JPS61234290A - Multiple stage screw vacuum pump - Google Patents
Multiple stage screw vacuum pumpInfo
- Publication number
- JPS61234290A JPS61234290A JP7424585A JP7424585A JPS61234290A JP S61234290 A JPS61234290 A JP S61234290A JP 7424585 A JP7424585 A JP 7424585A JP 7424585 A JP7424585 A JP 7424585A JP S61234290 A JPS61234290 A JP S61234290A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw block
- casing
- stage screw
- gear
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、多段スクリュー真空ポンプ装置に関するもの
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a multi-stage screw vacuum pump device.
駆動ギヤを内蔵したギヤケーシングに、複数のスクリュ
ーブロックが結合されこれらの各スクリニーブロックに
おける一対のロータがピニオンを介して駆動される構成
のスクリュー圧縮装置は、特開昭５５−３５１６８号公
報に示されている。A screw compression device in which a plurality of screw blocks are connected to a gear casing containing a driving gear and a pair of rotors in each of these screeny blocks is driven via a pinion is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-35168. It is shown.
しかし、このようなスクリュー圧縮装置は、各スクリュ
ーブロックとも同じ構成となっており、ギヤケーシング
に接近して配置されるのは、両方のスクリューブロック
の吸入口、または、吐出口の何れかである。However, in such a screw compression device, each screw block has the same configuration, and either the suction port or the discharge port of both screw blocks is placed close to the gear casing. .
このような配置をスクリュー真空ポンプに適用した場合
、第１スクリユーブロツクの吸入口の圧力と第２スクリ
ユーブロツクの吸入口の圧力とは、圧力レベルが異なる
ので、第１スクリユーブロツクの吸入口、ギヤケーシン
グ内部および第２スクリユーブロツクの吸入口との間の
圧力レベルの大小関係は、第１スクリユーブロツクの吸
入口の圧力〈ギヤケーシング内部の圧力〈第２スクリユ
ーブロツクの吸入口の圧力のようになる。When such an arrangement is applied to a screw vacuum pump, the pressure at the suction port of the first screw block and the pressure at the suction port of the second screw block are different in pressure level. The magnitude relationship of the pressure levels between the gear casing and the second screw block suction port is as follows: pressure at the first screw block suction port <pressure inside the gear casing <pressure inside the second screw block suction port It becomes like pressure.
そのため、第１スクリユーブロツクの吸入口へ、ギヤケ
ーシング内のオイルミストが流れ込み、スクリューブロ
ックの作動空間を油で汚染することになる。Therefore, the oil mist inside the gear casing flows into the suction port of the first screw block, contaminating the working space of the screw block with oil.
また、各スクリューブロックの吐出口がギヤケーシング
側に接近して配置された場合も、第１゜第２の各スクリ
ューブロックの吐出口間には、差圧があるので、前記と
同様に、スクリューブロックの作動空間を油で汚染する
結果となる。Also, even if the discharge ports of each screw block are arranged close to the gear casing side, there is a pressure difference between the discharge ports of the first and second screw blocks, so the screw This results in contamination of the working space of the block with oil.
本発明の目的は、作動空間が油で汚染されない吸気口、
および排気口の配置を有する多段スクリュー真空ポンプ
装置を提供することにある。The object of the present invention is to provide an intake port in which the working space is not contaminated with oil;
and an arrangement of exhaust ports.
本発明の特徴は、第１スクリユーブロツクの排気口と、
第２スクリユーブロツクの吸入口とを、変速装置のギヤ
ケーシングに隣接させて配置したものである。The features of the present invention include an exhaust port of the first screw block;
The intake port of the second screw block is arranged adjacent to the gear casing of the transmission.
このように構成すると、すべてのスクリューブロックに
おける作動空間のギヤケーシングに接近している領域の
圧力を実質的に等しくすなわちこれらの領域とギヤケー
シングの内部との差圧を、すべてのスクリューブロック
とも実質的に等しくできる。With this configuration, the pressures in the regions of the working space close to the gear casing in all screw blocks are substantially equal, that is, the pressure difference between these regions and the inside of the gear casing is substantially equal to that in all screw blocks. can be made equal to each other.
以下本発明の一施例を図により説明する。第１図は１本
発明における吸気口、排気口、ギヤケーシングの位置関
係を模式的に表わしたものである。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the positional relationship among an intake port, an exhaust port, and a gear casing according to the present invention.
ギヤケーシング１１に、第１段スクリューブロック２．
第２段スクリューブロック３が結合されている。第１段
スクリューブロック２の吸気口２１は、ロータ２ｆ、２
ｍのギヤケーシング１１から離れた端部２Ａ側に位置し
、排気口２０は、ロータ２ｆ、２ｍのギヤケーシング１
１に接近した端部２Ｇ側に位置している。A first stage screw block 2. is attached to the gear casing 11.
A second stage screw block 3 is connected. The intake port 21 of the first stage screw block 2 is connected to the rotors 2f, 2
The exhaust port 20 is located on the end 2A side away from the gear casing 11 of the rotor 2f and the gear casing 1 of the rotor 2m.
It is located on the end 2G side closer to 1.
第２段スクリューブロック３の吸気口３１は、ロータ３
ｆ、３ｍのギヤケーシング１１に接近した端部３Ｇ側に
位置し、排気口３０は、ロータ３ｆ、３ｍのギヤケーシ
ング１１から離れた端部３Ａ側に位置している。The intake port 31 of the second stage screw block 3 is connected to the rotor 3
The exhaust port 30 is located on the end 3G side close to the gear casing 11 of the rotor 3f, 3m, and the exhaust port 30 is located on the end 3A side of the rotor 3f, 3m away from the gear casing 11.
次に全体の具体的構成を説明する。Next, the specific configuration of the entire system will be explained.
この実施例に係る無給油式スクリュー真空ポンプ装置は
、ギヤを組合せた増速ギヤ機構１．第１段スクリューブ
ロック２．第２段スクリューブロック３および駆動モー
タ４から構成されている。The oil-free screw vacuum pump device according to this embodiment has a speed increasing gear mechanism 1. 1st stage screw block 2. It is composed of a second stage screw block 3 and a drive motor 4.
増速ギヤ機構１は、ギヤケーシング１１、このギヤケー
シング１１内に収容され、軸受１２Ａ。The speed increasing gear mechanism 1 includes a gear casing 11, which is housed within the gear casing 11, and includes a bearing 12A.
１２Ｂによってその軸部１３Ａで回転自在に支持された
駆動ギヤ１３、一方の側に、駆動モータ４を取付けるた
めのフランジ１４、その反対側に、第１段および第２段
スクリューブロック２，３を取付けるためのフランジ１
５．１６かを有する。A drive gear 13 rotatably supported by a shaft portion 13A of the drive gear 12B, a flange 14 for mounting the drive motor 4 on one side, and first and second stage screw blocks 2 and 3 on the opposite side. Flange 1 for mounting
5.16.
これらの各フランジ１４，１５．１６に、駆動モータ４
．第１段および第２段スクリューブロック２．３がそれ
ぞれ結合されており、この状態では、ケーシング１１の
内部は、外部と実質的に隔絶された状態となる。A drive motor 4 is attached to each of these flanges 14, 15, 16.
．． The first stage and second stage screw blocks 2.3 are each coupled, and in this state, the inside of the casing 11 is substantially isolated from the outside.
第１段スクリューブロック２は、ケーシング１１のフラ
ンジ１５に、ボルト（図示せず）によって結合されてお
り、また、第２段スクリューブロック３は、ケーシング
１１のフランジ１６にボルト（図示せず）によって結合
されている。The first stage screw block 2 is connected to the flange 15 of the casing 11 by bolts (not shown), and the second stage screw block 3 is connected to the flange 16 of the casing 11 by bolts (not shown). combined.
これら第１段、第２段の各スクリューブロック２．３は
、吸気口、排気口の位置が互いに反対になっていること
雄、雌ロータのねじれ方向がそれぞれ反対になっている
こと以外は実質的に同じ構成であるから、第１段スクリ
ューブロック２の構成について以下説明する。These first and second stage screw blocks 2.3 are essentially the same except that the positions of the intake and exhaust ports are opposite to each other, and the twisting directions of the male and female rotors are opposite, respectively. Since they have the same configuration, the configuration of the first stage screw block 2 will be described below.
スクリューブロック２は、第５図に示すように交差して
いる２つの円柱形孔で形成された作動空間１７．この作
動空間に連なる吸気口２１および排気口、２０ならびに
フランジ１８を備えたケーシング１９と、わじれた歯２
０ｊ２と溝２０ｔを有し、両側に軸部２０ａ、２０ｂが
延長して形成された雄ロータ２０と、雄ロータ２０の歯
および溝に噛合う歯２１ｇと溝２１ｔを有し、両側に軸
部２１ａ、２１ｂが延長して形成された雌ロータ２１と
両ロータ２０，２１を軸受２３ａ、２３ｂ。The screw block 2 has a working space 17. which is formed by two intersecting cylindrical holes as shown in FIG. A casing 19 equipped with an intake port 21 and an exhaust port 20 and a flange 18 connected to this working space, and a twisted tooth 2
0j2 and a groove 20t, and a male rotor 20 formed by extending shaft parts 20a and 20b on both sides, teeth 21g and a groove 21t that mesh with the teeth and grooves of the male rotor 20, and a shaft part on both sides. 21a and 21b are extended female rotors 21 and both rotors 20 and 21 are bearings 23a and 23b.
２４ａ、２４ｂと、ケーシング１９と両・ロータ２０．
２１の各軸部２０ａ、２０ｂ、２１ａ。24a, 24b, casing 19 and both rotors 20.
21, each shaft portion 20a, 20b, 21a.
２１ｂとの間に設置された軸封装置２５ａ、２５ｂ。shaft sealing devices 25a, 25b installed between the shaft sealing devices 25a and 21b.
２６ａ、２６ｂと１両ロータ２０，２１の各部２０ｂ、
２１ｂの端部に固定された一対の同期歯車２７ （２７
ｍ、２７ｆ）と、ケーシング１９の端部に固定されたエ
ンドカバ２８とから構成されている。26a, 26b and each part 20b of the one-car rotor 20, 21,
A pair of synchronous gears 27 (27
m, 27f) and an end cover 28 fixed to the end of the casing 19.
第１スクリユーブロツク２と、第２スクリユーブロツク
３とは、連絡管２９によって連絡されている。The first screw block 2 and the second screw block 3 are connected by a connecting pipe 29.
また、同期歯車向±２７ｍ、２７ｆおよび同期歯車２７
ｆと駆動ギヤ１３と噛合い部ならびに軸受１２Ａ、１２
Ｂには、ギヤケーシング１１内に設置された給油ポンプ
（図示せず）により潤滑油が供給されている。In addition, synchronous gear direction ±27m, 27f and synchronous gear 27
f, drive gear 13, meshing portion, and bearings 12A, 12
Lubricating oil is supplied to B by an oil supply pump (not shown) installed inside the gear casing 11.
尚、雄ロータ２０．雌ロータ２１．軸封装置２５ａ、２
５ｂ、２６ａ、２６ｂなどの部品は、公知のオイルリー
スクリユー圧縮機のものとほぼ同じものを利用できるの
で詳細は、省略する。In addition, male rotor 20. Female rotor 21. Shaft sealing device 25a, 2
Since parts such as 5b, 26a, and 26b can be almost the same as those of a known oil-leash screw compressor, the details will be omitted.
次に、動作を説明する。Next, the operation will be explained.
モータ４により、駆動ギヤ１３．同期歯車２７ｆ。The motor 4 drives the drive gear 13. Synchronous gear 27f.
２７ｍを介して雄ロータ２０と雌ロータ２１とが同期し
た状態でかみ合って回転する。The male rotor 20 and the female rotor 21 are engaged with each other in synchronization and rotate through a distance of 27 m.
噛合って回転した際、両ロータ２０，２１の溝２０ｔ、
２１ｔ、歯２０ｍ、２１ｍおよびケーシング１９の内壁
との間に、吸気口２１および排気口２０のいずれにも連
通していない山形の部屋３０（たとえば第２図で互いに
連通している溝２０ｔと溝２１ｔがこれに相当する。こ
の発明では、このような部屋３０ｃのうち、両ロータが
回転したときに容積が変化する場合又は、変化していく
段階のものを圧縮室と呼び１両ロータが回転しても容積
の変化が起らない場合は、移送室３０８と呼ぶ。従って
、圧縮室３０Ｇにガスが閉じ込められた状態で、両ロー
タ２０，２１が噛合い回転してもガス、が稀薄な場合に
は、ガスの圧縮は行なわれず、この圧縮室３０Ｇは移送
の機能しか発揮しない場合もある。）に取り込まれたガ
スが圧縮されて排気口２０から排出される。このような
作用によって、吸気ロ２１→排気ロ２０連絡管２９→吸
気口３１→排気口３ｏの順にガスが排気され、吸気口２
１に連結されている真空槽（図示せず）が真空に引かれ
る。When the rotors mesh and rotate, the grooves 20t of both rotors 20 and 21,
21t, the teeth 20m, 21m, and the inner wall of the casing 19, there is a chevron-shaped chamber 30 that does not communicate with either the intake port 21 or the exhaust port 20 (for example, a groove 20t and a groove that communicate with each other in FIG. 21t corresponds to this. In this invention, among such chambers 30c, the one where the volume changes when both rotors rotate, or the one whose volume changes when one rotor rotates, is called a compression chamber. If no change in volume occurs in the compression chamber 30G, it is called a transfer chamber 308. Therefore, even if both rotors 20 and 21 mesh and rotate while gas is confined in the compression chamber 30G, the gas is not diluted. (In some cases, the gas is not compressed and the compression chamber 30G only performs the function of transport.) The gas taken in is compressed and discharged from the exhaust port 20. Due to this action, gas is exhausted in the order of intake port 21 → exhaust port 20 connecting pipe 29 → intake port 31 → exhaust port 3o, and the gas is exhausted from intake port 2
A vacuum chamber (not shown) connected to 1 is evacuated.
また、第１段スクリューブロック２の排気口２０は、両
ロータ２０，２１の駆動ギヤ機構１のギヤケーシング１
１に接近した側に配置され、第２段スクリューブロック
３の吸気口３１は、両ロータのギヤケーシング１１に接
近した側に配置されており、そして、排気口２０と吸気
口３１とは同一圧力レベルとなっている。Further, the exhaust port 20 of the first stage screw block 2 is connected to the gear casing 1 of the drive gear mechanism 1 of both rotors 20 and 21.
The intake port 31 of the second stage screw block 3 is located on the side close to the gear casing 11 of both rotors, and the exhaust port 20 and the intake port 31 are at the same pressure. level.
一方、ギヤケーシング１１の内部は、運転時間の経過と
ともに徐々に排気口２ｏ、または吸気口３１の圧力レベ
ルと等しくなって行くが、前述のように、排気口２ｏと
吸気口３１とは、同一圧力レベルなので、定常運転時は
、ギヤケーシング１１内から吸気口３１又は排気口２０
にガスや油滴が軸封装置２５ｂ、２６ｂを通して侵入す
る恐れはない。On the other hand, the pressure level inside the gear casing 11 gradually becomes equal to the pressure level at the exhaust port 2o or the intake port 31 as the operating time passes, but as described above, the exhaust port 2o and the intake port 31 are Because of the pressure level, during steady operation, the intake port 31 or the exhaust port 20 is opened from inside the gear casing 11.
There is no risk of gas or oil droplets entering through the shaft sealing devices 25b, 26b.
尚、ギヤケーシング１１の内部を、吸気口３１゜排気口
２ｏと同一圧力レベルに真空ポンプ装置の運転直前に下
げておくか又は同時に下げる操作を行なうことが有効で
ある。It is effective to lower the pressure inside the gear casing 11 to the same pressure level as the intake port 31 and the exhaust port 2o immediately before operation of the vacuum pump device, or to lower the pressure at the same time.
第６図は、この発明の他の実施例を示すもので、前記実
施例における第２段スクリューブロック３を、次のよう
な構成のものに変更したものである。FIG. 6 shows another embodiment of the present invention, in which the second stage screw block 3 in the previous embodiment is changed to one having the following configuration.
この第１段スクリューブロック３′は、吸気口３１およ
び排気口に連通されない部屋４０′が雄ロータ３１の１
つの溝３１ｔ′上に形成され、そして、この部屋４０’
は両ロータ３０’ 、３１’との噛部３１ａ′で区切ら
れた移送室４０８′と圧縮室４０Ｃ’との２つになるよ
うにしたものである。This first stage screw block 3' has a chamber 40' that is not communicated with the intake port 31 and the exhaust port.
This chamber 40' is formed on the two grooves 31t'.
The transfer chamber 408' and the compression chamber 40C' are separated by a toothed portion 31a' between the rotors 30' and 31'.
このように、移送室４０８′とこれに隣接する圧縮室４
００′とを形成するには、雄ロータ３０′。Thus, the transfer chamber 408' and the adjacent compression chamber 4
00', a male rotor 30'.
雌ロータ３１′の歯３０Ｑ’ 、３１Ｑ’ および溝３
０ｔ’ 、３１ｔ’ の巻き角（ロータ２１′ 。Teeth 30Q', 31Q' and groove 3 of female rotor 31'
0t', 31t' winding angle (rotor 21').
２２′の一方の端から、他方の端までの歯又は溝以上に
し、１つの溝上に２箇所又はそれ以上の噛合部を形成す
ればよい、もし、前記の実施例と同じねじれ角（歯車３
０ｔ’ 、３１ｔ’と軸心とのなす角度）のものを用い
るとすると、これらの各ロータ３０’ 、３１’ を少
くとも２．５ 倍の長さにすれば、雄ロータ３０′およ
び雌ロータ３１′を得ることができる。また、ロータ側
をこのようなロングロータ化した場合、ケーシング側で
は、ロータを長くした分程度の距離だけ、吸気完了縁（
吸気口３１′と移送室４０８′とが連通が遮断される時
期を定める）をロータ３０’ 、３１’の吸気口側端に
移動させることが必要である。22' from one end to the other end, and two or more meshing parts are formed on one groove.If the helix angle is the same as in the previous embodiment (gear 3
0t', 31t' and the axis), if each of these rotors 30', 31' is made at least 2.5 times as long, then the male rotor 30' and the female rotor 31' can be obtained. In addition, when the rotor side is made into a long rotor like this, the intake completion edge (
It is necessary to move the rotors 30', 31' to the ends of the rotors 30', 31' on the inlet side, which determines when the communication between the inlet 31' and the transfer chamber 408' is cut off.
尚、この実施例において、第２段スクリューブロック３
′における雄ロータ３１′の歯数は、雄ロータ３０’よ
り一枚だけ多い組合せたとえば６枚−５枚の組合せが好
適である。In addition, in this embodiment, the second stage screw block 3
It is preferable that the number of teeth of the male rotor 31' is one more than that of the male rotor 30', for example, a combination of 6-5 teeth.
このような構成により真空槽内のガスは第１段ブロック
２を経た後第２段ブロック３′の移送室４０８′にとり
込まれ、回転にともなって圧縮室４００′の段階を経て
排気口３０′から大気中に排気される。With such a configuration, the gas in the vacuum chamber passes through the first stage block 2 and is taken into the transfer chamber 408' of the second stage block 3', and as it rotates, it passes through the compression chamber 400' and then reaches the exhaust port 30'. is exhausted into the atmosphere.
この実施例によれば、第２段スクリューブロックにおい
て移送段階−圧縮段階を経るので、圧縮段階のみの場合
に比べて、−桁程度以上高い真空度を得ることができる
。According to this embodiment, since the second stage screw block passes through the transfer stage and the compression stage, it is possible to obtain a degree of vacuum higher than that in the case of only the compression stage.
このようにスクリューブロックが移送室と圧縮室とを有
すること自体は、当社の先順に係る特願昭５９−７０８
３０号に記載されているので詳細動作はこれを採用する
こととして省略する。The fact that the screw block has a transfer chamber and a compression chamber as described above is based on our earlier patent application filed in 1986-708.
Since it is described in No. 30, the detailed operation will be omitted as this is adopted.
尚、第１段スクリューブロック２も第２段スクリューブ
ロック３′と同様の構成とすることもできる。Incidentally, the first stage screw block 2 can also have the same configuration as the second stage screw block 3'.
また、第１．第２にガスを直列にガスを流すことにつき
述べたが、第１段第２段に並列的にガスを吸気し、排気
させることにも応用できる。この場合、吸気口２ｉ＋
３ｉともギヤケーシング１１に接近した側に配置するこ
とが必要である。Also, 1st. Second, although the description has been made regarding the flow of gas in series, it can also be applied to inhaling and exhausting gas in parallel to the first stage and the second stage. In this case, the intake port 2i+
3i both need to be placed on the side closer to the gear casing 11.
以上のように、この発明によれば、ギヤケーシング内の
各スクリューブロックへの油の侵入が押えられ１作動空
間が油で汚染されない吸気口と排気口の配置をもった多
段スクリュー真空ポンプ装置を提供することができる。As described above, according to the present invention, there is provided a multi-stage screw vacuum pump device having an arrangement of intake ports and exhaust ports that prevents oil from entering each screw block in the gear casing and prevents the working space from being contaminated with oil. can be provided.
第１図〜第６図はこの発明の詳細な説明図であって、第
１図は、キャケーシングに対する各スクリューブロック
の吸気口と排気口との位置関係を示す模式図、第２図は
、１部を断面した平面図。
第３図は、第２図における■−■断面図、第４図は、第
２図の左側面図、第５図は、第２図および第３図におけ
るｖ−■断面図、第６ＶＡはこの発明の他の実施例の要
部断面図である。
１・・・増速ギヤ機械、２，２′・・・第１段スクリュ
ーブロック、３・・・第２段スクリューブロック、４・
・・駆動モータ、２ｉ、３ｉ・・・吸気口′、２０，３
０・・・排気口、１１・・・ギヤケーシング。1 to 6 are detailed explanatory diagrams of the present invention, in which FIG. 1 is a schematic diagram showing the positional relationship between the intake port and the exhaust port of each screw block with respect to the casing, and FIG. FIG. 2 is a partially sectional plan view. Fig. 3 is a sectional view taken along the line ■-■ in Fig. 2, Fig. 4 is a left side view of Fig. 2, Fig. 5 is a sectional view taken along v-■ in Figs. 2 and 3, and 6th VA is FIG. 7 is a sectional view of a main part of another embodiment of the invention. 1... Speed-up gear machine, 2, 2'... 1st stage screw block, 3... 2nd stage screw block, 4.
...Drive motor, 2i, 3i...Intake port', 20,3
0...Exhaust port, 11...Gear casing.
Claims (1)
間に回転自在に収納されたおすおよびめすロータ、これ
らのロータの軸部とポンプケーシングとの間に設けられ
た軸封装置、いずれか一方のロータの軸部に取付けられ
たピニオンを有する少くとも２つのスクリューブロック
が、ギヤケーシングに結合され、前記各ピニオンのそれ
ぞれが、ギヤケーシング内の共通の駆動ギヤに噛合って
おり、ギヤケーシングの内部とポンプケーシング内の作
動空間とが前記軸封装置によつて隔てられ、第１のスク
リューブロックの排気口と第２のスクリューブロックの
吸気口とが連絡されているものにおいて、第１のスクリ
ューブロックの排気口および、第２のスクリューブロッ
クの吸気口がギヤケーシングに接近して配置されている
ことを特徴とする多段スクリュー真空ポンプ装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、第１段スクリュー
ブロックと第２段スクリューブロックとは、ロータの巻
き角が異なつており、第１段スクリューブロックより第
２段スクリューブロックの方が大きい巻き角を有する多
段スクリュー真空ポンプ装置。 ３、特許請求の範囲第２項において、第２段スクリュー
ブロックは、両ロータとケーシングとによつて形成され
る複数個の部屋を有し、これらの部屋のうち排気口およ
び吸気口のいずれにも連通していない部屋は、ロータの
一つの溝について、一対の移送領域と圧縮領域とからな
り、移送領域と圧縮領域とは、雄ロータと雌ロータとの
噛合いによるシール部を介して互いに隣り合つている多
段スクリュー真空ポンプ装置。[Claims] 1. A pump casing, male and female rotors rotatably housed in the working space of the pump casing, and a shaft sealing device provided between the shafts of these rotors and the pump casing. At least two screw blocks having pinions mounted on the shaft of one of the rotors are coupled to the gear casing, each of said pinions meshing with a common drive gear within the gear casing; The inside of the pump casing and the working space in the pump casing are separated by the shaft sealing device, and the exhaust port of the first screw block and the intake port of the second screw block are connected, A multistage screw vacuum pump device characterized in that an exhaust port of a screw block and an intake port of a second screw block are arranged close to a gear casing. 2. In claim 1, the first stage screw block and the second stage screw block have different rotor winding angles, and the second stage screw block has a larger winding angle than the first stage screw block. Multi-stage screw vacuum pump device with corners. 3. In claim 2, the second stage screw block has a plurality of chambers formed by both rotors and the casing, and among these chambers, there is no air outlet in either the exhaust port or the intake port. The chamber that does not communicate with each other consists of a pair of transfer area and compression area for one groove of the rotor, and the transfer area and the compression area are connected to each other through a sealing part caused by the meshing of the male rotor and the female rotor. Adjacent multi-stage screw vacuum pump equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7424585A JPS61234290A (en) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | Multiple stage screw vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7424585A JPS61234290A (en) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | Multiple stage screw vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61234290A true JPS61234290A (en) | 1986-10-18 |
| JPH0370119B2 JPH0370119B2 (en) | 1991-11-06 |
Family
ID=13541581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7424585A Granted JPS61234290A (en) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | Multiple stage screw vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61234290A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314320A (en) * | 1991-07-10 | 1994-05-24 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump with a reduced starting load |
| US5374170A (en) * | 1991-07-10 | 1994-12-20 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump |
| WO2004109112A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-16 | Lee, Ki-Chun | Four-in pump |
| EP1979619A1 (en) * | 2006-01-31 | 2008-10-15 | Ebara Densan Ltd. | Vacuum pump unit |
| KR20180084964A (en) * | 2015-12-25 | 2018-07-25 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | Screw compressor |
| CN115726962A (en) * | 2022-12-15 | 2023-03-03 | 淄博水环真空泵厂有限公司 | Water ring pump vacuum pumping system with adjustable gas flow |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5167510A (en) * | 1974-12-10 | 1976-06-11 | Kobe Steel Ltd | TAKITOSUKURYUUSHIKI ATSUSHUKUKI |
| JPS5535168A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-12 | Hitachi Ltd | Screw type fluid machine |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP7424585A patent/JPS61234290A/en active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5167510A (en) * | 1974-12-10 | 1976-06-11 | Kobe Steel Ltd | TAKITOSUKURYUUSHIKI ATSUSHUKUKI |
| JPS5535168A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-12 | Hitachi Ltd | Screw type fluid machine |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314320A (en) * | 1991-07-10 | 1994-05-24 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump with a reduced starting load |
| US5374170A (en) * | 1991-07-10 | 1994-12-20 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump |
| WO2004109112A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-16 | Lee, Ki-Chun | Four-in pump |
| EP1979619A1 (en) * | 2006-01-31 | 2008-10-15 | Ebara Densan Ltd. | Vacuum pump unit |
| EP1979619A4 (en) * | 2006-01-31 | 2013-07-24 | Ebara Corp | Vacuum pump unit |
| KR20180084964A (en) * | 2015-12-25 | 2018-07-25 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | Screw compressor |
| CN108431420A (en) * | 2015-12-25 | 2018-08-21 | 株式会社神户制钢所 | Screw compressor |
| CN108431420B (en) * | 2015-12-25 | 2019-11-15 | 株式会社神户制钢所 | Screw compressor |
| US11067082B2 (en) | 2015-12-25 | 2021-07-20 | Kobe Steel, Ltd. | Screw compressor |
| CN115726962A (en) * | 2022-12-15 | 2023-03-03 | 淄博水环真空泵厂有限公司 | Water ring pump vacuum pumping system with adjustable gas flow |
| CN115726962B (en) * | 2022-12-15 | 2023-05-30 | 淄博水环真空泵厂有限公司 | Water ring pump vacuumizing system with adjustable air quantity |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370119B2 (en) | 1991-11-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4797068A (en) | Vacuum evacuation system | |
| EP1643129B1 (en) | Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor | |
| TWI518245B (en) | Dry vacuum pump apparatus, exhaust unit, and silencer | |
| JPH10192U (en) | Multi-stage two-shaft vacuum pump | |
| JPH02157490A (en) | Multi-stage roots type vacuum | |
| JPS62218681A (en) | Screw vacuum pump device | |
| JPH1193878A (en) | Multistage vacuum pump | |
| JP2697893B2 (en) | Vacuum pump device | |
| JPH0658278A (en) | Multistage screw type vacuum pump | |
| JP2619468B2 (en) | Oil-free screw fluid machine | |
| JPH079239B2 (en) | Screw vacuum pump | |
| JPH02153292A (en) | Two spindle type vacuum pump with suction chamber | |
| JPS61234290A (en) | Multiple stage screw vacuum pump | |
| JP2005195027A (en) | Screw fluid machine and screw gear | |
| GB1003961A (en) | Improvements in two stage screw rotor machines | |
| US5049050A (en) | Method for operating a twin shaft vacuum pump according to the Northey principle and a twin shaft vacuum pump suitable for the implementation of the method | |
| JPS6217389A (en) | Machine pump | |
| JPH0932766A (en) | Screw fluid machine and screw gear | |
| JP3112490B2 (en) | Mechanical vacuum pump | |
| JPH09317672A (en) | Improvement of vacuum pump | |
| JPH07305689A (en) | Multistage-type vacuum pump | |
| JP2007162704A (en) | Screw fluid machine and screw gear | |
| JP2007263122A (en) | Evacuating apparatus | |
| JP4638582B2 (en) | Shaft seal structure of oil-free screw compressor | |
| JP2618825B2 (en) | Intercoolerless air-cooled 4-stage roots vacuum pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |