JPH11251670A - 色素レーザ増幅装置 - Google Patents

色素レーザ増幅装置

Info

Publication number
JPH11251670A
JPH11251670A JP5510898A JP5510898A JPH11251670A JP H11251670 A JPH11251670 A JP H11251670A JP 5510898 A JP5510898 A JP 5510898A JP 5510898 A JP5510898 A JP 5510898A JP H11251670 A JPH11251670 A JP H11251670A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
excitation
dye
optical
laser light
dye laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5510898A
Other languages
English (en)
Inventor
Teruichiro Fukazawa
輝一郎 深澤
Takeshi Kido
剛 城戸
Takanobu Hara
孝信 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan
Original Assignee
Toshiba Corp
Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan, Toshiba Electronic Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP5510898A priority Critical patent/JPH11251670A/ja
Publication of JPH11251670A publication Critical patent/JPH11251670A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】より大出力化が可能であり、安定な出力が得ら
れる色素レーザ装置に備えられる色素レーザ増幅装置を
提供することができる。 【解決手段】励起レーザビームを励起領域に供給するた
めに光ファイバ13を利用し、光ファイバ13と色素レ
ーザ増幅器との間に設置する励起光学系に、より多数本
の光ファイバ13を配列可能な方式を適用する。すなわ
ち、光ファイバ13を空間的に二次元的に配置し、かつ
それぞれの光ファイバ13から出射される励起レーザビ
ームをカライドスコープ25を用いて均一化した後、テ
レセントリック型結像光学系19により集光するもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ媒質とし
ての色素溶液を励起して色素レーザ光を発振する色素レ
ーザ装置に備えられる増幅装置に係り、特に色素レーザ
を励起するための励起レーザ光を光ファイバによって伝
送することを特徴とする色素レーザ増幅装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、色素レーザ装置は、図5に示すよ
うに、色素レーザビーム2を出力する発振器1と、この
色素レーザビーム2を増幅する増幅器3と、色素レーザ
ビームを増幅器3に所定の形状で入射させる光学系4と
を有し、色素レーザビーム2が増幅されることにより色
素レーザ増幅ビーム11を発生している。発振器1及び
増幅器3は、レーザ媒質である色素媒質を含む色素溶液
9を一方向に流して循環する色素循環装置10a,10
bをそれぞれ備えている。発振器1及び増幅器3に供給
される色素溶液9にそれぞれ励起レーザ装置5からの励
起レーザビーム6が照射されることにより、色素溶液9
に含まれる色素媒質が励起される。発振器1において、
励起された色素媒質が低いエネルギ準位に遷移される際
に色素レーザビーム2を発生する。増幅器3において、
色素レーザビーム2は、励起された色素媒質中を通過す
ることにより増幅され、色素レーザ増幅ビーム11が出
力される。
【0003】励起レーザビーム6は、励起レーザ装置5
の出力段に設置された光学装置12により複数本の光フ
ァイバ13へと導光され、発振器1及び増幅器3のそれ
ぞれに供給される。各光ファイバ13への供給パワー及
びその本数は、発振器1及び増幅器3の所要パワーに応
じて定められている。光ファイバ13の出射端には、そ
の出射光を所定の形状で集光するための励起光学系14
a,14bが設置される。発振器1では、色素レーザビ
ーム2が発振される発振領域の励起領域に励起レーザビ
ーム6が片側から照射され、増幅器3では、色素レーザ
ビーム2が励起される励起領域に励起レーザビーム6が
両側から照射される。
【0004】図6は、色素レーザビームを増幅する増幅
器における励起領域の模式図である。すなわち、レーザ
媒質である色素媒質を含む色素溶液9は、図示しないフ
ローセルが形成する流路内部を、図中の上方から下方に
向かって流れている。この色素溶液9が流れる方向に平
行な軸をY軸とする。励起レーザビーム6は、Y軸に直
交する方向すなわちX軸方向より励起領域Eの両側から
入射され、色素溶液9の所定領域を励起する。色素レー
ザビーム2は、X軸及びY軸に直交するZ軸方向から励
起領域Eに入射され、増幅された後、色素レーザ増幅ビ
ーム11としてZ軸方向に出射される。
【0005】図5に示したような構造の色素レーザ装置
においては、励起レーザビーム6は、光ファイバ13が
形成する導波路内に閉じこめられて伝送されるため、励
起レーザビームの集光位置を所定の発振領域に一致させ
るといった微細な位置調整や、励起レーザビームを空間
伝送する際に必要な多数の光学素子が不要となる。
【0006】ここで、光ファイバ13の出力端と増幅器
3との間に設置される励起光学系14a,14bは、例
えば公知文献(「High−Power Optica
l−Fiber Transport Networ
k」,ISAM Semiannual Report
Vol.3,p10−p18(1994))によれ
ば、図7に示すように構成されている。
【0007】すなわち、光ファイバ13は、3本で1組
となった状態20で、色素レーザビームの進行方向と一
致する方向すなわちZ軸方向に一次元に配置されてお
り、ファイバガイド15により保持される。これら光フ
ァイバ20からの出射光は、光学系16によって、各光
ファイバ13から出射されるレーザビームの強度分布が
ほぼ重なり合うよう、いったん線状パターン21に集光
される。この光学系16は、アナモルフィックな作用を
もつレンズ群により構成されている。
【0008】光学系16の後段すなわちビーム進行方向
後方には、この線状パターン21の集光面を物体面とし
た両側テレセントリックな結像光学系19として作用す
る1対のレンズ17,18が配置され、所定の形状22
で増幅器3の励起領域を照射する。この時、光学系16
の出射面像21と励起領域に集光された集光ビームの形
状22とは相似形である。このような励起光学系は、複
数本の光ファイバ13から出射される励起レーザビーム
6を所定の励起領域に空間的に多重化して照射する機能
を有するものである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7に
示した励起光学系は、空間的な多重化作用をアナモルフ
ィックなレンズ群の作用により実現するため、複数の光
ファイバを一次元方向に配置しなければならないという
制約をもち、同じ理由により励起領域へ照射される励起
レーザビームの強度分布のうち、色素溶液の流れ方向す
なわちY軸方向の強度分布23は均一化されるものの、
色素レーザの光軸方向すなわちZ軸方向の強度分布24
は十分に均一化できないという制約をもつ。
【0010】前者の制約は、光ファイバ1本あたりで伝
送可能な励起レーザビームのパワーとの兼ね合いから色
素レーザビームの出力規模を制限し、後者の制約は、色
素レーザビームの発振効率に無視できない悪影響を与え
る。このため、より大出力化が可能な大規模な色素レー
ザ増幅装置を実現することが困難である。
【0011】このように、光ファイバによって伝送され
た励起レーザビームを利用して色素レーザビームを励起
する色素レーザ増幅装置においては、色素レーザ増幅装
置の励起領域に供給する光ファイバの本数及びその配列
方法に制約があり、また、励起領域に照射される励起レ
ーザビームの強度パターンが不均一となるため、大規模
な高性能色素レーザ増幅装置の実現が困難となる問題が
ある。
【0012】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、励起レーザビームを供給する光フ
ァイバと色素レーザ増幅装置との間に設置する励起光学
系の光学特性を改善し、より大出力化が可能であり、安
定な出力が得られる色素レーザ装置に備えられる色素レ
ーザ増幅装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
に基づきなされたもので、第1方向に向かって流れる色
素溶液に、所定の励起領域において前記第1方向に直交
する第2方向から励起レーザ光を照射して前記色素溶液
中に含まれる色素媒質を励起し、前記励起領域内に前記
第1及び第2方向に直交する第3方向から色素レーザ光
を入射させて前記色素レーザ光の強度を増幅する色素レ
ーザ増幅装置において、前記励起レーザ光を前記励起領
域に導入する光ファイバと、前記光ファイバから出力さ
れる励起レーザ光の前記第1方向及び第3方向の強度分
布を均一化する第1光学手段と、前記第1光学手段から
出力された励起レーザ光の出力像を、前記励起領域内の
色素溶液に所定の形状にて結像する第2の光学手段と、
を備えていることを特徴とする色素レーザ増幅装置を提
供するものである。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明に
係る色素レーザ増幅装置の実施の形態について詳細に説
明する。図1は、この発明の色素レーザ増幅装置が適用
される色素レーザ装置の構成を概略的に示す図である。
すなわち、色素レーザ装置は、色素レーザビーム2を出
力する発振器1と、この色素レーザビーム2を増幅する
増幅器3と、色素レーザビームを増幅器3に所定の形状
で入射させる光学系4とを有している。
【0015】発振器1及び増幅器3は、レーザ媒質であ
る色素媒質を含む色素溶液9を一方向に流す図示しない
フローセルを備えている。発振器1及び増幅器3にそれ
ぞれ備えられたフローセルは、色素溶液9を循環する色
素循環装置10a,10bに接続されている。すなわ
ち、色素溶液9は、色素循環装置10a、10bと発振
器1及び増幅器3との間にそれぞれ形成された流路内部
を流れ、循環されている。
【0016】また、この色素レーザ装置は、発振器1及
び増幅器3の各フローセル内部を流れる色素溶液9を励
起する励起レーザ装置5a、5bを備えている。これら
の励起レーザ装置5a、5bは、互いに発振タイミング
が異なる2系列すなわちa系列、及びb系列のパルス発
振レーザ装置によって構成されている。
【0017】励起レーザ装置5a、5bから出力された
励起レーザビーム6a、6bは、励起レーザ装置5a、
5bのそれぞれの出力段に設置された光学装置12a、
12bにより複数本の光ファイバ13へと導光され、発
振器1及び増幅器3のそれぞれに供給される。各光ファ
イバ13への供給パワー及びその本数は、発振器1及び
増幅器3の所要パワーに応じて定められている。光ファ
イバ13の出射端には、その出射光を所定の形状で集光
するための励起光学系14a,14bが設置されてい
る。そして、励起レーザ装置5a、5bからの励起レー
ザビーム6a、6bは、発振器1及び増幅器3に備えら
れたフローセルの所定領域すなわち励起領域に向けて照
射される。
【0018】発振器1及び増幅器3に供給される色素溶
液9に、それぞれ励起レーザ装置5a、5bからの励起
レーザビーム6a,6bが照射されることにより、色素
溶液9に含まれる色素媒質が励起される。
【0019】発振器1では、色素レーザビーム2が発振
される発振領域すなわち励起領域に励起レーザビーム6
がフローセルの片側から照射される。そして、励起され
た色素媒質が低いエネルギ準位に遷移される際に色素レ
ーザビーム2を発生する。発生された色素レーザビーム
2は、光学系4により増幅器3に導かれる。
【0020】増幅器3では、色素レーザビーム2が励起
される励起領域に励起レーザビーム6がフローセルの2
方向すなわちセルの両側から照射される。そして、色素
レーザビーム2は、励起された色素媒質中を通過するこ
とにより増幅され、色素レーザ増幅ビーム11が出力さ
れる。
【0021】図6に示したように、レーザ媒質である色
素媒質を含む色素溶液9は、増幅器3に設けられた図示
しないフローセルが形成する流路内部を、図中の上方か
ら下方に向かって流れている。この色素溶液9が流れる
方向に平行な軸をY軸とする。励起レーザビーム6は、
Y軸に直交する方向すなわちX軸方向より励起領域Eの
両側から入射され、色素溶液9の所定領域を励起する。
色素レーザビーム2は、X軸及びY軸に直交するZ軸方
向から励起領域Eに入射され、増幅された後、色素レー
ザ増幅ビーム11としてZ軸方向に出射される。
【0022】図1に示した色素レーザ装置の光ファイバ
13の出力端と増幅器3との間に備えられる励起光学系
14bは、図2に示すような構成である。すなわち、図
2に示した実施の形態では、合計6本の光ファイバ13
は、ファイバガイド15内に保持されている。すなわ
ち、ファイバガイド15は、6本の光ファイバの出射端
が図3に示したようなパターン20となるように各光フ
ァイバ13を保持している。色素レーザビーム2が進行
する方向と一致する一次元方向すなわちZ軸方向に各3
本を配置し、これと垂直な方向すなわちY軸方向に2列
配置している。この時、例えば系列a及び系列bから各
3本の光ファイバによってそれぞれの励起レーザビーム
を導光する。この時の光ファイバ出射端のパターン20
は、図3に示したように、Y軸方向にそれぞれの系列か
らの光ファイバが1本ずつ1組として配列され、またZ
軸方向にはこれらの組が3組並列して配列されている。
そして、それぞれの系列からの光ファイバ出射端が隣り
合わないように配置されている。
【0023】なお、励起光学系に導かれる光ファイバが
2本以上使用される際には、光ファイバの出射端の配置
方法は、この例に限定されるものではなく、色素レーザ
ビームの進行方向に一致する一次元方向すなわちZ軸方
向に配置するか、もしくは、この一次元方向とこれに垂
直な方向のはる平面すなわちYZ平面内に二次元的に配
置されていればよい。
【0024】ファイバガイド15に保持された光ファイ
バの出射端から出射される励起レーザビームは、第1光
学手段としての中空タイプのカライドスコープ25にい
ったん入射される。カライドスコープ25は、その内面
に励起レーザビームに対して高い反射率を有する誘電体
多層膜がコーティングされた中空構造の光導波路によっ
て形成されており、各ファイバから出射されたビームを
内部で多数回反射する。光ファイバの出射端が図3に示
したようなパターン20で配列された場合、双方の励起
レーザ装置5a、5bから出射されたパルスビームは、
カライドスコープ25の多重反射作用により、各ファイ
バから出射されたビームは空間的に折り畳まれて、カラ
イドスコープ出射面では、図2に示すように、その強度
分布21が均一化される。
【0025】カライドスコープ25における出射面での
像21は、第2光学手段としてのテレセントリック型結
像光学系19により、所定形状22で結像される。この
テレセントリック型結像光学系19は、それぞれ少なく
とも1枚以上のレンズにより構成される第1レンズ群1
7、及び第2レンズ群18を有している。また、このテ
レセントリック型結像光学系19は、カライドスコープ
25の出射端面を物体面とし、レーザ媒質としての色素
媒体が流れるフローセル内の所定位置すなわち励起領域
を結像面としている。この時、カライドスコープ出射面
像21と励起領域における集光ビーム形状22は相似形
である。なお、この実施の形態においては、中空タイプ
のカライドスコープを使用する例を示したが、バルクタ
イプのカライドスコープを使用する場合も同様な作用で
ある。
【0026】すなわち、このような構成の励起光学系を
適用することにより、励起領域における励起レーザビー
ムは、色素溶液の流れ方向すなわちY軸方向の強度分布
23が均一化されるとともに、色素レーザの光軸方向す
なわちZ軸方向の強度分布24に対しても均一化され
る。
【0027】したがって、この実施の形態では、励起レ
ーザビームを増幅器に導く光ファイバを複数本使用する
場合には、従来のようにこれらの光ファイバを一次元方
向のみに配置しなければならないという制約から開放さ
れる。このため、励起レーザビームを導く光ファイバの
配列の自由度が増し、多数の光ファイバを励起レーザビ
ーム導入用に利用することが可能となる。また、励起領
域における励起レーザビームの照射パターンがいずれの
方向においても均一化されるため、より高効率の励起が
可能となる。
【0028】これにより、励起レーザビームのパワーを
増大することが可能となり、大出力化が可能な大規模な
色素レーザを実現することができる。次に、この発明の
他の実施の形態について説明する。
【0029】図4に示すように、励起光学系14bは、
複数本の光ファイバ13を保持するファイバガイド1
5、光ファイバ13の出射端での励起レーザビームの強
度分布を均一化するカライドスコープ25、及び第1レ
ンズ群17と第2レンズ群18とからなるテレセントリ
ック型結像光学系を有している。そして、テレセントリ
ック結像光学系の第1レンズ群17と第2レンズ群18
との間には、ビーム光軸をほぼ直角に折り返すための第
3光学手段としての高反射ミラー26が設置されてい
る。
【0030】この高反射ミラー26は、図中の矢印の方
向に沿って移動可能に形成されている。また、この高反
射ミラー26のビーム進行方向の後方には、出力計28
と導光用のレンズ27が設置されている。この出力計2
8は、励起レーザビームのパワー、光波形、あるいは強
度分布を計測する計測器であり、例えば、計測器はバイ
プラナ光電管などの光波形測定器、あるいはCCDカメ
ラのようなビームプロファイル測定器などである。この
高反射ミラー26は、矢印の方向に移動され、励起レー
ザビームを反射しない位置に配置された際に、励起レー
ザビームが出力計28に入射されるよう配置されてい
る。すなわち、高反射ミラー26は、通常、テレセント
リック型結像光学系の第1レンズ群17及び第2レンズ
群18の間の光軸上に配置され、増幅器3に向けて励起
レーザビームを導く。そして、所定のタイミングで高反
射ミラー26が移動され、光軸から外れた位置に配置さ
れると、出力計28により励起レーザビームの出力をモ
ニタする。
【0031】このように、所定のタイミングで励起レー
ザビームの出力をモニタすることにより、安定に色素レ
ーザビームを励起することが可能となり、安定した出力
を得ることが可能となる。
【0032】なお、この実施の形態においては、高反射
ミラーが可動タイプとなっているが、高反射ミラーを励
起レーザビームの一部を透過するように形成することに
より、常時、出力計28に励起レーザビームの一部を供
給可能とすることができる。これにより、常時、励起レ
ーザビームの出力をモニタすることが可能となり、より
安定した出力を得ることが可能となる。
【0033】上述したように、この発明の色素レーザ増
幅装置によれば、励起レーザビームを励起領域に供給す
るために光ファイバを利用し、光ファイバと色素レーザ
増幅器との間に設置する励起光学系に、より多数本の光
ファイバを配列可能な方式を適用することが可能とな
る。すなわち、光ファイバを空間的に二次元的に配置
し、かつそれぞれの光ファイバから出射される励起レー
ザビームをカライドスコープを用いて均一化した後、テ
レセントリック型結像光学系により集光するものであ
る。
【0034】また、このテレセントリック型結像光学系
を、よりコンパクトに構成し、かつ励起レーザビームの
出力パラメータを計測可能とするため、光学系内で光路
を折り返す高反射ミラーを配置している。
【0035】このような構成の色素レーザ増幅装置によ
れば、励起レーザビームを供給するための光ファイバを
空間的に二次元に配置可能となるため、従来構成よりも
はるかに大規模な色素レーザ増幅装置を構成可能であ
る。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、励起レーザビームを供給する光ファイバと色素レー
ザ増幅装置との間に設置する励起光学系の光学特性を改
善し、より大出力化が可能であり、安定な出力が得られ
る色素レーザ装置に備えられる色素レーザ増幅装置を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の色素レーザ増幅装置が適用
される色素レーザ装置の構成を概略的に示す図である。
【図2】図2は、図1に示した色素レーザ装置に適用さ
れる励起光学系の構成を概略的に示す図である。
【図3】図3は、図2に示した励起光学系のファイバガ
イドにおける光ファイバの出力端の配置パターンを説明
するための図である。
【図4】図4は、この発明における励起光学系の他の実
施の形態を説明するための図である。
【図5】図5は、従来の色素レーザ装置の構成を説明す
るための図である。
【図6】図6は、横励起方式色素レーザ増幅装置の模式
図である。
【図7】図7は、従来の励起光学系の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
1…色素レーザ発振器 3…色素レーザ増幅器 5(a,b)…励起レーザ装置 13…光ファイバ 14(a,b)…励起光学系 19…テレセントリック光学系 25…カライドスコープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 城戸 剛 栃木県大田原市下石上1385番の1 株式会 社東芝那須電子管工場内 (72)発明者 原 孝信 神奈川県川崎市川崎区日進町7番地1 東 芝電子エンジニアリング株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1方向に向かって流れる色素溶液に、所
    定の励起領域において前記第1方向に直交する第2方向
    から励起レーザ光を照射して前記色素溶液中に含まれる
    色素媒質を励起し、前記励起領域内に前記第1及び第2
    方向に直交する第3方向から色素レーザ光を入射させて
    前記色素レーザ光の強度を増幅する色素レーザ増幅装置
    において、 前記励起レーザ光を前記励起領域に導入する光ファイバ
    と、 前記光ファイバから出力される励起レーザ光の前記第1
    方向及び第3方向の強度分布を均一化する第1光学手段
    と、 前記第1光学手段から出力された励起レーザ光の出力像
    を、前記励起領域内の色素溶液に所定の形状にて結像す
    る第2光学手段と、 を備えていることを特徴とする色素レーザ増幅装置。
  2. 【請求項2】前記光ファイバを少なくとも2本備え、前
    記各光ファイバは、前記第3方向に平行な一次元方向ま
    たは、前記第1方向と第3方向とで規定される平面内に
    二次元的に配置されていることを特徴とする請求項1に
    記載の色素レーザ増幅装置。
  3. 【請求項3】前記励起レーザ光は、発振タイミングの異
    なる少なくとも2系列のパルスレーザ装置から供給さ
    れ、前記励起レーザ光がそれぞれの系列から少なくとも
    1本以上の光ファイバによって前記第1光学手段に供給
    されることを特徴とする請求項1又は2に記載の色素レ
    ーザ増幅装置。
  4. 【請求項4】前記第1光学手段は、カライドスコープを
    用いて構成されていることを特徴とする請求項1乃至3
    のいずれか1項に記載の色素レーザ増幅装置。
  5. 【請求項5】前記カライドスコープは、前記励起レーザ
    光に対して高い反射率を有する誘電体多層膜コートを施
    した中空構造の光導波路により形成されていることを特
    徴とする請求項4に記載の色素レーザ増幅装置。
  6. 【請求項6】前記第2光学手段は、それぞれが少なくと
    も1枚以上のレンズにより構成される第1のレンズ群と
    第2のレンズ群よりなる、両側テレセントリック型結像
    光学系により構成されていることを特徴とする請求項1
    乃至5のいずれか1項に記載の色素レーザ増幅装置。
  7. 【請求項7】前記両側テレセントリック型結像光学系
    は、前記カライドスコープの出射端面を物体面とし、前
    記色素溶液の所定位置を結像面としていることを特徴と
    する請求項6に記載の色素レーザ増幅装置。
  8. 【請求項8】前記両側テレセントリック型結像光学系
    は、前記第1のレンズ群と第2のレンズ群との間に、励
    起レーザ光の光軸を折り返す第3の光学手段を有するこ
    とを特徴とする請求項6又は7に記載の色素レーザ増幅
    装置。
  9. 【請求項9】前記励起レーザ光の進行方向に沿って前記
    第3の光学手段の後方には、励起レーザ光のパワー、光
    波形あるいは強度分布の計測機構が設けられていること
    を特徴とする請求項8に記載の色素レーザ増幅装置。
  10. 【請求項10】前記第3の光学手段は、前記光軸を含む
    位置と光軸から外れる位置との間を移動する移動機構を
    備え、前記光軸を含むように配置された際に前記第2の
    レンズ群に向けて励起レーザ光の光軸を折り返すととも
    に、前記光軸から外れて配置された際に前記計測機構に
    励起レーザ光を供給するよう構成されていることを特徴
    とする請求項9に記載の色素レーザ増幅装置。
  11. 【請求項11】前記第3の光学手段は、励起レーザ光の
    一部を透過し、残りを反射する反射ミラーによって構成
    され、透過された励起レーザ光が前記計測機構に供給さ
    れ、反射された励起レーザ光が前記第2のレンズ群に供
    給されることを特徴とする請求項9に記載の色素レーザ
    増幅装置。
JP5510898A 1998-03-06 1998-03-06 色素レーザ増幅装置 Pending JPH11251670A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5510898A JPH11251670A (ja) 1998-03-06 1998-03-06 色素レーザ増幅装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5510898A JPH11251670A (ja) 1998-03-06 1998-03-06 色素レーザ増幅装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11251670A true JPH11251670A (ja) 1999-09-17

Family

ID=12989567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5510898A Pending JPH11251670A (ja) 1998-03-06 1998-03-06 色素レーザ増幅装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11251670A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368318A (ja) * 2001-06-08 2002-12-20 Laser Atom Separation Eng Res Assoc Of Japan 色素レーザ装置
JP2004170484A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Yuji Matsuura ビームホモジナイザ
JP2018181991A (ja) * 2017-04-10 2018-11-15 株式会社島津製作所 固体レーザ装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368318A (ja) * 2001-06-08 2002-12-20 Laser Atom Separation Eng Res Assoc Of Japan 色素レーザ装置
JP2004170484A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Yuji Matsuura ビームホモジナイザ
JP2018181991A (ja) * 2017-04-10 2018-11-15 株式会社島津製作所 固体レーザ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102407102B1 (ko) 콤팩트한 빔 셰이핑 및 스티어링 어셈블리
JP6275240B2 (ja) 193nmレーザ及び193nmレーザを用いた検査システム
US8559099B2 (en) Laser beam amplifier and laser apparatus using the same
JP3589299B2 (ja) ビーム整形装置
KR100825701B1 (ko) 레이저 어닐링 장치
US20050185683A1 (en) Exposure apparatus with laser device
JP4232130B2 (ja) レーザ装置並びにこのレーザ装置を用いた光照射装置および露光方法
US5729568A (en) Power-controlled, fractal laser system
JP2012182434A (ja) レーザ装置、極端紫外光生成システム、レーザ装置の制御方法、および極端紫外光生成方法
US20130315272A1 (en) Regenerative amplifier, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system
US10483713B2 (en) Laser apparatus and measurement unit
JP2008147428A (ja) レーザ照射装置、及び、レーザ照射方法
JP2003502850A (ja) 固体レーザ
CN107442929A (zh) 光纤阵列线路发生器
JPH11251670A (ja) 色素レーザ増幅装置
JPH11191650A (ja) 色素レーザ増幅装置
WO2015033830A1 (ja) レーザ増幅器、及びレーザ装置、並びに極端紫外光生成システム
KR102581593B1 (ko) 가스 레이저 증폭기, 가스 레이저 장치, euv 광 발생 장치 및 euv 노광 장치
JP2000111699A (ja) 軟x線光源装置
JP2002244078A (ja) レーザ光学系とレーザ加工装置
JP2006301023A (ja) 光源装置およびライン光源装置
JP7097236B2 (ja) レーザ装置
JP3278511B2 (ja) 増幅器
ES2664470T3 (es) Disposición miniaturizada de amplificador de láser con fuente de bombeo
CN221261339U (zh) 光学成像器件