JPH11247782A - Arrangement of a plurality of single stage roots pumps and arrangement of one multistage roots pump - Google Patents
Arrangement of a plurality of single stage roots pumps and arrangement of one multistage roots pumpInfo
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- JPH11247782A JPH11247782A JP5245198A JP5245198A JPH11247782A JP H11247782 A JPH11247782 A JP H11247782A JP 5245198 A JP5245198 A JP 5245198A JP 5245198 A JP5245198 A JP 5245198A JP H11247782 A JPH11247782 A JP H11247782A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ等の回転駆
動装置により複数個の単段ルーツポンプを駆動して各単
段ルーツポンプにより順次ポンプ作用を行うべく、各単
段ルーツポンプを配置する複数個の単段ルーツポンプの
配置方法と、同回転駆動装置により１個の多段ルーツポ
ンプを駆動して多段ルーツポンプにより順次ポンプ作用
を行うべく、多段ルーツポンプを配置する１個の多段ル
ーツポンプの配置方法とに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention arranges a plurality of single-stage roots pumps so that a plurality of single-stage roots pumps are driven by a rotary drive device such as a motor so that each single-stage roots pump sequentially performs a pumping action. A method of arranging a plurality of single-stage roots pumps, and a single multi-stage roots pump in which a multi-stage roots pump is arranged so that one multi-stage roots pump is driven by the rotation drive device and a multi-stage roots pump is sequentially pumped. And arrangement method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】通常の単段ルーツポンプでは、ケーシン
グ内に吸気口及び排気口を備えた１個のポンプ室が構成
されている。ポンプ室内には２個で１組をなすロータが
配置され、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着さ
れて互いに噛み合って回転するようになっている。従
来、この単段ルーツポンプを複数個用いるとともに、個
別のモータで駆動したり、１個のモータを用い、ベルト
とプーリとで駆動したりした複数個の単段ルーツポンプ
が知られている（特開平７−３０５６８９号公報）。2. Description of the Related Art In a typical single-stage roots pump, one pump chamber having an intake port and an exhaust port is formed in a casing. A set of two rotors is disposed in the pump chamber, and each rotor is mounted on two shafts parallel to each other and rotates while meshing with each other. Conventionally, there have been known a plurality of single-stage roots pumps that use a plurality of single-stage roots pumps and are driven by separate motors or driven by a belt and a pulley using one motor ( JP-A-7-305689).
【０００３】このようなモータと複数個の単段ルーツポ
ンプとを用いて例えばある室内を真空引きして減圧室と
したい場合、一つの単段ルーツポンプの排気口に他の一
つの単段ルーツポンプの吸気口を順次接続する。また、
最も前段に位置する単段ルーツポンプの吸気口をその室
内に開口させるとともに、最も後段に位置する単段ルー
ツポンプの排気口を大気等に開口させる。そして、モー
タにより各単段ルーツポンプを駆動する。これにより、
各単段ルーツポンプのポンプ室内で各ロータが互いに噛
み合って回転するため、各単段ルーツポンプのポンプ室
内において順次ポンプ作用が行われ、その室内の空気を
大気等に放出してその室内を減圧室とすることが可能に
なる。When it is desired to evacuate a certain room using such a motor and a plurality of single-stage roots pumps to form a decompression chamber, for example, the exhaust port of one single-stage roots pump is connected to another single-stage roots pump. Connect the suction ports of the pump sequentially. Also,
The intake port of the single-stage roots pump located at the foremost stage is opened into the room, and the exhaust port of the single-stage roots pump located at the rearmost stage is opened to the atmosphere. Then, each single-stage roots pump is driven by the motor. This allows
Since the rotors mesh with each other and rotate in the pump chamber of each single-stage roots pump, a pumping action is sequentially performed in the pump chamber of each single-stage roots pump, releasing air in the room to the atmosphere and depressurizing the room. Room.
【０００４】他方、モータと一体化された多段ルーツポ
ンプも知られている（特開平４−８８９１号公報）。こ
の多段ルーツポンプでは、ケーシング内にそれぞれ吸気
口及び排気口を備えた複数個のポンプ室がそれぞれ平行
に構成され、ケーシング内では前段のポンプ室の排気口
に後段のポンプ室の吸気口が順次接続されている。ま
た、各ポンプ室内には２個で１組をなすロータが配置さ
れ、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着されて互
いに噛み合って回転するようになっている。そして、多
段ルーツポンプの各軸の一方には、モータの駆動本体か
ら突出して回転駆動する駆動軸が連結されている。ま
た、モータの駆動軸と連結された多段ルーツポンプの一
方の軸の先端には第１タイミングギアが固定され、この
第１タイミングギアは多段ルーツポンプの他方の軸の先
端に固定された第２タイミングギアと噛合されている。On the other hand, a multi-stage roots pump integrated with a motor is also known (JP-A-4-8891). In this multi-stage roots pump, a plurality of pump chambers each having an intake port and an exhaust port are respectively arranged in parallel in a casing, and in a casing, an intake port of a subsequent pump chamber is sequentially connected to an exhaust port of a preceding pump chamber. It is connected. A pair of rotors is disposed in each pump chamber, and each rotor is mounted on two shafts parallel to each other and rotates while meshing with each other. One of the shafts of the multi-stage roots pump is connected to a drive shaft that protrudes from the drive main body of the motor and is driven to rotate. Further, a first timing gear is fixed to a tip of one shaft of the multi-stage roots pump connected to the drive shaft of the motor, and the first timing gear is fixed to a tip of the other shaft of the multi-stage roots pump. It is meshed with the timing gear.
【０００５】このようなモータと１個の多段ルーツポン
プとを用いて例えばある室内を真空引きして減圧室とし
たい場合、多段ルーツポンプの最も前段の吸気口をその
室内に開口させるとともに、最も後段の排気口を大気等
に開口させる。そして、モータを作動させることで多段
ルーツポンプを駆動する。これにより、モータの駆動軸
で多段ルーツポンプの一方の軸が回転し、併せて第１及
び第２タイミングギアを介して多段ルーツポンプの他方
の軸が回転するため、多段ルーツポンプにおいて各ポン
プ室内で各ロータが互いに噛み合って回転する。このた
め、多段ルーツポンプの各ポンプ室内において順次ポン
プ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放出してそ
の室内を減圧室とすることが可能になる。When it is desired to evacuate a certain room by using such a motor and one multi-stage roots pump to form a decompression chamber, for example, the front-stage intake port of the multi-stage roots pump is opened into the room, and The latter exhaust port is opened to the atmosphere or the like. Then, the multi-stage roots pump is driven by operating the motor. Accordingly, one shaft of the multi-stage roots pump is rotated by the drive shaft of the motor, and the other shaft of the multi-stage roots pump is also rotated via the first and second timing gears. As a result, the rotors mesh with each other and rotate. For this reason, a pumping operation is sequentially performed in each pump chamber of the multi-stage roots pump, and the air in the chamber is released to the atmosphere or the like, so that the chamber can be made a decompression chamber.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、１個の
多段ルーツポンプを用いる場合、その多段ルーツポンプ
では、ケーシング内に複数個のポンプ室が構成されてい
るとともに、各ポンプ室内に各ロータが配置されている
ため、仮に一つのポンプ室において、補修を要したり、
ロータの交換を要したりするようであれば、多段ルーツ
ポンプ全体の分解や交換を行わなければならず、この点
で作業性が悪いという欠点がある。As described above, when one multi-stage roots pump is used, a plurality of pump chambers are formed in a casing in the multi-stage roots pump, and each pump room has a plurality of pump chambers. Because the rotor is located, repair may be required in one pump room,
If the rotor needs to be replaced, the entire multi-stage roots pump must be disassembled or replaced, which is disadvantageous in that workability is poor.
【０００７】この点、モータに対して複数個の単段ルー
ツポンプを配置することとすれば、仮に一つの単段ルー
ツポンプにおいて補修や交換を要するようになっても、
他の単段ルーツポンプの補修や交換を要しないことか
ら、費用的にメリットが大きいと考えられる。また、全
体の形状に自由度があることから、吸気口と排気口とを
接続するパイプ等の経路を考慮しつつ、ニーズに合わせ
て設置場所（フットプリント）を縮小できるため、設置
の困難性を緩和することもできる。In this regard, if a plurality of single-stage roots pumps are arranged for the motor, even if repair or replacement is required for one single-stage roots pump,
Since there is no need to repair or replace other single-stage Roots pumps, it is considered that the merit is large in cost. In addition, since the overall shape has a degree of freedom, the installation location (footprint) can be reduced according to needs while taking into account the path of a pipe or the like connecting the intake port and the exhaust port. Can also be reduced.
【０００８】しかし、従来の配置方法で複数個の単段ル
ーツポンプを配置する場合は、各単段ルーツポンプの各
軸に互いに噛合する第１及び第２タイミングギアを固定
している他、各単段ルーツポンプの一方の軸に従動プー
リを固定しており、モータの駆動軸に固定した駆動プー
リと従動プーリとをベルトにより巻回している。このた
め、この場合には、モータの駆動軸から伝達される駆動
力は、駆動プーリ、ベルト、従動プーリ及び一方の軸で
一方のロータの回転に変換されるとともに、第１及び第
２タイミングギア並びに他方の軸で他方のロータの回転
に変換されることとなる。このため、ベルトの滑り及び
各軸のねじれにより、モータの駆動力が両方のロータの
回転に変換されにくく、ポンプ作用が滑らかに行われな
いおそれがある。However, when a plurality of single-stage roots pumps are arranged by the conventional arrangement method, the first and second timing gears meshing with each other are fixed to each shaft of each single-stage roots pump. A driven pulley is fixed to one shaft of the single-stage roots pump, and a driven pulley fixed to a drive shaft of a motor and a driven pulley are wound around a belt. For this reason, in this case, the driving force transmitted from the driving shaft of the motor is converted into rotation of one rotor by a driving pulley, a belt, a driven pulley, and one shaft, and the first and second timing gears are rotated. In addition, the rotation of the other rotor is converted into the rotation of the other rotor. For this reason, the driving force of the motor is hardly converted to the rotation of both rotors due to the slippage of the belt and the twisting of each shaft, and there is a possibility that the pumping operation may not be performed smoothly.
【０００９】また、複数個の単段ルーツポンプを用いた
従来の配置方法では、仮に一つの単段ルーツポンプにお
いて補修や交換を要するようであれば、ベルトを駆動プ
ーリ及び全ての従動プーリから外した後にその補修や交
換を行わなければならず、作業性が悪いという欠点があ
る。さらに、複数個の単段ルーツポンプを用いた従来の
配置方法では、動力伝達のために駆動プーリ、第１及び
第２タイミングギア、従動プーリ並びにベルトを必要と
し、部品点数の多さから、全体としてのコストの高騰化
を招来してしまう。In the conventional arrangement method using a plurality of single-stage roots pumps, if it is necessary to repair or replace one single-stage roots pump, the belt is separated from the driving pulley and all the driven pulleys. After that, it must be repaired or replaced, which has the disadvantage of poor workability. Further, in the conventional arrangement method using a plurality of single-stage roots pumps, a driving pulley, first and second timing gears, a driven pulley, and a belt are required for power transmission. As a result, the cost will rise.
【００１０】また、複数個の単段ルーツポンプを用いた
従来の配置方法では、各単段ルーツポンプの振動に対し
て何も考慮されておらず、環境上好ましくない場合もあ
る。他方、１個の多段ルーツポンプを用いた従来の配置
方法では、モータの駆動軸に多段ルーツポンプの一方の
軸が同軸に連結されており、モータの駆動本体と多段ル
ーツポンプのケーシングとが両側に位置している。この
ため、この配置方法では、全体として軸長が大きくな
り、フットプリントが大きくなり、設置に困難性を伴い
やすい。Further, in the conventional arrangement method using a plurality of single-stage roots pumps, no consideration is given to the vibration of each single-stage roots pump, which may be environmentally unfavorable. On the other hand, in the conventional arrangement method using one multi-stage roots pump, one shaft of the multi-stage roots pump is coaxially connected to the drive shaft of the motor, and the drive main body of the motor and the casing of the multi-stage roots pump are on both sides. It is located in. For this reason, in this arrangement method, the axial length becomes large as a whole, the footprint becomes large, and the installation tends to be difficult.
【００１１】さらに、１個の多段ルーツポンプを用いた
従来の配置方法では、床面に対して各軸が水平になるよ
うに全体を設置せざるを得ないため、多段ルーツポンプ
の振動が床面に直接かつ同時に伝播してしまう。このた
め、仮にこれらの下部にゴムパッド等の防振材を敷いた
としても、床面に振動が伝播しやすく、環境上好ましく
ない傾向にある。Further, in the conventional arrangement method using one multi-stage roots pump, the entire unit must be installed so that each axis is horizontal to the floor surface. It propagates directly and simultaneously to the surface. For this reason, even if a vibration damping material such as a rubber pad is laid below these, vibration tends to propagate to the floor surface, which tends to be environmentally unfavorable.
【００１２】本発明は上記従来の実状に鑑みてなされた
ものである。本発明の第１の課題は、回転駆動装置の駆
動力が各ロータの回転に変換されやすく、ポンプ作用を
滑らかに行い得る複数個の単段ルーツポンプの配置方法
を提供することにある。本発明の第２の課題は、一つの
単段ルーツポンプにおいて補修や交換を要するようにな
っても、作業性に優れた複数個の単段ルーツポンプの配
置方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above conventional situation. A first object of the present invention is to provide a method of arranging a plurality of single-stage Roots pumps that can easily convert a driving force of a rotary drive device into rotation of each rotor and can perform a pumping operation smoothly. A second object of the present invention is to provide a method of arranging a plurality of single-stage roots pumps which is excellent in workability even when repair or replacement is required in one single-stage roots pump.
【００１３】本発明の第３の課題は、部品点数が少な
く、全体としてのコストの低廉化を実現可能な複数個の
単段ルーツポンプの配置方法を提供することにある。本
発明の第４の課題は、床面に振動が伝播しにくく、環境
上好ましい複数個の単段ルーツポンプの配置方法を提供
することにある。本発明の第５の課題は、全体として軸
長が短く、高さも低くすることができる複数個の単段ル
ーツポンプの配置方法を提供することにある。A third object of the present invention is to provide a method of arranging a plurality of single-stage Roots pumps which can reduce the number of parts and reduce the overall cost. A fourth object of the present invention is to provide a method of arranging a plurality of single-stage roots pumps which is less likely to propagate vibration on the floor surface and is environmentally preferable. A fifth object of the present invention is to provide a method of arranging a plurality of single-stage roots pumps that can have a short shaft length and a low height as a whole.
【００１４】本発明の第６の課題は、全体として軸長が
短く、設置が容易な１個の多段ルーツポンプの配置方法
を提供することにある。本発明の第７の課題は、床面に
振動が伝播しにくく、環境上好ましい１個の多段ルーツ
ポンプの配置方法を提供することにある。A sixth object of the present invention is to provide a method of arranging a single multi-stage roots pump which has a short shaft length as a whole and is easy to install. A seventh object of the present invention is to provide a method of arranging one multi-stage roots pump which is less likely to propagate vibration on the floor surface and is environmentally preferable.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】（１）本発明の複数個の
単段ルーツポンプの配置方法は、吸気口及び排気口を備
えた１個のポンプ室を構成するケーシングと、該ポンプ
室内に配置され、互いに平行な複数の軸上に装着されて
互いに噛み合って回転する２個以上で１組をなすロータ
とを有する単段ルーツポンプを複数個用いるとともに、
駆動本体と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動
軸とを有する回転駆動装置を１個用い、一つの該単段ル
ーツポンプの該排気口に他の一つの該単段ルーツポンプ
の該吸気口を順次接続し、該回転駆動装置により各該単
段ルーツポンプを駆動して各該単段ルーツポンプにより
順次ポンプ作用を行うべく、各該単段ルーツポンプを配
置する複数個の単段ルーツポンプの配置方法であって、
前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定すると
ともに、各前記単段ルーツポンプの各前記軸に互いに噛
合するタイミングギアを固定し、該駆動ギアに一つの該
単段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを噛合さ
せ、その単段ルーツポンプの該タイミングギアに他の該
単段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを噛合させ
ることを特徴とする。(1) A method of arranging a plurality of single-stage Roots pumps according to the present invention comprises: a casing forming one pump chamber having an intake port and an exhaust port; A plurality of single-stage Roots pumps having two or more rotors that are arranged and mounted on a plurality of axes parallel to each other and rotate while meshing with each other are used,
One rotation drive device having a drive body and a drive shaft protruding from the drive body and driven to rotate is used, and the exhaust port of one of the single-stage roots pumps and the suction of the other single-stage Roots pump are used. A plurality of single-stage roots in which the single-stage roots pumps are arranged so that the ports are sequentially connected, and the single-stage roots pumps are driven by the rotary drive device so that the single-stage roots pumps sequentially perform a pumping action. A method of arranging the pump,
A drive gear is fixed to the drive shaft of the rotary drive device, and a timing gear meshing with each shaft of each of the single-stage roots pumps is fixed, and one of the single-stage roots pumps is fixed to the drive gear. The timing gear of the single-stage roots pump is meshed with the timing gear of another single-stage roots pump.
【００１６】この配置方法では、回転駆動装置に対して
複数個の単段ルーツポンプを配置するため、仮に一つの
単段ルーツポンプにおいて補修や交換を要するようにな
っても、他の単段ルーツポンプの補修や交換を要しない
ことから、費用的にメリットが大きい。この際、従来の
ようなベルトを採用しておらず、駆動ギアとタイミング
ギアとの噛合等を外せばその補修や交換を行うことがで
きるため、作業性にも優れる。In this arrangement method, since a plurality of single-stage roots pumps are arranged with respect to the rotary drive device, even if repair or replacement is required in one single-stage roots pump, another single-stage roots pump is required. Since there is no need to repair or replace the pump, there is a significant cost advantage. At this time, the belt is not employed as in the related art, and if the drive gear and the timing gear are disengaged from each other, the belt can be repaired or replaced, and thus the workability is excellent.
【００１７】また、こうして配置すれば、全体の形状に
自由度があることから、吸気口と排気口とを接続するパ
イプ等の経路を考慮しつつ、ニーズに合わせてフットプ
リントを縮小できるため、設置の困難性を緩和すること
もできる。さらに、この配置方法では、回転駆動装置の
駆動軸から伝達される駆動力は、駆動ギア、一つの単段
ルーツポンプの一つのタイミングギア及び他のタイミン
グギア並びに一つの軸及び他の軸で各ロータの回転に変
換されることとなる。このため、従来のようなベルトの
滑りはなく、また各単段ルーツポンプにおいて各軸のね
じれも影響を受けにくいことから、回転駆動装置の駆動
力がそれぞれのポンプ室内において全てのロータの回転
に変換されやすく、ポンプ作用が滑らかに行われやす
い。Further, with this arrangement, since the overall shape has a degree of freedom, the footprint can be reduced according to the needs while taking into account the path of the pipe connecting the intake port and the exhaust port. It can also ease the difficulty of installation. Further, in this arrangement method, the driving force transmitted from the drive shaft of the rotary drive device is transmitted to each of the drive gear, one timing gear and one timing gear of one single-stage roots pump, and one shaft and another shaft. This is converted into the rotation of the rotor. For this reason, there is no belt slippage unlike the conventional case, and since the torsion of each shaft is hardly affected in each single-stage roots pump, the driving force of the rotary drive device is applied to the rotation of all rotors in each pump chamber. It is easily converted, and the pumping action is easily performed.
【００１８】また、この配置方法では、動力伝達のため
に駆動ギア及びタイミングギアのみを必要とし、従来の
ような従動プーリ及びベルトが不要であることから、部
品点数が少なく、全体としてのコストの低廉化を実現で
きる。 （２）本発明の複数個の単段ルーツポンプの他の配置方
法は、回転駆動装置の駆動軸に駆動ギアを固定するとと
もに、各単段ルーツポンプの各軸に互いに噛合するタイ
ミングギアを固定し、駆動ギアに全ての単段ルーツポン
プの一つのタイミングギアを噛合させることを特徴とす
る。Further, in this arrangement method, only a driving gear and a timing gear are required for power transmission, and there is no need for a driven pulley and a belt as in the prior art. Therefore, the number of parts is small, and the overall cost is reduced. Cost reduction can be realized. (2) In another arrangement method of the plurality of single-stage roots pumps of the present invention, a drive gear is fixed to a drive shaft of a rotary drive device, and a timing gear meshing with each shaft of each single-stage roots pump is fixed. In addition, one timing gear of all the single-stage roots pumps is meshed with the drive gear.
【００１９】この配置方法においても、費用的なメリッ
トが大きく、作業性に優れ、設置の困難性を緩和するこ
とができる。また、この配置方法では、回転駆動装置の
駆動軸から伝達される駆動力は、駆動ギア、全ての単段
ルーツポンプの一つのタイミングギア及び他のタイミン
グギア並びに一つの軸及び他の軸で各ロータの回転に変
換されることとなる。このため、やはりポンプ作用が滑
らかに行われやすい。Also in this arrangement method, the cost advantage is great, the workability is excellent, and the difficulty in installation can be reduced. Further, in this arrangement, the driving force transmitted from the drive shaft of the rotary drive device is controlled by the drive gear, one timing gear and other timing gears of all single-stage roots pumps, and one shaft and another shaft. This is converted into the rotation of the rotor. For this reason, the pump action is also likely to be performed smoothly.
【００２０】さらに、この配置方法でも全体としてのコ
ストの低廉化を実現できる。 （３）本発明の複数個の単段ルーツポンプのさらに他の
配置方法は、回転駆動装置の駆動軸に駆動ギアを固定す
るとともに、各単段ルーツポンプの各軸に互いに噛合す
るタイミングギアを固定し、駆動ギア又は一つの単段ル
ーツポンプの一つのタイミングギアに他の単段ルーツポ
ンプの一つのタイミングギアを同軸に設け、駆動ギア又
はその単段ルーツポンプのタイミングギアに他の単段ル
ーツポンプの一つのタイミングギアを噛合させることを
特徴とする。Further, even with this arrangement method, the overall cost can be reduced. (3) Still another method of arranging a plurality of single-stage roots pumps according to the present invention includes fixing a drive gear to a drive shaft of a rotary drive device, and a timing gear meshing with each shaft of each single-stage roots pump. Fixed, one driving gear or one timing gear of one single roots pump is coaxially provided with one timing gear of another single roots pump, and the driving gear or the timing gear of the single roots pump is connected to another single gear. It is characterized in that one timing gear of the roots pump is meshed.
【００２１】この配置方法においても、費用的なメリッ
トが大きく、作業性に優れ、設置の困難性を緩和するこ
とができる。また、この配置方法では、回転駆動装置の
駆動軸から伝達される駆動力は、駆動ギア又は駆動ギア
と同軸のタイミングギア、他の単段ルーツポンプの一つ
のタイミングギア並びに一つの軸及び他の軸等で各ロー
タの回転に変換されることとなる。このため、やはりポ
ンプ作用が滑らかに行われやすい。Also in this arrangement method, the cost advantage is great, the workability is excellent, and the difficulty of installation can be reduced. Further, in this arrangement method, the driving force transmitted from the driving shaft of the rotary driving device is a driving gear or a timing gear coaxial with the driving gear, one timing gear of another single-stage roots pump, and one shaft and the other. The rotation is converted into the rotation of each rotor by a shaft or the like. For this reason, the pump action is also likely to be performed smoothly.
【００２２】さらに、この配置方法でも全体としてのコ
ストの低廉化を実現できる。また、タイミングギアが複
数の単段ルーツポンプで共有できるため、タイミングギ
アの削減からさらなるコストの低廉化を実現できる。 （４）本発明の複数個の単段ルーツポンプの配置方法で
は、回転駆動装置を最下端に位置させることが好まし
い。こうであれば、上方の各単段ルーツポンプの振動が
最下端の回転駆動装置を介して床面に伝播することとな
るため、各単段ルーツポンプの振動が回転駆動装置によ
って相殺又は緩和される。このため、床面に振動が伝播
しにくく、環境上好ましい。Further, even with this arrangement method, the overall cost can be reduced. Further, since the timing gear can be shared by a plurality of single-stage roots pumps, the cost can be further reduced by reducing the timing gear. (4) In the method for arranging a plurality of single-stage roots pumps according to the present invention, it is preferable that the rotary driving device is positioned at the lowermost end. In this case, since the vibrations of the upper single-stage roots pumps propagate to the floor via the lowermost rotary drive, the vibrations of the single-stage roots pumps are canceled or reduced by the rotary drive. You. For this reason, vibration is not easily transmitted to the floor surface, which is environmentally preferable.
【００２３】（５）本発明の複数個の単段ルーツポンプ
の配置方法では、順次連続する単段ルーツポンプをタイ
ミングギアを挟んで対向する向きに配置することが好ま
しい。こうであれば、全体として軸長が短く、高さも低
くすることができる。 （６）本発明の１個の多段ルーツポンプの配置方法は、
それぞれ吸気口及び排気口を備えた複数個のポンプ室を
構成し、前段の該ポンプ室の該排気口に後段の該ポンプ
室の該吸気口が順次接続されたケーシングと、各該ポン
プ室内に配置され、互いに平行な複数の軸上に装着され
て互いに噛み合って回転する２個以上で１組をなすロー
タとを有する多段ルーツポンプを１個用いるとともに、
駆動本体と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動
軸とを有する回転駆動装置を１個用い、該回転駆動装置
により該多段ルーツポンプを駆動して該多段ルーツポン
プにより順次ポンプ作用を行うべく、該多段ルーツポン
プを配置する１個の多段ルーツポンプの配置方法であっ
て、前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定す
るとともに、前記多段ルーツポンプの各前記軸に互いに
噛合するタイミングギアを固定し、該駆動ギアに一つの
該タイミングギアを噛合させ、該回転駆動装置の該駆動
本体と該多段ルーツポンプの前記ケーシングとを同一側
に位置させることを特徴とする。(5) In the method of arranging a plurality of single-stage roots pumps according to the present invention, it is preferable that the single-stage roots pumps that are successively arranged are arranged to face each other with the timing gear therebetween. In this case, the shaft length can be shortened as a whole, and the height can be reduced. (6) The arrangement method of one multi-stage roots pump of the present invention is as follows.
A plurality of pump chambers each having an intake port and an exhaust port, a casing in which the exhaust port of the preceding pump chamber is sequentially connected to the intake port of the subsequent pump chamber, and a casing inside each of the pump chambers. A multi-stage roots pump having two or more rotors that are arranged and mounted on a plurality of mutually parallel shafts and rotate while meshing with each other;
In order to use one rotary drive device having a drive main body and a drive shaft protruding from the drive main body and rotating and driving the multi-stage roots pump by the rotary drive device, the multi-stage roots pump sequentially performs a pumping operation. A method of arranging one multi-stage roots pump in which the multi-stage roots pump is arranged, wherein a timing for fixing a drive gear to the drive shaft of the rotary drive device and meshing with each of the shafts of the multi-stage roots pump. A gear is fixed, one of the timing gears is meshed with the drive gear, and the drive main body of the rotary drive device and the casing of the multi-stage roots pump are located on the same side.
【００２４】この配置方法では、回転駆動装置の駆動本
体と多段ルーツポンプのケーシングとを同一側に位置さ
せているため、全体として軸長が短くなり、フットプリ
ントを縮小でき、設置の困難性を緩和することができ
る。 （７）本発明の１個の多段ルーツポンプの配置方法で
は、回転駆動装置を最下端に位置させることが好まし
い。こうであれば、上方の多段ルーツポンプの振動が最
下端の回転駆動装置を介して床面に伝播することとなる
ため、多段ルーツポンプの振動が回転駆動装置によって
相殺又は緩和される。このため、床面に振動が伝播しに
くく、環境上好ましい。In this arrangement method, since the drive main body of the rotary drive device and the casing of the multi-stage roots pump are located on the same side, the overall shaft length is shortened, the footprint can be reduced, and the difficulty in installation is reduced. Can be eased. (7) In the method of arranging one multi-stage roots pump of the present invention, it is preferable that the rotary drive device is located at the lowermost end. In this case, since the vibration of the upper multi-stage roots pump propagates to the floor via the lowermost rotary drive, the vibration of the multi-stage roots pump is canceled or reduced by the rotary drive. For this reason, vibration is not easily transmitted to the floor surface, which is environmentally preferable.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態１〜４を図面を参照しつつ説明する。 （実施形態１）この配置方法では、図１に示すように、
４個の第１〜４単段ルーツポンプ１〜４と、回転駆動装
置としてのモータ５とを図示しないブラケットにより固
定している。各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４及びモ
ータ５とブラケットとの間にはゴムパッドを介在させて
いる。モータ５が最下端に位置しており、その斜め上方
（図中右上）に第１単段ルーツポンプ１が配置され、そ
の斜め上方（図中左上）かつモータ５の上方に第２単段
ルーツポンプ２が配置され、その斜め上方（図中右上）
かつ第１単段ルーツポンプ１の上方に第３単段ルーツポ
ンプ３が配置され、その斜め上方（図中左上）かつ第２
単段ルーツポンプ２の上方に第４単段ルーツポンプ４が
配置されている。順次連続する第１〜４単段ルーツポン
プ１〜４は、後述する第１、２タイミングギア１８〜２
５を挟んで対向する向きに配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments 1 to 4 embodying the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) In this arrangement method, as shown in FIG.
Four first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 and a motor 5 as a rotary drive device are fixed by a bracket (not shown). A rubber pad is interposed between each of the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 and the motor 5 and the bracket. The motor 5 is located at the lowermost end, and the first single-stage roots pump 1 is disposed diagonally above (upper right in the figure), and the second single-stage roots diagonally above (upper left in the figure) and above the motor 5. The pump 2 is arranged and obliquely above (upper right in the figure)
Further, a third single-stage roots pump 3 is disposed above the first single-stage roots pump 1, and a third obliquely upward (upper left in the figure) and a second
A fourth single-stage roots pump 4 is disposed above the single-stage roots pump 2. The first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 that are successively arranged are connected to first and second timing gears 18 to 2 described later.
5 are arranged facing each other.
【００２６】各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４では、
図２に示すように、ケーシング６により１個のポンプ室
７が構成されており、ポンプ室７内には互いに平行な２
本の第１軸８及び第２軸９が設けられている。第１軸８
には第１ロータ１０が装着され、第２軸９には第２ロー
タ１１が装着され、これら第１、２ロータ１０、１１は
第１、２軸８、９の回転により互いに噛み合って回転す
るようになっている。ポンプ室７には、第１、２ロータ
１０、１１の回転により空気を吸入する吸気口７ａと、
空気を排出する排気口７ｂとが形成されている。モータ
５は、図１に示すように、駆動本体５ａと、この駆動本
体５ａから突出して回転駆動する駆動軸５ｂとを有して
いる。In each of the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4,
As shown in FIG. 2, one pump chamber 7 is constituted by the casing 6, and two pump chambers
A first shaft 8 and a second shaft 9 are provided. 1st axis 8
A first rotor 10 is mounted on the second shaft 9 and a second rotor 11 is mounted on the second shaft 9, and the first and second rotors 10 and 11 are engaged with each other by the rotation of the first and second shafts 8 and 9 to rotate. It has become. In the pump chamber 7, an intake port 7a for sucking air by rotation of the first and second rotors 10, 11;
An exhaust port 7b for discharging air is formed. As shown in FIG. 1, the motor 5 has a drive main body 5a and a drive shaft 5b protruding from the drive main body 5a and driven to rotate.
【００２７】また、図１及び図４に示すように、第１単
段ルーツポンプ１の吸気口７ａには真空引きして減圧室
としたい室内に開口するパイプ１２が接続されている。
第１単段ルーツポンプ１の排気口７ｂにはパイプ１３が
接続され、パイプ１３の他端は第２単段ルーツポンプ２
の吸気口７ａへ最短距離となるように接続されている。
以下同様に、第２単段ルーツポンプ２の排気口７ｂには
パイプ１４が接続され、パイプ１４の他端は第３単段ル
ーツポンプ３の吸気口７ａに接続されている。第３単段
ルーツポンプ３の排気口７ｂにはパイプ１５が接続さ
れ、パイプ１５の他端は第４単段ルーツポンプ４の吸気
口７ａに接続されている。そして、第４単段ルーツポン
プ４の排気口７ｂには大気に開口するパイプ１６が接続
されている。As shown in FIGS. 1 and 4, a pipe 12 is connected to the intake port 7a of the first single-stage roots pump 1 so as to open into a chamber to be evacuated and used as a decompression chamber.
A pipe 13 is connected to the exhaust port 7 b of the first single-stage roots pump 1, and the other end of the pipe 13 is connected to the second single-stage roots pump 2.
Is connected so as to be the shortest distance.
Similarly, a pipe 14 is connected to an exhaust port 7 b of the second single-stage roots pump 2, and the other end of the pipe 14 is connected to an intake port 7 a of the third single-stage roots pump 3. The pipe 15 is connected to the exhaust port 7 b of the third single-stage roots pump 3, and the other end of the pipe 15 is connected to the intake port 7 a of the fourth single-stage roots pump 4. A pipe 16 opening to the atmosphere is connected to the exhaust port 7b of the fourth single-stage roots pump 4.
【００２８】さらに、図３にも示すように、モータ５の
駆動軸５ｂには駆動ギア１７が固定されている。他方、
第１単段ルーツポンプ１の第１、２軸８、９には互いに
噛合する第１、２タイミングギア１８、１９が固定さ
れ、第２単段ルーツポンプ２の第１、２軸８、９には互
いに噛合する第１、２タイミングギア２０、２１が固定
され、第３単段ルーツポンプ３の第１、２軸８、９には
互いに噛合する第１、２タイミングギア２２、２３が固
定され、第４単段ルーツポンプ４の第１、２軸８、９に
は互いに噛合する第１、２タイミングギア２４、２５が
固定されている。そして、駆動ギア１７には第１単段ル
ーツポンプ１の第１タイミングギア１８が噛合され、第
１単段ルーツポンプ１の第１タイミングギア１８には第
２単段ルーツポンプ２の第２タイミングギア２１が噛合
され、第２単段ルーツポンプ２の第２タイミングギア２
１には第３単段ルーツポンプ３の第１タイミングギア２
２が噛合され、第３単段ルーツポンプ３の第１タイミン
グギア２２には第４単段ルーツポンプ４の第２タイミン
グギア２５が噛合されている。Further, as shown in FIG. 3, a drive gear 17 is fixed to the drive shaft 5b of the motor 5. On the other hand,
First and second timing gears 18 and 19 meshing with each other are fixed to the first and second shafts 8 and 9 of the first single-stage roots pump 1. The first and second shafts 8 and 9 of the second single-stage roots pump 2 are fixed to each other. The first and second timing gears 20 and 21 meshing with each other are fixed, and the first and second shafts 8 and 9 of the third single-stage roots pump 3 are fixed with first and second timing gears 22 and 23 meshing with each other. The first and second shafts 8 and 9 of the fourth single-stage roots pump 4 are fixed with first and second timing gears 24 and 25 that mesh with each other. The drive gear 17 is engaged with the first timing gear 18 of the first single-stage roots pump 1, and the first timing gear 18 of the first single-stage roots pump 1 is engaged with the second timing of the second single-stage roots pump 2. The second timing gear 2 of the second single-stage roots pump 2 is meshed with the gear 21.
1 is a first timing gear 2 of a third single-stage roots pump 3
The second timing gear 25 of the fourth single-stage roots pump 4 is meshed with the first timing gear 22 of the third single-stage roots pump 3.
【００２９】こうして、モータ５により各第１〜４単段
ルーツポンプ１〜４を駆動する。これにより、各第１〜
４単段ルーツポンプ１〜４のポンプ室７内で第１、２ロ
ータ１０、１１が互いに噛み合って回転するため、図４
に示すように、各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４のポ
ンプ室７内において順次ポンプ作用が行われ、その室内
の空気を大気に放出してその室内を１０-3〜１０-2Ｔｏ
ｒｒ程度の減圧室とすることが可能になる。Thus, the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 are driven by the motor 5. Thereby, each first to first
Since the first and second rotors 10 and 11 mesh with each other and rotate in the pump chambers 7 of the four single-stage roots pumps 1 to 4, FIG.
As shown in the figure, the pumping operation is sequentially performed in the pump chambers 7 of the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4, and the air in the room is discharged to the atmosphere to make the room 10 -3 to 10 -2. To
It is possible to use a decompression chamber of about rr.
【００３０】この配置方法では、モータ５に対して４個
の第１〜４単段ルーツポンプ１〜４を配置するため、仮
に第２単段ルーツポンプ２において補修や交換を要する
ようになっても、第１単段ルーツポンプ１及び第３、４
単段ルーツポンプ３、４の補修や交換を要しないことか
ら、費用的にメリットが大きい。この際、従来のような
複数のモータやベルトによる独立駆動方式を採用してお
らず、第２タイミングギア２１と第１タイミングギア１
８及び第１タイミングギア２２との噛合を外せばその補
修や交換を行うことができるため、作業性にも優れる。In this arrangement method, since the four first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 are arranged with respect to the motor 5, it is temporarily necessary to repair or replace the second single-stage roots pump 2. Also, the first single-stage roots pump 1 and the third and fourth
Since repair and replacement of the single-stage roots pumps 3 and 4 are not required, the merit is large in cost. In this case, the independent driving method using a plurality of motors and belts as in the related art is not adopted, and the second timing gear 21 and the first timing gear 1 are not used.
If the meshing with the first and second timing gears 22 is disengaged, repair and replacement can be performed, so that workability is also excellent.
【００３１】また、全体の形状に自由度を有して配置す
ることが可能であることから、パイプ１２〜１６の経路
を考慮しつつ、ニーズに合わせてフットプリントを縮小
できるため、設置の困難性を緩和することもできる。さ
らに、モータ５の駆動軸５ｂから伝達される駆動力は、
駆動ギア１７、第１〜４単段ルーツポンプ１〜４の第１
タイミングギア１８、２０、２２、２４及び第２タイミ
ングギア１９、２１、２３、２５並びに第１、２軸８、
９で第１、２ロータ１０、１１の回転に変換されること
となる。このため、各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４
は同期して作動し、また各第１〜４単段ルーツポンプに
おいて第１、２軸８、９のねじれも影響を受けにくいこ
とから、モータ５の駆動力がそれぞれのポンプ室７内に
おいて第１、２ロータ１０、１１の回転に変換されやす
く、ポンプ作用が滑らかに行われやすい。Further, since it is possible to arrange the entire shape with a degree of freedom, the footprint can be reduced according to the needs while taking into account the paths of the pipes 12 to 16, so that installation is difficult. Sex can also be reduced. Further, the driving force transmitted from the driving shaft 5b of the motor 5 is
Drive gear 17, first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4
The timing gears 18, 20, 22, 24 and the second timing gears 19, 21, 23, 25, and the first and second shafts 8,
In step 9, the rotation of the first and second rotors 10 and 11 is converted. For this reason, each of the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4
Operate in synchronism, and in each of the first to fourth single-stage roots pumps, the first and second shafts 8 and 9 are hardly affected by the torsion. The rotation is easily converted to the rotation of the first and second rotors 10 and 11, and the pump operation is easily performed smoothly.
【００３２】また、この配置方法では、動力伝達のため
に駆動ギア１７及び第１、２タイミングギア１８〜２５
のみを必要とし、従来のような複数のモータ又は従動プ
ーリ及びベルトが不要であることから、部品点数が少な
く、全体としてのコストの低廉化を実現できる。さら
に、この配置方法では、上方の各第１〜４単段ルーツポ
ンプ１〜４の振動が最下端のモータ５を介して床面に伝
播することとなるため、各第１〜４単段ルーツポンプ１
〜４の振動がモータ５によって相殺又は緩和される。こ
の際、ゴムパッドも振動を吸収する。このため、床面に
振動が伝播しにくく、環境上好ましい。In this arrangement, the drive gear 17 and the first and second timing gears 18 to 25 are used for power transmission.
Only a plurality of motors or driven pulleys and belts as in the related art are not required, so that the number of parts is small and the overall cost can be reduced. Further, in this arrangement method, since the vibrations of the upper first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 propagate to the floor via the lowermost motor 5, the first to fourth single-stage roots Pump 1
4 are canceled or reduced by the motor 5. At this time, the rubber pad also absorbs vibration. For this reason, vibration is not easily transmitted to the floor surface, which is environmentally preferable.
【００３３】なお、実施形態１では、駆動ギア１７と第
１タイミングギア１８とのギア比、第１タイミングギア
１８と第１タイミングギア２１とのギア比等を適当に選
択することにより、各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４
のポンプ室７内において第１、２ロータ１０、１１を適
当な回転数で回転させることができる。また、各第１〜
４単段ルーツポンプ１〜４のポンプ室７の容量を異なら
せることもできる。 （実施形態２）この配置方法では、図５に示すように、
４個の第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４と、回転駆
動装置としてのモータ３５とを図示しないブラケットに
より固定している。各第１〜４単段ルーツポンプ３１〜
３４及びモータ３５とブラケットとの間にはゴムパッド
を介在させている。第２、３単段ルーツポンプ３２、３
３が最下端に位置しており、第２、３単段ルーツポンプ
３２、３３の上方に第１、４単段ルーツポンプ３１、３
４が配置され、モータ３５は各第１〜４単段ルーツポン
プ３１〜３４の間に配置されている。なお、モータ３５
は、図６の一点鎖線に示すように、各第１〜４単段ルー
ツポンプ３１〜３４と後述する第１、２タイミングギア
４２〜４９を挟んで反対側に配置してもよい。In the first embodiment, the gear ratio between the drive gear 17 and the first timing gear 18, the gear ratio between the first timing gear 18 and the first timing gear 21, and the like are appropriately selected, so that each 1-4 single-stage roots pumps 1-4
The first and second rotors 10, 11 can be rotated at an appropriate number of revolutions in the pump chamber 7. In addition, each of the first to first
The capacity of the pump chambers 7 of the four single-stage roots pumps 1 to 4 can be made different. (Embodiment 2) In this arrangement method, as shown in FIG.
Four first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 and a motor 35 as a rotary drive device are fixed by a bracket (not shown). First to fourth single-stage roots pumps 31 to
A rubber pad is interposed between the bracket 34 and the motor 35. Second and third single-stage roots pumps 32, 3
3 is located at the lowermost end, and the first and fourth single-stage roots pumps 31 and 3 are located above the second and third single-stage roots pumps 32 and 33.
4 are arranged, and the motor 35 is arranged between the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34. The motor 35
As shown by the dashed line in FIG. 6, the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 may be disposed on the opposite sides of first and second timing gears 42 to 49 to be described later.
【００３４】各第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４は
上記実施形態１の各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４と
同様のものであり、モータ３５も上記実施形態１のモー
タ５と同様のものである。このため、同一の構成につい
ては同一符号を付して以下説明する。また、図５及び図
７に示すように、第１単段ルーツポンプ３１の吸気口７
ａには真空引きして減圧室としたい室内に開口するパイ
プ３６が接続されている。第１単段ルーツポンプ３１の
排気口７ｂにはパイプ３７が接続され、パイプ３７の他
端は第２単段ルーツポンプ３２の吸気口７ａに接続され
ている。第２単段ルーツポンプ３２の排気口７ｂにはパ
イプ３８が接続され、パイプ３８の他端は第３単段ルー
ツポンプ３３の吸気口７ａに接続されている。第３単段
ルーツポンプ３３の排気口７ｂにはパイプ３９が接続さ
れ、パイプ３９の他端は第４単段ルーツポンプ３４の吸
気口７ａに接続されている。そして、第４単段ルーツポ
ンプ３４の排気口７ｂには大気に開口するパイプ４０が
接続されている。The first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 are the same as the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 of the first embodiment, and the motor 35 is the same as the motor 5 of the first embodiment. Is similar to Therefore, the same components are denoted by the same reference numerals and will be described below. Further, as shown in FIGS. 5 and 7, the intake port 7 of the first single-stage roots pump 31
A pipe 36 is connected to a, which opens into a chamber to be evacuated to be a decompression chamber. The pipe 37 is connected to the exhaust port 7 b of the first single-stage roots pump 31, and the other end of the pipe 37 is connected to the intake port 7 a of the second single-stage roots pump 32. The pipe 38 is connected to the exhaust port 7 b of the second single-stage roots pump 32, and the other end of the pipe 38 is connected to the intake port 7 a of the third single-stage roots pump 33. A pipe 39 is connected to the exhaust port 7 b of the third single-stage roots pump 33, and the other end of the pipe 39 is connected to the intake port 7 a of the fourth single-stage roots pump 34. A pipe 40 opening to the atmosphere is connected to the exhaust port 7b of the fourth single-stage roots pump 34.
【００３５】さらに、図５及び図６に示すように、モー
タ３５の駆動軸５ｂには駆動ギア４１が固定されてい
る。他方、第１単段ルーツポンプ３１の第１、２軸８、
９には互いに噛合する第１、２タイミングギア４８、４
９が固定され、第２単段ルーツポンプ３２の第１、２軸
８、９には互いに噛合する第１、２タイミングギア４
２、４３が固定され、第３単段ルーツポンプ３３の第
１、２軸８、９には互いに噛合する第１、２タイミング
ギア４４、４５が固定され、第４単段ルーツポンプ３４
の第１、２軸８、９には互いに噛合する第１、２タイミ
ングギア４６、４７が固定されている。そして、駆動ギ
ア４１には第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４の第１
タイミングギア４２、４４、４６、４８が噛合されてい
る。Further, as shown in FIGS. 5 and 6, a drive gear 41 is fixed to the drive shaft 5b of the motor 35. On the other hand, the first and second shafts 8 of the first single-stage roots pump 31,
9 includes first and second timing gears 48, 4 meshing with each other.
9 is fixed, and the first and second shafts 8 and 9 of the second single stage roots pump 32 are meshed with the first and second timing gears 4.
The first and second timing gears 44 and 45 that mesh with each other are fixed to the first and second shafts 8 and 9 of the third single-stage roots pump 33.
First and second timing gears 46 and 47 meshing with each other are fixed to the first and second shafts 8 and 9. The first to fourth single-stage Roots pumps 31 to 34 have the first drive gear 41.
The timing gears 42, 44, 46, 48 are engaged.
【００３６】こうして、モータ３５により各第１〜４単
段ルーツポンプ３１〜３４を駆動する。これにより、各
第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４のポンプ室７内で
第１、２ロータ１０、１１が互いに噛み合って回転する
ため、図７に示すように、各第１〜４単段ルーツポンプ
３１〜３４のポンプ室７内において順次ポンプ作用が行
われ、その室内の空気を大気に放出してその室内を１０
-3〜１０-2Ｔｏｒｒ程度の減圧室とすることが可能にな
る。Thus, the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 are driven by the motor 35. As a result, the first and second rotors 10 and 11 rotate while meshing with each other in the pump chamber 7 of each of the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34. As shown in FIG. The pumping operation is performed sequentially in the pump chambers 7 of the stage roots pumps 31 to 34, and the air in the room is released to the atmosphere, and
A reduced pressure chamber of about -3 to 10 -2 Torr can be provided.
【００３７】この配置方法では、駆動ギア４１に全ての
第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４の第１タイミング
ギア４２、４４、４６、４８を噛合させているため、モ
ータ３５の駆動軸５ｂから伝達される駆動力は、駆動ギ
ア４１、全ての第１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４の
第１タイミングギア４２、４４、４６、４８及び第２タ
イミングギア４３、４５、４７、４９並びに第１、２軸
８、９で各第１、２ロータ１０、１１の回転に変換され
ることとなる。このため、やはりポンプ作用が滑らかに
行われやすい。In this arrangement, since the first timing gears 42, 44, 46 and 48 of all the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 are meshed with the driving gear 41, the driving shaft 5b of the motor 35 Is transmitted from the drive gear 41, the first timing gears 42, 44, 46, 48 and the second timing gears 43, 45, 47, 49 of all the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34, and The rotation is converted into the rotation of the first and second rotors 10 and 11 by the first and second shafts 8 and 9. For this reason, the pump action is also likely to be performed smoothly.
【００３８】他の作用効果は実施形態１と同様である。
なお、実施形態２では、駆動ギア４１と第１タイミング
ギア４２とのギア比、駆動ギア４１と第１タイミングギ
ア４４とのギア比等を適当に選択することにより、各第
１〜４単段ルーツポンプ３１〜３４のポンプ室７内にお
いて第１、２ロータ１０、１１を適当な回転数で回転さ
せることができる。また、各第１〜４単段ルーツポンプ
３１〜３４のポンプ室７の容量を異ならせることもでき
る。 （実施形態３）この配置方法では、図８に示すように、
５個の第１〜５単段ルーツポンプ５１〜５５と、回転駆
動装置としてのモータ５６とを図示しないブラケットに
より固定している。各第１〜５単段ルーツポンプ５１〜
５５及びモータ５６とブラケットとの間にはゴムパッド
を介在させている。第１〜４単段ルーツポンプ５１〜５
４が最下端に位置しており、第２、３単段ルーツポンプ
５２、５３の上方にモータ５６が配置され、第１、４単
段ルーツポンプ５１、５４の上方に第５単段ルーツポン
プ５５が配置されている。Other functions and effects are the same as those of the first embodiment.
In the second embodiment, by appropriately selecting the gear ratio between the driving gear 41 and the first timing gear 42, the gear ratio between the driving gear 41 and the first timing gear 44, etc. The first and second rotors 10, 11 can be rotated at an appropriate rotation speed in the pump chambers 7 of the roots pumps 31 to 34. Further, the capacities of the pump chambers 7 of the first to fourth single-stage roots pumps 31 to 34 can be made different. (Embodiment 3) In this arrangement method, as shown in FIG.
Five first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55 and a motor 56 as a rotary drive device are fixed by a bracket (not shown). First to fifth single-stage roots pumps 51 to 51
A rubber pad is interposed between the bracket 55 and the motor 56. First to fourth single-stage roots pumps 51 to 5
4 is located at the lowermost end, a motor 56 is disposed above the second and third single-stage roots pumps 52 and 53, and a fifth single-stage roots pump is disposed above the first and fourth single-stage roots pumps 51 and 54. 55 are arranged.
【００３９】各第１〜５単段ルーツポンプ５１〜５５は
上記実施形態１の各第１〜４単段ルーツポンプ１〜４と
同様のものであり、モータ５６も上記実施形態１のモー
タ５と同様のものである。このため、同一の構成につい
ては同一符号を付して以下説明する。また、図８及び図
１０に示すように、第１単段ルーツポンプ５１の吸気口
７ａには真空引きして減圧室としたい室内に開口するパ
イプ５７が接続されている。第１単段ルーツポンプ５１
の排気口７ｂにはパイプ５８が接続され、パイプ５８の
他端は第２単段ルーツポンプ５２の吸気口７ａに接続さ
れている。第２単段ルーツポンプ５２の排気口７ｂには
パイプ５９が接続され、パイプ５９の他端は第３単段ル
ーツポンプ５３の吸気口７ａに接続されている。第３単
段ルーツポンプ５３の排気口７ｂにはパイプ６０が接続
され、パイプ６０の他端は第４単段ルーツポンプ５４の
吸気口７ａに接続されている。第４単段ルーツポンプ５
４の排気口７ｂにはパイプ６１が接続され、パイプ６１
の他端は第５単段ルーツポンプ５５の吸気口７ａに接続
されている。第５単段ルーツポンプ５５の排気口７ｂに
は大気に開口するパイプ６２が接続されている。The first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55 are the same as the first to fourth single-stage roots pumps 1 to 4 of the first embodiment, and the motor 56 is the motor 5 of the first embodiment. Is similar to Therefore, the same components are denoted by the same reference numerals and will be described below. As shown in FIGS. 8 and 10, a pipe 57 is connected to the suction port 7a of the first single-stage roots pump 51, and the pipe 57 opens into a chamber that is to be evacuated into a decompression chamber. First single-stage roots pump 51
The other end of the pipe 58 is connected to the intake port 7a of the second single-stage roots pump 52. The pipe 59 is connected to the exhaust port 7 b of the second single-stage roots pump 52, and the other end of the pipe 59 is connected to the intake port 7 a of the third single-stage roots pump 53. The pipe 60 is connected to the exhaust port 7 b of the third single-stage roots pump 53, and the other end of the pipe 60 is connected to the intake port 7 a of the fourth single-stage roots pump 54. 4th single stage roots pump 5
A pipe 61 is connected to the exhaust port 7 b of the pipe 4.
Is connected to the intake port 7a of the fifth single-stage roots pump 55. A pipe 62 opening to the atmosphere is connected to the exhaust port 7b of the fifth single-stage roots pump 55.
【００４０】さらに、図９にも示すように、モータ５６
の駆動軸５ｂには駆動ギア６３が固定されている。他
方、第１単段ルーツポンプ５１の第１軸８に固定された
第１タイミングギア６４は第２単段ルーツポンプ５２の
第１軸８と同軸に固定され、第１単段ルーツポンプ５１
の第２軸９に固定された第２タイミングギア６５は第２
単段ルーツポンプ５２の第２軸９と同軸に固定され、駆
動ギア６３と第１タイミングギア６４とが噛合され、駆
動ギア６３と第１タイミングギア６４とが噛合され、第
１タイミングギア６４と第２タイミングギア６５とが噛
合されている。また、第３単段ルーツポンプ５３の第１
軸８に固定された第１タイミングギア６６は第４単段ル
ーツポンプ５４の第１軸８と同軸に固定され、第３単段
ルーツポンプ５３の第２軸９に固定された第２タイミン
グギア６７は第４単段ルーツポンプ５２の第２軸９と同
軸に固定され、駆動ギア６３と第１タイミングギア６６
とが噛合され、第１タイミングギア６６と第２タイミン
グギア６７とが噛合されている。さらに、駆動ギア６３
と第５単段ルーツポンプ５５の第１軸８に固定された第
１タイミングギア６８とは同軸に固定され、第１タイミ
ングギア６８と第５単段ルーツポンプ５５の第２軸９に
固定された第２タイミングギア６９とが噛合されてい
る。Further, as shown in FIG.
A drive gear 63 is fixed to the drive shaft 5b. On the other hand, the first timing gear 64 fixed to the first shaft 8 of the first single-stage roots pump 51 is coaxially fixed to the first shaft 8 of the second single-stage roots pump 52, and
The second timing gear 65 fixed to the second shaft 9 of the second
The drive shaft 63 is fixed coaxially with the second shaft 9 of the single-stage roots pump 52, the drive gear 63 is meshed with the first timing gear 64, the drive gear 63 is meshed with the first timing gear 64, and the first timing gear 64 is The second timing gear 65 is engaged. In addition, the first single-stage roots pump 53
A first timing gear 66 fixed to the shaft 8 is coaxially fixed to the first shaft 8 of the fourth single-stage roots pump 54, and a second timing gear fixed to the second shaft 9 of the third single-stage roots pump 53. 67 is coaxially fixed to the second shaft 9 of the fourth single-stage roots pump 52, and includes a driving gear 63 and a first timing gear 66.
Are meshed, and the first timing gear 66 and the second timing gear 67 are meshed. Further, the driving gear 63
And the first timing gear 68 fixed to the first shaft 8 of the fifth single-stage roots pump 55 are coaxially fixed, and fixed to the first timing gear 68 and the second shaft 9 of the fifth single-stage roots pump 55. The second timing gear 69 is engaged.
【００４１】こうして、モータ５６により各第１〜５単
段ルーツポンプ５１〜５５を駆動する。これにより、各
第１〜５単段ルーツポンプ５１〜５５のポンプ室７内で
第１、２ロータ１０、１１が互いに噛み合って回転する
ため、図１０に示すように、各第１〜５単段ルーツポン
プ５１〜５５のポンプ室７内において順次ポンプ作用が
行われ、その室内の空気を大気に放出してその室内を１
０-3〜１０-2Ｔｏｒｒ程度の減圧室とすることが可能に
なる。Thus, the first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55 are driven by the motor 56. As a result, the first and second rotors 10 and 11 rotate while meshing with each other in the pump chamber 7 of each of the first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55, as shown in FIG. The pump action is performed sequentially in the pump chambers 7 of the stage roots pumps 51 to 55, and the air in the room is released to the atmosphere to make the room 1
A reduced pressure chamber of about 0 -3 to 10 -2 Torr can be provided.
【００４２】この配置方法では、駆動ギア６３に第５単
段ルーツポンプ５５の第１タイミングギア６８を同軸に
設け、第１タイミングギア６４が第１単段ルーツポンプ
５１の第１軸８及び第２単段ルーツポンプ５２の第１軸
８に同軸に固定され、第１タイミングギア６６が第３単
段ルーツポンプ５３の第１軸８及び第４単段ルーツポン
プ５４の第１軸８に同軸に固定され、駆動ギア６３に第
１、２単段ルーツポンプ５１、５２の第１タイミングギ
ア６４を噛合させ、駆動ギア６３に第３、４単段ルーツ
ポンプ５３、５４の第１タイミングギア６６を噛合させ
ている。このため、モータ５６の駆動軸５ｂから伝達さ
れる駆動力は、駆動ギア６３、第１タイミングギア６
４、６６、第２タイミングギア６５、６７、第１軸８及
び第２軸９で第１〜４単段ルーツポンプ５１〜５４の第
１、２ロータ１０、１１の回転に変換され、駆動ギア６
３、第１タイミングギア６８、第２タイミングギア６
９、第１軸８及び第２軸９で第５単段ルーツポンプ５５
の第１、２ロータ１０、１１の回転に変換されることと
なる。このため、やはりポンプ作用が滑らかに行われや
すい。In this arrangement, the first timing gear 68 of the fifth single-stage roots pump 55 is provided coaxially with the driving gear 63, and the first timing gear 64 is connected to the first shaft 8 of the first single-stage roots pump 51 and the first timing gear 68. The first timing gear 66 is coaxially fixed to the first shaft 8 of the two-stage roots pump 52 and the first shaft 8 of the third single-stage roots pump 53 and the first shaft 8 of the fourth single-stage roots pump 54. The first timing gear 64 of the first and second single-stage roots pumps 51 and 52 is meshed with the driving gear 63, and the first timing gear 66 of the third and fourth single-stage roots pumps 53 and 54 is engaged with the driving gear 63. Is engaged. For this reason, the driving force transmitted from the driving shaft 5 b of the motor 56 is controlled by the driving gear 63 and the first timing gear 6.
4, 66, the second timing gears 65 and 67, the first shaft 8 and the second shaft 9 are converted into rotations of the first and second rotors 10 and 11 of the first to fourth single-stage roots pumps 51 to 54, and the driving gear 6
3, the first timing gear 68, the second timing gear 6
9, the fifth single-stage roots pump 55 using the first shaft 8 and the second shaft 9
Of the first and second rotors 10 and 11. For this reason, the pump action is also likely to be performed smoothly.
【００４３】また、第１タイミングギア６４が第１、２
単段ルーツポンプ５１、５２で共有でき、第１タイミン
グギア６６が第３、４単段ルーツポンプ５３、５４で共
有できるため、タイミングギアの削減からコストの低廉
化を実現できる。他の作用効果は実施形態１と同様であ
る。なお、実施形態３では、駆動ギア６３と第１タイミ
ングギア６４とのギア比、駆動ギア６３と第１タイミン
グギア６６とのギア比等を適当に選択することにより、
各第１〜５単段ルーツポンプ５１〜５５のポンプ室７内
において第１、２ロータ１０、１１を適当な回転数で回
転させることができる。また、各第１〜５単段ルーツポ
ンプ５１〜５５のポンプ室７の容量を異ならせることも
できる。 （実施形態４）この配置方法では、図１１に示すよう
に、１個の多段ルーツポンプ７１と、回転駆動装置とし
てのモータ７２とを図示しないブラケットにより固定し
ている。多段ルーツポンプ７１及びモータ７２とブラケ
ットとの間にはゴムパッドを介在させている。モータ７
２が最下端に位置しており、その斜め上方に多段ルーツ
ポンプ７１が配置されている。The first timing gear 64 is connected to the first and second timing gears.
Since the single-stage roots pumps 51 and 52 can share the first timing gear 66 and the third and fourth single-stage roots pumps 53 and 54, the timing gear can be reduced and the cost can be reduced. Other functions and effects are the same as those of the first embodiment. In the third embodiment, the gear ratio between the drive gear 63 and the first timing gear 64, the gear ratio between the drive gear 63 and the first timing gear 66, and the like are appropriately selected.
The first and second rotors 10, 11 can be rotated at an appropriate rotation speed in the pump chamber 7 of each of the first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55. Further, the capacities of the pump chambers 7 of the first to fifth single-stage roots pumps 51 to 55 can be made different. (Embodiment 4) In this arrangement method, as shown in FIG. 11, one multi-stage roots pump 71 and a motor 72 as a rotary drive device are fixed by a bracket (not shown). A rubber pad is interposed between the bracket and the multi-stage roots pump 71 and the motor 72. Motor 7
2 is located at the lowermost end, and a multi-stage roots pump 71 is arranged diagonally above.
【００４４】多段ルーツポンプ７１は一般的な市販のも
のであり、ケーシング７３にはそれぞれ図示しない吸気
口及び排気口を備えた複数個の図示しないポンプ室が構
成され、前段のポンプ室の排気口に後段のポンプ室の吸
気口が順次接続されている。最も前段の吸気口は真空引
きして減圧室としたい室内に開口する図示しないパイプ
に接続されており、最も後段の排気口は大気に開口する
図示しないパイプに接続されている。各ポンプ室内に
は、互いに平行な２本の第１軸７４及び第２軸７５上に
装着されて互いに噛み合って回転する２個で１組をなす
図示しないロータが配置されている。モータ７２は上記
実施形態１のモータ５と同様のものである。このため、
同一の構成については同一符号を付して以下説明する。The multi-stage roots pump 71 is a general commercially available pump, and a casing 73 is provided with a plurality of pump chambers (not shown) each having an intake port and an exhaust port (not shown). , A suction port of a pump chamber in a subsequent stage is sequentially connected. The intake port at the foremost stage is connected to a pipe (not shown) that opens into a room that is to be evacuated to be a decompression chamber, and the exhaust port at the rear stage is connected to a pipe (not shown) that opens to the atmosphere. In each pump chamber, a set of two rotors (not shown) mounted on two first shafts 74 and second shafts 75 parallel to each other and rotating while meshing with each other is arranged. The motor 72 is similar to the motor 5 of the first embodiment. For this reason,
The same components are denoted by the same reference numerals and will be described below.
【００４５】また、図１２にも示すように、モータ７２
の駆動軸５ｂには駆動ギア７６が固定されている。他
方、多段ルーツポンプ７１の第１、２軸７４、７５には
互いに噛合する第１、２タイミングギア７７、７８が固
定されている。そして、駆動ギア７６には多段ルーツポ
ンプ７１の第１タイミングギア７７が噛合されている。
こうして、モータ７２により多段ルーツポンプ７１を駆
動する。これにより、多段ルーツポンプ７１の各ポンプ
室内で各ロータが互いに噛み合って回転するため、多段
ルーツポンプ７１の各ポンプ室内において順次ポンプ作
用が行われ、その室内の空気を大気に放出してその室内
を１０-3〜１０-2Ｔｏｒｒ程度の減圧室とすることが可
能になる。Also, as shown in FIG.
A drive gear 76 is fixed to the drive shaft 5b. On the other hand, first and second timing gears 77 and 78 that mesh with each other are fixed to first and second shafts 74 and 75 of the multi-stage roots pump 71. The first timing gear 77 of the multi-stage roots pump 71 is meshed with the drive gear 76.
Thus, the multi-stage roots pump 71 is driven by the motor 72. Accordingly, since the respective rotors mesh with each other and rotate in the respective pump chambers of the multi-stage roots pump 71, the pumping action is sequentially performed in the respective pump rooms of the multi-stage roots pump 71, and the air in the room is discharged to the atmosphere to release the room. Can be reduced to about 10 −3 to 10 −2 Torr.
【００４６】この配置方法では、モータ７２の駆動本体
５ａと多段ルーツポンプ７１のケーシング７３とを同一
側に位置させているため、全体として軸長が短くなり、
フットプリントを縮小でき、設置の困難性を緩和するこ
とができる。他の作用効果は実施形態１と同様である。In this arrangement method, since the drive main body 5a of the motor 72 and the casing 73 of the multi-stage roots pump 71 are located on the same side, the shaft length is reduced as a whole,
The footprint can be reduced, and the difficulty of installation can be reduced. Other functions and effects are the same as those of the first embodiment.
【図１】実施形態１に係り、モータと各単段ルーツポン
プとの配置を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an arrangement of a motor and each single-stage roots pump according to a first embodiment.
【図２】実施形態１に係り、単段ルーツポンプの断面図
である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the single-stage roots pump according to the first embodiment.
【図３】実施形態１に係り、駆動ギアとタイミングギア
との配置を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing an arrangement of a drive gear and a timing gear according to the first embodiment.
【図４】実施形態１に係り、各単段ルーツポンプのポン
プ室の配置を示す模式構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an arrangement of a pump chamber of each single-stage roots pump according to the first embodiment.
【図５】実施形態２に係り、モータと各単段ルーツポン
プとタイミングギアとの配置を示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing an arrangement of a motor, each single-stage roots pump, and a timing gear according to the second embodiment.
【図６】実施形態２に係り、モータと各単段ルーツポン
プとの他の配置を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing another arrangement of the motor and each single-stage roots pump according to the second embodiment.
【図７】実施形態２に係り、各単段ルーツポンプのポン
プ室の配置を示す模式構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an arrangement of a pump chamber of each single-stage roots pump according to the second embodiment.
【図８】実施形態３に係り、モータと各単段ルーツポン
プとの配置を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing an arrangement of a motor and each single-stage roots pump according to the third embodiment.
【図９】実施形態３に係り、駆動ギアとタイミングギア
との配置を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing an arrangement of a drive gear and a timing gear according to the third embodiment.
【図１０】実施形態３に係り、各単段ルーツポンプのポ
ンプ室の配置を示す模式構成図である。FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing an arrangement of a pump chamber of each single-stage roots pump according to the third embodiment.
【図１１】実施形態４に係り、モータと多段ルーツポン
プとの配置を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an arrangement of a motor and a multi-stage roots pump according to the fourth embodiment.
【図１２】実施形態４に係り、駆動ギアとタイミングギ
アとの配置を示す正面図である。FIG. 12 is a front view showing an arrangement of a drive gear and a timing gear according to the fourth embodiment.
１〜４、３１〜３４、５１〜５５…単段ルーツポンプ
（１、３１、５１…第１単段ルーツポンプ、２、３２、
５２…第２単段ルーツポンプ、３、３３、５３…第３単
段ルーツポンプ、４、３４、５４…第４単段ルーツポン
プ、５５…第５単段ルーツポンプ） ７ａ…吸気口 ７ｂ…排気口 ７…ポンプ室 ６、７３…ケーシング ８、９、７４、７５…軸（８、７４…第１軸、９、７５
…第２軸） １０、１１…ロータ（１０…第１ロータ、１１…第２ロ
ータ） ５、３５、５６、７２…回転駆動装置（モータ） ５ａ…駆動本体 ５ｂ…駆動軸 １７、４１、６３、７６…駆動ギア １８〜２５、４２〜４９、６４〜６９、７７、７８…タ
イミングギア ７１…多段ルーツポンプ1 to 4, 31 to 34, 51 to 55 ... single-stage roots pump (1, 31, 51 ... first single-stage roots pump, 2, 32,
52: second single-stage roots pump, 3, 33, 53: third single-stage roots pump, 4, 34, 54: fourth single-stage roots pump, 55: fifth single-stage roots pump) 7a: intake port 7b Exhaust port 7 Pump chamber 6, 73 Casing 8, 9, 74, 75 Shaft (8, 74 First shaft 9, 9, 75)
... second shaft) 10, 11 ... rotor (10 ... first rotor, 11 ... second rotor) 5, 35, 56, 72 ... rotary drive device (motor) 5a ... drive body 5b ... drive shaft 17, 41, 63 , 76: drive gears 18 to 25, 42 to 49, 64 to 69, 77, 78: timing gear 71: multi-stage roots pump
Claims (7)
を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、互
いに平行な複数の軸上に装着されて互いに噛み合って回
転する２個以上で１組をなすロータとを有する単段ルー
ツポンプを複数個用いるとともに、駆動本体と、該駆動
本体から突出して回転駆動する駆動軸とを有する回転駆
動装置を１個用い、一つの該単段ルーツポンプの該排気
口に他の一つの該単段ルーツポンプの該吸気口を順次接
続し、該回転駆動装置により各該単段ルーツポンプを駆
動して各該単段ルーツポンプにより順次ポンプ作用を行
うべく、各該単段ルーツポンプを配置する複数個の単段
ルーツポンプの配置方法であって、 前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定すると
ともに、各前記単段ルーツポンプの各前記軸に互いに噛
合するタイミングギアを固定し、該駆動ギアに一つの該
単段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを噛合さ
せ、その単段ルーツポンプの該タイミングギアに他の該
単段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを噛合させ
ることを特徴とする複数個の単段ルーツポンプの配置方
法。1. A casing forming one pump chamber having an intake port and an exhaust port, and two or more casings arranged in the pump chamber, mounted on a plurality of axes parallel to each other, and rotated by meshing with each other. A plurality of single-stage roots pumps having a pair of rotors, and one single-stage Roots pump having a drive body and a drive shaft protruding from the drive body and driven to rotate. The intake port of another single-stage roots pump is sequentially connected to the exhaust port of the roots pump, and each of the single-stage roots pumps is driven by the rotation driving device, and the single-stage roots pump is sequentially pumped. A method of arranging a plurality of single-stage roots pumps, wherein each single-stage roots pump is arranged, wherein a driving gear is fixed to the drive shaft of the rotary drive device, each A timing gear meshing with each other is fixed to the shaft, one of the single-stage roots pumps is meshed with the driving gear, and the other single-stage roots pump is meshed with the timing gear of the single-stage roots pump. A method for arranging a plurality of single-stage roots pumps, wherein one of the timing gears is meshed.
を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、互
いに平行な複数の軸上に装着されて互いに噛み合って回
転する２個以上で１組をなすロータとを有する単段ルー
ツポンプを複数個用いるとともに、駆動本体と、該駆動
本体から突出して回転駆動する駆動軸とを有する回転駆
動装置を１個用い、一つの該単段ルーツポンプの該排気
口に他の一つの該単段ルーツポンプの該吸気口を順次接
続し、該回転駆動装置により各該単段ルーツポンプを駆
動して各該単段ルーツポンプにより順次ポンプ作用を行
うべく、各該単段ルーツポンプを配置する複数個の単段
ルーツポンプの配置方法であって、 前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定すると
ともに、各前記単段ルーツポンプの各前記軸に互いに噛
合するタイミングギアを固定し、該駆動ギアに全ての該
単段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを噛合させ
ることを特徴とする複数個の単段ルーツポンプの配置方
法。2. A casing forming one pump chamber having an intake port and an exhaust port, and two or more casings arranged in the pump chamber, mounted on a plurality of shafts parallel to each other, and rotated by meshing with each other. A plurality of single-stage roots pumps having a pair of rotors, and one single-stage Roots pump having a drive body and a drive shaft protruding from the drive body and driven to rotate. The intake port of another single-stage roots pump is sequentially connected to the exhaust port of the roots pump, and each of the single-stage roots pumps is driven by the rotation driving device, and the single-stage roots pump is sequentially pumped. A method of arranging a plurality of single-stage roots pumps, wherein each single-stage roots pump is arranged, wherein a driving gear is fixed to the drive shaft of the rotary drive device, each A method of arranging a plurality of single-stage roots pumps, wherein a timing gear meshing with each other is fixed to the shaft, and one of the single-stage roots pumps is meshed with the drive gear.
を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、互
いに平行な複数の軸上に装着されて互いに噛み合って回
転する２個以上で１組をなすロータとを有する単段ルー
ツポンプを複数個用いるとともに、駆動本体と、該駆動
本体から突出して回転駆動する駆動軸とを有する回転駆
動装置を１個用い、一つの該単段ルーツポンプの該排気
口に他の一つの該単段ルーツポンプの該吸気口を順次接
続し、該回転駆動装置により各該単段ルーツポンプを駆
動して各該単段ルーツポンプにより順次ポンプ作用を行
うべく、各該単段ルーツポンプを配置する複数個の単段
ルーツポンプの配置方法であって、 前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定すると
ともに、各前記単段ルーツポンプの各前記軸に互いに噛
合するタイミングギアを固定し、該駆動ギア又は一つの
該単段ルーツポンプの一つのタイミングギアに他の該単
段ルーツポンプの一つの該タイミングギアを同軸に設
け、該駆動ギア又はその単段ルーツポンプの該タイミン
グギアに他の該単段ルーツポンプの一つの該タイミング
ギアを噛合させることを特徴とする複数個の単段ルーツ
ポンプの配置方法。3. A casing forming one pump chamber having an intake port and an exhaust port, and two or more casings arranged in the pump chamber, mounted on a plurality of axes parallel to each other, and rotated by meshing with each other. A plurality of single-stage roots pumps having a pair of rotors, and one single-stage Roots pump having a drive body and a drive shaft protruding from the drive body and driven to rotate. The intake port of another single-stage roots pump is sequentially connected to the exhaust port of the roots pump, and each of the single-stage roots pumps is driven by the rotation driving device, and the single-stage roots pump is sequentially pumped. A method of arranging a plurality of single-stage roots pumps, wherein each single-stage roots pump is arranged, wherein a driving gear is fixed to the drive shaft of the rotary drive device, each A timing gear meshing with each other is fixed to the shaft, and one of the drive gears or one of the single-stage roots pumps is provided coaxially with one of the other single-stage roots pumps, and the drive gear Alternatively, the timing gear of the single-stage roots pump is meshed with one of the timing gears of another single-stage roots pump.
を特徴とする請求項１、２又は３記載の複数個の単段ル
ーツポンプの配置方法。4. A method for arranging a plurality of single-stage Roots pumps according to claim 1, wherein the rotary drive device is located at the lowermost end.
ングギアを挟んで対向する向きに配置されていることを
特徴とする請求項１、２、３又は４記載の複数個の単段
ルーツポンプの配置方法。5. A plurality of single-stage roots pumps according to claim 1, wherein the successive single-stage roots pumps are arranged to face each other across a timing gear. Placement method.
のポンプ室を構成し、前段の該ポンプ室の該排気口に後
段の該ポンプ室の該吸気口が順次接続されたケーシング
と、各該ポンプ室内に配置され、互いに平行な複数の軸
上に装着されて互いに噛み合って回転する２個以上で１
組をなすロータとを有する多段ルーツポンプを１個用い
るとともに、駆動本体と、該駆動本体から突出して回転
駆動する駆動軸とを有する回転駆動装置を１個用い、該
回転駆動装置により該多段ルーツポンプを駆動して該多
段ルーツポンプにより順次ポンプ作用を行うべく、該多
段ルーツポンプを配置する１個の多段ルーツポンプの配
置方法であって、 前記回転駆動装置の前記駆動軸に駆動ギアを固定すると
ともに、前記多段ルーツポンプの各前記軸に互いに噛合
するタイミングギアを固定し、該駆動ギアに一つの該タ
イミングギアを噛合させ、該回転駆動装置の該駆動本体
と該多段ルーツポンプの前記ケーシングとを同一側に位
置させることを特徴とする１個の多段ルーツポンプの配
置方法。6. A casing comprising a plurality of pump chambers each having an intake port and an exhaust port, wherein the exhaust port of the preceding pump chamber is connected to the intake port of the subsequent pump chamber sequentially. Each of the pump chambers is provided with a plurality of shafts mounted on a plurality of shafts parallel to each other and rotating while meshing with each other.
A multi-stage roots pump having a pair of rotors and a rotary drive having a drive main body and a drive shaft protruding from the drive main body and rotationally driven; A method of arranging one multi-stage roots pump in which the multi-stage roots pump is arranged so as to drive a pump and sequentially perform a pumping operation by the multi-stage roots pump, wherein a driving gear is fixed to the drive shaft of the rotary drive device. In addition, a timing gear meshing with each shaft of the multi-stage roots pump is fixed, one timing gear meshes with the drive gear, and the drive main body of the rotary drive device and the casing of the multi-stage roots pump. Are arranged on the same side.
を特徴とする請求項６記載の１個の多段ルーツポンプの
配置方法。7. The method according to claim 6, wherein the rotary drive device is located at a lowermost end.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5245198A JPH11247782A (en) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | Arrangement of a plurality of single stage roots pumps and arrangement of one multistage roots pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5245198A JPH11247782A (en) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | Arrangement of a plurality of single stage roots pumps and arrangement of one multistage roots pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11247782A true JPH11247782A (en) | 1999-09-14 |
Family
ID=12915101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5245198A Pending JPH11247782A (en) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | Arrangement of a plurality of single stage roots pumps and arrangement of one multistage roots pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11247782A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109854501A (en) * | 2019-03-21 | 2019-06-07 | 南通龙鹰真空科技有限公司 | A kind of multi-stage roots vacuum pump |
-
1998
- 1998-03-04 JP JP5245198A patent/JPH11247782A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109854501A (en) * | 2019-03-21 | 2019-06-07 | 南通龙鹰真空科技有限公司 | A kind of multi-stage roots vacuum pump |
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