JPH11200044A - 真空装置内の基体除電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高記録密度化に伴いフィルム厚みが非常に薄
くなっても、真空装置内でのフィルム剥離帯電によるフ
ィルム切れが多発しない装置を得る。 【解決手段】 真空容器内において、ロール状の基体を
直接除電することを特徴とする真空装置内の基体除電装
置によって解決可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空装置内の基体
の除電装置に関する。

【0002】

【従来の技術】金属薄膜を成膜するために、真空蒸着装
置が実用化されている。とくに、金属薄膜型磁気記録媒
体（いわゆる蒸着テープ）を製造するために、斜め蒸着
式の真空蒸着装置が用いられており、生産に活用されて
いる。最近の記録密度の進歩にともない蒸着テープの需
要が増大してきているが、真空中で行うというバッチ式
生産のため生産性向上が急務となっている。とくに、蒸
着テープの支持体として用いられるベースフィルムが、
切れるという不具合が発生し、その生産性を低かさせる
原因となっている。

【0003】このような状況のもとで、ベースフィルムの切
断を防止する方法について検討が行われてきている。た
とえば、特開昭６２−２０１３７号公報によれば、フィ
ルムと冷却ドラム上の回転のずれにより発生する擦り傷
を防止するために、高分子フィルムの巻き出し直後に、
高圧プローブにより静電帯電させて、さらに巻き取り直
前に、グロー放電処理する方法が記されている。しか
し、ビデオテープの長時間の要求に伴いフィルム厚が非
常にうすくなってくると、フィルムがロール状基体から
離れた場所で除電することでは不十分であり、剥離帯電
によるフィルム切れや穴あきが発生することが多くなっ
たいた。

【0004】

【発明が解決しようとする課題】このような状況におい
て、本発明の課題は、高記録密度化に伴いフィルム厚み
が非常に薄くなっても、真空装置内でのフィルム剥離帯
電によるフィルム切れが多発しない装置を得ることにあ
る。

【0005】

【発明を解決するための手段】このような課題は、以下
に示す本発明によって達成される。すなわち本発明は、
真空容器内において、ロール状の基体を直接除電するこ
とを特徴とする真空装置内の基体除電装置にある。

【0006】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的構成につい
て、図１の真空蒸着装置を例に用いて詳細に説明する。

【0007】図１に示される斜め蒸着装置１０１では、真空
槽１１０中において、排気口１０８を経て真空ポンプ
（図示せず）に接続されて真空状態に保たれ、この真空
槽内で長尺フィルム状の非磁性基体１０２を供給ロール
１０３から繰り出し、回転する冷却ドラム１０４の表面
に添わせて搬送しながら、遮蔽板（マスク）１９１を用
いて蒸着角度を決定し、定置されたるつぼ１０５中の強
磁性金属１５０表面に電子銃１０６からの電子ビーム１
０６Ｂを照射して斜め蒸着を行なうことにより、前記非
磁性基体１０２上に強磁性金属薄膜を形成する。また、
金属が溶けるまでの間はシャッター１９３によって非磁
性基体への金属の付着を防止する。このような金属の蒸
着に際して、ガス供給装置１９４から蒸着金属にガスが
幅方向に均一となるように供給される。このようにして
強磁性金属薄膜が形成された非磁性基体１０２は、巻き
取りロール１０７に巻き取られる。

【0008】本発明の除電機構は、供給ロールを傷つけるこ
となく直接除電できるものであれば、特に指定は無い
が、酸素またはアルゴンガスを使用したプラズマ発生機
構をもつ除電装置からプラズマ流を吹き出させる方式
や、フィルムに直接接触しアースをとる方式でもよい。
直接アースを取る方法としては、導電性ブラシ等を接触
させる方法や、導電性ゴムや導電性樹脂を表面に配した
タッチロール等がある。

【0009】設置位置は基体ロールの帯電を直接除電できる
位置であればよい。特に望ましくは剥離部に最も近いロ
ール外側である。除電の機構については特に規定は無い
が、なるべく非接触式の除電方法が望ましい。除電の方
式としては、プラズマやグロー放電を用いる方法、高圧
プローブを近接させる方法、導電性を有したタッチロー
ルやブラシを接触させる方法などがある。

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。

【0010】図１に示される構成の斜め蒸着装置を用いて、
厚さ４．６μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）フィルムからなる非磁性基体１０２上に、強磁性金
属薄膜を形成した。平均の最小入射角θｍｉｎ．を５０
度、るつぼの湯面とドラム１０４の蒸着面の平均距離を
約３００ｍｍ、蒸着部の幅を５００ｍｍとした。

【0011】（実施例、比較例）まず、真空槽内を排気し、
槽内の圧力を１０^-5Ｔｏｒｒに保った。るつぼには、酸
化マグネシウム製のものを用い、電子銃のパワーは１２
０ｋＷとした。ガス供給ノズルは幅方向長さで６００ｍ
ｍであり、蒸着時に酸素主成分のガスを供給した。ま
た、蒸着時の目標膜厚は２００ｎｍとして蒸着を行っ
た。

【0012】除電機構は、表１に示したように、アルゴンガ
スのプラズマ流を吹き出させる機能を有したものとし
て、これを剥離部と剥離部以外に設置したもの、高圧プ
ローブを用いたもの、基体ロールに直接タッチロールや
ブラシを触れさせたものを実施例として、また第一のガ
イドロールの前後にグロー放電処理機構を用いたものを
比較例とした。

【0013】それぞれ、全長５０００ｍのフィルムを使用
し、１０回の蒸着を行いフィルムの剥離帯電による切断
の回数を調査した。

【0014】

【表1】除電機構を追加した真空蒸着装置

【0015】フィルムを繰り出しロールから繰り出す際に、
ロール状態のフィルムを直接除電することにより、フィ
ルムがロールから繰り出される際に発生する剥離帯電に
よるフィルム切れや穴あきを防止し、安定に強磁性金属
を形成することが可能になった。

【0016】比較例に示すように、従来の除電機構が付与さ
れていない装置では、フィルム切れの発生頻度が１０バ
ッチ成膜すると８回程度発生し、非常に生産効率が劣っ
ていた。

【0017】さらに、特開昭６２−２０１３７号公報のよう
にガイドロールの前を除電しても、擦り傷防止対策には
なっても、フィルム切れや穴あきの防止には効果が少な
かった。

【0018】これらに対し、実施例に示したようにロール状
の基体を除電する機構を設けることにより、その方式に
かかわらずフィルム切れ発生回数を０回／１０バッチに
抑えることが可能になった。

【0019】

【発明の効果】ロール状の基体を除電する機構を設ける
ことにより、その方式にかかわらず、薄層のフィルムが
ロールから繰り出される際に発生する剥離帯電によるフ
ィルム切れを防止し、安定に強磁性金属を形成すること
が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図1】蒸着装置を説明するための模式図である。

【図2】本発明の実施例及び比較例の除電機構を示す模
式図である。

【符号の説明】

１０１ 斜め蒸着装置（真空槽） １０２ 非磁性基体 １０３ 供給ロール １０４ 冷却ドラム １０５ るつぼ １５０ 溶湯 １０６ 電子銃 １０６Ｂ 電子ビーム １０７ 巻き取りロール １０８ 排気口 １１０ 真空槽 １９１ 遮蔽板（マスク） １９３ シャッター １９４ ガス導入口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項1】真空容器内において、ロール状の基体を直
   接除電することを特徴とする真空装置内の基体除電装
   置。