JPH11240147A - 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、およびインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録ドットの位置精度や、ドットサイズを高
精度に安定化させることができる記録ヘッド用基板を提
供する。 【解決手段】 基板１上に複数個のエネルギー発生素子
２が一列に配置されるとともに、同一基板上に各エネル
ギー発生素子２の配置と同一配置で発光素子９及び受光
素子１０が設けられている。発光素子９及び受光素子１
０は各エネルギー発生素子２に対してスキャン方向に一
列に並び、この列は各エネルギー発生素子２ごとに平行
をなしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー発生素
子による液体吐出や熱転写等によって記録を行う記録ヘ
ッドを搭載した画像記録装置に関する。

【０００２】また、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンター、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる
発明である。

【０００３】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。

【０００４】

【従来の技術】従来、記録装置は、記録物を光学的に検
知する手段として、ヘッドが搭載されるキャリッジにイ
メージスキャナを有しているものや、記録ヘッドをキャ
リッジから外して、イメージスキャナをヘッドの代わり
にキャリッジに搭載するものがあった。また、装置本体
のキャリッジホームポジション部に光学読み取り手段を
有し、記録ヘッドによる記録画像の記録位置の補正に用
いるものがあった。

【０００５】いずれにしても、記録ヘッドと画像読み取
り部は独立して別々に配置されているもののみであっ
た。

【０００６】

【本発明が解決しようとする課題】近年、記録装置は高
画質化の要求が高まり、高画質記録方法の検討がなされ
ている。高画質記録の代表的なものは、画像密度を高め
た高精細型のものや、記録するドットのサイズを可変し
て濃度階調を表現したものがある。

【０００７】しかしながら、高密度画像にすればするほ
どドット形成の位置精度も極めて高いものが必要になる
し、ドットサイズを可変するステップを細かくすると、
ドットサイズの精度を高める必要が出てくる。

【０００８】さらに、記録素子が複数の場合、逆に画質
劣化要因として、ドット形成の位置的な誤差やドットサ
イズの不均一性が挙げられる。

【０００９】いずれにしても、ドットの位置精度や、ド
ットサイズを高精度に安定化させるという課題を解決し
なければ、高画質化への要求に答えられない、という問
題が明らかになってきている。

【００１０】本発明の目的は、上述した課題に鑑み、ド
ットの位置精度や、ドットサイズを高精度に安定化させ
ることができる記録ヘッド、および該記録ヘッドに用い
る基板を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、画像を形成する記録ヘッドにおいて画像形
成に寄与するエネルギー発生素子を備えた記録ヘッド用
基板であって、前記記録ヘッド用基板と同一基板内に受
光素子と発光素子の両方または少なくとも受光素子が作
り込まれたことを特徴とする。

【００１２】前記記録ヘッド用基板には、前記受光素子
に隣接して発光素子が作り込まれていることが好まし
く、この場合、前記発光素子は、前記エネルギー発生素
子と受光素子の間に位置する様に設けられ、また、前記
受光素子と発光素子の組みは、記録ヘッドの走査方向に
関して複数備えている。

【００１３】前記受光素子はフォトダイオード又はＣＣ
Ｄであることが考えられる。

【００１４】さらに、前記エネルギー発生素子および受
光素子を制御する制御回路が前記記録ヘッド用基板と同
一基板内に作り込まれたことを特徴とする。

【００１５】この場合、前記受光素子と発光素子の両方
または少なくとも受光素子と、前記制御回路との少なく
とも一部が同一工程で作り込まれていることが好ましく
考えられる。

【００１６】上記の記録ヘッド用基板において、前記受
光素子と発光素子の両方または少なくとも受光素子と、
エネルギー発生素子とが一列に並んで配置されているこ
とを特徴とする。

【００１７】さらに、前記受光素子と発光素子の両方ま
たは少なくとも受光素子と、エネルギー発生素子とから
なる列が複数配され、列は平行をなしていることを特徴
とする。

【００１８】この場合、各列の前記受光素子と発光素子
の両方または少なくとも受光素子と、エネルギー発生素
子は少なくとも同数であってもよいが、前記エネルギー
発生素子より前記受光素子のほうが多いことが好まし
い。

【００１９】また、本発明は、上記の記録ヘッド用基板
と、前記記録ヘッド用基板上に接合され、前記エネルギ
ー発生素子に対応する液流路を構成する天板と、前記天
板の液流路と連通し、前記エネルギー発生素子のエネル
ギー付与によって液体が吐出される吐出口とを有し、前
記記録ヘッド用基板上の受光素子と発光素子の両方また
は少なくとも受光素子が、前記吐出口による記録画像の
形成面に光学的に対向する構成となっていることを特徴
とする記録ヘッドをも提供する。

【００２０】（作用）上記のとおりの発明では、同一基
板に、エネルギー発生素子と、受光素子と発光素子の両
方または少なくとも受光素子とを作り込んだことによ
り、エネルギー発生素子によって形成された記録ドット
を受光素子で光学的に検出するとき、形成された画像ド
ットの位置、サイズ、濃度等の情報が時間的にも高精度
に得られる。さらに、エネルギー発生素子、発光素子及
び受光素子を別々の基板に分割して配置されるのと比べ
て、各素子の形成に同一プロセスを用いる工程を共通化
することができ、接続なども不要なため、大幅なコスト
ダウンと装置の小型化が実現される。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２２】（第１の実施の形態）図１は本発明の第１
の実施の形態としての、エネルギー発生素子を作り込ん
だ基板からなる記録ヘッドを一部断面で表した斜視図で
ある。図２は図１に示した記録ヘッドの断面図である。

【００２３】この実施形態では、基板１には、液体吐出
用の気泡を、液体を加熱することにより発生させるため
のエネルギー発生素子２が基板１の一端に沿って横並び
に複数個作り込まれている。基板１上には、各エネルギ
ー発生素子２と対応する液流路７となる溝を有する天板
４が接合されている。天板４には、液流路７と連通し、
エネルギー発生素子２による液体の加熱発泡によって液
体を吐出する吐出口３が設けられている。液流路７には
液体を供給する液供給管８が配設されている。吐出口３
より吐出された液滴２０が画像形成用紙１９に着弾する
ことにより、画像が形成される。なお、基板１とは別
に、配線パターン１６を有する基板１４を設け、基板１
上のパッド１３と配線パターン１６とをボンディングワ
イヤー１５で接続することにより、吐出エネルギー発生
素子２、発光素子９及び受光素子１０と、記録装置本体
との信号の授受が行なわれる。

【００２４】さらに基板１において、発光素子９および
受光素子１０がエネルギー発生素子２と同一基板上に基
板の半導体層を利用して作り込まれている。この形態で
は図１のように各吐出口３の配置と、発光素子９および
受光素子１０の配置が同一になっているが、同一でなく
ても本発明の目的の一部は達成可能である。

【００２５】発光素子９および受光素子１０は、光学系
を用いて吐出ノズルによる記録画像の形成面に光学的に
対向する構成となっている。この形態の場合は、光ファ
イバー１１、１２および光学レンズ５、６により画像形
成面を発光素子９により照射、また、その面の反射光を
受光素子１０に伝達する構成である。これらが画像を照
射または受光できるエリアは、図２で示されるように、
記録された画像ドット２１が相対的にスキャンする側
（図中矢印Ａの用紙走査方向）に隣接していて、画像形
成用紙１９に画像ドットが形成された後ヘッド３４また
は画像形成用紙１９がスキャンするため、相対的に位置
関係がシフトする。その結果、この記録ヘッド３４は画
像形成用紙１９に形成された画像ドットを、光学レンズ
５、６を介して照射又は受光できる。

【００２６】照射用光学レンズ５、受光用レンズ６が広
いエリアをカバーできる設計の場合は、各光学レンズ
５、６の各々の焦点を画像形成用紙１９に垂直に合わせ
ればよいが、画像ドットの濃度やサイズ、位置の検出精
度をより高めるために焦点を絞り、狭いエリアをカバー
する場合には図２に示したように、お互いに同じ位置の
画像ドットに焦点が合うように角度を持たせればよい。

【００２７】図２で示す光ファイバー１１、１２は円柱
状で、表面コート（光ファイバーと光の屈折率が異なる
材料）３５、３６が施されて、光が外に漏れないようフ
ァイバー表面で全反射するものを用いることで、光の減
衰を少なく、受光素子１０に伝達することができる。さ
らには、発光素子９に半導体レーザー等のコヒーレンス
の高い光源を用いることで、その効果は非常に高くな
る。

【００２８】また、光源に発光素子９を用いずに外部に
ハロゲン光等の他の方式の光源を用いても、本発明の効
果の一部を得ることができる。

【００２９】また、受光素子１０にはフォトダイオード
やＣＣＤ等の光電変換を行なえるものが用いられる。

【００３０】図３に、図１及び図２に示したエネルギー
発生素子２、発光素子９、受光素子１０の駆動回路を示
す。この図に示すようにエネルギー発生素子２、発光素
子９、および受光素子１０は基本的にはＣＰＵ２６によ
って駆動される。エネルギー発生素子２や発光素子９は
ＣＰＵ２６からの制御信号が駆動用ドライバー２２や２
３に入力されることで駆動される。特に受光素子１０は
その出力を増幅回路２４により増幅され、Ａ／Ｄコンバ
ータ２５によりデジタル信号に変換され、ＣＰＵ２６に
値が入力される。エネルギー発生素子２、発光素子９、
および受光素子１０は同一基板の表面の半導体層を用い
て作り込まれることで、同一プロセスを用いる工程を共
通化してコストを大幅に低減できるほか、配置関係も半
導体製造工程での精度レベル、すなわち１μｍから数μ
ｍ以下で合わせることが可能となり、μｍオーダーの記
録画像形成を補正する手段として極めて有効に作用す
る。さらに、互いの位置関係が固定的になるため、各素
子の位置ばらつきを予め検出しておけば、高精度に補正
することが可能である。これにより、誤差の少ない制御
も可能となる。補正情報は記録装置本体に保存すること
もできるが、基板１内に不揮発性メモリーを作り込んで
記憶させれば、基板１内での精度が一層向上する。さら
に、各素子の駆動用ドライバー２２、２３も同一基板１
に半導体層を用いて作り込めば、前述の効果と同様にコ
ストダウンのメリットと精度向上のメリットとの両方が
得られる。さらに、ＣＰＵ２６等の演算回路を同一基板
に半導体層を用いて作り込めば、画像形状と同時に画像
情報が得られるため、補正制御等が同時に行なうことが
可能となり、高画質制御の効果が非常に大きい。

【００３１】ここで、画像形成用紙１９に形成した画像
ドットの精度検出方法を図４を用いて説明する。

【００３２】図３に示したように、吐出口３からの液滴
２０によって画像ドット２１を形成しながら、発光素子
９と受光素子１０でその画像ドット２１を連続的にスキ
ャンしながら検出を行なうと、受光素子１０の出力は図
４に示すような波形となる。画像ドット２１の形成部分
における受光素子１０の出力は、画像ドット２１のない
場合の紙面で反射される光の量がドットによって吸収さ
れて出力が低下するため、Ａ点のようになる。さらに連
続的に繰り返すことで、Ｂ点〜Ｅ点の波形が得られる
が、Ｂ点での画像ドット２１はＡ点よりも出力低下レベ
ルがΔＶだけ大きい。これにより、Ｂ点の画像ドット２
１の濃度が大きく、光の吸収度合が大きいことが分か
る。次にＣ点では、Ａ〜Ｂ点の時間間隔より大きい。こ
れにより、画像ドットの着弾ずれの発生とそのずれの大
きさが分かる。次にＤ点では、出力低下が見られないた
め、ドット形成が何らかの理由でなされなかったことが
分かる。さらに、Ｅ点では出力低下の時間Ｔ2がＡ点の
Ｔ1より大きいため、ドットサイズが大きいことが分か
る。

【００３３】このように、一対一の発光／受光素子によ
り、形成された記録ドットの様々な情報が高精度に得ら
れるため、これによる記録ヘッドの制御も適切に行なえ
る。また、発光／受光素子により、通常の写真等の画像
をスキャナとして読み込むことも可能となる。

【００３４】次に、本装置のシステム全体の構成につい
て図５を用いて説明する。

【００３５】図５に示されるように本装置では、同一基
板１上に、画像記録ドット形成用エネルギー発生素子２
とその駆動ドライバー２２が複数の配線１７で接続され
ている。また同様に、発光素子９と駆動ドライバー２
３、受光素子１０と増幅器（不図示）及びＡ／Ｄコンバ
ーター２４、さらにロジック回路２７、２８、２９を介
してＣＰＵ２６に接続される。この接続にはバス３３が
用いられ、このバス３３にはＲＡＭ３１、ＲＯＭ３０、
ＥＥＰＲＯＭ３２が接続される。コンピュータ３８から
の画像情報はデータケーブル３９とＩ／Ｏインターフェ
イス３７を介してＣＰＵ２６に入力され、画像データは
ＲＡＭ３１に一時的に蓄えられ、また、各素子の位置ば
らつき情報などはＥＥＰＲＯＭ３２に記憶されている。

【００３６】（第２の実施の形態）ここでは、上述した
ような光ファイバを用いない場合を例に挙げて説明す
る。図６は本発明の第２の実施の形態としての、エネル
ギー発生素子を作り込んだ基板からなる記録ヘッドを一
部断面で表した斜視図である。図７は図６に示した記録
ヘッドの断面図である。これらの図において、第１の実
施形態と同一の構成要素には同一符号を付してある。

【００３７】この形態の記録ヘッドにおいて、図６に示
すように基板１上に複数個のエネルギー発生素子２が一
列に配置されるとともに、同一基板上に各エネルギー発
生素子２の配置と同一配置で発光素子９及び受光素子１
０が設けられている。これにより、各エネルギー発生素
子２に対して発光素子９及び受光素子１０がスキャン方
向（画像形成用紙又は記録ヘッドの走査方向）に一列に
並び、この列は各エネルギー発生素子２ごとに平行をな
している。さらに、エネルギー発生素子２、発光素子
９、受光素子１０の駆動を制御する制御回路（図３、図
５参照）なども同一基板に組み込まれている。以上の点
は第１の実施形態と同じである。

【００３８】この形態の場合は、基板１上に、受光素子
９及び発光素子１０と、エネルギー発生素子２を完全に
分離する分離板１７が接合されている。さらに、基板１
上には分離板１７を介して、エネルギー発生素子２、発
光素子９及び受光素子１０を覆う天板１８が接合されて
いる。これにより、エネルギー発生素子２が形成されて
いる側の基板面と天板１８の間に液流路７となる空間が
形成され、発光素子９及び受光素子１０が形成されてい
る側の基板面と天板１８にも空間が形成されている。天
板１８の各エネルギー発生素子２と相対する部分には、
画像ドットを形成するために液滴を吐出する吐出口３が
形成されている。さらに、天板１８の、各発光素子９お
よび各受光素子１０と相対する部分にはそれぞれ、照射
用光学レンズ５および受光用レンズ６が配設されてい
る。

【００３９】本形態のように光ファイバーを用いない構
造を採れば、第１の実施形態に比べて構成が単純にな
る。その他の作用、効果については第１の実施形態と同
じである。

【００４０】（第３の実施の形態）さらに、本発明にお
いては、発光素子に対して受光素子を複数設け、１ドッ
トに対して複数の受光素子によってドット位置の検出を
行うように構成することもできる。

【００４１】以下に、図面を参照して第３の実施の形態
としてその一構成例を説明する。

【００４２】図８は吐出口３、照射用光学レンズ（以
下、発光部として説明する）５、受光用レンズ（以下、
第１受光部６ａ、第２受光部６ｂとして説明する）の配
置構成の一例を記録ヘッドの吐出口側からみて、その一
部分を概略的に示したものである。

【００４３】図８に示されるように、複数配列された吐
出口３に対して、記録ヘッドの走査方向に沿って吐出口
から所定の距離離れて発光部５が吐出口と同数配列され
ている。そして、発光部５からさらに所定の距離離れた
位置に２つの第１受光部６ａ、第２受光部６ｂが配置さ
れている。第１受光部６ａ、第２受光部６ｂは、記録ヘ
ッドの走査方向をＸ方向、記録ヘッドの走査方向と直交
する方向をＹ方向としたとき、吐出口３の中心からＸ方
向及びＹ方向に関して互いに離れる方向にずれて配置さ
れている。

【００４４】このように構成された受光部によるドット
の検出について図９、図１０を用いて以下説明する。

【００４５】図９は説明を容易にするため吐出口１、発
光部５、第１受光部６ａ、第２受光部６ｂの配置構成に
ドット２１の着弾位置を追加して示す模式図である。

【００４６】図９に示すようにインクドット２１の着弾
位置がＹ方向にずれた場合、受光部によって出力される
波形としては、図１０（Ａ）に示されるように、第１受
光部６ａの出力電圧波形の変化は大きく、第２受光部６
ｂの出力電圧波形はその変化が小さい。これらの出力電
圧波形をＡ／Ｄ変換することで図１０（Ｂ）に示される
ようなパルス波形を得る。

【００４７】得られたパルス波形において、第１受光部
６ａで実際検出されたパルス波形の中心（図中ａ線）と
本来検出されるべき正規の着弾位置のドットによるａ線
との差、または第２受光部６ｂで実際検出されたパルス
波形の中心（図中ｂ線）と本来検出されるべき正規の着
弾位置のドットによるｂ線との差を算出してドットのＸ
方向の「ずれ」が検出できる。本来検出されるべきａ線
と第１受光部６ａでの実際のパルス波形の中心、または
本来検出されるべきｂ線と第２受光部６ｂでの実際のパ
ルス波形の中心とを一致させるように吐出タイミングを
補正することでドットのＸ方向に関する「ずれ」を補正
できる。なお、第１受光部６ａ、第２受光部６ｂは、本
実施形態ではあらかじめ所定の間隔を隔てて配置されて
いるので、上記パルス波形の中心の差は、受光部の位置
の因子を加味したものとして算出される。したがって、
受光部のＸ方向に関する配置位置が等しい場合には、受
光部の位置の因子を加味する必要がない。

【００４８】また、吐出形成されたドットの形状が円形
であるとした上で、第１受光部６ａのパルス幅と第２受
光部６ｂのパルス幅との差がＹ方向に関するドットの位
置ずれを示し、さらに、第１受光部６ａ又は第２受光部
６ｂのパルス幅と本来検出されるべき正規の大きさのド
ットによるパルス幅との差がドット径の大小の歪みを示
しており、ドットのＹ方向の「ずれ」とドット径の「大
小の歪み」が検出できる。第１受光部６ａと第２受光部
６ｂとからのパルス幅を一致させるようにすればドット
のＹ方向のずれを補正できる。また、第１受光部６ａ又
は第２受光部６ｂのパルス幅と本来検出されるべき正規
の大きさのドットによるパルス幅とを一致させるように
エネルギー発生素子に対して印加する電圧を調整するこ
とでドット径の大小の歪みを補正できる。

【００４９】なお、上述の構成は一例であり、ドット位
置の検出と補正を行うことができる構成であれば上述の
構成に限られず、上記構成における各受光部に対して対
となるように発光部を設けた構成でもよい。

【００５０】このような構成とすることで、実質的なコ
ストの上昇なしにエネルギー発生素子と、受光素子とが
同数設けられている場合に比較してより正確にＸ方向、
Ｙ方向に関するドットの「ずれ」及びドット径の「大小
の歪み」を検出し、補正することができ、一層高精細な
記録画像を達成することが可能になる。

【００５１】また、上記の各実施の形態では液体吐出に
よる画像形成を行なうものを示したが、本発明の思想を
熱転写によるサーマルヘッド等の画像形成手段に適用す
ることも可能である。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、同一基
板に、記録ドットを形成するためのエネルギー発生素子
と、この形成された記録ドットを光学的に検出するため
の受光素子とを作り込んだことにより、（１）形成され
た画像ドットの位置、サイズ、濃度等の情報が時間的に
も高精度に得られる、（２）エネルギー発生素子、発光
素子及び受光素子を別々の基板に分割して配置されるの
と比べて、各素子の形成に同一プロセスを用いる工程を
共通化することができ、接続なども不要なため、大幅な
コストダウンと装置の小型化が実現される、という効果
を奏する。

【００５３】また、受光素子をエネルギー発生素子より
多く有すれば、さらに高精度な画像ドット情報が与えら
れる。

【００５４】また、同様な方法により、複数ヘッドを有
した場合のヘッド間補正が高精度に行なえる。

【００５５】さらに、この発光／受光素子により、通常
の写真などの画像をスキャナとして読み込むことも可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態としての、エネルギ
ー発生素子を作り込んだ基板からなる記録ヘッドを一部
断面で表した斜視図である。

【図２】図１に示した記録ヘッドの断面図である。

【図３】図１及び図２に示したエネルギー発生素子、発
光素子、受光素子の駆動回路図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態の記録ヘッドにより
画像ドットの精度を検出する方法を説明するための図で
あって、スキャンした時の受光素子の出力波形図であ
る。

【図５】本発明の記録ヘッドによる記録システム全体の
構成図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態としての、エネルギ
ー発生素子を作り込んだ基板からなる記録ヘッドを一部
断面で表した斜視図である。

【図７】図６に示した記録ヘッドの断面図である。

【図８】本発明の第３の実施の形態として、吐出口、照
射用光学レンズ、受光用レンズの配置構成を記録ヘッド
の吐出口側からその一部分を概略的に示した図である。

【図９】図８に示したヘッド走査方向における一連の吐
出口、照射用光学レンズ、受光用レンズの配置構成にド
ットの着弾位置を追加して示す模式図である。

【図１０】図９に示した着弾ドットを照光したときに受
光用レンズの第１受光部と第２受光部で検出される出力
電圧波形を示す図である。

【符号の説明】

１、１４ 基板 ２ エネルギー発生素子 ３ 吐出口 ４ 天板 ５ 照射用光学レンズ ６ 受光用レンズ ７ 液流路 ８ 液供給管 ９ 発光素子 １０ 受光素子 １１、１２ 光ファイバー １３ パッド １５ ボンディングワイヤー １６ 配線パターン １７ 配線 １９ 画像形成用紙 ２０ 液滴 ２１ 記録ドット ２２、２３ 駆動用ドライバー ２４ 増幅回路 ２５ Ａ／Ｄコンバ−タ ２６ ＣＰＵ ２７，２８，２９ ロジック回路 ３０ ＲＯＭ ３１ ＲＡＭ ３２ ＥＥＰＲＯＭ ３３ バス ３４ 記録ヘッド ３５、３６ 表面コート ３７ Ｉ／Ｏインタ−フェイス ３８ コンピュ−タ

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 画像を形成する記録ヘッドにおいて画像
   形成に寄与するエネルギー発生素子を備えた記録ヘッド
   用基板であって、 前記記録ヘッド用基板と同一基板内に受光素子が作り込
   まれたことを特徴とする記録ヘッド用基板。
2. 【請求項２】 前記受光素子はフォトダイオード又はＣ
   ＣＤである請求項１に記載の記録ヘッド用基板。
3. 【請求項３】 前記エネルギー発生素子を制御する制御
   回路が前記記録ヘッド用基板と同一基板内に作り込まれ
   たことを特徴とする請求項１に記載の記録ヘッド用基
   板。
4. 【請求項４】 前記受光素子と前記制御回路との少なく
   とも一部は同一工程で作り込まれたこと特徴とする請求
   項３に記載の記録ヘッド用基板。
5. 【請求項５】 エネルギー発生素子と受光素子が一列に
   並んで配置された請求項１から４のいずれかに記載の記
   録ヘッド用基板。
6. 【請求項６】 前記エネルギー発生素子と受光素子の列
   が複数配され、列は平行をなしている請求項５に記載の
   記録ヘッド用基板。
7. 【請求項７】 各列の前記エネルギー発生素子と受光素
   子は同数である請求項６に記載の記録ヘッド用基板。
8. 【請求項８】 各列の前記エネルギー発生素子と受光素
   子は、前記エネルギー発生素子より前記受光素子のほう
   が多いことを特徴とする請求項６に記載の記録ヘッド用
   基板。
9. 【請求項９】 前記記録ヘッド用基板には、前記受光素
   子に隣接して発光素子が作り込まれていることを特徴と
   する請求項１に記載の記録ヘッド用基板。
10. 【請求項１０】 前記発光素子は、前記エネルギー発生
    素子と受光素子の間に位置する様に設けられることを特
    徴とする請求項９に記載の記録ヘッド用基板。
11. 【請求項１１】 前記受光素子と発光素子の組みは、記
    録ヘッドの走査方向に関して複数備えていることを特徴
    とする請求項９に記載の記録ヘッド用基板。
12. 【請求項１２】 画像を形成する記録ヘッドにおいて画
    像形成に寄与するエネルギー発生素子を備えた記録ヘッ
    ド用基板であって、 前記記録ヘッド用基板と同一基板内に受光素子および発
    光素子が作り込まれたことを特徴とする記録ヘッド用基
    板。
13. 【請求項１３】 前記受光素子はフォトダイオード又は
    ＣＣＤである請求項１２に記載の記録ヘッド用基板。
14. 【請求項１４】 前記エネルギー発生素子を制御する制
    御回路が前記記録ヘッド用基板と同一基板内に作り込ま
    れたことを特徴とする請求項１２に記載の記録ヘッド用
    基板。
15. 【請求項１５】 前記受光素子、発光素子および制御回
    路との少なくとも一部は同一工程で作り込まれたこと特
    徴とする請求項１４に記載の記録ヘッド用基板。
16. 【請求項１６】 エネルギー発生素子と受光素子と発光
    素子が一列に並んで配置された請求項９に記載の記録ヘ
    ッド用基板。
17. 【請求項１７】 前記エネルギー発生素子と受光素子と
    発光素子の列が複数配され、列は平行をなしている請求
    項１６に記載の記録ヘッド用基板。
18. 【請求項１８】 各列の前記エネルギー発生素子と受光
    素子と発光素子は同数である請求項１７に記載の記録ヘ
    ッド用基板。
19. 【請求項１９】 各列の前記エネルギー発生素子と受光
    素子と発光素子は、前記エネルギー発生素子より前記受
    光素子のほうが多いことを特徴とする請求項１７に記載
    の記録ヘッド用基板。
20. 【請求項２０】 請求項１から１１のいずれかに記載の
    記録ヘッド用基板と、 前記記録ヘッド用基板上に接合され、前記エネルギー発
    生素子に対応する液流路を構成する天板と、 前記天板の液流路と連通し、前記エネルギー発生素子の
    エネルギー付与によって液体が吐出される吐出口とを有
    し、 前記記録ヘッド用基板上の受光素子が、前記吐出口によ
    る記録画像の形成面に光学的に対向する構成となってい
    ることを特徴とする記録ヘッド。
21. 【請求項２１】 請求項１２から１９のいずれかに記載
    の記録ヘッド用基板と、 前記記録ヘッド用基板上に接合され、前記エネルギー発
    生素子に対応する液流路を構成する天板と、 前記天板の液流路と連通し、前記エネルギー発生素子の
    エネルギー付与によって液体が吐出される吐出口とを有
    し、 前記記録ヘッド用基板上の受光素子および発光素子が、
    前記吐出口による記録画像の形成面に光学的に対向する
    構成となっていることを特徴とする記録ヘッド。
22. 【請求項２２】 請求項２０または２１に記載の記録ヘ
    ッドを搭載するキャリッジを備え、記録信号に従い前記
    キャリッジを走査し、記録ヘッドからインクを吐出して
    記録を行うことを特徴とするインクジェット装置。