
離効率が常に適正範囲に維持され、砥粒および分散液の
回収精度を維持できる。従って、両デカンタ３１，３２
において効率のよい分離が行われ、砥粒および分散液を
有効に回収して、再利用に寄与できる。
【００５５】また、両デカンタ３１，３２の回転速度を
制御するために、原液の性状を正確に示す比重または粘
度のデータを利用している。従って、両デカンタ３１，
３２の分離のための回転速度制御を適正に行うことがで
きる。
制御するために、原液の性状を正確に示す比重または粘
度のデータを利用している。従って、両デカンタ３１，
３２の分離のための回転速度制御を適正に行うことがで
きる。
【００５６】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を図６〜８に基づいて説明する。この第２実
施形態は、第１，第２デカンタ３１，３２によりそれぞ
れ分離された一次，二次分離液の性状を検出する。そし
て、その検出結果が所定の値になるように、ＣＰＵ４５
を含む制御装置により両デカンタ３１，３２の回転数を
制御するものである。
の実施形態を図６〜８に基づいて説明する。この第２実
施形態は、第１，第２デカンタ３１，３２によりそれぞ
れ分離された一次，二次分離液の性状を検出する。そし
て、その検出結果が所定の値になるように、ＣＰＵ４５
を含む制御装置により両デカンタ３１，３２の回転数を
制御するものである。
【００５７】すなわち、図８に示すように、両デカンタ
３１，３２により、原液の分離が開始されると（Ｓ１
１）、第２比重計３９及び第２粘度計４０からそれぞれ
一次分離液の性状が検出されるとともに、第３比重計４
１および第３粘度計４２から二次分離液の性状が検出さ
れる（Ｓ１２）。そして、それらの検出値のいずれかに
おいてそれぞれ所定範囲内にあるか否かの判別が行われ
（Ｓ１３）、所定範囲内にある場合には、Ｓ１４を経て
Ｓ１２に戻る。また、所定範囲から外れている場合に
は、前記検出値が所定範囲内になるように一次デカンタ
用モータ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転数
が補正制御され、デカンタ３１，３２の回転数が制御さ
れる（Ｓ１５）。
３１，３２により、原液の分離が開始されると（Ｓ１
１）、第２比重計３９及び第２粘度計４０からそれぞれ
一次分離液の性状が検出されるとともに、第３比重計４
１および第３粘度計４２から二次分離液の性状が検出さ
れる（Ｓ１２）。そして、それらの検出値のいずれかに
おいてそれぞれ所定範囲内にあるか否かの判別が行われ
（Ｓ１３）、所定範囲内にある場合には、Ｓ１４を経て
Ｓ１２に戻る。また、所定範囲から外れている場合に
は、前記検出値が所定範囲内になるように一次デカンタ
用モータ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転数
が補正制御され、デカンタ３１，３２の回転数が制御さ
れる（Ｓ１５）。
【００５８】図６及び図７は、一次，二次分離液の粘度
と、各デカンタ３１，３２の回転数の補正量との関係を
示したものであり、両デカンタ３１，３２の回転数は、
この図６及び図７に示すデータに従って補正される。な
お、一次あるいは二次分離液の比重が変動すると、さら
に別の補正量がデカンタ用モータ５１，５２に与えられ
る。
と、各デカンタ３１，３２の回転数の補正量との関係を
示したものであり、両デカンタ３１，３２の回転数は、
この図６及び図７に示すデータに従って補正される。な
お、一次あるいは二次分離液の比重が変動すると、さら
に別の補正量がデカンタ用モータ５１，５２に与えられ
る。
【００５９】なお、スラリの分離作動開始時は、一次，
二次デカンタ３１，３２の回転数をそれぞれの遠心効果
が例えば２００Ｇ，３０００Ｇとなるように予め所定値
に設定しておく。
二次デカンタ３１，３２の回転数をそれぞれの遠心効果
が例えば２００Ｇ，３０００Ｇとなるように予め所定値
に設定しておく。
【００６０】従って、この第２実施形態においては、両
デカンタ３１，３２により、実際に分離が行われた後の
一次あるいは二次分離液の性状に従って両デカンタ３
１，３２の回転数が補正される。このため、一次，二次
分離液の粘度や比重等の性状を所定の値に正確かつ簡単
に調整できる。このため、砥粒や分散液を精度よく回収
できる。
デカンタ３１，３２により、実際に分離が行われた後の
一次あるいは二次分離液の性状に従って両デカンタ３
１，３２の回転数が補正される。このため、一次，二次
分離液の粘度や比重等の性状を所定の値に正確かつ簡単
に調整できる。このため、砥粒や分散液を精度よく回収
できる。
【００６１】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を図９及び図１０に基づいて説明する。この
第３の実施形態は、スラリの分離前の比重および流量を
検出するとともに、両デカンタ３１，３２による分離後
の比重および流量を検出し、両検出結果からデカンタ３
１，３２による砥粒回収率を演算し、この演算結果が所
定の値になるようにデカンタ３１，３２の回転数を制御
するものである。そして、前記砥粒回収率として適正範
囲が設定され、演算された砥粒回収率が適正範囲外のと
きデカンタの３１，３２回転数が調節されるものであ
る。すなわち 第１比重計３７から分離前の原液の比重
および流量の検出信号と、第２比重計３９から一次分離
液の比重および流量の検出信号と、第３比重計４１から
二次分離液の比重および流量の検出信号とがＣＰＵ４５
に入力されたき、ＣＰＵ４５は、一次，二次デカンタ３
１，３２の実際の分離効率、つまり砥粒回収率を演算す
る。
の実施形態を図９及び図１０に基づいて説明する。この
第３の実施形態は、スラリの分離前の比重および流量を
検出するとともに、両デカンタ３１，３２による分離後
の比重および流量を検出し、両検出結果からデカンタ３
１，３２による砥粒回収率を演算し、この演算結果が所
定の値になるようにデカンタ３１，３２の回転数を制御
するものである。そして、前記砥粒回収率として適正範
囲が設定され、演算された砥粒回収率が適正範囲外のと
きデカンタの３１，３２回転数が調節されるものであ
る。すなわち 第１比重計３７から分離前の原液の比重
および流量の検出信号と、第２比重計３９から一次分離
液の比重および流量の検出信号と、第３比重計４１から
二次分離液の比重および流量の検出信号とがＣＰＵ４５
に入力されたき、ＣＰＵ４５は、一次，二次デカンタ３
１，３２の実際の分離効率、つまり砥粒回収率を演算す
る。
【００６２】さて、図１０に示すように、スラリの分離
が開始されると（Ｓ２１）、廃スラリ貯槽２５から分離
回収機構２８に移送される原液の比重および流量と粘度
とが、第１比重計３７および第１粘度計３８により検出
されて、それらの検出信号がＣＰＵ４５に入力される
（Ｓ２２）。さらに、一次デカンタ３１にて分離された
一次分離液の比重および流量と粘度とが、第２比重計３
９および第２粘度計４０により検出されて、それらの検
出信号がＣＰＵ４５に入力される。また、二次デカンタ
３２にて分離された二次分離液すなわち使用可能な分散
液の比重および流量と粘度とが、第３比重計４１および
第３粘度計４２により検出されて、それらの検出信号が
ＣＰＵ４５に入力される（Ｓ２３）。
が開始されると（Ｓ２１）、廃スラリ貯槽２５から分離
回収機構２８に移送される原液の比重および流量と粘度
とが、第１比重計３７および第１粘度計３８により検出
されて、それらの検出信号がＣＰＵ４５に入力される
（Ｓ２２）。さらに、一次デカンタ３１にて分離された
一次分離液の比重および流量と粘度とが、第２比重計３
９および第２粘度計４０により検出されて、それらの検
出信号がＣＰＵ４５に入力される。また、二次デカンタ
３２にて分離された二次分離液すなわち使用可能な分散
液の比重および流量と粘度とが、第３比重計４１および
第３粘度計４２により検出されて、それらの検出信号が
ＣＰＵ４５に入力される（Ｓ２３）。
【００６３】そして、これらの例えば比重および流量の
検出信号と第１比重計３７からの原液の比重および流量
の検出信号とに基づいて、ＣＰＵ４５にて前述したよう
に各デカンタ３１，３２の砥粒回収率を表す演算が行わ
れる（Ｓ２４）。次いで、演算された砥粒回収率の値と
適正値とが比較され（Ｓ２５）、砥粒回収率が適正値か
ら外れた場合には、砥粒回収率を適正範囲内に保持すべ
く、フィードバック制御により、一次デカンタ用モータ
５１および二次デカンタ用モータ５２の一方または双方
の回転速度が補正される（Ｓ２６）。
検出信号と第１比重計３７からの原液の比重および流量
の検出信号とに基づいて、ＣＰＵ４５にて前述したよう
に各デカンタ３１，３２の砥粒回収率を表す演算が行わ
れる（Ｓ２４）。次いで、演算された砥粒回収率の値と
適正値とが比較され（Ｓ２５）、砥粒回収率が適正値か
ら外れた場合には、砥粒回収率を適正範囲内に保持すべ
く、フィードバック制御により、一次デカンタ用モータ
５１および二次デカンタ用モータ５２の一方または双方
の回転速度が補正される（Ｓ２６）。
【００６４】これにより、ワイヤソーの加工運転に伴
い、原液中の砥粒や切り粉が混入度合いが変動した場合
でも、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の分離
効率がほぼ一定に保たれる。砥粒回収率の値が適正範囲
内にあるときには、Ｓ２７を経てＳ２１に戻る。
い、原液中の砥粒や切り粉が混入度合いが変動した場合
でも、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の分離
効率がほぼ一定に保たれる。砥粒回収率の値が適正範囲
内にあるときには、Ｓ２７を経てＳ２１に戻る。
【００６５】ところで、前記分離効率は、第２比重計３
９および第３比重計４１による比重および流量の検出結
果から第１比重計３７による比重および流量の検出結果
との比較において砥粒回収率を演算して算出するもので
ある。この砥粒回収率を分離効率とする。演算式は以下
の通りである。ここで、 砥粒比重：ｄａ オイル比重：ｄｏ 切り粉比重：ｄｓ 原液の流量：Ｆ０(Ｌ／ｈｒ） 原液の比重：Ｄ０ 一次分離液流量：Ｆ１(Ｌ／ｈｒ） 一次分離液比重：Ｄ１ 二次分離液流量：Ｆ２(Ｌ／ｈｒ） 二次分離液比重：Ｄ２ とする。 （Ａ）まず、原液の固形分（砥粒および切り粉等微粒成
分）と分散液との比率が計算される。
９および第３比重計４１による比重および流量の検出結
果から第１比重計３７による比重および流量の検出結果
との比較において砥粒回収率を演算して算出するもので
ある。この砥粒回収率を分離効率とする。演算式は以下
の通りである。ここで、 砥粒比重：ｄａ オイル比重：ｄｏ 切り粉比重：ｄｓ 原液の流量：Ｆ０(Ｌ／ｈｒ） 原液の比重：Ｄ０ 一次分離液流量：Ｆ１(Ｌ／ｈｒ） 一次分離液比重：Ｄ１ 二次分離液流量：Ｆ２(Ｌ／ｈｒ） 二次分離液比重：Ｄ２ とする。 （Ａ）まず、原液の固形分（砥粒および切り粉等微粒成
分）と分散液との比率が計算される。
【００６６】分散中のオイル分をＯ０(ｋｇ）、固形分
をＳ０(ｋｇ）とすると、 Ｏ０＋Ｓ０＝Ｆ０×Ｄ０ （１） Ｏ０／ｄｏ＋Ｓ０／ｄａ＝Ｆ０ （２） （１）、（２）式よりＯ０、Ｓ０が算出される。
をＳ０(ｋｇ）とすると、 Ｏ０＋Ｓ０＝Ｆ０×Ｄ０ （１） Ｏ０／ｄｏ＋Ｓ０／ｄａ＝Ｆ０ （２） （１）、（２）式よりＯ０、Ｓ０が算出される。
【００６７】 Ｓ０＝｛ｄａＦ０・（Ｄ０−ｄｏ）｝／｛ｄａ−ｄｏ｝ Ｏ０＝Ｆ０・Ｄ０−Ｓ０ （Ｂ）一次分離液の固形分とオイル分の比率が計算され
る。
る。
【００６８】オイル分をＯ１(ｋｇ）、固形分をＳ１(ｋ
ｇ）とすると、（Ａ）と同様の方法で Ｓ１＝｛ｄａＦ１・（Ｄ１−ｄｏ）｝／｛ｄａ−ｄｏ｝ Ｏ１＝Ｆ１・Ｄ１−Ｓ１ （Ｃ）二次分離液の固形分とオイル分の比率が計算され
る。
ｇ）とすると、（Ａ）と同様の方法で Ｓ１＝｛ｄａＦ１・（Ｄ１−ｄｏ）｝／｛ｄａ−ｄｏ｝ Ｏ１＝Ｆ１・Ｄ１−Ｓ１ （Ｃ）二次分離液の固形分とオイル分の比率が計算され
る。
【００６９】オイル分をＯ２(ｋｇ）、固形分をＳ２(ｋ
ｇ）とすると、（Ａ）と同様の方法で Ｓ２＝｛ｄａＦ２・（Ｄ２−ｄｏ）｝／｛ｄｓ−ｄｏ｝ Ｏ２＝Ｆ２・Ｄ２−Ｓ１ ここで、（Ａ）（Ｂ）では固形分の比重として砥粒比重
ｄａを使用した。（Ｃ）では固形分の比重として切り粉
比重ｄｓを使用した。これは原液、一次分離液では、ス
ラリ中の固形分として砥粒の割合が大きく、二次分離液
では切り粉の割合が大きくなるためである。 （Ｄ）固形分およびオイル分の量が計算される。
ｇ）とすると、（Ａ）と同様の方法で Ｓ２＝｛ｄａＦ２・（Ｄ２−ｄｏ）｝／｛ｄｓ−ｄｏ｝ Ｏ２＝Ｆ２・Ｄ２−Ｓ１ ここで、（Ａ）（Ｂ）では固形分の比重として砥粒比重
ｄａを使用した。（Ｃ）では固形分の比重として切り粉
比重ｄｓを使用した。これは原液、一次分離液では、ス
ラリ中の固形分として砥粒の割合が大きく、二次分離液
では切り粉の割合が大きくなるためである。 （Ｄ）固形分およびオイル分の量が計算される。
【００７０】 一次分離液固形分 ＳＨ１＝Ｓ０−Ｓ１(ｋｇ） 一次分離液オイル分 ＯＨ１＝Ｏ０−Ｏ１(ｋｇ） 二次分離液固形分 ＳＨ２＝Ｓ１−Ｓ２(ｋｇ） 二次分離液オイル分 ＯＨ１＝Ｏ１−Ｏ２(ｋｇ） （Ｅ）固形分回収率（砥粒回収率）が計算される。
【００７１】 一次分離固形分回収率 ＳＨ１／Ｓ０×１００（％） システム全体（一次分離＋二次分離）固形分回収率 ＳＨ１＋Ｓ２／Ｓ０×１００（％） そして、この実施形態においては、砥粒回収率として、
システム全体（一次分離＋二次分離）で固形分回収率が
用いられ、砥粒回収率が適正範囲（例えば、８５〜９０
％）内でほぼ一定になるように各デカンタ用モータ５
１、５２の回転速度がそれぞれ図９に示す補正量ΔＧを
実現するように調整制御される。すなわち、前記図９
は、各デカンタ用モータ５１、５２の回転速度の速度の
補正量を示すものであり、例えば、砥粒回収率が６０パ
ーセントの場合は、第１，第２デカンタ３１，３２がそ
れぞれ２００Ｇ，４００Ｇずつ遠心効果が増大するよう
に制御が行われる。これにより、一次デカンタ３１にお
ける砥粒の分離効率、および二次デカンタ３２における
二次分離液の分離効率を適正に維持することができる。
なお、砥粒回収率が前記適正範囲を下回った場合には、
砥粒の回収量が少なくなって、分離後排液中に多量の砥
粒が混入し、砥粒回収率が適正範囲を上回った場合に
は、回収された砥粒に多量の切り粉が混入する。
システム全体（一次分離＋二次分離）で固形分回収率が
用いられ、砥粒回収率が適正範囲（例えば、８５〜９０
％）内でほぼ一定になるように各デカンタ用モータ５
１、５２の回転速度がそれぞれ図９に示す補正量ΔＧを
実現するように調整制御される。すなわち、前記図９
は、各デカンタ用モータ５１、５２の回転速度の速度の
補正量を示すものであり、例えば、砥粒回収率が６０パ
ーセントの場合は、第１，第２デカンタ３１，３２がそ
れぞれ２００Ｇ，４００Ｇずつ遠心効果が増大するよう
に制御が行われる。これにより、一次デカンタ３１にお
ける砥粒の分離効率、および二次デカンタ３２における
二次分離液の分離効率を適正に維持することができる。
なお、砥粒回収率が前記適正範囲を下回った場合には、
砥粒の回収量が少なくなって、分離後排液中に多量の砥
粒が混入し、砥粒回収率が適正範囲を上回った場合に
は、回収された砥粒に多量の切り粉が混入する。
【００７２】従って、この第３実施形態においては、一
次，二次分離液の比重および流量と、原液の比重および
流量とに基づいて、各デカンタ３１，３２の実際の分離
効率を表す砥粒回収率の演算が行われる。そして、実際
の分離効率と適切な分離効率との比較から、砥粒回収率
を適正範囲内に保持すべく、フィードバック制御によ
り、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転速
度が補正される。このため、両デカンタ３１，３２の分
離効率が常に適正範囲に維持され、砥粒および分散液の
回収精度を維持できる。
次，二次分離液の比重および流量と、原液の比重および
流量とに基づいて、各デカンタ３１，３２の実際の分離
効率を表す砥粒回収率の演算が行われる。そして、実際
の分離効率と適切な分離効率との比較から、砥粒回収率
を適正範囲内に保持すべく、フィードバック制御によ
り、一次デカンタ３１および二次デカンタ３２の回転速
度が補正される。このため、両デカンタ３１，３２の分
離効率が常に適正範囲に維持され、砥粒および分散液の
回収精度を維持できる。
【００７３】また、両デカンタ３１，３２に対するフィ
ードバック補正制御が、実際に分離された一次，二次分
離液のデータを直接採取して行われる。このため、フィ
ードバック補正制御が現状に適合して正確に行われ、砥
粒および分散液の分離を期待通りに行うことができる。
ードバック補正制御が、実際に分離された一次，二次分
離液のデータを直接採取して行われる。このため、フィ
ードバック補正制御が現状に適合して正確に行われ、砥
粒および分散液の分離を期待通りに行うことができる。
【００７４】なお、この第３実施形態においても、スラ
リの分離作動開始時は、一次，二次デカンタ３１，３２
の回転数をそれぞれの遠心効果が例えば２００Ｇ，３０
００Ｇとなるように予め所定値に設定しておく。
リの分離作動開始時は、一次，二次デカンタ３１，３２
の回転数をそれぞれの遠心効果が例えば２００Ｇ，３０
００Ｇとなるように予め所定値に設定しておく。
【００７５】（第４の実施形態）次に、この発明の第４
の実施形態を図１１および図１２に基づいて説明する。
この実施形態においては、第３比重計４１および第３粘
度計４２よりなる第２の分離液性状検出手段を省いたも
のである。
の実施形態を図１１および図１２に基づいて説明する。
この実施形態においては、第３比重計４１および第３粘
度計４２よりなる第２の分離液性状検出手段を省いたも
のである。
【００７６】このため、回収率の演算においては、一次
デカンタ３１における砥粒回収率のみが演算される。そ
して、図１２に示すように、砥粒の適正回収率（例えば
８０〜８５％）を得るための遠心効果の補正は、一次デ
カンタ３１のみで行われる。
デカンタ３１における砥粒回収率のみが演算される。そ
して、図１２に示すように、砥粒の適正回収率（例えば
８０〜８５％）を得るための遠心効果の補正は、一次デ
カンタ３１のみで行われる。
【００７７】従って、この実施形態においては、演算お
よび補正制御のプログラムが簡単になり、ＲＯＭ４６お
よびＲＡＭ４７も記憶容量の小さなものでよく、構成を
簡素化できる。
よび補正制御のプログラムが簡単になり、ＲＯＭ４６お
よびＲＡＭ４７も記憶容量の小さなものでよく、構成を
簡素化できる。
【００７８】（第５の実施形態）次に、この発明の第５
の実施形態を図１３および図１４に基づいて説明する。
さて、この第５の実施形態においては、図１３に示すよ
うに、廃スラリ貯槽２５から分離回収機構２８に至る原
液の移送流路中に、スラリ形状検出手段を構成する比重
計５５および粘度計５６が配設されている。比重計５５
および粘度計５６の上流側には第１バルブ５７が配設さ
れ、下流側には第２バルブ５８が配設されている。分離
回収機構２８の一次デカンタ３１の出口側には第３バル
ブ５９が配設され、二次デカンタ３２におけるの出口側
には第４バルブ６０が配設されている。
の実施形態を図１３および図１４に基づいて説明する。
さて、この第５の実施形態においては、図１３に示すよ
うに、廃スラリ貯槽２５から分離回収機構２８に至る原
液の移送流路中に、スラリ形状検出手段を構成する比重
計５５および粘度計５６が配設されている。比重計５５
および粘度計５６の上流側には第１バルブ５７が配設さ
れ、下流側には第２バルブ５８が配設されている。分離
回収機構２８の一次デカンタ３１の出口側には第３バル
ブ５９が配設され、二次デカンタ３２におけるの出口側
には第４バルブ６０が配設されている。
【００７９】前記第１バルブ５７、比重計５５、粘度計
５６および第２バルブ５８をバイパスするように、廃ス
ラリ貯槽２５の下流側と分離回収機構２８との間にはバ
イパス流路６１が接続されている。そして、このバイパ
ス流路６１中には第５バルブ６２が配設されている。
５６および第２バルブ５８をバイパスするように、廃ス
ラリ貯槽２５の下流側と分離回収機構２８との間にはバ
イパス流路６１が接続されている。そして、このバイパ
ス流路６１中には第５バルブ６２が配設されている。
【００８０】前記一次デカンタ３１の出口側と比重計５
５および粘度計５６の上流側との間には第１導入流路６
３が接続され、この第１導入流路６３中には第６バルブ
６４が配設されている。比重計５５および粘度計５６の
下流側と二次デカンタ３２の入口側との間には第１導出
流路６５が接続され、この第１導出流路６５中には第７
バルブ６６が配設されている。
５および粘度計５６の上流側との間には第１導入流路６
３が接続され、この第１導入流路６３中には第６バルブ
６４が配設されている。比重計５５および粘度計５６の
下流側と二次デカンタ３２の入口側との間には第１導出
流路６５が接続され、この第１導出流路６５中には第７
バルブ６６が配設されている。
【００８１】前記二次デカンタ３２における使用可能な
分散液の出口側と比重計５５および粘度計５６の上流側
との間には第２導入流路６７が接続され、この第２導入
流路６７中には第８バルブ６８が配設されている。比重
計５５および粘度計５６の下流側と二次デカンタ３２に
おける使用可能な分散液の戻し通路との間には第２導出
流路６９が接続され、この第２導出流路６９中には第９
バルブ７０が配設されている。
分散液の出口側と比重計５５および粘度計５６の上流側
との間には第２導入流路６７が接続され、この第２導入
流路６７中には第８バルブ６８が配設されている。比重
計５５および粘度計５６の下流側と二次デカンタ３２に
おける使用可能な分散液の戻し通路との間には第２導出
流路６９が接続され、この第２導出流路６９中には第９
バルブ７０が配設されている。
【００８２】そして、前記第１〜第９のバルブ５７〜６
０，６２，６４，６６，６８，７０が選択的に開閉され
て、比重計５５および粘度計５６に対する原液等の流路
が切り換えられる。この流路の切り換え状態で、比重計
５５および粘度計５６により、原液と、一次デカンタ３
１にて遠心分離された一次分離液と、二次デカンタ３２
にて遠心分離された二次分離液とについて、比重および
流量と粘度とが順に検出される。
０，６２，６４，６６，６８，７０が選択的に開閉され
て、比重計５５および粘度計５６に対する原液等の流路
が切り換えられる。この流路の切り換え状態で、比重計
５５および粘度計５６により、原液と、一次デカンタ３
１にて遠心分離された一次分離液と、二次デカンタ３２
にて遠心分離された二次分離液とについて、比重および
流量と粘度とが順に検出される。
【００８３】次に、前記のように構成されたスラリ管理
システムの電気的回路構成について説明する。図１４に
示すように、ＣＰＵ４５には、比重計５５および粘度計
５６からの検出信号、並びに操作パネル４８からの操作
信号が入力される。また、ＣＰＵ４５からは、駆動回路
４９，５０を介して、一次デカンタ用モータ５１および
二次デカンタ用モータ５２に作動信号が出力されるとと
もに、駆動回路７１を介して、第１〜第９のバルブ５７
〜６０，６２，６４，６６，６８，７０を切り換えるた
めの複数の電磁石７２に作動信号が出力される。
システムの電気的回路構成について説明する。図１４に
示すように、ＣＰＵ４５には、比重計５５および粘度計
５６からの検出信号、並びに操作パネル４８からの操作
信号が入力される。また、ＣＰＵ４５からは、駆動回路
４９，５０を介して、一次デカンタ用モータ５１および
二次デカンタ用モータ５２に作動信号が出力されるとと
もに、駆動回路７１を介して、第１〜第９のバルブ５７
〜６０，６２，６４，６６，６８，７０を切り換えるた
めの複数の電磁石７２に作動信号が出力される。
【００８４】次に、この実施形態のスラリ管理システム
について動作を説明する。さて、このスラリ管理システ
ムでは、通常は第３〜第５バルブ５９，６０，６２のみ
が開放され、他のバルブ５７，５８，６４，６６，６
８，７０が閉止された状態で、スラリの調製処理が行わ
れる。そして、この状態で各ワイヤソー１９において、
ワークの切断加工が開始されると、調合槽１１で調合さ
れたスラリが、スラリタンク２０を介して各ワイヤソー
１９のワイヤ上に供給される。
について動作を説明する。さて、このスラリ管理システ
ムでは、通常は第３〜第５バルブ５９，６０，６２のみ
が開放され、他のバルブ５７，５８，６４，６６，６
８，７０が閉止された状態で、スラリの調製処理が行わ
れる。そして、この状態で各ワイヤソー１９において、
ワークの切断加工が開始されると、調合槽１１で調合さ
れたスラリが、スラリタンク２０を介して各ワイヤソー
１９のワイヤ上に供給される。
【００８５】また、各ワイヤソー１９で使用されたスラ
リは、図８に実線の矢印で示すように、廃スラリ貯槽２
５から比重計５５と粘度計５６との検出部を通過するこ
となく、バイパス流路６１を介して分離回収機構２８に
導かれる。そして、一次デカンタ３１および二次デカン
タ３２により、その原液中から使用可能な砥粒および二
次分離液、すなわち清澄な分散液が分離回収されて、調
合槽１１内に戻される。
リは、図８に実線の矢印で示すように、廃スラリ貯槽２
５から比重計５５と粘度計５６との検出部を通過するこ
となく、バイパス流路６１を介して分離回収機構２８に
導かれる。そして、一次デカンタ３１および二次デカン
タ３２により、その原液中から使用可能な砥粒および二
次分離液、すなわち清澄な分散液が分離回収されて、調
合槽１１内に戻される。
【００８６】このスラリの調製処理中には、ＣＰＵ４５
の制御により、第１〜第９のバルブ５７〜６０，６２，
６４，６６，６８，７０が所定時間おきに切り換えられ
て、原液，一次分離液および二次分離液とについて、比
重および流量と粘度とが順に検出される。
の制御により、第１〜第９のバルブ５７〜６０，６２，
６４，６６，６８，７０が所定時間おきに切り換えられ
て、原液，一次分離液および二次分離液とについて、比
重および流量と粘度とが順に検出される。
【００８７】すなわち、原液の性状検出時には、第１〜
第４のバルブ５７〜６０のみが開放され、他のバルブ６
２，６４，６６，６８，７０が閉止される。これによ
り、原液は、図８に破線の矢印で示すように、比重計５
５と粘度計５６との検出部、分離回収機構２８の一次デ
カンタ３１および二次デカンタ３２を通過して移送され
る。そして、原液の比重および流量と粘度との検出信号
が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出力
される。
第４のバルブ５７〜６０のみが開放され、他のバルブ６
２，６４，６６，６８，７０が閉止される。これによ
り、原液は、図８に破線の矢印で示すように、比重計５
５と粘度計５６との検出部、分離回収機構２８の一次デ
カンタ３１および二次デカンタ３２を通過して移送され
る。そして、原液の比重および流量と粘度との検出信号
が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出力
される。
【００８８】また、一次分離液の性状検出時には、第４
〜第７のバルブ６０，６２，６４，６６のみが開放さ
れ、他のバルブ５７〜５９，６８，７０が閉止される。
これにより、原液は、図１３に一点鎖線の矢印で示すよ
うに、バイパス流路６１、分離回収機構２８の一次デカ
ンタ３１、第１導入流路６３、比重計５５と粘度計５６
との検出部、第１導出流路６５および二次デカンタ３２
を通過して移送される。そして、一次デカンタ３１で分
離された一次分離液の比重および流量と粘度との検出信
号が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出
力される。
〜第７のバルブ６０，６２，６４，６６のみが開放さ
れ、他のバルブ５７〜５９，６８，７０が閉止される。
これにより、原液は、図１３に一点鎖線の矢印で示すよ
うに、バイパス流路６１、分離回収機構２８の一次デカ
ンタ３１、第１導入流路６３、比重計５５と粘度計５６
との検出部、第１導出流路６５および二次デカンタ３２
を通過して移送される。そして、一次デカンタ３１で分
離された一次分離液の比重および流量と粘度との検出信
号が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出
力される。
【００８９】さらに、二次分離液すなわち使用可能な分
散液の性状検出時には、第３、第５、第８、第９のバル
ブ５９，６２，６８，７０のみが開放され、他のバルブ
５７，５８，６０，６４，６６が閉止される。これによ
り、原液は、図１３に二点鎖線の矢印で示すように、バ
イパス流路６１、分離回収機構２８の一次デカンタ３
１、二次デカンタ３２、第２導入流路６７、比重計５５
と粘度計５６との検出部および第２導出流路６９を通過
して移送される。そして、二次デカンタ３２で分離され
た使用可能な分散液の比重および流量と粘度との検出信
号が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出
力される。
散液の性状検出時には、第３、第５、第８、第９のバル
ブ５９，６２，６８，７０のみが開放され、他のバルブ
５７，５８，６０，６４，６６が閉止される。これによ
り、原液は、図１３に二点鎖線の矢印で示すように、バ
イパス流路６１、分離回収機構２８の一次デカンタ３
１、二次デカンタ３２、第２導入流路６７、比重計５５
と粘度計５６との検出部および第２導出流路６９を通過
して移送される。そして、二次デカンタ３２で分離され
た使用可能な分散液の比重および流量と粘度との検出信
号が、比重計５５および粘度計５６からＣＰＵ４５に出
力される。
【００９０】このように、原液，一次分離液および二次
分離液とについて、比重および流量と粘度との検出信号
が順に出力されると、ＣＰＵ４５の制御により、原液の
例えば粘度の検出信号に基づいて、一次デカンタ用モー
タ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転速度が調
整される。
分離液とについて、比重および流量と粘度との検出信号
が順に出力されると、ＣＰＵ４５の制御により、原液の
例えば粘度の検出信号に基づいて、一次デカンタ用モー
タ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転速度が調
整される。
【００９１】または、他の制御方法として、ＣＰＵ４５
のフィードバック制御により、一次分離液および二次分
離液に関する比重または粘度から、一次デカンタ用モー
タ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転速度が制
御される。または、さらに他の制御方法として、ＣＰＵ
４５のフィードバック制御により、一次分離液および二
次分離液に関する比重および流量の検出信号から原液の
比重および流量の検出信号との比較において砥粒回収率
が演算され、これに基づいて、砥粒回収率を適正にすべ
く一次デカンタ用モータ５１および二次デカンタ用モー
タ５２の回転速度が補正制御される。
のフィードバック制御により、一次分離液および二次分
離液に関する比重または粘度から、一次デカンタ用モー
タ５１および二次デカンタ用モータ５２の回転速度が制
御される。または、さらに他の制御方法として、ＣＰＵ
４５のフィードバック制御により、一次分離液および二
次分離液に関する比重および流量の検出信号から原液の
比重および流量の検出信号との比較において砥粒回収率
が演算され、これに基づいて、砥粒回収率を適正にすべ
く一次デカンタ用モータ５１および二次デカンタ用モー
タ５２の回転速度が補正制御される。
【００９２】これにより、ワイヤソーの加工運転に伴
い、原液中の砥粒が次第に破砕されたり、スラリ中にワ
ークの切り粉が混入したりして、スラリの比重や粘度が
変動した場合でも、一次デカンタ３１および二次デカン
タ３２の分離効率が一定に保たれる。
い、原液中の砥粒が次第に破砕されたり、スラリ中にワ
ークの切り粉が混入したりして、スラリの比重や粘度が
変動した場合でも、一次デカンタ３１および二次デカン
タ３２の分離効率が一定に保たれる。
【００９３】よって、原液の比重および粘度が変動して
も、すなわち、砥粒や微粒成分の混合量が変動しても、
一次デカンタ３１において使用可能な砥粒を十分に回収
でき、砥粒の分離効率を良好に維持できる。また、二次
デカンタ３２においても、回収した清澄な分散液中に微
粒成分の不純物が多量に残留することなく、使用可能な
分散液の純度を高くすることができる。
も、すなわち、砥粒や微粒成分の混合量が変動しても、
一次デカンタ３１において使用可能な砥粒を十分に回収
でき、砥粒の分離効率を良好に維持できる。また、二次
デカンタ３２においても、回収した清澄な分散液中に微
粒成分の不純物が多量に残留することなく、使用可能な
分散液の純度を高くすることができる。
【００９４】従って、この第５の実施形態においても、
前述した第１，２，３，４の実施形態とほぼ同様の効果
を発揮させることができる。また、この実施形態におい
ては、スラリ性状検出手段としての比重計５５および粘
度計５６に対し、原液と、一次デカンタ３１にて遠心分
離された一次分離液と、二次デカンタ３２にて遠心分離
された二次分離液としての清澄な分散液とを通過させる
複数の流路６１，６３，６５，６７，６９が接続されて
いる。そして、これらの流路中には、切り換え用のバル
ブ５７〜６０，６２，６４，６６，６８，７０が設けら
れている。このため、バルブ５７〜６０，６２，６４，
６６，６８，７０にて流路を切り換えることにより、１
つの検出手段５５，５６にて原液と一次分離液と清澄な
分散液との比重や粘度を順に検出することができ、第
１，２，３の実施形態における第１および第２の分離液
性状検出手段を別に設ける必要がなく、分離液性状検出
手段を共用して検出構成の簡略化を図ることができるば
かりでなく、その部分の配管を共用して、配管構成も簡
単にすることができる。。
前述した第１，２，３，４の実施形態とほぼ同様の効果
を発揮させることができる。また、この実施形態におい
ては、スラリ性状検出手段としての比重計５５および粘
度計５６に対し、原液と、一次デカンタ３１にて遠心分
離された一次分離液と、二次デカンタ３２にて遠心分離
された二次分離液としての清澄な分散液とを通過させる
複数の流路６１，６３，６５，６７，６９が接続されて
いる。そして、これらの流路中には、切り換え用のバル
ブ５７〜６０，６２，６４，６６，６８，７０が設けら
れている。このため、バルブ５７〜６０，６２，６４，
６６，６８，７０にて流路を切り換えることにより、１
つの検出手段５５，５６にて原液と一次分離液と清澄な
分散液との比重や粘度を順に検出することができ、第
１，２，３の実施形態における第１および第２の分離液
性状検出手段を別に設ける必要がなく、分離液性状検出
手段を共用して検出構成の簡略化を図ることができるば
かりでなく、その部分の配管を共用して、配管構成も簡
単にすることができる。。
【００９５】（別の実施形態）なお、この実施形態は、
次のように変更して具体化することも可能である。 ・ 第１〜３の実施形態において、第１粘度計３８、第
２粘度計４０および第３粘度計４２を省略し、一次分離
液と二次分離液とについて、比重および流量のみを検出
するように構成すること。
次のように変更して具体化することも可能である。 ・ 第１〜３の実施形態において、第１粘度計３８、第
２粘度計４０および第３粘度計４２を省略し、一次分離
液と二次分離液とについて、比重および流量のみを検出
するように構成すること。
【００９６】・ 前記各実施形態において、各比重計お
よび粘度計による検出データを表示するように構成する
こと。 ・ 第１，２の実施形態において、比重計３７，３９，
４１を省略し、原液，一次分離液，あるいは二次分離液
について、粘度のみを検出し、それによってデカンタの
回転を制御するように構成すること。
よび粘度計による検出データを表示するように構成する
こと。 ・ 第１，２の実施形態において、比重計３７，３９，
４１を省略し、原液，一次分離液，あるいは二次分離液
について、粘度のみを検出し、それによってデカンタの
回転を制御するように構成すること。
【００９７】・ 第５実施形態において、粘度計５６を
省略し、原液，一次分離液，二次分離液について、比重
および流量のみを検出し、それによってデカンタの回転
を制御するように構成すること。
省略し、原液，一次分離液，二次分離液について、比重
および流量のみを検出し、それによってデカンタの回転
を制御するように構成すること。
【００９８】・ 第５実施形態において、比重計５５を
省略し、原液，一次分離液，二次分離液について、粘度
および流量のみを検出し、それによってデカンタの回転
を制御するように構成すること。
省略し、原液，一次分離液，二次分離液について、粘度
および流量のみを検出し、それによってデカンタの回転
を制御するように構成すること。
【００９９】・ 各実施形態において、二次デカンタ３
２を省略し、砥粒のみを回収するシステムにすること。 ・ 各実施形態において、二次デカンタ３２の回転数は
ほぼ一定に保持したまま一次デカンタ３１の回転のみ制
御するように構成すること。
２を省略し、砥粒のみを回収するシステムにすること。 ・ 各実施形態において、二次デカンタ３２の回転数は
ほぼ一定に保持したまま一次デカンタ３１の回転のみ制
御するように構成すること。
【０１００】・ 各実施形態において、砥粒回収率の代
わりに、切り粉除去率すなわち原液中の切粉含有量から
分離によって取り除かれた切り粉量の割合を算出し、そ
の適正範囲を例えば４０％〜８０％と定め、この切り粉
除去率が適正範囲になるようにデカンタの回転速度を制
御するようにしても同様な効果が得られる。
わりに、切り粉除去率すなわち原液中の切粉含有量から
分離によって取り除かれた切り粉量の割合を算出し、そ
の適正範囲を例えば４０％〜８０％と定め、この切り粉
除去率が適正範囲になるようにデカンタの回転速度を制
御するようにしても同様な効果が得られる。
【０１０１】・ 前記第２、第３の実施形態において、
粘度、比重が適正範囲外の時のデカンタ回転数の補正量
制御の代わりに、粘度、比重とそれに対応するデカンタ
回転数の適正値との相関関係を表すデータを予め設定し
ておき、これに基づいて直線的あるいは連続した曲線的
な制御を行うこと。
粘度、比重が適正範囲外の時のデカンタ回転数の補正量
制御の代わりに、粘度、比重とそれに対応するデカンタ
回転数の適正値との相関関係を表すデータを予め設定し
ておき、これに基づいて直線的あるいは連続した曲線的
な制御を行うこと。
【０１０２】（他の技術的思想）次に、前記実施形態か
ら把握できる請求項以外の技術的思想について、それら
の効果とともに記載する。
ら把握できる請求項以外の技術的思想について、それら
の効果とともに記載する。
【０１０３】（１）スラリ性状検出手段は原液の比重お
よび流量を検出する比重計と、原液の粘度を検出する粘
度計とによりなる請求項１〜１４のいずれかに記載のス
ラリ管理システム。
よび流量を検出する比重計と、原液の粘度を検出する粘
度計とによりなる請求項１〜１４のいずれかに記載のス
ラリ管理システム。
【０１０４】（２）第１の分離液性状検出手段は、一次
デカンタにて分離された一次分離液の比重および流量を
検出する比重計と、一次分離液の粘度とを検出する粘度
計とによりなる請求項８に記載のスラリ管理システム。
デカンタにて分離された一次分離液の比重および流量を
検出する比重計と、一次分離液の粘度とを検出する粘度
計とによりなる請求項８に記載のスラリ管理システム。
【０１０５】この構成によれば、一次デカンタおよび二
次デカンタの回転速度をきめ細かく補正制御することが
できる。 （３）第２の分離液性状検出手段は、二次デカンタにて
分離された二次分離液の比重および流量を検出する比重
計と、二次分離液の粘度を検出する粘度計とによりなる
請求項１０項に記載のスラリ管理システム。
次デカンタの回転速度をきめ細かく補正制御することが
できる。 （３）第２の分離液性状検出手段は、二次デカンタにて
分離された二次分離液の比重および流量を検出する比重
計と、二次分離液の粘度を検出する粘度計とによりなる
請求項１０項に記載のスラリ管理システム。
【０１０６】この構成によれば、一次デカンタおよび二
次デカンタの回転速度をよりいっそうきめ細かく補正制
御することができる。（４）前記切り換え用のバルブを
駆動する駆動手段（電磁石７２）と、その駆 動手段を駆動制御する制御手段（ＣＰＵ４５）とが備え
られている請求項１４に記載のスラリ管理システム。
次デカンタの回転速度をよりいっそうきめ細かく補正制
御することができる。（４）前記切り換え用のバルブを
駆動する駆動手段（電磁石７２）と、その駆 動手段を駆動制御する制御手段（ＣＰＵ４５）とが備え
られている請求項１４に記載のスラリ管理システム。
【０１０７】この構成によれば、流路の切り換えがスム
ーズかつ迅速に行われる。
ーズかつ迅速に行われる。
【０１０８】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明において
は以下の効果を発揮する。請求項１に記載の発明では、
スラリ性状検出手段による使用済みスラリの性状検出結
果に基づいてデカンタの回転速度を制御するため、使用
済みスラリの性状に基づいてデカンタの回転数を適正な
値に自由設定することができる。従って、使用済みスラ
リの性状が変動しても、デカンタにおいて精度の高い分
離を行うことができる。このため、使用済みスラリから
砥粒を十分に砥粒や分散液を充分に回収できるととも
に、回収した分散液中に不純物が残留するのを最小限に
抑制することができる。
は以下の効果を発揮する。請求項１に記載の発明では、
スラリ性状検出手段による使用済みスラリの性状検出結
果に基づいてデカンタの回転速度を制御するため、使用
済みスラリの性状に基づいてデカンタの回転数を適正な
値に自由設定することができる。従って、使用済みスラ
リの性状が変動しても、デカンタにおいて精度の高い分
離を行うことができる。このため、使用済みスラリから
砥粒を十分に砥粒や分散液を充分に回収できるととも
に、回収した分散液中に不純物が残留するのを最小限に
抑制することができる。
【０１０９】請求項２に記載の発明では、前記スラリ性
状検出手段が、使用済みスラリの分離前の性状を検出す
るものであるため、砥粒や切り粉等により性状変化が直
接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出する
ことになる。従って、スラリ性状に従った検出を行うこ
とができ、デカンタの回転数制御をスラリ性状に対応し
て的確に行うことができる。
状検出手段が、使用済みスラリの分離前の性状を検出す
るものであるため、砥粒や切り粉等により性状変化が直
接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検出する
ことになる。従って、スラリ性状に従った検出を行うこ
とができ、デカンタの回転数制御をスラリ性状に対応し
て的確に行うことができる。
【０１１０】請求項３に記載の発明では、スラリ性状検
出手段は、使用済みスラリのデカンタによる分離後の性
状を検出し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段
の検出結果が所定の値になるようにデカンタの回転数を
制御する。従って、実際に分離が行われた結果に基づい
て、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御を
的確に行うことができる。
出手段は、使用済みスラリのデカンタによる分離後の性
状を検出し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段
の検出結果が所定の値になるようにデカンタの回転数を
制御する。従って、実際に分離が行われた結果に基づい
て、デカンタの回転数制御が行われるため、その制御を
的確に行うことができる。
【０１１１】請求項４に記載の発明では、スラリ性状検
出手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検出
する。従って、スラリ性状を的確に把握して、デカンタ
の回転数制御を正確に行うことができる。
出手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検出
する。従って、スラリ性状を的確に把握して、デカンタ
の回転数制御を正確に行うことができる。
【０１１２】請求項５に記載の発明では、スラリ性状検
出手段は、使用済みスラリの分離前の比重および流量を
検出するとともに、使用済みスラリのデカンタによる分
離後の比重および流量を検出し、前記制御手段は両検出
結果からデカンタによる砥粒回収率を演算し、この演算
結果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御す
る。従って、実際に回収された砥粒の率が演算され、そ
れに基づいてデカンタの回転数制御が行われる。このた
め、高精度制御が可能になる。
出手段は、使用済みスラリの分離前の比重および流量を
検出するとともに、使用済みスラリのデカンタによる分
離後の比重および流量を検出し、前記制御手段は両検出
結果からデカンタによる砥粒回収率を演算し、この演算
結果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御す
る。従って、実際に回収された砥粒の率が演算され、そ
れに基づいてデカンタの回転数制御が行われる。このた
め、高精度制御が可能になる。
【０１１３】請求項６に記載の発明では、砥粒回収率に
適正範囲を設定し、前記制御手段は演算された砥粒回収
率が適正範囲外のときデカンタの回転数を調節する。従
って、砥粒回収率が適正範囲から外れた場合には、それ
が修正されるようにデカンタの回転数が調節されるた
め、常に砥粒回収率が適正範囲に維持される。
適正範囲を設定し、前記制御手段は演算された砥粒回収
率が適正範囲外のときデカンタの回転数を調節する。従
って、砥粒回収率が適正範囲から外れた場合には、それ
が修正されるようにデカンタの回転数が調節されるた
め、常に砥粒回収率が適正範囲に維持される。
【０１１４】請求項７に記載の発明では、一次，二次両
デカンタによって使用済みスラリから使用可能な砥粒お
よび分散液を分離回収する。そして、使用済みスラリの
性状を検出するスラリ性状検出手段の検出結果に基づい
て、制御手段が少なくとも一次デカンタの回転速度を制
御する 従って、使用済みスラリの性状が変動しても、
少なくとも一次デカンタにおいて精度の高い分離を行う
ことができる。このため、使用済みスラリから砥粒を十
分に砥粒や分散液を充分に回収できるとともに、回収し
た分散液中に不純物が残留するのを最小限に抑制するこ
とができる。
デカンタによって使用済みスラリから使用可能な砥粒お
よび分散液を分離回収する。そして、使用済みスラリの
性状を検出するスラリ性状検出手段の検出結果に基づい
て、制御手段が少なくとも一次デカンタの回転速度を制
御する 従って、使用済みスラリの性状が変動しても、
少なくとも一次デカンタにおいて精度の高い分離を行う
ことができる。このため、使用済みスラリから砥粒を十
分に砥粒や分散液を充分に回収できるとともに、回収し
た分散液中に不純物が残留するのを最小限に抑制するこ
とができる。
【０１１５】請求項８に記載の発明では、前記スラリ性
状検出手段は、使用済みスラリの分離前の性状を検出
し、その検出結果に応じて前記制御手段はデカンタの回
転数を制御する。従って、砥粒や切り粉等により性状変
化が直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検
出するため、スラリ性状に従った検出を行うことがで
き、少なくとも第１デカンタの回転数制御をスラリ性状
に対応して的確に行うことができる。
状検出手段は、使用済みスラリの分離前の性状を検出
し、その検出結果に応じて前記制御手段はデカンタの回
転数を制御する。従って、砥粒や切り粉等により性状変
化が直接的に表れる分離前の使用済みスラリの性状を検
出するため、スラリ性状に従った検出を行うことがで
き、少なくとも第１デカンタの回転数制御をスラリ性状
に対応して的確に行うことができる。
【０１１６】請求項９に記載の発明では、スラリ性状検
出手段は、使用済みスラリの一次デカンタによる分離後
の濁分散液の性状を検出し、前記制御手段は、そのスラ
リ性状検出手段の検出結果が所定の値になるようにデカ
ンタの回転数を制御する。従って、実際に分離が行われ
た結果に基づいて、デカンタの回転数制御が行われるた
め、その制御を的確に行うことができる。
出手段は、使用済みスラリの一次デカンタによる分離後
の濁分散液の性状を検出し、前記制御手段は、そのスラ
リ性状検出手段の検出結果が所定の値になるようにデカ
ンタの回転数を制御する。従って、実際に分離が行われ
た結果に基づいて、デカンタの回転数制御が行われるた
め、その制御を的確に行うことができる。
【０１１７】請求項１０に記載の発明では、スラリ性状
検出手段は、使用済みスラリの二次デカンタによる分離
後の分散液の性状を検出し、前記制御手段は、そのスラ
リ性状検出手段の検出結果が所定の値になるように少な
くとも一次デカンタの回転数を制御する。従って、実際
に分離が行われた最終結果に基づいて、一次デカンタの
回転数制御が行われるため、その制御をより的確に行う
ことができる。
検出手段は、使用済みスラリの二次デカンタによる分離
後の分散液の性状を検出し、前記制御手段は、そのスラ
リ性状検出手段の検出結果が所定の値になるように少な
くとも一次デカンタの回転数を制御する。従って、実際
に分離が行われた最終結果に基づいて、一次デカンタの
回転数制御が行われるため、その制御をより的確に行う
ことができる。
【０１１８】請求項１１に記載の発明では、スラリ性状
検出手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検
出する。スラリ性状を的確に把握して、デカンタの回転
数制御を正確に行うことができる。
検出手段は、比重および粘度のうち少なくとも一方を検
出する。スラリ性状を的確に把握して、デカンタの回転
数制御を正確に行うことができる。
【０１１９】請求項１２に記載の発明では、スラリ性状
検出手段は、使用済みスラリの分離前の比重および流量
を検出するとともに、使用済みスラリの一次デカンタま
たは一次および二次デカンタによる分離後の比重および
流量を検出する。また、前記制御手段はそれらの検出結
果から一次デカンタまたは一次および二次デカンタによ
る砥粒回収率を演算し、この演算結果が所定の値になる
ようにデカンタの回転数を制御する。従って、一次デカ
ンタまたは一次および二次デカンタの回転により実際に
回収された砥粒の率が演算され、それに基づいて一次デ
カンタまたは一次および二次デカンタの回転数制御が行
われる。このため、実際の砥粒回収状況に応じて、前記
の制御が行われるため、高精度制御が可能になる。
検出手段は、使用済みスラリの分離前の比重および流量
を検出するとともに、使用済みスラリの一次デカンタま
たは一次および二次デカンタによる分離後の比重および
流量を検出する。また、前記制御手段はそれらの検出結
果から一次デカンタまたは一次および二次デカンタによ
る砥粒回収率を演算し、この演算結果が所定の値になる
ようにデカンタの回転数を制御する。従って、一次デカ
ンタまたは一次および二次デカンタの回転により実際に
回収された砥粒の率が演算され、それに基づいて一次デ
カンタまたは一次および二次デカンタの回転数制御が行
われる。このため、実際の砥粒回収状況に応じて、前記
の制御が行われるため、高精度制御が可能になる。
【０１２０】請求項１３に記載の発明では、砥粒回収率
に適正範囲を設定し、前記制御手段は演算された砥粒回
収率が適正範囲外のときデカンタの回転数を調節する。
従って、前述と同様に、砥粒回収率が適正範囲から外れ
た場合には、それが修正されるようにデカンタの回転数
が調節されるため、常に砥粒回収率が適正範囲に維持さ
れる。
に適正範囲を設定し、前記制御手段は演算された砥粒回
収率が適正範囲外のときデカンタの回転数を調節する。
従って、前述と同様に、砥粒回収率が適正範囲から外れ
た場合には、それが修正されるようにデカンタの回転数
が調節されるため、常に砥粒回収率が適正範囲に維持さ
れる。
【０１２１】請求項１４に記載の発明では、スラリ性状
検出手段には使用済みスラリの流路と一次デカンタ分離
後の濁分散液の流路と二次デカンタ分離後の使用可能な
分散液の流路とが切り換え可能に接続されている。従っ
て、単一のスラリ性状検出手段により、使用済みスラ
リ、濁分散液及び分離液の性状を検出することができる
ため、個別にスラリ性状検出手段を設ける必要がなく、
構成を簡単にできる。
検出手段には使用済みスラリの流路と一次デカンタ分離
後の濁分散液の流路と二次デカンタ分離後の使用可能な
分散液の流路とが切り換え可能に接続されている。従っ
て、単一のスラリ性状検出手段により、使用済みスラ
リ、濁分散液及び分離液の性状を検出することができる
ため、個別にスラリ性状検出手段を設ける必要がなく、
構成を簡単にできる。
【図１】 スラリ管理システムの第１の実施形態を示す
配管図。
配管図。
【図２】 同じく第１の実施形態の一次、二次デカンタ
の説明図。
の説明図。
【図３】 同じく第１の実施形態の電気的構成を示すブ
ロック図。
ロック図。
【図４】 同じく第１の実施形態の一次，二次デカンタ
の回転制御を示す一例としてのグラフ。
の回転制御を示す一例としてのグラフ。
【図５】 第１の実施形態の動作を示すフローチャー
ト。
ト。
【図６】 第２の実施形態の一次デカンタの補正制御を
示す一例としてのグラフ。
示す一例としてのグラフ。
【図７】 第２の実施形態の一次，二次デカンタの補正
制御を示す一例としてのグラフ。
制御を示す一例としてのグラフ。
【図８】 第２の実施形態の動作を示すフローチャー
ト。
ト。
【図９】 第３の実施形態の一次，二次デカンタの補正
制御を示す一例としてのグラフ。
制御を示す一例としてのグラフ。
【図１０】 第３の実施形態の動作を示すフローチャー
ト。
ト。
【図１１】 第４の実施形態を示す配管図。
【図１２】 第４の実施形態を示す一次デカンタの補正
制御を示す一例としてのグラフ。
制御を示す一例としてのグラフ。
【図１３】 第５の実施形態を示す配管図。
【図１４】 電気的構成を示すブロック図。
１１…調合槽、１３…ホッパ、１４…分散液槽、１９…
ワイヤソー、２０…スラリタンク、２５…廃スラリ貯
槽、２８…分離回収機構、３１…一次デカンタ、３２…
二次デカンタ、３７…スラリ性状検出手段を構成する第
１比重計、３８…スラリ性状検出手段を構成する第１粘
度計、３９…第１の分離液性状検出手段を構成する第２
比重計、４０…第１の分離液性状検出手段を構成する第
２粘度計、４１…第２の分離液性状検出手段を構成する
第３比重計、４２…第２の分離液性状検出手段を構成す
る第３粘度計、４５…制御手段を構成するＣＰＵ、４６
…制御手段を構成するＲＯＭ、４７…制御手段を構成す
るＲＡＭ、５１…一次デカンタ用モータ、５２…二次デ
カンタ用モータ、５５…スラリ性状検出手段を構成する
比重計、５６…スラリ性状検出手段を構成する粘度計、
５７〜６０，６２，６４，６６，６８，７０…バルブ、
６１…バイパス流路、６３…第１導入流路、６５…第１
導出流路、６７…第２導入流路、６９…第２導出流路、
７２…各バルブ用電磁石。
ワイヤソー、２０…スラリタンク、２５…廃スラリ貯
槽、２８…分離回収機構、３１…一次デカンタ、３２…
二次デカンタ、３７…スラリ性状検出手段を構成する第
１比重計、３８…スラリ性状検出手段を構成する第１粘
度計、３９…第１の分離液性状検出手段を構成する第２
比重計、４０…第１の分離液性状検出手段を構成する第
２粘度計、４１…第２の分離液性状検出手段を構成する
第３比重計、４２…第２の分離液性状検出手段を構成す
る第３粘度計、４５…制御手段を構成するＣＰＵ、４６
…制御手段を構成するＲＯＭ、４７…制御手段を構成す
るＲＡＭ、５１…一次デカンタ用モータ、５２…二次デ
カンタ用モータ、５５…スラリ性状検出手段を構成する
比重計、５６…スラリ性状検出手段を構成する粘度計、
５７〜６０，６２，６４，６６，６８，７０…バルブ、
６１…バイパス流路、６３…第１導入流路、６５…第１
導出流路、６７…第２導入流路、６９…第２導出流路、
７２…各バルブ用電磁石。
フロントページの続き (72)発明者 西田 高治 大阪府大阪市北区堂島浜２丁目２番８号 東洋紡績 株式会社内 (72)発明者 大森 一樹 神奈川県川崎市川崎区大川町２番１号 三 菱化工機 株式会社内
Claims (14)
- 【請求項１】 使用済みスラリをデカンタにより遠心分
離して使用可能な砥粒または使用可能な砥粒および分散
液を回収するようにしたスラリ管理システムにおいて、 使用済みスラリの性状を検出するスラリ性状検出手段
と、その検出結果に基づいてデカンタの回転速度を制御
する制御手段とを備えたスラリ管理システム。 - 【請求項２】 前記スラリ性状検出手段は、使用済みス
ラリの分離前の性状を検出し、その検出結果に応じて前
記制御手段はデカンタの回転数を制御する請求項１記載
のスラリ管理システム。 - 【請求項３】 スラリ性状検出手段は、使用済みスラリ
のデカンタによる分離後の性状を検出し、前記制御手段
は、そのスラリ性状検出手段の検出結果が所定の値にな
るようにデカンタの回転数を制御する請求項１に記載の
スラリ管理システム。 - 【請求項４】 スラリ性状検出手段は、比重および粘度
のうち少なくとも一方を検出する請求項１〜３のいずれ
かに記載のスラリ管理システム。 - 【請求項５】 スラリ性状検出手段は、使用済みスラリ
の分離前の比重および流量を検出するとともに、使用済
みスラリのデカンタによる分離後の比重および流量を検
出し、前記制御手段は両検出結果からデカンタによる砥
粒回収率を演算し、この演算結果が所定の値になるよう
にデカンタの回転数を制御する請求項１に記載のスラリ
管理システム。 - 【請求項６】 砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記制
御手段は演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデカ
ンタの回転数を調節する請求項５に記載のスラリ管理シ
ステム。 - 【請求項７】 使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分
散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁分散液を
微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する
二次デカンタとを備え、両デカンタによって使用済みス
ラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回収するよ
うにしたスラリ管理システムにおいて、 使用済みスラ
リの性状を検出するスラリ性状検出手段と、その検出結
果に基づいて、両デカンタのうち少なくとも一次デカン
タの回転速度を制御する制御手段とを備えたスラリ管理
システム。 - 【請求項８】 前記スラリ性状検出手段は、使用済みス
ラリの分離前の性状を検出し、その検出結果に応じて前
記制御手段はデカンタの回転数を制御する請求項７に記
載のスラリ管理システム。 - 【請求項９】 スラリ性状検出手段は、使用済みスラリ
の一次デカンタによる分離後の濁分散液の性状を検出
し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段の検出結
果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御する
請求項７に記載のスラリ管理システム。 - 【請求項１０】 スラリ性状検出手段は、使用済みスラ
リの二次デカンタによる分離後の分散液の性状を検出
し、前記制御手段は、そのスラリ性状検出手段の検出結
果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御する
請求項７に記載のスラリ管理システム。 - 【請求項１１】 スラリ性状検出手段は、比重および粘
度のうち少なくとも一方を検出する請求項７〜１０のい
ずれかに記載のスラリ管理システム。 - 【請求項１２】 スラリ性状検出手段は、使用済みスラ
リの分離前の比重および流量を検出するとともに、使用
済みスラリの一次デカンタまたは一次および二次デカン
タによる分離後の比重および流量を検出し、前記制御手
段はそれらの検出結果から一次デカンタまたは一次およ
び二次デカンタによる砥粒回収率を演算し、この演算結
果が所定の値になるようにデカンタの回転数を制御する
請求項７に記載のスラリ管理システム。 - 【請求項１３】 砥粒回収率に適正範囲を設定し、前記
制御手段は演算された砥粒回収率が適正範囲外のときデ
カンタの回転数を調節する請求項１２に記載のスラリ管
理システム。 - 【請求項１４】 スラリ性状検出手段には使用済みスラ
リの流路と一次デカンタ分離後の濁分散液の流路と二次
デカンタ分離後の使用可能な分散液の流路とが切り換え
可能に接続されている請求項１２に記載のスラリ管理シ
ステム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35754498A JP3408979B2 (ja) | 1997-12-26 | 1998-12-16 | スラリ管理システム |
| US09/218,839 US6322710B1 (en) | 1997-12-26 | 1998-12-22 | Slurry managing system and slurry managing method |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-360724 | 1997-12-26 | ||
| JP36072497 | 1997-12-26 | ||
| JP35754498A JP3408979B2 (ja) | 1997-12-26 | 1998-12-16 | スラリ管理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11267974A true JPH11267974A (ja) | 1999-10-05 |
| JP3408979B2 JP3408979B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=26580620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35754498A Expired - Lifetime JP3408979B2 (ja) | 1997-12-26 | 1998-12-16 | スラリ管理システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6322710B1 (ja) |
| JP (1) | JP3408979B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006181559A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Okumura Corp | 泥状物の脱水処理方法およびそのシステム |
| JP2006181561A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Okumura Corp | 泥状物の脱水処理方法およびそのシステム |
| JP2007283269A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Toda Constr Co Ltd | 泥水濃縮システム及び濃縮泥水の制御方法 |
| WO2010082447A1 (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-22 | 株式会社 安永 | スラリー再生装置及び方法 |
| CN113510597A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-10-19 | 杭州科技职业技术学院 | 一种蓝宝石介电泳抛光机用抛光液添加装置 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6615817B2 (en) * | 2000-03-31 | 2003-09-09 | Motoichi Horio | Recycling system of wire saw abrasive grain slurry and centrifugal separators therefor |
| EP1390184B1 (en) * | 2001-05-29 | 2005-08-17 | MEMC Electronic Materials S.P.A. | Method for treating an exhausted glycol-based slurry |
| US6802983B2 (en) * | 2001-09-17 | 2004-10-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Preparation of high performance silica slurry using a centrifuge |
| JP4369095B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | スラリ再生方法 |
| CA2396682C (en) * | 2002-08-02 | 2006-09-19 | Northland Energy Corporation | Method and apparatus for separating and measuring solids from multi-phase well fluids |
| AU2003291855B2 (en) * | 2003-01-10 | 2009-02-05 | Bm Alliance Coal Operations Pty Ltd | Method and apparatus for processing particulate material |
| AU2003900089A0 (en) * | 2003-01-10 | 2003-01-23 | Bm Alliance Coal Operations Pty Ltd | Method and apparatus for processing particulate material |
| ATE528054T1 (de) * | 2004-01-30 | 2011-10-15 | P M P O S R L | Anlage und verfahren zur behandlung eines kühlfluids in mechanischen bearbeitungsanlagen |
| ITRM20050329A1 (it) * | 2005-06-24 | 2006-12-25 | Guido Fragiacomo | Procedimento per il trattamento di sospensioni abrasive esauste per il recupero delle loro componenti riciclabili e relativo impianto. |
| US7820126B2 (en) * | 2006-08-18 | 2010-10-26 | Iosil Energy Corporation | Method and apparatus for improving the efficiency of purification and deposition of polycrystalline silicon |
| WO2009126922A2 (en) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | Iosil Energy Corp. | Methods and apparatus for recovery of silicon and silicon carbide from spent wafer-sawing slurry |
| US8425639B2 (en) * | 2008-05-30 | 2013-04-23 | Cabot Microelectronics Corporation | Wire saw slurry recycling process |
| US9556874B2 (en) | 2009-06-09 | 2017-01-31 | Pentair Flow Technologies, Llc | Method of controlling a pump and motor |
| WO2013025875A1 (en) * | 2011-08-18 | 2013-02-21 | 212 Resources | Distillation solids removal system and method |
| CN115301421B (zh) * | 2022-10-10 | 2022-12-30 | 苏州星亿机械有限公司 | 一种过滤离心机 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01316170A (ja) | 1988-06-13 | 1989-12-21 | Osaka Titanium Co Ltd | 切削加工法および砥液再利用装置 |
| DE3831771A1 (de) * | 1988-09-19 | 1990-03-29 | Heraeus Sepatech | Verfahren zum abtrennen von hochmolekularen substanzen aus fluessigen naehrmedien sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE4405829A1 (de) | 1994-02-23 | 1995-08-31 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur Rückgewinnung von Schneidkorn |
| JPH0839430A (ja) | 1994-07-22 | 1996-02-13 | Mitsubishi Materials Corp | シリコン切断廃液からの砥粒回収方法 |
| US5799643A (en) * | 1995-10-04 | 1998-09-01 | Nippei Toyama Corp | Slurry managing system and slurry managing method for wire saws |
| JP3222784B2 (ja) | 1995-10-04 | 2001-10-29 | 株式会社日平トヤマ | ワイヤソーのスラリー管理システム |
| JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 2001-08-13 | 信越半導体株式会社 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
| JP3249373B2 (ja) | 1996-02-21 | 2002-01-21 | 信越半導体株式会社 | 水溶性スラリー廃液の再利用システム |
| US5857955A (en) * | 1996-03-27 | 1999-01-12 | M-I Drilling Fluids L.L.C. | Centrifuge control system |
-
1998
- 1998-12-16 JP JP35754498A patent/JP3408979B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-22 US US09/218,839 patent/US6322710B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006181559A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Okumura Corp | 泥状物の脱水処理方法およびそのシステム |
| JP2006181561A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Okumura Corp | 泥状物の脱水処理方法およびそのシステム |
| JP2007283269A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Toda Constr Co Ltd | 泥水濃縮システム及び濃縮泥水の制御方法 |
| WO2010082447A1 (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-22 | 株式会社 安永 | スラリー再生装置及び方法 |
| JP2010162640A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Yasunaga Corp | スラリー再生処理装置及び方法 |
| CN113510597A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-10-19 | 杭州科技职业技术学院 | 一种蓝宝石介电泳抛光机用抛光液添加装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3408979B2 (ja) | 2003-05-19 |
| US6322710B1 (en) | 2001-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11267974A (ja) | スラリ管理システム | |
| US6113473A (en) | Method and apparatus for improved wire saw slurry | |
| US6607659B2 (en) | Drilling mud reclamation system with mass flow sensors | |
| US4533474A (en) | Method for separating immiscible fluids of different specific gravities | |
| US8794448B2 (en) | Separation device | |
| EP0213838A1 (en) | Flow meters | |
| US20070082802A1 (en) | Method and device for preventing blockages in the flow paths of a separator | |
| JPS6327988B2 (ja) | ||
| US4505697A (en) | Underflow concentration control for nozzle centrifuges | |
| US2596616A (en) | Method and system for separating solids from liquids | |
| EP0166582B1 (en) | Method of separating solid particles from a liquid | |
| JP3222784B2 (ja) | ワイヤソーのスラリー管理システム | |
| JPH11309674A (ja) | スラリ管理システム | |
| CN103237628A (zh) | 线锯的浆料管理装置 | |
| JPS6099090A (ja) | 受容物と排棄物との分離方法 | |
| WO1987001968A1 (en) | Treatment of multi-phase mixtures | |
| CA2399443C (en) | Centrifugal separator | |
| US4138332A (en) | Method and device for dewatering solid suspensions | |
| EP0615468B1 (en) | Centrifugal separator | |
| US2534656A (en) | Grinding mill control | |
| JP3006871B2 (ja) | スクリューデカンタ型遠心分離機の汚泥脱水運転制御装置 | |
| JP2829662B2 (ja) | 遠心分級装置 | |
| EP1010509A2 (en) | Slurry managing system and slurry managing method | |
| Alt | Centrifuges for sludge treatment | |
| JP3411813B2 (ja) | スラリ管理システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080314 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 10 |