JPH11233855A - レーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基台に如何なる熱変形が発生した場合であっ
ても、レーザ出力の低下を防止するできるレーザ発振装
置を提供することを解決課題とする。 【解決手段】 本発明では、フロントキャビティ板（１
０）とキャビティベース（６０）との間に、該フロント
キャビティ板（１０）を前記キャビティベース（６０）
に対して傾動可能に支持させる球面軸受機構（７０）を
介在させるとともに、前記キャビティベース（６０）に
おけるフロントキャビティ板（１０）とリアキャビティ
板（２０）との相互間に、リアキャビティ板（２０）の
近傍において下方インバー（３１）を載置させる載置ブ
ロック部材（８０）を配設するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一対の支持プレー
トに保持させたビーム折返し手段の相互間においてレー
ザビームを発振させるレーザ発振装置に関するもので、
より詳細には、これら一対の支持プレートを基台に配置
させる構造の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１２（ａ）は、この種の従来技術を示
したもので、フロントキャビティ板ＦＣに保持させたフ
ロントミラーＦＭと、リアキャビティ板ＲＣに保持させ
た狭帯域化モジュールＮＭとの間においてレーザビーム
を発振させるレーザ発振装置を例示している。

【０００３】この従来技術では、フロントミラーＦＭの
光軸ＦＯと狭帯域化モジュールＮＭの光軸ＲＯとを互い
に合致させた状態で、フロントキャビティ板ＦＣとリア
キャビティ板ＲＣとの下端部間を一対の下方インバーＬ
Ｂによって互いに連結するとともに、これらフロントキ
ャビティ板ＦＣとリアキャビティ板ＲＣとの上端部間を
唯一の上方インバーＵＢによって互いに連結し、さらに
基台ＢＦに固着させた一対のレール部材ＧＭにそれぞれ
下方インバーＬＢを嵌合させることによって両キャビテ
ィ板ＦＣ，ＲＣを基台ＢＦに位置決め配置させるように
している。なお、図１２中の符号ＢＭは、下方インバー
ＬＢおよび上方インバーＵＢを互いに連結するインバー
支持板である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のレ
ーザ発振装置では、レーザビームの発振中の放熱によ
り、基台ＢＦに熱変形を来す虞れがある。

【０００５】このような場合、上述した従来技術におい
ては、図１２（ｂ）に示すように、基台ＢＦの熱変形が
レール部材ＧＭを通じて下方インバーＬＢに作用するこ
とになるため、フロントミラーＦＭの光軸ＦＯと狭帯域
化モジュールＮＭの光軸ＲＯとにずれが生じ、レーザ出
力が著しく低下する事態を招来することになる。

【０００６】こうした事態を防止するため、従来におい
ては、例えば特開昭６４−２１９８１号公報に示されて
いるような装置が提供されている。すなわち、この従来
技術では、一方の支持プレートを、水平軸および鉛直軸
回りにそれぞれ回転可能とする態様で基台に配設する一
方、他方の支持プレートを光軸に沿った方向に摺動可能
とする態様で基台に配設している。

【０００７】この従来技術によれば、基台の熱変形が、
光軸を水平方向に沿って曲げるものの場合（以下、単に
水平方向曲げと称する）、光軸を鉛直方向に沿って曲げ
るものの場合（以下、単に鉛直方向曲げと称する）、さ
らに光軸に沿って伸縮するものの場合には、いずれも上
述した機構によってこれを吸収し、フロントミラーの光
軸と狭帯域化モジュールの光軸とのずれを防止すること
が可能である。

【０００８】しかしながら、こうした従来技術において
も、基台の熱変形がねじりの場合、つまり基台の光軸方
向に沿った一方の端部と他方の端部とが、光軸に沿った
軸回りに互いに逆方向に回転するものの場合、これを吸
収することができず、フロントミラーの光軸と狭帯域化
モジュールの光軸とにずれが発生することになる。

【０００９】本発明は、上記実情に鑑みて、基台に如何
なる熱変形が発生した場合であっても、レーザ出力の低
下を防止することのできるレーザ発振装置を提供するこ
とを解決課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段および作用効果】請求項１
に記載の発明では、それぞれビーム折返し手段を保持
し、かつ互いに連結部材によって連結された一対の支持
プレートを基台に配置して成り、これらビーム折返し手
段の相互間においてレーザビームを発振させるレーザ発
振装置において、一方の支持プレートおよび前記基台の
間に介在し、該支持プレートを前記基台に対して傾動可
能に支持させる球面軸受機構と、前記基台における前記
一対の支持プレートの相互間に配設し、他方の支持プレ
ートの近傍において前記連結部材を載置させる載置ブロ
ック部材とを備えるようにしている。

【００１１】この請求項１に記載の発明によれば、球面
軸受機構の作用により、一方の支持プレートが基台に対
して任意の方向に傾動可能であるとともに、この一方の
支持プレートの傾動状態に応じて載置ブロック部材に対
する連結部材の載置位置を変化させることが可能であ
り、常に他方の支持プレートを一方の支持プレートに対
向した状態に保持することができるため、基台に変形が
生じた場合にも、これら一対の支持プレートのそれぞれ
に保持させたビーム折返し手段の光軸を互いに合致させ
た状態に保持させることが可能となる。

【００１２】請求項２に記載の発明では、上述した請求
項１に記載の発明において、前記連結部材を、それぞれ
の支持プレートに対して直角に延在させている。

【００１３】この請求項２に記載の発明によれば、構造
が簡単となり、初期設定において一対の支持プレート相
互の位置決めを容易に行うことができるようになるばか
りか、強度的にも有利となる。

【００１４】請求項３に記載の発明では、上述した請求
項１に記載の発明において、前記他方の支持プレートに
保持させたビーム折返し手段として狭帯域化モジュール
を適用している。

【００１５】この請求項３に記載の発明によれば、狭帯
域レーザに対しても上述した作用効果を期待することが
可能となる。

【００１６】請求項４に記載の発明では、上述した請求
項１に記載の発明において、前記連結部材として、前記
一対の支持プレートの下端部を相互に連結する一対の下
方インバーと、前記一対の支持プレートの上端部を相互
に連結する唯一の上方インバーとを具備し、かつ互いの
間にレーザチャンバを設置するための空間を確保する態
様でそれぞれの支持プレートに配設したものを適用して
いる。

【００１７】この請求項４に記載の発明によれば、一対
の支持プレートが３本のインバーによって相互に連結さ
れるため、強度的に極めて有利となり、ビーム折返し手
段相互の光軸のずれをより確実に防止することができる
ようになる。

【００１８】請求項５に記載の発明では、上述した請求
項１に記載の発明において、前記連結部材が、前記一対
の支持プレートの下端部を相互に連結する一対の下方イ
ンバーを具備し、かつ前記基台が、前記一対の支持プレ
ートの相互間に対してレーザチャンバを挿抜する際のガ
イドとなる一対のレール部材を備えており、前記レール
部材に前記一対の下方インバーを遊嵌させる貫通孔を形
成し、該貫通孔に前記一対の下方インバーを貫挿させて
いる。

【００１９】この請求項５に記載の発明によれば、下方
インバーとの干渉を招来することなくレーザチャンバの
挿抜を容易に行うことができる。

【００２０】請求項６に記載の発明では、上述した請求
項１に記載の発明において、前記連結部材が、前記一対
の支持プレートの下端部を相互に連結する一対の下方イ
ンバーを具備し、かつ前記載置ブロック部材が、少なく
とも一方の下方インバーを位置決め載置させるＶ字状溝
を有するようにしている。

【００２１】この請求項６に記載の発明によれば、Ｖ字
状溝の作用により、載置ブロック部材に対する連結部材
の載置位置の変化を妨げることなく、基台に対する支持
プレートの位置決めを容易に行うことができるようにな
る。

【００２２】ここで、請求項７に記載の発明の如く、前
記一方の下方インバーを前記載置ブロック部材のＶ字状
溝に当接させた状態に保持する弾性部材をさらに備える
ようにすれば、基台に対する支持プレートの位置決めを
確実に行うことが可能となるとともに、振動に起因した
支持プレートの位置ずれを防止することができるように
なる。

【００２３】また、請求項８に記載の発明の如く、前記
載置ブロック部材が他方の下方インバーを遊動可能に載
置させる遊動溝を有するようにすれば、一対の下方イン
バーに寸法誤差がある場合にも、当該遊動溝によってこ
れを吸収し、基台に対する支持プレートの位置決めを容
易に行うことができるようになる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、一実施の形態を示す図面に
基づいて本発明を詳細に説明する。図５乃至図７は、本
発明に係るレーザ発振装置の一実施形態を示したもの
で、図４に示すように、半導体露光設備１００の光源と
して用いられる狭帯域エキシマレーザ等のレーザビーム
を発振するためのレーザ発振装置を例示している。

【００２５】このレーザ発振装置は、図５乃至図７に示
すように、フロントキャビティ板（支持プレート）１０
とリアキャビティ板（支持プレート）２０とを備えてい
る。これらフロントキャビティ板１０およびリアキャビ
ティ板２０は、それぞれ出射口１１，２１を有した平板
状を成すもので、上端部間に介在させた唯一の上方イン
バー３０および下端部間に介在させた一対の下方インバ
ー３１によって相互に平行、かつそれぞれの出射口１
１，２１を互いに対向させた状態で連結されている。

【００２６】上方インバー３０および下方インバー３１
は、それぞれ熱膨張率の低い材質によって円柱状に成形
したもので、互いの間にレーザチャンバ４０を収容する
に十分な空間を確保した状態でこれらフロントキャビテ
ィ板１０およびリアキャビティ板２０を正確、かつ強固
に連結しており、フロントキャビティ板１０とリアキャ
ビティ板２０、さらには後述するフロントミラー（ビー
ム折返し手段）１２および狭帯域化モジュール２２と共
にレーザ発振ユニット５０を構成している。

【００２７】図からも明らかなように、このレーザ発振
装置においては、上方インバー３０と下方インバー３１
とを、フロントキャビティ板１０およびリアキャビティ
板２０のそれぞれに対して直角に延在させているため、
その構造が簡単となり、初期設定においてフロントキャ
ビティ板１０とリアキャビティ板２０との相互の位置決
めを容易に行うことができるようになるばかりか、強度
的にも有利となっている。

【００２８】また、上記レーザ発振装置では、フロント
キャビティ板１０の外側面にフロントミラー１２を保持
させる一方、リアキャビティ板２０の外側面に狭帯域化
モジュール２２を保持させている。

【００２９】フロントミラー１２は、ハーフミラー、も
しくはアパーチャを形成したミラーから成るもので、そ
の光軸１２ａをフロントキャビティ板１０の出射口１１
に臨ませた状態で当該フロントキャビティ板１０に取り
付けられている。

【００３０】狭帯域化モジュール２２は、図には明示し
ていないが、窓を有した筐体の内部に、リアミラーとし
て機能するグレーティング等の波長選択素子、並びに上
記窓を透過したレーザビームを拡大して波長選択素子に
照射させるプリズム等のビームエキスパンダを内蔵して
成るもので、その光軸２２ａをリアキャビティ板２０の
出射口２１に臨ませ、かつ上記フロントミラー１２の光
軸１２ａに合致させた状態で当該リアキャビティ板２０
に取り付けられている。

【００３１】一方、上記レーザ発振装置は、上述したレ
ーザ発振ユニット５０を配置するためのキャビティベー
ス（基台）６０を備えている。このキャビティベース６
０は、水平方向に沿って延在する平板であり、フロント
キャビティ板１０との間に球面軸受機構７０を備えてい
るとともに、フロントキャビティ板１０およびリアキャ
ビティ板２０の間に位置する部位に載置ブロック部材８
０および一対のレール部材９０を備えている。

【００３２】球面軸受機構７０は、図８に示すように、
フロントキャビティ板１０の下端中央部から外方に向け
て直角に延在する支持軸７１と、上記キャビティベース
６０に取り付けた軸受箱７２と、球面を介して支持軸７
１を軸受箱７２に支持し、該軸受箱７２に対して支持軸
７１をその軸心回りに回動可能、かつ任意の方向に傾動
可能とする球面軸受７３とを備えて構成したもので、支
持軸７１の軸心を水平に配置し、かつ上記フロントキャ
ビティ板１０の下端面をキャビティベース６０の上面と
平行に配置した場合に、図６に示すように、該フロント
キャビティ板１０の下端面をキャビティベース６０の上
面から離隔した状態に保持する機能を有している。

【００３３】載置ブロック部材８０は、図９および図１
０に示すように、一対の下方インバー３１の相互間隔よ
りも十分な長さを有した直方状を成すもので、その長手
方向軸線が下方インバー３１の軸心に直角となる状態で
キャビティベース６０の上面におけるリアキャビティ板
２０の近傍に位置する部位に取り付けられている。

【００３４】この載置ブロック部材８０には、その上面
における一方の下方インバー３１に対応する部位にＶ字
状溝８１を形成しているとともに、他方の下方インバー
３１に対応する部位にＵ字状溝（遊動溝）８２を形成
し、さらにこれらＶ字状溝８１およびＵ字状溝８２を覆
う位置にそれぞれキャップ部材８３を配設している。

【００３５】Ｖ字状溝８１は、一対の傾斜面８１ａ間に
載置された一方の下方インバー３１のキャビティベース
６０に対する高さおよび載置ブロック部材８０の長手方
向に沿った方向の位置を規定する一方、下方インバー３
１に左右方向へ移動させる外力が加わった場合に、上記
傾斜面８１ａの作用によって該下方インバー３１を適宜
上動させ、その左右方向への移動を許容する機能を有し
ている。

【００３６】Ｕ字状溝８２は、下方インバー３１の直径
よりも僅かに大きい幅を有し、その上面８２ａに載置さ
れた他方の下方インバー３１のキャビティベース６０に
対する高さを規定するとともに、該上面８２ａ上におい
て下方インバー３１の左右方向への移動を許容する機能
を有している。

【００３７】これらＶ字状溝８１およびＵ字状溝８２
は、いずれも載置ブロック部材８０の長手方向に直角と
なる方向に沿って延在しており、上記一対の下方インバ
ー３１の軸心を互いに同一の高さ位置において水平に延
在させ、かつリアキャビティ板２０の下端面をキャビテ
ィベース６０の上面から離隔した状態に保持する機能を
有している。

【００３８】キャップ部材８３は、それぞれの下方側に
上記Ｕ字状溝８２と同一幅の開口８４を有した門型を成
し、かつ各開口８４の上端部にそれぞれ弾性部材８５を
固着保持しており、該弾性部材８５の下面をそれぞれ下
方インバー３１の上部周面に圧接させた状態で載置ブロ
ック部材８０の上面に取り付けられている。弾性部材８
５は、ゴム等の弾性に富んだ材質によって成形したもの
で、常態において各下方インバー３１を対応する溝８
１，８２内に保持させる一方、下方インバー３１に外力
が作用した場合に当該下方インバー３１の上動および左
右方向への移動を許容する機能を有している。

【００３９】ここで、上記レーザ発振装置によれば、上
述したように、一対の下方インバー３１がそれぞれフロ
ントキャビティ板１０およびリアキャビティ板２０のそ
れぞれに対して直角に延在し、かつ一方の下方インバー
３１を幅の広いＵ字状溝８２内に載置させるようにして
いるため、これら一対の下方インバー３１および載置ブ
ロック部材８０に加工誤差や組立誤差がある場合にも、
下方インバー３１をそれぞれの溝８１，８２に確実に載
置させることができ、キャビティベース６０に対するレ
ーザ発振ユニット５０の位置決め作業が容易となる。

【００４０】しかも、上記レーザ発振装置では、載置ブ
ロック部材８０の各溝８１，８２に載置させた下方イン
バー３１と、この下方インバー３１を覆うキャップ部材
８３との間に弾性部材８５を介在させるようにしている
ため、振動や衝撃に起因してレーザ発振ユニット５０に
位置ずれが発生する虞れがなくなる。

【００４１】レール部材９０は、フロントキャビティ板
１０およびリアキャビティ板２０の相互間に対してレー
ザチャンバ４０を挿抜させる際にガイドとなるもので、
上述した載置ブロック部材８０と同等の長さを有すると
ともに、該載置ブロック部材８０よりも大きな高さを有
した直方状を成すもので、それぞれの長手方向軸線が載
置ブロック部材８０の長手方向軸線と平行となる状態で
キャビティベース６０の上面におけるフロントキャビテ
ィ板１０とリアキャビティ板２０との間に位置する部位
に取り付けられている。

【００４２】図からも明らかなように、これらレール部
材９０には、一対の下方インバー３１に対応する部位に
それぞれ切欠（貫通孔）９１を形成している。これら切
欠９１は、各レール部材９０の下端に開口し、上述した
載置ブロック部材８０のＵ字状溝８２とほぼ同一の幅を
有するとともに、当該載置ブロック部材８０の各溝８
１，８２に載置させた下方インバー３１の上部周面より
も僅かに大きな高さを有するもので、それぞれの内部に
下方インバー３１を貫通させている。

【００４３】なお、上記キャビティベース６０には、一
対のレール部材９０の相互間に位置する部位に開口６１
が形成されている。また、図５中の符号ＭＭは、フロン
トミラー１２を透過したレーザビームをモニタするため
のレーザビームモニタモジュールである。

【００４４】上記のように構成したレーザ発振装置で
は、上述した一対のレール部材９０を介してフロントキ
ャビティ板１０とリアキャビティ板２０との間にレーザ
チャンバ４０が挿入され、さらに当該レーザチャンバ４
０の両端部に形成した窓（図示せず）をそれぞれのキャ
ビティ板１０，２０の出射口１１，２１に合致させた状
態に位置決め設置される。その際、上記レーザ発振装置
によれば、レール部材９０をガイドとすることで、フロ
ントキャビティ板１０とリアキャビティ板２０との下端
部間を連結する下方インバー３１に干渉することなく、
これらフロントキャビティ板１０およびリアキャビティ
板２０の間にレーザチャンバ４０を挿入することができ
るため、その作業が極めて容易となる。

【００４５】この状態からレーザチャンバ４０に電力を
供給すると、放電励起によって発生したレーザビームが
フロントミラー１２と狭帯域化モジュール２２との間に
おいて発振され、この発振された狭帯域レーザビームの
一部がフロントミラー１２を透過した後、ミラー１０
１，１０２や転写レンズ１０３，１０４を介して半導体
露光設備１００の照明光学系１０５に入射され、さらに
半導体露光設備１００内のミラー１０６およびレンズ１
０７を介して露光すべき半導体ウェハＷに照射されるこ
とになる。

【００４６】ところで、上述したレーザ発振装置におい
ても、半導体ウェハＷにレーザビームを照射している
間、レーザビーム発振中の放熱により、キャビティベー
ス６０に熱変形を来す虞れがある。

【００４７】しかしながら、上記レーザ発振装置では、
球面軸受機構７０の作用により、フロントキャビティ板
１０がキャビティベース６０に対して任意の方向に傾動
可能であるとともに、このフロントキャビティ板１０の
傾動状態に応じて載置ブロック部材８０に対する一対の
下方インバー３１の載置位置を上方および左右方向に変
化させることが可能であり、この結果、レーザ発振ユニ
ット５０が常に初期状態に保持される。その際、レール
部材９０の切欠９１内においては、下方インバー３１の
占位位置が変化するもの、当該下方インバー３１に当接
する事態は発生しない。

【００４８】したがって、上記レーザ発振装置によれ
ば、例えば、図１に示すように、熱変形によってキャビ
ティベース６０に鉛直方向曲げが発生した場合、あるい
は図２に示すように、熱変形によってキャビティベース
６０に水平方向曲げが発生した場合、さらには図３に示
すように、熱変形によってキャビティベース６０にねじ
りが発生した場合のいずれにおいても、上述したよう
に、フロントキャビティ板１０がキャビティベース６０
に対して適宜傾動するとともに、このフロントキャビテ
ィ板１０の傾動状態に応じて載置ブロック部材８０に対
する一対の下方インバー３１の載置位置が適宜変化する
ことによって各熱変形が吸収され、レーザ発振ユニット
５０に何等の影響も加わらないため、常にフロントミラ
ー１２の光軸１２ａと狭帯域化モジュール２２の光軸２
２ａとが互いに合致された状態に保持され、レーザ出力
が低下する虞れがない。

【００４９】また、熱変形によってキャビティベース６
０がフロントミラー１２および狭帯域化モジュール２２
の光軸１２ａ，２２ａに沿って伸縮した場合にも、一対
の下方インバー３１がそれぞれＶ字状溝８１およびＵ字
状溝８２内を適宜摺動することによってこのキャビティ
ベース６０の伸縮変形が吸収されることになるため、フ
ロントミラー１２の光軸１２ａと狭帯域化モジュール２
２の光軸２２ａとが互いに合致された状態に保持され、
レーザ出力の低下が招来されることはない。

【００５０】なお、上述した実施の形態では、載置ブロ
ック部材としてＶ字状溝およびＵ字状溝を有したものを
例示しているが、本発明ではこれに限定されず、例え
ば、図１１に示すような変形例を適用することも可能で
ある。

【００５１】すなわち、この変形例では、下方インバー
１３１として少なくとも載置ブロック部材１８０に対応
する部分の断面を矩形状に成形したものを適用する一
方、載置ブロック部材１８０の上面における一対の下方
インバー１３１に対応する部位にそれぞれＵ字状溝１８
１を形成するとともに、該Ｕ字状溝１８１にそれぞれ半
球状の支持部材２００，２００′を配設し、Ｕ字状溝１
８１とキャップ部材８３の開口８４との間において各下
方インバー１３１を球面支持するようにしている。この
場合、一方の下方インバー１３１に対しては下方および
左右の３カ所を球面支持し、キャビティベース６０との
位置決めを行う一方、他方の下方インバー１３１に対し
ては下方の１カ所のみを球面支持し、該下方インバー１
３１の左右方向への移動の自由度を確保している。ま
た、一方の下方インバー１３１の左右を支持する支持部
材２００′に関しては、上述した弾性部材８５と同様
に、これをゴムや合成樹脂等の弾性体によって成形する
ようにしている。なお、その他の構成に関しては、先に
示したものと同一であるため、同一の符号を付してそれ
ぞれの詳細説明を省略している。

【００５２】この変形例においても、フロントキャビテ
ィ板１０が球面軸受機構７０の作用によって傾動した場
合、このフロントキャビティ板１０の傾動状態に応じて
載置ブロック部材１８０に対する一対の下方インバー１
３１の載置位置を上方および左右方向に変化させること
が可能であり、キャビティベース６０に熱変形が発生し
た場合のレーザ出力の低下を招来する虞れがない。

【００５３】なお、上述した実施の形態では、半導体露
光設備の光源として用いられるレーザビームを発振する
ためのレーザ発振装置を例示しているが、本発明は、そ
の他の用途に用いられるレーザビームを発振するものに
ももちろん適用することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレーザ発振装置の一実施形態を概
念的に示すもので、（ａ）は常態における正面図、
（ｂ）は基台に鉛直方向曲げが発生した状態を示す正面
図である。

【図２】図１に示したレーザ発振装置であり、（ａ）は
常態における平面図、（ｂ）は基台に水平方向曲げが発
生した状態を示す平面図である。

【図３】図１に示したレーザ発振装置であり、（ａ）は
常態における斜視図、（ｂ）は基台にねじりが発生した
状態を示す斜視図である。

【図４】図１に示したレーザ発振装置を適用した半導体
露光設備を概念的に示す図である。

【図５】図１に示したレーザ発振装置を詳細に示す正面
図である。

【図６】図５における矢視 VI 図である。

【図７】図５における矢視 VII 図である。

【図８】図６における VIII−VIII 線拡大断面図であ
る。

【図９】図１に示したレーザ発振装置に適用する載置ブ
ロック部材およびレール部材の構造を示す斜視図であ
る。

【図１０】図５における X−X 線拡大断面図である。

【図１１】図１０に示した載置ブロック部材の変形例を
示す図である。

【図１２】従来のレーザ発振装置を示したもので、
（ａ）は常態における正面図、（ｂ）は基台に鉛直方向
曲げが発生した状態を示す正面図である。

【符号の説明】

１０…フロントキャビティ板、１２…フロントミラー、
２０…リアキャビティ板、２２…狭帯域化モジュール、
３０…上方インバー、３１…下方インバー、４０…レー
ザチャンバ、６０…キャビティベース、７０…球面軸受
機構、８０…載置ブロック部材、８１…Ｖ字状溝、８２
…遊動溝、８５…弾性部材、９０…レール部材、９１…
切欠。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 幸雄 栃木県小山市横倉新田400 株式会社小松 製作所小山工場内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれビーム折返し手段を保持し、か
   つ互いに連結部材によって連結された一対の支持プレー
   トを基台に配置して成り、これらビーム折返し手段の相
   互間においてレーザビームを発振させるレーザ発振装置
   において、 一方の支持プレートおよび前記基台の間に介在し、該支
   持プレートを前記基台に対して傾動可能に支持させる球
   面軸受機構と、 前記基台における前記一対の支持プレートの相互間に配
   設し、他方の支持プレートの近傍において前記連結部材
   を載置させる載置ブロック部材とを備えたことを特徴と
   するレーザ発振装置。
2. 【請求項２】 前記連結部材は、それぞれの支持プレー
   トに対して直角に延在することを特徴とする請求項１記
   載のレーザ発振装置。
3. 【請求項３】 前記他方の支持プレートに保持させたビ
   ーム折返し手段が狭帯域化モジュールであることを特徴
   とする請求項１記載のレーザ発振装置。
4. 【請求項４】 前記連結部材は、前記一対の支持プレー
   トの下端部を相互に連結する一対の下方インバーと、前
   記一対の支持プレートの上端部を相互に連結する唯一の
   上方インバーとを具備し、かつ互いの間にレーザチャン
   バを設置するための空間を確保する態様でそれぞれの支
   持プレートに配設したものであることを特徴とする請求
   項１記載のレーザ発振装置。
5. 【請求項５】 前記連結部材は、前記一対の支持プレー
   トの下端部を相互に連結する一対の下方インバーを具備
   し、かつ前記基台が、前記一対の支持プレートの相互間
   に対してレーザチャンバを挿抜する際のガイドとなる一
   対のレール部材を備えており、 前記レール部材に前記一対の下方インバーを遊嵌させる
   貫通孔を形成し、該貫通孔に前記一対の下方インバーを
   貫挿させたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振
   装置。
6. 【請求項６】 前記連結部材は、前記一対の支持プレー
   トの下端部を相互に連結する一対の下方インバーを具備
   し、かつ前記載置ブロック部材が、少なくとも一方の下
   方インバーを位置決め載置させるＶ字状溝を有すること
   を特徴とする請求項１記載のレーザ発振装置。
7. 【請求項７】 前記一方の下方インバーを前記載置ブロ
   ック部材のＶ字状溝に当接させた状態に保持する弾性部
   材をさらに備えたことを特徴とする請求項６記載のレー
   ザ発振装置。
8. 【請求項８】 前記載置ブロック部材が他方の下方イン
   バーを遊動可能に載置させる遊動溝を有することを特徴
   とする請求項６記載のレーザ発振装置。