JPH11255585A

JPH11255585A - 石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方法

Info

Publication number: JPH11255585A
Application number: JP8036498A
Authority: JP
Inventors: Junichi Matsubara; 順一松原; Hirotoshi Yamagishi; 浩利山岸
Original assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Current assignee: Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 1999-09-21

Abstract

(57)【要約】【課題】限られたスペース内で、大重量かつ大径の石
英ルツボを洗浄し、反転し、カーボンルツボサセプタに
収納する動作を人力を用いずに、かつ汚染の影響を受け
ることなく行うことのできる石英ルツボ洗浄・収納用ハ
ンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方法を提供
する。【解決手段】洗浄装置１０、反転装置２０、収納装置
３０を密接に隣接して配置し、これら相互の結合は、石
英ルツボ５０を載置したパレット４０が隣接して配置さ
れた洗浄装置、反転装置、収納装置間を移動可能なよう
に設けられたレール１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、
３６Ａ、３６Ｂにより達成され、レールは反転装置と収
納装置内でそれぞれ昇降可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶棒を成長さ
せつつ引き上げる単結晶成長装置に用いられる石英ルツ
ボを、使用前に洗浄したり、所定のサセプタに収納する
ためのハンドリング装置及び石英ルツボハンドリング方
法に関し、特に引上げＣＺ（Czochralski）法により大
径のＳｉ（シリコン）の単結晶を製造するための単結晶
成長装置に用いる石英ルツボの洗浄・収納に適した石英
ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置及び石英ルツボハ
ンドリング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、引上げＣＺ法による単結晶製造
装置では、高耐圧気密チャンバ内を１０torr程度に減圧
して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流すとともに、チャ
ンバ内の下方に設けられた石英ルツボ内の多結晶を加熱
して溶融し、この融液の表面に種結晶を上から浸漬し、
種結晶と石英ルツボを回転、上下移動させながら種結晶
を引き上げることにより、種結晶の下に上端が突出した
円錐形の上部コーン部と、円筒形のボディー部と下端が
突出した円錐形の下部コーン部より成る単結晶（いわゆ
るインゴット）を成長させるように構成されている。

【０００３】従来の１０数インチ程度の径の単結晶棒を
成長させるためには、口径が２４インチ程度の石英ルツ
ボが使用されている。かかる石英ルツボを結晶成長炉に
装填する前に、洗浄する必要があり、またその後、乾燥
させ、所定のカーボンルツボサセプタに収納する必要が
ある。従来のかかる石英ルツボの重量が約２０ｋｇ程度
であり、石英ルツボを洗浄し、乾燥し、その後天地を反
転して所定のカーボンルツボサセプタに収納するといっ
た、一連の動作を人間の手作業で行っていた。また、こ
れらの作業は、各々独立した工程として行う方式が採ら
れていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、単結晶
引上げ方法により製造される単結晶の直径を増加させ
た、いわゆる大径の単結晶インゴットが製造されようと
種々試みられている。かかる大径の単結晶棒を成長させ
る単結晶引上げ装置では、石英ルツボを大型化せざるを
得ず、例えば口径３６インチの石英ルツボの重量は約７
０ｋｇにもなる。このような大重量の石英ルツボを人間
の手により持ち上げたり、反転させたり、所定のカーボ
ンルツボサセプタに収納することは到底不可能であり、
洗浄・乾燥装置、反転装置、カーボンルツボサセプタへ
の収納装置をそれぞれ別個に設けると、全体としてのス
ペースが相当広く必要となり、工場建設の上で大きなコ
ストアップの原因となっていた。また、各工程が独立し
ていて、作業領域が異なると、せっかく洗浄した石英ル
ツボが使用前に汚染されてしまうという危険があった。

【０００５】本発明は上記従来の問題点に鑑み、限られ
たスペース内で、大重量かつ大径の石英ルツボを洗浄
し、反転し、カーボンルツボサセプタに収納する動作を
人力を用いずに、かつ汚染の影響を受けることなく行う
ことのできる石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置
及び石英ルツボハンドリング方法を提供することを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、洗浄装置、反転装置、収納装置を有機的に
配置して相互に結合させることにより、限られたスペー
ス内で、大重量かつ大径の石英ルツボを洗浄し、反転
し、カーボンルツボサセプタに収納する動作を人力を用
いずに、かつ汚染の影響を受けることなく行うことを可
能としている。上記有機的結合は、洗浄装置、反転装
置、収納装置を密接に隣接して配置することにより達成
され、また相互の結合は、石英ルツボを載置したパレッ
トが隣接して配置された洗浄装置、反転装置、収納装置
間を移動可能なように設けられた、洗浄装置、反転装
置、収納装置にわたって伸長するレールにより達成され
る。

【０００７】すなわち本発明によれば、石英ルツボを、
開口部が下方の状態で洗浄可能な洗浄装置と、前記洗浄
装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを反転させ、
開口部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記
反転装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを所定の
サセプタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置
したパレットが前記洗浄装置から前記反転装置へ、前記
反転装置から前記収納装置へと移動可能なように、これ
ら前記３つの装置間に配されたレール手段とを、有する
石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置が提供され
る。

【０００８】また本発明によれば、石英ルツボを、開口
部が下方の状態で洗浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置
に隣接して配置され、前記石英ルツボを反転させ、開口
部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転
装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを所定のサセ
プタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置可能
なパレットと、前記石英ルツボを載置した前記パレット
が前記洗浄装置から前記反転装置へ、前記反転装置から
前記収納装置へと移動可能なように、これら前記３つの
装置間に配されたレール手段とを、有する石英ルツボ洗
浄・収納用ハンドリング装置が提供される。

【０００９】また本発明によれば、石英ルツボを、開口
部が下方の状態で洗浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置
に隣接して配置され、前記石英ルツボを反転させ、開口
部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転
装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを所定のサセ
プタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置した
パレットが前記洗浄装置から前記反転装置へ、前記反転
装置から前記収納装置へと移動可能なように、これら前
記３つの装置間に配されたレール手段とを有する石英ル
ツボ洗浄・収納用ハンドリング装置により石英ルツボを
取り扱う石英ルツボハンドリング方法であって、前記レ
ール手段上に移動可能に載置されている前記パレット上
に前記石英ルツボを載置するステップと、前記パレット
前記洗浄装置内に移動させるステップと、前記石英ルツ
ボを洗浄するステップと、前記石英ルツボを乾燥させる
ステップと、前記パレットを前記洗浄装置から前記反転
装置内に移動させるステップと、前記石英ルツボを外方
から保持するステップと、前記石英ルツボを前記パレッ
トから相対的に離間させるステップと、前記石英ルツボ
を１８０度回転させて開口部が上方とするステップと、
前記石英ルツボを前記パレット上に載置するステップ
と、前記パレットを前記反転装置から前記収納装置内に
移動させるステップと、前記石英ルツボの開口部近傍を
外方から保持するステップと、前記石英ルツボを下降さ
せ、サセプタ内に収納するステップとを、有する石英ル
ツボハンドリング方法が提供される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る石英ルツボ洗
浄・収納用ハンドリング装置の側面図である。図２は、
図１中の線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。図３は、
石英ルツボを載置するパレットの平面図、図４は図３中
の線Ｂ−Ｂ’で切断した断面図である。図５はパレット
に石英ルツボが、その開口部が下方の状態で載置された
状態を示す側面図であり、図６はパレットに石英ルツボ
が開口部が上方の状態で載置された状態を示す側面図で
ある。

【００１１】図１において、洗浄装置１０、反転装置２
０、収納装置３０が順次隣接して、直列に配列されてい
る。これらの各装置１０、２０、３０は堅牢な金属製フ
レームにより、その外形が構成されている。洗浄装置１
０には、水と空気を吹き出すノズル１４が、その開口部
を上方に向けて、中央部に配置されている。また、水と
空気を吹き出すもう１つのノズル１３が、その開口部を
下方に向けて、中央部に配置されている。ノズル１３、
１４には圧縮ポンプ１２から水と空気が供給される。な
お、圧縮ポンプ１２は洗浄装置１０の外部に配置しても
よい。

【００１２】反転装置２０にはハンド装置２２が設けら
れている。ハンド装置２２は、駆動装置２９から伸長す
るアーム２４に回動可能に取り付けられ、後述する図１
０に示すように、石英ルツボ５０を外方から１８０度で
対向して挟み込むような２つの部材を有している。すな
わち、ハンド装置２２は、石英ルツボ５０に対して半径
方向に移動可能であり、かつ上下方向に昇降可能であ
る。さらに、ハンド装置２２はアーム２４に対して図１
中、矢印Ｒで示されるように、１８０度回転可能であ
る。すなわち、駆動装置２９は、ハンド装置２２がこれ
らの動きをするための駆動力源があり、石英ルツボ５０
を確実に保持するために、ハンド装置２２内のエアシリ
ンダに圧縮空気を送る機構を有している。

【００１３】収納装置３０にもハンド装置３２が設けら
れている。こちらのハンド装置３２は石英ルツボ５０の
開口部近傍、例えば開口部の淵から３ｃｍ程度以内の部
分を外方から確実に把持する複数の把持部を有してい
る。なお、図１中に、石英ルツボ５０はパレット４０に
載置された状態で点線で示されている。ハンド装置３２
は、駆動装置３９から伸長するアーム３４に取り付けら
れ、後述する図１４〜１８に示すように、石英ルツボ５
０を外方から放射方向、半径内方向に挟み込むような複
数（本実施の形態では６つが示されているが８つ程度と
することが好ましい）の部材を有している。ハンド装置
３２は、石英ルツボ５０に対して半径方向に移動可能で
あり、かつ上下方向に昇降可能である。駆動装置３９
は、ハンド装置３２がこれらの動きをするための駆動力
源があり、石英ルツボ５０を確実に保持するために、ハ
ンド装置３２内のエアシリンダに圧縮空気を送る機構を
有している。

【００１４】図２に示されてるように、上記各装置１
０、２０、３０には、平行な２本のレール１６Ａ、１６
Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂがそれぞれ設けら
れている。これらのレールはレール手段を構成するが、
各装置１０、２０、３０毎に分離して設けられている。
洗浄装置１０内の２本のレール１６Ａ、１６Ｂは洗浄装
置１０のフレームに固定されている。一方、反転装置２
０内のレール２６Ａ、２６Ｂは上下に昇降可能であり、
また、収納装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂも上下に
昇降可能である。すなわち、レール２６Ａ、２６Ｂは駆
動装置２１にリンク２３を介して接続され、図示省略の
垂直ガイドに沿って移動可能である。また、レール３６
Ａ、３６Ｂも駆動装置３１にリンク３３を介して接続さ
れ、図示省略の垂直ガイドに沿って移動可能である。

【００１５】これらのレール２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、
３６Ｂ又は石英ルツボ５０の高さ位置を検出する位置セ
ンサ２８、３８がそれぞれ反転装置２０と収納装置３０
に設けられている。これらの位置センサ２８、３８の出
力信号は、それぞれ制御装置２７、３７に接続され、そ
の出力信号が駆動装置２１、３１にそれぞれ供給され、
よってレール２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの高さ位
置情報がフィードバックされて高さ制御が行われる。な
お、リンク２３、３３は、１つずつ示されているが、反
転装置２０内の１本のレールについて、その両端近傍の
２ヵ所に、また同様に収納装置３０内の１本のレールに
ついて、その両端近傍の２ヵ所に設け、反転装置２０内
の４つのリンクが同一の駆動源により駆動されてレール
２６Ａ、２６Ｂを完全に水平な状態で昇降させ、同様に
収納装置３０内の４つのリンクが同一の駆動源により駆
動されてレール３６Ａ、３６Ｂを完全に水平な状態で昇
降させるよう構成することが好ましい。

【００１６】収納装置３０内のレール３６Ａ、３６Ｂ
は、エアシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１
２Ｄのピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄに取り
付けられ、ピストンピストン７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、
７２Ｄの往復運動に従って、レール３６Ａ、３６Ｂ相互
間の距離が変化するように構成されている。なお、各エ
アシリンダ１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄは
同期運転されるよう、図示省略の制御装置により空気圧
が制御される。なお、エアシリンダ１１２Ａ、１１２
Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄに代えて回転ネジシャフトとボ
ールネジを組み合わせた構成を用いることもできる。

【００１７】後述するように石英ルツボ５０は図５、図
６に示されるようにパレット４０に載置されて石英ルツ
ボ洗浄・収納用ハンドリング装置のレール手段上を移動
する。このパレット４０の構造について図３、図４に沿
って説明する。パレット４０はフレーム４２と、このフ
レーム４２から内部に伸長する４本の外側ビーム４３
Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄと、外側ビーム４３Ａ、４
３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄに囲まれた四角形の内部に井げた
状に組み合わされているＸ方向とＹ方向のそれぞれ２本
のビーム４４Ａ、４４Ｂ、４６Ａ、４６Ｂを有してい
る。４本の外側ビーム４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ
には、石英ルツボ５０を載置する際の当接部となる当接
部材４７が合計で８個設けられている。

【００１８】また、ビーム４４Ａ、４４Ｂ、４６Ａ、４
６Ｂにはそれぞれ、石英ルツボ５０を載置する際の当接
部となる当接部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂが４
個設けられている。当接部材４７は、図５に示すように
石英ルツボ５０の開口部が下方の状態で、載置する際に
用いられ、一方当接部材４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９
Ｂは、図６に示すように石英ルツボ５０の開口部が上方
の状態で載置する際に用いられる。なお、これらの当接
部材４７、４８Ａ、４８Ｂ、４９Ａ、４９Ｂは他の図で
は省略され、石英ルツボ５０がパレット４０上に直接載
置されているように示されている。パレット４０のフレ
ーム４２は、レール１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、
３６Ａ、３６Ｂ上に回転可能に取り付けられた車輪の上
を滑走するよう構成されている。なお、レール１６Ａ、
１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂに車輪を設け
る代りに、パレット４０のフレーム４２の底面に車輪を
設けてもよい。なお、このパレット４０は主要部がフレ
ーム４２と棒状のビームにより構成されているので、洗
浄装置１０での洗浄時やその後の乾燥工程で、水分が容
易に落下でき、水はけがよい。また、中央部には、パレ
ット４０が洗浄装置１０内にあるとき、ノズル１４を挿
入するための中央開口部７０が設けられている。

【００１９】次に本実施の形態の石英ルツボ洗浄・収納
用ハンドリング装置の動作について説明する。なお、図
７から図２１は図１、図２に対応しているが、動作説明
上不要な要素は図示省略している。まず、図７に示すよ
うに収納装置３０のレール３６Ａ、３６Ｂを最下位置に
移動させ、石英ルツボ５０を開口部が下になる状態で、
レール３６Ａ、３６Ｂ上に移動可能に載置されたパレッ
ト４０上に載置する。このとき、図５に示すように８個
の当接部材４７により石英ルツボ５０の開口部の周辺が
支持される。次に、図７中の矢印Ｍ１で示すように、レ
ール３６Ａ、３６Ｂを上昇させ、図８に示す基準位置と
する。ここで基準位置とは、洗浄装置１０内のレール１
６Ａ、１６Ｂの高さ位置と同一高さをいうものとする。
なお、このとき、反転装置２０内のレール２６Ａ、２６
Ｂは基準位置にあるものとする。次に、図８の矢印Ｍ２
で示すようににパレット４０を収納装置３０から反転装
置２０内へ、さらに図９の矢印Ｍ３で示すように洗浄装
置１０内へと手動で移動させる。手動に代えて駆動モー
タなどを用いることもできる。

【００２０】図９の状態で、ノズル１３、１４から噴出
する水と空気により、石英ルツボ５０の内外を洗浄す
る。洗浄時間は必要に応じ２０分から２時間程度であ
る。洗浄が完了すると、図示省略の熱風供給装置によ
り、熱風を石英ルツボ５０に与えて乾燥を約２時間程度
行う。乾燥工程が完了すると、図１０の矢印Ｍ４で示す
ようにパレット４０が洗浄装置１０から反転装置２０内
へと引き出される。パレット４０が反転装置２０内のＸ
方向上の所定位置にて停止するよう、図示省略のストッ
パが設けられている。なお、ストッパに代えて位置決め
センサを用いるようにしてもよい。

【００２１】パレット４０のＸ方向上の位置が決まる
と、ハンド装置２２により石英ルツボ５０の外周部を１
８０度で対向する両側から挟み込むように保持する。こ
のとき、できるだけ石英ルツボ５０の高さ方向の重心位
置で挟み込むために、石英ルツボ５０の高さ情報から重
心高さをあらかじめ演算して、自動的にその位置にハン
ド装置２２の中心がくるように必要な情報を駆動装置２
９の制御装置内のメモリに与えておく。ハンド装置２２
が確実に石英ルツボ５０を保持した後、レール２６Ａ、
２６Ｂを図１１の矢印Ｍ５で示すように、所定距離だけ
下降させる。したがって、パレット４０はレール２６
Ａ、２６Ｂと共に下降し、石英ルツボ５０から離間する
こととなる。

【００２２】またハンド装置２２を図１１の矢印Ｍ６で
示すように、所定距離だけ上昇させる。矢印Ｍ５、Ｍ６
で示すこの下降と上昇動作は、石英ルツボ５０を図１１
に示す矢印Ｒで示すようにように回転させる際、パレッ
ト４０が邪魔にならないようにするためであり、よって
この２つの動作を双方とも行うかあるいは、いずれ一方
だけでもよい。ただし、パレット４０を下降させること
により石英ルツボ５０の回転のための空間を提供するこ
とは、反転装置２０の全高を大きくせずにこの空間を得
ることができるという利点がある。

【００２３】石英ルツボ５０が図１１の矢印Ｒで示すよ
うに回転できる空間ができた後、ハンド装置２２により
矢印Ｒ方向に１８０度回転させて図１２の状態とする。
次に図１２の矢印Ｍ７で示すように、反転装置２０内の
レール２６Ａ、２６Ｂを上昇させ、図１３に示すように
パレット４０上に石英ルツボ５０が載置されるところま
で上昇させる。ここでハンド装置２２を石英ルツボ５０
から離して、石英ルツボ５０をパレット４０上に載せ
る。その後、反転装置２０のレール２６Ａ、２６Ｂの高
さ位置を収納装置３０のレール３６Ａ、３６Ｂの高さ位
置に合わせるべく図１３の矢印Ｍ８で示すように、上昇
又は下降させる。高さ位置が一致したら、矢印Ｍ９で示
すようにパレット４０を反転装置２０から収納装置３０
内へ移動させる。この移動も先程のように手動で行う
か、あるいはモータなどを用いて自動的に行うことがで
きる。パレット４０が収納装置３０内のＸ方向上の所定
位置にて停止するよう、図示省略のストッパが設けられ
ている。なお、ストッパに代えて位置決めセンサを用い
るようにしてもよい。

【００２４】石英ルツボ５０の位置決めが完了すると、
図１４に示すようにハンド装置３２により石英ルツボ５
０の開口部近傍を外周から把持する。すなわち、サセプ
タ６０に収納したときに露出する部分、例えば開口端か
ら３ｃｍ程度の領域を把持する。この状態で図１５の矢
印Ｍ１０で示すようにハンド装置３２を上昇させる。次
いで、パレット４０を図１５の右側から取り去るか、あ
るいは反転装置２０内に移動させることにより、収納装
置３０から除去する。次いで図１６の断面図に示すよう
に、収納装置３０内のレール３６Ａ、３６ＢをＹ方向
と、その逆方向に矢印Ｍ１１で示すようにそれぞれ移動
させ、両者の間隔を広げる。この状態で、図示省略のフ
ォークリフトを用いて図１７に示すようにサセプタとし
ての黒鉛ルツボ６０を、その架台６２と共に収納装置３
０の下方の台座７８上に載置する。

【００２５】台座７８にはボールベアリング７６が回転
可能に取り付けられていて、黒鉛ルツボ６０の架台６２
は、ボールベアリング７６上でＸ、Ｙ方向に移動可能で
あり、黒鉛ルツボ６０を上方の石英ルツボ５０と同軸と
するための位置決めを行うことができる。位置決めが完
了すると、図１８の矢印Ｍ１２で示すようにハンド装置
３２を下降させ、石英ルツボ５０を黒鉛ルツボ６０内に
収納する。図１９は石英ルツボ５０が黒鉛ルツボ６０内
に収納された状態を示している。石英ルツボ５０の黒鉛
ルツボ６０内への受入れの完了はハンド装置３２又は黒
鉛ルツボ６０への荷重の変化を検知するか、あるいは目
視に確認する。その後、ハンド装置３２を開放し、図２
０の矢印Ｍ１３で示すように上昇させる。その後、フォ
ークリフトにより図２１の矢印Ｍ１４で示すように架台
６２と、その上の黒鉛ルツボ６０及びその内部の石英ル
ツボ５０を外部へ取り出す。

【００２６】なお、本発明の石英ルツボ洗浄・収納用ハ
ンドリング装置は、全体がクラス１０００以下のクリー
ンルームに設置されるか、あるいは、少なくとも石英ル
ツボ５０の通る部分がクラス１０００以下のクリーンル
ームに設置される。上記実施の形態では、洗浄装置１０
に隣接して反転装置２０が配置され、反転装置に隣接し
て収納装置３０が配置されているが、本発明はこの配置
態様に限定されるものではない。すなわち、洗浄装置を
反転装置と収納装置の間に配置することもできる。ま
た、さらに反転装置と収納装置のレールの上昇・下降の
駆動装置やハンド装置の駆動装置を共用する構成とする
こともできる。さらに、反転装置と収納装置をそれぞれ
別個に設けるのではなく、単一の装置に反転装置と収納
装置の機能を持たせるよう構成してもよい。このように
構成すれば、上記実施の形態より、Ｘ方向の寸法を短く
設計することが可能である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、洗
浄装置、反転装置、収納装置を有機的に配置して相互に
結合させることにより、限られたスペース内で、大重量
かつ大径の石英ルツボを洗浄し、反転し、サセプタ（黒
鉛ルツボ）に収納する動作を人力を用いずに、かつ汚染
の影響を受けることなく行うことが可能である。よっ
て、石英ルツボの石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング
装置を少ないコストで組み立てることができ、自動化と
省スペースを達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリ
ング装置の側面図である。

【図２】図１中の線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。

【図３】石英ルツボを載置するパレットの平面図であ
る。

【図４】図３中の線Ｂ−Ｂ’で切断した断面図である。

【図５】パレットに石英ルツボが開口部を下にして載置
された状態を示す側面図である。

【図６】パレットに石英ルツボが開口部を上にして載置
された状態を示す側面図である。

【図７】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図８】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図９】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１０】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１１】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１２】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１３】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１４】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１５】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１６】本発明の実施の形態の動作を示す断面図であ
る。

【図１７】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１８】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図１９】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図２０】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【図２１】本発明の実施の形態の動作を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１０洗浄装置１２圧縮ポンプ１３、１４ノズル１６Ａ、１６Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、３６Ａ、３６Ｂレ
ール２０反転装置２１、３１、２９、３９駆動装置２２、３２ハンド装置２７、３７制御装置２８、３８高さ位置センサ３０収納装置４０パレット５０石英ルツボ６０黒鉛ルツボ（サセプタ）６２架台７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄピストン７６ボールベアリング７８台座１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄエアシリン
ダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】石英ルツボを、開口部が下方の状態で洗
浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを反
転させ、開口部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転装置に隣接して配置され、前
記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置したパレットが前記洗浄装置から
前記反転装置へ、前記反転装置から前記収納装置へと移
動可能なように、これら前記３つの装置間に配されたレ
ール手段とを、有する石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項２】石英ルツボを、開口部が下方の状態で洗
浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを反
転させ、開口部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転装置に隣接して配置され、前
記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置可能なパレットと、前記石英ルツボを載置した前記パレットが前記洗浄装置
から前記反転装置へ、前記反転装置から前記収納装置へ
と移動可能なように、これら前記３つの装置間に配され
たレール手段とを、有する石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項３】前記レール手段が前記収納装置内に配さ
れた２本の平行なレールを有し、前記収納装置内に配さ
れた２本の平行なレールは、その間隔が広がるよう、少
なくとも１本が外方へ移動可能であることを特徴とする
請求項１記載の石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装
置。
【請求項４】前記レール手段が前記洗浄装置内に配さ
れた２本の平行なレールと、前記反転装置内に配された
２本の平行なレールと、前記収納装置内に配された２本
の平行なレールとを有し、これらの各レールは同一の高
さに位置することが可能で、前記反転装置内に配された
前記２本のレールは前記同一の高さの位置から下方へ移
動可能であることを特徴とする請求項１又は２記載の石
英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項５】前記レール手段が前記洗浄装置内に配さ
れた２本の平行なレールと、前記反転装置内に配された
２本の平行なレールと、前記収納装置内に配された２本
の平行なレールとを有し、これらの各レールは同一の高
さに位置することが可能で、前記収納装置内に配された
前記２本のレールは前記同一の高さの位置から上方へ移
動可能であることを特徴とする請求項１又は２記載の石
英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項６】前記収納装置内に配された２本の平行な
レールは、その間隔が広がるよう、少なくとも１本が外
方へ移動可能であることを特徴とする請求項５記載の石
英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項７】前記パレットが前記石英ルツボが非反転
状態と反転状態のいずれの状態においても、前記石英ル
ツボを安定して載置可能なよう、径の異なる２つの同心
円上に沿って配された接触部材を有することを特徴とす
る請求項２記載の石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング
装置。
【請求項８】前記反転装置内に配された２本の平行な
レール又は前記石英ルツボの高さ位置を検出する手段
と、前記高さ位置を検出する手段の出力信号に応じて前
記反転装置内に配された２本の平行なレールの高さ位置
を制御する手段をさらに有することを特徴とする請求項
４記載の石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項９】前記収納装置内に配された２本の平行な
レール又は前記石英ルツボの高さ位置を検出する手段
と、前記高さ位置を検出する手段の出力信号に応じて前
記収納装置内に配された２本の平行なレールの高さ位置
を制御する手段をさらに有することを特徴とする請求項
５記載の石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項１０】前記反転装置が前記石英ルツボを外方
から挟み込んで保持し、上昇させ、１８０度回転させる
ことが可能なハンド装置を有することを特徴とする請求
項１又は２記載の石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング
装置。
【請求項１１】前記収納装置が前記石英ルツボを外方
から挟み込んで保持し、下降させることが可能なハンド
装置を有することを特徴とする請求項１又は２記載の石
英ルツボ洗浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項１２】石英ルツボを、開口部が下方の状態で
洗浄可能な洗浄装置と、前記洗浄装置に隣接して配置され、前記石英ルツボを反
転させ、開口部が上方とする反転装置と、前記洗浄装置又は前記反転装置に隣接して配置され、前
記石英ルツボを所定のサセプタに収納する収納装置と、前記石英ルツボを載置したパレットが前記洗浄装置から
前記反転装置へ、前記反転装置から前記収納装置へと移
動可能なように、これら前記３つの装置間に配されたレ
ール手段とを有する石英ルツボ洗浄・収納用ハンドリン
グ装置により石英ルツボを取り扱う石英ルツボハンドリ
ング方法であって、前記レール手段上に移動可能に載置されている前記パレ
ット上に前記石英ルツボを載置するステップと、前記パレット前記洗浄装置内に移動させるステップと、前記石英ルツボを洗浄するステップと、前記石英ルツボを乾燥させるステップと、前記パレットを前記洗浄装置から前記反転装置内に移動
させるステップと、前記石英ルツボを外方から保持するステップと、前記石英ルツボを前記パレットから相対的に離間させる
ステップと、前記石英ルツボを１８０度回転させて開口部が上方とす
るステップと、前記石英ルツボを前記パレット上に載置するステップ
と、前記パレットを前記反転装置から前記収納装置内に移動
させるステップと、前記石英ルツボの開口部近傍を外方から保持するステッ
プと、前記石英ルツボを下降させ、サセプタ内に収納するステ
ップとを、有する石英ルツボハンドリング方法。
【請求項１３】前記石英ルツボを前記パレットから相
対的に離間させるステップが、前記石英ルツボを上昇させるステップと、前記パレットの載置された前記レール手段を下降させる
ステップとの双方又は一方を有する請求項１２記載の石
英ルツボハンドリング方法。
【請求項１４】前記石英ルツボを下降させ、サセプタ
内に収納するステップとの前に、前記石英ルツボを一旦
上昇させるステップと、前記サセプタを前記石英ルツボの下方部に挿入するステ
ップとを、有することを特徴とする請求項１２記載の石英ルツボ洗
浄・収納用ハンドリング装置。
【請求項１５】前記サセプタのＸ、Ｙ位置を制御し
て、前記石英ルツボとほぼ同軸な状態とするステップを
更に有することを特徴とする請求項１４記載の石英ルツ
ボハンドリング方法。
【請求項１６】前記レール手段の高さ位置を制御し
て、隣接するレール手段との位置合わせを行うステップ
を更に有することを特徴とする請求項１２記載の石英ル
ツボハンドリング方法。