JPH11198034A

JPH11198034A - 研削加工方法及び研削盤

Info

Publication number: JPH11198034A
Application number: JP10006815A
Authority: JP
Inventors: Kenichiro Nishi; 健一朗西; Mitsuru Nukui; 満温井; Kazuo Nakajima; 和男中嶋; Shiro Murai; 史朗村井; Toyohisa Wada; 豊尚和田; Tetsuo Okuyama; 哲雄奥山; Tomio Nakagawa; 富夫中川
Original assignee: Nippei Toyama Corp
Current assignee: Nippei Toyama Corp
Priority date: 1998-01-16
Filing date: 1998-01-16
Publication date: 1999-07-27

Abstract

(57)【要約】【課題】割れ発生検知の確実性及び迅速性を高めること
ができるウエハの加工方法及び研削盤を提供する。【解決手段】上部砥石１５と下部砥石１６間で研削さ
れるウエハ１７の上面側に電気的に接触する導電接触子
２０１が設けられ、この導電接触子２０１のウエハ１７
の上面に対する接触点Ａ，Ｂ間のウエハ１７の電気抵抗
値が抵抗計２０２により測定されその測定値に基づき割
れ発生の検知が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を研削する加工方法及
びその研削盤に関するものであり、特に、研削中に発生
するウエハの割れを検知することができる加工方法及び
研削盤に関するものである。

【０００１】

【従来の技術】半導体で使用されるウエハはインゴット
をインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研磨
仕上を行っている。

【０００２】インゴットから切断したウエハは面粗度、
形状精度共に粗である。そこでインゴットから切断後の
ウエハのラップ仕上を行うと非常に時間がかかり加工能
率がよくない。そこでかかるラップ加工による加工能率
及ぴ加工精度の向上を計るために試みられる研削による
ウエハの加工によれば、短かい加工時間で所要の面精度
が得られる。この様に、ウエハを研削により仕上げるこ
とが例えば実登３０２８７３４号公報、機械と工具、１
９９５年７月号第６０頁から第６４頁、砥粒加工学会誌
Ｖｏ１．３９Ｎｏ．４１９９５．ＪＵＬ、第２０頁から
第２３頁等に開示されている。

【０００３】しかし、ウエハが研削される場合には、ウ
エハのノッチや切欠部とウエハ回転手段との係合部に駆
動応力が集中したり、あるいは他の原因で研削中のウエ
ハの割れの原因となる場合があった。研削中にウエハが
割れた場合には、研削盤自体が損傷を受ける可能性があ
り、またウエハ自体も製品とすることができないことか
ら、歩留まりが低下するという問題がある。

【０００４】以上のような研削加工におけるワークの割
れの発生を検知する技術として従来から音響放射（アコ
ースティック・エミッション、以下ＡＥと称する）の適
用が試みられている。例えば特開昭６０−６９５５０号
にはＡＥのパワーが顕著になる周波数帯域に対応したバ
ンドパスフィルタを利用して割れを検出する技術が開示
されている。この特開昭６０−６９５５０号に開示され
た研削割れ検出方法によれば研削過程において発生した
微小な割れも検出することができるとされている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし以上の特開昭６
０−６９５５０号に開示された研削割れ検出方法にあっ
ても、次のような問題があった。この特開昭６０−６９
５５０号に開示された研削割れ検出方法はＡＥのパワー
が顕著になる周波数帯域に着目するものであり、割れ発
生後に割れの発生と関連する蓋然性のあるＡＥを検知す
るとするものでありその点で割れ発生検知の確実性及び
迅速性（同時性）という点で問題があった。

【００６】本発明は以上の従来技術における問題に鑑み
てなされたものであって、割れ発生検知の確実性及び迅
速性を高めることができるウエハの加工方法及び研削盤
を提供することを目的とする。尚、ここに言う検知には
ウエハに現実に割れが発生した場合の検知のみならず、
それ以前の割れを予知する意味も含まれる。又、ここに
いう割れの状態とはウエハが完全に分離した場合のみな
らず分離するに至る以前の過程も含まれる。

【００７】

【課題を解決するための手段】ウエハに電圧を印加した
場合に得られる抵抗値はウエハが正常に研削される場合
とウエハに亀裂や割れ等の異変が生じた場合とで異な
る。この様にウエハ研削過程でウエハが割れる直前にお
ける抵抗値の変化を検討した結果、この抵抗値の変化を
検知することにより、割れを予め検知することができる
ことが判明した。本発明者等はかかる知見に基づいて本
発明に想到した。

【００８】すなわち前記課題を解決する本出願第１の発
明の研削加工方法は、薄板状ウエハの表面と裏面の少な
くとも一方の面に、砥石を回転させて研削加工を行う際
に、前記ウエハに接触する導電接触子を設け、かかる導
電接触子を介して得られる前記ウエハの抵抗値変化に基
づきウエハの割れを検知することを特徴とする。

【００９】以上の本出願第１の発明の研削加工方法によ
れば、ウエハ研削過程でウエハが割れる直前における割
れ発生と直接に関連する抵抗値の変化に基づき、割れ発
生が検知されるので、迅速確実な割れ発生検知が可能と
なる。

【００１０】また本出願第２の発明の研削加工方法は、
インゴットから切断後のウエハの研削加工方法におい
て、ウエハ支持部材のキャリヤプレートにウエハの切欠
部に係合するウエハ回転手段を設け、砥石によりウエハ
の研削を行うに際し、ウエハの切欠部とウエハ回転手段
を係合させてウエハを回転させると共に砥石を回転して
ウエハの研削を行い、前記ウエハに接触する導電接触子
により測定される前記ウエハの抵抗値変化に基づきウエ
ハの割れを検知することを特徴とする。

【００１１】以上の本出願第２の発明の研削加工方法に
よれば、ウエハの切欠部とウエハ回転手段を係合させて
ウエハを回転させると共に砥石を回転してウエハの研削
を行う際にウエハ研削過程でウエハが割れる直前におけ
る割れ発生と直接に関連する抵抗値の変化に基づき、割
れ発生が検知されるので、迅速確実な割れ発生検知が可
能となる。

【００１２】また本出願第３の発明の研削加工方法は、
薄板状ウエハの表面と裏面の少なくとも一方の面に、砥
石を回転させて研削加工を行う際に、前記ウエハの外周
側面に接し前記ウエハを保持してウエハを回転させるウ
エハ保持手段を導電接触子となし、かかる導電接触子を
介して得られる前記ウエハの抵抗値変化に基づきウエハ
の割れを検知することを特徴とする研削加工方法。

【００１３】以上の本出願第３の発明の研削加工方法に
よれば、ウエハの切欠部とウエハ回転手段を係合させて
ウエハを回転させると共に砥石を回転してウエハの研削
を行う際にウエハ研削過程でウエハが割れる直前におけ
る割れ発生と直接に関連する抵抗値の変化に基づき、割
れ発生が検知されるので、迅速確実な割れ発生検知が可
能となる。

【００１４】また本出願第４の発明の研削盤は、砥石面
に対向して配設され、砥石面で外周に切欠部を有するウ
エハの面を加工する研削盤において、ウエハの切欠部に
係合するウエハ回転手段を有し、前記ウエハに接触する
導電接触子と、この導電接触子により測定される前記ウ
エハの抵抗値変化に基づきウエハの割れを検知する判別
手段を有することを特徴とする。

【００１５】また本出願第５の発明の研削盤は、ウエハ
の外周側面に接し前記ウエハを保持してウエハを回転さ
せるウエハ保持手段とウエハの表面と裏面の少なくとも
一方の面に接触させて研削加工を行う砥石とを有してな
る研削盤において、前記保持手段を導電接触子となし、
この導電接触子により測定される前記ウエハの抵抗値変
化に基づきウエハの割れを検知する判別手段を有するこ
とを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施の形態のウ
エハの加工方法につき説明する。ウエハに生じる異変、
特にはその割れのプロセスの一例を図１(a)，(b)，
(c)，(d)に示す。図１(a)に示されるように割れの初期
ではノッチの底部からクラックが生じ、次ぎに図１(b)
に示されるようにノッチ欠け等が生じる。さらに図１
(c)に示されるようにノッチ底部から生じたクラックが
成長してウエハ全体を横断するように延び、更にそのま
ま加工を続けると図１(d)に示すようにウエハはバラバ
ラに破壊される。

【００１７】かかる割れのプロセスにおいて、本発明の
ウエハの加工方法ではまず図１(a)、図１(b)に示す状
態、すなわちノッチの底部からクラックが生じる以前、
あるいはノッチ欠けが生じる以前に割れの発生の予兆を
検知することを主眼とする。しかしながら、図１(a)乃
至図１(c)に示される割れ発生の初期段階において割れ
の発生を検知して、図１(d)に示すウエハがバラバラに
破壊される段階に至る以前に加工を停止することができ
れば、研削盤等の加工装置が受ける損傷を防ぐことがで
き、かかる点で図１(a)乃至図１(c)に示される割れ発生
の初期段階における割れの発生を検知することも本発明
の加工方法の意図するところである。また、図１(d)に
示すように現実にウエハに割れが発生した場合に、視認
による認識以外に割れの発生を検知することができるよ
うにすることも本発明の意図するところである。

【００１８】図２は本発明の一実施の形態の研削加工方
法の概要を示す模式図である。図２に示すように本発明
の研削加工方法では、上部砥石１５と下部砥石１６間で
研削されるウエハ１７の上面側に電気的に接触する導電
接触子２０１が設けられ、この導電接触子２０１のウエ
ハ１７の上面に対する接触点Ａ，Ｂ間のウエハ１７の電
気抵抗値が抵抗計２０２により測定されその測定値に基
づき割れ発生の検知が行われる。

【００１９】図３は本発明の他の実施の形態の研削加工
方法の概要を示す模式図である。図３に示す実施の形態
ではウエハ１７の下面に電気的に接触する導電接触子２
０１が設けられ、この導電接触子２０１のウエハ１７の
下面に対する接触点Ｃ，Ｄ間のウエハ１７の電気抵抗値
が抵抗計２０２により測定されその測定値に基づき割れ
発生の検知が行われる。

【００２０】図４は以上の図２及び図３に示す実施の形
態の加工方法の実施過程でウエハに割れが生じる時の導
電接触子２０１間の電気抵抗値変化の一例を模式的に示
す図である。図に示すように電気抵抗値が増大する場合
には、割れが発生する予兆若しくは割れの発生であると
認めることができる。この場合前述した図１(a)乃至図
１(c)に示される割れ発生の初期段階に該当するか若し
くは割れが発生した段階であり、その段階で加工を中止
することにより図１(d)に示すウエハがバラバラに破壊
される段階に至る以前に加工を停止して研削盤等の加工
装置が受ける損傷を防ぐ等の対策をとることもできる。

【００２１】図５は本発明の一実施の形態の研削加工方
法の実施プロセスを示すフローチャートである。本発明
の研削加工方法では図に示すようにまずウエハの加工開
始と共にウエハに電圧を印加し、電気抵抗を計測する。
この電気抵抗は判別制御部２０４における電気抵抗増大
有無判別の対象となる。この判別制御部２０４において
電気抵抗増大が確認されると、ウエハの加工が即座に停
止される。つまり一定時間毎に抵抗値を測定し、前回の
値と比較し、その増加率を求め増加率がある値を超えた
場合に抵抗値増大と判断する。これによりウエハの割れ
が検知され、また場合によってはウエハの割れが未然に
防止される。

【００２２】以上の過程において判別制御部２０４にお
ける電気抵抗増大有無判別は予め設定されたしきい値を
超えたことを検出して行うようにすることもできる。ま
た電気抵抗の所定の時間範囲における平均値をとり、そ
の平均値が所定のＸ値を超えたことを検出して割れ発生
を検知する様にすることもできる。又以上の手法を適宜
組み合わせて割れ発生を検知するようにすることもでき
る。

【００２３】図６は本発明の他の実施の形態の研削加工
方法の実施プロセスを示すフローチャートである。本実
施の形態の研削加工方法では図６に示すようにまずウエ
ハの加工開始と共にウエハの電気抵抗が計測され、しき
い値判別部２０９においてしきい値を超える電気抵抗増
大の有無が判別される。以上においてしきい値判別部２
０９におけるしきい値は手動により入力設定することが
できる。

【００２４】図７、図８は本発明の研削加工方法の他の
実施の形態を示す模式図である。図に示す実施の形態で
は、ウエハ１７を保持するチャック機構３００の各々の
チャック部３３０に導電接触子２０１ａ、導電接触子２
０１ｂ、導電接触子２０１ｃ、導電接触子２０１ｄ、導
電接触子２０１ｅ、導電接触子２０１ｆが配置される。
導電接触子は固定でありウエハを保持するチャック機構
３００はウエハと共に時計方向又は反時計方向に回転す
る。また、導電接触子の内、２０１ａ、２０１ｂ、２０
１ｃは正極であり、２０１ｄ、２０１ｅ、２０１ｆは負
極である。従って、ウエハが回転しながら例えば正極で
ある導電接触子２０１ａと負極である導電接触子２０１
ｄ、２０１ｅ、２０１ｆの間の抵抗を測定する。また、
他の正極の導電性接触子２０１ｂ、２０１ｃの場合も同
様である。又、導電性接触子は固定でありウエハを保持
するチャック部３３０はウエハと共に回転するのでこの
様に導電性接触子を配置することによりウエハ上のいず
れかに発生するクラックやその成長をすみやかに検知す
ることができる。図では６個のチャック部の場合を示し
たがチャックは複数個であれば良く正極と負極の配置も
同様である。

【００２５】以上の実施の形態の研削加工方法では、研
削の対象となるウエハ１７には切欠部がない場合を示し
たが、この場合研削過程において切欠部のノッチの底部
近傍応力集中部を起点とするクラックに起因した割れが
生じることはない。しかし、研削過程においてウエハ１
７には両砥石１５、１６から研削応力が加えられかかる
研削応力により割れが発生する場合がある。以上の実施
の形態の研削加工方法では、かかる割れを検知して割れ
の発生に対処することができる。

【００２６】図９は図７、図８に示す実施の形態の変形
例であり、図に示す実施の形態では、ウエハ１７を保持
するチャック機構３００の各々のチャック部３３０に正
極である導電接触子２０１Ａ、負極である導電接触子２
０１ｂ、導電接触子２０１ｃ、導電接触子２０１ｄ、導
電接触子２０１ｅ、導電接触子２０１ｆが配置され、導
電接触子２０１Ａはａ₁〜ａ₅までの５端子を有して、導
電接触子２０１Ａの端子ａ₁と導電接触子２０１ｂ間、
導電接触子２０１Ａの端子ａ₂と導電接触子２０１ｃ
間、導電接触子２０１Ａの端子ａ₃と導電接触子２０１
ｄ間、導電接触子２０１Ａの端子ａ₄と導電接触子２０
１ｅ間、導電接触子２０１Ａの端子ａ₅と導電接触子２
０１ｆ間で、ウエハが回転しながらそれぞれの接触子間
でのウエハ１７の電気抵抗が測定される。

【００２７】又、図１０は他の実施の形態であるが図に
示す形態はウエハ１７の外周を複数のローラ３５０（図
では３個）で保持し、ローラ３５０を回転させウエハ１
７も回転させるウエハの駆動方法であるが、ローラ３５
０を導電性接触子とすることにより同様に割れを検知す
ることができる。

【００２８】以下に以上の実施の形態を図３，４に基づ
いて説明した本発明の実施の形態の研削加工方法を利用
した本発明の研削盤の実施の形態を図１０以下に基づい
て説明する。図１１，図１２，図１３に示すように、こ
の実施の形態の研削盤は両頭平面研削盤として構成され
下部フレーム１１を備え、その下部フレーム１１上には
中間フレーム１１２が固定され、中間フレーム１１２上
には上部フレーム１１１が固定されている。下部フレー
ム１１には下部砥石回転昇降機構１２及ぴウエハ支持部
材１４が装設され、上部フレーム１１１には上部砥石回
転昇降機構１３が装設されている。両砥石回転昇降機構
１２，１３には夫々上下部砥石１５，１６が配設され、
それらの砥石１５，１６の上部または下部端面の研削作
用面１５ａ，１６ａが互いに平行となるように対向配置
されている。そして、薄板状のウエハ１７がウエハ支持
部材１４に支持された状態で、両砥石回転昇降機構１
２，１３の砥石１５，１６問に挿入配置され、それらの
砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，１６ａにより、ウ
エハ１７の両面が同時に研削されるようになっている。

【００３３】図１２はウエハ支持部材の平面図であるが
図に示すようにキャリヤプレート６０のセット穴６０ａ
にはインゴットから切断された未研削のウエハ１７の結
晶方位の基準となるノッチ等の切欠部１７ａに係合する
ように内周側へ向って突出する回転力伝達手段６０ｂが
設けてある。このウエハ１７の切欠部１７ａの形状は一
般にはＶ溝状のノッチ又はフラット状の切欠きであり、
前記回転力伝達手段６０ｂはウエハの切欠部１７ａをほ
ぼ補完する形状としてある。ただし、ウエハ１７の切欠
部１７ａは結晶方位を知るためのもの以外にウエハ１７
を駆動するためにウエハ１７に別に設けてもよい。

【００３４】この両頭平面研削盤において、研削加工を
行う場合には、ウエハ１７がウエハ支持部材１４に回転
可能に支持されたキャリヤプレート６０のセット穴６０
ａにに保持された状態で、上下両砥石回転昇降機構１
２，１３の上下部砥石１５，１６間に挿入配置され、下
部砥石１５上に載置される。次ぎに上部砥石１６が下降
し、上部砥石１６がウエハ１７に接近した位置におい
て、上下両砥石回転昇降機構１２，１３の上下部砥石１
５，１６が高速回転されるとともに、回転用モータ６１
が低速で回転駆動され、キャリヤプレート６０は回転駆
動手段としてのギヤ６２，５９を介して回転され、セッ
ト穴６０ａに保持されたウエハ１７が回転する。そし
て、上部砥石回転昇降機構１３の上部砥石１６がウエハ
１７に対して研削を開始し、両砥石１５，１６の研削作
用面１５ａ，１６ａによりウエハ１７の両面が同時に研
削される。

【００３５】以上の研削過程において、例えばウエハ１
７の切欠部１７ａには回転力伝達手段６０ｂが係合して
おり、研削過程において切欠部１７ａ、特にはそのノッ
チの底部近傍には応力集中が生じ、その応力集中部を起
点とするクラックに起因して、ウエハ１７に割れが生じ
る場合がある。そこで本発明のウエハの加工方法では次
のプロセスで割れ検知を行う。

【００３６】図１２，図１３に示すように前記ウエハ１
７の上面に接触する様に導電接触子２０１が取り付けら
れ、この導電接触子２０１間の抵抗値がテーブル５３上
に固定された抵抗計２０２により測定され、その測定値
が判別制御部２０４に送信される。この判別制御部２０
４において予め設定されたしきい値を超えたとき割れ発
生が検知され、かかる構成により前述の図６のフローチ
ャートに示す過程で割れ検知が行われる。

【００３７】まずウエハ１７の切欠部１７ａに回転力伝
達手段６０ｂを係合させ砥石駆動モータ３４，４８、ウ
エハ駆動用の回転用モータ６１を駆動すると上下部砥石
１５，１６、ウエハ１７は回転する。ここで上部砥石１
６を下降してウエハ１７に切り込むと、砥石１５，１６
はウエハ１７の両面を夫々研削する。この加工開始と共
に導電接触子２０１間のウエハ電気抵抗を抵抗計２０２
で計測する。この抵抗計２０２で計測された電気抵抗は
判別制御部２０４に送信され判別制御部２０４で電気抵
抗の値が判別される。この判別制御部２０４において電
気抵抗が予め設定されたしきい値を超えたことが確認さ
れると、砥石駆動モータ３４，４８、ウエハ駆動用の回
転用モータ６１の駆動を停止する。停止後上部砥石１６
を上昇し、下部砥石１５から外周側にはみ出しているウ
エハ１７の部分１７ｂを持ち上げてウエハ１７をセット
穴６０ａから抜いてウエハ１７を取り出す。以上により
ウエハ１７の割れが確実に検知され、割れ発生に対する
対策を迅速に講じることができる。

【００３８】次ぎに、模式図である図７、図８、図９に
より説明した本発明の他の実施の形態の両頭研削盤を用
いたウエハ加工方法につき説明する。図１４は、この実
施の形態の両頭研削盤の下部フレーム部分の要部縦断面
図であり、図１５は、ウエハ支持部材の平面図である。
この実施の形態の両頭研削盤はチャック機構を適用する
ものであり、ウエハ１７の切欠部を回転用に用いる必要
はない。図１４及び図１５に示す様に、本実施の形態の
研削盤では前記ウエハ支持部材１４の支持台５２は上下
部の両砥石回転昇降機構１２、１３間において、下部フ
レーム１１上に配設され、ウエハ支持台としてのスライ
ドテーブル５３は支持台５２上の下部砥石１５の両側に
配設された一対のガイドレール５４を介して、下部砥石
回転昇降機構１２の砥石台２０の水平移動方向と同方向
へ移動可能に支持されている。

【００３９】図１５、図１６、図１７に示す様に円環状
のチャック機構３００は、スライドテーブル５３の３個
のガイドローラ５８とチャック機構３００の下板３０１
の外周端部３０１ａと係合することにより回転可能に支
持されている。チャック機構３００には複数個のチャッ
ク部３３０が円周上に均等間隔で配置されている。

【００４０】図１６はチャック機構の全体を示す平面図
であり図１７はチャック機構の断面図である。チャック
機構３００には複数個（図１６では５個として表示）の
チャック部３３０が円周上に均等間隔で配置されてい
る。尚、図１６の左半分は全体の平面図、右半分は上板
３０２を取外した場合の平面図を示している。チャック
部３３０は後述のように、クランプ部である爪３０４、
支点ピン３０５、ばね３０６、クランプシュー３０９等
からなる。

【００４１】図１６に示す様に、チャック部３３０の各
クランプシュー３０９はＣｕ合金若しくは導電性プラス
チックス等の軟質な導電性材料により形成される。また
チャック部３３０のクランプ部である爪３０４に当接す
る導電性ローラ２０１ａを備える導電接触子２０１が所
要数固設され、各導電接触子２０１間の導電抵抗が測定
される。図１８はかかる導電接触子２０１の斜視図を示
す。図に示されるように導電接触子２０１は導電性ロー
ラ２０１ｇとこれを支持する支持部２０１ｈとからな
り、導電性ローラ２０１ｇは支持部２０１ｈにより弾性
的に支持されて爪３０４に当接し、また電線２０３によ
りスライドテーブル５３上に載置固定された抵抗計２０
２に接続される。また導電性接触子の配置は図７、図９
の何れの方法を採っても良い。

【００４２】抵抗計２０２による測定結果は判別制御部
に送信される。したがってウエハ１７の側面に接触する
各クランプシュー３０９間の抵抗値がスライドテーブル
５３上に載置固定された抵抗計２０２により測定され、
その測定値が判別制御部２０４に送信される。この判別
制御部２０４に送信された抵抗値が例えば予め設定され
たしきい値を超えたとき割れ発生が検知され、かかる構
成により前述の図６のフローチャートに示す過程で割れ
検知が行われる。

【００４３】まずウエハ１７がチャック機構３００の５
個のチャック部３３０のクランプシュー３０９に保持さ
れた状態で上下両砥石回転昇降機構１３、１２の上下部
砥石１６、１５の間に挿入配置される。この状態で上下
両砥石回転昇降機構１３、１２の上下部砥石１６、１５
が高速運転されるとともに、チャック機構回転駆動モー
タ６１が低速で回転駆動され、ウエハ１７がチャック機
構３００に保持された状態で回転する。そして上部砥石
回転昇降機構１３の上部砥石１６がウエハ１７に向かっ
て下降接近されて、両砥石１５、１６の研削作用面１５
ａ、１６ａにより両面が同時に研削される。この加工開
始と共に、各クランプシュー３０９間の抵抗値がスライ
ドテーブル５３上に載置固定された抵抗計２０２により
測定される。その測定された抵抗値がしきい値を超える
場合にはしきい値判別部２０９においてその旨が判別さ
れる。

【００４４】これにより異常信号が発せられ、砥石駆動
モータ３４，４８、ウエハ駆動用の回転用モータ６１の
駆動を停止する。停止後上部砥石１６を上昇し、下部砥
石１５から外周側にはみ出しているウエハ１７を持ち上
げてウエハ１７をセット穴６０ａから抜いてウエハ１７
を取り出す。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本出願第１の発明の研削加
工方法によれば、ウエハに接触する導電接触子を介して
得られるウエハの抵抗値変化、すなわちウエハ研削過程
でウエハが割れる直前における割れ発生と直接に関連す
る抵抗値の変化に基づき割れ発生が検知されるので、迅
速確実な割れ発生検知が可能となる。

【００４６】以上の本出願第２の発明の研削加工方法に
よれば、ウエハの切欠部とウエハ回転手段を係合させて
ウエハを回転させると共に砥石を回転してウエハの研削
を行う際にウエハに接触する導電接触子を介して得られ
るウエハの抵抗値変化、すなわちウエハ研削過程でウエ
ハが割れる直前における割れ発生と直接に関連する抵抗
値の変化に基づき、割れ発生が検知されるので、迅速確
実な割れ発生検知が可能となる。

【００４７】以上の本出願第３の発明の研削加工方法に
よれば、ウエハの外周側面に接し前記ウエハを保持して
ウエハを回転させるウエハ保持手段を介して得られる前
記ウエハの抵抗値変化すなわちウエハ研削過程でウエハ
が割れる直前における割れ発生と直接に関連する抵抗値
の変化に基づき、割れ発生が検知されるので、迅速確実
な割れ発生検知が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエハの加工過程においてウエハに生じる割れ
のプロセスを示す説明図

【図２】本発明の一実施の形態の研削加工方法の概要を
示す模式図

【図３】本発明の他の実施の形態の研削加工方法の概要
を示す模式図

【図４】は図２及び図３に示す実施の形態の加工方法の
実施過程でウエハに割れが生じる時の導電接触子間の電
気抵抗値変化を模式的に示す図

【図５】本発明の一実施の形態の研削加工方法の実施プ
ロセスを示すフローチャート

【図６】本発明の他の実施の形態の研削加工方法の実施
プロセスを示すフローチャート

【図７】本発明の研削加工方法の他の実施の形態を示す
模式図

【図８】本発明の研削加工方法の他の実施の形態を示す
模式図

【図９】図７、図８に示す実施の形態の変形例

【図１０】本発明の研削加工方法の更に他の実施の形態
を示す模式図

【図１１】この発明の平面研削盤の実施の形態を示す正
面図である。

【図１２】ウエハ支持部材の平面図である。

【図１３】スライドテーブル部を示す縦断面図である。

【図１４】この発明の他の実施の形態の研削盤の下部フ
レーム部分の要部縦断面図である。

【図１５】図１４のウエハ支持部材の平面図である。

【図１６】図１５のチャック機構を示す平面図であ
る。

【図１７】図１６におけるチャック機構のＶＩ−ＶＩ
の断面図である。

【図１８】導電性接触子の斜視図である。

【符号の説明】

１…研削工具、２…台板、２ａ…凹形嵌合部、３…ダイ
ヤモンド砥石、３ａ…研削作用面、５…ウエハ接触部
材、４ａ，５ａ…ウエハ接触面、６・・・砥石ホルダ、６
ａ…凸形嵌合部、７・・・ボルト、８…ダイヤモンドイン
プリ砥石、１１…下部フレーム、１２…下部砥石回転昇
降機構、１３…上部砥石回転昇降機構、１４…ウエハ支
持部材、１５…下部回転砥石、１５ａ…研削作用面、１
６…上部回転砥石、１６ａ…研削作用面、１７…ウエ
ハ、１７ａ…切欠部、１７ｂ…部分、１７ｃ，１７ｄ…
角、２０…砥石台、２１…ガイド、２２…下部砥石台移
動用モータ、２３…ボールネジ、２３ａ…ボールナッ
ト、２４…下部軸支筒、２４ａ…ガイド部、２４ｂ…ブ
ラケット、２５…下部砥石台昇降用モータ、２６…回転
伝達機構、２７…ボールねじ、２８…下部砥石軸、２９
…砥石ホルダ、３４…砥石駆動モータ、３８…上部軸支
筒、３８ａ…ブラケット、２４ｂ…プラケット、３９…
ガイド、４０…昇降用モータ、４１・・・ボールねじ、４
１ａ…ボールナット、４２…上部砥石軸、４３…砥石ホ
ルダ、４８・・砥石駆動モータ、５２・・・支持台、５３・・・
スライドテーブル、５４・・・ガイドレール、５５・・・スラ
イドテーブル移動用モータ、５６・・・ボールねじ、５７・
・・回転盤、５８・・・ガイドローラ、５９・・・ギヤ、６０・・
・キャリヤプレート、６０ａ・・・セット穴、６０ｂ・・・ウ
エハ駆動部、６１・・・チャック機構回転駆動モータ、６
２…ギヤ、１１１…上部フレーム、３００…チャック機
構、３０１…下板、３０１ａ…外周端部、３０２…上
板、３０２ａ…円弧溝、３０４…爪、３０５…支点ピ
ン、３０６…ばね、３０９…クランプシュー、３３０…
チャック部。

フロントページの続き (72)発明者村井史朗富山県東砺波郡福野町100番地株式会社日平トヤマ富山工場内 (72)発明者和田豊尚富山県東砺波郡福野町100番地株式会社日平トヤマ富山工場内 (72)発明者奥山哲雄神奈川県横須賀市神明町１番地株式会社日平トヤマ技術センター内 (72)発明者中川富夫富山県東砺波郡福野町100番地株式会社日平トヤマ富山工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄板状ウエハの表面と裏面の少なくとも
一方の面に、砥石を回転させて研削加工を行う際に、前
記ウエハに接触する導電接触子を設け、かかる導電接触
子を介して得られる前記ウエハの抵抗値変化に基づきウ
エハの割れを検知することを特徴とする研削加工方法。
【請求項２】インゴットから切断後のウエハの研削加
工方法において、ウエハ支持部材のキャリヤプレートに
ウエハの切欠部に係合するウエハ回転手段を設け、砥石
によりウエハの研削を行うに際し、ウエハの切欠部とウ
エハ回転手段を係合させてウエハを回転させると共に砥
石を回転してウエハの研削を行い、前記ウエハに接触す
る導電接触子により測定される前記ウエハの抵抗値変化
に基づきウエハの割れを検知することを特徴とする研削
加工方法。
【請求項３】薄板状ウエハの表面と裏面の少なくとも
一方の面に、砥石を回転させて研削加工を行う際に、前
記ウエハの外周側面に接し前記ウエハを保持してウエハ
を回転させるウエハ保持手段を導電接触子となし、かか
る導電接触子を介して得られる前記ウエハの抵抗値変化
に基づきウエハの割れを検知することを特徴とする研削
加工方法。
【請求項４】砥石面に対向して配設され、砥石面で外
周に切欠部を有するウエハの面を加工する研削盤におい
て、ウエハの切欠部に係合するウエハ回転手段を有し、前記
ウエハに接触する導電接触子と、この導電接触子により
測定される前記ウエハの抵抗値変化に基づきウエハの割
れを検知する判別手段を有することを特徴とする研削
盤。
【請求項５】ウエハの外周側面に接し前記ウエハを保
持してウエハを回転させるウエハ保持手段とウエハの表
面と裏面の少なくとも一方の面に接触させて研削加工を
行う砥石とを有してなる研削盤において、前記保持手段
を導電接触子となし、この導電接触子により測定される
前記ウエハの抵抗値変化に基づきウエハの割れを検知す
る判別手段を有することを特徴とする研削盤。