JPH11214947A - Package structure for piezoelectric device - Google Patents

Package structure for piezoelectric device

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JPH11214947A
JPH11214947A JP2388298A JP2388298A JPH11214947A JP H11214947 A JPH11214947 A JP H11214947A JP 2388298 A JP2388298 A JP 2388298A JP 2388298 A JP2388298 A JP 2388298A JP H11214947 A JPH11214947 A JP H11214947A
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JP
Japan
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package
piezoelectric
piezoelectric device
vibrator
inner bottom
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JP2388298A
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Inventor
Yusuke Sugimoto
裕介 杉本
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a piezoelectric device thin and to improve shock resistance by improving a supporting structure of a piezoelectric vibrator in a ceramic package in a piezoelectric device, which supports a piezoelectric vibrator such as a quartz oscillator inside a package in cantilever and seals it airtightly. SOLUTION: In this piezoelectric device 2, which supports a piezoelectric vibrator 24 on a pad 32 in a recessed part of a package via conductive adhesives 23 in cantilever and seals the recessed part airtightly with a cover 26, an inner bottom plane 21a of the recessed part of the package is an inclination plane, one end part of the vibrator 24 is supported on the pad that is provided on a lower side of the plane 21a via the adhesives 23 in cantilever and also, the other end of the vibrator 24 is arranged, facing an upper side of the plane 21a with a microscopic.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は水晶振動子等の圧電
振動子をパッケージ内部に片持ち状態で支持して気密封
止した構成の圧電デバイスの改良に関し、詳細にはセラ
ミックパッケージ内における圧電振動子の支持構造を改
良することにより、圧電デバイスの薄型化を達成した圧
電デバイスのパッケージ構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a piezoelectric device having a structure in which a piezoelectric vibrator such as a quartz vibrator is supported in a cantilever state in a package and hermetically sealed. More specifically, the present invention relates to a piezoelectric vibrator in a ceramic package. The present invention relates to a package structure of a piezoelectric device in which the thickness of a piezoelectric device is reduced by improving a supporting structure of a child.

【0002】[0002]

【従来の技術】水晶振動子等の圧電振動子をパッケージ
内に気密封止した構造の圧電デバイスは、各種通信機
器、OA機器等の電子機器において基準周波数発生源等
として使用されているが、これら電子機器の小型化、薄
型化に伴って圧電デバイスに対しても小型化、薄型化が
強く求められている。図4は従来の水晶振動子を用いた
圧電デバイスのパッケージ構造の一例を示す縦断面図で
あり、この圧電デバイスは、セラミックパッケージ1の
凹所内底面に対向配置された2つの段差2、3のうちの
一方の段差2の上面に導電性接着剤4を介して水晶振動
子5を片持ち状態で支持した上で、この凹所の開口(外
枠上面1a)を金属蓋6により気密封止した構成を有す
る。水晶振動子5は、水晶素板の表裏両面に励振電極
と、各励振電極から夫々素板端縁に導出されたリードと
を形成した構成を有し、各リードはパッケージ外底面に
設けた入力及び出力電極7、8に対して導体10、1
1、パッド12を介して接続されている。2つの段差
2、3の上面はパッケージ内底面1bと同様に水平に構
成されていると共に、各段差2、3の上面の高さ、面積
は同等に設定されている。このことにより、水晶振動子
5を実装する際の方向性をなくして、水晶振動子5をい
ずれの段差2、3上に片持ち支持してもよいように構成
している。また、導電性接着剤4により支持された一端
部と反対側の水晶振動子5の他端部は他方の段差3の上
面から所定距離浮いた状態で支持されている。このよう
に他方の段差3を非接触状態で水晶振動子5の他端と対
向させておくのは、圧電デバイスを含む機器が落下した
時等のように外部から衝撃が加わった時に、変形した水
晶振動子の他端部が段差3の上面と接触して衝撃を吸収
されて破損を免れるための、所謂枕部材としての機能を
発揮させるためである。
2. Description of the Related Art Piezoelectric devices having a structure in which a piezoelectric vibrator such as a crystal vibrator is hermetically sealed in a package are used as a reference frequency generating source in electronic devices such as various communication devices and OA devices. As electronic devices become smaller and thinner, piezoelectric devices are also required to be smaller and thinner. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing an example of a package structure of a conventional piezoelectric device using a crystal unit. This piezoelectric device is composed of two steps 2 and 3 opposed to each other on the inner bottom surface of the recess of the ceramic package 1. A quartz oscillator 5 is supported in a cantilever state on the upper surface of one of the steps 2 via a conductive adhesive 4, and the opening of the recess (upper frame upper surface 1 a) is hermetically sealed with a metal lid 6. It has a configuration as described below. The crystal resonator 5 has a configuration in which excitation electrodes and leads led out from the respective excitation electrodes to the edges of the plate are formed on both front and back surfaces of the crystal blank. And conductors 10, 1 with respect to output electrodes 7, 8
1, connected via a pad 12. The upper surfaces of the two steps 2 and 3 are formed horizontally, similarly to the package inner bottom surface 1b, and the heights and areas of the upper surfaces of the steps 2 and 3 are set to be equal. Thus, the crystal oscillator 5 can be cantilevered on any of the steps 2 and 3 without directionality when the crystal oscillator 5 is mounted. The other end of the quartz oscillator 5 opposite to the one end supported by the conductive adhesive 4 is supported by being floated a predetermined distance from the upper surface of the other step 3. The other step 3 is opposed to the other end of the crystal unit 5 in a non-contact state because the step 3 is deformed when an external impact is applied such as when a device including a piezoelectric device is dropped. This is because the other end of the crystal unit comes into contact with the upper surface of the step 3 so as to exhibit a function as a so-called pillow member for absorbing a shock and avoiding breakage.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の水晶振動子のパッケージは次のような欠点を有する。
まず、プリント基板上に実装する部品の小型、薄型化の
要請に伴ってセラミックパッケージを薄型化する際に、
上記セラミックパッケージの内底面1bが水晶振動子5
の中央部と接触してはならず、しかも枕部材となる段差
3を含めて段差を2か所設ける必要がある為、パッケー
ジ内部は合計3段構造となり、これが薄型化を阻害する
要因となっている。また、パッケージ内部に水晶振動子
5を実装する際に方向性をもたせないようにするため
に、段差2、3の高さは同一レベルに設定する必要があ
るが、このことによって水晶振動子5の他端と枕部材と
なる段差3の上面との間の隙間が過大になり、これがパ
ッケージの薄型化を阻害する要因となっていた。即ち、
水晶振動子5の一端を段差2上に導電接着剤4を介して
片持ちする結果、水晶振動子5の一端下面と段差2上面
との間に位置する導電性接着剤4の肉厚分だけ、水晶振
動子の他端と段差3上面との間の隙間が大きくなるとい
う問題があった。しかし、衝撃を吸収緩和する効果から
すらば、上記隙間はできる限り小さい方が好ましく、上
記従来の水晶振動子の支持構造において隙間を小さくす
るには限界があった。本発明が解決しようとする課題
は、水晶振動子等の圧電振動子をパッケージ内部に片持
ち状態で支持して気密封止した構成の圧電デバイスにお
いて、セラミックパッケージ内における圧電振動子の支
持構造を改良することにより、圧電デバイスの薄型化、
及び耐衝撃性の向上を達成することにある。
However, the above-mentioned conventional package of the crystal resonator has the following disadvantages.
First, when the thickness of the ceramic package is reduced due to the demand for smaller and thinner components mounted on the printed circuit board,
The inner bottom surface 1b of the ceramic package is a quartz oscillator 5
Must not be in contact with the central part of the package, and it is necessary to provide two steps including the step 3 serving as a pillow member. Therefore, the inside of the package has a total of three steps, which hinders the reduction in thickness. ing. The height of the steps 2 and 3 needs to be set to the same level in order not to give directionality when mounting the crystal unit 5 inside the package. The gap between the other end of the package and the upper surface of the step 3 serving as a pillow member becomes excessively large, which is a factor that hinders the reduction in thickness of the package. That is,
As a result of cantilevering one end of the crystal unit 5 on the step 2 via the conductive adhesive 4, only the thickness of the conductive adhesive 4 located between the lower surface of one end of the crystal unit 5 and the upper surface of the step 2 is obtained. In addition, there is a problem that a gap between the other end of the crystal unit and the upper surface of the step 3 becomes large. However, in view of the effect of absorbing and relaxing the impact, it is preferable that the gap is as small as possible, and there is a limit in reducing the gap in the above-described conventional crystal oscillator supporting structure. The problem to be solved by the present invention is to provide a piezoelectric device having a structure in which a piezoelectric vibrator such as a crystal vibrator is supported in a cantilever state inside a package and hermetically sealed, and a supporting structure of the piezoelectric vibrator in a ceramic package is provided. By making improvements, thinning of piezoelectric devices,
And to improve the impact resistance.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、請求項1の発明は、パッケージの凹所内のパッド上
に導電性接着剤を介して圧電振動子を片持ち状態で支持
した状態で該凹所を蓋により気密封止した構造の圧電デ
バイスにおいて、該パッケージの凹所の内底面を傾斜面
とし、該内底面の下り側に設けたパッド上に導電性接着
剤を介して圧電振動子の一端部を片持ち状態で支持する
と共に、該圧電振動子の他端部を内底面の上り側と微小
ギャップを隔てて対向配置したことを特徴とする。請求
項2の発明は、上記パッケージの凹所の内底面を、二次
曲線状の傾斜面としたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, a piezoelectric vibrator is supported in a cantilever manner on a pad in a recess of a package via a conductive adhesive. In a piezoelectric device having a structure in which the recess is hermetically sealed with a lid, an inner bottom surface of the recess of the package is formed as an inclined surface, and a piezoelectric vibration is applied to a pad provided on a downside of the inner bottom surface via a conductive adhesive. One end of the piezoelectric element is supported in a cantilever state, and the other end of the piezoelectric vibrator is opposed to a rising side of an inner bottom surface with a small gap therebetween. The invention according to claim 2 is characterized in that the inner bottom surface of the recess of the package is a quadratic curved inclined surface.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示した形態
例により詳細に説明する。図1は本発明の一形態例の圧
電デバイスのパッケージ構造を示す縦断面図であり、こ
の圧電デバイス20は、上面に凹所22を有したセラミ
ックパッケージ21と、セラミックパッケージ21の内
底面21aの一端寄り位置に導電性接着剤23を介して
一端縁を片持ち状態で支持された水晶振動子(圧電振動
子)24と、パッケージ21の外枠上面21a上にシー
ムリング等25を介して固定されることにより凹所22
を気密封止する金属蓋26等を有する。水晶振動子24
は短冊形状の水晶素板の表裏両面に励振電極と、各励振
電極から夫々素板端縁に導出されたリードとを蒸着等に
より形成した構成を有し、各リードはパッケージ外底面
に設けた入力及び出力電極27、28に対して導体3
0、31、パッド32を介して接続されている。この形
態例の特徴的な構成は、パッケージ内底面21aを図面
左方の一端縁から図面右方の他端縁に向けて上向きに傾
斜させると共に、傾斜した内底面21aの下り位置に設
けたパッド32上には導電性接着剤23を介して水晶振
動子24の一端部が片持ち状態で固定され、水晶振動子
24の他端は、傾斜した内底面21aの上り側の適所と
所定の微小ギャップを隔てて対向配置されている。上記
構成を備えたセラミックパッケージ21は、導電性接着
剤23によって保持されていない水晶振動子の他端側は
パッケージ内底面との間に微小なギャップを有している
為、パッケージ内底面自体が衝撃を吸収する機能を発揮
することとなり、格別な枕部材を突出させることによる
パッケージ高さの増大を免れることができる。換言すれ
ば、上記従来例のパッケージのような枕部材を設ける為
のパッケージ内の3段構造化とそれに伴う高さ増を招く
ことなく、2段構造による薄型化を図ることができる。
なお、上記形態例のパッケージの内底面は、直線的に延
びる傾斜面となっているが、これは一例であり、例えば
図2に示した如き二次曲線状に湾曲傾斜する内底面であ
ってもよい。なお、本発明において使用する圧電振動子
は、水晶振動子に限らず、種々の圧電材料を使用可能で
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a package structure of a piezoelectric device according to an embodiment of the present invention. This piezoelectric device 20 includes a ceramic package 21 having a recess 22 on the upper surface and an inner bottom surface 21a of the ceramic package 21. A quartz vibrator (piezoelectric vibrator) 24 whose one end is supported in a cantilever state via a conductive adhesive 23 at a position close to one end, and fixed on the outer frame upper surface 21a of the package 21 via a seam ring 25 or the like. The recess 22
And a metal lid 26 for hermetically sealing the device. Crystal oscillator 24
Has a configuration in which excitation electrodes on both the front and back surfaces of a strip-shaped quartz crystal plate and leads led out from each excitation electrode to the edge of the plate are formed by vapor deposition or the like, and each lead is provided on the outer bottom surface of the package Conductor 3 for input and output electrodes 27, 28
0, 31 and pad 32 are connected. A characteristic configuration of this embodiment is that a package inner bottom surface 21a is inclined upward from one end edge on the left side in the drawing to the other end edge on the right side in the drawing, and a pad provided at a downward position of the inclined inner bottom surface 21a. 32, one end of the quartz oscillator 24 is fixed in a cantilever state via a conductive adhesive 23, and the other end of the quartz oscillator 24 is fixed to a predetermined position on the upside of the inclined inner bottom surface 21a by a predetermined minute distance. They are arranged facing each other with a gap therebetween. In the ceramic package 21 having the above configuration, the other end side of the crystal unit not held by the conductive adhesive 23 has a small gap between itself and the bottom surface of the package. The function of absorbing a shock is exhibited, and an increase in the package height caused by protruding a special pillow member can be avoided. In other words, it is possible to achieve a three-stage structure in a package for providing a pillow member like the above-described conventional package and a height reduction accompanying the two-stage structure without incurring an increase in height.
Note that the inner bottom surface of the package of the above embodiment is an inclined surface extending linearly, but this is an example, and for example, the inner bottom surface is curved and inclined in a quadratic curve as shown in FIG. Is also good. Note that the piezoelectric vibrator used in the present invention is not limited to a quartz vibrator, and various piezoelectric materials can be used.

【0006】次に、図3(a) 及び(b) は上記従来のセラ
ミックパッケージの製造方法及び本形態例のセラミック
パッケージの製造方法を簡略化して説明する図であり、
図3(a) に示した従来のセラミックパッケージ1は、例
えば3枚のセラミックシート40a,40b,40cを
積層した上で焼き固めることによって製作されている。
この内、中央のセラミックシート40bは段差2、3を
構成する。このような従来のセラミックパッケージにあ
っては、3枚のセラミックシートを必要とする為、工程
が複雑でコストアップをもたらしていた。これに対し、
図3(b) に示した本発明のセラミックパッケージ20
は、2枚のセラミックシート41a,41bを積層する
ため、構成が簡単で、製造コストも易く済むこととな
る。なお、上記いずれのセラミックパッケージにあって
も実際には、大面積のシート母材を用いてバッチ処理に
より製造されるものである。なお、本発明のパッケージ
の材質は、セラミックに限定される訳ではない。
FIGS. 3 (a) and 3 (b) are simplified diagrams for explaining the above-mentioned conventional method for manufacturing a ceramic package and the method for manufacturing a ceramic package of the present embodiment.
The conventional ceramic package 1 shown in FIG. 3A is manufactured by stacking, for example, three ceramic sheets 40a, 40b, and 40c and then hardening them.
Among them, the center ceramic sheet 40b forms steps 2 and 3. In such a conventional ceramic package, since three ceramic sheets are required, the process is complicated and the cost is increased. In contrast,
The ceramic package 20 of the present invention shown in FIG.
Since the two ceramic sheets 41a and 41b are laminated, the configuration is simple and the manufacturing cost is easy. Note that any of the above ceramic packages is actually manufactured by a batch process using a large-area sheet base material. The material of the package of the present invention is not limited to ceramic.

【0007】[0007]

【発明の効果】以上のように本発明は、水晶振動子等の
圧電振動子をパッケージ内部に片持ち状態で支持して気
密封止した構成の圧電デバイスにおいて、セラミックパ
ッケージ内における圧電振動子の支持構造を改良するこ
とにより、圧電デバイスの薄型化、及び耐衝撃性の向上
を達成することができる。具体的には、パッケージの凹
所内底面を傾斜面にすることにより、パッケージの高さ
増大をもたらす虞れのある格別な段差を設けることな
く、パッケージの薄型化を達成することができる。ま
た、段差を設けないことにより、セラミックパッケージ
においては、積層枚数を低減し、工程を簡略化し、コス
トダウンを図ることができる。
As described above, the present invention relates to a piezoelectric device having a structure in which a piezoelectric vibrator such as a crystal vibrator is supported in a cantilever state in a package and hermetically sealed. By improving the support structure, the thickness of the piezoelectric device can be reduced and the impact resistance can be improved. Specifically, by making the bottom surface in the recess of the package an inclined surface, it is possible to achieve a reduction in the thickness of the package without providing a special step that may increase the height of the package. In addition, by not providing a step, the number of stacked ceramic packages can be reduced, the process can be simplified, and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一形態例の圧電デバイスのパッケージ
構造を示す縦断面図。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a package structure of a piezoelectric device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の形態例の圧電デバイスのパッケー
ジ構造を示す縦断面図。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a package structure of a piezoelectric device according to another embodiment of the present invention.

【図3】(a) 及び(b) は夫々従来のセラミックパッケー
ジの製造方法、及び本形態例のセラミックパッケージの
製造方法を示す図である。
FIGS. 3 (a) and 3 (b) are diagrams showing a conventional method of manufacturing a ceramic package and a method of manufacturing a ceramic package of the present embodiment, respectively.

【図4】従来のパッケージ構造を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional package structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 圧電デバイス、21 セラミックパッケージ、2
2 凹所、23 導電性接着剤、24 水晶振動子(圧
電振動子)、25 シームリング等、26 金属蓋、2
7、28 電極、30、31 導体、32 パッド。
20 piezoelectric device, 21 ceramic package, 2
2 recess, 23 conductive adhesive, 24 quartz oscillator (piezoelectric oscillator), 25 seam ring, etc., 26 metal cover, 2
7, 28 electrodes, 30, 31 conductors, 32 pads.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パッケージの凹所内のパッド上に導電性
接着剤を介して圧電振動子を片持ち状態で支持した状態
で該凹所を蓋により気密封止した構造の圧電デバイスに
おいて、 該パッケージの凹所の内底面を傾斜面とし、該内底面の
下り側に設けたパッド上に導電性接着剤を介して圧電振
動子の一端部を片持ち状態で支持すると共に、該圧電振
動子の他端部を内底面の上り側と微小ギャップを隔てて
対向配置したことを特徴とする圧電デバイスのパッケー
ジ構造。
1. A piezoelectric device having a structure in which a piezoelectric vibrator is supported in a cantilevered state on a pad in a recess of a package via a conductive adhesive in a cantilever manner, and the recess is hermetically sealed with a lid. The inner bottom surface of the concave portion is an inclined surface, and one end of the piezoelectric vibrator is supported in a cantilever state via a conductive adhesive on a pad provided on the downside of the inner bottom surface, and the piezoelectric vibrator A package structure for a piezoelectric device, wherein the other end is opposed to an upside of an inner bottom surface with a small gap therebetween.
【請求項2】 上記パッケージの凹所の内底面を、二次
曲線状の傾斜面としたことを特徴とする請求項1記載の
圧電デバイスのパッケージ構造。
2. The package structure for a piezoelectric device according to claim 1, wherein the inner bottom surface of the recess of the package is a quadratic curved inclined surface.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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