JPH11220075A - Resin encapsulated type semiconductor device - Google Patents

Resin encapsulated type semiconductor device

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JPH11220075A
JPH11220075A JP2286898A JP2286898A JPH11220075A JP H11220075 A JPH11220075 A JP H11220075A JP 2286898 A JP2286898 A JP 2286898A JP 2286898 A JP2286898 A JP 2286898A JP H11220075 A JPH11220075 A JP H11220075A
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JP
Japan
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semiconductor device
die pad
resin
back surface
resin material
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JP2286898A
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Japanese (ja)
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Kenzo Tanaka
憲三 田中
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable reduction of effects due to protrusion or resin material at packaging, and miniaturization. SOLUTION: A trench 21 is arranged on the outer peripheral part of the back of an exposed die pad (13). Resin material 16 section which permeates out to the back side of the die pad (13) at the time of packaging is received with the trench 21, so that the permeation of the resin material 16 out to the central part of the back of the die pad is prevented. An overhang part is formed of a part 14a of the outermost lead 14. By preventing the generation of cracks on the overhang due to the impact at cutting and working a semiconductor device into a final shape, the length of the overhang is reduced, and the semiconductor device is miniaturized.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止型半導体
装置の構造に関するものである。
The present invention relates to a structure of a resin-sealed semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5乃至図6は従来の樹脂封止型半導体
装置の一例を示すもので、図5はその装置を表面側より
見た外観斜視図、図6はその装置を裏面側より見た外観
斜視図、図7は図5のB−B線に沿う概略断面図であ
る。
2. Description of the Related Art FIGS. 5 and 6 show an example of a conventional resin-encapsulated semiconductor device. FIG. 5 is an external perspective view of the device as viewed from the front side, and FIG. FIG. 7 is a schematic sectional view taken along line BB of FIG.

【0003】図5乃至図7において、この樹脂封止型半
導体装置51(以下、単に「半導体装置51」という)
は、半導体チップ52が銀ペーストを介してダイパッド
53上に接着固定されているとともに、半導体チップ5
2の電極部(不図示)とリード(インナーリード)54
とが金線55で接続されている。さらに、リード54の
一部とダイパッド53の裏面を露出させ、その周囲を樹
脂材56で封止し、パッケージ化された構造に作られて
いる。
[0005] In FIGS. 5 to 7, a resin-sealed semiconductor device 51 (hereinafter simply referred to as “semiconductor device 51”)
Indicates that the semiconductor chip 52 is bonded and fixed on the die pad 53 via a silver paste,
2 electrode part (not shown) and lead (inner lead) 54
Are connected by a gold wire 55. Further, a part of the lead 54 and the back surface of the die pad 53 are exposed, and the periphery thereof is sealed with a resin material 56, thereby forming a packaged structure.

【0004】そして、この半導体装置51は、露出され
ているダイパッド53の裏面を実装基板61に当接させ
るとともに、リード54を実装基板61にハンダ付けし
て実装される。このようにして実装された半導体装置5
1では、ダイパッド53が実装基板61に当接されてい
ることによって、ダイパッド53及び実装基板61を通
して放熱することができる。
The semiconductor device 51 is mounted by bringing the exposed back surface of the die pad 53 into contact with the mounting substrate 61 and soldering the leads 54 to the mounting substrate 61. Semiconductor device 5 mounted in this manner
In 1, since the die pad 53 is in contact with the mounting substrate 61, heat can be radiated through the die pad 53 and the mounting substrate 61.

【0005】ところで、この半導体装置51の製造方法
を簡単に説明すると、この半導体装置51は次の〜
の順により作られる。 まず、ダイパッド53と、その周囲に配置されるリー
ド54を有した図示せぬリードフレームを製造装置にセ
ットする。 このリードフレームのダイパッド53に半導体チップ
52を銀ペーストを介して接着固定する。 次に、半導体チップ52の電極部とリード54とを金
線55で接続する。 続いて、リード54の一部(外部リード)とダイパッ
ド53の裏面を露出させて、その周囲を樹脂材56で封
止し、パッケージを形成する。なお、以下の説明では、
樹脂材56でパッケージ化されている部分を「パッケー
ジ56」という。 次に、専用のリード成形金型を使用して、プレス切断
してリード54をリードフレームから分離させると、図
5乃至図7に示す半導体装置51が完成する。
The method of manufacturing the semiconductor device 51 will be briefly described.
The order is made. First, a lead frame (not shown) having a die pad 53 and leads 54 arranged around the die pad 53 is set in a manufacturing apparatus. The semiconductor chip 52 is bonded and fixed to the die pad 53 of the lead frame via a silver paste. Next, the electrode portion of the semiconductor chip 52 and the lead 54 are connected by the gold wire 55. Subsequently, a part of the leads 54 (external leads) and the back surface of the die pad 53 are exposed, and the periphery thereof is sealed with a resin material 56 to form a package. In the following description,
The part packaged with the resin material 56 is referred to as “package 56”. Next, when the lead 54 is separated from the lead frame by press cutting using a dedicated lead molding die, the semiconductor device 51 shown in FIGS. 5 to 7 is completed.

【0006】一般に、このようにして作られた半導体装
置51は、図5及び図6に示すように、そのパッケージ
56の形状は四隅に直角な部分を設けてなる四角形に作
られている。また、この半導体装置51の構造の場合、
最も外側に設けられているリード54a(図5参照)と
パッケージ56の端57との距離をオーバーハングSと
いう。このオーバーハングSは半導体装置51を最終形
状にするのに、リード54をリードフレームから切断さ
れる際の衝撃でパッケージ56に欠損が生じないような
安全値で設計される。通常、このオーバーハング寸法は
約0.3mm位確保される。すなわち、両端で0.6mm位
確保される。
Generally, as shown in FIGS. 5 and 6, the package 56 of the semiconductor device 51 manufactured in this manner is formed in a quadrangular shape having right-angled portions at four corners. In the case of the structure of the semiconductor device 51,
The distance between the outermost lead 54a (see FIG. 5) and the end 57 of the package 56 is called overhang S. The overhang S is designed to have a safe value such that the package 56 is not damaged by an impact when the lead 54 is cut from the lead frame in order to make the semiconductor device 51 the final shape. Usually, this overhang dimension is secured at about 0.3 mm. That is, about 0.6 mm is secured at both ends.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来構造の半導体装置51は、樹脂封止してパッケージ化
するとき、ダイパッド53の裏面とパッケージ56の裏
面が同一面に存在するため、封止圧力によりダイパッド
53の裏面へ樹脂材のしみ出しが発生する可能性があ
る。図6の符号58は樹脂材がダイパッド53の裏面に
しみ出した状態を示している。このようにダイパッド5
3の裏面に樹脂材のしみ出し58があると、半導体装置
51を実装基板61に実装するとき、しみ出し58でダ
イパッド53の裏面が実装基板61の表面から浮き上が
り、ハンダ付け性の低下や放熱性の低下等の不具合が発
生し得る問題点があった。
When the semiconductor device 51 having the conventional structure described above is packaged by resin sealing, the back surface of the die pad 53 and the back surface of the package 56 are on the same surface. The pressure may cause the resin material to seep out to the back surface of the die pad 53. Reference numeral 58 in FIG. 6 indicates a state in which the resin material has oozed out to the back surface of the die pad 53. Thus, die pad 5
When the semiconductor device 51 is mounted on the mounting substrate 61, the back surface of the die pad 53 rises from the surface of the mounting substrate 61 when the semiconductor device 51 is mounted on the mounting substrate 61, and the soldering property is reduced and the heat radiation is reduced. There has been a problem that inconveniences such as a decrease in performance may occur.

【0008】また、上述した従来構造の半導体装置51
は、リード54をリードフレームから切断して最終形状
にする際の衝撃でパッケージ56に欠損が生じないよう
に、パッケージ両端のオーバーハング寸法を安全な値で
設計しているのでパッケージ56の幅W(図6参照)が
必要以上に大きくなり、半導体装置51の小型化の妨げ
となっている問題点があった。
In addition, the semiconductor device 51 having the conventional structure described above
Is designed so that the overhang dimension at both ends of the package is designed to be a safe value so that the package 56 is not damaged by an impact when the lead 54 is cut from the lead frame into a final shape. (See FIG. 6) becomes unnecessarily large, which hinders miniaturization of the semiconductor device 51.

【0009】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的はパッケージ化するときにおける樹
脂材のはみ出しによる影響を少なくすることができると
ともに、小型化が可能な樹脂封止型半導体装置を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the influence of the protrusion of a resin material during packaging and reduce the size of the resin-sealed mold. It is to provide a semiconductor device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に発明においては、半導体素子が搭載されたダイパッド
または放熱板の裏面を露出させ、周囲を樹脂材で封止し
てなる樹脂封止型半導体装置において、前記ダイパッド
または放熱板の裏面に、このダイパッドまたは放熱板の
外周部分に沿って溝を設けてなる構造とした。この構造
では、パッケージ化されるときに、樹脂材がダイパッド
または放熱板の裏面側にしみ出した場合、このしみ出し
た部分がダイパッドまたは放熱板の裏面外周部分に設け
られている溝で受けられ、ダイパッドまたは放熱板の裏
面中央部へのしみ出しを防止できる。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a resin-sealed mold in which a back surface of a die pad or a heat sink on which a semiconductor element is mounted is exposed and the periphery is sealed with a resin material. The semiconductor device has a structure in which a groove is provided on the back surface of the die pad or the heat sink along the outer peripheral portion of the die pad or the heat sink. With this structure, when the resin material oozes out on the rear surface side of the die pad or the heat sink when being packaged, this extruded portion is received by the groove provided on the outer peripheral portion of the rear surface of the die pad or the heat sink. In addition, it is possible to prevent the die pad or the heat sink from seeping out to the center of the back surface.

【0011】また、上記目的を達成するために本発明に
おいては、半導体素子が搭載されたダイパッドまたは放
熱板の裏面を露出させ、周囲を樹脂材で封止してなると
ともに、前記パッケージの側面より複数のリードを導出
してなる樹脂封止樹脂封止型半導体装置において、前記
複数のリードのうちの、最外リードの一部でオーバーハ
ング部を形成してなる構造とした。この構造では、リー
ドは金属、封止樹脂はプラスチックでできており、機械
的強度はリードの方が強い。したがって、オーバーハン
グ部をリードの一部で補強する形になるので、半導体装
置を最終外形に切断加工する際の衝撃でオーバーハング
に欠けが発生するのが防げる。これにより、オーバーハ
ングの長さを短くすることが可能になる。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a back surface of a die pad or a heat sink on which a semiconductor element is mounted is exposed, and the periphery is sealed with a resin material. The resin-encapsulated semiconductor device in which a plurality of leads are led out has a structure in which an overhang portion is formed by a part of an outermost lead among the plurality of leads. In this structure, the lead is made of metal and the sealing resin is made of plastic, and the lead has higher mechanical strength. Accordingly, since the overhang portion is reinforced by a part of the lead, the overhang can be prevented from being chipped by an impact when the semiconductor device is cut into the final outer shape. This makes it possible to reduce the length of the overhang.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べ
る実施形態は、本発明の好適な具体例であるから技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの実施形態に限られるものではない
ものである。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Although the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, various technically preferable limitations are given thereto. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Is not limited to these embodiments unless otherwise described.

【0013】図1乃至図3は本発明に係る樹脂封止型半
導体装置の第1の実施形態を示すもので、図1はその装
置を裏面側より見た外観斜視図、図2は図1のA−A線
に沿う拡大断面図、図3はその装置の要部拡大図であ
る。
FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of a resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention. FIG. 1 is an external perspective view of the device as viewed from the back side, and FIG. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【0014】図1乃至図3において、この樹脂封止型半
導体装置11(以下、単に「半導体装置11」という)
は、半導体チップ12が銀ペーストを介してダイパッド
13上に接着固定されているとともに、半導体チップ1
2の電極部(不図示)とリード(インナーリード)14
とが金線15で接続されている。さらに、リード14の
一部とダイパッド13の裏面を露出させ、その周囲を樹
脂材16で封止し、パッケージ化された構造に作られて
いる。すなわち、この基本構造は図5乃至図7に示した
従来の樹脂封止型半導体装置51と同じである。
1 to 3, this resin-sealed semiconductor device 11 (hereinafter simply referred to as "semiconductor device 11")
Indicates that the semiconductor chip 12 is bonded and fixed on the die pad 13 via a silver paste,
2 electrode part (not shown) and lead (inner lead) 14
Are connected by a gold wire 15. Further, a part of the lead 14 and the back surface of the die pad 13 are exposed, and the periphery thereof is sealed with a resin material 16 to form a packaged structure. That is, this basic structure is the same as that of the conventional resin-sealed semiconductor device 51 shown in FIGS.

【0015】そして、この半導体装置11も、図5乃至
図7に示した従来の半導体装置51と同様に、露出され
ているダイパッド13の裏面を実装基板(不図示)に当
接させるとともに、リード14を実装基板にハンダ付け
して実装される。このようにして実装された半導体装置
11では、図5乃至図7に示した半導体装置51と同様
に、ダイパッド13が実装基板に当接されていることに
よって、ダイパッド13及び実装基板を通して放熱する
ことができる。
In this semiconductor device 11, similarly to the conventional semiconductor device 51 shown in FIGS. 5 to 7, the exposed back surface of the die pad 13 is brought into contact with a mounting substrate (not shown), 14 is mounted on a mounting board by soldering. In the semiconductor device 11 mounted in this manner, heat is radiated through the die pad 13 and the mounting substrate by the contact of the die pad 13 with the mounting substrate, similarly to the semiconductor device 51 shown in FIGS. Can be.

【0016】次に、本発明の実施形態の半導体装置11
の構造において、図5乃至図7に示した従来の半導体装
置51の構造と異なる点について説明する。まず本発明
の第1の実施形態の半導体装置11では、ダイパッド1
3の露出されている裏面に、ダイパッド13の外周端か
ら内側に0.5mm程移動された位置で、かつ約0.1mm
程のの深さで、ダイパッド13の外周に沿って連続する
溝21が周回して作られている。この溝21には、樹脂
封止工程において、封止圧力によりダイパッド13の裏
面にしみ出た樹脂材16が受けられて溜まり、これによ
ってダイパッド13の裏面中央部への樹脂材16のしみ
出しを防止できる。
Next, the semiconductor device 11 according to the embodiment of the present invention will be described.
In this structure, points different from the structure of the conventional semiconductor device 51 shown in FIGS. 5 to 7 will be described. First, in the semiconductor device 11 according to the first embodiment of the present invention, the die pad 1
3 at a position shifted about 0.5 mm inward from the outer peripheral end of the die pad 13 and about 0.1 mm
A groove 21 continuous around the outer periphery of the die pad 13 is formed at a moderate depth. In the groove 21, in the resin sealing step, the resin material 16 that has exuded on the back surface of the die pad 13 due to the sealing pressure is received and accumulated, whereby the resin material 16 exudes to the center of the back surface of the die pad 13. Can be prevented.

【0017】また、本発明の第1の実施形態の半導体装
置11では、図5乃至図7に示した従来の半導体装置5
1の構造において樹脂材56で形成されていたオーバー
ハングSを、複数のリード14のうちの、図1中に符号
Eで示す4つの最外リード14の一部14aを図1及び
図3に示すように、オーバーハングとなる部分までそれ
ぞれ突出させ、この一部14aでオーバーハング部を形
成している。この場合、リード14は金属、樹脂材16
はプラスチックでできており、機械的強度はリード14
の方が強く、したがってリード14の一部14aでオー
バーハングを補強する形になる。これにより、半導体装
置11を最終外形に切断加工する際の衝撃でオーバーハ
ングに欠けが発生するのが防げる。この結果、オーバー
ハングの長さを短くすることが可能になり、半導体装置
11の小型化が可能になる。
Further, in the semiconductor device 11 of the first embodiment of the present invention, the conventional semiconductor device 5 shown in FIGS.
The overhang S formed of the resin material 56 in the structure of FIG. 1 is replaced with a part 14a of the four outermost leads 14 indicated by the symbol E in FIG. As shown in the drawing, each of the portions 14a protrudes to a portion that becomes an overhang, and the portion 14a forms an overhang portion. In this case, the lead 14 is made of metal or resin material 16.
Is made of plastic and has mechanical strength of lead 14
Is stronger, so that the portion 14a of the lead 14 reinforces the overhang. Thereby, it is possible to prevent the overhang from being chipped due to the impact when the semiconductor device 11 is cut into the final outer shape. As a result, the length of the overhang can be reduced, and the size of the semiconductor device 11 can be reduced.

【0018】次に、上記実施形態から見出せる効果を以
下に記載する。 ダイパッド13の露出されている裏面に、連続した溝
21を周回して設けているので、樹脂封止工程におい
て、封止圧力によりダイパッド13の裏面にしみ出た樹
脂材16を溝21内に受け入れて溜めることができる。
これにより、ダイパッド13の裏面中央部へ樹脂材16
がしみ出すのを防止できる。この結果、ダイパッド13
の裏面における露出面積を一定量確保できるとともに、
ダイパッド13を実装基板に対して密着させて実装させ
ることができるので、放熱性の低下、ハンダ付け性の低
下を防止することが可能になる。 金属で作られているリード14の一部14aでオーバ
ーハング部を形成しているので、オーバーハングの長さ
を短くすることが可能になり、半導体装置11の小型化
が可能になる。なお、従来ではオーバーハング寸法が
0.3mm程度であったのに対して、本発明の構造の場合
では0.115mm程度まで短縮させることができ、パッ
ケージ16の幅Wでは従来の構造に比べて0.37mm程
度短縮させることができた。
Next, the effects found from the above embodiment will be described below. Since the continuous groove 21 is provided around the exposed back surface of the die pad 13, the resin material 16 that has leaked to the back surface of the die pad 13 by the sealing pressure is received in the groove 21 in the resin sealing step. Can be stored.
As a result, the resin material 16 is moved to the center of the back surface of the die pad 13.
It can prevent oozing. As a result, the die pad 13
While ensuring a certain amount of exposed area on the back of
Since the die pad 13 can be mounted in close contact with the mounting substrate, it is possible to prevent a decrease in heat radiation and a decrease in solderability. Since the overhang portion is formed by the portion 14a of the lead 14 made of metal, the length of the overhang can be reduced, and the semiconductor device 11 can be reduced in size. Note that the overhang dimension is about 0.3 mm in the past, but in the case of the structure of the present invention, it can be reduced to about 0.115 mm, and the width W of the package 16 is smaller than that of the conventional structure. It could be reduced by about 0.37 mm.

【0019】図4は本発明に係る樹脂封止型半導体装置
の第2の実施形態を示す概略縦断側面図である。図4に
おいて図1乃至図3と同一符号を付したものは図1乃至
図3と同一のものを示している。その図4における半導
体装置11は、半導体チップ12が銀ペーストを介して
ダイパッド13上に接着固定されているとともに、半導
体チップ12の電極部(不図示)とリード(インナーリ
ード)14とが金線15で接続されている。また、ダイ
パッド13の裏面には、このダイパッド13よりも広い
面積を持つ金属製の放熱板23が絶縁性の接着材を介し
て接着されている。そして、さらにリード14の一部と
放熱板23の裏面を露出させ、その周囲を樹脂材16で
封止し、パッケージ化された構造に作られている。
FIG. 4 is a schematic vertical sectional side view showing a second embodiment of the resin-sealed semiconductor device according to the present invention. In FIG. 4, components denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 3 indicate the same components as those in FIGS. In the semiconductor device 11 shown in FIG. 4, a semiconductor chip 12 is bonded and fixed on a die pad 13 via a silver paste, and an electrode portion (not shown) of the semiconductor chip 12 and a lead (inner lead) 14 are made of a gold wire. 15 are connected. Further, a metal heat radiating plate 23 having a larger area than the die pad 13 is bonded to the back surface of the die pad 13 via an insulating adhesive. Further, a part of the lead 14 and the back surface of the heat radiating plate 23 are exposed, and the periphery thereof is sealed with a resin material 16 to form a packaged structure.

【0020】また、この第2の実施形態の構造では、上
記第1の実施形態の構造と同様に、放熱板23の露出さ
れている裏面に、放熱板23の外周端から内側に約0.
5mm移動され、かつ約0.1mmの深さで連続する溝21
が、放熱板23の外周に沿って一周して作られている。
すなわち、この溝21には、上記第1の実施形態例の構
造と同様に、樹脂封止工程において、封止圧力により放
熱板23の裏面にしみ出た樹脂材16が受けられて溜ま
り、これによって放熱板23の裏面中央部への樹脂材1
6のしみ出しが防止できる構造になっている。
Further, in the structure of the second embodiment, similar to the structure of the first embodiment, about 0.2 mm is provided on the exposed back surface of the radiator plate 23 from the outer peripheral end of the radiator plate 23 to the inner side.
Groove 21 which is moved 5 mm and is continuous at a depth of about 0.1 mm
Are formed along the outer circumference of the heat sink 23.
That is, similarly to the structure of the first embodiment, in the resin sealing step, the resin material 16 oozing out on the back surface of the heat radiating plate 23 is received and accumulated in the groove 21 in the resin sealing step. Resin material 1 on the center of back surface of heat sink 23
6 has a structure capable of preventing seepage.

【0021】加えて、この第2の実施形態例では、図示
はしないが、第1の実施形態例の構造と同様に、最外リ
ード14の一部をオーバーハングとなる部分まで突出さ
せ、その一部1でオーバーハング部を形成している構造
になっている。したがって、この実施形態例の構造の場
合でも、そのリード14の一部でオーバーハングの部分
を補強するような形になるので、半導体装置11を最終
外形に切断加工する際の衝撃でオーバーハングに欠けが
発生するのが防げる。これにより、オーバーハングの長
さを短くすることが可能になり、半導体装置11の小型
化が可能になる。
In addition, in the second embodiment, although not shown, similar to the structure of the first embodiment, a part of the outermost lead 14 is protruded to a portion where an overhang is formed. Part 1 has a structure in which an overhang portion is formed. Therefore, even in the case of the structure of this embodiment, since the overhang portion is reinforced by a part of the lead 14, the overhang is caused by the impact when the semiconductor device 11 is cut into the final outer shape. Chipping can be prevented from occurring. Thus, the length of the overhang can be reduced, and the size of the semiconductor device 11 can be reduced.

【0022】なお、上記各実施形態の構造では、ダイパ
ッド13または放熱板23の裏面に設けた溝21は連続
し、かつ一本の周回した溝として形成した場合を例示し
たが、複数の溝としても良く、また連続する溝でなくて
も良い。
In the structure of each of the above-described embodiments, the case where the groove 21 provided on the back surface of the die pad 13 or the heat radiating plate 23 is formed as a continuous and one round groove is exemplified. Also, the grooves need not be continuous.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を奏する。 ダイパッドまたは放熱板の裏面に溝を設けたことによ
って、ダイパッドまたは放熱板の裏面における露出面積
を一定量確保できるとともに、ダイパッドまたは放熱板
を実装基板に対して密着させて実装させることができる
ので、放熱性の低下、ハンダ付け性の低下を防止するこ
とが可能になる。 前記リードの最外リードの一部でオーバーハング部を
形成していることによってオーバーハングの長さを短く
することができるので、半導体装置の小型化が可能にな
る。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. By providing grooves on the back surface of the die pad or heat sink, a certain amount of exposed area on the back surface of the die pad or heat sink can be secured, and the die pad or heat sink can be mounted in close contact with the mounting board. It is possible to prevent a decrease in heat dissipation and solderability. Since the overhang portion is formed by a part of the outermost lead of the lead, the length of the overhang can be reduced, so that the semiconductor device can be downsized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態例に係る装置を裏面側
より見た外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a device according to a first embodiment of the present invention as viewed from the back side.

【図2】図2のA−A線に沿う拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】図3は図1及び図2に示す同上装置の要部拡大
図である。
FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the device shown in FIGS. 1 and 2;

【図4】本発明の第2の実施形態例に係る装置の概略縦
断側面図である。
FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional side view of an apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図5】従来装置を上面側より見た外観斜視図である。FIG. 5 is an external perspective view of a conventional device as viewed from above.

【図6】従来装置を裏面側より見た外観斜視図である。FIG. 6 is an external perspective view of a conventional device as viewed from the back side.

【図7】図6のB−B線に沿う拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line BB of FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…半導体装置、12…半導体チップ、13…ダイパ
ッド、14…リード、16…樹脂材、21…溝、23…
放熱板
11 semiconductor device, 12 semiconductor chip, 13 die pad, 14 lead, 16 resin material, 21 groove, 23
Heat sink

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体素子が搭載されたダイパッドの裏
面を露出させ、周囲を樹脂材で封止してなる樹脂封止型
半導体装置において、 前記ダイパッドの裏面に、このダイパッドの外周部分に
沿って溝を設けたことを特徴とする樹脂封止型半導体装
置。
1. A resin-encapsulated semiconductor device in which a back surface of a die pad on which a semiconductor element is mounted is exposed and a periphery thereof is sealed with a resin material, wherein the back surface of the die pad is formed along the outer peripheral portion of the die pad. A resin-encapsulated semiconductor device comprising a groove.
【請求項2】 半導体素子が搭載された放熱板の裏面を
露出させ、周囲を樹脂材で封止してなる樹脂封止型半導
体装置において、 前記放熱板の裏面に、この放熱板の外周部分に沿って溝
を設けたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
2. A resin-encapsulated semiconductor device in which a back surface of a radiator plate on which a semiconductor element is mounted is exposed and the periphery is sealed with a resin material. A resin-encapsulated semiconductor device, wherein a groove is provided along the groove.
【請求項3】 半導体素子が搭載されたダイパッドの裏
面を露出させ、周囲を樹脂材で封止してなるとともに、
前記パッケージの側面より複数のリードを導出してなる
樹脂封止型半導体装置において、 前記複数のリードのうちの、最外リードの一部でオーバ
ーハング部を形成してなることを特徴とする樹脂封止型
半導体装置。
3. A back surface of a die pad on which a semiconductor element is mounted is exposed, and its periphery is sealed with a resin material.
A resin-encapsulated semiconductor device in which a plurality of leads are led out from a side surface of the package, wherein a resin is formed by forming an overhang portion with a part of an outermost lead among the plurality of leads. Sealed semiconductor device.
【請求項4】 半導体素子が搭載された放熱板の裏面を
露出させ、周囲を樹脂材で封止してなるとともに、前記
パッケージの側面より複数のリードを導出してなる樹脂
封止型半導体装置において、 前記複数のリードのうちの、最外リードの一部でオーバ
ーハング部を形成してなることを特徴とする樹脂封止型
半導体装置。
4. A resin-sealed semiconductor device having a back surface of a heat sink on which a semiconductor element is mounted, and a periphery thereof sealed with a resin material, and a plurality of leads led out from side surfaces of the package. 2. The resin-sealed semiconductor device according to claim 1, wherein an overhang portion is formed by a part of an outermost lead among the plurality of leads.
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