JPH11219998A - 薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法 - Google Patents
薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法Info
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- JPH11219998A JPH11219998A JP10022954A JP2295498A JPH11219998A JP H11219998 A JPH11219998 A JP H11219998A JP 10022954 A JP10022954 A JP 10022954A JP 2295498 A JP2295498 A JP 2295498A JP H11219998 A JPH11219998 A JP H11219998A
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- thin plate
- shaped object
- mounting table
- wafer
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハ平坦化加工装置等に於いて、乗載台２と
加工用ホルダ３間に若干の相互中心ズレがあっても、乗
載台上のウエハ１を加工用ホルダ３に確実に移し替える
方法を得る。 【解決手段】求芯作用である加工用ホルダ３側のコント
ロールリング７に対するウエハ１のセンタリングを行う
事と、更に引き続き、コントロールリング７内に配接し
た保持材（層）８の表面と、ウエハ１との押付け密着
（水貼り作用）によるウエハ保持を行うことにある。
加工用ホルダ３間に若干の相互中心ズレがあっても、乗
載台上のウエハ１を加工用ホルダ３に確実に移し替える
方法を得る。 【解決手段】求芯作用である加工用ホルダ３側のコント
ロールリング７に対するウエハ１のセンタリングを行う
事と、更に引き続き、コントロールリング７内に配接し
た保持材（層）８の表面と、ウエハ１との押付け密着
（水貼り作用）によるウエハ保持を行うことにある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶基板，光学用部品などの薄板形状物の面加工、特に、
半導体集積回路の製造過程で用いられるウエハ表面パタ
ーンの平坦化加工装置に於いて、ウエハを搬送系統から
加工用ホルダに移し替える方法に関する。
晶基板，光学用部品などの薄板形状物の面加工、特に、
半導体集積回路の製造過程で用いられるウエハ表面パタ
ーンの平坦化加工装置に於いて、ウエハを搬送系統から
加工用ホルダに移し替える方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明に係るこの種の半導体集積回路の
製造はその高集積化微細化要求から、その製造過程でウ
エハ回路パターンの表面層凹凸を機械加工的手段で平坦
化する工程が組み込まれる。この際に、高品質な均一化
を得るには、加工ツール側円盤の形状精度などの要因と
共に、ウエハを保持する加工ホルダ側も種々の工夫を必
要とし、保持されたウエハ外周を取り巻く如くに配設さ
れたコントロールリングの内径とウエハ径の差（移し替
え時の挿入スキマ）も極力少なくして、加工中のウエハ
不正挙動を抑制する必要がある。
製造はその高集積化微細化要求から、その製造過程でウ
エハ回路パターンの表面層凹凸を機械加工的手段で平坦
化する工程が組み込まれる。この際に、高品質な均一化
を得るには、加工ツール側円盤の形状精度などの要因と
共に、ウエハを保持する加工ホルダ側も種々の工夫を必
要とし、保持されたウエハ外周を取り巻く如くに配設さ
れたコントロールリングの内径とウエハ径の差（移し替
え時の挿入スキマ）も極力少なくして、加工中のウエハ
不正挙動を抑制する必要がある。
【０００３】通常、この種の加工装置に用いられるウエ
ハの受け渡し（移し替え）は、図示を省略するが、加工
ポジションから移動してきて、受け渡しポジション上で
停止している加工用ホルダに向けて、ウエハを搭載した
搬送ロボットのアームで直接受け渡す方法や、一旦ウエ
ハを乗載台に置いて移し替える方法が用いられる。何れ
の方法も、加工用ホルダ側の停止位置精度とウエハ側位
置精度の相互中心ズレがそのまま転写されることになる
ため、装置内での関連した構成要素に機械的位置精度が
要求される。
ハの受け渡し（移し替え）は、図示を省略するが、加工
ポジションから移動してきて、受け渡しポジション上で
停止している加工用ホルダに向けて、ウエハを搭載した
搬送ロボットのアームで直接受け渡す方法や、一旦ウエ
ハを乗載台に置いて移し替える方法が用いられる。何れ
の方法も、加工用ホルダ側の停止位置精度とウエハ側位
置精度の相互中心ズレがそのまま転写されることになる
ため、装置内での関連した構成要素に機械的位置精度が
要求される。
【０００４】上記に鑑み、加工用ホルダと乗載台の相互
中心ズレをある程度許容することをねらいとした移し替
え方法が特開平9−115989 号で公開されている。この従
来技術は(イ.）ウエハの事前的支承手段として、ウエハ
を液体で浮上させ、水平方向のウエハ横流れ現象は流出
防止環を用いて、機構的形状拘束手段により阻止するこ
と、及び(ロ.）メインの芯合せは、前記した浮上手段と
は異なる方法でウエハ上面に形成した表面張力層と、加
工用ホルダ側コントロールリングとの物理現象的求芯作
用であること、を主要点とし、安定した表面張力層を形
成することが成否のポイントである。
中心ズレをある程度許容することをねらいとした移し替
え方法が特開平9−115989 号で公開されている。この従
来技術は(イ.）ウエハの事前的支承手段として、ウエハ
を液体で浮上させ、水平方向のウエハ横流れ現象は流出
防止環を用いて、機構的形状拘束手段により阻止するこ
と、及び(ロ.）メインの芯合せは、前記した浮上手段と
は異なる方法でウエハ上面に形成した表面張力層と、加
工用ホルダ側コントロールリングとの物理現象的求芯作
用であること、を主要点とし、安定した表面張力層を形
成することが成否のポイントである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、加工
用ホルダと乗載台の相互中心ズレをある程度許容するこ
とをねらいとした別な技術を提供することにある。
用ホルダと乗載台の相互中心ズレをある程度許容するこ
とをねらいとした別な技術を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は(イ.）ウエハの
事前的支承手段として、ウエハを液体で浮上させ、水平
方向のウエハ横流れ現象は乗載台上面とウエハ下面の間
に形成される表面張力層を用いて、物理現象的手段によ
り阻止すること、及び(ロ.）メインの芯合せは、加工用
ホルダの下面に配設したコントロールリング外形を基準
とした機構形状的求芯作用であること、を特徴とする。
事前的支承手段として、ウエハを液体で浮上させ、水平
方向のウエハ横流れ現象は乗載台上面とウエハ下面の間
に形成される表面張力層を用いて、物理現象的手段によ
り阻止すること、及び(ロ.）メインの芯合せは、加工用
ホルダの下面に配設したコントロールリング外形を基準
とした機構形状的求芯作用であること、を特徴とする。
【０００７】本発明によれば、表面張力による第一の求
芯作用（乗載台とウエハの概略芯合せ）に引き続き、形
状機構的手段による第二の求芯作用（乗載台と加工用ホ
ルダの芯合せ）及び、第三の求芯作用（乗載台側ウエハ
と加工用ホルダ側コントロールリングとの芯合せ）、並
びに加工用ホルダ側でのウエハ保持（水貼り作用）が、
加工用ホルダの加工につれて、機構的作動順序で進行し
て、ウエハの移し替えが行われる。
芯作用（乗載台とウエハの概略芯合せ）に引き続き、形
状機構的手段による第二の求芯作用（乗載台と加工用ホ
ルダの芯合せ）及び、第三の求芯作用（乗載台側ウエハ
と加工用ホルダ側コントロールリングとの芯合せ）、並
びに加工用ホルダ側でのウエハ保持（水貼り作用）が、
加工用ホルダの加工につれて、機構的作動順序で進行し
て、ウエハの移し替えが行われる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図１ないし図４を用いて本
発明の実施例を説明する。
発明の実施例を説明する。
【０００９】図１は第一の求芯作用（乗載台とウエハの
概略芯合せ）を示す説明図であり、図２は第二の求芯作
用（乗載台と加工用ホルダの芯合せ）を示す説明図であ
り、図３は第三の求芯作用（乗載台側ウエハと加工用ホ
ルダ側コントロールリングとの芯合せ）を示す説明図で
あり、図４は加工用ホルダ側でのウエハ保持（押付けに
よる水貼り作用）状態を示す説明図である。
概略芯合せ）を示す説明図であり、図２は第二の求芯作
用（乗載台と加工用ホルダの芯合せ）を示す説明図であ
り、図３は第三の求芯作用（乗載台側ウエハと加工用ホ
ルダ側コントロールリングとの芯合せ）を示す説明図で
あり、図４は加工用ホルダ側でのウエハ保持（押付けに
よる水貼り作用）状態を示す説明図である。
【００１０】全体図示を省略するが、本実施例は加工対
象であるウエハ１を、搬送ロボットなどを用いて乗載台
２に乗せた後で、加工用ホルダ３へ移し替えた後に、加
工用ホルダ３が上昇後、加工用ポジションへ水平移動し
て加工開始可能となる形態のウエハ表面パターン平坦化
加工装置の一構成（ウエハ移し替え）要素として、以下
説明する。
象であるウエハ１を、搬送ロボットなどを用いて乗載台
２に乗せた後で、加工用ホルダ３へ移し替えた後に、加
工用ホルダ３が上昇後、加工用ポジションへ水平移動し
て加工開始可能となる形態のウエハ表面パターン平坦化
加工装置の一構成（ウエハ移し替え）要素として、以下
説明する。
【００１１】従って、本実施例での作用開始直前の加工
用ホルダ３の高さ位置は図１にて示した状態よりも上、
即ち搬送ロボット等がウエハ１を乗載台２へ受け渡し可
能な必要空間以上の高さ位置にて待機している。
用ホルダ３の高さ位置は図１にて示した状態よりも上、
即ち搬送ロボット等がウエハ１を乗載台２へ受け渡し可
能な必要空間以上の高さ位置にて待機している。
【００１２】図１ないし図４に於いて、乗載台２の上面
へ常に純水を微量供給しておく（供給口は中央部１個で
図示してあるが、複数個配置でも可）。そして、乗載台
２の外側にテーパ環５と、複数個のフィンガ６を配設す
る。更に、加工用ホルダ３の下面に、ウエハ１の径より
わずかに大の内径としたコントロールリング７、及びコ
ントロールリング７の中に保持材（層）８を配接する。
へ常に純水を微量供給しておく（供給口は中央部１個で
図示してあるが、複数個配置でも可）。そして、乗載台
２の外側にテーパ環５と、複数個のフィンガ６を配設す
る。更に、加工用ホルダ３の下面に、ウエハ１の径より
わずかに大の内径としたコントロールリング７、及びコ
ントロールリング７の中に保持材（層）８を配接する。
【００１３】まず、本実施例での待機時の状態（加工用
ホルダ３が図１に示す状態よりも上昇している時）を説
明する。
ホルダ３が図１に示す状態よりも上昇している時）を説
明する。
【００１４】乗載台２は、ベース９から立ちあげた可ト
ウ部材１０から上方に向かってテーパ環支え１１を押し
上げるバネ１２と、テーパ環支え１１から上方に向かっ
て乗載台２を押し上げるバネ１３の作用と、それぞれの
上昇限界を規制しているストッパ１４とエンド１５の作
用によって、最上昇している状態にある。同様に、テー
パ環５も最上昇している。
ウ部材１０から上方に向かってテーパ環支え１１を押し
上げるバネ１２と、テーパ環支え１１から上方に向かっ
て乗載台２を押し上げるバネ１３の作用と、それぞれの
上昇限界を規制しているストッパ１４とエンド１５の作
用によって、最上昇している状態にある。同様に、テー
パ環５も最上昇している。
【００１５】また、複数個のフィンガアーム１６にそれ
ぞれ係合されているフィンガ６はフィンガ支え１７との
関節１８により、放射状に開閉動作するように配置構成
してあり、待機時の状態はフィンガアーム１６に配設し
た板カム１９の凸側が、フォロアアーム２０に支えられ
たフォロア２１と接しているために、開いている状態に
ある。なお、フィンガ６はバネ２２の作用により、常に
閉じる方向の作用を受けている。
ぞれ係合されているフィンガ６はフィンガ支え１７との
関節１８により、放射状に開閉動作するように配置構成
してあり、待機時の状態はフィンガアーム１６に配設し
た板カム１９の凸側が、フォロアアーム２０に支えられ
たフォロア２１と接しているために、開いている状態に
ある。なお、フィンガ６はバネ２２の作用により、常に
閉じる方向の作用を受けている。
【００１６】更に、移し替え順序作動の最終段階での押
付け密着（水貼り）時に作動する押し下げピン２３は、
乗載台２に上下方向可動なるが如く支持され、且つ、ヒ
ンジ２４がバネ２５で引かれているため、待機時には最
上昇している状態にある。
付け密着（水貼り）時に作動する押し下げピン２３は、
乗載台２に上下方向可動なるが如く支持され、且つ、ヒ
ンジ２４がバネ２５で引かれているため、待機時には最
上昇している状態にある。
【００１７】次に、本実施例による第一の求芯作用（ウ
エハ１と乗載台２の概略芯合せ、即ち、前記した「ウエ
ハの事前的支承手段」）を説明する。
エハ１と乗載台２の概略芯合せ、即ち、前記した「ウエ
ハの事前的支承手段」）を説明する。
【００１８】まず、ウエハ外形に近似した形状寸法の乗
載台２の上面から常時、微量の純水４を流出させて、表
面張力層４ａを形成させておく。乗載台２の上面には押
付密着時に関与する緩衝材（層）２６を配設するため、
正しくは、この緩衝材（層）２６の上面に表面張力層４
ａが形成されることになる。
載台２の上面から常時、微量の純水４を流出させて、表
面張力層４ａを形成させておく。乗載台２の上面には押
付密着時に関与する緩衝材（層）２６を配設するため、
正しくは、この緩衝材（層）２６の上面に表面張力層４
ａが形成されることになる。
【００１９】この状態で、ウエハ１とほぼ同形状に形成
されている表面張力層４ａの上にウエハ１を乗せると、
表面張力の物理的な作用により、水平面内で同一になろ
うとする（横流れ阻止の作用）。なお、第一の求芯作用
は、加工用ホルダ３の昇降動作とは直接的な関係無しに
行われる。
されている表面張力層４ａの上にウエハ１を乗せると、
表面張力の物理的な作用により、水平面内で同一になろ
うとする（横流れ阻止の作用）。なお、第一の求芯作用
は、加工用ホルダ３の昇降動作とは直接的な関係無しに
行われる。
【００２０】引き続き、加工用ホルダ３の下降動作（ス
トローク）に沿って、機構的な作動順序で自動的に行わ
れる第二の求芯作用，第三の求芯作用及び、押付密着
（水貼り作用）について、順を追って説明する。
トローク）に沿って、機構的な作動順序で自動的に行わ
れる第二の求芯作用，第三の求芯作用及び、押付密着
（水貼り作用）について、順を追って説明する。
【００２１】下降用ホルダ３が上昇端から下降し始め、
図１に示す押下げピン２３に接した状態から、図２に示
すテーパ個所３ａとテーパ環５が接した状態になるまで
の間に、第二の求芯作用（乗載台２と下降用ホルダ３の
芯合せ）が行われる。
図１に示す押下げピン２３に接した状態から、図２に示
すテーパ個所３ａとテーパ環５が接した状態になるまで
の間に、第二の求芯作用（乗載台２と下降用ホルダ３の
芯合せ）が行われる。
【００２２】ここで、本発明の主要点である機構的作動
順序を成立させるためには、加工用ホルダ３のタイミン
グに合わせてまず、乗載台２が優先的に下降し、次いで
テーパ環５、最後に押下げピン２３が相対的下降をする
ような機構的手段を用いる必要がある。この手段とし
て、図示及び詳述を省略するリンク機構組み合わせの方
法もあるが、本実施例では夫々のばね剛性に格差をつけ
る方法を用いて説明する。即ち、ばね剛性をバネ１３≪
バネ１２≪バネ２５とする事に依って、機構的作動順序
が決定される。
順序を成立させるためには、加工用ホルダ３のタイミン
グに合わせてまず、乗載台２が優先的に下降し、次いで
テーパ環５、最後に押下げピン２３が相対的下降をする
ような機構的手段を用いる必要がある。この手段とし
て、図示及び詳述を省略するリンク機構組み合わせの方
法もあるが、本実施例では夫々のばね剛性に格差をつけ
る方法を用いて説明する。即ち、ばね剛性をバネ１３≪
バネ１２≪バネ２５とする事に依って、機構的作動順序
が決定される。
【００２３】これに依って、図１から図２の間は、加工
用ホルダ３が下降して押下げピン２３に接した時点か
ら、乗載台２の選択的下降が始まり、第二の求芯作用が
行われる事になる。この時点では、押下げピン２３は上
記したばね剛性の条件から、乗載台２と一体であるかの
ように移動するので、押下げピン２３の高さを適宜設定
する事により、以前から浮上しているウエハ１は加工用
ホルダ３側と接触する事なく、前述した第一の求芯作用
を継続している。
用ホルダ３が下降して押下げピン２３に接した時点か
ら、乗載台２の選択的下降が始まり、第二の求芯作用が
行われる事になる。この時点では、押下げピン２３は上
記したばね剛性の条件から、乗載台２と一体であるかの
ように移動するので、押下げピン２３の高さを適宜設定
する事により、以前から浮上しているウエハ１は加工用
ホルダ３側と接触する事なく、前述した第一の求芯作用
を継続している。
【００２４】なお、本実施例では可トウ部材１０を中央
に１個で簡略図示してあるが、例えば複数個の可トウ部
材による平行リンク的な構造でも追従する事は自明であ
る。加工用ホルダ３が更に下降すると、図２の状態から
図３に示す状態の間に、第三の求芯作用（乗載台２側ウ
エハ１と、加工用ホルダ３側のコントロールリング７と
の芯合せ）が行われる。即ち、図２から図３の間はテー
パ環５の下降が始まる。テーパ環５が下降すると、これ
に係合したフィンガ支え１７を介して板カム１９等も一
緒に下降するが、板カム１９に接してフィンガ６を開か
せる役割をしているフォロア２１は一緒に下降しないた
め、結果的に、板カム１９の形状に沿ってフィンガ６が
閉じる方向に動き始め、フィンガ６の上方内壁６ａがコ
ントロールリング７の外形に接した状態で止まる。
に１個で簡略図示してあるが、例えば複数個の可トウ部
材による平行リンク的な構造でも追従する事は自明であ
る。加工用ホルダ３が更に下降すると、図２の状態から
図３に示す状態の間に、第三の求芯作用（乗載台２側ウ
エハ１と、加工用ホルダ３側のコントロールリング７と
の芯合せ）が行われる。即ち、図２から図３の間はテー
パ環５の下降が始まる。テーパ環５が下降すると、これ
に係合したフィンガ支え１７を介して板カム１９等も一
緒に下降するが、板カム１９に接してフィンガ６を開か
せる役割をしているフォロア２１は一緒に下降しないた
め、結果的に、板カム１９の形状に沿ってフィンガ６が
閉じる方向に動き始め、フィンガ６の上方内壁６ａがコ
ントロールリング７の外形に接した状態で止まる。
【００２５】この時、ウエハ１の外形を形状的に拘束し
得る高さにある複数個のフィンガ６の中部内壁６ｂによ
って創成される内接円の径を、ウエハ径≦内接円径≦コ
ントロールリング内径とすることによって、ウエハ１を
コントロールリング７の中へスムーズに芯合せする事が
出来る。この時、コントロールリング７の内外径が同芯
でない（製作誤差）等には、例えば、その誤差に対応し
た値を複数個のフィンガ６の製作寸法「６ａ−６ｂ」値
で補正し得る事も自明である。
得る高さにある複数個のフィンガ６の中部内壁６ｂによ
って創成される内接円の径を、ウエハ径≦内接円径≦コ
ントロールリング内径とすることによって、ウエハ１を
コントロールリング７の中へスムーズに芯合せする事が
出来る。この時、コントロールリング７の内外径が同芯
でない（製作誤差）等には、例えば、その誤差に対応し
た値を複数個のフィンガ６の製作寸法「６ａ−６ｂ」値
で補正し得る事も自明である。
【００２６】なお、この時点でも、以前から浮上してい
るウエハ１は加工用ホルダ３側と接触する事なく、前述
した第一の求芯作用を継続しているが、図３に至ると第
三の求芯作用が支配的となる。
るウエハ１は加工用ホルダ３側と接触する事なく、前述
した第一の求芯作用を継続しているが、図３に至ると第
三の求芯作用が支配的となる。
【００２７】引き続き、下降用ホルダ３が更に下降する
と、図３から図４に示す状態の間に、ウエハ１が加工用
ホルダ３側に渡され、続いて押付密着（水貼り作用）に
よるウエハ保持が行われる。図３に示す状態まで至る
と、乗載台２の下降はエンド１５と可トウ部材１０の上
端部１０ａが接して終点となり、加工用ホルダ３が更に
下降すると、押下げピン２３がバネ２５に反して退避
（下降）するようになり、結果的に、ウエハ１が保持材
（層）８に接近し始め、最終段階で押付密着（水貼り作
用）の状態になり加工用ホルダ３側に保持されるように
なる。詳述を省略するが補足的に、事前の工程にて加工
用ホルダ３が洗浄される際に保持材（層）８は純水で濡
れた状態になっている。
と、図３から図４に示す状態の間に、ウエハ１が加工用
ホルダ３側に渡され、続いて押付密着（水貼り作用）に
よるウエハ保持が行われる。図３に示す状態まで至る
と、乗載台２の下降はエンド１５と可トウ部材１０の上
端部１０ａが接して終点となり、加工用ホルダ３が更に
下降すると、押下げピン２３がバネ２５に反して退避
（下降）するようになり、結果的に、ウエハ１が保持材
（層）８に接近し始め、最終段階で押付密着（水貼り作
用）の状態になり加工用ホルダ３側に保持されるように
なる。詳述を省略するが補足的に、事前の工程にて加工
用ホルダ３が洗浄される際に保持材（層）８は純水で濡
れた状態になっている。
【００２８】また、水貼り保持の補助や代替として負圧
吸引保持を行う事も可である。
吸引保持を行う事も可である。
【００２９】
【発明の効果】上記のように本発明では、乗載台と加工
用ホルダの相互中心ズレ（停止位置精度等）や、加工用
ホルダ外形に対するコントロールリングの芯ズレ（部品
精度）等に若干の誤差があっても、これを補正し、ウエ
ハを確実に加工用ホルダに移し替えることが出来るもの
である。
用ホルダの相互中心ズレ（停止位置精度等）や、加工用
ホルダ外形に対するコントロールリングの芯ズレ（部品
精度）等に若干の誤差があっても、これを補正し、ウエ
ハを確実に加工用ホルダに移し替えることが出来るもの
である。
【図１】本発明の第一実施例であるウエハ平坦化加工装
置で求芯作用開始状態を示す図。
置で求芯作用開始状態を示す図。
【図２】図１の求芯作用成立状態を示す図。
【図３】図１の求芯作用成立状態を示す図。
【図４】図１の作動順序で最終（水貼り作用成立）状態
を示す図。
を示す図。
１…ウエハ、２…乗載台、３…加工用ホルダ、３ａ…テ
ーパ個所、４…純水、４ａ…表面張力層、５…テーパ
環、６…フィンガ、６ａ…上方内壁、６ｂ…中部内壁、
７…コントロールリング、８…保持材（層）、９…ベー
ス、１０…可トウ部材、１０ａ…上端部、１１…テーパ
環支え、１２，１３，２２，２５…バネ、１４…ストッ
パ、１５…エンド、１６…フィンガアーム、１７…フィ
ンガ支え、１８…関節、１９…板カム、２０…フォロア
アーム、２１…フォロア、２３…押下げピン、２４…ヒ
ンジ、２６…緩衝材（層）。
ーパ個所、４…純水、４ａ…表面張力層、５…テーパ
環、６…フィンガ、６ａ…上方内壁、６ｂ…中部内壁、
７…コントロールリング、８…保持材（層）、９…ベー
ス、１０…可トウ部材、１０ａ…上端部、１１…テーパ
環支え、１２，１３，２２，２５…バネ、１４…ストッ
パ、１５…エンド、１６…フィンガアーム、１７…フィ
ンガ支え、１８…関節、１９…板カム、２０…フォロア
アーム、２１…フォロア、２３…押下げピン、２４…ヒ
ンジ、２６…緩衝材（層）。
フロントページの続き (72)発明者 菅谷 昌和 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 久賀谷 隆 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地 株式会社日立製作所内 (72)発明者 大月 繁夫 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地 株式会社日立製作所内 (72)発明者 河合 亮成 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地 株式会社日立製作所内 (72)発明者 西村 貞之 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地 株式会社日立製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】移し替え対照の薄板形状物と、略同形寸法
の乗載面を有する乗載台の上面から微量の流体を流出さ
せることにより該薄板形状物を浮上させて、その表面張
力による概略芯合せを行い、且つ、乗載台の外側から薄
板形状物を包むが如くに中心に向かって連動する複数個
のフィンガが、コントロールリングの外形に接して、そ
の動きが止まるようにした機構的手段によって創成され
る幾何学的中心に、該薄板形状物が芯合せされることを
特徴とした薄板形状物を加工用ホルダに移し替え方法。 - 【請求項２】乗載台の上面から微量の液体を流出させる
ことによって出現する表面張力層の上に、移し替え対象
の薄板形状物を浮上させて、第一の求芯作用（乗載台と
薄板形状物の概略芯合せ）を行い、次に乗載台と同芯に
形成配置した凹状テーパ環と、加工用ホルダ外形の凸状
テーパ部分を係合させて、第二の求芯作用（乗載台と加
工用ホルダの芯合せ）を行い、引き続き、乗載台の外側
から中心に向かって、該薄板形状物を包むが如くに連動
する複数個のフィンガの動きが、加工用ホルダの下面に
配設したコントロールリングの外形に接して、その動き
が止まることによって創成される第三の求芯作用（加工
用ホルダ側のコントロールリングに対する該薄板形状物
の芯合せ）を行い、更に引き続き、コントロールリング
内に配設した保持材（層）の表面と、該薄板形状物との
押付密着（水貼り作用）による加工用ホルダ側での該薄
板形状物保持を行うことを特徴とした請求項１記載の薄
板形状物を加工用ホルダに移し替え方法。 - 【請求項３】乗載台の上面から微量の液体を流出させる
ことによって出現する表面張力層の上に、移し替え対象
の薄板形状物を浮上させて、第一の求芯作用（乗載台と
薄板形状物の概略芯合せ）を行っておき、次に乗載台の
直上にて停止している加工用ホルダが下降する動作（直
動ストローク）を利用することにより、まず乗載台と同
芯に形成配置した凹状テーパ環と、加工用ホルダ外形の
凸状テーパ部分を係合させて、第二の求芯作用（乗載台
と加工用ホルダの芯合せ）を行うことと、引き続き、乗
載台の外側から中心に向かって、該薄板形状物を包むが
如くに連動する複数個のフィンガの動きが、加工用ホル
ダの下面に配設したコントロールリングの外形に接し
て、その動きが止まることによって創成される第三の求
芯作用（加工用ホルダ側のコントロールリングに対する
該薄板形状物の芯合せ）を行うことと、更に引き続き、
コントロールリング内に配設した保持材（層）の表面
と、該薄板形状物との押付密着（水貼り作用）による加
工用ホルダ側での該薄板形状物保持を行うことの、あわ
せて三つの作用が、機構的な作動順序で行われることを
特徴とした請求項２記載の薄板形状物を加工用ホルダに
移し替え方法。 - 【請求項４】移し替え対象である薄板形状物を押付密着
（水貼り作用）で保持する方法の補助や代替として、負
圧吸引にて保持する方法にて成ることを特徴とする請求
項２ないし３のいずれか１項に記載の薄板形状物を加工
用ホルダに移し替え方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2295498A JP4147603B2 (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2295498A JP4147603B2 (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11219998A true JPH11219998A (ja) | 1999-08-10 |
| JP4147603B2 JP4147603B2 (ja) | 2008-09-10 |
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ID=12097017
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2295498A Expired - Fee Related JP4147603B2 (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4147603B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003197718A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| US7524232B2 (en) * | 2006-05-29 | 2009-04-28 | Fujikoshi Machinery Corp. | Workpiece centering apparatus and method of centering workpiece |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08264626A (ja) * | 1994-04-28 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 試料保持方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置 |
| JPH09115989A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-02 | Rap Master S F T Kk | 半導体ウエハの位置合わせ及び水張り方法 |
-
1998
- 1998-02-04 JP JP2295498A patent/JP4147603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08264626A (ja) * | 1994-04-28 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 試料保持方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7524232B2 (en) * | 2006-05-29 | 2009-04-28 | Fujikoshi Machinery Corp. | Workpiece centering apparatus and method of centering workpiece |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4147603B2 (ja) | 2008-09-10 |
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