JPH11204065A - 低反射膜、および、低反射膜を用いた表示パネル - Google Patents

低反射膜、および、低反射膜を用いた表示パネル

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JPH11204065A
JPH11204065A JP10006999A JP699998A JPH11204065A JP H11204065 A JPH11204065 A JP H11204065A JP 10006999 A JP10006999 A JP 10006999A JP 699998 A JP699998 A JP 699998A JP H11204065 A JPH11204065 A JP H11204065A
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JP
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reflectance
low
reflection
less
film
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JP10006999A
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Shinobu Mihashi
忍 三橋
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Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 10〜40°の広範囲の光線入射角度につい
ても赤色側の反射率が大きくない無反射多層膜を提供す
る。 【解決手段】 分光反射の各波長に於ける反射率が、視
感度の高い490nmから640nmの波長範囲に於い
て1%以下となる分光反射率特性を有し、波長650n
mでの反射率が1%以下、波長700nmでの反射率が
1.6%以下、かつ、波長750nmでの反射率が2.
7%以下となる様な長波長側の分光反射率特性を有し、
反射光色度のy値が0.10以上でかつ0.25以下と
なる分光反射率特性を有する無反射多層膜からなる低反
射膜であり、第1のITO薄膜31、第1の二酸化シリ
コン薄膜32、第2のITO薄膜33、第2の二酸化シ
リコン薄膜34が積層して形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、陰極線
管(CRT)、液晶、プラズマディスプレイ、ELディ
スプレイ、REディスプレイの表面(フェース・プレー
ト)などにおける外光反射を低減する低反射膜(または
無反射膜)、および、低反射膜を用いた陰極線管などの
表示パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】CRTなどの表示パネルに表示されてい
る情報は周囲光の反射によって目視しにくくなることが
あり、CRTなどの表示パネルに対する外光反射防止対
策が種々講じられている。そのような外光反射防止対策
として、光学多層薄膜(多層光学干渉膜)をCRTの表
面に被着することが提案されている。
【0003】特開平4−334853号公報は、CRT
表面における帯電防止とコントラスト指標を向上させる
多層薄膜を開示している。多層薄膜としては、たとえ
ば、超微粒子酸化チタンの高屈折率の膜と、超微粒子フ
ッ化マグネシュームの低屈折率の膜とをそれぞれ、帯電
防止光選択吸収膜の形成に使用するシリコンのアルコキ
シドをベースとした塗料をCRTの表面に塗布成膜して
形成したものが開示されている。この多層薄膜におい
て、高屈折率の層は、多孔質シリカ膜の中に有機系また
は無機系の染料または顔料粒子と導電性フィラー粒子と
超微粒子酸化チタンが分散しており、屈折率2.35の
酸化チタンによって屈折率1.8の高屈折率の層になっ
ている。低屈折率の層は、多孔質シリカ膜の中に有機系
または無機系の染料または顔料粒子と、導電性フィラー
粒子と、超微粒子フッ化マグネシュームが分散してお
り、屈折率1.38のフッ化マグネシュームによって屈
折率1.42の低い屈折率の層になっている。この2層
薄膜をCRTの表面に被着した場合、可視光線の範囲で
平均反射率が1.2%となり、2層薄膜を被着しない場
合の平均反射率4%の40%程度になることが記載され
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者は、CRT
に表示した情報の視認性は、光線の波長にのみ依存する
訳ではなく、光線の入反射角度にも依存することを見い
だした。特開平4−334853号公報には光線の入反
射角度に関する事項は開示も示唆もされていない。JI
S Z8701の規格に規定されているように、通常、
色の表示方法は、2度視野に基づくXYZ表色系および
10度視野に基づくX101010表色系によって色を表
示することが多いから、特開平4−334853号公報
に開示された技術も、10度視野に基づいて行われてい
ると推察される。しかしながら、目視者(視認者)は、
CRT表示パネルの正面から表示内容を観察するだけで
なく、実際は10度以上の広い範囲でCRTの表示内容
を観察しており10度視野では不十分である。
【0005】さらに本願発明者は、多層薄膜をCRT表
面に被着した場合の低反射において、単に反射率を低減
するだけでなく、色についても観察者にとって好ましい
ものとそうでないものとが存在することを考慮して、そ
の対策が必要であることを見いだした。従来の方法につ
いては、視度に加えて反射色について考慮したものはな
い。
【0006】従来の反射率の測定方法については後述す
るが、本願発明者は、これまでの反射率の測定が正確で
ないことを見いだした。
【0007】本発明の目的は、広い視度の入反射角度に
ついて実用な反射率を提供する低反射膜を提供すること
にある。本発明の他の目的は、観察者にとって好ましい
反射色を提供する低反射膜を提供することにある。本発
明の他の目的は、上述した低反射膜を用いて実用的に効
果的な表示パネルを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の基本構想について述べる。陰極線管などの表示パネ
ルの表面に光学多層薄膜による無反射処理を施した場合
は、光線の入反射角が大きくなると、反射光色度が赤色
側に変化する。しかしながら、下記の光学的条件が満足
されると、光線の入反射角が最大40°までは反射光色
度が極端に赤色系に変化するのを防止出来ることが見い
だされた。 (1)分光反射の各波長に於ける反射率が、視感度の高
い490nmから640nmの波長範囲に於いて1%以
下となる分光反射率特性とすること。 (2)上述した分光反射特性で、波長650nmでの反
射率が1%以下、波長700nmでの反射率が1.6%
以下、かつ、波長750nmでの反射率が2.7%以下
となる様な長波長側の分光反射率特性とすること。 (3)上記分光反射で、反射光色度のy値が0.10以
上でかつ0.25以下となる分光反射率特性とするこ
と。
【0009】本発明の第1の観点によれば、所定の厚さ
の第1のITO薄膜、所定の厚さの第1の二酸化シリコ
ン薄膜、所定の厚さの第2のITO薄膜、所定の厚さの
第2の二酸化シリコン薄膜を積層した光線の反射を低減
する低反射膜であって、所定の光線の入射角度につい
て、所定の入射光線が10度で入反射したとき、所定の
反射率以下になるように、前記低反射膜の各層の厚さを
調整して形成したことを特徴とする低反射膜が提供され
る。好適には、光線の入射角度10°について、入射光
線の波長範囲が490nmから640nmの波長範囲で
低反射膜に入射したとき分光反射率が1%以下となるよ
うに、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形成したこ
とを特徴とする。さらに好適には、光線の入射角度10
°について、入射光線の波長650nmでの反射率が1
%以下、波長700nmでの反射率が1.6%以下、か
つ、波長750nmでの反射率が2.7%以下となるよ
うな長波長側の分光反射率特性を示すように、前記低反
射膜の各層の厚さを調整して形成したことを特徴とす
る。さらに好適には、光線の入射角度10°について、
入射光線の波長範囲が380nmから780nmの光線
が前記低反射膜に入反射したとき、反射光色度のy値が
0.10以上でかつ0.25以下となる分光反射率特性
となるように、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形
成したことを特徴とする。特定的には、前記第1のIT
O薄膜の厚さが約20nmであり、前記第1の二酸化シ
リコン薄膜の厚さが約25nmであり、前記第2のIT
O薄膜の厚さが約45nmであり、前記第2の二酸化シ
リコン薄膜の厚さが約100nmである。ただし、各膜
の形成の方法や条件によって、その膜の屈折率等の光学
特性が変化するため、好適な各薄膜の膜厚は、その形成
方法や条件によって変化する。
【0010】本発明の第2の観点によれば、分光反射の
各波長に於ける反射率が、視感度の高い490nmから
640nmの波長範囲に於いて1%以下となる分光反射
率特性を有し、波長650nmでの反射率が1%以下、
波長700nmでの反射率が1.6%以下、かつ、波長
750nmでの反射率が2.7%以下となる様な長波長
側の分光反射率特性を有し、反射光色度のy値が0.1
0以上でかつ0.25以下となる分光反射率特性を有す
る無反射多層膜からなる低反射膜が提供される。また本
発明の第3の観点によれば、上記低反射膜を表面に設け
た陰極線管が提供される。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の 反射率測定
装置 本発明の低反射膜を詳述する前に、反射率測定装置を考
察する。多層薄膜を用いたAR(Anti-reflection)フィ
ルムなどの低反射膜の反射物体色は、分光反射率から求
められる色度点が表現される。一方、利用者は肉眼で目
視して反射色の良否を判断している場合が多い。肉眼の
目視が観察する場合、光線入射角度が広く変化し、分光
光度計で一定の光線入射角度で測定された色度と一致し
ないことが想定される。このように、光線入射角度を変
化させて反射率測定を行う場合は分光光度計の偏光特性
が問題になる。
【0012】分光光度計の光源はタングステンヨウ素ラ
ンプと重水素ランプが一般的である。これらの光源は等
方性の偏光分布を持っている。しかし、白色光を回折格
子で分散させた場合は、その装置特有の偏光の偏りが生
じやすい。
【0013】図1は標準試料BK−7の屈折率を示すグ
ラフである。図1において、横軸は波長であり、縦軸は
屈折率である。標準試料BK−7は、厚さが5mmであ
り、裏面反射を防止するため裏面にブラックペイントを
塗布してある。図1に示したBK−7の屈折率のデータ
から理論的なBK−7の表面反射率を計算した結果を図
2および図3に示す。図2は光線入射角度=10°、図
3は光線入射角度=20°の場合の表面反射率を示すグ
ラフである。図2および図3において、横軸は波長であ
り、縦軸は反射率である。図2および図3において、曲
線Rp はP波の偏光成分の反射率を示すグラフであり、
曲線Rs はS波の偏光成分の反射率を示すグラフであ
り、曲線RavはP波の偏光成分の反射率とS波の偏光成
分の反射率との平均の反射率を示すグラフである。この
ように、P波の偏光成分の反射率とS波の偏光成分の反
射率とは異なっており、通常、反射率というときこれら
P波とS波の反射率の平均の反射率を代表している。こ
のように、一般的に物質表面で光が反射するとき、光の
偏光の向きによって反射率が異なり、偏光の向きによる
反射率の差は光線の入射角度に依存する。したがって、
物体の反射率の角度依存性を考察する場合は、分光光度
計の偏光分布が均一になっている必要がある。
【0014】図4はこれまで知られている絶対反射率測
定装置の構成を示す図である。この絶対反射率測定装置
は、入射光を反射する第1のミラー、第1のミラーの反
射光を積分球に奥に設けられた拡散板に向けて反射する
第2のミラー、検出器としての積分球、拡散板を有す
る。図4に図解した絶対反射率測定装置を用いて、標準
試料BK−7に対して光線入射角度=10°、20°で
反射率の測定をした結果を図5および図6に示す。図5
および図6に図解した結果は、実際の反射率が理論値よ
りも0.6%程度大きくなることが判明した。
【0015】上記反射率の相違はBK−7の裏面からの
反射と推定された。そこで、実際の反射率と理論反射率
との相違の原因を究明するため、BK−7を透過しない
波長領域での反射率を確認し、裏面反射の影響を確認す
るため、分光反射率を紫外線(UV)領域まで拡張し
た、波長220〜880nmで測定した。その結果を図
7および図8に図解する。BK−7の光吸収率が急激に
増加する波長320nmよりも短い波長において反射率
が一旦低下し270nmよりも短い波長側では再び反射
率が増加する。この反射率の低下が裏面反射率に相当
し、約0.6〜0.8%になり、BK−7の理論的な反
射率と実際の反射率との相違がBK−7の裏面のブラッ
クペイントとの界面反射であることが確認された。
【0016】そこで分光光度計の偏光特性を考察した。
このため、図9に図解した反射率測定装置を用いた。図
9に図解した反射率測定装置は、図4に図解した絶対反
射率測定装置において、入射光源を通過するように偏光
子を偏光子を挿入したものである。ここでは偏光子を4
5°回転させた例を示す。 図9に図解した反射率測定
装置を用いて測定した反射率測定結果を図5および図6
に、偏光子の回転角度45°の反射率の結果として曲線
45で示す。また図9に図解した反射率測定装置を用い
て、UV領域まで拡張して測定した反射率測定結果を図
7および図8に曲線R45で示す。図5および図7に図解
した、光線入射角度=10°における、偏光子の回転角
度45°の反射率の結果から、P波の偏光成分とS波の
偏光成分との平均反射率にほぼ等しいことが判る。すな
わち、平均反射率と偏光子の回転角度45°の反射率と
の差異は0.05%以下の差でしかない。また、偏光子
を用いないで測定した反射率RD との差も0.1%以下
である。しかしながら、図6および図8に図解した、光
線入射角度=20°における、偏光子の回転角度45°
の反射率の結果から、平均反射率と偏光子の回転角度4
5°の反射率との差異は小さいが、偏光子を用いない直
接測定の反射率RD との差は大きくなる。すなわち、図
6および図8に図解したように、光線入射角度が大きく
なると、P波偏光成分とS波偏光成分との相違が大きく
なり、偏光成分を無視した直接測定による反射率RD
用いたのでは正確な反射率の理解にならない。換言すれ
ば、正確な反射率の理解には、図9に図解した偏光子を
用いた反射率測定装置を用いる必要があることが判明し
た。したがって、以下の反射率の記述および考察につい
ては図9に図解した反射率測定装置を用いた場合につい
て述べる。
【0017】ARフィルムの反射率の光線入射角度によ
る影響 本発明の低反射膜を詳述する前に、ARフィルムの反射
率の光線入射角度による影響を考察する。反射率を測定
するARフィルムの試料を下記のごとく2つ用意した。 試料1:1%バンド幅が規格限度で狭く、長波長側の反
射率曲線が比較的急峻で反射率が高いARフィルム。 試料2:1%バンド幅が広く、長波長側の反射率曲線が
緩やかで反射率が低いARフィルム。
【0018】これらの試料1、2について光線入射角度
を10°、20°、30°、40°で分光反射率を測定
した結果を、図10および図11に示す。図12および
図13は、これらのデータの中から、反射物体色のデー
タを試料ごとにまとめ、光線入射角度による色度点の変
化が見えるように図解したグラフである。図12に図解
した試料1の結果と図13に図解した試料2の結果を比
較すると、1%バンド幅が規格限度で狭く長波長側の反
射率曲線が比較的急峻で反射率が高い試料1は、1%バ
ンド幅が広く長波長側の反射率曲線が緩やかで低い試料
2よりも光線入射角度が変化する色度の範囲が広いこと
が判る。特に、光線入射角度が大きくなると急速に赤側
の色に変化する。図12に図解した試料1は、光線入射
角度10°では試料2よりも青色側の反射色であるが、
光線入射角度が大きくなると急速に赤色側に反射色がシ
フトして光線入射角度−40°では完全に逆転した反射
色となる。
【0019】このように、光線入射角度に依存して反射
率および反射色が大きく変化することが理解された。
【0020】さらに上述した結果は、長波長側の反射率
が高く、反射率特性曲線が急峻なARフィルムは、目視
で観察した場合に斜めから観察すると赤色側の反射率が
強調されることになる。すなわち、ARフィルムをCR
Tの表面に被着した場合、正面からは青色に見えても、
斜めから見ると赤色に見えることになる。CRTの表面
に光学多層薄膜を被着して無反射処理を施す場合、一般
的には青色系の反射光色度が好まれる。したがって、試
料1の様なARフィルムは赤色側の反射色を好まない利
用者にとっては、好ましい低反射膜ではない。そこで、
試料2の様な低反射膜が要望される。
【0021】低反射膜 以上の考察から、光線入射角度が10°〜40°程度に
おいて、目視が好まれる青色側の反射物体色を提供す
る、分光反射率の長波長側の曲線が穏やかで、反射率も
低いスペクトル波形を維持する成膜条件の多層薄膜の低
反射膜が望まれる。
【0022】低反射膜の第1の実施の形態 本発明の第1の実施の形態としての低反射膜について述
べる。図14は本発明の低反射膜の第1の実施の形態と
しての無反射多層膜の断面図である。図14に図解した
無反射多層膜10は、所定の厚さt1の第1のITO
(Indium Tin Oxide薄膜11、所定の厚さt2の第1の
二酸化シリコン(Si 2 )薄膜12、所定の厚さt3
の第2のITO薄膜13、所定の厚さt4の第2の二酸
化シリコン薄膜14を積層した構造をしている。実施例
としては、第1のITO薄膜11の厚さt1≒15nm
であり、第1の二酸化シリコン(Si 2 )薄膜12の
厚さt2≒20nmであり、第2のITO薄膜13の厚
さt3≒100nmであり、第2の二酸化シリコン薄膜
14の厚さt4≒90nmである。図14に図解した無
反射多層膜をCRT表面に被着するときは、密着層20
として、例えばSiO2 などの光学的に影響の小さい5
nm以下の薄膜を介してPETやアクリルなどの透明樹
脂フィルム上にこれら多層膜を形成させ、これをCRT
表面(図示せず)に貼りつけた。
【0023】図14に図解した無反射多層膜を図9に図
解した偏光子を有する反射率測定装置で、光線入射角度
10°、20°、30°、40°について反射率を測定
した結果を図15に示す。図15はARフィルムについ
ての試料1、2に対する反射率の特定結果を示した図1
0および図11に類似する分光反射率の測定結果を示す
グラフである。なお、可視光線の範囲は下限は360〜
400nm、上限は760〜830nmと言われてい
る。反射光色度を計算する場合は、標準光源をD65と
し視野角2°で波長範囲が380nmから780nm分
光反射率を用いる。上記反射率の値は、分光反射特性に
干渉波形が重量する場合はスムージングした後の分光反
射率を用いる。
【0024】図15に図解した結果を考察すると、光線
の入反射角が10°の場合には、人間の視感度から求め
た視感反射率が0.3%以下で反射光色度も青色系の色
度で良好な反射光特性を持っている。しかし、光線の入
反射角が大きくなるにつれて長波長側の反射率が大きく
変化し、図16に図解したように、入反射角が40°と
なると著しく赤色側に変化する。そこで、第1の実施の
形態の無反射多層膜を改善することが望ましい。図16
はARフィルムについての図12および図13に類似す
る、図14に図解した無反射多層膜の特性曲線を示すグ
ラフである。
【0025】低反射膜の第2の実施の形態 本発明の第2の実施の形態としての低反射膜について述
べる。第2の実施の形態としての低反射膜は、第1の実
施の形態としての無反射多層膜の不具合を改善した。第
2の実施の形態としての無反射多層膜の構造は、図17
に図解したように、構造自体は図14に図解した第1の
実施の形態の無反射多層膜と同じである。すなわち、図
17に図解したように、本発明の低反射膜の第2の実施
の形態としての無反射多層膜30は、所定の厚さt1a
の第1のITO(Indium Tin Oxide薄膜31、所定の厚
さt2aの第1の二酸化シリコン(Si 2 )薄膜3
2、所定の厚さt3aの第2のITO薄膜33、所定の
厚さt4aの第2の二酸化シリコン薄膜34を積層した
構造をしている。なお、これらの層の厚さは第1の実施
の形態の無反射多層膜とは異なる。厚さについては後述
する。図17に図解した無反射多層膜をCRT表面に被
着するときは、密着層40として、例えば、SiO2
どの光学的に影響の小さい5nm以下の薄膜を介してP
ETやアクリルなどの透明樹脂フィルム上にこれら多層
膜を形成させ、これをCRT表面と無反射多層膜の第1
のITO薄膜との間に介在させる。
【0026】図18は図15に対応する第2の実施の形
態の特性曲線を示すグラフであり、第1の実施の形態の
無反射多層膜を改善するため、図15に図解した特性デ
ータについて、長波長側の反射率を低く設計し、600
nmから750nmまでの波長の反射率のカーブを緩や
かに設計した場合を示す。図18に図解した反射率のと
特性も、光線の入反射角が大きくなると、長波長側の反
射率が増加する。しかしながら、下記に述べる利点があ
る。a.長波長側のカーブが緩やかである。b.460
nmから600nmの波長域で比較的平坦な反射率特性
である。
【0027】このような特性を選択すると、第2実施の
形態の無反射多層膜によると図19に図解した特性が得
られる。図19は図16に対応する特性曲線を示すグラ
フである。図19のデータと図16のデータとを対比す
ると、図19のデータは光線の入反射角の変化による色
度の赤色側への変化が少ない。また光線の入反射角10
°の時の反射光色度のy値を0.10以上0.25以下
とすることで、40°の時に色度が白色方向に変化し、
赤色が目立たなくなった。光線の入反射角40°の時の
反射光色度は、ほぼ白色(x=0.333,y=0.3
33)に近い色度となっており、少なくとも、利用者に
最も嫌われる赤色にはならない。
【0028】以上の特性を示す無反射多層膜は、図17
に図解した無反射多層膜のそれぞのれ層の厚さを調整す
ることによって実現できた。その実施例を下記に例示す
る。 第1のITO薄膜31の厚さt1a≒20nm 第1の二酸化シリコン(Si 2 )薄膜32の厚さt2
a≒25nm 第2のITO薄膜33の厚さt3a≒45nm 第2の二酸化シリコン薄膜34の厚さt4a≒100n
【0029】本発明の低反射膜を実現するには、各層の
膜厚を調整すればよい。すなわち、上述した図15およ
び図18とは異なる反射率特性とは異なる無反射多層膜
を実現するには、図14および図17に図解した各層の
厚さを調整すればよい。
【0030】以上、低反射膜としての無反射多層膜をC
RT表面に被着させてCRT画面に表示された情報の視
認線を高めるための反射について述べたが、上述した無
反射多層膜はCRT表面に被着させるだけでなく、光線
の入反射角度の影響を受けるその他の表示パネル、また
は、その他の装置に適用できる。以上の実施例において
は、表示パネルとして、陰極線管を例示したが、本発明
の低反射膜は種々な表示パネル、例えば、液晶パネル、
プラズマディスプレー、ELパネルなどに適用できる。
【0031】
【発明の効果】本発明の低反射膜によれば、長波長側の
反射率のカーブを緩やかにすることで、光線の入反射角
が大きくなっても反射光が赤色側に変化する割合を軽減
できた。本発明の低反射膜をCRTなどの表示パネルに
適用すると、表示パネルを目視で観察した場合に、無反
射多層薄膜を施した表示パネル表面に対して斜めから観
察した場合の反射光色度が極端に赤色に変化するのを防
止できた。
【0032】本発明による反射光色度のy値を0.10
以上、0.25以下に制限することで、入反射角が大き
い時の色度が白色に近い色度となり、さらに、反射色が
赤色に変化するのを軽減できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は標準試料BK−7の屈折率を示すグラフ
である。
【図2】図2は光線入射角度=10°における図1に示
したBK−7の屈折率のデータから理論的なBK−7の
表面反射率を計算した結果を示すグラフである。
【図3】図3は光線入射角度=20°における図1に示
したBK−7の屈折率のデータから理論的なBK−7の
表面反射率を計算した結果を示すグラフである。
【図4】図4はこれまで知られている絶対反射率測定装
置の構成を示す図である。
【図5】図5は図4に図解した絶対反射率測定装置を用
いて、標準試料BK−7に対して光線入射角度=10°
で反射率の測定をした結果を示すグラフである。
【図6】図6は図4に図解した絶対反射率測定装置を用
いて、標準試料BK−7に対して光線入射角度=20°
で反射率の測定をした結果を示すグラフである。
【図7】図7は図4に図解した絶対反射率測定装置を用
いて、標準試料BK−7に対して光線入射角度=10°
で、波長220〜880nmについて反射率の測定をし
た結果を示すグラフである。
【図8】図8は図4に図解した絶対反射率測定装置を用
いて、標準試料BK−7に対して光線入射角度=20°
で、波長220〜880nmについて反射率の測定をし
た結果を示すグラフである。
【図9】図9は本発明において用いられた偏光子を用い
た反射率測定装置の構成を示す図である。
【図10】図10は図9に図解した絶対反射率測定装置
を用いてARフィルムの試料1について光線入射角度を
10°、20°、30°、40°で分光反射率を測定し
た結果を示すグラフである。
【図11】図11は図9に図解した絶対反射率測定装置
を用いてARフィルムの試料2について光線入射角度を
10°、20°、30°、40°で分光反射率を測定し
た結果を示すグラフである。
【図12】図12はARフィルムの試料1について、図
10および表1に示したデータの中から、反射物体色の
データを試料ごとにまとめ、光線入射角度による色度点
の変化が見えるように図解したグラフである。
【図13】図13はARフィルムの試料2について、図
11および表2に示したデータの中から、反射物体色の
データを試料ごとにまとめ、光線入射角度による色度点
の変化が見えるように図解したグラフである。
【図14】図14は本発明の低反射膜の第1の実施の形
態としての無反射多層膜の断面図である。
【図15】図15は本発明の低反射膜の第1の実施の形
態としての無反射多層膜を図9に図解した絶対反射率測
定装置で、光線入射角度10°、20°、30°、40
°について反射率を測定した結果を示すグラフである。
【図16】図16は図14に図解した第1の実施の形態
としての無反射多層膜の反射物体色の光線入射角度によ
る変化を示す特性曲線を示すグラフである。
【図17】図17は本発明の低反射膜の第2の実施の形
態としての無反射多層膜の断面図である。
【図18】図18は本発明の低反射膜の第2の実施の形
態としての無反射多層膜を図9に図解した絶対反射率測
定装置で、光線入射角度10°、20°、30°、40
°について反射率を測定した結果を示すグラフである。
【図19】図19は図17に図解した第2の実施の形態
としての無反射多層膜の反射物体色の光線入射角度によ
る変化を示す特性曲線を示すグラフである。
【符号の説明】
10,30・・無反射多層膜 11,31・・第1のITO薄膜 12,32・・第1の二酸化シリコン(Si 2 )薄膜 13,33・・第2のITO薄膜 14,35・・第2の二酸化シリコン薄膜 20,40・・密着層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G09F 9/00 318 H01J 5/08 H01J 5/08 G02B 1/10 A

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】低反射膜であって、 所定の厚さの第1のITO薄膜、 所定の厚さの第1の二酸化シリコン薄膜、 所定の厚さの第2のITO薄膜、 所定の厚さの第2の二酸化シリコン薄膜を積層した光線
    の反射を低減する低反射膜であって、 所定の反射率以下になるように、前記低反射膜の各層の
    厚さを調整して形成したことを特徴とする低反射膜。
  2. 【請求項2】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長範囲が490nmから640nmの波長範囲で低
    反射膜に入射したとき分光反射率が1%以下となるよう
    に、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形成したこと
    を特徴とする、請求項1記載の低反射膜。
  3. 【請求項3】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長650nmでの反射率が1%以下、波長700n
    mでの反射率が1.6%以下、かつ、波長750nmで
    の反射率が2.7%以下となるような長波長側の分光反
    射率特性を示すように、前記低反射膜の各層の厚さを調
    整して形成したことを特徴とする、請求項1記載の低反
    射膜。
  4. 【請求項4】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長範囲が380nmから780nmの光線が前記低
    反射膜に入反射したとき、反射光色度のy値が0.10
    以上でかつ0.25以下となる分光反射率特性となるよ
    うに、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形成したこ
    とを特徴とする、請求項1記載の低反射膜。
  5. 【請求項5】光線の反射を低減する低反射膜が表面に被
    着された表示パネルであって、 該低反射膜は、所定の波長の光線が所定の角度で入反射
    したとき、所定の反射率になるように、所定の厚さの第
    1のITO薄膜、所定の厚さの第1の二酸化シリコン薄
    膜、所定の厚さの第2のITO薄膜、所定の厚さの第2
    の二酸化シリコン薄膜を積層したことを特徴とする低反
    射膜を表面に被着し、光線の反射を低減させた表示パネ
    ル。
  6. 【請求項6】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長範囲が490nmから640nmの波長範囲で低
    反射膜に入射したとき分光反射率が1%以下となるよう
    に、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形成したこと
    を特徴とする、請求項5記載の表示パネル。
  7. 【請求項7】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長650nmでの反射率が1%以下、波長700n
    mでの反射率が1.6%以下、かつ、波長750nmで
    の反射率が2.7%以下となるような長波長側の分光反
    射率特性を示すように、前記低反射膜の各層の厚さを調
    整して形成したことを特徴とする、請求項5記載の表示
    パネル。
  8. 【請求項8】光線の入射角度10°について、入射光線
    の波長範囲が380nmから780nmの光線が前記低
    反射膜に入反射したとき、反射光色度のy値が0.10
    以上でかつ0.25以下となる分光反射率特性となるよ
    うに、前記低反射膜の各層の厚さを調整して形成したこ
    とを特徴とする、請求項5記載の表示パネル。
  9. 【請求項9】前記表示パネルは陰極線管または液晶表示
    パネル、または、プラズマ表示パネルである、請求項5
    記載の表示パネル。
  10. 【請求項10】分光反射の各波長に於ける反射率が、視
    感度の高い490nmから640nmの波長範囲に於い
    て1%以下となる分光反射率特性を有し、 波長650nmでの反射率が1%以下、波長700nm
    での反射率が1.6%以下、かつ、波長750nmでの
    反射率が2.7%以下となる様な長波長側の分光反射率
    特性を有し、 反射光色度のy値が0.10以上でかつ0.25以下と
    なる分光反射率特性を有する無反射多層膜からなる低反
    射膜。
  11. 【請求項11】前記無反射多層膜は、 所定の厚さの第1のITO薄膜、 所定の厚さの第1の二酸化シリコン薄膜、 所定の厚さの第2のITO薄膜、 所定の厚さの第2の二酸化シリコン薄膜を積層して形成
    されている請求項10記載の低反射膜。
  12. 【請求項12】低反射膜を表面に設けた陰極線管であっ
    て、該低反射膜は、 分光反射の各波長に於ける反射率が、視感度の高い49
    0nmから640nmの波長範囲に於いて1%以下とな
    る分光反射率特性を有し、 波長650nmでの反射率が1%以下、波長700nm
    での反射率が1.6%以下、かつ、波長750nmでの
    反射率が2.7%以下となる様な長波長側の分光反射率
    特性を有し、 反射光色度のy値が0.10以上でかつ0.25以下と
    なる分光反射率特性を有する陰極線管。
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