JPH11203324A

JPH11203324A - データ処理方法及びデータ検索方法

Info

Publication number: JPH11203324A
Application number: JP1824898A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Morishita; 博史森下
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1998-01-13
Filing date: 1998-01-13
Publication date: 1999-07-30

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】主記憶装置及び中央処理装置の負荷を軽減す
ることで通信負荷を軽減することができ、ひいてはデー
タ処理のスループットを向上させることができるデータ
処理方法及びデータ検索方法を提供する。【解決手段】外部記憶装置３３のリスト構造のデータ
に基づいて解析テーブルを作成した後、この解析テーブ
ルに基づいてデータを検索する方法であって、中央処理
装置３１を用いてリスト構造の各メンバーに親子関係と
それを解釈するためのポインタ番号を設定し、親子関係
を表すテーブルを作成した後、各メンバーにアドレス番
号を設定すると共にそれぞれの要素属性をテーブルの該
当位置に書き込んで解析テーブルを作成する。要求デー
タに該当するメンバーのポインタ番号を設定し、解析テ
ーブルの親子関係を辿ってそのメンバーの要素属性を参
照することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、データ処理方法及
びデータ検索方法に関し、更に詳しくは半導体製造装置
とホストコンピュータ間のデータ通信の負荷を軽減でき
るデータ処理方法及びデータ検索方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と
称す。）に種々の処理を施す処理装置やウエハの検査を
行う検査装置等の半導体製造装置は、それぞれ個々に通
信処理部を備えている。これらの半導体製造装置は通信
回線を介してホストコンピュータに接続され、ホストコ
ンピュータには各半導体製造装置から送信された種々の
データが一括して格納されている。そして、ホストコン
ピュータと半導体製造装置とのデータの授受は所定の通
信規格（ＳＥＣＳ(Semiconductor Equipment community
Standard)ＩＩ）に基づいて行われている。

【０００３】また、半導体製造装置で得られた種々のデ
ータは上記通信規格に則って例えばホストコンピュータ
の外部記憶装置内にリスト構造で格納されている。所定
の半導体製造装置等の周辺装置側で所定の処理データが
必要になれば、その周辺装置からホストコンピュータに
対するデータ要求に基づいてホストコンピュータの中央
処理装置が所定のプログラムを介して起動し、リスト構
造のデータを外部記憶装置から主記憶装置内に読み出し
た後、中央処理装置を介してリスト構造の全データをそ
の先頭番地から最後の番地まで１バイトずつ解析し、そ
の過程で該当データが見つかると、そのデータを編集し
て周辺装置へ転送するようにしている。また、場合によ
っては周辺装置からのデータ要求に基づいてホストコン
ピュータの主記憶装置を介してリスト構造の全データを
周辺装置の主記憶装置へ転送し、周辺装置は自らの中央
処理装置を用いて所定のデータを検索する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検索方法の場合には、要求データの属するリスト構造の
データを全て外部記憶装置から主記憶装置内に読み出し
た後、中央処理装置を用いてリスト構造の先頭番地から
所望のデータが見つかるまで直接関係のないデータまで
１バイトずつ解析しながら要求データを検索するため、
主記憶装置のメモリ負荷が大きくなると共に中央処理装
置の負荷が大きくなって検索時間が長くなるという課題
があった。また、例えば今後多品種少量生産が益々進
み、ウエハサイズが３００ｍｍに時代になるとデータ量
も膨大になり、中央処理装置及び主記憶装置に対する負
荷が益々大きくなると共に検索時間が長くなるという課
題があった。

【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、主記憶装置及び中央処理装置の負荷を軽減
することで通信負荷を軽減することができ、ひいてはデ
ータ処理のスループットを向上させることができるデー
タ処理方法及びデータ検索方法を提供することを目的と
している。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のデータ処理方法は、ホストコンピュータと周辺装置と
を備え、上記ホストコンピュータの外部記憶装置に格納
されたリスト要素、リスト要素を構成するアイテム要素
及びこれらの各メンバーの要素属性からなるリスト構造
に基づいて上記ホストコンピュータまたは周辺装置の主
記憶装置において解析テーブルを作成するデータ処理方
法であって、上記周辺装置からのデータ要求により上記
ホストコンピュータまたは上記周辺装置ではそれぞれの
中央処理装置を用いて上記各メンバーのリスト要素を
親、上記アイテム要素を子とする親子関係を上記各メン
バーに設定すると共に上記各メンバーに親子関係を解釈
するためのポインタ番号を設定し、次いで、上記中央処
理装置を用いて上記各メンバー間の親子関係を表すマト
リックス状のテーブルを作成して上記主記憶装置に書き
込んだ後、上記各メンバーにアドレス番号を設定すると
共に各メンバーに対する他の各メンバーの親子関係をそ
れぞれのアドレス番号で上記テーブルの該当位置に書き
込み、更に上記各メンバーに対する要素属性を設定して
上記テーブルの該当位置に書き込んで解析テーブルを作
成することを特徴とするものである。

【０００７】また、本発明の請求項２に記載のデータ処
理方法は、請求項１に記載の発明において、上記要素属
性は、上記リスト要素またはアイテム要素のレングスバ
イト値、データフォーマット値及びデータのオフセット
値であることを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明の請求項３に記載のデータ検
索方法は、ホストコンピュータと周辺装置とを備え、上
記ホストコンピュータの外部記憶装置のリスト要素、ア
イテム要素及びこれらのメンバーの要素属性からなるリ
スト構造のデータに基づいて上記ホストコンピュータま
たは上記周辺装置の主記憶装置において解析テーブルを
作成した後、この解析テーブルに基づいてデータを検索
する方法であって、上記周辺装置からのデータ要求によ
り上記ホストコンピュータまたは上記周辺装置ではそれ
ぞれの中央処理装置を用いて上記各メンバーのリスト要
素を親、上記アイテム要素を子とする親子関係を上記各
メンバーに設定すると共に上記各メンバーに親子関係を
解釈するためのポインタ番号を設定し、次いで、上記中
央処理装置を用いて上記各メンバー間の親子関係を表す
マトリックス状のテーブルを作成して上記主記憶装置に
書き込んだ後、上記各メンバーにアドレス番号を設定す
ると共に各メンバーに対する他の各メンバーの親子関係
をそれぞれのアドレス番号で上記テーブルの該当位置に
書き込み、更に上記各メンバーに対する要素属性を設定
して上記テーブルの該当位置に書き込んで解析テーブル
を作成した後、上記中央処理装置を介して上記リスト構
造の最初のメンバーを親として設定すると共に上記要求
データに該当するメンバーのポインタ番号を指定数とし
て設定した後、上記最初のメンバーに対する上記要求デ
ータに該当するメンバーを上記解析テーブルの親子関係
を辿って後者の前者に対する関係を決定し、決定された
メンバーのリスト要素、アイテム要素及び要素属性を参
照することを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項４に記載のデータ探
索方法は、請求項３に記載の発明において、上記要求デ
ータの内容が予め判っている場合には、その要求データ
に対する上記解析テーブルを予め作成しておくことを特
徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。半導体製造工場には処理
装置や検査装置等の多数の半導体製造装置が配置されて
いる。これらの半導体製造装置等の周辺装置１は、例え
ば図１に示すように例えばＲＳ２３２Ｃまたはイーサネ
ット等の通信回線２を介してホストコンピュータ３に接
続され、ホストコンピュータ３により管理されている。
そして、各半導体製造装置１において得られたデータは
通信回線２を介してホストコンピュータ３へ送信され、
ホストコンピュータ３内に格納される。周辺装置１とホ
ストコンピュータ３間のデータ通信は上述のように上記
通信規格、ＳＥＣＳＩＩに則って行われている。

【００１１】上記通信規格に基づくデータ形式は、例え
ば図２の（ａ）に示すように、ＲＳ−２３２の場合に
は、１バイトのレングス部、１０バイトのヘッダー部、
最大２４４バイトのデータ部、２バイトのチェックサム
部とからなり、イーサネットの場合には、４バイトのレ
ングス部、１０バイトのヘッダー部、最大（２³²−１
０）バイトのデータ部からなっている。レングス部には
ヘッダー部とデータ部の総バイト数、ヘッダー部には通
信に関する種々の情報データが格納され、レングス部に
は実際のデータの数を表す数値が格納されている。この
データ部には実際のデータのフォーマット情報（書誌的
事項）及びアイテムボディが格納されている。このデー
タ部は、図２の（ｂ）に示すように、リスト要素、アイ
テム要素及びアイテムボディの各メンバーからなってい
る。そして、リスト要素とアイテム要素は同一形式のフ
ォーマット情報を持っている。即ち、リスト要素はフォ
ーマット情報部（リスト型固定）とレングス情報部（メ
ンバー数）を持ち、アイテム要素もフォーマット情報
部、レングス情報部（従属するアイテムボディのバイト
長）を持っている。アイテム要素のフォーマット情報部
には従属するアイテムボディのフォーマット（アスキー
データ、バイナリデータ等の形式）が格納されている。
尚、データ部の先頭バイト位置を起点とするリスト要素
及びアイテム要素それぞれのフォーマット情報部、レン
グス情報部のバイト位置をオフセット情報と称し、アイ
テム要素については従属するアイテムボディの先頭バイ
ト位置をオフセット情報と称する。本実施形態では、こ
れらのフォーマット情報、レングス情報及びオフセット
情報をリスト要素またはアイテム要素の要素属性と称す
る。

【００１２】ところで、上記ホストコンピュータ３は、
図３に示すように、中央処理装置３１、主記憶装置３２
及び外部記憶装置３３を備え、周辺装置１も同様に中央
処理装置、主記憶装置及び外部記憶装置を備えている。
ホストコンピュータ３について説明すると、ホストコン
ピュータ３の外部記憶装置３３には複数の周辺装置１の
処理データがリスト構造でリスト１〜リストｎとして格
納されている。そして、これらの処理データは周辺装置
１からのデータ要求によりホストコンピュータ３から通
信回線２を介して周辺装置１へ送信されるようにしてあ
る。例えば周辺装置１が検査装置の場合には、リスト構
造を構成するメンバーとしては、例えば、顧客情報、ウ
エハの品種情報及びウエハの検査結果情報等があり、更
に、検査結果情報の中には例えば各チップ毎の合格／不
合格、ウエハまたはロット毎の歩留り等の種々の情報が
含まれている。そして、これらの各情報は、リスト要
素、アイテム要素、アイテムボディとしてデータ部に整
理され、外部記憶装置３３内に格納されている。

【００１３】そして、上記中央処理装置３１は、主記憶
装置３２へ外部記憶装置３３に格納されたリスト構造の
データのうち、リスト要素、アイテム要素及び要素属性
のみを読み出し、これらのメンバーからなるマトリック
ス状の解析テーブルを作成した後、この解析データを利
用して周辺装置１からの要求データを直接参照するよう
にしてある。つまり、本実施形態ではリスト構造のリス
ト要素、アイテム要素及び要素属性のような書誌的デー
タのみを読み出し、書誌的データのリスト構造に基づい
て解析テーブルを作成するようにしてある。そして、中
央処理装置３１は、図３に示すように、書誌的データか
らなるリスト構造の各メンバーの親子関係を設定して解
析テーブルを作成する解析テーブル作成処理部３１Ａ
と、この解析テーブル作成処理部３１Ａによる解析テー
ブルに基づいて周辺装置１からの要求データを検索する
検索処理部３１Ｂとを有している。

【００１４】従って、本実施形態では周辺装置１からデ
ータ要求があると、ホストコンピュータ３では中央処理
装置３１の解析テーブル作成処理部３１Ａにおいて要求
データと関連するリスト構造のリスト要素、アイテム要
素及びそれぞれの要素属性のみを読み出して解析テーブ
ルを作成し、検索処理部３１Ｂにおいては解析テーブル
を利用して要求データを直接参照できるようにしてい
る。尚、同リスト構造の書誌的データが既知であるもの
についてはその解析テーブルを事前に作成することがで
きるようにしてある。従って、本実施形態では要求デー
タに該当するか否かをリスト構造の先頭バイトから１バ
イトずつ順次解析し検索するのではなく、解析テーブル
を介して要求データの属するリスト構造の書誌的データ
のみを検索して要求データを直接参照するようにしてい
る。そこで、解析テーブルを作成するためのデータ処理
方法と、この解析テーブルを利用してデータ検索するデ
ータ検索方法について順次説明する。

【００１５】まず、解析テーブルを作成する手順につい
て表１〜表３及び図４のフローチャートを参照しながら
説明する。解析テーブルを作成するには、ホストコンピ
ュータ３の中央処理装置３１を用いて要求データの属す
るリスト構造のメンバーとしてリスト要素、アイテム要
素及びそれぞれの要素属性を図５に示すデータ部から読
み出し、これらのメンバーに基づいて下記表１に示すリ
スト構造を構築する。

【００１６】

【表１】

【００１７】上記表１の要素＃１において、「Ｌ」はリ
スト要素であることを表し、その次の数字「５」はリス
ト要素の要素属性であるレングスバイト値（メンバー
数）を表している。「Ｌ］で表したメンバー以外はアイ
テム要素を表している。また、各アイテム要素の最初の
数字はそれぞれのアイテム要素を特定するポインタ番号
を表し、その次の数字は要素属性のうちのデータのフォ
ーマットを表し、最後の数字は要素属性のうちのレング
スバイト値（メンバー数）を表している。フォーマット
の「１０」はバイナリデータであることを表し、「２
０」はアスキーデータであることを表している。このリ
スト構造は例えば図５に示すように内部記憶装置３３内
の所定番地から４３バイトに渡って格納されている。各
バイトの上の数字１〜４２は先頭バイトからのオフセッ
トをバイト数で表している。従って、本実施形態では図
５に示す格納形式から表１に示す書誌的データであるリ
スト要素、アイテム要素及びそれぞれの要素属性を読み
出すことを目的とし、以下のデータ処理を行う。

【００１８】即ち、上記表１に示すリスト構造の各メン
バーを下記表２で示す親子関係として解釈するようにデ
ータ処理プログラム上で定義されている。即ち、最初の
リスト要素の「Ｌ］は「親」と定義され、そのレングス
バイト値「５」はこのリスト要素の属するメンバー数
（具体的には子供の人数）として定義されている。ま
た、５人の子供のうち、最もポインタ番号の小さい子供
が例えば「長女」と定義され、その他４人はいずれも
「妹」と定義されている。そして、妹同士を区別すると
きには、ポインタ番号の昇順に「長女の妹」、「長女の
妹の妹」、「長女の妹の妹の妹」、「長女の妹の妹の妹
の妹」と定義されている。そして、長女のｎ人目の妹は
「妹ｎ」と定義されている。また、親に対しても同様に
定義され、「親ｎ」は、「親の親の・・・親」と定義さ
れている。従って、表２が実際に主記憶装置３２内に存
在する訳ではない。

【００１９】

【表２】

【００２０】そして、上記データ処理プログラムは中央
処理装置３１の解析テーブル作成処理部３１Ａを介して
図４に示す手順で実行され、解析テーブルとして例えば
下記表３に示す解析テーブルを作成する。この解析テー
ブルを作成するに当たり、まず表３に示す「私」、
「親」、「長女」及び「妹」の項目及び「Ａ」〜「Ｄ］
からなる各メンバーの要素属性の項目のみを設定する。
要素属性の項目のうち、「Ａ」はリスト要素のレングス
バイト値、「Ｂ］はアイテム要素のフォーマット、
「Ｃ］はアイテムレングス、「Ｄ」はリスト構造の先頭
バイトから見たアイテムボディの先頭バイトのオフセッ
トを表している。その後、解析テーブル作成処理部３１
Ａをを介して解析テーブルの第２行以下に表１の各メン
バー及びその親子関係を順次設定し、記入して行く。
尚、「私」の項目は各メンバーのアドレス番号に相当す
る。

【００２１】即ち、中央処理装置３１を介して図５に示
すデータへのデータ処理を開始すると、同データをリス
ト構造で表現した表１の各メンバーのデータを順次読み
込み、各メンバーの親子関係及び要素属性を以下のよう
にして順次設定し、解析テーブルを作成する。まず、中
央処理装置３１において最初のメンバーを読み込みむ
と、最初のメンバー（以下、「人」と称す。）「１」を
私と設定する。この設定に基づいて私を「１」として設
定して表３の私の項目の第１行に「１」を記入する。ま
た、私の親も私と設定して私の親に私のアドレス番号
「１」を設定して表３の親の項目の第１行に「１」を記
入する。また、次の人の親は私であるため、次の人
「２」の親に対して私「１」を設定して次の人の親に私
のアドレス番号「１」を設定して親の項目の第２行に
「１」を記入する。更に、私「１」のリスト要素属性の
レングスバイト値のＡに「５」のみを設定して記入し他
には「未定」と記入する（Ｓ１）。

【００２２】次いで、メンバー存否判断部を介して次の
人が存在するか否かを判断し（Ｓ２）、次の人が存在し
なければ処理は終了する（Ｓ３）。次の人が存在すれ
ば、ステップＳ４へ移行し、次の人「２」を私と設定し
て私「２」の親「１」の出産数０に１を加算して１と設
定し、私の項目の第２行にアドレス番号「２」を記入す
ると共に私「２」のアイテム要素としてＢの項目の第２
行に「１０」、Ｃの項目の第２行に「１」及びＤの項目
の第２行に「４」とそれぞれ設定しＡの項目を未定と設
定する。引き続き、私「２」の親「１」の長女は未定か
否かを表３を参照して判断する（Ｓ５）。現在は私
「２」の親「１」の長女は未定であるから、未定と判断
した後ステップＳ６へ移行し、このステップで私「２」
の親「１」の長女に私「２」を設定した後、長女の項目
の第１行に私のアドレス番号「２」を記入した後、私
「２」がリスト要素であるか否かを表１を参照して判断
する（Ｓ７）。フォーマット情報の解析により私「２」
はリスト要素ではないからステップＳ８へ移行し、次の
人「３」の親に私「２」の親「１」を設定する。次い
で、ステップＳ９において、次の人の親「１」が最初の
人であるか否か、あるいは次の人の親「１」はまだ全部
子供を産んでいないか否かを判断する。図５に示す実デ
ータによればこれらの条件のいずれにも該当するため、
ステップＳ２へ戻る。尚、ステップＳ９へ移行する前
に、妹ｎ、親ｎはいずれもｎ＝１の処理で初期化され
る。

【００２３】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、次の人が存在するためステップＳ４において
次の人「３」を私と設定して私「３」の親「１」の出産
数１に１を加算して２とし、私の項目の第３行に「３」
を記入すると共に私「３」のリスト要素属性またはアイ
テム要素属性を設定する。私「３」はリスト要素である
からリスト要素のレングスバイト値のＡの項目に「２」
を記入し他の項目には「未定」と記入する。引き続き、
私の親「１」の長女は未定か否かを判断する（Ｓ５）。
長女は既に「２」と決まっているためステップＳ１０へ
移行し、このステップで私の親の長女「２」の妹は未定
か否かを判断する。この段階で私「３」の親「１」の長
女「２」の妹は未定であるため、私「３」の親「１」の
長女「２」の妹に私「３」を設定して妹の項目の第２行
に「３」を記入した後（Ｓ１１）、私「３」がリスト要
素であるか否かを判断する（Ｓ７）。図５によれば私
「３」はリスト要素であるためステップＳ１２へ移行
し、次の人「４」の親に私「３」を設定して親の項目の
第４行に「３」を記入する。次いで、ステップＳ９にお
いて、次の人「４」の親「３」は最初の人であるか否
か、あるいは次の人の親「３」はまだ全部子供を産んで
いないか否かを判断する。今の場合次の人の親「３」は
最初の人ではないが、次の人の親「３」はまだ全部子供
を産んでいないため、ステップＳ２へ戻る。

【００２４】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、次の人が存在するためステップＳ４において
次の人「４」を私と設定し、私「４」の親「３」の出産
数０に１を加算して１と設定し、私の項目の第４行に
「４」を記入すると共に私「４」のリスト要素属性また
はアイテム要素属性を設定する。私「４」はリスト要素
でなくアイテム要素であるからリスト要素のレングスバ
イト値のＡの項目に「未定」と設定し、Ｂの項目に「２
０」、Ｃの項目に「２」及びＤの項目に「９」とそれぞ
れ設定する。引き続き、私「４」の親「３」の長女は未
定か否かを判断する（Ｓ５）。この段階では私「４」の
親「３」の長女は未定であるから、ステップＳ６へ移行
し、このステップで私「４」の親「３」の長女に私を設
定して長女の項目の第３行に「４」を記入した後、私
「４」がリスト要素であるか否かを判断する（Ｓ７）。
図５によれば私「４」はリスト要素ではないからステッ
プＳ８へ移行し、次の人「５」の親に私の親「３」を設
定して親の項目の第５行に「３」を記入する。次いで、
ステップＳ９において、次の人「５」の親「３」は最初
の人であるか否か、あるいは次の人「５」の親「３」は
まだ全部子供を産んでいないか否かを判断する。今の場
合次の人「５」の親「３」は最初の人ではなく、また、
次の人「５」の親「３」はまだ子供を全て産んでいない
ため、ステップＳ２へ戻る。

【００２５】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、次の人が存在するためステップＳ４において
次の人「５」を私とし、私「５」の親「３」の出産数１
に１を加算して２と設定し、私の項目の第５行に「５」
を記入すると共に私「５」のリスト要素属性またはアイ
テム要素属性を設定する。私「５」はリスト要素でなく
アイテム要素であるから第５行のリスト要素のレングス
バイト値のＡの項目に「未定」と設定し、Ｂの項目に
「１０」、Ｃの項目に「２」及びＤの項目に「１３」と
それぞれ設定する。引き続き、私「５」の親「３」の長
女は未定か否かを判断する（Ｓ５）。この段階では私
「５」の親「３」の長女は「４」と決まっているためス
テップＳ１０へ移行し、このステップで私の親の長女
「４」の妹は未定か否かを判断する。この段階で私
「５」の親「３」の長女「４」の妹は未定であるため、
私「５」の親「３」の長女「４」の妹に私「５」を設定
して妹の項目の第４行に「５」を記入した後（Ｓ１
１）、私「５」がリスト要素であるか否かを判断する
（Ｓ７）。図５によれば私「５」はリスト要素ではない
ためステップＳ８へ移行し、次の人「６」の親に私
「５」の親「３」を設定する。次いで、ステップＳ９に
おいて、次の人「６」の親「３」は最初の人であるか否
か、あるいは次の人「６」の親「３」はまだ全部子供を
産んでいないか否かを判断する。今の場合次の人「６」
の親「３」は最初の人ではなく、また、次の人「６」の
親「３」は全て子供を産んでいるためステップＳ１３へ
移行する。ステップＳ１３において次の人「６」の親を
次の人の親２とする。つまり、次の人「６」の親は次の
人「６」の親「３」の親「１」となる。次に、ステップ
Ｓ９へ移行する。このステップにおいて次の人の親
「１」は最初の人であるため、ステップＳ２へ戻る。

【００２６】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、今の場合次の人が存在するためステップＳ４
において次の人「６」を私とし、私「６」の親「１」の
出産数２に「１」を加算して３と設定し、私の項目の第
６行に「６」を記入すると共に私「６」のリスト要素属
性またはアイテム要素属性を設定する。私「６」はリス
ト要素でなくアイテム要素であるから第６行のリスト要
素のレングスバイト値のＡの項目に「未定」と設定し、
Ｂの項目に「２０」、Ｃの項目に「３」及びＤの項目に
「１７」とそれぞれ設定する。引き続き、私の親「１」
の長女は未定か否かを判断する（Ｓ５）。この段階では
私「６」の親「１」の長女は「２」と決まっているため
ステップＳ１０へ移行し、このステップで私の親の長女
「２」の妹１は未定か否かを判断する。この段階で私
「６」の親「１」の長女「２」の妹は「３」と決まって
いるため、ステップＳ１４で妹１に１を加算した後ステ
ップＳ１０で私の親「１」の長女の妹２（即ち、妹の
妹）は未定か否かを判断する。私「６」の親「１」の長
女「２」の妹「３」の妹は未定であるため、「３」の妹
に私「６」を設定して妹の項目の第３行に「６」を記入
した後（Ｓ１１）、私「６」がリスト要素であるか否か
を判断する（Ｓ７）。図５によれば私「６」はリスト要
素ではないためステップＳ８へ移行し、次の人「７」の
親に私の親「１」を設定する。次いで、ステップＳ９に
おいて、次の人の親は最初の人であるか否か、あるいは
次の人の親はまだ全部子供を産んでいないか否かを判断
する。次の人の親「１」は最初の人であり、また、次の
人の親「１」はまだ全部子供を産んでいないため、ステ
ップＳ２へ戻る。

【００２７】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、今の場合次の人が存在するためステップＳ４
において次の人「７」を私とし、私「７」の親「１」の
出産数２に１を加算して３と設定し、第７行の私の項目
に「７」を記入すると共に私「７」のリスト要素属性ま
たはアイテム要素属性を設定する。私「７」はリスト要
素であるからリスト要素のレングスバイト値のＡの項目
に「３」を設定して記入し他の項目には「未定」と設定
して記入する。引き続き、私「７」の親「１」の長女は
未定か否かを判断する（Ｓ５）。長女は既に「２」と決
まっているためステップＳ１０へ移行し、このステップ
で私の親の長女「２」の妹は未定か否かを判断する。こ
の段階で私「７」の親「１」の長女「２」の妹は「３」
と決まっているため、ステップＳ１４で妹１に１を加算
した後ステップＳ１０で私の親「１」の長女の妹２（即
ち、妹の妹）は未定か否かを判断する。私「７」の親
「１」の長女「２」の妹「３」の妹は「６」と決まって
いるため、ステップ１４で妹２に１を加算して３と設定
した後ステップＳ１０で私の親「１」の長女の妹３（即
ち、長女の妹「３」の妹「６」の妹）は未定か否かを判
断する。この妹は未定のため、この妹に私「７」を設定
して妹の項目の第６行に「７」を記入した後（Ｓ１
１）、私「７」がリスト要素であるか否かを判断する
（Ｓ７）。図５によれば私「７」はリスト要素であるた
めステップＳ１２へ移行し、次の人「８」の親に私
「７」を設定して親の項目の第８行に「７」を記入す
る。次いで、ステップＳ９において、次の人「８」の親
「７」は最初の人であるか否か、あるいは次の人「８」
の親「７」はまだ全部子供を産んでいないか否かを判断
する。今の場合次の人の親「７」は最初の人ではない
が、次の人の親「７」はまだ全部子供を産んでいないた
め、ステップＳ２へ戻る。

【００２８】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、今の場合次の人が存在するためステップＳ４
において次の人「８」を私とし、私「８」の親「７」の
出産数０に１を加算して１と設定し、私の項目の第８行
に「８」を記入すると共に私「８」のリスト要素属性ま
たはアイテム要素属性を設定する。私「８」はリスト要
素でなくアイテム要素であるから第８行のリスト要素の
レングスバイト値のＡの項目に「未定」と設定し、Ｂの
項目に「２０」、Ｃの項目に「５」及びＤの項目に「２
４」とそれぞれ設定する。引き続き、私「８」の親
「７」の長女は未定か否かを判断する（Ｓ５）。この段
階では私「８」の親「７」の長女は未定であるから、ス
テップＳ６へ移行し、このステップで私「８」の親
「７」の長女に私「８」を設定して第７行の長女の項目
に「８」を記入した後、私「８」がリスト要素であるか
否かを判断する（Ｓ７）。図５によれば私「８」はリス
ト要素ではないからステップＳ８へ移行し、次の人
「９」の親に私の親「７」を設定して親の項目の第９行
に「７」を記入する。次いで、ステップＳ９において、
次の人「９」の親「７」は最初の人であるか否か、ある
いは次の人「９」の親「７」はまだ全部子供を産んでい
ないか否かを判断する。今の場合次の人「９」の親
「７」は最初の人ではないが、その出産数は２でありま
だ全部子供を産んでいないため、ステップＳ２へ戻る。

【００２９】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、今の場合次の人が存在するためステップＳ４
において次の人「９」を私とし、私「９」の親「７」の
出産数１に１を加算して２と設定し、私の項目の第９行
に「９」を記入すると共に私「９」のリスト要素属性ま
たはアイテム要素属性を設定する。私「９」はリスト要
素でなくアイテム要素であるから第９行のリスト要素の
レングスバイト値のＡの項目に「未定」と設定し、Ｂの
項目に「２０」、Ｃの項目に「６」及びＤの項目に「３
１」とそれぞれ設定する。引き続き、私「９」の親
「７」の長女は未定か否かを判断する（Ｓ５）。この段
階では私「９」の親「７」の長女は「８」と決まってい
るためステップＳ１０へ移行し、このステップで私の親
の長女「８」の妹は未定か否かを判断する。この段階で
私「９」の親「７」の長女「８」の妹は未定であるた
め、長女「８」の妹に私「９」を設定して妹の項目の第
８行に「９」を記入した後（Ｓ１１）、私「９」がリス
ト要素であるか否かを判断する（Ｓ７）。図５によれば
私「９」はリスト要素ではないからステップＳ８へ移行
し、次の人「１０」の親に私の親「７」を設定して親の
項目の第１０行に「７」を記入する。次いで、ステップ
Ｓ９において、次の人「１０」の親「７」は最初の人で
あるか否か、あるいは次の人「１０」の親「７」はまだ
全部子供を産んでいないか否かを判断する。今の場合次
の人「１０」の親「７」は最初の人ではないがその出産
数は２であり、まだ全ての子供を産んでいないためテッ
プＳ２へ戻る。

【００３０】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、次の人が存在するためステップＳ４において
次の人「１０」を私とし、私「１０」の親「７」の出産
数２に１を加算して３と設定し、第１０行の私の項目に
「１０」を記入すると共に私「１０」のリスト要素属性
またはアイテム要素属性を設定する。私「１０」はリス
ト要素でなくアイテム要素であるから第１０行のリスト
要素のレングスバイト値の値のＡの項目に「未定」と設
定し、Ｂの項目に「１０」、Ｃの項目に「１」及びＤの
項目に「３９」とそれぞれ設定する。引き続き、私「１
０」の親「７」の長女は未定か否かを判断する（Ｓ
５）。この段階では私「１０」の親「７」の長女は
「８」と決まっているためステップＳ１０へ移行し、こ
のステップで私の親の長女「８」の妹は未定か否かを判
断する。この段階で私「１０」の親「７」の長女「８」
の妹は「９」と決まっているため、ステップＳ１４へ移
行し、ｎに１を加算する。次いで、ステップＳ１０へ移
行し、私「１０」の親「７」の長女「８」の妹「９」の
妹は未定であるか否かを判断する。この段階では妹
「９」の妹は未定であるため、私「１０」の親「７」の
長女「８」の妹「９」の妹に私「１０」を設定して妹の
項目の第９行に「１０」を記入した後（Ｓ１１）、私
「１０」がリスト要素であるか否かを判断する（Ｓ
７）。図５によれば私「１０」はリスト要素ではないた
めステップＳ８へ移行し、次の人「１１」の親に私の親
「７」を設定する。次いで、ステップＳ９において、次
の人「１１」の親「７」は最初の人であるか否か、ある
いは次の人「１１」の親「７」はまだ全部子供を産んで
いないか否かを判断する。この場合次の人「１１」の親
「７」は最初の人ではないが全ての子供を産んでいるた
め、ステップＳ１３へ移行する。ここでｎに１を加算
し、次の人「１１」の親を次の人の親「７」の親「１」
と設定する。次にステップＳ９へ移行する。次の人「１
１」の親「１」は最初の人であるため、ステップＳ２へ
戻る。

【００３１】ステップＳ２では次の人が存在するか否か
を判断し、今の場合次の人が存在するためステップＳ４
において次の人「１１」を私とし、私「１１」の親
「１」の出産数４に１を加算して５と設定し、私の項目
の第１１行に「１１」を記入すると共に私「１１」のリ
スト要素属性またはアイテム要素属性を設定する。私
「１１」はリスト要素でなくアイテム要素であるから第
１１行のリスト要素のレングスバイト値のＡの項目に
「未定」と設定し、Ｂの項目に「１０」、Ｃの項目に
「１」及びＤの項目に「４２」とそれぞれ設定する。引
き続き、私の親「１」の長女は未定か否かを判断する
（Ｓ５）。この段階では私「１１」の親「１」の長女は
「２」と決まっているためステップＳ１０へ移行し、こ
のステップで私の親の長女「２」の妹は未定か否かを判
断する。この段階で私「１１」の親「１」の長女「２」
の妹は「３」と決まっているため、ステップＳ１４で妹
１に１を加算した後ステップＳ１０で私の親「１」の長
女の妹２（即ち、妹の妹）は未定か否かを判断する。私
「１１」の親「１」の長女「２」の妹「３」の妹は
「６」と決まっているため、ステップＳ１４で妹２に１
を加算した後ステップＳ１０で私の親「１」の長女の妹
３（即ち、妹の妹の妹）は未定か否かを判断する。この
段階で妹３、即ちは妹「６」の妹は「７」と決まってい
るため、ステップＳ１４で妹３に１を加算した後ステッ
プＳ１０で私の親「１」の長女の妹４（即ち、妹の妹の
妹の妹）は未定か否かを判断する。この段階で妹４、即
ちは妹「７」の妹は未定のため、妹「７」の妹に私「１
１」を設定して第７行の妹の項目に「１１」を記入した
後（Ｓ１１）、私「１１」がリスト要素であるか否かを
判断する（Ｓ７）。図５によれば私「１１」はリスト要
素ではないためステップＳ８へ移行し、次の人「１２」
の親に私の親「１」を設定する。次いで、ステップＳ９
において、次の人「１２」の親「１」は最初の人である
か否か、あるいは次の人「１２」の親「１」はまだ全部
子供を産んでいないか否かを判断する。今の場合次の人
の親「１」は最初の人であるため、ステップＳ２へ戻
る。ステップＳ２において次の人が存在するか否かを判
断し、今の場合次の人がいないため、ステップＳ３へ移
行して解析テーブルの作成を終了する。上述した一連の
データ処理は各メンバーの書誌的事項のみをもって瞬時
にして行われる。

【００３２】次いで、上記解析テーブルを用いた本実施
形態の検索方法について図６のフローチャートを参照し
ながら説明する。例えば、前記表１のリスト構造の要素
名Ｌ３の要素属性を検索する場合について説明する。要
素名Ｌ３のポインタ番号は４である。本検索方法を実行
するに当たり、まず私に配列の最初の人（親「１」）を
設定すると共に要素名Ｌ３の指定数としてポインタ番号
の４を設定する（Ｓ２１）。すると、中央処理装置３１
を介して私「１」がリスト要素であるか否かを判断する
（Ｓ２２）。私「１」は表１によればリスト要素である
ため、ステップＳ２３へ移行し、このステップで指定数
が１以上であるか否かを判断する。指定数４は１以上で
あるため、ステップＳ２４へ移行し、このステップで私
に私「１」の長女「２」を設定する。長女「２」を設定
した後、ステップＳ２５へ移行し、このステップで指定
数４が２以上であるか否かを判断する。指定数４は２以
上であるため、ステップＳ２６へ移行し、このステップ
で次に予め設定されているｎ＝２と指定数４とを比較
し、ｎの値２が指定数４以下であるか否かを判断する。
ｎの値が指定数以下であるため、ステップＳ２７へ移行
し、このステップで私に私「２」の妹「３」を設定す
る。次いで、ｎの値に１を加算処理した後（Ｓ２８）、
ステップＳ２６へ移行し、ステップＳ２５からステップ
２８の処理を繰り返し、ｎの値が指定数の４以下でなく
なった時点、即ち、ステップ２８による加算処理を２回
繰り返し、私が長女「２」の妹「３」の妹「６」の妹
「７」になった時点でステップＳ２６からステップＳ２
９へ移行する。ステップＳ２９で次の指定数があるか否
かを判断する。今の場合、指定数が４のみであるため、
ステップＳ２９からステップＳ３０へ移行し、処理を終
了し、最終的に指定されたメンバーである私は長女
「２」の妹「３」の妹「６」の妹「７」である。この検
索によりポインタ番号４で指定されたメンバーは「７」
であり、「７」はリスト要素であり、その要素属性のレ
ングスバイト値が３である。この検索過程を図示したも
のが図７で、この図からも明らかなように、本実施形態
では指定数４を設定することでマクロ命令を実行し、解
析テーブルのアドレス番号をポインタとしてアドレス番
号（１）→（２）→（３）→（６）→（７）の順に検索
し、検索時間を短縮していることが判る。

【００３３】次に、前記表１のリスト構造の要素名Ａ３
の要素属性を検索する場合について説明する。リスト要
素に属するアイテム要素であるため、リスト要素のポイ
ンタ番号４とアイテム要素のポインタ番号１の両方を指
定数４／１として指定する。本検索方法を実行するに当
たり、最初の指定数４の指定した私は上述のようにして
「７」であることが判る。この場合には、ステップＳ２
９における判断で次の指定数があると判断されるため、
ステップＳ２９からステップＳ３１へ移行し、このステ
ップで次の指定数１を指定数とする。次いで、ステップ
Ｓ２２へ移行し、現在の私「７」がリスト要素であるか
否かを判断する。私「７」はリスト要素でであるため、
ステップＳ２２からステップＳ２３へ移行する。ステッ
プＳ２３で指定数１が１以上か否かを判断し、指定数１
は１以上ではあるため、ステップＳ２３からステップＳ
２４へ移行し、私に私「７」の長女「８」を設定する。
次いで、ステップＳ２４からステップＳ２５へ移行し、
指定数１は２以上でないため、ステップＳ２５からステ
ップＳ２９へ移行する。次の指定数がないため、ステッ
プＳ３０へ移行し処理を終了する。この結果最終的に指
定された私はアイテム要素「８」になる。この検索によ
りポインタ番号４及び１で指定したデータはアイテム要
素であり、そのアイテム要素属性のアイテムフォーマッ
トが２０、即ちアスキー型であり、アイテムレングス値
が５バイトであり、アイテムボディの先頭バイト位置が
リスト構造の先頭バイトから２４バイト目の位置である
ことが即座にして判る。以上の結果により同アイテムボ
ディの参照及び編集が可能になる。

【００３４】以上説明したように本実施形態によれば、
中央処理装置３１を介してリスト構造のデータうち、リ
ストメンバーとしてリスト要素、アイテム要素及びそれ
ぞれの要素属性からなる書誌的データのみを外部記憶装
置３３から主記憶装置３２内に読み出し、中央処理装置
３１を介してこれらの各メンバーの親子関係を設定して
主記憶装置３２内で解析テーブルを作成するようにした
ため、中央処理装置３１内に要求データに関連するリス
ト構造のデータを全て読み出す場合と比較して中央処理
装置３１及び主記憶装置３２の負荷を格段に軽減するこ
とができる。

【００３５】また、本実施形態によれば、上記解析テー
ブルの親子関係に基づいて周辺装置１からの要求データ
に基づいてリスト構造のメンバーの最初のメンバーと要
求データに該当するメンバーのポインタ番号が指定数と
して設定され、この指定数に基づいて上記解析テーブル
の親子関係から最初のメンバーに対する要求データの親
子関係を決定し、要求データの内容を直接参照すること
ができるため、従来のようにリスト構造を先頭バイトか
ら１バイトずつ解析して要求データを検索する場合と比
較してデータ検索時の中央処理装置３１及び主記憶装置
３２の負荷を格段に軽減することができ、もって従来よ
りも短時間でデータ検索を行うことができ、検索処理の
スループットを高めることができる。

【００３６】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、周辺装置１においてもホストコンピュ
ータ３と同様の処理を行うようにしても良い。

【００３７】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項４に記載の発
明によれば、主記憶装置及び中央処理装置の負荷を軽減
することで通信負荷を軽減することができ、ひいてはデ
ータ処理のスループットを向上させることができるデー
タ処理方法及びデータ検索方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のデータ処理方法及びデータ検索方法を
適用するホストコンピュータと半導体製造装置等の周辺
装置との関係を示す概念図である。

【図２】（ａ）、（ｂ）は記憶装置内のデータの格納状
態を示す説明図である。

【図３】ホストコンピュータの構成を示すブロック図で
ある。

【図４】本発明のデータ処理方法の一実施形態を示すフ
ローチャートである。

【図５】表１に示すリスト構造を外部記憶装置内でのデ
ータの配列状態及び各データの先頭バイトからのオフセ
ット位置を示す説明図である。

【図６】本発明のデータ検索方法の一実施形態を示すフ
ローチャートである。

【図７】本実施形態のデータ検索方法による検索過程を
示す説明図である。

【符号の説明】

１周辺装置３ホストコンピュータ３１中央処理装置３１Ａ解析テーブル作成処理部３１Ｂ検索処理部３２主記憶装置３３外部記憶装置

【表３】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＧ０６Ｆ 15/21 Ｚ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ホストコンピュータと周辺装置とを備
え、上記ホストコンピュータの外部記憶装置に格納され
たリスト要素、リスト要素を構成するアイテム要素及び
これらの各メンバーの要素属性からなるリスト構造に基
づいて上記ホストコンピュータまたは周辺装置の主記憶
装置において解析テーブルを作成するデータ処理方法で
あって、上記周辺装置からのデータ要求により上記ホス
トコンピュータまたは上記周辺装置ではそれぞれの中央
処理装置を用いて上記各メンバーのリスト要素を親、上
記アイテム要素を子とする親子関係を上記各メンバーに
設定すると共に上記各メンバーに親子関係を解釈するた
めのポインタ番号を設定し、次いで、上記中央処理装置
を用いて上記各メンバー間の親子関係を表すマトリック
ス状のテーブルを作成して上記主記憶装置に書き込んだ
後、上記各メンバーにアドレス番号を設定すると共に各
メンバーに対する他の各メンバーの親子関係をそれぞれ
のアドレス番号で上記テーブルの該当位置に書き込み、
更に上記各メンバーに対する要素属性を設定して上記テ
ーブルの該当位置に書き込んで解析テーブルを作成する
ことを特徴とするデータ処理方法。
【請求項２】上記要素属性は、上記リスト要素または
アイテム要素のレングスバイト値、データフォーマット
値及びデータのオフセット値であることを特徴とする請
求項１に記載のデータ処理方法。
【請求項３】ホストコンピュータと周辺装置とを備
え、上記ホストコンピュータの外部記憶装置のリスト要
素、アイテム要素及びこれらのメンバーの要素属性から
なるリスト構造のデータに基づいて上記ホストコンピュ
ータまたは上記周辺装置の主記憶装置において解析テー
ブルを作成した後、この解析テーブルに基づいてデータ
を検索する方法であって、上記周辺装置からのデータ要
求により上記ホストコンピュータまたは上記周辺装置で
はそれぞれの中央処理装置を用いて上記各メンバーのリ
スト要素を親、上記アイテム要素を子とする親子関係を
上記各メンバーに設定すると共に上記各メンバーに親子
関係を解釈するためのポインタ番号を設定し、次いで、
上記中央処理装置を用いて上記各メンバー間の親子関係
を表すマトリックス状のテーブルを作成して上記主記憶
装置に書き込んだ後、上記各メンバーにアドレス番号を
設定すると共に各メンバーに対する他の各メンバーの親
子関係をそれぞれのアドレス番号で上記テーブルの該当
位置に書き込み、更に上記各メンバーに対する要素属性
を設定して上記テーブルの該当位置に書き込んで解析テ
ーブルを作成した後、上記中央処理装置を介して上記リ
スト構造の最初のメンバーを親として設定すると共に上
記要求データに該当するメンバーのポインタ番号を指定
数として設定した後、上記最初のメンバーに対する上記
要求データに該当するメンバーを上記解析テーブルの親
子関係を辿って後者の前者に対する関係を決定し、決定
されたメンバーのリスト要素、アイテム要素及び要素属
性を参照することを特徴とするデータ検索方法。
【請求項４】上記要求データの内容が予め判っている
場合には、その要求データに対する上記解析テーブルを
予め作成しておくことを特徴とする請求項３に記載のデ
ータ検索方法。