JPH11265974A - 電力用半導体モジュール - Google Patents

電力用半導体モジュール

Info

Publication number
JPH11265974A
JPH11265974A JP6644198A JP6644198A JPH11265974A JP H11265974 A JPH11265974 A JP H11265974A JP 6644198 A JP6644198 A JP 6644198A JP 6644198 A JP6644198 A JP 6644198A JP H11265974 A JPH11265974 A JP H11265974A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power semiconductor
semiconductor module
current
rogowski coil
case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6644198A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Mabuchi
浩二 馬渕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP6644198A priority Critical patent/JPH11265974A/ja
Publication of JPH11265974A publication Critical patent/JPH11265974A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Abstract

(57)【要約】 【課題】電力用半導体モジュールに通電する電流を容易
に測定ができる様、電流波形検出機能を予め実装した電
力用半導体モジュールを提供することにある。 【解決手段】従来から使用されている電力用半導体モジ
ュールの内部にRogowskiコイルを実装して電流検出用の
出力端子を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電力用半導体モジュ
ールに流れる電流を検出できる端子を組み込んだ電力用
半導体モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図1において電力用半導体モジュールは
ベース材9の上に絶縁基板8(材料:Al23,AlN
等),銅箔7,Siペレット6を搭載し、外部端子には
ワイヤーボンディング,リード線を経由して接続され樹
脂ケース4で覆ってモジュール化したものである。電力
用半導体モジュールは高電圧,大電流を通電することが
可能である。従来技術として異常な発熱や過電流を検知
しモジュールに通電する電流を自己遮断する機能を持っ
たモジュールは存在するが、本発明のように機構が簡単
なRogowskiコイルを用いて電流を検知する機能を備えた
電力用半導体モジュールは存在しなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】設計上または検査上、
通電電流の大きい電力用半導体モジュールを製品に組み
込み通電電流を測定する場合、回路上に電流プローブ,
ホールCT等により電流波形の測定を行い動作確認を実
施する。この時、電力用半導体モジュールの製品に組み
込む実装状態によっては電流プローブを設置できるだけ
のスペースがない場合もあり製品状態での通電波形の評
価ができなくなる欠点がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、電力用
半導体モジュールの外部端子をモールドしているケース
内部にRogowskiコイルを予め組み込んだ点にある。この
Rogowskiコイルを組み込んだモジュールはケースの上面
にRogowskiコイルの出力端子を設けるだけであり従来か
ら使用されている電力用半導体モジュールの製造手法で
の組み込みが可能である。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例に基
づいて詳細に説明する。
【0006】図1において電力用半導体モジュールのベ
ース9に絶縁基板8,銅箔7,Siペレット6をはんだ
接続して回路を形成する。回路の入出力はリード端子1
にて行う。なお、電力用半導体モジュールの形状及びサ
イズは、電流容量の違いや、Siペレットの組み込み数
によって異なる。
【0007】図の一例に示すようなリード端子1を包み
込むようにRogowskiコイル10をケース4に装着するこ
とによって電力用半導体モジュールに流れる電流を検出
できる機能を持たせることができる。なお、Rogowskiコ
イルの形状,寸法についてはリード端子の形状によって
異なる。検出する電流波形はRogowskiコイル出力端子2
から取り込み外部と接続する。
【0008】図2に半導体素子に組み込んだRogowskiコ
イルからの電流波形の表示方法を示す。通電する信号を
ゲート信号発生器15により与え、電力用半導体モジュ
ール12は動作する。モジュールのリード端子に流れる
電流は電流の時間的変化によってRogowskiコイルに誘導
される電圧が発生するためその出力電圧を出力電流積分
器13により積分し出力波形モニタ14(オシロスコー
プ等)に表示する。
【0009】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば設
計開発段階,製品検査時に電流プローブ等測定器を設置
しなくても電力半導体モジュールに流れる電流を測定す
ることが簡単にできる。Rogowskiコイルの出力電圧を積
分する回路が別途必要になるが、高密度に実装されてい
る製品の電力用半導体モジュールの電流測定を行う場合
には特に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す電力用半導体モジュー
ルの断面図である。
【図2】本発明のブロック図で検出電流波形を表示モニ
タに表示できるまでの機器構成を表わした図である。
【符号の説明】
1…リード端子、2…Rogowski出力端子、3…ゲート信
号端子、4…ケース、5…ケース封止材、6…Siペレ
ット(IGBT,トランジスタ等)、7…電極、8…絶
縁基板(Al23,AlN等)、9…ベース、10…Ro
gowskiコイル、11…ナット。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電力用半導体モジユールに流れる電流を検
    出するRogowskiコイルを該モジュールに組み込み、該コ
    イルに電流検出出力端子を設けたことを特徴とする電力
    用半導体モジュ−ル。
JP6644198A 1998-03-17 1998-03-17 電力用半導体モジュール Pending JPH11265974A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6644198A JPH11265974A (ja) 1998-03-17 1998-03-17 電力用半導体モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6644198A JPH11265974A (ja) 1998-03-17 1998-03-17 電力用半導体モジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11265974A true JPH11265974A (ja) 1999-09-28

Family

ID=13315876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6644198A Pending JPH11265974A (ja) 1998-03-17 1998-03-17 電力用半導体モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11265974A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344225B1 (ko) * 1999-12-28 2002-07-24 주식회사 케이이씨 전력 반도체 모듈의 수분침투 방지장치
US6724599B2 (en) 2001-06-19 2004-04-20 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Power semiconductor device
JP2008224339A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Mitsubishi Electric Corp 閉磁路型電流検出器を回路基板に実装したパワー機器
US11169186B2 (en) * 2016-12-21 2021-11-09 Ngk Insulators, Ltd. Heat-resistance element for current detection
US11303209B2 (en) 2017-09-29 2022-04-12 Nidec Corporation Power module and DC-DC converter

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344225B1 (ko) * 1999-12-28 2002-07-24 주식회사 케이이씨 전력 반도체 모듈의 수분침투 방지장치
US6724599B2 (en) 2001-06-19 2004-04-20 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Power semiconductor device
JP2008224339A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Mitsubishi Electric Corp 閉磁路型電流検出器を回路基板に実装したパワー機器
US11169186B2 (en) * 2016-12-21 2021-11-09 Ngk Insulators, Ltd. Heat-resistance element for current detection
US11303209B2 (en) 2017-09-29 2022-04-12 Nidec Corporation Power module and DC-DC converter

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4988220B2 (ja) 表面実装式集積電流センサ
US5557195A (en) Method and apparatus for evaluating electrostatic discharge conditions
JP2001015655A (ja) パワーmosfetダイと、小型感知mosfetを備えた制御および保護回路ダイとを有するハイブリッドパッケージ
JPH09148523A (ja) 半導体装置
JP2008051704A (ja) 電流センサ
US9128125B2 (en) Current sensing using a metal-on-passivation layer on an integrated circuit die
CN110346628B (zh) 晶体管装置和制造晶体管装置的方法
JPH11265974A (ja) 電力用半導体モジュール
JP2006032184A (ja) バッテリ状態検知ユニット
US10184958B2 (en) Current sensor devices and methods
JP2000060105A (ja) モジュール内温度検出装置
US20100236334A1 (en) Multiple layer strain gauge
KR200356237Y1 (ko) 홀소자를 이용한 전류센서
KR100396344B1 (ko) 모니터용 저항 소자 및 저항 소자의 상대적 정밀도의 측정방법
JP2001091596A (ja) 大規模集積回路の非接触計測装置
JP2005308503A (ja) 半導体センサ
JP2005003601A (ja) ハイブリッドセンサ
JP2001091613A (ja) 磁気センサ用マルチチップモジュール
KR100533569B1 (ko) 테스트용 반도체 패키지 및 그 제조 방법
JP3477002B2 (ja) 半導体装置
JP2715603B2 (ja) 半導体装置
JPH04102365A (ja) ダイオード
JP2002156407A (ja) 半導体測定装置のソケット台座
JP2005121471A (ja) 電流センサ
JPH1090356A (ja) 半導体装置