JPH11243006A - Magnetic ceramic compound and inductor component using the same - Google Patents

Magnetic ceramic compound and inductor component using the same

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JPH11243006A
JPH11243006A JP10043785A JP4378598A JPH11243006A JP H11243006 A JPH11243006 A JP H11243006A JP 10043785 A JP10043785 A JP 10043785A JP 4378598 A JP4378598 A JP 4378598A JP H11243006 A JPH11243006 A JP H11243006A
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JP
Japan
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mol
component
ferrite
resistance
silicate glass
Prior art date
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Application number
JP10043785A
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Japanese (ja)
Inventor
Ken Takaoka
建 高岡
Kazuhiko Takenaka
一彦 竹中
Hirobumi Sunahara
博文 砂原
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11243006A publication Critical patent/JPH11243006A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/34Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites
    • H01F1/36Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites in the form of particles
    • H01F1/37Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites in the form of particles in a bonding agent

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic ceramic compound which can be sintered at a low temperature, can suppress migration of an internal conductor in an inductor component obtained by using the compound, and inhibit degradation of insulation and larger current resistance. SOLUTION: A magnetic ceramic compound contains 10-99.5 wt.% ferrite and 90-0.5 wt.% silicate glass which does not contain boron and has a softening point of 800 deg.C or less. Preferably, the composition of the silicate glass is 1-15 mol.% Ma2 O (Ma is at least one of elements selected from Li, Na, K, Rb, and Cs), 20-70 mol.% MeO (Me is at least one of elements selected from Be, Ba, Sr, Ca, and Mg), 5-60 mol.% SiO2 , and 0.5-70 mol.% Bi2 O3 .

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体磁器組成物
およびそれを用いたインダクタ部品に関する。
The present invention relates to a magnetic ceramic composition and an inductor component using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁性体磁器組成物は、主成分として、フ
ェライトを含むものが一般的である。例えば、特開平1
−110708号公報には、フェライトとホウケイ酸ガ
ラスとを含有する磁性体磁器組成物が記載されている。
また、この公報には、このような磁性体磁器組成物を磁
性体として用いた、チップインダクタおよびLC複合部
品のようなインダクタ部品も開示されている。このよう
なインダクタ部品は、内部導体を内蔵する積層部品を構
成している。
2. Description of the Related Art A magnetic ceramic composition generally contains ferrite as a main component. For example, JP
JP-A-110708 describes a magnetic porcelain composition containing ferrite and borosilicate glass.
This publication also discloses an inductor component such as a chip inductor and an LC composite component using such a magnetic ceramic composition as a magnetic material. Such an inductor component constitutes a laminated component having a built-in internal conductor.

【0003】上述の公報によれば、フェライトとホウケ
イ酸ガラスとを含有する磁性体磁器組成物を用いると、
機械的強度が高く、焼結温度を低くでき、しかも高周波
特性の良好なフェライト焼結体およびチップインダクタ
を得ることができる、とされている。また、LC複合部
品を得る場合には、誘電体材料との同時焼成において、
反り、剥離などが生じない、とされている。
According to the above publication, when a magnetic porcelain composition containing ferrite and borosilicate glass is used,
It is said that a ferrite sintered body and a chip inductor having high mechanical strength, a low sintering temperature, and good high-frequency characteristics can be obtained. Also, when obtaining an LC composite part, in co-firing with a dielectric material,
It is said that no warpage or peeling occurs.

【0004】また、特開平2−288307号公報に
は、フェライトとホウケイ酸ガラスを含有する積層イン
ダクタ用磁性体材料が記載されている。そして、100
MHz以上の高周波帯域での利用に適した低誘電率の磁
性体材料が得られる、とある。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-288307 discloses a magnetic material for laminated inductors containing ferrite and borosilicate glass. And 100
It is stated that a magnetic material having a low dielectric constant suitable for use in a high frequency band of MHz or higher can be obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たフェライトとホウケイ酸ガラスとを含有する磁性体磁
器組成物を用いると、組成比によって、耐湿性、耐酸性
および耐アルカリ性が劣化することがあった。
However, when a magnetic ceramic composition containing the above-described ferrite and borosilicate glass is used, moisture resistance, acid resistance and alkali resistance may be deteriorated depending on the composition ratio. .

【0006】この原因の主なものの一つに、ガラスのB
23の含有が挙げられる。特に低SiO2領域ではこの
劣化が顕著である。ガラスのB23含有にともなう信頼
性の低下は、積層型インダクタアレイ部品のインダクタ
素子間や、積層型LC複合部品のコンデンサ部や、イン
ダクタ部と外部電極部などの電圧のかかる部分で、電極
がマイグレーションを引き起こし、絶縁抵抗の低下や直
流抵抗の増大など、インダクタ部品の致命的な欠陥につ
ながることがあった。
One of the main reasons for this is that glass B
2 O 3 is included. In particular, this deterioration is remarkable in a low SiO 2 region. The decrease in reliability due to the inclusion of B 2 O 3 in glass is caused by a voltage applied portion between inductor elements of a multilayer inductor array component, a capacitor portion of a multilayer LC composite component, and an inductor portion and an external electrode portion. Electrodes may cause migration, leading to fatal defects in inductor components such as a decrease in insulation resistance and an increase in DC resistance.

【0007】そこで、本発明の目的は、上述した問題を
解決し得る、磁性体磁器組成物およびそれを用いたイン
ダクタ部品を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic ceramic composition and an inductor component using the same, which can solve the above-mentioned problems.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の磁性体磁器組成物は、フェライトを10〜
99.5wt%と、ホウ素を含まずかつ軟化点が800
℃以下のケイ酸塩ガラスを90〜0.5wt%含有す
る。
In order to achieve the above-mentioned object, the magnetic porcelain composition of the present invention has a ferrite content of 10 to 10.
99.5 wt%, containing no boron and having a softening point of 800
It contains 90 to 0.5 wt% of a silicate glass having a temperature of not more than 0C.

【0009】また、前記ケイ酸塩ガラスの組成は、Ma
2O(ただし、MaはLi、Na、K、RbおよびCs
からなる群から選ばれた少なくとも1種)が1〜15モ
ル%、MeO(ただし、Meは、Be、Ba、Sr、C
aおよびMgからなる群か選ばれた少なくとも1種)が
20〜70モル%、SiO2が5〜60モル%、Bi2
3が0.5〜70モル%である。
The composition of the silicate glass is Ma
2 O (where Ma is Li, Na, K, Rb and Cs
At least one selected from the group consisting of MeO (where Me is Be, Ba, Sr, C
at least one selected from the group consisting of a and Mg) is 20 to 70 mol%, SiO 2 is 5 to 60 mol%, Bi 2 O
3 is 0.5 to 70 mol%.

【0010】また、前記ケイ酸塩ガラスは、副成分とし
てTiO2を50モル%以下と、CuOを50モル%以
下含む。
[0010] The silicate glass contains 50 mol% or less of TiO 2 and 50 mol% or less of CuO as subcomponents.

【0011】また、前記ケイ酸塩ガラスは、副成分とし
て、Al23およびZrO2から選ばれた少なくとも1
種を10モル%以下含む。
The silicate glass has at least one selected from the group consisting of Al 2 O 3 and ZrO 2 as an auxiliary component.
Contains up to 10 mol% seed.

【0012】また、前記ケイ酸塩ガラスは、副成分とし
て、ZnO、Co34およびNiOから選ばれた少なく
とも1種を5モル%以下含む。
Further, the silicate glass contains at least one selected from ZnO, Co 3 O 4 and NiO as an auxiliary component in an amount of 5 mol% or less.

【0013】また、前記ケイ酸塩ガラスは、副成分とし
て、少なくとも1種の希土類酸化物を5モル%以下含
む。
The silicate glass contains at least one rare earth oxide as an auxiliary component in an amount of 5 mol% or less.

【0014】また、前記フェライトは、Ni系フェライ
ト、Ni−Zn系フェライト、およびNi−Cu−Zn
系フェライトからなる群から選ばれた1種である。
The ferrite may be Ni-based ferrite, Ni-Zn-based ferrite, or Ni-Cu-Zn.
This is one type selected from the group consisting of ferrites.

【0015】さらに、本発明のインダクタ部品は、上記
の磁性体磁器組成物を磁性体として用いたものである。
Further, an inductor component of the present invention uses the above-mentioned magnetic ceramic composition as a magnetic material.

【0016】また、前記インダクタ部品は、内部導体を
内蔵する積層部品である。
Further, the inductor component is a laminated component having a built-in internal conductor.

【0017】なお、本発明で言うところのインダクタ部
品とは、LC複合部品、LR複合部品、LCR複合部品
など、インダクタと、コンデンサや抵抗などの他の機能
部品からなる複合部品を含むものである。
The inductor component referred to in the present invention includes a composite component including an inductor and other functional components such as a capacitor and a resistor, such as an LC composite component, an LR composite component, and an LCR composite component.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明の磁性体磁器組成物は、前
述したように、フェライトを10〜99.5wt%と、
ホウ素を含まずかつ軟化点が800℃以下のケイ酸塩ガ
ラスを90〜0.5wt%含有するものである。このよ
うに、800℃以下の軟化点をもつガラスを含有するこ
とにより、液相焼結を誘起し、低温で緻密なセラミック
を得ることができる。またガラス添加によって高周波特
性の優れたものが得られる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As described above, the magnetic porcelain composition of the present invention contains 10 to 99.5% by weight of ferrite.
It contains 90 to 0.5% by weight of silicate glass containing no boron and having a softening point of 800 ° C. or less. As described above, by containing a glass having a softening point of 800 ° C. or less, liquid phase sintering is induced, and a dense ceramic can be obtained at a low temperature. In addition, a material having excellent high-frequency characteristics can be obtained by adding glass.

【0019】また、ホウ素を含まないケイ酸塩ガラスを
含有することにより、ガラスを結晶化させやすくし、ガ
ラスの耐化学性を高めることができるため、インダクタ
部素子間やコンデンサ部など電圧のかかる部分でのマイ
グレーションを防止し、インダクタ部品の信頼性を向上
させることができる。また、ガラスの結晶化は、焼成時
のマイグレーションを抑制するため、絶縁抵抗が高く、
直流抵抗の低いインダクタ部品が得られる。
Further, by containing a silicate glass containing no boron, the glass can be easily crystallized and the chemical resistance of the glass can be increased. It is possible to prevent migration at a portion and improve the reliability of the inductor component. In addition, crystallization of glass suppresses migration during firing, so that insulation resistance is high,
An inductor component having a low DC resistance can be obtained.

【0020】なお、ケイ酸塩ガラスの含有量は、90〜
0.5wt%となるように選ばれる。これは、0.5w
t%未満の場合は含有量が少なすぎて焼成温度低下の効
果が得られないためであり、90wt%を超えると焼結
体が強度不足となり、クラック、ひび、層はがれがが発
生するためである。
The content of the silicate glass is 90 to
It is selected to be 0.5 wt%. This is 0.5w
If the content is less than t%, the content is too small and the effect of lowering the firing temperature cannot be obtained, and if it exceeds 90 wt%, the strength of the sintered body becomes insufficient, and cracks, cracks, and layer peeling occur. is there.

【0021】また、前述したように、ケイ酸塩ガラスの
組成としては、Ma2O(ただし、MaはLi、Na、
K、RbおよびCsからなる群から選ばれた少なくとも
1種)が1〜15モル%、MeO(ただし、Meは、B
e、Ba、Sr、CaおよびMgからなる群か選ばれた
少なくとも1種)が20〜70モル%、SiO2が5〜
60モル%、Bi23が0.5〜70モル%が好まし
い。
As described above, the composition of the silicate glass is Ma 2 O (where Ma is Li, Na,
1 to 15 mol% of MeO (where Me is B), at least one selected from the group consisting of K, Rb and Cs
e, Ba, Sr, at least one selected whether the group consisting of Ca and Mg) is 20 to 70 mol%, SiO 2 is 5
Preferably, 60 mol% and Bi 2 O 3 are 0.5 to 70 mol%.

【0022】このケイ酸塩ガラスは、主成分であるフェ
ライトを焼結するにあたって、あらかじめ所定の割合で
主成分に添加され、混合された後、成形体とされ、次い
で、焼成される。この場合、ケイ酸塩ガラスの上述した
各成分は、主成分に対して、個々に添加しても、あるい
は、各成分をあらかじめ配合しておき、これを熱処理し
て溶融させてガラス化したものを、粉砕した後、添加し
てもよい。
In sintering ferrite, which is the main component, the silicate glass is added to the main component in a predetermined ratio in advance, mixed, formed into a molded body, and then fired. In this case, each of the above-described components of the silicate glass may be added individually to the main component, or each component may be preliminarily compounded and then heat-treated to be melted and vitrified. May be added after pulverization.

【0023】この実施の形態において、ケイ酸塩ガラス
の各成分を、上記のような好ましい組成範囲に限定した
のは、次の理由による。
In this embodiment, the respective components of the silicate glass are limited to the above preferable composition ranges for the following reasons.

【0024】Ma2O(Maは、Li、Na、K、Rb
およびCsからなる群から選ばれた少なくとも1種)
は、ガラス粘度を低下させる働きがある。Ma2Oが1
モル%未満であると、ガラス粘度が高くなりすぎ、10
00℃以下の低温焼結が困難となる。他方、15モル%
を超えると、耐湿性が低下する。
Ma 2 O (Ma is Li, Na, K, Rb
And at least one selected from the group consisting of Cs and Cs)
Has the function of lowering the glass viscosity. Ma 2 O is 1
If it is less than 10 mol%, the glass viscosity becomes too high.
Low-temperature sintering at a temperature of 00 ° C. or less becomes difficult. On the other hand, 15 mol%
When it exceeds, the moisture resistance decreases.

【0025】MeO(Meは、Be、Ba、Sr、Ca
およびMgからなる群か選ばれた少なくとも1種)は、
化学耐久性を高める働きがある。MeOが20モル%未
満であると、化学耐久性が低下するとともに、1000
℃以下の低温焼結が困難となる。他方、MeOが70モ
ル%を超えると、ガラス化温度を上昇させ、1000℃
以下の低温焼結が困難となる。
MeO (Me is Be, Ba, Sr, Ca
And at least one selected from the group consisting of Mg)
It works to increase chemical durability. When the MeO content is less than 20 mol%, the chemical durability is reduced and the
It becomes difficult to sinter at a low temperature of not more than ℃. On the other hand, when MeO exceeds 70 mol%, the vitrification temperature is increased and
The following low-temperature sintering becomes difficult.

【0026】SiO2が70モル%を超えると、ガラス
化温度が高くなりすぎ、1500℃以下ではガラス化し
ない。また、SiO2が5モル%未満であると、焼結体
の収縮率ばらつきが大きくなり、実用に耐えない。
If the content of SiO 2 exceeds 70 mol%, the vitrification temperature becomes too high, and the glass does not vitrify at 1500 ° C. or less. On the other hand, if the content of SiO 2 is less than 5 mol%, the variation in shrinkage of the sintered body becomes large, and it is not practical.

【0027】Bi23は、磁性体とガラスとの反応を促
進させ、ガラス粘度を低下させる働きがある。Bi23
が0.5モル%未満であると、1000℃以下の低温焼
結が困難となり、70モル%を超えると、内部電極と反
応してしまい、また、耐湿性も著しく低下してしまう。
Bi 2 O 3 has the function of accelerating the reaction between the magnetic substance and the glass and reducing the viscosity of the glass. Bi 2 O 3
If it is less than 0.5 mol%, sintering at a low temperature of 1000 ° C. or less will be difficult, and if it exceeds 70 mol%, it will react with the internal electrode, and the moisture resistance will be significantly reduced.

【0028】また、前述したように、ガラスは、副成分
として、TiO2を50モル%以下とCuOを50モル
%以下含むもの、Al23およびZrO2の少なくとも
一方を10モル%以下含むもの、ZnO,Co34およ
びNiOの少なくとも1種を5モル%以下含むもの、少
なくとも1種の希土類酸化物を5モル%以下含むもの、
あるいは、これらの組み合わせであることが好ましい。
As described above, the glass contains, as sub-components, TiO 2 at 50 mol% or less and CuO at 50 mol% or less, and at least one of Al 2 O 3 and ZrO 2 at 10 mol% or less. One containing at least one of ZnO, Co 3 O 4 and NiO at 5 mol% or less, one containing at least one rare earth oxide at 5 mol% or less,
Alternatively, a combination of these is preferred.

【0029】ここで、TiO2は、化学的耐久性を高め
る働きをする。しかし、TiO2が50モル%を超える
と、ガラスの溶融温度を高くし、1000℃以下の焼結
が困難となる。CuOは、磁性体とガラスとの反応性を
促進させ、さらにガラスの結晶化材として働く。しか
し、CuOが50モル%を超えると、内部の電極層と反
応して、また耐湿性も著しく低下してしまう。
Here, TiO 2 works to enhance chemical durability. However, if TiO 2 exceeds 50 mol%, the melting temperature of the glass is increased, and sintering at 1000 ° C. or less becomes difficult. CuO promotes the reactivity between the magnetic substance and the glass, and further acts as a crystallizing material for the glass. However, if CuO exceeds 50 mol%, it reacts with the internal electrode layer, and the moisture resistance is significantly reduced.

【0030】Al23およびZrO2は、ガラスおよび
インダクタ部品本体の化学耐久性を高める働きをする。
しかし、Al23やZrO2が10モル%を超えると、
ガラスの溶融温度を高くし、1000℃以下の焼結が困
難となる。
Al 2 O 3 and ZrO 2 serve to enhance the chemical durability of the glass and the body of the inductor component.
However, when Al 2 O 3 or ZrO 2 exceeds 10 mol%,
The melting temperature of the glass is increased, and sintering at 1000 ° C. or less becomes difficult.

【0031】ZnO、Co34およびNiOは、磁性体
とガラスの反応を促進させ、磁性体の磁気特性を向上さ
せる。しかし、ZnOやCo34やNiOが5モル%を
超えると、1000℃以下の焼結が困難となる。
ZnO, Co 3 O 4 and NiO promote the reaction between the magnetic material and the glass and improve the magnetic properties of the magnetic material. However, when ZnO, Co 3 O 4 or NiO exceeds 5 mol%, sintering at 1000 ° C. or lower becomes difficult.

【0032】希土類酸化物は、磁性体とガラスとの反応
性を促進させる働きがある。しかし、その添加物が5モ
ル%を超えると、化学耐久性が劣化する。
The rare earth oxide has the function of promoting the reactivity between the magnetic substance and the glass. However, when the amount of the additive exceeds 5 mol%, the chemical durability deteriorates.

【0033】また、主成分となるフェライトとしては、
例えば、Ni系フェライト、Ni−Zn系フェライト、
Ni−Cu−Zn系フェライトなどが用いられる。
The ferrite as the main component includes
For example, Ni-based ferrite, Ni-Zn-based ferrite,
Ni-Cu-Zn ferrite or the like is used.

【0034】そして、本発明のインダクタ部品は、イン
ダクタチップ、積層インダクタアレイ、LC複合部品な
どであって、上記磁性体組成物を磁性体層として、その
表面および/または層間に所望の導体層を形成して作製
される。導体層としては、Ag、Ag/Pd、Cuなど
1000℃以下で焼結可能なものを用いることができ
る。磁性体層の形成方法としては、グリーンシート工法
や印刷工法などを用いることができる。
The inductor component according to the present invention is an inductor chip, a laminated inductor array, an LC composite component, or the like, wherein the magnetic material composition is used as a magnetic layer, and a desired conductor layer is provided between the surface and / or the interlayer. It is formed and manufactured. As the conductor layer, a material that can be sintered at 1000 ° C. or less, such as Ag, Ag / Pd, or Cu, can be used. As a method for forming the magnetic layer, a green sheet method, a printing method, or the like can be used.

【0035】[0035]

【実施例】(実施例1)まず、表1に示した組成のケイ
酸塩ガラスが得られるように、各成分の酸化物、炭酸塩
または水酸化物を混合し、溶融後、急冷した。得られた
ケイ酸塩ガラスを、アルミナボールを玉石として、ポリ
ポットで乾式粉砕した。表1のガラスのうち、FG1〜
FG6は、本発明の範囲内の、ホウ素を含有しないケイ
酸塩ガラスであり、FG7は本発明の範囲外のホウケイ
酸ガラスである。
EXAMPLES (Example 1) First, oxides, carbonates or hydroxides of each component were mixed, melted, and quenched so that silicate glass having the composition shown in Table 1 was obtained. The obtained silicate glass was dry-pulverized in a polypot using alumina balls as a boulder. Of the glasses in Table 1, FG1
FG6 is a boron-free silicate glass within the scope of the present invention, and FG7 is a borosilicate glass outside the scope of the present invention.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】他方、フェライトを得るため、Fe23
48.5モル%、NiOを21.5モル%、CuOを1
0.0モル%、およびZnOを20.0モル%配合し
た。
On the other hand, to obtain ferrite, 48.5 mol% of Fe 2 O 3 , 21.5 mol% of NiO and 1
0.0 mol% and 20.0 mol% of ZnO were blended.

【0038】次に、上記フェライト成分に表2に示す割
合のケイ酸塩ガラスを添加、混合しし、さらにバイン
ダ、可塑剤および溶剤を加えて混練してスラリーを得
た。そして、このスラリーを用いて、ドクターブレード
法により、厚み100μmのグリーンシートを作製し
た。
Next, a silicate glass having a ratio shown in Table 2 was added to the ferrite component, mixed, and further a binder, a plasticizer and a solvent were added and kneaded to obtain a slurry. Then, using this slurry, a green sheet having a thickness of 100 μm was produced by a doctor blade method.

【0039】[0039]

【表2】 [Table 2]

【0040】次に図1に示すように、このグリーンシー
ト1に、Agペーストを用いて、インダクタアレイパタ
ーンとなる内部導体2、3、4および5を印刷により形
成した。次いで、この内部導体2〜5を形成したグリー
ンシート1と、内部導体を印刷していないグリーンシー
ト1を、図1に示すように積層して圧着した。その後、
得られた積層体を大気中930℃で2時間焼成した。
Next, as shown in FIG. 1, on the green sheet 1, internal conductors 2, 3, 4 and 5 to be an inductor array pattern were formed by printing using an Ag paste. Next, the green sheet 1 on which the internal conductors 2 to 5 were formed and the green sheet 1 on which the internal conductor was not printed were laminated and crimped as shown in FIG. afterwards,
The obtained laminate was fired in air at 930 ° C. for 2 hours.

【0041】次いで、図2に示すように、得られた焼結
体6の外表面であって、内部導体2〜5(図1参照)が
それぞれ引き出されている各部分上に、Agペーストを
塗布し、大気中800℃で30分間焼成し、外部導体
7、8、9、10、11、12、13および14をそれ
ぞれ形成した。外部導体7〜14の各々は、外部端子電
極を構成するもので、対応の内部導体2〜5と電気的に
接続されるものである。
Then, as shown in FIG. 2, an Ag paste is applied on each of the outer surfaces of the obtained sintered body 6 from which the internal conductors 2 to 5 (see FIG. 1) are drawn out. It was applied and baked at 800 ° C. for 30 minutes in the atmosphere to form outer conductors 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, and 14, respectively. Each of the outer conductors 7 to 14 constitutes an external terminal electrode, and is electrically connected to the corresponding inner conductor 2 to 5.

【0042】このようにして得られた内部導体2〜5を
内蔵する積層構造を有するインダクタ部品としての積層
型のインダクタアレイ15の各試料について、焼結性、
塩水煮沸試験、耐湿負荷試験、および高温負荷試験を行
なった。これらの結果を表2に示す。なお、表2におい
て、*印を付したものは本発明の範囲外のものであり、
その他は本発明の範囲内のものである。
With respect to each sample of the multilayer inductor array 15 as an inductor component having a multilayer structure containing the internal conductors 2 to 5 obtained as described above, the sinterability,
A salt water boiling test, a moisture resistance load test, and a high temperature load test were performed. Table 2 shows the results. In Table 2, those marked with * are out of the scope of the present invention.
Others are within the scope of the present invention.

【0043】ここで、焼結性は、試料を純水で1時間煮
沸し、煮沸前後の重量変化が0.1%以内のものを焼結
良好(〇)とし、0.1%を超えるものを焼結不良
(×)とした。
Here, the sinterability was determined by boiling a sample in pure water for 1 hour, and sintering a sample having a weight change before and after boiling within 0.1% as good (〇) and exceeding 0.1%. Was determined as poor sintering (x).

【0044】また、塩水煮沸試験は、100個の試料を
1NのNaCl水溶液で1時間煮沸し、直流抵抗不良
(外部導体7と8、外部導体9と10、外部導体11と
12、または外部導体13と14間の抵抗値の煮沸前後
での変化率が±20%以上)、または絶縁抵抗不良(煮
沸後の外部導体7および8と外部導体9および10との
間、または外部導体11および12と外部導体13およ
び14との間の絶縁抵抗値が1×107Ω以下)が発生
した不良数を求めた。
In the salt water boiling test, 100 samples were boiled for 1 hour in a 1N aqueous solution of NaCl, and the DC resistance was poor (external conductors 7 and 8, external conductors 9 and 10, external conductors 11 and 12, or external conductors). The rate of change in resistance between 13 and 14 before and after boiling is ± 20% or more, or insulation resistance is poor (between the outer conductors 7 and 8 and the outer conductors 9 and 10 after boiling, or the outer conductors 11 and 12). The number of failures in which the insulation resistance between the wire and the external conductors 13 and 14 was 1 × 10 7 Ω or less was determined.

【0045】また、耐湿負荷試験は、100個の試料に
ついて、45℃、相対湿度95%の条件下で、外部導体
7および8と外部導体9および10との間、並びに外部
導体11および12と外部導体13および14との間
に、50Vの直流電圧を1000時間連続印加した後の
直流抵抗不良(外部導体7と8、外部導体9と10、外
部導体11と12、または外部導体13と14間の抵抗
値の、電圧印加前後での変化率が±20%以上)、また
は絶縁抵抗不良(外部導体7および8と外部導体9およ
び10との間、または外部導体11および12と外部導
体13および14との間の、電圧印加後の絶縁抵抗値が
1×107Ω以下)が発生した不良数を求めた。
The humidity resistance load test was performed on 100 samples under the conditions of 45 ° C. and 95% relative humidity, between the external conductors 7 and 8 and the external conductors 9 and 10, and between the external conductors 11 and 12. DC resistance failure after continuously applying a DC voltage of 50 V between the external conductors 13 and 14 for 1000 hours (external conductors 7 and 8, external conductors 9 and 10, external conductors 11 and 12, or external conductors 13 and 14). Between the external conductors 7 and 8 and the external conductors 9 and 10 or between the external conductors 11 and 12 and the external conductor 13 Between 14 and 14) (the insulation resistance after voltage application was 1 × 10 7 Ω or less).

【0046】また、高温負荷試験は、100個の試料に
ついて、125℃の条件下で、外部導体7および8と外
部導体9および10との間、並びに外部導体11および
12と外部導体13および14との間に50Vの直流電
圧を1000時間連続印加した後の直流抵抗不良(外部
導体7と8、外部導体9と10、外部導体11と12、
または外部導体13と14間の抵抗値の、電圧印加前後
での変化率が±20%以上)、または絶縁抵抗不良(外
部導体7および8と外部導体9および10との間、また
は外部導体11および12と外部導体13および14と
の間の、電圧印加後の絶縁抵抗値が1×107Ω以下)
が発生した不良数を求めた。
The high-temperature load test was performed on 100 samples at 125 ° C. between the outer conductors 7 and 8 and the outer conductors 9 and 10, and between the outer conductors 11 and 12 and the outer conductors 13 and 14. DC resistance failure after continuously applying a DC voltage of 50 V for 1000 hours (external conductors 7 and 8, external conductors 9 and 10, external conductors 11 and 12,
Alternatively, the rate of change in resistance between the outer conductors 13 and 14 before and after voltage application is ± 20% or more), or poor insulation resistance (between the outer conductors 7 and 8 and the outer conductors 9 and 10 or the outer conductor 11 Insulation resistance after application of a voltage between the external conductors 13 and 14 and the external conductors 13 and 14 is 1 × 10 7 Ω or less)
The number of defects in which occurred was determined.

【0047】表2より明らかな通り、本願発明の、フェ
ライトを10〜99.5wt%と、ホウ素を含まずかつ
軟化点が800℃以下であって特定組成のケイ酸塩ガラ
スを90〜0.5wt%含有する、試料番号2〜15に
示すものは、焼結性に優れていると共に、耐化学性(塩
水煮沸試験結果)や、耐候性(耐湿負荷試験結果、高温
負荷試験結果)に優れている。
As is clear from Table 2, the silicate glass of the present invention containing 10 to 99.5% by weight of ferrite and 90 to 0.1% of silicate glass containing no boron and having a softening point of 800 ° C. or less and a specific composition. Samples Nos. 2 to 15 containing 5 wt% are excellent in sinterability and also excellent in chemical resistance (result of boiling water test) and weather resistance (result of moisture resistance load test, result of high temperature load test). ing.

【0048】なお、試料番号2〜14は、請求項2に示
す、より好ましいケイ酸塩ガラス組成を用いた場合の例
である。試料番号8〜15は、請求項3に示す、ケイ酸
塩ガラスの副成分として特定量のTiO2とCuOを含
む場合の例である。試料番号2、9〜15は、請求項4
に示す、ケイ酸塩ガラスの副成分として特定量のAl2
3および/またはZrO2を含む場合の例である。試料
番号9は、請求項5に示す、ケイ酸塩ガラスの副成分と
して特定量のZnO、Co34、またはNiOを含む場
合の例である。試料番号2は、請求項6に示す、ケイ酸
塩ガラスの副成分として特定量の希土類酸化物としての
Nd23を含む場合の例である。
Sample Nos. 2 to 14 are examples in which the more preferred silicate glass composition described in claim 2 is used. Sample Nos. 8 to 15 are examples in which specific amounts of TiO 2 and CuO are contained as subcomponents of the silicate glass described in claim 3. Sample Nos. 2, 9 to 15 correspond to claim 4
The specific amount of Al 2 as a subcomponent of the silicate glass shown in
This is an example where O 3 and / or ZrO 2 is included. Sample No. 9 is an example in which a specific amount of ZnO, Co 3 O 4 , or NiO is contained as a sub-component of the silicate glass described in claim 5. Sample No. 2 is an example in which a specified amount of Nd 2 O 3 as a rare earth oxide is contained as a subcomponent of the silicate glass described in claim 6.

【0049】これに対して、本発明の範囲外の、B23
を含むガラスを添加した場合は、試料番号16〜18に
示すように、耐化学性や耐候性が悪く、直流抵抗不良
や、絶縁抵抗不良が発生する。
On the other hand, B 2 O 3
When the glass containing is added, as shown in Sample Nos. 16 to 18, the chemical resistance and the weather resistance are poor, and a DC resistance defect and an insulation resistance defect occur.

【0050】また、ガラス含有量が0.5wt%未満の
場合には、試料番号19、21に示すように、焼結性が
悪く、かつ耐化学性や耐候性が低く、直流抵抗不良や、
絶縁抵抗不良が発生する。他方、ガラス含有量が90w
t%を超えると、試料番号20、22に示すように、焼
結性、耐化学性、耐候性に異常ないが、組成がガラス単
体に近づき骨材としてのフェライトが少なくなるため、
焼結体が強度不足となり、クラック、ひび、層はがれが
が発生しやすくなるため不適当である。
When the glass content is less than 0.5 wt%, as shown in Sample Nos. 19 and 21, the sinterability is poor, the chemical resistance and weather resistance are low, and the DC resistance is poor.
Insulation resistance failure occurs. On the other hand, the glass content is 90 w
When the content exceeds t%, as shown in Sample Nos. 20 and 22, there is no abnormality in sinterability, chemical resistance, and weather resistance, but the composition approaches the glass alone and ferrite as an aggregate decreases,
The strength of the sintered body is insufficient, and cracks, cracks, and peeling of the layer are apt to occur.

【0051】以上より、フェライトにガラスを添加する
ことで、低温焼結が可能となる。しかし、B23を含有
するガラスでは、耐化学性や耐候性が低く、部品の信頼
性が悪くなる。これに対して、B23を除外した特定量
のケイ酸塩ガラスを用いることにより、耐化学性や耐候
性に優れたものとなり、積層型のインダクタアレイの信
頼性を向上させることができる。
As described above, low-temperature sintering becomes possible by adding glass to ferrite. However, the glass containing B 2 O 3 has low chemical resistance and weather resistance, and deteriorates the reliability of parts. On the other hand, by using a specific amount of silicate glass excluding B 2 O 3 , chemical resistance and weather resistance are excellent, and the reliability of the laminated inductor array can be improved. .

【0052】(実施例2)まず、フェライトを得るた
め、Fe23を65.5モル%、NiOを34.5モル
%配合した。次いで、このフェライト成分に実施例1で
用いたガラス種FG1〜FG7を表3に示す割合で添
加、混合した。その後、実施例1と同様にして、厚み1
00μmのグリーンシートを作製した。
Example 2 First, in order to obtain ferrite, 65.5 mol% of Fe 2 O 3 and 34.5 mol% of NiO were blended. Next, the glass types FG1 to FG7 used in Example 1 were added to the ferrite component at a ratio shown in Table 3 and mixed. Then, in the same manner as in Example 1, the thickness 1
A 00 μm green sheet was produced.

【0053】[0053]

【表3】 [Table 3]

【0054】次に図3に示すように、このグリーンシー
ト21に、Agペーストを用いて、インダクタとなる内
部導体22、23、24および25、コンデンサとなる
内部導体26、27および28を印刷により形成した。
また、グリーンシート21にパンチャーでバイアホール
29、30、31、32、33、34、35および36
用の穴を空け、Agペーストを充填した。次いで、この
内部導体22〜28とバイアホール29〜36を形成し
たグリーンシート21と、内部導体やバイアホールを形
成していないグリーンシート21を図3に示すように積
層して圧着した。その後、得られた積層体を大気中93
0℃で2時間焼成した。
Next, as shown in FIG. 3, the inner conductors 22, 23, 24 and 25 serving as inductors and the inner conductors 26, 27 and 28 serving as capacitors are printed on the green sheet 21 by using an Ag paste. Formed.
Also, via holes 29, 30, 31, 32, 33, 34, 35 and 36 are provided on the green sheet 21 with a puncher.
Holes were made and Ag paste was filled. Next, the green sheet 21 having the internal conductors 22 to 28 and the via holes 29 to 36 formed thereon and the green sheet 21 having no internal conductor and the via hole formed thereon were laminated and crimped as shown in FIG. After that, the obtained laminate is put in the atmosphere 93
It was baked at 0 ° C. for 2 hours.

【0055】次いで、図4に示すように、得られた焼結
体38の外表面であって内部導体がそれぞれ引き出され
ている各部分上に、Agペーストを塗布し、大気中80
0℃で30分間焼成し、外部導体39、40、41およ
び42をそれぞれ形成した。
Next, as shown in FIG. 4, an Ag paste was applied to the outer surface of the obtained sintered body 38 and the respective parts from which the inner conductors were drawn out, and an Ag paste was applied thereto.
It baked at 0 degreeC for 30 minutes, and formed the external conductors 39, 40, 41, and 42, respectively.

【0056】このようにして得られた、図5に等価回路
を示す、インダクタ部品としての積層型のLC複合部品
37の各試料について、実施例1と同様に、焼結性、塩
水煮沸試験、耐湿負荷試験、および高温負荷試験を行な
った。これらの結果を表3に示す。なお、表3におい
て、*印を付したものは本発明の範囲外のものであり、
その他は本発明の範囲内のものである。
As shown in FIG. 5, for each sample of the laminated LC composite component 37 as an inductor component, the sintering property, the salt water boiling test, A moisture resistance load test and a high temperature load test were performed. Table 3 shows the results. In Table 3, those marked with * are out of the scope of the present invention.
Others are within the scope of the present invention.

【0057】ここで、焼結性は試料を純水で1時間煮沸
し、煮沸前後の重量変化が0.1%以内のものを焼結良
好(〇)とし、0.1%を超えるものを焼結不良(×)
とした。
Here, regarding the sinterability, the sample was boiled in pure water for 1 hour. Poor sintering (×)
And

【0058】また、塩水煮沸試験は、100個の試料を
1NのNaCl水溶液で1時間煮沸し、直流抵抗不良
(外部導体39と40間の抵抗値の、煮沸前後での変化
率が±20%以上)、または絶縁抵抗不良(外部導体3
9および40と外部導体41および42との間の、煮沸
後の絶縁抵抗値が1×107Ω以下)が発生した不良数
を求めた。
In the salt water boiling test, 100 samples were boiled for 1 hour in a 1N aqueous solution of NaCl, and the DC resistance was poor (the change in the resistance between the external conductors 39 and 40 before and after boiling was ± 20%). Above) or insulation resistance failure (external conductor 3
The number of defects in which insulation resistance after boiling between 9 and 40 and the external conductors 41 and 42 was 1 × 10 7 Ω or less was determined.

【0059】また、耐湿負荷試験は、100個の試料に
ついて、45℃、相対湿度95%の条件下で、外部導体
39および40と外部導体41および42との間に、5
0Vの直流電圧を1000時間連続印加した後の直流抵
抗不良(外部導体39と外部導体40間の抵抗値の、電
圧印加前後での変化率が±20%以上)、または絶縁抵
抗不良(外部導体39および40と外部導体41および
42との間の、電圧印加後の絶縁抵抗値が1×107Ω
以下)が発生した不良数を求めた。
The humidity resistance load test was performed on 100 samples under conditions of 45 ° C. and 95% relative humidity between the outer conductors 39 and 40 and the outer conductors 41 and 42.
Poor DC resistance after continuous application of 0 V DC voltage for 1000 hours (change rate of resistance between outer conductor 39 and outer conductor 40 before and after voltage application is ± 20% or more) or poor insulation resistance (outer conductor The insulation resistance after application of a voltage between 39 and 40 and the external conductors 41 and 42 is 1 × 10 7 Ω.
The number of defects in which the following occurred) was obtained.

【0060】また、高温負荷試験は、100個の試料に
ついて、125℃の条件下で、外部導体39および40
と外部導体41および42との間に50Vの直流電圧を
1000時間連続印加した後の直流抵抗不良(外部導体
39と外部導体40間の抵抗値の、電圧印加前後での変
化率が±20%以上)、または絶縁抵抗不良(外部導体
39および40と外部導体41および42との間の、電
圧印加後の絶縁抵抗値が1×107Ω以下)が発生した
不良数を求めた。
In the high-temperature load test, 100 samples were tested under the condition of 125 ° C. for the outer conductors 39 and 40.
DC resistance after continuously applying a DC voltage of 50 V between the external conductors 41 and 42 for 1000 hours (the rate of change of the resistance value between the external conductor 39 and the external conductor 40 before and after voltage application is ± 20%) Above) or the number of failures in which insulation resistance failure (the insulation resistance value between the external conductors 39 and 40 and the external conductors 41 and 42 after applying a voltage was 1 × 10 7 Ω or less) was determined.

【0061】表3より明らかな通り、本願発明の、フェ
ライトを10〜99.5wt%と、ホウ素を含まずかつ
軟化点が800℃以下であって特定組成のケイ酸塩ガラ
スを90〜0.5wt%含有する、試料番号32〜41
に示すものは、焼結性に優れていると共に、耐化学性
(塩水煮沸試験結果)や、耐候性(耐湿負荷試験結果、
高温負荷試験結果)に優れている。
As is clear from Table 3, the silicate glass of the present invention containing 10 to 99.5% by weight of ferrite and containing 90% to 0.9% of silicate glass containing boron and having a softening point of 800.degree. Sample Nos. 32-41 containing 5 wt%
Are excellent in sinterability, chemical resistance (boiled water boiling test result) and weather resistance (moisture load test result,
High temperature load test result).

【0062】これに対して、ガラスを添加しない場合
は、試料番号31に示すように、焼結性が悪い。また、
本発明の範囲外のB23を含むガラスを添加した場合
は、試料番号42〜44に示すように、耐化学性や耐候
性が悪く、直流抵抗不良や、絶縁抵抗不良が発生する。
On the other hand, when no glass was added, the sinterability was poor as shown in Sample No. 31. Also,
If the addition of glass containing range of B 2 O 3 of the present invention, as shown in sample numbers 42 to 44, chemical resistance and weather resistance is poor, the DC resistance defect or the insulation resistance failure.

【0063】以上より、積層型のLC複合部品において
も、実施例1と同様な効果が得られることがわかる。
From the above, it can be seen that the same effect as in the first embodiment can be obtained also in the laminated type LC composite component.

【0064】(実施例3)まず、フェライトを得るた
め、Fe23を48.5モル%、CuOを5.0モル
%、ZnOを20.0モル%、NiOを26.5モル%
を配合した。次いで、このフェライト成分に実施例1で
用いたガラス種FG1〜FG7を表4に示す割合で添
加、混合した。その後、実施例1と同様にして、厚み1
00μmのグリーンシートを作製した。
Example 3 First, in order to obtain ferrite, 48.5 mol% of Fe 2 O 3 , 5.0 mol% of CuO, 20.0 mol% of ZnO, and 26.5 mol% of NiO.
Was blended. Next, the glass types FG1 to FG7 used in Example 1 were added to the ferrite component at a ratio shown in Table 4 and mixed. Then, in the same manner as in Example 1, the thickness 1
A 00 μm green sheet was produced.

【0065】[0065]

【表4】 [Table 4]

【0066】次に図6に示すように、このグリーンシー
ト51に、Agペーストを用いて、インダクタとなる内
部導体52、53を印刷により形成した。また、グリー
ンシート51にパンチャーでバイアホール54用の穴を
空け、Agペーストを充填した。次いで、この内部導体
52、53とバイアホール54を形成したグリーンシー
ト51と、内部導体やバイアホールを形成していないグ
リーンシート51を図6に示すように積層して圧着し
た。その後、得られた積層体を大気中930℃で2時間
焼成した。
Next, as shown in FIG. 6, internal conductors 52 and 53 serving as inductors were formed on the green sheet 51 by printing using an Ag paste. Also, holes for via holes 54 were made in the green sheet 51 with a puncher, and Ag paste was filled. Next, the green sheet 51 having the internal conductors 52 and 53 and the via hole 54 formed thereon and the green sheet 51 having no internal conductor and the via hole formed thereon were laminated and crimped as shown in FIG. Thereafter, the obtained laminate was fired at 930 ° C. in the air for 2 hours.

【0067】次いで、図7に示すように、得られた焼結
体56の外表面であって内部導体がそれぞれ引き出され
ている各部分上に、Agペーストを塗布し、大気中80
0℃で30分間焼成し、外部導体57、58をそれぞれ
形成した。
Next, as shown in FIG. 7, an Ag paste was applied to each of the outer surfaces of the obtained sintered body 56 from which the internal conductor was drawn out,
It baked at 0 degreeC for 30 minutes, and formed the external conductors 57 and 58, respectively.

【0068】このようにして得られた、インダクタ部品
としての積層型のインダクタ55の各試料について、実
施例1と同様に、焼結性、塩水煮沸試験、耐湿負荷試
験、および高温負荷試験を行なった。これらの結果を表
4に示す。なお、表4において、*印を付したものは本
発明の範囲外のものであり、その他は本発明の範囲内の
ものである。
For each sample of the laminated inductor 55 as an inductor component thus obtained, a sintering property, a salt water boiling test, a moisture resistance load test, and a high temperature load test were performed in the same manner as in Example 1. Was. Table 4 shows the results. In Table 4, those marked with * are out of the scope of the present invention, and others are within the scope of the present invention.

【0069】ここで、焼結性は試料を純水で1時間煮沸
し、煮沸前後の重量変化が0.1%以内のものを焼結良
好(〇)とし、0.1%を超えるものを焼結不良(×)
とした。
Here, the sinterability was determined by boiling a sample in pure water for 1 hour, and deciding that the weight change before and after boiling was within 0.1% as good sintering (〇) and that exceeding 0.1%. Poor sintering (×)
And

【0070】また、塩水煮沸試験は、100個の試料を
1NのNaCl水溶液で1時間煮沸し、直流抵抗不良
(外部導体57と58間の抵抗値の、煮沸前後での変化
率が±20%以上)が発生した不良数を求めた。
In the salt water boiling test, 100 samples were boiled in a 1N NaCl aqueous solution for 1 hour, and the DC resistance was poor (the rate of change in resistance between the external conductors 57 and 58 before and after boiling was ± 20%). The number of defects in which the above described) occurred was obtained.

【0071】また、耐湿負荷試験は、45℃、相対湿度
95%の条件下で、外部導体57と58との間に200
mAの電流を1000時間連続印加した後の直流抵抗不
良(外部導体57と外部導体58間の抵抗値の、電圧印
加前後での変化率が±20%以上)が発生した不良数を
求めた。
The humidity resistance load test was performed under the conditions of 45 ° C. and 95% relative humidity, and the resistance between the outer conductors 57 and 58 was 200 mm.
The number of failures in which DC resistance failure (a rate of change in resistance value between the outer conductor 57 and the outer conductor 58 before and after voltage application was ± 20% or more) after continuous application of a mA current for 1000 hours was determined.

【0072】また、高温負荷試験は、125℃の条件下
で、外部導体57と58との間に200mAの電流を1
000時間連続印加した後の直流抵抗不良(外部導体5
7と外部導体58間の抵抗値の、電圧印加前後での変化
率が±20%以上)が発生した不良数を求めた。
In the high-temperature load test, a current of 200 mA was applied between the outer conductors 57 and 58 at 125 ° C. for 1 hour.
DC resistance failure after continuous application for 000 hours (external conductor 5
(The rate of change of the resistance value between No. 7 and the external conductor 58 before and after voltage application was ± 20% or more) was determined.

【0073】表4より明らかな通り、本願発明の、フェ
ライトを10〜99.5wt%と、ホウ素を含まずかつ
軟化点が800℃以下であって特定組成のケイ酸塩ガラ
スを90〜0.5wt%含有する、試料番号52〜61
に示すものは、焼結性に優れていると共に、耐化学性
(塩水煮沸試験結果)や、耐候性(耐湿負荷試験結果、
高温負荷試験結果)に優れている。
As is apparent from Table 4, the silicate glass of the present invention containing 10 to 99.5% by weight of ferrite and 90 to 0.1% of silicate glass containing no boron and having a softening point of 800 ° C. or less and a specific composition was used. Sample No. 52 to 61 containing 5 wt%
Are excellent in sinterability, chemical resistance (boiled water boiling test result) and weather resistance (moisture load test result,
High temperature load test result).

【0074】これに対して、ガラスを添加しない場合
は、試料番号51に示すように、焼結性が悪い。また、
本発明の範囲外のB23を含むガラスを添加した場合
は、試料番号62〜64に示すように、耐化学性や耐候
性が悪く、直流抵抗不良や、絶縁抵抗不良が発生する。
On the other hand, when no glass was added, the sinterability was poor as shown in Sample No. 51. Also,
If the addition of glass containing range of B 2 O 3 of the present invention, as shown in sample numbers 62 to 64, chemical resistance and weather resistance is poor, the DC resistance defect or the insulation resistance failure.

【0075】以上より、積層型のインダクタにおいて
も、実施例1と同様な効果が得られることがわかる。
From the above, it can be seen that the same effect as in the first embodiment can be obtained also in the multilayer inductor.

【0076】なお、上記各実施例においては、フェライ
トが、特定組成のNiフェライト、Ni−Cu−Znフ
ェライトの場合について説明したが、本発明はこれのみ
に限定されるものではない。上記実施例で示した以外の
Ni系フェライト、Ni−Cu−Zn系フェライトや、
その他Ni−Znフェライトについても同様の効果を得
ることができる。
In each of the above embodiments, the case where the ferrite is a Ni ferrite or a Ni—Cu—Zn ferrite having a specific composition has been described, but the present invention is not limited thereto. Ni-based ferrites other than those shown in the above examples, Ni-Cu-Zn-based ferrites,
In addition, the same effect can be obtained for Ni-Zn ferrite.

【0077】[0077]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
の、フェライトを10〜99.5wt%と、ホウ素を含
まずかつ軟化点が800℃以下であって特定組成のケイ
酸塩ガラスを90〜0.5wt%含有する磁性体磁器組
成物によれば、焼成プロセスにおいて、内部導体にマイ
グレーションが生じることを抑制でき、したがって、得
られたインダクタ部品において、絶縁劣化が生じたり、
あるいは、直流抵抗が高くなったりする、という問題を
改善することができる。また、焼結温度を低くでき、し
かも高周波特性の良好なインダクタ部品を得ることがで
きる、という従来技術の効果については、そのまま維持
できる。
As is apparent from the above description, the silicate glass of the present invention containing 10 to 99.5% by weight of ferrite and containing boron and having a softening point of 800 ° C. or less and a specific composition is used. According to the magnetic porcelain composition containing 90 to 0.5 wt%, migration can be suppressed from occurring in the internal conductor in the firing process. Therefore, in the obtained inductor component, insulation deterioration occurs,
Alternatively, the problem that the DC resistance becomes high can be improved. In addition, the effect of the prior art that the sintering temperature can be lowered and an inductor component having good high-frequency characteristics can be obtained can be maintained as it is.

【0078】したがって、本発明のインダクタ部品は、
上述したような特徴ある磁性体磁器組成物を磁性体とし
て用いるので、絶縁劣化、あるいは直流抵抗の増加が抑
制されたものが得られる。
Therefore, the inductor component of the present invention
Since the magnetic material porcelain composition having the above-described characteristics is used as a magnetic material, a material in which insulation deterioration or an increase in DC resistance is suppressed can be obtained.

【0079】また、本発明の、内部導体を内蔵する積層
部品であるインダクタ部品の場合は、内部導体のマイグ
レーションが抑制され、したがって、内部導体と外部導
体とのコンタクト不良の生じていないインダクタ部品が
得られる。
Further, in the case of the inductor component of the present invention, which is a laminated component having a built-in internal conductor, migration of the internal conductor is suppressed, and therefore, an inductor component free from poor contact between the internal conductor and the external conductor is produced. can get.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインダクタ部品の一種である、積層型
のインダクタアレイの一例を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of a laminated inductor array, which is a kind of inductor component of the present invention.

【図2】図1に示すインダクタアレイの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the inductor array shown in FIG.

【図3】本発明のインダクタ部品の一種である、積層型
のLC複合部品の一例を示す分解斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view showing an example of a laminated LC composite component, which is a kind of inductor component of the present invention.

【図4】図3に示すLC複合部品の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of the LC composite component shown in FIG.

【図5】図3に示すLC複合部品の等価回路図である。FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the LC composite component shown in FIG.

【図6】本発明のインダクタ部品の一種である、積層型
のインダクタの一例を示す分解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view showing an example of a laminated inductor which is a kind of inductor component of the present invention.

【図7】図6に示すインダクタの斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of the inductor shown in FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、21、51 グリーンシート 2〜5、22〜28、52、53 内部導体 29〜36、54 バイアホール 6、38、56 焼結体 7〜14、39〜42、57、58 外部導体 1, 21, 51 Green sheet 2-5, 22-28, 52, 53 Inner conductor 29-36, 54 Via hole 6, 38, 56 Sintered body 7-14, 39-42, 57, 58 Outer conductor

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フェライトを10〜99.5wt%と、
ホウ素を含まずかつ軟化点が800℃以下のケイ酸塩ガ
ラスを90〜0.5wt%含有する、磁性体磁器組成
物。
1. A ferrite comprising 10 to 99.5 wt%,
A magnetic porcelain composition containing 90 to 0.5% by weight of silicate glass containing no boron and having a softening point of 800C or lower.
【請求項2】 前記ケイ酸塩ガラスの組成は、Ma2
(ただし、MaはLi、Na、K、RbおよびCsから
なる群から選ばれた少なくとも1種)が1〜15モル
%、MeO(ただし、Meは、Be、Ba、Sr、Ca
およびMgからなる群から選ばれた少なくとも1種)が
20〜70モル%、SiO2が5〜60モル%、Bi2
3が0.5〜70モル%である、請求項1記載の磁性体
磁器組成物。
2. The composition of the silicate glass is Ma 2 O
(However, Ma is at least one selected from the group consisting of Li, Na, K, Rb and Cs) 1 to 15 mol%, MeO (where Me is Be, Ba, Sr, Ca
And at least one) 20 to 70 mole% selected from the group consisting of Mg, SiO 2 5 to 60 mol%, Bi 2 O
The magnetic porcelain composition according to claim 1, wherein 3 is 0.5 to 70 mol%.
【請求項3】 前記ケイ酸塩ガラスは、副成分としてT
iO2を50モル%以下と、CuOを50モル%以下含
む、請求項1または2記載の磁性体磁器組成物。
3. The silicate glass comprises T as a sub-component.
3. The magnetic porcelain composition according to claim 1, which comprises 50 mol% or less of iO2 and 50 mol% or less of CuO.
【請求項4】 前記ケイ酸塩ガラスは、副成分として、
Al23およびZrO2から選ばれた少なくとも1種を
10モル%以下含む、請求項1または2記載の磁性体磁
器組成物。
4. The silicate glass as a sub-component,
The magnetic ceramic composition according to claim 1, comprising at least 10 mol% of at least one selected from Al 2 O 3 and ZrO 2 .
【請求項5】 前記ケイ酸塩ガラスは、副成分として、
ZnO、Co34およびNiOから選ばれた少なくとも
1種を5モル%以下含む、請求項1または2記載の磁性
体磁器組成物。
5. The silicate glass as a sub-component,
3. The magnetic porcelain composition according to claim 1, comprising at least 5 mol% of at least one selected from ZnO, Co 3 O 4 and NiO.
【請求項6】 前記ケイ酸塩ガラスは、副成分として、
少なくとも1種の希土類酸化物を5モル%以下含む、請
求項1または2記載の磁性体磁器組成物。
6. The silicate glass as a sub-component,
3. The magnetic porcelain composition according to claim 1, comprising at least one rare earth oxide in an amount of 5 mol% or less.
【請求項7】 前記フェライトは、Ni系フェライト、
Ni−Zn系フェライト、およびNi−Cu−Zn系フ
ェライトからなる群から選ばれた1種である、請求項1
から6までのいずれかに記載の磁性体磁器組成物。
7. The ferrite is a Ni-based ferrite,
The ferrite is one selected from the group consisting of a Ni-Zn ferrite and a Ni-Cu-Zn ferrite.
7. The magnetic porcelain composition according to any one of items 1 to 6.
【請求項8】 請求項1から7までのずれかに記載の磁
性体磁器組成物を磁性体として用いた、インダクタ部
品。
8. An inductor component using the magnetic ceramic composition according to claim 1 as a magnetic material.
【請求項9】 前記インダクタ部品は、内部導体を内蔵
する積層部品である、請求項8に記載のインダクタ部
品。
9. The inductor component according to claim 8, wherein the inductor component is a multilayer component having a built-in internal conductor.
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