JPH11217116A - スローアウェイチップ類の検査装置 - Google Patents
スローアウェイチップ類の検査装置Info
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- JPH11217116A JPH11217116A JP3407298A JP3407298A JPH11217116A JP H11217116 A JPH11217116 A JP H11217116A JP 3407298 A JP3407298 A JP 3407298A JP 3407298 A JP3407298 A JP 3407298A JP H11217116 A JPH11217116 A JP H11217116A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】スローアウェイチップ類の外観検査および寸法
検査を自動的に能率よくしかも精度よく実施することが
できる検査装置を提供する。 【解決手段】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出し一定の姿勢以外のチップを経路外
に排除するチップ整列検査機構５を設け、該チップ整列
検査機構よりも下流の経路に、チップが公差寸法以内に
収まっているかどうかを検出し異物付着等により公差を
越える不良チップを経路外に排除する形状検査用の第１
検査機構６を設け、該第１検査機構の下流の経路に、レ
ーザー帯の投光器と受光器により光学的にチップ寸法を
検査し寸法不合格チップを経路外に排除する寸法検査用
の第２検査機構７を設けた。
検査を自動的に能率よくしかも精度よく実施することが
できる検査装置を提供する。 【解決手段】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出し一定の姿勢以外のチップを経路外
に排除するチップ整列検査機構５を設け、該チップ整列
検査機構よりも下流の経路に、チップが公差寸法以内に
収まっているかどうかを検出し異物付着等により公差を
越える不良チップを経路外に排除する形状検査用の第１
検査機構６を設け、該第１検査機構の下流の経路に、レ
ーザー帯の投光器と受光器により光学的にチップ寸法を
検査し寸法不合格チップを経路外に排除する寸法検査用
の第２検査機構７を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はスローアウェイチッ
プ類の検査装置に関する。
プ類の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】切削加工要素として超硬合金などからな
るスローアウェイチップ（以下チップと称す）が汎用さ
れている。かかるチップを量産した場合、製品の管理の
ため、外観および寸法を検査する必要がある。かかるチ
ップの検査法として、従来では、外観については、人手
で整列させて目視検査を行い、折れたり欠けたりしてい
るチップをふるいでふるい分けており、また、寸法につ
いては、抜き取りで検査を行い、不合格品が出た場合に
は全数を寸法選別するという方法が一般に採用されてい
た。
るスローアウェイチップ（以下チップと称す）が汎用さ
れている。かかるチップを量産した場合、製品の管理の
ため、外観および寸法を検査する必要がある。かかるチ
ップの検査法として、従来では、外観については、人手
で整列させて目視検査を行い、折れたり欠けたりしてい
るチップをふるいでふるい分けており、また、寸法につ
いては、抜き取りで検査を行い、不合格品が出た場合に
は全数を寸法選別するという方法が一般に採用されてい
た。
【０００３】しかし、外観の良否を人手で目視検査する
には熟練を要するとともに時間がかかり、かつ、不良品
を見落としする可能性が高い点、不良品について小さな
破片はふるい分けることができるが半分程度に折れたチ
ップはふるい分けられないという問題があった。また、
寸法不良を抜き取り検査で行なうため、不良を見落とす
危険が非常に大きいという問題があった。
には熟練を要するとともに時間がかかり、かつ、不良品
を見落としする可能性が高い点、不良品について小さな
破片はふるい分けることができるが半分程度に折れたチ
ップはふるい分けられないという問題があった。また、
寸法不良を抜き取り検査で行なうため、不良を見落とす
危険が非常に大きいという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
問題点を解消するために創案されたもので、その目的と
するところは、チップないしこれに類する物品の外観検
査および寸法検査を自動的に能率よくしかも精度よく実
施することができるスローアウェイチップの検査装置を
提供することにある。
問題点を解消するために創案されたもので、その目的と
するところは、チップないしこれに類する物品の外観検
査および寸法検査を自動的に能率よくしかも精度よく実
施することができるスローアウェイチップの検査装置を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の、スローアウェイチップ類の検査装置は、チッ
プ供給機からの排出経路に、チップの姿勢を光学的に検
出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段とを備えたチップ整列検査機構を設け、該チップ
整列検査機構よりも下流の経路には、チップの公差上限
寸法の検出用切欠きを有する昇降自在なゲートとこの検
出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する手
段とを備えた形状検査用の第１検査機構を設け、該第１
検査機構の下流の経路には、レーザー帯の投光器と受光
器を備えた光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経
路外に排除する手段とを備えた寸法検査用の第２検査機
構を設けたことを特徴としている。
本発明の、スローアウェイチップ類の検査装置は、チッ
プ供給機からの排出経路に、チップの姿勢を光学的に検
出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段とを備えたチップ整列検査機構を設け、該チップ
整列検査機構よりも下流の経路には、チップの公差上限
寸法の検出用切欠きを有する昇降自在なゲートとこの検
出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する手
段とを備えた形状検査用の第１検査機構を設け、該第１
検査機構の下流の経路には、レーザー帯の投光器と受光
器を備えた光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経
路外に排除する手段とを備えた寸法検査用の第２検査機
構を設けたことを特徴としている。
【０００６】また、本発明は、前記第２検査機構よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第３検査機構を設けたことを特徴
としている。本発明は、前記第１検査機構と第２検査機
構の間にチップが連なって進行するのを防止するための
昇降自在なストッパー部材を備えたチップストッカーを
排しているものを含んでいる。
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第３検査機構を設けたことを特徴
としている。本発明は、前記第１検査機構と第２検査機
構の間にチップが連なって進行するのを防止するための
昇降自在なストッパー部材を備えたチップストッカーを
排しているものを含んでいる。
【０００７】好適な態様の例を挙げると以下のとおりで
ある。チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学的に検
出する手段は、チップの先端部と後端部に対して光線を
照射して反射光を受光する２つの反射型光電スイッチで
あり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除する手段
が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配されたエア
ノズルである。また、第１検査機構は、ゲートがアクチ
ュエータにより経路上に下降されるようになっており、
検出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する
手段が、ゲート近傍上流に配されたエアノズルと、これ
の近傍にあってチップの進入を検知する光電スイッチで
ある。第２検査機構においては、投光器と受光器が前後
の経路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配
置されており、寸法不合格チップを経路外に排除する手
段が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである。
ある。チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学的に検
出する手段は、チップの先端部と後端部に対して光線を
照射して反射光を受光する２つの反射型光電スイッチで
あり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除する手段
が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配されたエア
ノズルである。また、第１検査機構は、ゲートがアクチ
ュエータにより経路上に下降されるようになっており、
検出用切欠きを通過しえないチップを経路外に排除する
手段が、ゲート近傍上流に配されたエアノズルと、これ
の近傍にあってチップの進入を検知する光電スイッチで
ある。第２検査機構においては、投光器と受光器が前後
の経路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配
置されており、寸法不合格チップを経路外に排除する手
段が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである。
【０００８】
【発明の実施の態様】以下本発明の実施例を添付図面に
基いて説明する。図１ないし図９は本発明によるスロー
アウェイチップの検査装置の一実施例を示している。１
は基床に設置された架台、２は架台１に取り付けられた
チップ供給機であり、検査対象のチップＣを多数収容す
るボール２ａとこれに振動を与えて移動させるための振
動部２ｂを有しており、ボール２ａの内側壁には底側か
らチップＣを登攀移動させるように螺旋状に経路２ｃが
設けられている。前記経路２ｃには直進フィーダ４００
を備えた第１経路４ａが連接され，この第１経路４ａの
端末にはわずかなギャップをおいて第２経路４ｂが直列
状に設けられ、第２経路４ｂにも直進フィーダ４１０が
設けられ、また第２経路４ｂの端末には検査済み良品チ
ップＣ’を収容するボックスＢが配置されている。
基いて説明する。図１ないし図９は本発明によるスロー
アウェイチップの検査装置の一実施例を示している。１
は基床に設置された架台、２は架台１に取り付けられた
チップ供給機であり、検査対象のチップＣを多数収容す
るボール２ａとこれに振動を与えて移動させるための振
動部２ｂを有しており、ボール２ａの内側壁には底側か
らチップＣを登攀移動させるように螺旋状に経路２ｃが
設けられている。前記経路２ｃには直進フィーダ４００
を備えた第１経路４ａが連接され，この第１経路４ａの
端末にはわずかなギャップをおいて第２経路４ｂが直列
状に設けられ、第２経路４ｂにも直進フィーダ４１０が
設けられ、また第２経路４ｂの端末には検査済み良品チ
ップＣ’を収容するボックスＢが配置されている。
【０００９】５は前記チップ供給機２の経路２ｃの出口
領域に設けたチップ整列検査機構である。経路２ｃはチ
ップＣが移動する平坦な路面２０の一側に、所要高さの
側壁２１を立設している。このチップ整列検査機構５
は、チップＣの姿勢（ないし方向）を光学的に検知して
一定以外の姿勢（ないし方向）のチップＣを除外してチ
ップ供給機２に戻すためのものである。
領域に設けたチップ整列検査機構である。経路２ｃはチ
ップＣが移動する平坦な路面２０の一側に、所要高さの
側壁２１を立設している。このチップ整列検査機構５
は、チップＣの姿勢（ないし方向）を光学的に検知して
一定以外の姿勢（ないし方向）のチップＣを除外してチ
ップ供給機２に戻すためのものである。
【００１０】この実施例においては、チップ整列検査機
構５は、図３のように、チップ供給機２の外壁に固定し
たブラケット５０に所要の傾斜角度で固定した上流側光
電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂとを有してい
る。それら上流側光電スイッチ５ａと反射型の下流側光
電スイッチ５ｂは、おのおのチップＣの後端面ｃ２と先
端傾斜面ｃ１とにそれぞれ所要の角度で光線を入射する
投光部５１と、後端面ｃ２と先端傾斜面ｃ１とから反射
された光線を受ける受光部５２とを有した反射型のもの
が用いられており、少なくとも下流側光電スイッチ５ｂ
はチップの形状に応じてブラケット５０に対する取付角
度が可変となっている。
構５は、図３のように、チップ供給機２の外壁に固定し
たブラケット５０に所要の傾斜角度で固定した上流側光
電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂとを有してい
る。それら上流側光電スイッチ５ａと反射型の下流側光
電スイッチ５ｂは、おのおのチップＣの後端面ｃ２と先
端傾斜面ｃ１とにそれぞれ所要の角度で光線を入射する
投光部５１と、後端面ｃ２と先端傾斜面ｃ１とから反射
された光線を受ける受光部５２とを有した反射型のもの
が用いられており、少なくとも下流側光電スイッチ５ｂ
はチップの形状に応じてブラケット５０に対する取付角
度が可変となっている。
【００１１】前記下流側光電スイッチ５ｂの近傍下流の
経路側壁２１には、姿勢不良のチップＣ”を経路外に排
出する手段として、路面２０の所要高さレベルに噴孔を
臨ませたエアノズル５ｃが取り付けられている。前記上
流側光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂは、架
台１の下部に設けた制御盤内のコントローラＤに電気的
に接続されている。コントローラＤはシーケンサーとリ
レー、タイマー、スイッチ類ないしはＣＰＵおよび画像
処理装置類を内蔵しており、所定のプログラムでチップ
整列検査機構５を含む後述する各機構の制御指令を発す
るようになっている。図９はこうした関係を模式的に示
している。
経路側壁２１には、姿勢不良のチップＣ”を経路外に排
出する手段として、路面２０の所要高さレベルに噴孔を
臨ませたエアノズル５ｃが取り付けられている。前記上
流側光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂは、架
台１の下部に設けた制御盤内のコントローラＤに電気的
に接続されている。コントローラＤはシーケンサーとリ
レー、タイマー、スイッチ類ないしはＣＰＵおよび画像
処理装置類を内蔵しており、所定のプログラムでチップ
整列検査機構５を含む後述する各機構の制御指令を発す
るようになっている。図９はこうした関係を模式的に示
している。
【００１２】図９のようにエアノズル５ｃはホース５
ｃ’を介してエアコントロールユニットＥに接続されて
いる。エアコントロールユニットＥはたとえば架台１の
下部に設けられており、エアコンプレッサと減圧弁のほ
かに複数の電磁弁を有し、それぞれの電磁弁は前記コン
トローラＤからの信号で作動され、当該チップ整列検査
機構５のエアノズル５ｃを含む後述する各機構のエアノ
ズルおよびアクチュエータを発停されるようになってい
る。このチップ整列検査機構５においては、コントロー
ラＤは、上流側光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ
５ｂの双方の受光部がオンとなったときに、所定時間た
とえば１秒間だけ電磁弁を作動してエアノズル５ｃへの
エアの供給を停止するようなシーケンスが構築されてい
る。
ｃ’を介してエアコントロールユニットＥに接続されて
いる。エアコントロールユニットＥはたとえば架台１の
下部に設けられており、エアコンプレッサと減圧弁のほ
かに複数の電磁弁を有し、それぞれの電磁弁は前記コン
トローラＤからの信号で作動され、当該チップ整列検査
機構５のエアノズル５ｃを含む後述する各機構のエアノ
ズルおよびアクチュエータを発停されるようになってい
る。このチップ整列検査機構５においては、コントロー
ラＤは、上流側光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ
５ｂの双方の受光部がオンとなったときに、所定時間た
とえば１秒間だけ電磁弁を作動してエアノズル５ｃへの
エアの供給を停止するようなシーケンスが構築されてい
る。
【００１３】６は前記チップ整列検査機構５よりも下流
の第１経路４ａに設けられた第１検査機構であり、チッ
プＣが異形状かどうかや異物付着の有無などの形状と大
まかな寸法（大きすぎ）を検査するためのものである。
第１経路４ａもチップＣが移動する平坦な路面４０の一
側に所要高さの側壁４１を立設しており、第１検査機構
６は、昇降自在なゲート６ａと、適合しなかった形状不
良のチップＣ”を第１経路４ａ外に排除するエアノズル
６ｃと、該エアノズル６ｂから排除された不良チップ
Ｃ”を収容する回収箱６ｅとを有している。
の第１経路４ａに設けられた第１検査機構であり、チッ
プＣが異形状かどうかや異物付着の有無などの形状と大
まかな寸法（大きすぎ）を検査するためのものである。
第１経路４ａもチップＣが移動する平坦な路面４０の一
側に所要高さの側壁４１を立設しており、第１検査機構
６は、昇降自在なゲート６ａと、適合しなかった形状不
良のチップＣ”を第１経路４ａ外に排除するエアノズル
６ｃと、該エアノズル６ｂから排除された不良チップ
Ｃ”を収容する回収箱６ｅとを有している。
【００１４】図４は第１検査機構６の詳細を示してお
り、ゲート６ａは路面４０を横切るような幅の板または
ブロックからなり、側壁４１に対向する面と路面４０に
面する側に、チップＣの幅Ｗと高さＨの寸法公差上限に
則した形状寸法の検出用切欠き６０を形成している。前
記ゲート６ａは、第１経路４ａから立ち上がるように設
けたブラケット６１に固定したアクチュエータたとえば
エアシリンダ６ｂの作動部６２に連結されることにより
昇降自在となっており、常態においてゲート６ａは下降
位置に置かれる。そして、エアノズル６ｃは、このゲー
ト６ａの近傍上流の側壁４１に、噴孔が路面２０の所要
高さレベルに臨むように取り付けられている。また、こ
のエアノズル６ｂの近傍上流には、チップＣが第１検査
機構６に進入したことを検出するための光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ６ｄが対向配置されている。
なお、エアノズル６ｃはホース６ｃ’を介してエアコン
トロールユニットＥに接続されている。
り、ゲート６ａは路面４０を横切るような幅の板または
ブロックからなり、側壁４１に対向する面と路面４０に
面する側に、チップＣの幅Ｗと高さＨの寸法公差上限に
則した形状寸法の検出用切欠き６０を形成している。前
記ゲート６ａは、第１経路４ａから立ち上がるように設
けたブラケット６１に固定したアクチュエータたとえば
エアシリンダ６ｂの作動部６２に連結されることにより
昇降自在となっており、常態においてゲート６ａは下降
位置に置かれる。そして、エアノズル６ｃは、このゲー
ト６ａの近傍上流の側壁４１に、噴孔が路面２０の所要
高さレベルに臨むように取り付けられている。また、こ
のエアノズル６ｂの近傍上流には、チップＣが第１検査
機構６に進入したことを検出するための光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ６ｄが対向配置されている。
なお、エアノズル６ｃはホース６ｃ’を介してエアコン
トロールユニットＥに接続されている。
【００１５】前記アクチュエータ６ｂはコントローラＤ
からの指令で駆動されるようになつている。また、透過
型光電スイッチ６ｄはコントローラＤとタイマーを介し
て電気的に接続されており、透過型光電スイッチ６ｄか
らのスイッチオフ信号が入力され、その時間が一定時間
とえば１秒以内であるときには、コントローラＤからエ
アコントロールユニットＥの電磁弁をオフに保持してエ
アノズル６ｃへエアの供給を停止させておき、透過型光
電スイッチ６ｄのスイッチオフ時間が異常の場合たとえ
ば３秒以上のときには、コントローラＤからの指令でア
クチュエータ６ｂが上昇側に作動し、かつ電磁弁がオン
作動してエアノズル６ｃへエアを供給するようなシーム
ンスが構築されている。
からの指令で駆動されるようになつている。また、透過
型光電スイッチ６ｄはコントローラＤとタイマーを介し
て電気的に接続されており、透過型光電スイッチ６ｄか
らのスイッチオフ信号が入力され、その時間が一定時間
とえば１秒以内であるときには、コントローラＤからエ
アコントロールユニットＥの電磁弁をオフに保持してエ
アノズル６ｃへエアの供給を停止させておき、透過型光
電スイッチ６ｄのスイッチオフ時間が異常の場合たとえ
ば３秒以上のときには、コントローラＤからの指令でア
クチュエータ６ｂが上昇側に作動し、かつ電磁弁がオン
作動してエアノズル６ｃへエアを供給するようなシーム
ンスが構築されている。
【００１６】７は前記第１検査機構６の下流の第１経路
４ａと第２経路４ｂとの境界領域に設けられた第２検査
機構であり、チップＣの寸法すなわち、幅寸法Ｗないし
は高さ寸法Ｈが公差内に収まっているかを測定検査する
ための手段である。この第２検査機構７は、図６（ａ）
（ｂ）に示されており、図６（ａ）は、チップＣの幅寸
法Ｗを測定するため、第１経路４ａと第２経路４ｂとの
分離隙間４３に経路上方から帯状レーザー光Ｌを投光す
るレーザー投光器７ａと、経路下方に対向状に配され前
記帯状レーザー光Ｌを受光するレーザー受光器７ｂとを
備えている。図６（ｂ）では、チップＣの高さ寸法Ｈを
測定するため、前記レーザー投光器７ａを経路幅方向一
側に設け、他側に対向状にレーザー受光器７ｂを配して
いる。
４ａと第２経路４ｂとの境界領域に設けられた第２検査
機構であり、チップＣの寸法すなわち、幅寸法Ｗないし
は高さ寸法Ｈが公差内に収まっているかを測定検査する
ための手段である。この第２検査機構７は、図６（ａ）
（ｂ）に示されており、図６（ａ）は、チップＣの幅寸
法Ｗを測定するため、第１経路４ａと第２経路４ｂとの
分離隙間４３に経路上方から帯状レーザー光Ｌを投光す
るレーザー投光器７ａと、経路下方に対向状に配され前
記帯状レーザー光Ｌを受光するレーザー受光器７ｂとを
備えている。図６（ｂ）では、チップＣの高さ寸法Ｈを
測定するため、前記レーザー投光器７ａを経路幅方向一
側に設け、他側に対向状にレーザー受光器７ｂを配して
いる。
【００１７】そして、いずれの場合にも、適合しなかっ
た寸法不良チップＣ”を経路外に排除するため、レーザ
ー投光器７ａとレーザー受光器７ｂの近傍下流の第２経
路４ｂには、エアノズル７ｃと、該エアノズル７ｃから
排除された寸法不良チップＣ”を収容する回収箱７ｅと
を設け、かつ、エアノズル７ｃの作動タイミングを検出
するため、エアノズル７ｃと送り方向で略同一位置に光
電スイッチたとえば透過型光電スイッチ７ｄを対向配置
している。なお、エアノズル７ｃはホース７ｃ’を介し
てエアコントロールユニットＥに接続されている。
た寸法不良チップＣ”を経路外に排除するため、レーザ
ー投光器７ａとレーザー受光器７ｂの近傍下流の第２経
路４ｂには、エアノズル７ｃと、該エアノズル７ｃから
排除された寸法不良チップＣ”を収容する回収箱７ｅと
を設け、かつ、エアノズル７ｃの作動タイミングを検出
するため、エアノズル７ｃと送り方向で略同一位置に光
電スイッチたとえば透過型光電スイッチ７ｄを対向配置
している。なお、エアノズル７ｃはホース７ｃ’を介し
てエアコントロールユニットＥに接続されている。
【００１８】前記レーザー投光器７ａとレーザー受光器
７ｂは、これらの間にチップＣが介在することによりレ
ーザー帯を遮光した量により寸法測定を行なうものであ
り、レーザー受光器７ｂの出力側はコントローラＤに電
気的に接続され、該受光器またはコントローラにて遮光
量を電圧化し、コントローラＤではデジタルメーターリ
レーまたはＣＰＵにて寸法（ｍｍ）に換算し、かつその
寸法が公差以内かを判定するようになっている。そし
て、公差以内であったときには、コントローラＤからの
信号によりエアコントロールユニットＥの電磁弁をオフ
に保持してエアノズル７ｃからのエアの噴出を停止させ
ておき、公差外であったときには、前記透過型光電スイ
ッチ７ｄからの信号によりコントローラＤから電磁弁を
オン作動してエアノズル７ｃへエアを供給するようなシ
ームンスが組まれている。
７ｂは、これらの間にチップＣが介在することによりレ
ーザー帯を遮光した量により寸法測定を行なうものであ
り、レーザー受光器７ｂの出力側はコントローラＤに電
気的に接続され、該受光器またはコントローラにて遮光
量を電圧化し、コントローラＤではデジタルメーターリ
レーまたはＣＰＵにて寸法（ｍｍ）に換算し、かつその
寸法が公差以内かを判定するようになっている。そし
て、公差以内であったときには、コントローラＤからの
信号によりエアコントロールユニットＥの電磁弁をオフ
に保持してエアノズル７ｃからのエアの噴出を停止させ
ておき、公差外であったときには、前記透過型光電スイ
ッチ７ｄからの信号によりコントローラＤから電磁弁を
オン作動してエアノズル７ｃへエアを供給するようなシ
ームンスが組まれている。
【００１９】８，８’は前記第２検査機構７の下流に設
けられた第３検査機構であり、チップＣの欠けの有無、
表面性状（異物の付着、くぼみ等）の部分的形状不良を
検出するためのものである。該第３検査機構８，８’
は、図１のように、上流側と下流側でレンズ８０，８０
を反対方向に向けた第１，第２のＣＣＤカメラ８ａ，８
ｂを備え、第２経路４ｂを移動するチップＣの上面ｃ３
と下面ｃ４を撮影するようになっている。そして、それ
らＣＣＤカメラ８ａ，８ｂの下流近傍の第２経路４ｂに
は、それぞれエアノズル８ｃと、該エアノズル８ｃから
排除された不良チップＣ”を収容する回収箱８ｅとが設
けられており、かつ、エアノズル８ｃの作動タイミング
を検出するため、エアノズル８ｃと送り方向で略同一位
置には、光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ８ｄ
が対向配置されている。なお、エアノズル８ｃはホース
８ｃ’を介してエアコントロールユニットＥに接続され
ている。
けられた第３検査機構であり、チップＣの欠けの有無、
表面性状（異物の付着、くぼみ等）の部分的形状不良を
検出するためのものである。該第３検査機構８，８’
は、図１のように、上流側と下流側でレンズ８０，８０
を反対方向に向けた第１，第２のＣＣＤカメラ８ａ，８
ｂを備え、第２経路４ｂを移動するチップＣの上面ｃ３
と下面ｃ４を撮影するようになっている。そして、それ
らＣＣＤカメラ８ａ，８ｂの下流近傍の第２経路４ｂに
は、それぞれエアノズル８ｃと、該エアノズル８ｃから
排除された不良チップＣ”を収容する回収箱８ｅとが設
けられており、かつ、エアノズル８ｃの作動タイミング
を検出するため、エアノズル８ｃと送り方向で略同一位
置には、光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ８ｄ
が対向配置されている。なお、エアノズル８ｃはホース
８ｃ’を介してエアコントロールユニットＥに接続され
ている。
【００２０】前記各ＣＣＤカメラ８ａ，８ｂの出力部は
画像処理装置Ｆに電気的に接続され、画像処理装置Ｆは
コントローラＤに接続されている。該画像処理装置Ｆは
ＣＣＤカメラ８ａ，８ｂによって撮影された撮像を取り
込むとともに、暗明を図８（ａ）（ｂ）のように白黒画
面に置き換え処理して正常な面を白く、欠けなどのある
場合にはその部分を黒く表示する機能を少なくとも有し
ている。コントローラＤは黒の面積を正常なチツプの面
積と比較し、あらかじめ入力してある設定量よりも多か
どうかを判定する回路を有し、かつ設定量よりも黒の面
積が多い場合には、前記透過型光電スイッチ８ｅの信号
の入力を待って、電磁弁をオン作動させ、エアノズル８
ｃへエアを供給するシームンスが組まれている。
画像処理装置Ｆに電気的に接続され、画像処理装置Ｆは
コントローラＤに接続されている。該画像処理装置Ｆは
ＣＣＤカメラ８ａ，８ｂによって撮影された撮像を取り
込むとともに、暗明を図８（ａ）（ｂ）のように白黒画
面に置き換え処理して正常な面を白く、欠けなどのある
場合にはその部分を黒く表示する機能を少なくとも有し
ている。コントローラＤは黒の面積を正常なチツプの面
積と比較し、あらかじめ入力してある設定量よりも多か
どうかを判定する回路を有し、かつ設定量よりも黒の面
積が多い場合には、前記透過型光電スイッチ８ｅの信号
の入力を待って、電磁弁をオン作動させ、エアノズル８
ｃへエアを供給するシームンスが組まれている。
【００２１】９は前記前記第１検査機構６と第２検査機
構７の間の第１経路４ａに設けられた第１チップストッ
カーであり、第１検査機構６を通過したチップＣが前後
接触したまま第２検査機構７に進入することによる誤作
動すなわち、前後２つのチップＣ，Ｃを１つのチップと
誤認して後側のチップＣの寸法測定が行われないことを
防止するためのものである。９’は第１のＣＣＤカメラ
８ａと第２のＣＣＤカメラ８ｂの間の第２経路４ｂに設
けられた第２チップストッカーであり、第１のＣＣＤカ
メラ８ａを通過したチップＣ，Ｃが前後接触したまま第
２のＣＣＤカメラ８ｂに進入することによる誤作動すな
わち、前後２つのチップＣを１つのチップと誤認し、白
黒部分の面積が変化して不良と判定されてしまうことを
防止するためのものである。
構７の間の第１経路４ａに設けられた第１チップストッ
カーであり、第１検査機構６を通過したチップＣが前後
接触したまま第２検査機構７に進入することによる誤作
動すなわち、前後２つのチップＣ，Ｃを１つのチップと
誤認して後側のチップＣの寸法測定が行われないことを
防止するためのものである。９’は第１のＣＣＤカメラ
８ａと第２のＣＣＤカメラ８ｂの間の第２経路４ｂに設
けられた第２チップストッカーであり、第１のＣＣＤカ
メラ８ａを通過したチップＣ，Ｃが前後接触したまま第
２のＣＣＤカメラ８ｂに進入することによる誤作動すな
わち、前後２つのチップＣを１つのチップと誤認し、白
黒部分の面積が変化して不良と判定されてしまうことを
防止するためのものである。
【００２２】前記第１と第２のチップストッカー９，
９’は、図５のように、第１経路４ａと第２経路４ｂの
路面４０に当接可能なストッパ部９０を突設したストッ
パ９ａと、これを昇降するため、第２経路４ｂから立ち
上がるブラケツト９１に固定されたアクチュエータたと
えばエアシリンダ９ｂとを備えており、ストッパ９ａ
は、ストッパ部９０の上流側に、複数のチップＣの進入
を許す大きさの空隙部９２を形成している。常態におい
てストッパ９ａはチップＣの通過を許すように上昇され
ている。そして、前記ストッパ９ａの近傍下流に相当す
る第２経路４ｂには、ストッパ開閉用の光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ９ｄが対向配置されている。
また、空隙部９２の端部に対応する第２経路４ｂには、
満杯検出用の光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ
９ｅが対向配置されている。
９’は、図５のように、第１経路４ａと第２経路４ｂの
路面４０に当接可能なストッパ部９０を突設したストッ
パ９ａと、これを昇降するため、第２経路４ｂから立ち
上がるブラケツト９１に固定されたアクチュエータたと
えばエアシリンダ９ｂとを備えており、ストッパ９ａ
は、ストッパ部９０の上流側に、複数のチップＣの進入
を許す大きさの空隙部９２を形成している。常態におい
てストッパ９ａはチップＣの通過を許すように上昇され
ている。そして、前記ストッパ９ａの近傍下流に相当す
る第２経路４ｂには、ストッパ開閉用の光電スイッチた
とえば透過型光電スイッチ９ｄが対向配置されている。
また、空隙部９２の端部に対応する第２経路４ｂには、
満杯検出用の光電スイッチたとえば透過型光電スイッチ
９ｅが対向配置されている。
【００２３】前記アクチュエータ９ｂと透過型光電スイ
ッチ９ｄはコントローラＤに電気的に接続されており、
チップＣが第１チップストッカー９のストッパ部９０の
下方を過ぎて透過型光電スイッチ９ｄを遮光することに
よりその信号がコントローラＤに入力され、それにより
アクチュエータ９ｂが作動してストッパ部９０が路面４
０に接近するようにストッパ９ａを下降させ、そして、
チップＣが進行して第２検査機構７の透過型光電スイッ
チ７ｅが作動したときに、その信号を受けたコントロー
ラＤからの信号でアクチュエータ９ｂが作動してストッ
パ９ａを上昇させるプログラムが構築されている。
ッチ９ｄはコントローラＤに電気的に接続されており、
チップＣが第１チップストッカー９のストッパ部９０の
下方を過ぎて透過型光電スイッチ９ｄを遮光することに
よりその信号がコントローラＤに入力され、それにより
アクチュエータ９ｂが作動してストッパ部９０が路面４
０に接近するようにストッパ９ａを下降させ、そして、
チップＣが進行して第２検査機構７の透過型光電スイッ
チ７ｅが作動したときに、その信号を受けたコントロー
ラＤからの信号でアクチュエータ９ｂが作動してストッ
パ９ａを上昇させるプログラムが構築されている。
【００２４】同様に、第２チップストッカー９’におい
ても、チップＣが透過型光電スイッチ９ｄを遮光するこ
とによりその信号がコントローラＤに入力され、それに
よりアクチュエータ９ｂが作動し、ストッパ部９０が路
面４０に接近するようにストッパ９ａを下降させ、そし
て、チップＣが進行して第２のＣＣＤカメラ８ｂの透過
型光電スイッチ８ｄが作動したときに、その信号を受け
たコントローラＤからの信号でアクチュエータ９ｂが作
動してストッパ９ａを上昇させるプログラムが構築され
ている。
ても、チップＣが透過型光電スイッチ９ｄを遮光するこ
とによりその信号がコントローラＤに入力され、それに
よりアクチュエータ９ｂが作動し、ストッパ部９０が路
面４０に接近するようにストッパ９ａを下降させ、そし
て、チップＣが進行して第２のＣＣＤカメラ８ｂの透過
型光電スイッチ８ｄが作動したときに、その信号を受け
たコントローラＤからの信号でアクチュエータ９ｂが作
動してストッパ９ａを上昇させるプログラムが構築され
ている。
【００２５】前記のようにしてチップＣは順次供給され
るが、ストッパ９ａが下降している間にストッパ部９０
で進行が止められた複数のチップＣが空隙部９２を満た
したときには、満杯検出用の透過型光電スイッチ９ｅを
チップＣが遮光する。透過型光電スイッチ９ｅはタイマ
ーを介してコントローラＤに電気的に接続されており、
これにより、設定時間（たとえば３秒間）透過型光電ス
イッチ９ｅがオフの場合には、コントローラＤからの信
号によりチップ供給機２の振動部２ｂの作動が停止さ
れ、新たなチップＣの供給が停止されるようになってい
る。そして、チップＣのストック数が減り、透過型光電
スイッチ９ｅがオンとなったときに、コントローラＤか
らの信号によりチップ供給機２の振動部２ｂが再稼動さ
れるようにプログラムが構築されている。
るが、ストッパ９ａが下降している間にストッパ部９０
で進行が止められた複数のチップＣが空隙部９２を満た
したときには、満杯検出用の透過型光電スイッチ９ｅを
チップＣが遮光する。透過型光電スイッチ９ｅはタイマ
ーを介してコントローラＤに電気的に接続されており、
これにより、設定時間（たとえば３秒間）透過型光電ス
イッチ９ｅがオフの場合には、コントローラＤからの信
号によりチップ供給機２の振動部２ｂの作動が停止さ
れ、新たなチップＣの供給が停止されるようになってい
る。そして、チップＣのストック数が減り、透過型光電
スイッチ９ｅがオンとなったときに、コントローラＤか
らの信号によりチップ供給機２の振動部２ｂが再稼動さ
れるようにプログラムが構築されている。
【００２６】なお、第２検査機構７と第３検査機構８の
間隔によっては、チップストッカーは第１のものだけで
もよいし、場合によってはチップストッカー部は設けな
くてもよい。また第３検査機構８，８’はチップＣの平
面数のＣＣＤカメラを設けるので、場合によっては、上
方から撮像するもう１つのＣＣＤカメラを設けてもよ
い。整列検査機構５と、第１ないし第３検査機構６，
７，８の不合格チップＣ”を経路外に排除する手段はエ
アノズルが機構的に簡易であるため推奨されるが、場合
によっては、出没可能なピン類であってもよい。また、
本発明は、単列だけの場合に限らず、図２のように複列
としてもよい。
間隔によっては、チップストッカーは第１のものだけで
もよいし、場合によってはチップストッカー部は設けな
くてもよい。また第３検査機構８，８’はチップＣの平
面数のＣＣＤカメラを設けるので、場合によっては、上
方から撮像するもう１つのＣＣＤカメラを設けてもよ
い。整列検査機構５と、第１ないし第３検査機構６，
７，８の不合格チップＣ”を経路外に排除する手段はエ
アノズルが機構的に簡易であるため推奨されるが、場合
によっては、出没可能なピン類であってもよい。また、
本発明は、単列だけの場合に限らず、図２のように複列
としてもよい。
【００２７】
【実施例の作用】次に本発明の作用を説明する。チップ
Ｃの検査に当たっては、チップ供給機２にチップＣを投
入し、振動部２ｂを作動してチップＣを経路２ｃに順次
送り出すとともに、第１経路４ａと第２経路４ｂの直進
フィーダ４００，４１０を作動する。チップＣが振動に
より送られて経路２ｃを進行すると、チップ整列検査機
構５にいたる。この領域では上流側光電スイッチ５ａと
下流側光電スイッチ５ｂの各投光部５１，５１から光線
が照射されており、その直近下流ではエアノズル５ｃか
ら所定の圧力のエアが経路２ｃの幅方向に噴出されてい
る。
Ｃの検査に当たっては、チップ供給機２にチップＣを投
入し、振動部２ｂを作動してチップＣを経路２ｃに順次
送り出すとともに、第１経路４ａと第２経路４ｂの直進
フィーダ４００，４１０を作動する。チップＣが振動に
より送られて経路２ｃを進行すると、チップ整列検査機
構５にいたる。この領域では上流側光電スイッチ５ａと
下流側光電スイッチ５ｂの各投光部５１，５１から光線
が照射されており、その直近下流ではエアノズル５ｃか
ら所定の圧力のエアが経路２ｃの幅方向に噴出されてい
る。
【００２８】チップＣが検査に適合する姿勢ないし方向
すなわち、図示するような上面ｃ３と下面ｃ４を横に向
けた姿勢である場合には、投光部５１からの光線は後端
面ｃ２と先端傾斜面ｃ１とにそれぞれ入射され、後端面
ｃ２と先端傾斜面ｃ１に当たって反射された光線が受光
部５２，５２に受光される。このように入反射が上流側
光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂともに得ら
れた場合には、これを入力したコントローラＤからの信
号で電磁弁が閉じられ、エアノズル５ｃからのエア吹出
しが所定時間だけ止められる。これに対して、チップＣ
が前記以外の姿勢である場合には、上流側光電スイッチ
５ａと下流側光電スイッチ５ｂのいずれか一方におい
て、投光部５１からの光線が反射して受光部５２に戻っ
てこなくなる。この場合には、エアノズル５ｃからのエ
ア吹出しが停止されない。このため、不良チップＣ”は
側面からのエア圧を受けて経路２ｃから吹き飛ばされ、
チップ供給機２内に自動的に戻される。
すなわち、図示するような上面ｃ３と下面ｃ４を横に向
けた姿勢である場合には、投光部５１からの光線は後端
面ｃ２と先端傾斜面ｃ１とにそれぞれ入射され、後端面
ｃ２と先端傾斜面ｃ１に当たって反射された光線が受光
部５２，５２に受光される。このように入反射が上流側
光電スイッチ５ａと下流側光電スイッチ５ｂともに得ら
れた場合には、これを入力したコントローラＤからの信
号で電磁弁が閉じられ、エアノズル５ｃからのエア吹出
しが所定時間だけ止められる。これに対して、チップＣ
が前記以外の姿勢である場合には、上流側光電スイッチ
５ａと下流側光電スイッチ５ｂのいずれか一方におい
て、投光部５１からの光線が反射して受光部５２に戻っ
てこなくなる。この場合には、エアノズル５ｃからのエ
ア吹出しが停止されない。このため、不良チップＣ”は
側面からのエア圧を受けて経路２ｃから吹き飛ばされ、
チップ供給機２内に自動的に戻される。
【００２９】かくして、前記チップ整列検査機構５を通
過することにより、正常な姿勢ないし方向のチップＣだ
けが経路２ｃから第１経路４ａに送り出され、直進フィ
ーダ４０により下流に送られる。ついで、正常な姿勢の
チップＣが第１検査機構６にいたると、この領域に設け
られている透過型光電スイッチ６ｄを遮光するため、ゲ
ート６ａに進入したことが確認され、同時にタイマーが
作動して透過型光電スイッチ６ｄのオフ時間が計測され
る。ゲート６ａはチップＣの幅Ｗと高さＨの寸法公差上
限に則した形状寸法の検出用切欠き６０を有しているた
め、チップＣが異形状でなく異物も付着していない場合
には、検出用切欠き６０をスムーズに通過する。この場
合には、タイマーの設定時間以内であるため、エアノズ
ル６ｃからエアは噴出されない。
過することにより、正常な姿勢ないし方向のチップＣだ
けが経路２ｃから第１経路４ａに送り出され、直進フィ
ーダ４０により下流に送られる。ついで、正常な姿勢の
チップＣが第１検査機構６にいたると、この領域に設け
られている透過型光電スイッチ６ｄを遮光するため、ゲ
ート６ａに進入したことが確認され、同時にタイマーが
作動して透過型光電スイッチ６ｄのオフ時間が計測され
る。ゲート６ａはチップＣの幅Ｗと高さＨの寸法公差上
限に則した形状寸法の検出用切欠き６０を有しているた
め、チップＣが異形状でなく異物も付着していない場合
には、検出用切欠き６０をスムーズに通過する。この場
合には、タイマーの設定時間以内であるため、エアノズ
ル６ｃからエアは噴出されない。
【００３０】しかし、寸法の一部または全部が大きかっ
たり、異物が付着して大きくなっているような場合に
は、検出用切欠き６０にひっかかり、スムーズに通過で
きない。このときには、タイマーの設定時間を過ぎるこ
とによりコントローラＤからの信号でアクチュエータ６
ｂが作動してゲート６ａが上昇される。それと同時に、
エアノズル６ｃからエアが噴出される。これにより異形
状または異物付着などの形状不良チップＣ”は側面から
のエア圧を受けて第１経路４ａから吹き飛ばされ、回収
箱６ｄに回収される。
たり、異物が付着して大きくなっているような場合に
は、検出用切欠き６０にひっかかり、スムーズに通過で
きない。このときには、タイマーの設定時間を過ぎるこ
とによりコントローラＤからの信号でアクチュエータ６
ｂが作動してゲート６ａが上昇される。それと同時に、
エアノズル６ｃからエアが噴出される。これにより異形
状または異物付着などの形状不良チップＣ”は側面から
のエア圧を受けて第１経路４ａから吹き飛ばされ、回収
箱６ｄに回収される。
【００３１】このように第１検査機構６で粗い寸法外観
検査が行われたのち、適合したチップＣは直進フィーダ
４０により下流に送られる。この領域には、第１チップ
ストッカー９が位置しており、ストッパ９ａはアクチュ
エータ９ｂにより引き上げられて上昇位置にあるため、
チップＣはストッパ９ａの下方を通過し、透過型光電ス
イッチ９ｄを遮光する。すると、その信号がコントロー
ラＤに入力されることによりアクチュエータ９ｂが作動
し、ストッパ部９０が路面４０に接近するようにストッ
パ９ａが下降させられる。したがって、後続のチップＣ
は一時的に進行が止められる。
検査が行われたのち、適合したチップＣは直進フィーダ
４０により下流に送られる。この領域には、第１チップ
ストッカー９が位置しており、ストッパ９ａはアクチュ
エータ９ｂにより引き上げられて上昇位置にあるため、
チップＣはストッパ９ａの下方を通過し、透過型光電ス
イッチ９ｄを遮光する。すると、その信号がコントロー
ラＤに入力されることによりアクチュエータ９ｂが作動
し、ストッパ部９０が路面４０に接近するようにストッ
パ９ａが下降させられる。したがって、後続のチップＣ
は一時的に進行が止められる。
【００３２】先行するチップＣが第２検査機構７の領域
にいたると、ここでは第１経路４ａと第２経路４ｂとの
分離隙間４３にレーザー投光器７ａからレーザー受光器
７ｂに帯状レーザー光Ｌが投光されている。このため、
かかる帯状レーザー光ＬをチップＣが横切ることによ
り、帯状レーザー光Ｌは遮光され、その遮光量が電圧に
変換されてコントローラＤに送られることにより厚さ寸
法または幅寸法に換算される。それとともにあらかじめ
入力してある公差と比較され、公差内であった場合に
は、エアノズル７ｃからエアは噴出されない。しかし、
公差外であった場合には、レーザー投光器７ａおよびレ
ーザー受光器７ｂの直近下流の透過型光電スイッチ７ｄ
でチップＣの通過を確認した瞬間、透過型光電スイッチ
７ｄからの信号を受けたコントローラＤからの信号によ
りエアノズル７ｃが作動してエアが噴出される。これに
より寸法不良のチップＣ”は側面からのエア圧を受けて
自動的に第２経路４ｂから吹き飛ばされ、回収箱７ｅに
回収される。
にいたると、ここでは第１経路４ａと第２経路４ｂとの
分離隙間４３にレーザー投光器７ａからレーザー受光器
７ｂに帯状レーザー光Ｌが投光されている。このため、
かかる帯状レーザー光ＬをチップＣが横切ることによ
り、帯状レーザー光Ｌは遮光され、その遮光量が電圧に
変換されてコントローラＤに送られることにより厚さ寸
法または幅寸法に換算される。それとともにあらかじめ
入力してある公差と比較され、公差内であった場合に
は、エアノズル７ｃからエアは噴出されない。しかし、
公差外であった場合には、レーザー投光器７ａおよびレ
ーザー受光器７ｂの直近下流の透過型光電スイッチ７ｄ
でチップＣの通過を確認した瞬間、透過型光電スイッチ
７ｄからの信号を受けたコントローラＤからの信号によ
りエアノズル７ｃが作動してエアが噴出される。これに
より寸法不良のチップＣ”は側面からのエア圧を受けて
自動的に第２経路４ｂから吹き飛ばされ、回収箱７ｅに
回収される。
【００３３】したがって、この第２検査機構７を通過す
ることにより、寸法が公差内に収まったチップＣだけが
下流に進行する。そして、このチップＣは第３検査機構
８にいたり、第１のＣＣＤカメラ８ａにより上面ｃ３ま
たは下面ｃ４が撮影される。この撮像は画像処理装置Ｆ
に送られて図８のように、正常な面を白く、欠けやくぼ
み等のある部分が黒く表示されるように転換され、それ
とともに黒色部分の面積が計算され、良品の場合と比較
される。その黒色の面積が所定量よりも多いと判断され
た場合には、第１のＣＣＤカメラ８ａの直近下流の透過
型光電スイッチ８ｄで不良チップＣ”を検出した瞬間、
透過型光電スイッチ８ｄからの信号を受けたコントロー
ラＤからの信号によりエアノズル８ｃが作動してエアが
噴出される。これにより、寸法不良のチップＣ”は側面
からのエア圧を受けて第２経路４ｂから吹き飛ばされ、
回収箱８ｅに回収される。
ることにより、寸法が公差内に収まったチップＣだけが
下流に進行する。そして、このチップＣは第３検査機構
８にいたり、第１のＣＣＤカメラ８ａにより上面ｃ３ま
たは下面ｃ４が撮影される。この撮像は画像処理装置Ｆ
に送られて図８のように、正常な面を白く、欠けやくぼ
み等のある部分が黒く表示されるように転換され、それ
とともに黒色部分の面積が計算され、良品の場合と比較
される。その黒色の面積が所定量よりも多いと判断され
た場合には、第１のＣＣＤカメラ８ａの直近下流の透過
型光電スイッチ８ｄで不良チップＣ”を検出した瞬間、
透過型光電スイッチ８ｄからの信号を受けたコントロー
ラＤからの信号によりエアノズル８ｃが作動してエアが
噴出される。これにより、寸法不良のチップＣ”は側面
からのエア圧を受けて第２経路４ｂから吹き飛ばされ、
回収箱８ｅに回収される。
【００３４】かくして一面の形状検査がなされたチップ
Ｃは直進フィーダ４１により下流に送られる。この領域
には、第２チップストッカー９’が設けられており、ス
トッパ９ａは上昇位置にあるため、チップＣはストッパ
９ａの下方を通過し、その下流で透過型光電スイッチ９
ｄを遮光すると、その信号がコントローラＤに入力され
ることによりアクチュエータ９ｂが作動し、ストッパ部
９０が路面４０に接近するようにストッパ９ａが下降さ
せられる。したがって、後続のチップＣは一時的に進行
が止められ、自動的に所定の間隔があけられる。先行す
るチップＣは続いて第３検査機構８’にいたり、第２の
ＣＣＤカメラ８ｂにより下面ｃ４または上面ｃ３が撮影
され、前記のように画像処理され、寸法不良のチップ
Ｃ”は側面からのエア圧を受けて第２経路４ｂから吹き
飛ばされ、回収箱８ｅに回収される。そして検査済み良
品チップＣ’は第２経路４ｂの端末に達し、ここからボ
ックスＢに収容される。以上、本発明の実施例を説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものでないこ
とは勿論である。
Ｃは直進フィーダ４１により下流に送られる。この領域
には、第２チップストッカー９’が設けられており、ス
トッパ９ａは上昇位置にあるため、チップＣはストッパ
９ａの下方を通過し、その下流で透過型光電スイッチ９
ｄを遮光すると、その信号がコントローラＤに入力され
ることによりアクチュエータ９ｂが作動し、ストッパ部
９０が路面４０に接近するようにストッパ９ａが下降さ
せられる。したがって、後続のチップＣは一時的に進行
が止められ、自動的に所定の間隔があけられる。先行す
るチップＣは続いて第３検査機構８’にいたり、第２の
ＣＣＤカメラ８ｂにより下面ｃ４または上面ｃ３が撮影
され、前記のように画像処理され、寸法不良のチップ
Ｃ”は側面からのエア圧を受けて第２経路４ｂから吹き
飛ばされ、回収箱８ｅに回収される。そして検査済み良
品チップＣ’は第２経路４ｂの端末に達し、ここからボ
ックスＢに収容される。以上、本発明の実施例を説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものでないこ
とは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明した本発明の請求項１によれ
ば、チップ供給機２からの排出経路に、チップの姿勢を
光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路
外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構５を設
け、該チップ整列検査機構５よりも下流の経路には、チ
ップの公差上限寸法の検出用切欠き６０を有する昇降自
在なゲート６ａとこの検出用切欠き６０を通過しえない
チップＣ”を経路外に排除する手段とを備えた形状検査
用の第１検査機構６を設け、該第１検査機構６の下流の
経路には、レーザー帯の投光器７ａと受光器７ｂを備え
た光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経路外に排
除する手段とを備えた寸法検査用の第２検査機構７を設
けたので、異形状や異物付着があったり寸法が交差外の
チップが自動的に排除され、外観と寸法の良好なチップ
だけを能率よくまた精度よく選別することができるとい
うすぐれた効果が得られる。
ば、チップ供給機２からの排出経路に、チップの姿勢を
光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップを経路
外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構５を設
け、該チップ整列検査機構５よりも下流の経路には、チ
ップの公差上限寸法の検出用切欠き６０を有する昇降自
在なゲート６ａとこの検出用切欠き６０を通過しえない
チップＣ”を経路外に排除する手段とを備えた形状検査
用の第１検査機構６を設け、該第１検査機構６の下流の
経路には、レーザー帯の投光器７ａと受光器７ｂを備え
た光学的寸法検出手段と寸法不合格チップを経路外に排
除する手段とを備えた寸法検査用の第２検査機構７を設
けたので、異形状や異物付着があったり寸法が交差外の
チップが自動的に排除され、外観と寸法の良好なチップ
だけを能率よくまた精度よく選別することができるとい
うすぐれた効果が得られる。
【００３６】請求項２によれば、第２検査機構７よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラ８ａと該
カメラ８ａによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の
有無を検出する手段と、不合格品を経路外に排除する手
段とを備えた部分不良検査用の第３検査機構８を設けた
ので、請求項１の効果に加えて、部分的に欠けやくぼみ
があったりするチップが自動的に排除され、形状、寸
法、外観の全体が良好なチップを能率よくまた精度よく
選別することができるというすぐれた効果が得られる。
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラ８ａと該
カメラ８ａによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の
有無を検出する手段と、不合格品を経路外に排除する手
段とを備えた部分不良検査用の第３検査機構８を設けた
ので、請求項１の効果に加えて、部分的に欠けやくぼみ
があったりするチップが自動的に排除され、形状、寸
法、外観の全体が良好なチップを能率よくまた精度よく
選別することができるというすぐれた効果が得られる。
【００３７】請求項３によれば、第１検査機構６と第２
検査機構７の間にチップが連なって進行するのを防止す
るための昇降自在なストッパー９ａを備えたチップスト
ッカー９を配しているため、第１検査機構６を通過した
複数のチップＣが前後接触したまま第２検査機構７に進
入することによる誤作動すなわち、前後のチップＣ，Ｃ
を１つのチップと誤認して後側のチップＣの寸法測定が
行われないことを防止でき、精度のよい検査を円滑に行
なうことができるというすぐれた効果が得られる。
検査機構７の間にチップが連なって進行するのを防止す
るための昇降自在なストッパー９ａを備えたチップスト
ッカー９を配しているため、第１検査機構６を通過した
複数のチップＣが前後接触したまま第２検査機構７に進
入することによる誤作動すなわち、前後のチップＣ，Ｃ
を１つのチップと誤認して後側のチップＣの寸法測定が
行われないことを防止でき、精度のよい検査を円滑に行
なうことができるというすぐれた効果が得られる。
【００３８】請求項４，５，６，７によれば、光学系要
素を用いるためチップ整列検査機構をはじめとする各検
査機構の構造を簡易化できるとともに、チップを損傷せ
ずまた、精度を高くすることができるというすぐれた効
果が得られる。
素を用いるためチップ整列検査機構をはじめとする各検
査機構の構造を簡易化できるとともに、チップを損傷せ
ずまた、精度を高くすることができるというすぐれた効
果が得られる。
【図１】本発明によるスローアウェイチップ類の検査装
置の一例を示す斜視図である。
置の一例を示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】本発明におけるチップ整列検査機構の斜視図で
ある。
ある。
【図４】本発明における形状検査用の第１検査機構の斜
視図である。
視図である。
【図５】本発明におけるチップストッカーの斜視図であ
る。
る。
【図６】（ａ）は本発明における寸法検査用の第２検査
機構の第１例を示す斜視図（ｂ）は同じくその第２例を
示す斜視図である。
機構の第１例を示す斜視図（ｂ）は同じくその第２例を
示す斜視図である。
【図７】本発明で検査対象とするスローアウェイチップ
の一例を示す斜視図である。
の一例を示す斜視図である。
【図８】本発明における第３検査機構により処理された
正常チップ画像の平面図（ｂ）は本発明における第３検
査機構により処理された不良チップ画像の平面図であ
る。
正常チップ画像の平面図（ｂ）は本発明における第３検
査機構により処理された不良チップ画像の平面図であ
る。
【図９】本発明における制御系を模式的に示す説明図で
ある。
ある。
２ｃ 経路 ４ａ 第１経路 ４ｂ 第２経路 ５ チップ整列検査機構 ５ａ 上流側光電スイッチ ５ｂ 下流側光電スイッチ ５ｃ エアノズル ６ 第１検査機構 ６ａ ゲート ６ｃ エアノズル ６ｄ 光電スイッチ ７ 第２検査機構 ７ａ レーザー投光器 ７ｂ レーザー受光器 ７ｃ エアノズル ７ｄ 光電スイッチ ８ 第３検査機構 ８ａ，８ｂ ＣＣＤカメラ ８ｄ 光電スイッチ ９ チツプストッカー ９ａ ストッパ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｂ 21/00 Ｇ０１Ｂ 21/00 Ｈ
Claims (6)
- 【請求項１】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップ
を経路外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構
を設け、該チップ整列検査機構よりも下流の経路には、
チップの公差上限寸法の検出用切欠きを有する昇降自在
なゲートとこの検出用切欠きを通過しえないチップを経
路外に排除する手段とを備えた形状検査用の第１検査機
構を設け、該第１検査機構の下流の経路には、レーザー
帯の投光器と受光器を備えた光学的寸法検出手段と寸法
不合格チップを経路外に排除する手段とを備えた寸法検
査用の第２検査機構を設けたことを特徴とするスローア
ウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項２】チップ供給機からの排出経路に、チップの
姿勢を光学的に検出する手段と一定の姿勢以外のチップ
を経路外に排除する手段とを備えたチップ整列検査機構
を設け、該チップ整列検査機構よりも下流の経路には、
チップの公差上限寸法の検出用切欠きを有する昇降自在
なゲートとこの検出用切欠きを通過しえないチップを経
路外に排除する手段とを備えた形状検査用の第１検査機
構を設け、該第１検査機構の下流の経路には、レーザー
帯の投光器と受光器を備えた光学的寸法検出手段と寸法
不合格チップを経路外に排除する手段とを備えた寸法検
査用の第２検査機構を設け、かつ、第２検査機構よりも
さらに下流に、チップの表面を撮影するカメラと該カメ
ラによる撮像を処理して欠け等の部分的不良の有無を検
出する手段と、不合格品を経路外に排除する手段とを備
えた部分不良検査用の第３検査機構を設けたことを特徴
とするスローアウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項３】前記第１検査機構と第２検査機構の間にチ
ップが連なって進行するのを防止するための昇降自在な
ストッパーを備えたチップストッカーを配しているもの
を含む請求項１または請求項２に記載のスローアウェイ
チップ類の検査装置。 - 【請求項４】チップ整列検査機構のチップの姿勢を光学
的に検出する手段が、チップの先端部と後端部に対して
光線を照射して反射光を受光する２つの反射型光電スイ
ッチであり、一定の姿勢以外のチップを経路外に排除す
る手段が、前記反射型光電スイッチの近傍下流に配され
たエアノズルである請求項１または請求項２に記載のス
ローアウェイチップ類の検査装置。 - 【請求項５】第１検査機構のゲートがアクチュエータに
より経路上に下降されるようになっており、検出用切欠
きを通過しえないチップを経路外に排除する手段が、ゲ
ート近傍上流に配されたエアノズルと、これの近傍にあ
ってチップの進入を検知する光電スイッチである請求項
１または請求項２に記載のスローアウェイチップ類の検
査装置。 - 【請求項６】第２検査機構の投光器と受光器が前後の経
路の隙間部にレーザー帯を投受光するように対向配置さ
れており、寸法不合格チップを経路外に排除する手段
が、投光器と受光器の近傍下流に配されたエアノズル
と、これの近傍にあってチップの通過を検知する光電ス
イッチである請求項１または請求項２に記載のスローア
ウェイチップ類の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03407298A JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03407298A JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11217116A true JPH11217116A (ja) | 1999-08-10 |
| JP3393056B2 JP3393056B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=12404071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03407298A Expired - Fee Related JP3393056B2 (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | スローアウェイチップ類の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3393056B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003024876A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-28 | Rohm Co Ltd | チップ型部品の選別装置 |
| JP2007278915A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Tateyama Machine Kk | 工具欠陥検査装置と工具欠陥検査方法 |
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| CN112570295A (zh) * | 2020-11-29 | 2021-03-30 | 盐城东山精密制造有限公司 | 一种智能化led自动分拣系统 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP03407298A patent/JP3393056B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3393056B2 (ja) | 2003-04-07 |
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