JPH11260901A - ウェハキャリア - Google Patents
ウェハキャリアInfo
- Publication number
- JPH11260901A JPH11260901A JP6540898A JP6540898A JPH11260901A JP H11260901 A JPH11260901 A JP H11260901A JP 6540898 A JP6540898 A JP 6540898A JP 6540898 A JP6540898 A JP 6540898A JP H11260901 A JPH11260901 A JP H11260901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- static electricity
- leg portions
- legs
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 摩擦に伴う静電気の発生を抑えて半導体ウェ
ハキャリアの歩留まりを向上するとともに強度の低下を
抑える。 【解決手段】 ４本の脚部６〜６によってウェハキャリ
アを支持する事により作業台等との接触面積を小さく
し、各脚部の底面形状を鉤形にすることによって強度の
低下を抑える。
ハキャリアの歩留まりを向上するとともに強度の低下を
抑える。 【解決手段】 ４本の脚部６〜６によってウェハキャリ
アを支持する事により作業台等との接触面積を小さく
し、各脚部の底面形状を鉤形にすることによって強度の
低下を抑える。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は半導体ウェハを収納運搬す
るためのウェハキャリアに関するものである。
るためのウェハキャリアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体生産工場においては、円形の半導
体ウェハはウェハキャリアに収納されて運搬されてい
る。一般に用いられているウェハキャリアはプラスチッ
クで作られており、図３に示すように対向する側面のそ
れぞれに複数条の溝を垂直方向に形成してあり、この各
溝にウェハ１の両端を差し込んで収納する構成となって
いる。そして上記各側面の下方に上記側面に沿った形状
の２本の支持脚２，２が形成されている。
体ウェハはウェハキャリアに収納されて運搬されてい
る。一般に用いられているウェハキャリアはプラスチッ
クで作られており、図３に示すように対向する側面のそ
れぞれに複数条の溝を垂直方向に形成してあり、この各
溝にウェハ１の両端を差し込んで収納する構成となって
いる。そして上記各側面の下方に上記側面に沿った形状
の２本の支持脚２，２が形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記２本の支持脚２，
２は上記側面の一端から他端まで延伸して形成されてお
り、作業台等にウェハキャリアを載置したり作業台上で
ウェハキャリアを動かす際には、支持脚の延伸方向に引
きずることが多々ある。ウェハキャリアはプラスチック
でできており、しかも支持脚と作業台との接触面積が大
きいため、作業台との摩擦による静電気が帯電し、ウェ
ハ上に形成された集積回路に悪影響を及ぼすことがあっ
た。たとえば、静電気によってトランジスタ等の素子が
破壊され、歩留まりが低下するという問題点があった。
２は上記側面の一端から他端まで延伸して形成されてお
り、作業台等にウェハキャリアを載置したり作業台上で
ウェハキャリアを動かす際には、支持脚の延伸方向に引
きずることが多々ある。ウェハキャリアはプラスチック
でできており、しかも支持脚と作業台との接触面積が大
きいため、作業台との摩擦による静電気が帯電し、ウェ
ハ上に形成された集積回路に悪影響を及ぼすことがあっ
た。たとえば、静電気によってトランジスタ等の素子が
破壊され、歩留まりが低下するという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の半導体
ウェハを収納可能なウェハキャリアにおいて、上記ウェ
ハキャリアを支持する４本の脚部を有し、上記各脚部は
これらで形成される４角形の角部に沿った鉤形又は円弧
状の底面形状を有することにより、上記課題を解決する
ものである。
ウェハを収納可能なウェハキャリアにおいて、上記ウェ
ハキャリアを支持する４本の脚部を有し、上記各脚部は
これらで形成される４角形の角部に沿った鉤形又は円弧
状の底面形状を有することにより、上記課題を解決する
ものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】ウェハキャリアを４本の脚部で支
持することにより、作業台等との接触面積を小さくして
静電気の発生を抑え、かつ各脚部の底面形状を鉤形又は
円弧状とすることにより、強度を補強している。
持することにより、作業台等との接触面積を小さくして
静電気の発生を抑え、かつ各脚部の底面形状を鉤形又は
円弧状とすることにより、強度を補強している。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【０００７】図１において、プラスチックからなるウェ
ハキャリア３の両側面にはそれぞれ垂直方向に複数条の
溝４〜４が形成してあり、この溝４内に半導体ウェハ５
の両端が差し込まれて収納される。ウェハキャリア３の
底面には４本の脚部６〜６が形成してある。各脚部６〜
６は図２（図１の底面を示す。）に示すように底面形状
が鉤形になるように形成することにより、十分な強度が
確保されている。各脚部６〜６の底面積の総和は図３の
脚部２，２の底面積の総和より小さくなるように形成し
てある。従って作業台等との接触面積が図３のものより
小さくなり、作業台等との摩擦による静電気の発生を抑
えることができる。
ハキャリア３の両側面にはそれぞれ垂直方向に複数条の
溝４〜４が形成してあり、この溝４内に半導体ウェハ５
の両端が差し込まれて収納される。ウェハキャリア３の
底面には４本の脚部６〜６が形成してある。各脚部６〜
６は図２（図１の底面を示す。）に示すように底面形状
が鉤形になるように形成することにより、十分な強度が
確保されている。各脚部６〜６の底面積の総和は図３の
脚部２，２の底面積の総和より小さくなるように形成し
てある。従って作業台等との接触面積が図３のものより
小さくなり、作業台等との摩擦による静電気の発生を抑
えることができる。
【０００８】なお、脚部６〜６の底面形状は上記のよう
に角部が直角になっているものに限らず、丸みを持たせ
てもよいし、直線部のない円弧状に形成してもよい。
に角部が直角になっているものに限らず、丸みを持たせ
てもよいし、直線部のない円弧状に形成してもよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、脚部が作業台等と接触
する面積が小さくなるので、静電気の発生を抑えること
ができ、半導体ウェハの歩留まりを向上することができ
る。しかも脚部の底面形状が鉤形又は円弧状に形成して
あるため、十分な強度が得られる。
する面積が小さくなるので、静電気の発生を抑えること
ができ、半導体ウェハの歩留まりを向上することができ
る。しかも脚部の底面形状が鉤形又は円弧状に形成して
あるため、十分な強度が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示した斜視図
【図２】図１の底面を示した説明図
【図３】従来のウェハキャリアを示した斜視図
３ ウェハキャリア ４ 溝 ５ 半導体ウェハ ６ 脚部
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の半導体ウェハを収納可能なウェハ
キャリアにおいて、上記ウェハキャリアを支持する４本
の脚部を有し、上記各脚部はこれらで形成される４角形
の角部に沿った鉤形又は円弧状の底面形状を有するもの
であることを特徴とするウェハキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540898A JPH11260901A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ウェハキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540898A JPH11260901A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ウェハキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260901A true JPH11260901A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13286186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6540898A Withdrawn JPH11260901A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ウェハキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11260901A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111300838A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-19 | 北京市塑料研究所 | 晶圆承载器的制造方法及晶圆承载器 |
-
1998
- 1998-03-16 JP JP6540898A patent/JPH11260901A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111300838A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-19 | 北京市塑料研究所 | 晶圆承载器的制造方法及晶圆承载器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |