JPH11203886A - 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置 - Google Patents

不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置

Info

Publication number
JPH11203886A
JPH11203886A JP10005190A JP519098A JPH11203886A JP H11203886 A JPH11203886 A JP H11203886A JP 10005190 A JP10005190 A JP 10005190A JP 519098 A JP519098 A JP 519098A JP H11203886 A JPH11203886 A JP H11203886A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory
output
decoder
data
verify
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10005190A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuhiko Tanaka
信彦 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP10005190A priority Critical patent/JPH11203886A/ja
Priority to TW087108553A priority patent/TW388881B/zh
Priority to US09/089,765 priority patent/US6011720A/en
Priority to KR1019980037522A priority patent/KR100286188B1/ko
Publication of JPH11203886A publication Critical patent/JPH11203886A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/3454Arrangements for verifying correct programming or for detecting overprogrammed cells
    • G11C16/3459Circuits or methods to verify correct programming of nonvolatile memory cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/3454Arrangements for verifying correct programming or for detecting overprogrammed cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/50Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のフラッシュメモリ1では、その外部デ
ータバス3を介して書き込んだデータを読み出し、これ
に基づいてベリファイチェックを行なっていた。そのた
め、ベリファイチェックの時間が外部データバス3のバ
ス幅により制限されてしまうという課題があった。 【解決手段】 フラッシュメモリ1内部において各ビッ
トライン毎にベリファイチェックを行なって、この総合
的なベリファイチェックの結果を完了判別回路20から
テスタ2へ出力するようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はフラッシュメモリ
などのフローティングゲートを有するメモリトランジス
タからなる不揮発性メモリに係り、詳しくは、当該メモ
リトランジスタへデータを書き込む際に必要となる時間
を短縮するための改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図7は従来のフラッシュメモリおよび当
該フラッシュメモリにデータを書き込む際の回路接続を
示すブロック図である。図において、1はフラッシュメ
モリであり、2はフラッシュメモリ1にデータを書き込
むテスタであり、3はこれらを接続する外部データバス
である。4は複数のメモリトランジスタが配置されたフ
ラッシュメモリ本体であり、5は当該フラッシュメモリ
本体4と外部データバス3とを接続するデータポートで
あり、6は上記フラッシュメモリ本体4からデータポー
ト5に接続するメモリトランジスタを選択するアドレス
入力ポートである。7は上記外部データバス3に接続さ
れるテスタ側データポートであり、8はこのテスタ側デ
ータポート7から出力する書き込みデータを記憶する書
込みデータメモリであり、9はテスタ側データポート7
から入力された書き込みベリファイデータを記憶する読
取データメモリであり、10はデータの書き込み/読み
出し先を選択するアドレス生成回路であり、11はこれ
ら各部7,8,9,10を制御して書込みデータメモリ
8に記憶されたデータをフラッシュメモリ本体4に記憶
させる書込み制御手段である。
【0003】次に動作について説明する。テスタ2の書
込みデータメモリ8に所定のデータが記憶されると、書
込み制御手段11はデータの書込みを開始する。具体的
には、アドレス生成回路10から所定の書込み開始番地
を生成するとともに、テスタ側データポート7に当該ア
ドレスに書き込むデータをセットする。するとフラッシ
ュメモリ1は上記アドレスに対応したメモリトランジス
タを選択し、そのトランジスタのフローティングゲート
にデータポートに入力されたデータに応じた電荷注入を
行なう。
【0004】次に所定のデータの書込みが終了すると、
書込み制御手段11はアドレス生成回路10からデータ
を書き込んだアドレスを再度出力する。これに応じてフ
ラッシュメモリ1は当該アドレスに対応したメモリトラ
ンジスタからデータを読み出し、これをデータポート5
から出力する。書込み制御手段11はこのデータをテス
タ側データポート7を介して読取データメモリ9に記憶
する。その後、書込みデータメモリ8に記憶されたデー
タと当該読取データメモリ9に記憶されたデータを各ア
ドレス毎に比較し、ベリファイチェックを実行する。そ
の結果、全てのメモリトランジスタに適当にデータが記
憶されていたら書込みを終了し、一部のトランジスタに
おいてデータの書込み誤りがあったら、再度データ書込
みとベリファイチェックを繰り返す。なお、所定の回数
データの再書込みを行なっても適当にデータが記憶され
なければ当該フラッシュメモリ1は不良と判定する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の不揮発性メモリ
は以上のように構成されているので、当該不揮発性メモ
リにデータを書込もうとした場合、データポート5のバ
ス幅毎にテスタ2からデータを転送して書込みを行なう
とともに、当該バス幅毎にデータを読み出してからデー
タのベリファイチェックをしなければならず、データポ
ート5のバス幅によりデータの基本的な書込み時間が制
限されてしまい、近年の大容量メモリにおいてはその書
込みに必要なトータルの時間が極めて長くなっていると
いう課題がある。
【0006】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、不揮発性メモリへデータを書き込
む際に必要となる時間を短縮した不揮発性メモリおよび
それを具備する半導体装置を得ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係る不揮発性
メモリは、複数のメモリトランジスタが配置されたメモ
リセルと、当該メモリセル内において複数のメモリトラ
ンジスタに直接接続される複数のビットラインと、当該
複数のビットラインが接続され、アドレスに基づいて当
該複数のビットラインのうちの1つを選択するデコーダ
と、当該デコーダにより選択された1つのビットライン
を外部のバスラインに接続するI/Oドライバと、上記
メモリセルと当該I/Oドライバの間においてメモリト
ランジスタの出力を検出して、その出力に応じた論理レ
ベル信号を生成するセンスアンプとを有するものであ
り、特に、上記センスアンプを1つのI/Oドライバに
対して複数個ずつ設けるとともに、当該センスアンプの
出力が入力され、その出力レベルに基づいてメモリトラ
ンジスタに書き込んだレベルをチェックする複数のベリ
ファイ回路と、当該複数のベリファイ回路のチェック結
果が入力され、入力された全てのチェック結果が正常で
ある場合にベリファイ完了信号を出力する完了判別回路
とを設けたものである。
【0008】この発明に係る不揮発性メモリは、デコー
ダを、当該複数のビットラインが接続され、アドレスに
基づいて当該複数のビットラインのうちの1つを選択す
る複数の第1デコーダと、当該複数の第1デコーダの出
力が入力され、アドレスに基づいて当該複数の第1デコ
ーダの出力のうちの1つを選択する第2デコーダとで構
成するとともに、上記センスアンプは、各第1デコーダ
と第2デコーダとの間に配設されているものである。
【0009】この発明に係る不揮発性メモリは、完了判
別回路が、I/Oポートの8ビット単位あるいは16ビ
ット単位ごとに設けられているものである。
【0010】この発明に係る半導体装置は、複数のメモ
リトランジスタが配置されたメモリセルと、当該メモリ
セル内において複数のメモリトランジスタに直接接続さ
れる複数のビットラインと、当該複数のビットラインが
接続され、アドレスに基づいて当該複数のビットライン
のうちの1つを選択するデコーダと、当該デコーダによ
り選択された1つのビットラインを半導体装置の内部バ
スラインに接続するI/Oドライバと、上記メモリセル
と当該I/Oドライバの間においてメモリトランジスタ
の出力を検出して、その出力に応じた論理レベル信号を
生成するセンスアンプとを有する不揮発性メモリを具備
するものであり、特に、上記センスアンプを1つのI/
Oドライバに対して複数個ずつ設けるとともに、当該セ
ンスアンプの出力が入力され、その出力レベルに基づい
てメモリトランジスタに書き込んだレベルをチェックす
る複数のベリファイ回路と、当該複数のベリファイ回路
のチェック結果が入力され、入力された全てのチェック
結果が正常である場合にベリファイ完了信号を出力する
完了判別回路とを設けたものである。
【0011】この発明に係る半導体装置は、デコーダ
を、当該複数のビットラインが接続され、アドレスに基
づいて当該複数のビットラインのうちの1つを選択する
複数の第1デコーダと、当該複数の第1デコーダの出力
が入力され、アドレスに基づいて当該複数の第1デコー
ダの出力のうちの1つを選択する第2デコーダとで構成
するとともに、上記センスアンプは、各第1デコーダと
第2デコーダとの間に配設されているものである。
【0012】この発明に係る半導体装置は、完了判別回
路が、I/Oポートの8ビット単位あるいは16ビット
単位ごとに設けられているものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1によるフ
ラッシュメモリを示すブロック図である。図において、
5は外部データバスに接続されるデータポートであり、
22はそれぞれ当該外部データバスの各バスラインに接
続されるI/Oドライバであり、16はそれぞれメモリ
トランジスタであり、12はそれぞれ各I/Oドライバ
22毎の複数のメモリトランジスタ16のまとまりであ
るメモリセルであり、13はそれぞれ各メモリセル12
毎に複数本ずつ設けられたビットラインであり、21は
それぞれ当該各メモリセル12毎に設けられ、フラッシ
ュメモリに入力されたアドレスに応じて上記複数のビッ
トライン13のうちから1つを選択してI/Oドライバ
22に接続するデコーダであり、17はそれぞれフラッ
シュメモリに入力されたアドレスに応じてビットライン
13に接続されるメモリトランジスタ16を選択するワ
ード線デコーダであり、14はそれぞれ当該ワード線デ
コーダ17によりメモリトランジスタ16を選択する際
に使用するワードラインであり、15はそれぞれメモリ
トランジスタ16に接続されたソースラインである。
【0014】また、18はそれぞれメモリセル12とデ
コーダ21との間における各ビットライン13毎に設け
られ、当該ビットライン13に接続されたメモリトラン
ジスタ16の出力を検出して、その出力に応じた論理レ
ベル信号を生成するセンスアンプであり、19はそれぞ
れセンスアンプ18とデコーダ21との間においてビッ
トライン13の論理レベルをチェックするベリファイ回
路であり、20は全てのベリファイ回路19のチェック
結果が入力され、入力された全てのチェック結果が正常
である場合にベリファイ完了信号を出力する完了判別回
路である。
【0015】図2はこの発明の実施の形態1によるフラ
ッシュメモリおよび当該フラッシュメモリにデータを書
き込む際の回路接続を示すブロック図である。図におい
て、1はフラッシュメモリであり、2はフラッシュメモ
リ1にデータを書き込むテスタであり、3はこれらを接
続する外部データバス(外部バスライン)である。4は
複数のメモリセル12などからなるフラッシュメモリ本
体であり、5は当該フラッシュメモリ本体4と外部デー
タバス3とを接続するデータポートであり、6は上記デ
コーダ21およびワード線デコーダ17を有し、入力さ
れたアドレスに対応したメモリトランジスタ16を選択
するアドレス入力ポートである。7は上記外部データバ
ス3に接続されるテスタ側データポートであり、8はこ
のテスタ側データポート7から出力する書き込みデータ
を記憶する書込みデータメモリであり、10はデータの
書き込み/読み出し先を選択するアドレス生成回路であ
り、11は上記ベリファイ完了信号が入力されるととも
に、これら各部7,8,10を制御して書込みデータメ
モリ8に記憶されたデータをフラッシュメモリ本体4に
記憶させる書込み制御手段である。
【0016】次にフラッシュメモリ1へのデータ書込み
動作について説明する。データ書込み動作は大きくわけ
て、メモリ消去工程、消去ベリファイチェック工程、デ
ータ書込み工程、書込みデータベリファイチェック工程
からなり、各ベリファイチェック工程で不良番地がある
と再度消去/書込み工程を実施する。また、所定の回数
再消去/再書込みをしても完了しなければ不良メモリと
判断して終了する。以下、工程の順番に従って説明す
る。
【0017】メモリ消去工程では、テスタの書込み制御
手段11からデータ消去命令が出力されると、フラッシ
ュメモリ1が独自にフラッシュメモリ本体4の記憶内容
を消去する。具体的には、ワード線デコーダ17に接続
されたワードライン14に正の電圧を印加するととも
に、フラッシュメモリ本体4の基盤(ウェル)やソース
ライン15に負の電圧を印加する。これにより、基盤や
ソースライン15とワードライン14との間に電位差が
生じ、これらの間に配設されたフローティングゲートに
は基盤側からトンネル現象によって電子が注入される。
この動作を各ワードライン14に対して行なうことでメ
モリデータの消去を行なう。
【0018】消去ベリファイチェック工程では、各ワー
ドライン14毎にそれに接続された全てのメモリトラン
ジスタ16の記憶データをチェックする。この場合、異
常がなければ、全てのビットライン13に設けられたセ
ンスアンプ18からはハイレベルの信号が出力される。
各ベリファイ回路19はセンスアンプ18の出力がハイ
レベルである場合には正常であるとしてハイレベルの信
号を出力し、完了判別回路20は全てのベリファイチェ
ック結果がハイレベルであると、それを記憶し、書込み
制御手段11の要求に応じてローレベルのベリファイ完
了信号を出力する。
【0019】そして、この消去ベリファイ結果が正常で
ある場合には、書込み制御手段11はデータ書込み工程
に移行する。逆に、消去ベリファイ結果が異常である場
合には、消去工程および消去ベリファイチェック工程を
所定回数繰り返し、それでも正常とならなければ書込み
処理を中断して終了する。
【0020】データ書込み工程では、各メモリトランジ
スタ16をローレベルに書き込む。具体的には、ワード
ライン14に負の電圧を印加するとともに、書込み対象
となるメモリトランジスタ16のビットライン13に正
の電圧を印加する。これにより、フローティングゲート
に注入されていた電子がトンネル現象により吸引され
る。この動作を各メモリトランジスタ16毎に行なうこ
とでデータの書込みを行なう。
【0021】書込みベリファイチェック工程では、各ワ
ードライン14毎にそれに接続された全てのメモリトラ
ンジスタ16の記憶データをチェックする。この場合、
異常がなければ、全てのビットライン13に設けられた
センスアンプ18からはローレベルの信号が出力され
る。各ベリファイ回路19はセンスアンプ18の出力が
ハイレベルである場合には正常であるとしてハイレベル
の信号を出力し、完了判別回路20は全てのベリファイ
チェック結果がハイレベルであるとそれを記憶し、書込
み制御手段11の要求に応じてローレベルのベリファイ
完了信号を出力する。
【0022】逆に、書込みが適当になされなかった場合
には、その異常のあるビットライン13に接続されたセ
ンスアンプ18からはハイレベル信号が出力され、それ
に対応するベリファイ回路19からはローレベルの信号
が出力され、完了判別回路20はローレベルを記憶し
て、書込み制御手段11の要求に応じてハイレベルのベ
リファイ完了信号を出力する。
【0023】そして、この書込みベリファイ結果が正常
である場合には、書込み制御手段11はデータ書込みを
終了する。逆に、書込みベリファイ結果が異常である場
合には、データ書込み工程および書込みベリファイチェ
ック工程を所定回数繰り返し、それでも正常とならなけ
れば書込み処理を中断して終了する。
【0024】以上のように、この実施の形態1によれ
ば、各ビットライン13毎にセンスアンプ18およびベ
リファイ回路19を設け、これらにより検出された各ビ
ットライン13のベリファイチェックの結果をまとめて
完了判別回路20から出力するように構成したので、フ
ラッシュメモリ1に接続される外部データバス3の幅に
制約されることなく、当該バス幅よりも大きな単位ごと
にベリファイチェックを行なって、その結果をテスタに
出力することができる。
【0025】従って、従来のようにデータを外部データ
バス3から読み出してテスタ2においてベリファイチェ
ックを実行していた場合に比べて当該ベリファイチェッ
クに必要とされる時間が短縮され、フラッシュメモリ1
にデータを書き込む際に、各ベリファイチェックの時間
を短縮することができ、データ書込みに必要となるトー
タルの時間も短縮される。
【0026】実施の形態2.図3は実施の形態2による
フラッシュメモリの各ビットライン13から完了判別回
路20までの構成を示す回路図である。図において、1
8aはビットライン13がソース電極に接続されるとと
もに当該ビットライン13からデータを読み出す際にゲ
ート電極にハイレベルのセレクト信号が入力されるセレ
クトトランジスタであり、18bは当該セレクトトラン
ジスタ18aのドレイン電極と高圧側電源との間に配設
されたセンスアンプ用プルアップ抵抗であり、18c,
18dは当該ドレイン電極の電圧を増幅して出力する反
転バッファである。
【0027】19a、19eはそれぞれ消去ベリファイ
チェック工程では開状態、書込みベリファイチェック工
程では閉状態となるベリファイ用スイッチであり、19
b,19gはそれぞれ消去ベリファイチェック工程では
閉状態、書き込みベリファイチェック工程では開状態と
なるベリファイ用スイッチであり、19c,19dはそ
れぞれセンスアンプ18の出力レベルを反転させるイン
バータであり、19fは一方のインバータ19dの出力
を反転させて出力する入力ラッチ用反転論理和回路であ
り、19gは当該入力ラッチ用反転論理和回路19fの
出力を入力にフィードバックする入力ラッチ用インバー
タである。19n,19oはそれぞれ入力ラッチ用反転
論理和回路19fと入力ラッチ用インバータ19gとか
らなるラッチ回路の入力を制御するスイッチであり、こ
のスイッチ19n,19oはスイッチ19nが開状態の
時にはスイッチ19oは閉状態となって現状態を保持
し、スイッチ19nが閉状態の時にはスイッチ19oは
開状態となって上記ラッチ回路を遷移状態に制御する。
19hは上記一方のベリファイ用スイッチ19aの出力
と当該入力ラッチ用反転論理和回路19fの出力とが入
力されるベリファイ用反転論理積回路であり、19iは
所定のベリファイチェックタイミングにおいて閉じる第
3スイッチであり、19jはこの第3スイッチ19iの
出力が一方に入力されるベリファイ用反転入力論理積回
路であり、19k,19lはそれぞれ互いの出力が入力
されるとともに上記第3スイッチ19iの出力に接続さ
れたベリファイ用インバータであり、19pは第3スイ
ッチ19iが閉状態の時には閉状態となって現状態を保
持するスイッチであり、19mはベリファイ用反転入力
論理積回路19jの出力がハイレベルのときにローレベ
ルを出力する出力トランジスタである。
【0028】20bは複数のベリファイ回路19の出力
信号がワイヤードオア入力される判定回路入力用インバ
ータであり、20cは当該判定回路入力用インバータ2
0bの出力に応じてスイッチングする帰還用トランジス
タであり、20aは判定回路入力用インバータ20bの
入力をハイレベルにリセットする判定リセット用トラン
ジスタであり、20dは判定回路入力用インバータ20
bの出力を反転させる判定回路第2インバータであり、
20fは当該判定回路第2インバータ20dの出力を反
転して出力する反転入力論理積回路であり、20gはこ
の反転入力論理積回路20fの出力を入力に帰還させる
判定回路用帰還インバータである。20e,20hはそ
れぞれ反転入力論理積回路20fと判定回路用帰還イン
バータ20gとからなる判定回路用ラッチ回路の入力を
制御するスイッチであり、スイッチ20eが開状態の時
にはスイッチ20hは閉状態となって現状態を保持す
る。これ以外は実施の形態1と同様であるので同一の符
号を付して説明を省略する。
【0029】次に動作について説明する。消去ベリファ
イチェック工程では、正常であればビットライン13に
はハイレベル信号が出力される。従って、セレクトトラ
ンジスタ18aにハイレベルのセレクト信号を入力する
とセンスアンプ18の出力はハイレベルとなる。そし
て、当該工程においてはベリファイ回路19の2つのベ
リファイ用スイッチ19a,19eは開状態となるの
で、入力ラッチ用反転論理和回路19fからはローレベ
ルの信号が出力され、ベリファイ用反転論理積回路19
hにはベリファイ用スイッチ19bが閉状態にあるため
ハイレベル信号と入力ラッチ用反転論理和回路19fか
らのローレベル信号とが入力される。更に、このベリフ
ァイ用反転論理積回路19hの出力を所定のタイミング
にてベリファイ用反転入力論理積回路19jに入力する
と、当該ベリファイ用反転入力論理積回路19jからは
ローレベル信号が出力され、出力トランジスタ19mは
ハイインピーダンス出力状態となる。従って、判定リセ
ット用トランジスタ20aが当該ベリファイチェック工
程の前に判定回路入力用インバータ20bの入力をハイ
レベルにセットした状態が維持され、判定回路入力用イ
ンバータ20bからはハイレベルが出力される。その結
果、反転入力論理積回路20fからはローレベルのベリ
ファイ完了信号が出力される。
【0030】逆に、この完了判別回路20により判定を
行なうビットライン13のうちに1つでもローレベルの
信号を出力する場合には、センスアンプ18の出力もロ
ーレベル、ベリファイ用反転論理積回路19hの出力も
ローレベルとなって、ベリファイ用反転入力論理積回路
19jの出力がハイレベルとなって出力トランジスタ1
9mの少なくとも1つがオン状態となってしまう。その
結果、判定回路入力用インバータ20bの入力はローレ
ベルとなって、ベリファイ用反転入力論理積回路19j
からはハイレベルのベリファイ完了信号が出力される。
【0031】書込みベリファイチェック工程では、正常
であればビットライン13にはローレベル信号が出力さ
れる。従って、セレクトトランジスタ18aにハイレベ
ルのセレクト信号を入力するとセンスアンプ18の出力
はローレベルとなる。そして、当該工程においてはベリ
ファイ回路19の2つのベリファイ用スイッチ19a,
19eは閉状態となるので、入力ラッチ用反転論理和回
路19fからはローレベルの信号が出力され、ベリファ
イ用反転論理積回路19hにはセンスアンプ18のロー
レベルの信号と入力ラッチ用反転論理和回路19fから
のローレベルの信号とが入力される。更に、このベリフ
ァイ用反転論理積回路19hの出力を所定のタイミング
にてベリファイ用反転入力論理積回路19jに入力する
と、当該ベリファイ用反転入力論理積回路19jからは
ローレベル信号が出力され、出力トランジスタ19mは
ハイインピーダンス出力状態となる。従って、判定リセ
ット用トランジスタ20aが当該ベリファイチェック工
程の前に判定回路入力用インバータ20bの入力をハイ
レベルにセットした状態が維持され、判定回路入力用イ
ンバータ20bからはローレベルが出力される。その結
果、反転入力論理積回路20fからはローレベルのベリ
ファイ完了信号が出力される。
【0032】逆に、この完了判別回路20により判定を
行なうビットライン13のうちに1つでもハイレベルの
信号を出力する場合には、センスアンプ18の出力もハ
イレベル、ベリファイ用反転論理積回路19hの出力も
ローレベルとなって、ベリファイ用反転入力論理積回路
19jの出力がハイレベルとなって出力トランジスタ1
9mの少なくとも1つがオン状態となってしまう。その
結果、判定回路入力用インバータ20bの入力はローレ
ベルとなって、反転入力論理積回路20fからはハイレ
ベルのベリファイ完了信号が出力される。
【0033】以上のように、この実施の形態2によれ
ば、以上があればローレベルとなるように複数のベリフ
ァイ回路19と完了判別回路20とをワイヤードオアに
て接続しているので、複数のビットライン13のベリフ
ァイチェック結果の内の1つにでも以上があればハイレ
ベルのベリファイ完了信号を出力することができ、実施
の形態1と同様の作用効果を奏することができる。
【0034】実施の形態3.図4はこの発明の実施の形
態3によるフラッシュメモリを示すブロック図である。
図において、23はそれぞれ複数のビットライン13が
接続され、アドレスに基づいて当該複数のビットライン
13のうちの1つを選択する第1デコーダであり、24
は当該複数の第1デコーダ23の出力が入力され、アド
レスに基づいて当該複数の第1デコーダ23の出力のう
ちの1つを選択する第2デコーダであり、センスアンプ
18は、各第1デコーダ23毎に第2デコーダ24との
間に配設されている。また、31はそれぞれ各ビットラ
イン13毎に設けられ、各ビットライン13に書込みデ
ータを記憶するページデータラッチである。これ以外は
実施の形態2と同様の構成であるので同一の符号を付し
て説明を省略する。
【0035】次に動作について説明する。データ書込み
工程では、まず、各I/Oドライバ22を介して各ペー
ジデータラッチ31に連続的に順次データを書き込む。
そして、全てのページデータラッチ31にデータが書き
込まれたら、所定のワードライン14を選択して当該ワ
ードライン14に接続された全てのメモリトランジスタ
16にデータを書き込む。これ以外の動作は実施の形態
1と同様であるので説明を省略する。
【0036】以上のように、この実施の形態3によれ
ば、データ書込み時に全てのビットライン13の書込み
データを連続的に順次書き込んだ後、それを一括して所
定のワードライン14に接続された全てのメモリトラン
ジスタ16に書き込むように構成したので、外部データ
バス3毎に同期をとってデータを書き込む場合に比べて
データ書き込みに付随する同期制御動作を削減すること
ができるので、データの書込み時間を削減することがで
きる。従って、実施の形態1よりも早くデータ書込み工
程を完了させることができ、その結果、データ書込みに
必要となるトータルの時間を短縮することができる。
【0037】また、この実施の形態3によれば、当該複
数のビットライン13が接続され、アドレスに基づいて
当該複数のビットライン13のうちの1つを選択する複
数の第1デコーダ23と、当該複数の第1デコーダ23
の出力が入力され、アドレスに基づいて当該複数の第1
デコーダ23の出力のうちの1つを選択する第2デコー
ダ24とでデコーダを構成するとともに、センスアンプ
18を各第1デコーダ23と第2デコーダ24との間に
配設させているので、センスアンプ18の配設数を削減
しつつ、従来よりも大きい単位毎に効率良くベリファイ
チェックを行なうことができる。
【0038】実施の形態4.図5はこの発明の実施の形
態4によるフラッシュメモリを示すブロック図である。
図において、25はそれぞれ8ビット分のメモリセル1
2からなる8ビットメモリバンクであり、26はそれぞ
れ8ビット分のI/Oドライバ22からなる8ビットデ
ータポートであり、32は8ビットメモリバンク25ご
とに設けられたバンク完了判別回路(8ビット単位に設
けられた完了判別回路)である。各部の詳細な構成は実
施の形態1と同様であるので説明を省略する。
【0039】次に動作について説明する。まず、最初の
8ビットデータポート26にテスタ2を接続して、当該
8ビットデータポート26に対応する8ビットメモリバ
ンク25についてデータの書込み動作を行なう。そし
て、当該最初の8ビットメモリバンク25において不良
番地がなければ、次の8ビットデータポート26にテス
タ2を接続して、当該8ビットデータポート26に対応
する8ビットメモリバンク25についてデータの書込み
動作を行なう。この操作を繰り返すことにより、8ビッ
ト以上の外部バス幅を有するフラッシュメモリ1に対し
ても既存の8ビットのテスタを用いてベリファイチェッ
クを効率良く実施することができる。
【0040】以上のように、この実施の形態4によれ
ば、完了判別回路20をI/Oドライバ22の8ビット
単位ごとに設けているので、例えば外部データバス3の
バス幅が32ビット以上の単位であっても、既存の8ビ
ットのテスタにより書き込みおよびベリファイチェック
を行なうことができる。また、これは16ビット単位毎
に完了判別回路20を設けても同様の効果を奏すること
はいうまでもない。
【0041】実施の形態5.図6はこの発明の実施の形
態5によるフラッシュメモリを具備するマイクロコンピ
ュータ半導体装置を示すブロック図である。図におい
て、27は当該マイクロコンピュータ半導体装置であ
り、28は中央処理装置であり、30は外部データバス
3と所定のバス幅でデータ交換を行なう外部I/Fポー
トであり、29はこれら各部の間を上記外部データバス
3のバス幅の2倍以上のバス幅で接続する内部データバ
ス(内部バスライン)であり、1はI/Oドライバ22
が当該内部データバス29に接続されたフラッシュメモ
リである。フラッシュメモリ1の内部構成は実施の形態
1と同様であるので説明を省略する。
【0042】次に動作について説明する。データ書込み
工程においては、当該半導体装置は外部データバス3の
バス幅毎にデータの書込みが行なわれ、書込みベリファ
イチェック工程では、多くとも内部データバス29のバ
ス幅毎のデータの書込みがなされた毎に行なわれる。こ
れ以外の動作は実施の形態1と同様であるので説明を省
略する。
【0043】以上のように、この実施の形態5によれ
ば、実施の形態1と同様に、フラッシュメモリ1では内
部データバス29のバス幅よりも大きな単位ごとにベリ
ファイチェックを行なってその結果をテスタ2に出力す
ることができるので、従来のようにデータを外部データ
バス3から読み出してテスタ2においてベリファイチェ
ックを実行していた場合に比べて当該ベリファイチェッ
クに必要とされる時間が短縮され、フラッシュメモリ1
にデータを書き込む際に、各ベリファイチェックの時間
を短縮することができ、データ書込みに必要となるトー
タルの時間を短縮することができる。
【0044】実施の形態6.この発明の実施の形態6に
よるフラッシュメモリを具備するマイクロコンピュータ
半導体装置は、フラッシュメモリとして図4に示すもの
を使用した以外は実施の形態5と同様であるので説明を
省略する。
【0045】そして、この実施の形態6では、実施の形
態1に対する実施の形態3のように、データ書込み時に
全てのビットライン13の書込みデータを連続的に順次
書き込んだ後、それを一括して所定のワードライン14
に接続された全てのメモリトランジスタ16に書き込む
ことができるので、データ書き込みに付随する同期制御
動作を削減して高速に書込みを行なうことができる。そ
の結果、データ書込みに必要となるトータルの時間を短
縮することができる。
【0046】また、センスアンプ18の配設数を削減し
つつ、従来よりも大きい単位毎に効率良くベリファイチ
ェックを行なうことができる効果も奏する。
【0047】実施の形態7.この発明の実施の形態7に
よるフラッシュメモリを具備するマイクロコンピュータ
半導体装置は、フラッシュメモリとして図5に示すもの
を使用した以外は実施の形態5と同様であるので説明を
省略する。
【0048】そして、この実施の形態7では、実施の形
態1に対する実施の形態4のように、完了判別回路20
をI/Oドライバ22を8ビット単位ごとに設けている
ので、例えば内部データバス29のバス幅が32ビット
以上の単位であっても、既存の8ビットのテスタにより
書き込みおよびベリファイチェックを行なうことができ
る。また、これは16ビット単位毎に完了判別回路20
を設けても同様の効果を奏することはいうまでもない。
【0049】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、複数
のメモリトランジスタが配置されたメモリセルと、当該
メモリセル内において複数のメモリトランジスタに直接
接続される複数のビットラインと、当該複数のビットラ
インが接続され、アドレスに基づいて当該複数のビット
ラインのうちの1つを選択するデコーダと、当該デコー
ダにより選択された1つのビットラインを外部のバスラ
インに接続するI/Oドライバと、上記メモリセルと当
該I/Oドライバの間においてメモリトランジスタの出
力を検出して、その出力に応じた論理レベル信号を生成
するセンスアンプとを有する不揮発性メモリにおいて、
上記センスアンプを1つのI/Oドライバに対して複数
個ずつ設けるとともに、当該センスアンプの出力が入力
され、その出力レベルに基づいてメモリトランジスタに
書き込んだレベルをチェックする複数のベリファイ回路
と、当該複数のベリファイ回路のチェック結果が入力さ
れ、入力された全てのチェック結果が正常である場合に
ベリファイ完了信号を出力する完了判別回路とを設けた
ので、I/Oポートにより決定される外部バス幅に制約
されることなく、それよりも大きな単位ごとにベリファ
イチェックを行ない、その結果をベリファイ完了信号と
して出力することができる。
【0050】従って、従来のようにデータを外部バスか
ら読み出してテスタにおいてベリファイチェックを実行
していた場合に比べて当該ベリファイチェックに必要と
される時間が短縮され、不揮発性メモリにデータを書き
込むために必要となる時間は短縮される。
【0051】この発明によれば、デコーダを、当該複数
のビットラインが接続され、アドレスに基づいて当該複
数のビットラインのうちの1つを選択する複数の第1デ
コーダと、当該複数の第1デコーダの出力が入力され、
アドレスに基づいて当該複数の第1デコーダの出力のう
ちの1つを選択する第2デコーダとで構成するととも
に、上記センスアンプは、各第1デコーダと第2デコー
ダとの間に配設されているので、センスアンプの配設数
を削減しつつ、従来よりも大きい単位毎に効率良くベリ
ファイチェックを行なうことができる。
【0052】この発明によれば、上記完了判別回路が、
I/Oポートの8ビット単位あるいは16ビット単位ご
とに設けられているので、データバス幅が32ビット以
上の単位であっても、既存のテスタにより書き込みおよ
びベリファイチェックを行なうことができる。
【0053】また、以上のような不揮発性メモリを有す
る半導体装置では、同様の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるフラッシュメ
モリを示すブロック図である。
【図2】 この発明の実施の形態1によるフラッシュメ
モリおよびフラッシュメモリにデータを書き込む際の回
路接続を示すブロック図である。
【図3】 この発明の実施の形態2によるフラッシュメ
モリの各ビットラインから完了判別回路までの構成を示
す回路図である。
【図4】 この発明の実施の形態3によるフラッシュメ
モリを示すブロック図である。
【図5】 この発明の実施の形態4によるフラッシュメ
モリを示すブロック図である。
【図6】 この発明の実施の形態5によるフラッシュメ
モリを具備するマイクロコンピュータ半導体装置を示す
ブロック図である。
【図7】 従来のフラッシュメモリおよび当該フラッシ
ュメモリにデータを書き込む際の回路接続を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
3 外部データバス(外部バスライン)、12 メモリ
セル、13 ビットライン、16 メモリトランジス
タ、18 センスアンプ、19 ベリファイ回路、20
完了判別回路、21 デコーダ、22 I/Oドライ
バ、23 第1デコーダ、24 第2デコーダ、29
内部データバス(内部バスライン)。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリトランジスタが配置された
    メモリセルと、当該メモリセル内において複数のメモリ
    トランジスタに直接接続される複数のビットラインと、
    当該複数のビットラインが接続され、アドレスに基づい
    て当該複数のビットラインのうちの1つを選択するデコ
    ーダと、当該デコーダにより選択された1つのビットラ
    インを外部のバスラインに接続するI/Oドライバと、
    上記メモリセルと当該I/Oドライバの間においてメモ
    リトランジスタの出力を検出して、その出力に応じた論
    理レベル信号を生成するセンスアンプとを有する不揮発
    性メモリにおいて、 上記センスアンプを1つのI/Oドライバに対して複数
    個ずつ設けるとともに、当該センスアンプの出力が入力
    され、その出力レベルに基づいてメモリトランジスタに
    書き込んだレベルをチェックする複数のベリファイ回路
    と、当該複数のベリファイ回路のチェック結果が入力さ
    れ、入力された全てのチェック結果が正常である場合に
    ベリファイ完了信号を出力する完了判別回路とを設けた
    ことを特徴とする不揮発性メモリ。
  2. 【請求項2】 デコーダを、当該複数のビットラインが
    接続され、アドレスに基づいて当該複数のビットライン
    のうちの1つを選択する複数の第1デコーダと、当該複
    数の第1デコーダの出力が入力され、アドレスに基づい
    て当該複数の第1デコーダの出力のうちの1つを選択す
    る第2デコーダとで構成するとともに、センスアンプ
    は、各第1デコーダと第2デコーダとの間に配設されて
    いることを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモリ。
  3. 【請求項3】 完了判別回路は、I/Oポートの8ビッ
    ト単位あるいは16ビット単位ごとに設けられているこ
    とを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモリ。
  4. 【請求項4】 複数のメモリトランジスタが配置された
    メモリセルと、当該メモリセル内において複数のメモリ
    トランジスタに直接接続される複数のビットラインと、
    当該複数のビットラインが接続され、アドレスに基づい
    て当該複数のビットラインのうちの1つを選択するデコ
    ーダと、当該デコーダにより選択された1つのビットラ
    インを半導体装置の内部バスラインに接続するI/Oド
    ライバと、上記メモリセルと当該I/Oドライバの間に
    おいてメモリトランジスタの出力を検出して、その出力
    に応じた論理レベル信号を生成するセンスアンプとを有
    する不揮発性メモリを具備する半導体装置において、 上記センスアンプを1つのI/Oドライバに対して複数
    個ずつ設けるとともに、当該センスアンプの出力が入力
    され、その出力レベルに基づいてメモリトランジスタに
    書き込んだレベルをチェックする複数のベリファイ回路
    と、当該複数のベリファイ回路のチェック結果が入力さ
    れ、入力された全てのチェック結果が正常である場合に
    ベリファイ完了信号を出力する完了判別回路とを設けた
    ことを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】 デコーダを、当該複数のビットラインが
    接続され、アドレスに基づいて当該複数のビットライン
    のうちの1つを選択する複数の第1デコーダと、当該複
    数の第1デコーダの出力が入力され、アドレスに基づい
    て当該複数の第1デコーダの出力のうちの1つを選択す
    る第2デコーダとで構成するとともに、センスアンプ
    は、各第1デコーダと第2デコーダとの間に配設されて
    いることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 完了判別回路は、I/Oポートの8ビッ
    ト単位あるいは16ビット単位ごとに設けられているこ
    とを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
JP10005190A 1998-01-13 1998-01-13 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置 Pending JPH11203886A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10005190A JPH11203886A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置
TW087108553A TW388881B (en) 1998-01-13 1998-06-01 A nonvolatile memory and a semiconductor device with the nonvolatile memory
US09/089,765 US6011720A (en) 1998-01-13 1998-06-03 Nonvolatile memory with reduced write time/write verify time and semiconductor device thereof
KR1019980037522A KR100286188B1 (ko) 1998-01-13 1998-09-11 비휘발성 메모리 및 그것을 구비하는 반도체 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10005190A JPH11203886A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11203886A true JPH11203886A (ja) 1999-07-30

Family

ID=11604312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10005190A Pending JPH11203886A (ja) 1998-01-13 1998-01-13 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6011720A (ja)
JP (1) JPH11203886A (ja)
KR (1) KR100286188B1 (ja)
TW (1) TW388881B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001045112A1 (en) * 1999-12-17 2001-06-21 Qualcomm Incorporated Mobile communication device having flash memory system with word line buffer
KR100463195B1 (ko) * 2001-08-28 2004-12-23 삼성전자주식회사 가속 열 스캔닝 스킴을 갖는 불 휘발성 반도체 메모리 장치

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6122195A (en) * 1997-03-31 2000-09-19 Lexar Media, Inc. Method and apparatus for decreasing block write operation times performed on nonvolatile memory
US6260103B1 (en) * 1998-01-05 2001-07-10 Intel Corporation Read-while-write memory including fewer verify sense amplifiers than read sense amplifiers
JP4467728B2 (ja) * 2000-07-28 2010-05-26 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置
US6812726B1 (en) * 2002-11-27 2004-11-02 Inapac Technology, Inc. Entering test mode and accessing of a packaged semiconductor device
US6732304B1 (en) * 2000-09-21 2004-05-04 Inapac Technology, Inc. Chip testing within a multi-chip semiconductor package
US7240254B2 (en) * 2000-09-21 2007-07-03 Inapac Technology, Inc Multiple power levels for a chip within a multi-chip semiconductor package
US7444575B2 (en) * 2000-09-21 2008-10-28 Inapac Technology, Inc. Architecture and method for testing of an integrated circuit device
US7313740B2 (en) * 2002-07-25 2007-12-25 Inapac Technology, Inc. Internally generating patterns for testing in an integrated circuit device
US8166361B2 (en) * 2001-09-28 2012-04-24 Rambus Inc. Integrated circuit testing module configured for set-up and hold time testing
US8001439B2 (en) * 2001-09-28 2011-08-16 Rambus Inc. Integrated circuit testing module including signal shaping interface
US8286046B2 (en) 2001-09-28 2012-10-09 Rambus Inc. Integrated circuit testing module including signal shaping interface
US6859392B2 (en) * 2002-08-26 2005-02-22 Micron Technology, Inc. Preconditioning global bitlines
US8063650B2 (en) 2002-11-27 2011-11-22 Rambus Inc. Testing fuse configurations in semiconductor devices
JP2006065961A (ja) * 2004-08-27 2006-03-09 Oki Electric Ind Co Ltd 不揮発性メモリの試験方法
KR100648254B1 (ko) * 2004-12-01 2006-11-24 삼성전자주식회사 소거시간을 줄일 수 있는 불휘발성 메모리 장치 및 그것의소거방법
US7466603B2 (en) 2006-10-03 2008-12-16 Inapac Technology, Inc. Memory accessing circuit system
US9076530B2 (en) 2013-02-07 2015-07-07 Seagate Technology Llc Non-volatile write buffer data retention pending scheduled verification
US9424946B2 (en) 2013-02-08 2016-08-23 Seagate Technology Llc Non-volatile buffering to enable sloppy writes and fast write verification
US11807735B2 (en) 2018-12-03 2023-11-07 Italmatch Chemicals S.P.A. Polyolefins halogen-free flame retardant moulding compositions comprising an inorganic hypophosphorous acid metal salt

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5561631A (en) * 1995-03-03 1996-10-01 Xilinx, Inc. High-speed minimal logic self blank checking method for programmable logic device
US5898618A (en) * 1998-01-23 1999-04-27 Xilinx, Inc. Enhanced blank check erase verify reference voltage source

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001045112A1 (en) * 1999-12-17 2001-06-21 Qualcomm Incorporated Mobile communication device having flash memory system with word line buffer
KR100463195B1 (ko) * 2001-08-28 2004-12-23 삼성전자주식회사 가속 열 스캔닝 스킴을 갖는 불 휘발성 반도체 메모리 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW388881B (en) 2000-05-01
KR19990066755A (ko) 1999-08-16
US6011720A (en) 2000-01-04
KR100286188B1 (ko) 2001-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11203886A (ja) 不揮発性メモリおよびそれを具備する半導体装置
US7957195B2 (en) Semiconductor device
CN105283919B (zh) 半导体装置
JP4122185B2 (ja) 不揮発性メモリ装置、そのプログラム方法及びパス/フェイルの検査方法
US6661706B2 (en) Semiconductor storage device having page copying
USRE45051E1 (en) Page buffer circuit of memory device and program method
US6252800B1 (en) Semiconductor memory device
US7221587B2 (en) Semiconductor device and programming method
JPH09180477A (ja) 不揮発性半導体メモリ装置とその読出及びプログラム方法
US6826081B2 (en) Nonvolatile semiconductor memory device, nonvolatile semiconductor memory device-integrated system, and defective block detecting method
KR20100019350A (ko) 불휘발성 반도체 기억 시스템
US6738288B2 (en) Semiconductor memory
US7248503B2 (en) Semiconductor nonvolatile storage device
US5206866A (en) Bit error correcting circuit for a nonvolatile memory
US6320791B1 (en) Writing apparatus for a non-volatile semiconductor memory device
KR20110078734A (ko) 반도체 메모리 장치의 동작 방법
KR100313555B1 (ko) 소거기능의테스트용테스트회로를가진비휘발성반도체메모리
US7126860B2 (en) Read-accessible column latch for non-volatile memories
US7254756B2 (en) Data compression read mode for memory testing
US6977841B2 (en) Preconditioning of defective and redundant columns in a memory device
US6407954B2 (en) Nonvolatile semiconductor memory device
KR20090068617A (ko) 불휘발성 메모리 소자의 카피백 프로그램 방법
JPH06139785A (ja) 不揮発性半導体記憶装置
KR19990065224A (ko) 내부적으로 프로그램 패스/페일이 검출 가능한 플래시 메모리장치
JPH06111585A (ja) 不揮発性半導体記憶装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees