JPH11214258A - Non-linear dielectric element - Google Patents

Non-linear dielectric element

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JPH11214258A
JPH11214258A JP1162298A JP1162298A JPH11214258A JP H11214258 A JPH11214258 A JP H11214258A JP 1162298 A JP1162298 A JP 1162298A JP 1162298 A JP1162298 A JP 1162298A JP H11214258 A JPH11214258 A JP H11214258A
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満 永島
Shinichi Kobayashi
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain non-linear characteristic of a dielectric, by constituting first and second electrodes formed in first and second surfaces of a dielectric consisting of dielectric ceramics which shows non-linear characteristic of a metallic film formed by a thin film formation method. SOLUTION: A non-linear dielectric element 1 is constituted by using a plate- like dielectric 2 consisting of dielectric ceramics which shows non-linear characteristic. A first electrode 3 is formed on an upper surface 2a as a first surface of the dielectric 2 and a second electrode 4 is formed on a lower surface 2b as a second surface. The discoidal dielectric 2 is prepared by performing dry- type press and baking for barium titanate ceramic powder as a dielectric material which shows non-linear characteristic. Electrodes 3, 4 are formed by sputtering in both surfaces of the dielectric 2. To form the electrodes 3, 4 by sputtering, a Cu-Ni alloy film is formed by sputtering first and then an Ag film is formed on a Cu-Ni film by sputtering.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば高輝度放電
灯(HIDランプ)の始動時のように高圧パルスを発生
させるのに好適に用いられる非線形誘電体素子に関し、
より詳細には、電極の改良により非線形特性が改善され
た非線形誘電体素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonlinear dielectric element suitably used for generating a high-voltage pulse, for example, when starting a high-intensity discharge lamp (HID lamp).
More specifically, the present invention relates to a nonlinear dielectric element in which nonlinear characteristics are improved by improving electrodes.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、高輝度を実現するランプとして上
記HIDランプが用いられている。この種のHIDラン
プには、高圧ナトリウムランプやメタルハライドランプ
のように、始動時に1〜4kV程度の高圧パルスを必要
とするものがある。そこで、この種のHIDランプで
は、高圧パルスを発生させるために、非線形特性を有す
るコンデンサが組み込まれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, the above-mentioned HID lamp has been used as a lamp for realizing high luminance. Some HID lamps of this type require a high-pressure pulse of about 1 to 4 kV at startup, such as a high-pressure sodium lamp or a metal halide lamp. Therefore, in this type of HID lamp, a capacitor having non-linear characteristics is incorporated in order to generate a high-voltage pulse.

【0003】例えば、特公平5−87940号公報に
は、上記高圧パルスを発生させるための非線形コンデン
サが内蔵された高圧放電ランプが開示されている。この
先行技術に記載の非線形コンデンサの構造を、図3に示
す。
For example, Japanese Patent Publication No. 5-87940 discloses a high-pressure discharge lamp having a built-in nonlinear capacitor for generating the high-voltage pulse. FIG. 3 shows the structure of the nonlinear capacitor described in the prior art.

【0004】コンデンサ51は、チタン酸バリウム系セ
ラミックスよりなるセラミック板52の両面に、電極5
3,54を形成した構造を有する。電極53,54の中
央には、接合材55a,55bを介してリード端子5
6,57が接合されている。また、リード端子56,5
7が引き出されている部分を除いて全体が、ガラスペー
ストを塗布し、焼き付けることにより形成されたガラス
被覆層58により被覆されている。
[0004] A capacitor 51 has electrodes 5 on both sides of a ceramic plate 52 made of barium titanate-based ceramics.
3, 54 are formed. In the center of the electrodes 53 and 54, the lead terminals 5 are connected via bonding materials 55a and 55b.
6, 57 are joined. Also, the lead terminals 56 and 5
Except for the portion from which 7 is drawn out, the whole is covered with a glass coating layer 58 formed by applying and baking a glass paste.

【0005】上記電極53,54は、Ag粉末、並びに
ホウ珪酸ガラスやホウ珪酸鉛ガラスを含む導電ペースト
を塗布し、焼き付けることにより形成されている。しか
しながら、上述した従来の非線形コンデンサ51では、
チタン酸バリウム系セラミックスよりなるセラミック板
52が本来持っている非線形特性を十分に引き出すこと
ができないという問題があった。これは、電極53,5
4の形成に用いられている導電ペースト中のガラスフリ
ットが、電極焼き付け時にセラミック板52に拡散し、
セラミック板52の非線形特性を低下させているためと
考えられる。
The electrodes 53 and 54 are formed by applying and baking a conductive paste containing Ag powder and borosilicate glass or lead borosilicate glass. However, in the above-described conventional nonlinear capacitor 51,
There has been a problem that the nonlinear characteristics inherent in the ceramic plate 52 made of barium titanate-based ceramics cannot be sufficiently brought out. These are the electrodes 53,5
The glass frit in the conductive paste used for forming 4 diffuses into the ceramic plate 52 at the time of electrode baking,
This is probably because the non-linear characteristics of the ceramic plate 52 were reduced.

【0006】他方、特開昭61−212009号公報に
は、ガラスフリットを用いないで電極を形成してなる高
電圧パルス発生用コンデンサが開示されている。ここで
は、誘電体セラミック板の両面に、Niを無電解メッキ
することにより電極が形成されている。従って、ガラス
フリットの拡散に起因する非線形特性の低下が生じ難い
と考えられる。
On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-212009 discloses a capacitor for generating a high-voltage pulse in which electrodes are formed without using a glass frit. Here, electrodes are formed on both surfaces of the dielectric ceramic plate by electroless plating Ni. Therefore, it is considered that the non-linear characteristic is hardly reduced due to the diffusion of the glass frit.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
61−212009号公報に開示されている高電圧パル
ス発生用コンデンサでは、電極の形成に際し無電解メッ
キを用いているため、メッキ液の残渣がセラミックス中
に侵入し、信頼性を低下させるおそれがあった。
However, in the capacitor for generating a high-voltage pulse disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-212009, electroless plating is used for forming the electrodes, so that the residue of the plating solution is reduced. There is a risk of infiltration into ceramics and lowering of reliability.

【0008】本発明の目的は、上述した先行技術の欠点
を解消し、非線形特性を有する誘電体セラミックスの非
線形特性を十分に引き出すことができ、良好な非線形特
性を示し、かつ信頼性に優れた非線形誘電体素子を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, to sufficiently derive the nonlinear characteristics of dielectric ceramics having nonlinear characteristics, to exhibit good nonlinear characteristics, and to have excellent reliability. An object of the present invention is to provide a nonlinear dielectric element.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、電界−電荷特性においてヒステリシスを示す非線形
誘電体素子であって、非線形特性を示す誘電体セラミッ
クスよりなる誘電体と、前記誘電体の第1,第2の面に
それぞれ形成された第1,第2の電極とを備え、前記第
1,第2の電極が、薄膜形成法により形成された金属膜
により構成されていることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a non-linear dielectric element exhibiting hysteresis in electric field-charge characteristics, wherein the dielectric comprises dielectric ceramics exhibiting non-linear characteristics; And first and second electrodes respectively formed on the first and second surfaces of the first and second surfaces, wherein the first and second electrodes are formed of a metal film formed by a thin film forming method. Features.

【0010】請求項2に記載の発明では、上記金属膜
が、スパッタリング、蒸着またはイオンプレーティング
により形成されている。請求項3に記載の発明は、上記
非線形誘電体素子が、高圧パルス発生用コンデンサであ
ることを特徴とする。
[0010] In the second aspect of the present invention, the metal film is formed by sputtering, vapor deposition, or ion plating. The invention according to claim 3 is characterized in that the nonlinear dielectric element is a high-voltage pulse generating capacitor.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の非線形誘電体素
子の一実施例を示す側面図である。非線形誘電体素子1
は、L形高圧ナトリウムランプにおける高圧パルス発生
用コンデンサとして用いられるものである。本用途で
は、コンデンサは、300℃程度の温度、及び1×10
-5torr程度の真空度にさらされる。
FIG. 1 is a side view showing one embodiment of the nonlinear dielectric element of the present invention. Nonlinear dielectric element 1
Is used as a high-pressure pulse generating capacitor in an L-type high-pressure sodium lamp. In this application, the capacitor is at a temperature of about 300 ° C. and 1 × 10
It is exposed to a vacuum of about -5 torr.

【0012】非線形誘電体素子1は、非線形特性を示す
誘電体セラミックスよりなる板状の誘電体2を用いて構
成されている。なお、本明細書において、非線形特性と
は、電界−電荷特性においてヒステリシスを示す特性を
いうものとする。上記誘電体2は、このような非線形特
性を発揮し得る適宜の誘電体セラミックスにより構成さ
れるが、例えば、チタン酸バリウム系セラミック材料を
好適に用いることができる。
The nonlinear dielectric element 1 is formed using a plate-shaped dielectric 2 made of dielectric ceramics exhibiting nonlinear characteristics. In this specification, the non-linear characteristic means a characteristic showing hysteresis in electric field-charge characteristics. The dielectric 2 is made of an appropriate dielectric ceramic capable of exhibiting such non-linear characteristics. For example, a barium titanate-based ceramic material can be suitably used.

【0013】誘電体2の第1の面としての上面2a上に
第1の電極3が、第2の面としての下面2b上に第2の
電極4が形成されている。本実施例の非線形誘電体素子
1の特徴は、上記電極3,4が、薄膜形成法としてのス
パッタリングにより形成されている金属膜により構成さ
れていることにある。
A first electrode 3 is formed on an upper surface 2a as a first surface of the dielectric 2, and a second electrode 4 is formed on a lower surface 2b as a second surface. The feature of the nonlinear dielectric element 1 of this embodiment is that the electrodes 3 and 4 are formed of a metal film formed by sputtering as a thin film forming method.

【0014】本実施例の非線形誘電体素子1は、電極
3,4が上記金属膜により構成されているので、すなわ
ちガラスフリットを含有していないため十分な非線形特
性を発揮する。また、従来の無電解メッキにより電極を
形成する方法では、メッキ液の残渣により信頼性が低下
するおそれがあったのに対し、本実施例では、乾式薄膜
形成法により電極が形成されているので、誘電体2の劣
化が生じ難く、従って信頼性も高められる。これを、具
体的な実験例に基づき説明する。
The nonlinear dielectric element 1 of this embodiment exhibits sufficient nonlinear characteristics because the electrodes 3 and 4 are made of the above-mentioned metal film, that is, they do not contain glass frit. Also, in the conventional method of forming an electrode by electroless plating, the reliability may be reduced due to a residue of a plating solution, whereas in the present embodiment, the electrode is formed by a dry thin film forming method. In addition, the deterioration of the dielectric 2 hardly occurs, and therefore, the reliability is also improved. This will be described based on specific experimental examples.

【0015】非線形特性を示す誘電体材料として、チタ
ン酸バリウム系セラミック粉末を乾式プレスし、焼成す
ることにより、直径18mm×厚さ1mmの円板状の誘
電体2を作製した。この誘電体2の両面に、スパッタリ
ングにより直径17mmの電極3,4を形成した。な
お、電極3,4をスパッタリングにより形成するにあた
っては、最初にCu−Ni合金膜をスパッタリングによ
り形成し、次に、スパッタリングによりCu−Ni膜上
にAg膜を形成した。すなわち、スパッタリングにより
2層構造の金属膜を形成し、電極3,4を形成し、実施
例の非線形誘電体素子を作製した。
As a dielectric material exhibiting non-linear characteristics, a barium titanate-based ceramic powder was dry-pressed and fired to produce a disk-shaped dielectric 2 having a diameter of 18 mm and a thickness of 1 mm. Electrodes 3 and 4 having a diameter of 17 mm were formed on both surfaces of the dielectric 2 by sputtering. In forming the electrodes 3 and 4 by sputtering, first, a Cu-Ni alloy film was formed by sputtering, and then, an Ag film was formed on the Cu-Ni film by sputtering. That is, a metal film having a two-layer structure was formed by sputtering, electrodes 3 and 4 were formed, and the nonlinear dielectric element of the example was manufactured.

【0016】また、比較のために、上記実施例の非線形
誘電体素子で用いたのと同じ誘電体2の両面に、Ag粉
末100体積%に対し、下記の表1に示す種々のガラス
フリットを下記の表1に示すように3体積%または5体
積%配合してなる導電ペーストを印刷し、850℃にて
焼き付け、比較例1〜14の非線形誘電体素子を作製し
た。
For comparison, various glass frits shown in Table 1 below were used on both sides of the same dielectric 2 as used in the nonlinear dielectric element of the above embodiment, with respect to 100% by volume of Ag powder. As shown in Table 1 below, a conductive paste containing 3% by volume or 5% by volume was printed and baked at 850 ° C. to produce nonlinear dielectric elements of Comparative Examples 1 to 14.

【0017】上記のようにして得られた非線形誘電体素
子について、図2に示す回路を用いて発生パルス電圧を
測定した。すなわち、図2に示す回路では、電源11に
直列に400Wの高圧水銀ランプ用安定器12が接続さ
れており、該高圧水銀ランプ用安定器12の後段に、非
線形誘電体素子1及びブレークオーバー電圧150Vの
半導体スイッチ13が接続されている。また、Vは電圧
計を示す。
The generated pulse voltage of the nonlinear dielectric element obtained as described above was measured using the circuit shown in FIG. That is, in the circuit shown in FIG. 2, a 400 W high-pressure mercury lamp ballast 12 is connected in series with a power supply 11, and a nonlinear dielectric element 1 and a breakover voltage are provided after the high-pressure mercury lamp ballast 12. A 150 V semiconductor switch 13 is connected. V indicates a voltmeter.

【0018】実施例及び比較例1〜14の各非線形誘電
体素子1を図2に示したように接続し、発生パルス電圧
を測定したところ、下記の表1に示す結果が得られた。
Each of the nonlinear dielectric elements 1 of Examples and Comparative Examples 1 to 14 was connected as shown in FIG. 2 and the generated pulse voltage was measured. The results shown in Table 1 below were obtained.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】表1から明らかなように、各種ガラスフリ
ットを含む導電ペーストを塗布し、焼き付けることによ
り電極を形成した比較例1〜14の非線形誘電体素子で
は、ガラスフリットの種類により異なるものの、ガラス
フリットの含有割合が高くなる程パルス電圧が低くな
り、ガラスフリット成分による特性の低下が見られた。
As is apparent from Table 1, the nonlinear dielectric elements of Comparative Examples 1 to 14 in which electrodes were formed by applying and baking a conductive paste containing various glass frit, although different depending on the type of glass frit, The higher the content ratio of the frit, the lower the pulse voltage, and a decrease in characteristics due to the glass frit component was observed.

【0021】これに対して、実施例の非線形誘電体素子
では、ガラスフリットを用いずに、スパッタリングによ
り電極3,4を形成しているため、パルス電圧が著しく
高められている。
On the other hand, in the nonlinear dielectric element of the embodiment, since the electrodes 3 and 4 are formed by sputtering without using a glass frit, the pulse voltage is significantly increased.

【0022】従って、上記実施例から明らかなように、
スパッタリングにより形成された金属膜、すなわちガラ
スフリットを含まない薄膜形成法により形成された金属
膜を用いることにより、誘電体2の非線形特性を十分に
発揮させることができ、大きなパルス電圧を得ることが
できる非線形誘電体素子を提供し得ることがわかる。
Therefore, as is apparent from the above embodiment,
By using a metal film formed by sputtering, that is, a metal film formed by a thin film formation method that does not include glass frit, the nonlinear characteristics of the dielectric 2 can be sufficiently exhibited, and a large pulse voltage can be obtained. It can be seen that a non-linear dielectric element that can be provided can be provided.

【0023】なお、上述した実験例では、Cu−Ni合
金膜とAg膜との2層構造を有する電極3,4を形成し
たが、電極3,4は、単一層で構成されていてもよく、
あるいは3層以上の薄膜形成法により形成された金属膜
を積層した構造であってもよい。また、電極を構成する
金属材料についても、Cu−Ni、Agに限定されず、
Cu、Ni、Al、Cr、Fe、Co、Ni−Cr、F
e−Niなど種々の金属材料を用いることができる。も
っとも、L形高圧ナトリウムランプの始動用に用いられ
る高圧パルス発生用コンデンサでは、前述した通り30
0℃程度の高温にさらされるため、このような高温にさ
らされる用途に用いる場合には、電極3,4はAgやN
iなどの耐熱性に優れた金属材料により形成することが
好ましい。
Although the electrodes 3 and 4 having the two-layer structure of the Cu—Ni alloy film and the Ag film were formed in the above-described experimental example, the electrodes 3 and 4 may be formed of a single layer. ,
Alternatively, a structure in which three or more metal films formed by a thin film formation method are stacked may be used. Also, the metal material constituting the electrode is not limited to Cu-Ni or Ag,
Cu, Ni, Al, Cr, Fe, Co, Ni-Cr, F
Various metal materials such as e-Ni can be used. However, in the capacitor for generating a high-pressure pulse used for starting the L-type high-pressure sodium lamp, as described above, 30
Since the electrodes 3 and 4 are exposed to a high temperature of about 0 ° C., and are used for applications exposed to such a high temperature, the electrodes 3 and 4 are made of Ag or N 2.
It is preferably formed of a metal material having excellent heat resistance such as i.

【0024】また、電極3,4をAgで構成した場合に
は、電極間マイグレーションを防止するために、Agよ
りなる金属膜よりも径の大きな他の金属膜上にAg膜を
積層した構造とすることが望ましい。
When the electrodes 3 and 4 are made of Ag, a structure in which an Ag film is laminated on another metal film having a larger diameter than the metal film made of Ag is used to prevent migration between the electrodes. It is desirable to do.

【0025】また、上述した実施例では、電極3,4
を、スパッタリングにより形成したが、スパッタリング
に代えて、蒸着やイオンプレーティングなどの他の乾式
薄膜形成法により電極3,4を形成してもよい。すなわ
ち、本発明は、上記のような乾式薄膜形成法により形成
された金属膜により電極を構成することにより、ガラス
フリットの使用に基づく非線形特性の低下を防止したこ
とに特徴を有するものであり、従って、蒸着やイオンプ
レーティングなどの他の乾式薄膜形成法を用いて電極
3,4を形成してもよい。
In the above-described embodiment, the electrodes 3, 4
Was formed by sputtering, but instead of sputtering, the electrodes 3 and 4 may be formed by another dry thin film forming method such as vapor deposition or ion plating. That is, the present invention is characterized in that the electrode is constituted by the metal film formed by the dry thin film forming method as described above, thereby preventing the non-linear characteristic from being reduced due to the use of the glass frit, Therefore, the electrodes 3 and 4 may be formed using other dry thin film forming methods such as vapor deposition and ion plating.

【0026】また、図1では、誘電体2の両面に電極
3,4を形成したが、電極3,4を形成した後に、従来
の非線形コンデンサ51と同様に絶縁ガラス層等を形成
したり、あるいはリード端子等を接合してもよく、その
場合であっても、電極3,4が既に誘電体2に接合され
ているため、良好な非線形特性を発揮し得る非線形誘電
体素子とすることができる。
In FIG. 1, the electrodes 3 and 4 are formed on both surfaces of the dielectric 2, but after the electrodes 3 and 4 are formed, an insulating glass layer or the like is formed in the same manner as the conventional nonlinear capacitor 51. Alternatively, a lead terminal or the like may be joined. Even in this case, since the electrodes 3 and 4 are already joined to the dielectric 2, a non-linear dielectric element capable of exhibiting good non-linear characteristics can be obtained. it can.

【0027】[0027]

【発明の効果】請求項1に記載の発明に係る非線形誘電
体素子では、非線形特性を示す誘電体セラミックスより
なる誘電体の第1,第2の面に形成される第1,第2の
電極が、薄膜形成法により形成された金属膜により構成
されているので、誘電体の非線形特性を十分に発揮させ
ることができ、良好な非線形特性を発揮し得る非線形誘
電体素子を提供することができる。すなわち、従来の導
電ペーストを用いて電極を形成してなる非線形コンデン
サでは、含有されているガラスフリットにより非線形特
性が低下するのに対し、請求項1に記載の発明に係る非
線形誘電体素子では、ガラスフリットを使用しないた
め、ガラスフリットに起因する非線形特性の低下を防止
することができる。
In the nonlinear dielectric element according to the first aspect of the present invention, the first and second electrodes formed on the first and second surfaces of a dielectric made of dielectric ceramics exhibiting nonlinear characteristics. However, since it is composed of a metal film formed by a thin film forming method, it is possible to sufficiently exhibit the nonlinear characteristics of the dielectric, and to provide a nonlinear dielectric element capable of exhibiting good nonlinear characteristics. . That is, in the conventional nonlinear capacitor in which the electrode is formed using the conductive paste, the nonlinear characteristic is reduced by the glass frit contained therein, whereas in the nonlinear dielectric element according to the invention of claim 1, Since no glass frit is used, it is possible to prevent a decrease in nonlinear characteristics caused by the glass frit.

【0028】加えて、従来の無電解メッキにより電極を
形成した非線形コンデンサでは、メッキ液残渣により、
誘電体セラミックスが劣化するおそれがあったのに対
し、請求項1に記載の発明に係る非線形誘電体素子で
は、乾式薄膜形成法により電極が形成されているので、
このような誘電体の劣化も生じ難い。従って、信頼性に
優れた非線形誘電体素子を提供することができる。
In addition, in a conventional non-linear capacitor in which electrodes are formed by electroless plating, a plating solution residue causes
In contrast to the possibility that the dielectric ceramics deteriorates, in the nonlinear dielectric element according to the first aspect of the present invention, since the electrodes are formed by a dry thin film forming method,
Such deterioration of the dielectric is unlikely to occur. Therefore, a highly reliable nonlinear dielectric element can be provided.

【0029】請求項3に記載の発明では、良好な非線形
特性を利用して、例えばHIDランプの始動に用いられ
るような高圧パルスを発生することが求められる用途に
最適な高圧パルス発生用コンデンサを提供することがで
きる。
According to the third aspect of the present invention, a capacitor for generating a high-voltage pulse which is optimum for generating a high-voltage pulse, for example, used for starting an HID lamp by utilizing good nonlinear characteristics, is provided. Can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る非線形誘電体素子を示
す側面図。
FIG. 1 is a side view showing a nonlinear dielectric element according to one embodiment of the present invention.

【図2】実験例において非線形誘電体素子を評価するた
めに構成した回路を説明するための回路図。
FIG. 2 is a circuit diagram for explaining a circuit configured to evaluate a nonlinear dielectric element in an experimental example.

【図3】従来の非線形コンデンサを説明するための断面
図。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a conventional nonlinear capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…非線形誘電体素子 2…誘電体 3,4…電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Nonlinear dielectric element 2 ... Dielectric 3, 4 ... Electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 誠 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Makoto Murata 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Pref. Murata Manufacturing Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電界−電荷特性においてヒステリシスを
示す非線形誘電体素子であって、 非線形特性を示す誘電体セラミックスよりなる誘電体
と、 前記誘電体の第1,第2の面にそれぞれ形成された第
1,第2の電極とを備え、 前記第1,第2の電極が、薄膜形成法により形成された
金属膜により構成されていることを特徴とする非線形誘
電体素子。
1. A non-linear dielectric element exhibiting hysteresis in electric field-charge characteristics, comprising: a dielectric made of dielectric ceramics exhibiting non-linear characteristics; and a dielectric formed on first and second surfaces of the dielectric, respectively. A nonlinear dielectric element comprising: first and second electrodes, wherein the first and second electrodes are formed of a metal film formed by a thin film forming method.
【請求項2】 前記金属膜が、スパッタリング、蒸着ま
たはイオンプレーティングにより形成されていることを
特徴とする請求項1に記載の非線形誘電体素子。
2. The nonlinear dielectric device according to claim 1, wherein the metal film is formed by sputtering, vapor deposition, or ion plating.
【請求項3】 高圧パルス発生用コンデンサである請求
項1または2に記載の非線形誘電体素子。
3. The nonlinear dielectric element according to claim 1, which is a capacitor for generating a high-voltage pulse.
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