JPH11211599A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH11211599A JPH11211599A JP1466098A JP1466098A JPH11211599A JP H11211599 A JPH11211599 A JP H11211599A JP 1466098 A JP1466098 A JP 1466098A JP 1466098 A JP1466098 A JP 1466098A JP H11211599 A JPH11211599 A JP H11211599A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数の
向きに実装可能な圧力センサを提供する。 【解決手段】３次元立体回路部品（ＭＩＤ）として形成
されるボディ２とカバー３とで器体１を構成する。セン
サ部１０の電極１１と、ボディ２に形成された複数の導
電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 とがワイヤ１２により電気的
に接続される。また、カバー３に形成された導電パター
ンＰｂ1 〜Ｐｂ3 がボディ２の導電パターンＰａ4 〜Ｐ
ａ6 と電気的に接続される。その結果、圧力導入管４の
圧力導入口４ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1
と、圧力導入口４ａの法線方向に略直交する器体１の側
面（底面）Ｍ2 とにおいて各電極１１に電気的に接続さ
れている全ての導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 ）を同一面上に並べて形成でき、縦型及び横型の
両方に対応可能な圧力センサＡが実現できる。
向きに実装可能な圧力センサを提供する。 【解決手段】３次元立体回路部品（ＭＩＤ）として形成
されるボディ２とカバー３とで器体１を構成する。セン
サ部１０の電極１１と、ボディ２に形成された複数の導
電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 とがワイヤ１２により電気的
に接続される。また、カバー３に形成された導電パター
ンＰｂ1 〜Ｐｂ3 がボディ２の導電パターンＰａ4 〜Ｐ
ａ6 と電気的に接続される。その結果、圧力導入管４の
圧力導入口４ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1
と、圧力導入口４ａの法線方向に略直交する器体１の側
面（底面）Ｍ2 とにおいて各電極１１に電気的に接続さ
れている全ての導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 ）を同一面上に並べて形成でき、縦型及び横型の
両方に対応可能な圧力センサＡが実現できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力を電気信号に
変換する圧力センサに関するものである。
変換する圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より種々の圧力センサが提供されて
いるが、図５は気体や液体等の流体の圧力を検出する従
来の圧力センサの一例を示す側面断面図である。この圧
力センサＡ”は、被圧力検出流体の圧力を電気信号に変
換するセンサ部１０を器体（パッケージ）１”内に収納
し、上記流体を導入する圧力導入口４ａ”を具備した圧
力導入管４”を器体１”に設けたものである。
いるが、図５は気体や液体等の流体の圧力を検出する従
来の圧力センサの一例を示す側面断面図である。この圧
力センサＡ”は、被圧力検出流体の圧力を電気信号に変
換するセンサ部１０を器体（パッケージ）１”内に収納
し、上記流体を導入する圧力導入口４ａ”を具備した圧
力導入管４”を器体１”に設けたものである。
【０００３】センサ部１０は半導体基板を加工して薄膜
のダイヤフラム部（図示せず）及びこのダイヤフラム部
の圧力による歪みを検出する検出素子（ピエゾ抵抗等）
が形成されたセンサチップから成る。また、器体１”は
合成樹脂製のボディ２”及びカバー３”から成り、略箱
形に形成されたボディ２”の底部からは略円筒形に形成
された圧力導入管４”が突出させてある。このボディ
２”にはセンサ部１０からの電気信号を外部に取り出す
ために複数の端子（リード）２２がインサート成形によ
り植設され、これらの端子２２の基端部が金やアルミ等
から成るワイヤ１２でセンサ部１０と接続されている。
なお、センサ部１０の表面にはワイヤ１２とセンサ部１
０の電極（図示せず）の接合部分並びにワイヤ１２自体
の保護等のために、シリコン樹脂等から成るＪＣＲ（Ju
nction Coat Resin ：接合点保護樹脂）１４が塗布、硬
化されている。
のダイヤフラム部（図示せず）及びこのダイヤフラム部
の圧力による歪みを検出する検出素子（ピエゾ抵抗等）
が形成されたセンサチップから成る。また、器体１”は
合成樹脂製のボディ２”及びカバー３”から成り、略箱
形に形成されたボディ２”の底部からは略円筒形に形成
された圧力導入管４”が突出させてある。このボディ
２”にはセンサ部１０からの電気信号を外部に取り出す
ために複数の端子（リード）２２がインサート成形によ
り植設され、これらの端子２２の基端部が金やアルミ等
から成るワイヤ１２でセンサ部１０と接続されている。
なお、センサ部１０の表面にはワイヤ１２とセンサ部１
０の電極（図示せず）の接合部分並びにワイヤ１２自体
の保護等のために、シリコン樹脂等から成るＪＣＲ（Ju
nction Coat Resin ：接合点保護樹脂）１４が塗布、硬
化されている。
【０００４】一方、センサ部１０は、例えばガラス製の
台座１３により圧力導入管４”の端部にダイボンドされ
ており、圧力導入口４ａ”を通して外部から導入される
気体や液体等の被圧力検出流体の圧力が上記ダイヤフラ
ム部に印加される。なお、基板への実装が行い易いよう
に、器体１”は複数の端子２２を器体１”の両側面から
２方向へ突出させたＤＩＰ（Dual Inline Package ）型
としてある。
台座１３により圧力導入管４”の端部にダイボンドされ
ており、圧力導入口４ａ”を通して外部から導入される
気体や液体等の被圧力検出流体の圧力が上記ダイヤフラ
ム部に印加される。なお、基板への実装が行い易いよう
に、器体１”は複数の端子２２を器体１”の両側面から
２方向へ突出させたＤＩＰ（Dual Inline Package ）型
としてある。
【０００５】このようなＤＩＰ型の圧力センサＡ”にお
いては、器体１”の側面から側方へ端子２２が突出して
いるので、図６に示すようにプリント基板２０に実装し
た場合には、器体１”の幅寸法Ｌ1 よりも大きな実装面
積（幅寸法Ｌ2 ）が必要であった。さらに、センサ部１
０の表面に塗布されるＪＣＲ１４の高さを器体１”内に
確保しなければならないため、先端が円錐形状のワイヤ
ボンド治具が器体１”内に進入できるような面積、ま
た、カバー３”とボディ２”の接着と位置決め用の面積
を必要としており、小型化が難しいという問題があっ
た。
いては、器体１”の側面から側方へ端子２２が突出して
いるので、図６に示すようにプリント基板２０に実装し
た場合には、器体１”の幅寸法Ｌ1 よりも大きな実装面
積（幅寸法Ｌ2 ）が必要であった。さらに、センサ部１
０の表面に塗布されるＪＣＲ１４の高さを器体１”内に
確保しなければならないため、先端が円錐形状のワイヤ
ボンド治具が器体１”内に進入できるような面積、ま
た、カバー３”とボディ２”の接着と位置決め用の面積
を必要としており、小型化が難しいという問題があっ
た。
【０００６】そこで、器体を３次元立体回路部品（ＭＩ
Ｄ：Molded Interconnect Devices）として形成すれ
ば、上記実装面積を小さくすることができる。すなわ
ち、図７〜図１１に示すように、センサ部１０が収納さ
れる収納凹所２ａ’を有するボディ２’と、センサ部１
０を覆うようにボディ２’に被着されるカバー３’とで
圧力センサＡ’の器体１’を構成し、ボディ２’の両側
面に導電パターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’を形成するととも
に、各導電パターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’の端部を圧力導
入管４が突出するボディ２’の底面まで延設して端子と
し（図９参照）、ボディ２’とカバー３’の接合面に形
成したランド５’でセンサ部１０の電極１１を各導電パ
ターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’と接続して成り、さらにセン
サ部１０の電極１１と各ランド５’をワイヤボンドする
ためのワイヤボンド治具が進入しないような構造として
あるため、上述のＤＩＰ型の圧力センサＡ”に比較して
プリント基板２０への実装面積を小さくすることできる
ものである。
Ｄ：Molded Interconnect Devices）として形成すれ
ば、上記実装面積を小さくすることができる。すなわ
ち、図７〜図１１に示すように、センサ部１０が収納さ
れる収納凹所２ａ’を有するボディ２’と、センサ部１
０を覆うようにボディ２’に被着されるカバー３’とで
圧力センサＡ’の器体１’を構成し、ボディ２’の両側
面に導電パターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’を形成するととも
に、各導電パターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’の端部を圧力導
入管４が突出するボディ２’の底面まで延設して端子と
し（図９参照）、ボディ２’とカバー３’の接合面に形
成したランド５’でセンサ部１０の電極１１を各導電パ
ターンＰａ1 ’〜Ｐａ6 ’と接続して成り、さらにセン
サ部１０の電極１１と各ランド５’をワイヤボンドする
ためのワイヤボンド治具が進入しないような構造として
あるため、上述のＤＩＰ型の圧力センサＡ”に比較して
プリント基板２０への実装面積を小さくすることできる
ものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、後者の
構造では、ボディ２’の底面から突出する圧力導入管４
がプリント基板２０と垂直となるような向きにしか実装
できないため、例えば圧力を導入するための管（ホース
等）を圧力導入管４に装着したときに、基板の厚み方向
に対して上記管を曲げても圧力導入管４に過大な曲げ応
力がかからないような寸法を確保する必要がある。ま
た、このような実装形態では圧力導入管４が挿通される
貫通孔２１がプリント基板２０に必要となり、貫通孔２
１の孔明け加工の径精度や位置制度を考慮すると、端子
が半田付けされるプリント基板２０のランドと貫通孔と
の距離を充分にとる必要があり、結果的には器体１’の
端子の面積を大きく取らなければならず、器体１’を小
型化した効果が活かされない可能性がある。
構造では、ボディ２’の底面から突出する圧力導入管４
がプリント基板２０と垂直となるような向きにしか実装
できないため、例えば圧力を導入するための管（ホース
等）を圧力導入管４に装着したときに、基板の厚み方向
に対して上記管を曲げても圧力導入管４に過大な曲げ応
力がかからないような寸法を確保する必要がある。ま
た、このような実装形態では圧力導入管４が挿通される
貫通孔２１がプリント基板２０に必要となり、貫通孔２
１の孔明け加工の径精度や位置制度を考慮すると、端子
が半田付けされるプリント基板２０のランドと貫通孔と
の距離を充分にとる必要があり、結果的には器体１’の
端子の面積を大きく取らなければならず、器体１’を小
型化した効果が活かされない可能性がある。
【０００８】このようなことから、圧力導入管４を基板
と略平行に実装可能な形状（以下、これを「横型」と呼
び、基板に略直交する方向に実装するものを「縦型」と
呼ぶ。）に器体１’を形成する場合も、あるいはセンサ
部１０の受圧面が基板実装面と略平行となるように形成
する場合も、圧力導入管を器体１’に対して略垂直に曲
げなければならず、全体の体積が増大してしまうという
問題がある。しかも、当然縦型のものと横型のものとで
器体１’を形成する際の金型が異なることになるため、
コストがアップするという問題もある。
と略平行に実装可能な形状（以下、これを「横型」と呼
び、基板に略直交する方向に実装するものを「縦型」と
呼ぶ。）に器体１’を形成する場合も、あるいはセンサ
部１０の受圧面が基板実装面と略平行となるように形成
する場合も、圧力導入管を器体１’に対して略垂直に曲
げなければならず、全体の体積が増大してしまうという
問題がある。しかも、当然縦型のものと横型のものとで
器体１’を形成する際の金型が異なることになるため、
コストがアップするという問題もある。
【０００９】本発明は上記問題点の解決を目的とするも
のであり、基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数
の向きに実装可能な圧力センサを提供しようとするもの
である。
のであり、基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数
の向きに実装可能な圧力センサを提供しようとするもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、圧力を電気信号に変換するセン
サ部を器体内に収納し、被圧力検出流体を導入する圧力
導入口を器体に設けた圧力センサにおいて、３次元立体
回路部品として形成されるボディとカバーとで器体を構
成し、センサ部が具備する複数の電極と各々電気的に接
続されるとともに少なくとも一部が器体表面に露出する
複数の導電パターンをボディ及びカバーに形成し、少な
くとも圧力導入口の法線方向と略平行な器体側面と、圧
力導入口の法線方向に略直交する器体側面とにおいて各
電極に電気的に接続されている全ての導電パターンを同
一面上に並べて成ることを特徴とし、圧力導入口の法線
方向と略平行な器体側面を基板に実装すれば、圧力導入
口の法線方向が基板と略平行となる所謂横型の圧力セン
サとなり、また圧力導入口の法線方向に略直交する器体
側面を基板に実装すれば、圧力導入口の法線方向が基板
と略直交する所謂縦型の圧力センサとなるから、１つの
圧力センサで縦型と横型の何れにも対応可能であって、
基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数の向きに実
装可能な圧力センサを実現することができる。
目的を達成するために、圧力を電気信号に変換するセン
サ部を器体内に収納し、被圧力検出流体を導入する圧力
導入口を器体に設けた圧力センサにおいて、３次元立体
回路部品として形成されるボディとカバーとで器体を構
成し、センサ部が具備する複数の電極と各々電気的に接
続されるとともに少なくとも一部が器体表面に露出する
複数の導電パターンをボディ及びカバーに形成し、少な
くとも圧力導入口の法線方向と略平行な器体側面と、圧
力導入口の法線方向に略直交する器体側面とにおいて各
電極に電気的に接続されている全ての導電パターンを同
一面上に並べて成ることを特徴とし、圧力導入口の法線
方向と略平行な器体側面を基板に実装すれば、圧力導入
口の法線方向が基板と略平行となる所謂横型の圧力セン
サとなり、また圧力導入口の法線方向に略直交する器体
側面を基板に実装すれば、圧力導入口の法線方向が基板
と略直交する所謂縦型の圧力センサとなるから、１つの
圧力センサで縦型と横型の何れにも対応可能であって、
基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数の向きに実
装可能な圧力センサを実現することができる。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、ボディとカバーの接合部を略平坦として成ることを
特徴とし、接合部の面積が増えて接合強度を向上させる
ことができるとともに、ボディとカバーの接合部で接続
される導電パターンの導通信頼性を確保することができ
る。請求項３の発明は、請求項２の発明において、接合
部のボディ側とカバー側の少なくとも何れか一方に導電
パターンを形成して成ることを特徴とし、導電パターン
のパターンニング寸法精度が向上し、導通信頼性を向上
させることができる。
て、ボディとカバーの接合部を略平坦として成ることを
特徴とし、接合部の面積が増えて接合強度を向上させる
ことができるとともに、ボディとカバーの接合部で接続
される導電パターンの導通信頼性を確保することができ
る。請求項３の発明は、請求項２の発明において、接合
部のボディ側とカバー側の少なくとも何れか一方に導電
パターンを形成して成ることを特徴とし、導電パターン
のパターンニング寸法精度が向上し、導通信頼性を向上
させることができる。
【００１２】請求項４の発明は、請求項２又は３の発明
において、センサ部の電極を導電パターンに電気的に接
続するためのランドを、ボディ側の接合部と同一平面上
に形成して成ることを特徴とし、ランドまでの導電パタ
ーンの引き回し面積を削除できて小型化が図れるととも
に、パターンニング寸法の精度を向上することができ
る。
において、センサ部の電極を導電パターンに電気的に接
続するためのランドを、ボディ側の接合部と同一平面上
に形成して成ることを特徴とし、ランドまでの導電パタ
ーンの引き回し面積を削除できて小型化が図れるととも
に、パターンニング寸法の精度を向上することができ
る。
【００１３】請求項５の発明は、請求項１〜４の何れか
の発明において、ボディとカバーの接合部のうち、互い
の導電パターンが導通する接合部を異方性導電樹脂によ
り接着して成ることを特徴とし、隣合う導電パターン同
士の短絡を防止するための特別な構造を必要とせず、小
型化が可能になる。請求項６の発明は、請求項１〜５の
何れかの発明において、ボディとカバーの接合部のう
ち、互いの導電パターンが導通しない接合部を絶縁性接
着剤により接着して成ることを特徴とし、接合部の機械
的強度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能になると
ともに小型化が図れる。
の発明において、ボディとカバーの接合部のうち、互い
の導電パターンが導通する接合部を異方性導電樹脂によ
り接着して成ることを特徴とし、隣合う導電パターン同
士の短絡を防止するための特別な構造を必要とせず、小
型化が可能になる。請求項６の発明は、請求項１〜５の
何れかの発明において、ボディとカバーの接合部のう
ち、互いの導電パターンが導通しない接合部を絶縁性接
着剤により接着して成ることを特徴とし、接合部の機械
的強度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能になると
ともに小型化が図れる。
【００１４】請求項７の発明は、請求項１〜６の何れか
の発明において、全ての導電パターンが同一面上に並べ
られた器体の側面において全ての導電パターンを略同一
面積に形成して成ることを特徴とし、基板に実装した際
の端子と基板パターンとの接合信頼性を向上させること
ができる。
の発明において、全ての導電パターンが同一面上に並べ
られた器体の側面において全ての導電パターンを略同一
面積に形成して成ることを特徴とし、基板に実装した際
の端子と基板パターンとの接合信頼性を向上させること
ができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図４を参照して本発
明の一実施形態を説明する。但し、本実施形態の基本的
な構成は従来例と共通であるので、共通する部分につい
ては同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特
徴となる部分についてのみ説明する。本実施形態は、３
次元立体回路部品（ＭＩＤ）として形成されるボディ２
とカバー３とで器体１を構成し、センサ部１０が具備す
る複数（本実施形態では６個）の電極１１と各々電気的
に接続されるとともに少なくとも一部が器体１表面に露
出する複数の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐ
ｂ3 をボディ２及びカバー３に形成し、圧力導入管４の
圧力導入口４ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1
と、圧力導入口４ａの法線方向に略直交する器体１の側
面（底面）Ｍ2とにおいて各電極１１に電気的に接続さ
れている全ての導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 ）を同一面上に並べて形成した点に特徴がある。
明の一実施形態を説明する。但し、本実施形態の基本的
な構成は従来例と共通であるので、共通する部分につい
ては同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特
徴となる部分についてのみ説明する。本実施形態は、３
次元立体回路部品（ＭＩＤ）として形成されるボディ２
とカバー３とで器体１を構成し、センサ部１０が具備す
る複数（本実施形態では６個）の電極１１と各々電気的
に接続されるとともに少なくとも一部が器体１表面に露
出する複数の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐ
ｂ3 をボディ２及びカバー３に形成し、圧力導入管４の
圧力導入口４ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1
と、圧力導入口４ａの法線方向に略直交する器体１の側
面（底面）Ｍ2とにおいて各電極１１に電気的に接続さ
れている全ての導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 ）を同一面上に並べて形成した点に特徴がある。
【００１６】図１及び図２に示すように、合成樹脂製の
ボディ２は、上面略中央にセンサ部１０が収納される収
納凹所２ａを有し、底面Ｍ2 の略中央から円筒形の圧力
導入管４が突設され、この圧力導入管４の内部を通る圧
力導入口４ａがボディ２の収納凹所２ａ内に連通し且つ
圧力導入口４ａの法線方向（圧力導入管４の軸方向）が
ボディ２の底面Ｍ2 に略直交している。
ボディ２は、上面略中央にセンサ部１０が収納される収
納凹所２ａを有し、底面Ｍ2 の略中央から円筒形の圧力
導入管４が突設され、この圧力導入管４の内部を通る圧
力導入口４ａがボディ２の収納凹所２ａ内に連通し且つ
圧力導入口４ａの法線方向（圧力導入管４の軸方向）が
ボディ２の底面Ｍ2 に略直交している。
【００１７】また、収納凹所２ａを挟んで対向するボデ
ィ２の２組の側面のうち、片方の組の両側面に金属メッ
キによる帯状の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 が各々３本
ずつ形成されている。なお、各側面においては個々の導
電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 間の絶縁を図るために帯状の
隔絶部２ｂが形成されている。さらに、各導電パターン
Ｐａ1 〜Ｐａ6 の両端部はボディ２の上面並びに底面Ｍ
2 まで延長されており、上面に延長された部分がランド
（所謂ワイヤボンド２ｎｄ部）５としてワイヤボンディ
ングによってセンサ部１０の電極２ａとワイヤ１２で接
続される。また、各導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 の底面
Ｍ2 に延長された端部が従来例と同様にプリント基板に
実装する際の端子となる（図９参照）。
ィ２の２組の側面のうち、片方の組の両側面に金属メッ
キによる帯状の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 が各々３本
ずつ形成されている。なお、各側面においては個々の導
電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 間の絶縁を図るために帯状の
隔絶部２ｂが形成されている。さらに、各導電パターン
Ｐａ1 〜Ｐａ6 の両端部はボディ２の上面並びに底面Ｍ
2 まで延長されており、上面に延長された部分がランド
（所謂ワイヤボンド２ｎｄ部）５としてワイヤボンディ
ングによってセンサ部１０の電極２ａとワイヤ１２で接
続される。また、各導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 の底面
Ｍ2 に延長された端部が従来例と同様にプリント基板に
実装する際の端子となる（図９参照）。
【００１８】一方、ボディ２の上面に被着されるカバー
３は、図１及び図３に示すように合成樹脂により下面が
開口する略箱形に形成され、その上面並びに対向する１
組の側面に渡って金属メッキによる３本の帯状の導電パ
ターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 が形成されている。なお、上面及
び各側面においては個々の導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ 3
間の絶縁を図るために帯状の隔絶部３ａが形成されてい
る。ここで、各導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 の端部のう
ちで片方の側面Ｍ1 の端部は、カバー３の下端縁の手前
までしか形成されていないが、他方の側面の端部はカバ
ー３の下端縁から下面周縁まで延長して形成されている
（図３参照）。また、カバー３の内側周壁は開口面に向
けて外側に傾斜させてある。
３は、図１及び図３に示すように合成樹脂により下面が
開口する略箱形に形成され、その上面並びに対向する１
組の側面に渡って金属メッキによる３本の帯状の導電パ
ターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 が形成されている。なお、上面及
び各側面においては個々の導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ 3
間の絶縁を図るために帯状の隔絶部３ａが形成されてい
る。ここで、各導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 の端部のう
ちで片方の側面Ｍ1 の端部は、カバー３の下端縁の手前
までしか形成されていないが、他方の側面の端部はカバ
ー３の下端縁から下面周縁まで延長して形成されている
（図３参照）。また、カバー３の内側周壁は開口面に向
けて外側に傾斜させてある。
【００１９】導電パターン４が形成されていないカバー
３の両側面の下端縁から位置決め用の突片３ｂが垂設さ
れており、これらの突片３ｂと嵌合する嵌合部２ｃが、
導電パターン４が形成されていないボディ２の１組の側
面上部に凹設されている。而して、図４に示すようにカ
バー３の各突片３ｂをボディ２の各嵌合部２ｃに嵌合さ
せるようにして、ボディ２の上面にカバー３が被着され
る。
３の両側面の下端縁から位置決め用の突片３ｂが垂設さ
れており、これらの突片３ｂと嵌合する嵌合部２ｃが、
導電パターン４が形成されていないボディ２の１組の側
面上部に凹設されている。而して、図４に示すようにカ
バー３の各突片３ｂをボディ２の各嵌合部２ｃに嵌合さ
せるようにして、ボディ２の上面にカバー３が被着され
る。
【００２０】ここで、ボディ２にカバー３を被着して器
体１を構成した状態では、図４（ａ）に示すようにカバ
ー３の片方の側面から下面周縁に延長されている３本の
導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 の端部６が、ボディ２上面
片側に形成されている３つのランド５の端縁に接触させ
てあり、カバー３に形成された３本の導電パターンＰｂ
1 〜Ｐｂ3 とボディ２に形成された３本の導電パターン
Ｐａ4 〜Ｐａ6 とが、Ｐａ4 とＰｂ3 、Ｐａ5 とＰ
ｂ2 、Ｐａ6 とＰｂ1 の間で各々導通している。
体１を構成した状態では、図４（ａ）に示すようにカバ
ー３の片方の側面から下面周縁に延長されている３本の
導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 の端部６が、ボディ２上面
片側に形成されている３つのランド５の端縁に接触させ
てあり、カバー３に形成された３本の導電パターンＰｂ
1 〜Ｐｂ3 とボディ２に形成された３本の導電パターン
Ｐａ4 〜Ｐａ6 とが、Ｐａ4 とＰｂ3 、Ｐａ5 とＰ
ｂ2 、Ｐａ6 とＰｂ1 の間で各々導通している。
【００２１】それに対して、カバー３のもう片方の側面
Ｍ1 では各導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 が下端縁の手前
までしか形成されていないため、この側面においてはボ
ディ２側の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ3 とカバー３側の
導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3とは接触しておらず非導通
となっている。従って、カバー３に形成されている３本
の導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 がボディ２の片方の側面
に形成されている３本の導電パターンＰａ4 〜Ｐａ6 と
各々電気的に接続されるため、図４（ｂ）に示すように
圧力導入口４ａの法線方向（圧力導入管４の軸方向）と
略平行な側面Ｍ 1 にセンサ部１０の電極１１と接続され
た６本の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ3 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3
の端部が全て同一面に並ぶことになる。而して、これら
の端部を端子としてプリント基板に実装すれば、圧力導
入管４がプリント基板と平行になる横型の圧力センサと
して使用することができる。
Ｍ1 では各導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 が下端縁の手前
までしか形成されていないため、この側面においてはボ
ディ２側の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ3 とカバー３側の
導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3とは接触しておらず非導通
となっている。従って、カバー３に形成されている３本
の導電パターンＰｂ1 〜Ｐｂ3 がボディ２の片方の側面
に形成されている３本の導電パターンＰａ4 〜Ｐａ6 と
各々電気的に接続されるため、図４（ｂ）に示すように
圧力導入口４ａの法線方向（圧力導入管４の軸方向）と
略平行な側面Ｍ 1 にセンサ部１０の電極１１と接続され
た６本の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ3 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3
の端部が全て同一面に並ぶことになる。而して、これら
の端部を端子としてプリント基板に実装すれば、圧力導
入管４がプリント基板と平行になる横型の圧力センサと
して使用することができる。
【００２２】なお、本実施形態では側面Ｍ1 に形成され
る６本の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ 3 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3
の端部（端子）を同一面積に形成しているので、基板に
実装した際の端子とプリント基板に形成される配線パタ
ーンとの接合信頼性を向上させることができるという利
点がある。ところで、図１及び図３に示すようにボディ
２とカバー３の接合部が略平坦に形成されているので、
接合部（図１中に「Ｓ」で示す部分）の面積が増えて接
合強度を向上させることができるとともに、ボディ２と
カバー３の接合部で接続される導電パターン４の導通信
頼性を確保することができるという利点がある。また、
ボディ２側では、カバー３との接合部Ｓが導電パターン
４のランド５と同一平面上に形成してあるから、ランド
５までの導電パターン４の引き回し面積を削除できて小
型化が図れるとともに、パターンニング寸法の精度を向
上することができるという利点がある。
る６本の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ 3 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3
の端部（端子）を同一面積に形成しているので、基板に
実装した際の端子とプリント基板に形成される配線パタ
ーンとの接合信頼性を向上させることができるという利
点がある。ところで、図１及び図３に示すようにボディ
２とカバー３の接合部が略平坦に形成されているので、
接合部（図１中に「Ｓ」で示す部分）の面積が増えて接
合強度を向上させることができるとともに、ボディ２と
カバー３の接合部で接続される導電パターン４の導通信
頼性を確保することができるという利点がある。また、
ボディ２側では、カバー３との接合部Ｓが導電パターン
４のランド５と同一平面上に形成してあるから、ランド
５までの導電パターン４の引き回し面積を削除できて小
型化が図れるとともに、パターンニング寸法の精度を向
上することができるという利点がある。
【００２３】さらに、導電パターンＰａ4 〜Ｐａ6 とＰ
ｂ1 〜Ｐｂ3 が各々接触導通する側面において、図４
（ａ）に示すようにボディ２とカバー３を異方性導電樹
脂接着剤７によって接着してあるから、接合部において
ボディ２側とカバー３側の導電パターンＰａ4 とＰ
ｂ3 、Ｐａ5 とＰｂ2 、Ｐａ6 とＰｂ1 の間では導通状
態となり、ボディ２並びにカバー３の隔絶部２ｂ，３ａ
を挟んで隣合う導電パターンＰａ4 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 間では非導通状態となる。このため、ボディ２と
カバー３の接合部において隣合う導電パターンＰａ4 〜
Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ 3 同士の短絡を防止するための特
別な構造が不要となり、小型化が可能になるという利点
がある。
ｂ1 〜Ｐｂ3 が各々接触導通する側面において、図４
（ａ）に示すようにボディ２とカバー３を異方性導電樹
脂接着剤７によって接着してあるから、接合部において
ボディ２側とカバー３側の導電パターンＰａ4 とＰ
ｂ3 、Ｐａ5 とＰｂ2 、Ｐａ6 とＰｂ1 の間では導通状
態となり、ボディ２並びにカバー３の隔絶部２ｂ，３ａ
を挟んで隣合う導電パターンＰａ4 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜
Ｐｂ3 間では非導通状態となる。このため、ボディ２と
カバー３の接合部において隣合う導電パターンＰａ4 〜
Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ 3 同士の短絡を防止するための特
別な構造が不要となり、小型化が可能になるという利点
がある。
【００２４】一方、６本の導電パターン４が並ぶ側面Ｍ
1 においては、図４（ｂ）に示すようにボディ２とカバ
ー３を絶縁性接着剤８によって接着し、接合部における
ボディ２側の３本の導電パターン４間の絶縁を絶縁性接
着剤８により確保している。すなわち、反対側の側面の
接合部が異方性導電樹脂接着剤７で接着されているた
め、接着力不足が懸念されることや、６本の導電パター
ン４が隣合う３本同士で短絡するのを防止する目的で絶
縁性接着剤８を用いて接着している。このため、接合部
の機械的強度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能に
なるとともに小型化が図れるという利点がある。
1 においては、図４（ｂ）に示すようにボディ２とカバ
ー３を絶縁性接着剤８によって接着し、接合部における
ボディ２側の３本の導電パターン４間の絶縁を絶縁性接
着剤８により確保している。すなわち、反対側の側面の
接合部が異方性導電樹脂接着剤７で接着されているた
め、接着力不足が懸念されることや、６本の導電パター
ン４が隣合う３本同士で短絡するのを防止する目的で絶
縁性接着剤８を用いて接着している。このため、接合部
の機械的強度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能に
なるとともに小型化が図れるという利点がある。
【００２５】ところで３次元立体回路部品で導電パター
ンを形成する方法には、樹脂成形品の表面に露光などに
よってパターンニングするワンショット法や、触媒樹脂
を用いた二重成形によって電路を形成するツーショット
法等の従来周知の方法がある。特にワンショット法の場
合にはパターンニングに光を用いることから、導電パタ
ーンの周縁部が平面に存在することが望ましい。そのた
め、本実施形態では、略平坦に形成されているカバー３
側の接合部を導電パターン４のパターンニングに利用す
るようにしている。その結果、ボディ２とカバー３の接
合部で接続される導電パターン４の導通信頼性を確保す
ることができる。
ンを形成する方法には、樹脂成形品の表面に露光などに
よってパターンニングするワンショット法や、触媒樹脂
を用いた二重成形によって電路を形成するツーショット
法等の従来周知の方法がある。特にワンショット法の場
合にはパターンニングに光を用いることから、導電パタ
ーンの周縁部が平面に存在することが望ましい。そのた
め、本実施形態では、略平坦に形成されているカバー３
側の接合部を導電パターン４のパターンニングに利用す
るようにしている。その結果、ボディ２とカバー３の接
合部で接続される導電パターン４の導通信頼性を確保す
ることができる。
【００２６】次に上記ワンショット法による本実施形態
の製造工程の概略を簡単に説明する。但し、上記ツーシ
ョット法やそれ以外の方法でも製造可能であることはい
うまでもない。主な工程は、多数のボディ２をシート状
に繋がった状態で樹脂成形する工程と、成形されたボデ
ィ２にメッキを施す工程と、ボディ２の収納凹所２ａ内
にセンサ部１０をダイボンドで実装する工程と、センサ
部１０が実装された個々のボディ２を切断する工程があ
る。但し、センサ部１０の実装工程とボディ２の切断工
程とは順序が逆になる場合もある。また、導電パターン
４のパターンニングは、上記メッキ工程の後、多数のボ
ディ２がシート状に隣接して配置された状態で上記ワン
ショット法により行われる。なお、各ボディ２間に形成
されたスルーホールの内周面にもメッキ可能である。
の製造工程の概略を簡単に説明する。但し、上記ツーシ
ョット法やそれ以外の方法でも製造可能であることはい
うまでもない。主な工程は、多数のボディ２をシート状
に繋がった状態で樹脂成形する工程と、成形されたボデ
ィ２にメッキを施す工程と、ボディ２の収納凹所２ａ内
にセンサ部１０をダイボンドで実装する工程と、センサ
部１０が実装された個々のボディ２を切断する工程があ
る。但し、センサ部１０の実装工程とボディ２の切断工
程とは順序が逆になる場合もある。また、導電パターン
４のパターンニングは、上記メッキ工程の後、多数のボ
ディ２がシート状に隣接して配置された状態で上記ワン
ショット法により行われる。なお、各ボディ２間に形成
されたスルーホールの内周面にもメッキ可能である。
【００２７】そして、センサ部１０の実装後にボディ２
が個々に切り取られ、実装面（上面）とその裏面（底
面）との導通が図られるとともに隣合う導電パターン４
と絶縁される。なお、カバー３についてもボディ２と同
様に形成される。ところで、センサ部１０は台座１３を
介してボディ２の収納凹所２ａ内に接着剤によってダイ
ボンドされ、上面に形成されている電極１１とボディ２
の上面に形成されたランド５とが金属線（主にアルミや
金や銅など）１２によってワイヤボンドされる。この
後、センサ部１０の電極１１と金属線（ワイヤ）１２の
接合部分やワイヤ１２自体の保護のため、センサ部１０
の表面にシリコン樹脂等から成るＪＣＲ１４が塗布さ
れ、別途形成されたカバー３がボディ２の上面に被着さ
れて接着固定される。このように形成される圧力センサ
Ａは、各種電気機器に組み込むためにプリント基板上に
半田付け等の方法で実装され、圧力を電気信号に変換す
るデバイスとして利用される。
が個々に切り取られ、実装面（上面）とその裏面（底
面）との導通が図られるとともに隣合う導電パターン４
と絶縁される。なお、カバー３についてもボディ２と同
様に形成される。ところで、センサ部１０は台座１３を
介してボディ２の収納凹所２ａ内に接着剤によってダイ
ボンドされ、上面に形成されている電極１１とボディ２
の上面に形成されたランド５とが金属線（主にアルミや
金や銅など）１２によってワイヤボンドされる。この
後、センサ部１０の電極１１と金属線（ワイヤ）１２の
接合部分やワイヤ１２自体の保護のため、センサ部１０
の表面にシリコン樹脂等から成るＪＣＲ１４が塗布さ
れ、別途形成されたカバー３がボディ２の上面に被着さ
れて接着固定される。このように形成される圧力センサ
Ａは、各種電気機器に組み込むためにプリント基板上に
半田付け等の方法で実装され、圧力を電気信号に変換す
るデバイスとして利用される。
【００２８】上述のように本実施形態では、センサ部１
０が具備する複数の電極１１と各々電気的に接続される
とともに少なくとも一部が器体１表面に露出する複数の
導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3 をボディ
２及びカバー３に形成し、圧力導入管４の圧力導入口４
ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1 と、圧力導入
口４ａの法線方向に略直交する器体１の側面（底面）Ｍ
2 とにおいて各電極１１に電気的に接続されている全て
の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （並びにＰｂ1〜Ｐ
ｂ3 ）を同一面上に並べて形成しているので、器体１の
底面Ｍ2 に形成されている導電パターン４を端子として
所謂縦型の圧力センサとして基板に実装することができ
るとともに、器体１の側面Ｍ1 に形成されている導電パ
ターン４を端子として所謂横型の圧力センサとして基板
に実装することができ、１つの圧力センサで縦型と横型
の何れにも対応可能であって、基板に対して圧力導入口
４ａの方向が異なる複数の向きに実装可能な圧力センサ
を実現することができる。なお、本実施形態ではセンサ
部１０の電極１１及び各電極１１と接続される導電パタ
ーンＰａ1 〜Ｐａ6 の数を６つとしているが、これに限
定する主旨ではなく、センサ部１０の仕様に応じた任意
の数の電極及び導電パターンにおいても本発明の技術思
想が適用可能である。
０が具備する複数の電極１１と各々電気的に接続される
とともに少なくとも一部が器体１表面に露出する複数の
導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3 をボディ
２及びカバー３に形成し、圧力導入管４の圧力導入口４
ａの法線方向と略平行な器体１の側面Ｍ1 と、圧力導入
口４ａの法線方向に略直交する器体１の側面（底面）Ｍ
2 とにおいて各電極１１に電気的に接続されている全て
の導電パターンＰａ1 〜Ｐａ6 （並びにＰｂ1〜Ｐ
ｂ3 ）を同一面上に並べて形成しているので、器体１の
底面Ｍ2 に形成されている導電パターン４を端子として
所謂縦型の圧力センサとして基板に実装することができ
るとともに、器体１の側面Ｍ1 に形成されている導電パ
ターン４を端子として所謂横型の圧力センサとして基板
に実装することができ、１つの圧力センサで縦型と横型
の何れにも対応可能であって、基板に対して圧力導入口
４ａの方向が異なる複数の向きに実装可能な圧力センサ
を実現することができる。なお、本実施形態ではセンサ
部１０の電極１１及び各電極１１と接続される導電パタ
ーンＰａ1 〜Ｐａ6 の数を６つとしているが、これに限
定する主旨ではなく、センサ部１０の仕様に応じた任意
の数の電極及び導電パターンにおいても本発明の技術思
想が適用可能である。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の発明は、圧力を電気信号に変
換するセンサ部を器体内に収納し、被圧力検出流体を導
入する圧力導入口を器体に設けた圧力センサにおいて、
３次元立体回路部品として形成されるボディとカバーと
で器体を構成し、センサ部が具備する複数の電極と各々
電気的に接続されるとともに少なくとも一部が器体表面
に露出する複数の導電パターンをボディ及びカバーに形
成し、少なくとも圧力導入口の法線方向と略平行な器体
側面と、圧力導入口の法線方向に略直交する器体側面と
において各電極に電気的に接続されている全ての導電パ
ターンを同一面上に並べて成るので、圧力導入口の法線
方向と略平行な器体側面を基板に実装すれば、圧力導入
口の法線方向が基板と略平行となる所謂横型の圧力セン
サとなり、また圧力導入口の法線方向に略直交する器体
側面を基板に実装すれば、圧力導入口の法線方向が基板
と略直交する所謂縦型の圧力センサとなるから、１つの
圧力センサで縦型と横型の何れにも対応可能であって、
基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数の向きに実
装可能な圧力センサを実現することができるという効果
がある。
換するセンサ部を器体内に収納し、被圧力検出流体を導
入する圧力導入口を器体に設けた圧力センサにおいて、
３次元立体回路部品として形成されるボディとカバーと
で器体を構成し、センサ部が具備する複数の電極と各々
電気的に接続されるとともに少なくとも一部が器体表面
に露出する複数の導電パターンをボディ及びカバーに形
成し、少なくとも圧力導入口の法線方向と略平行な器体
側面と、圧力導入口の法線方向に略直交する器体側面と
において各電極に電気的に接続されている全ての導電パ
ターンを同一面上に並べて成るので、圧力導入口の法線
方向と略平行な器体側面を基板に実装すれば、圧力導入
口の法線方向が基板と略平行となる所謂横型の圧力セン
サとなり、また圧力導入口の法線方向に略直交する器体
側面を基板に実装すれば、圧力導入口の法線方向が基板
と略直交する所謂縦型の圧力センサとなるから、１つの
圧力センサで縦型と横型の何れにも対応可能であって、
基板に対して圧力導入口の方向が異なる複数の向きに実
装可能な圧力センサを実現することができるという効果
がある。
【００３０】請求項２の発明は、ボディとカバーの接合
部を略平坦として成るので、接合部の面積が増えて接合
強度を向上させることができるとともに、ボディとカバ
ーの接合部で接続される導電パターンの導通信頼性を確
保することができるという効果がある。請求項３の発明
は、接合部のボディ側とカバー側の少なくとも何れか一
方に導電パターンを形成して成るので、導電パターンの
パターンニング寸法精度が向上し、導通信頼性を向上さ
せることができるという効果がある。
部を略平坦として成るので、接合部の面積が増えて接合
強度を向上させることができるとともに、ボディとカバ
ーの接合部で接続される導電パターンの導通信頼性を確
保することができるという効果がある。請求項３の発明
は、接合部のボディ側とカバー側の少なくとも何れか一
方に導電パターンを形成して成るので、導電パターンの
パターンニング寸法精度が向上し、導通信頼性を向上さ
せることができるという効果がある。
【００３１】請求項４の発明は、センサ部の電極を導電
パターンに電気的に接続するためのランドを、ボディ側
の接合部と同一平面上に形成して成るので、ランドまで
の導電パターンの引き回し面積を削除できて小型化が図
れるとともに、パターンニング寸法の精度を向上するこ
とができるという効果がある。請求項５の発明は、ボデ
ィとカバーの接合部のうち、互いの導電パターンが導通
する接合部を異方性導電樹脂により接着して成るので、
隣合う導電パターン同士の短絡を防止するための特別な
構造を必要とせず、小型化が可能になるという効果があ
る。
パターンに電気的に接続するためのランドを、ボディ側
の接合部と同一平面上に形成して成るので、ランドまで
の導電パターンの引き回し面積を削除できて小型化が図
れるとともに、パターンニング寸法の精度を向上するこ
とができるという効果がある。請求項５の発明は、ボデ
ィとカバーの接合部のうち、互いの導電パターンが導通
する接合部を異方性導電樹脂により接着して成るので、
隣合う導電パターン同士の短絡を防止するための特別な
構造を必要とせず、小型化が可能になるという効果があ
る。
【００３２】請求項６の発明は、ボディとカバーの接合
部のうち、互いの導電パターンが導通しない接合部を絶
縁性接着剤により接着して成るので、接合部の機械的強
度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能になるととも
に小型化が図れるという効果がある。請求項７の発明
は、全ての導電パターンが同一面上に並べられた器体の
側面において全ての導電パターンを略同一面積に形成し
て成るので、基板に実装した際の端子と基板パターンと
の接合信頼性を向上させることができるという効果があ
る。
部のうち、互いの導電パターンが導通しない接合部を絶
縁性接着剤により接着して成るので、接合部の機械的強
度や接合信頼性の向上と絶縁性確保が可能になるととも
に小型化が図れるという効果がある。請求項７の発明
は、全ての導電パターンが同一面上に並べられた器体の
側面において全ての導電パターンを略同一面積に形成し
て成るので、基板に実装した際の端子と基板パターンと
の接合信頼性を向上させることができるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】同上の側面断面図である。
【図３】同上のカバーの斜視図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は各々異なる方向から見た同上の
斜視図である。
斜視図である。
【図５】従来例を示す側面断面図である。
【図６】同上のプリント基板に実装した状態の側面断面
図である。
図である。
【図７】他の従来例を示す分解斜視図である。
【図８】同上の斜視図である。
【図９】同上の他の方向から見た斜視図である。
【図１０】同上の側面断面図である。
【図１１】同上のカバーを取った状態の平面図である。
Ａ 圧力センサ １ 器体 ２ ボディ ３ カバー ４ 圧力導入管 ４ａ 圧力導入口 １０ センサ部 Ｐａ1 〜Ｐａ6 ，Ｐｂ1 〜Ｐｂ3 導電パターン
Claims (7)
- 【請求項１】 圧力を電気信号に変換するセンサ部を器
体内に収納し、被圧力検出流体を導入する圧力導入口を
器体に設けた圧力センサにおいて、３次元立体回路部品
として形成されるボディとカバーとで器体を構成し、セ
ンサ部が具備する複数の電極と各々電気的に接続される
とともに少なくとも一部が器体表面に露出する複数の導
電パターンをボディ及びカバーに形成し、少なくとも圧
力導入口の法線方向と略平行な器体側面と、圧力導入口
の法線方向に略直交する器体側面とにおいて各電極に電
気的に接続されている全ての導電パターンを同一面上に
並べて成ることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 ボディとカバーの接合部を略平坦として
成ることを特徴とする請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 接合部のボディ側とカバー側の少なくと
も何れか一方に導電パターンを形成して成ることを特徴
とする請求項２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 センサ部の電極を導電パターンに電気的
に接続するためのランドを、ボディ側の接合部と同一平
面上に形成して成ることを特徴とする請求項２又は３記
載の圧力センサ。 - 【請求項５】 ボディとカバーの接合部のうち、互いの
導電パターンが導通する接合部を異方性導電樹脂により
接着して成ることを特徴とする請求項１〜４の何れかに
記載の圧力センサ。 - 【請求項６】 ボディとカバーの接合部のうち、互いの
導電パターンが導通しない接合部を絶縁性接着剤により
接着して成ることを特徴とする請求項１〜５の何れかに
記載の圧力センサ。 - 【請求項７】 全ての導電パターンが同一面上に並べら
れた器体の側面において全ての導電パターンを略同一面
積に形成して成ることを特徴とする請求項１〜６の何れ
かに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01466098A JP3407631B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01466098A JP3407631B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211599A true JPH11211599A (ja) | 1999-08-06 |
| JP3407631B2 JP3407631B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=11867381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01466098A Expired - Fee Related JP3407631B2 (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3407631B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005053877A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-16 | Aktiv Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauelement |
| DE102005053876A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-24 | Aktiv-Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauteil |
| EP2167930A2 (de) | 2007-07-10 | 2010-03-31 | Robert Bosch GmbH | Anschlusseinheit für eine druckmesszelle |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP01466098A patent/JP3407631B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005053877A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-16 | Aktiv Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauelement |
| DE102005053876A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-24 | Aktiv-Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauteil |
| DE102005053877B4 (de) * | 2005-11-09 | 2010-01-21 | Aktiv-Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauelement |
| DE102005053876B4 (de) * | 2005-11-09 | 2010-02-04 | Aktiv-Sensor Gmbh | Drucksensor-Bauteil |
| EP2167930A2 (de) | 2007-07-10 | 2010-03-31 | Robert Bosch GmbH | Anschlusseinheit für eine druckmesszelle |
| JP2010533284A (ja) * | 2007-07-10 | 2010-10-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧力測定セルのための接続ユニット |
| US8104357B2 (en) | 2007-07-10 | 2012-01-31 | Robert Bosch Gmbh | Connection unit for a pressure measuring cell |
| JP2012255800A (ja) * | 2007-07-10 | 2012-12-27 | Robert Bosch Gmbh | 圧力測定セルのための接続ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3407631B2 (ja) | 2003-05-19 |
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