JPH11192411A

JPH11192411A - 吸着式排ガス処理装置

Info

Publication number: JPH11192411A
Application number: JP10000673A
Authority: JP
Inventors: Keita Suzuki; 啓太鈴木
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-01-06
Filing date: 1998-01-06
Publication date: 1999-07-21

Abstract

(57)【要約】【課題】除害剤の交換時期を出力する吸着式排ガス処
理装置を提供する。【解決手段】吸着式排ガス処理装置２５は、排ガス中
の有害成分を吸着し、かつ有害成分の所定量を単位量当
たり吸着した時点で所定の色に変色する除害剤を充填層
として収容した除害筒１８を備えている。除害筒１８
は、充填層を観察する覗き窓としてビューポート２０
と、ビューポート２０の外側に設けられ、除害剤の色変
化を検出するセンサ２６と、センサ２６からの検出信号
を得て、除害剤を交換すべき旨を出力する出力装置２９
とを備えている。これにより、ビューポート２０を介し
て除害剤の変色が検出されるまで排ガスを通して除害処
理できる。従って、破過状態の除害剤を使用し続けて除
害されない排ガスを送出することや、除害剤が除害能力
を充分に有していても交換することは、防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、排ガス中の有害成
分を吸着剤により吸着して除害する吸着式排ガス処理装
置に関し、更に詳しくは、従来の吸着式排ガス処理装置
に比べて使い勝手の良い吸着式排ガス処理装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工場では、ＣＶＤ装置
やＲＩＥ装置等の製造装置から排出された排ガス中の有
害成分を除害するために、種々の排ガス処理装置（除害
装置）が使われている。近年、環境を改善する気運の高
まりに伴い、環境ＩＳＯ規格や高圧ガス取締法が改訂さ
れ、排ガス処理装置は、従来の水希釈方式（水スクラバ
ー装置）から、乾式、燃焼式、更には、水希釈方式と熱
処理方式とを併用した方式の排ガス処理装置等の除害効
率の高い方式の排ガス処理装置に移行しつつある。特
に、今後、最新鋭の設備を備えた半導体装置の製造工場
では、除害効率の高い方式の排ガス処理装置が必然的に
使用されるようになると予想される。そして、除害効率
の高く、しかも比較的安価で取り扱いの容易な乾式の排
ガス処理装置として、除害剤として排ガス中の有害成分
を化学吸着する吸着剤を収容した吸着式排ガス処理装置
が注目されている。特に、有害成分を所定量吸着する
と、除害剤の色が変化して除害不能になったことを使用
者に知らせて除害剤の交換を促す方式の装置が、使い勝
手の良い吸着式排ガス処理装置として注目されている。
尚、本明細書で、除害剤が有害成分を所定量吸着して、
除害不能になることを除害剤が破過すると言い、その目
安として除害剤の色が変化する。

【０００３】以下、図６を参照して、従来の吸着式排ガ
ス処理装置の構成を説明する。図６は、ＣＶＤ装置の排
ガス系統に取り付けた排ガス処理装置の構成を示す概略
フローシートである。ＣＶＤ装置１０で使用したプロセ
スガスは、真空ポンプ１２により排気され、排ガス処理
装置１４に送入されて除害される。排ガス処理装置１４
から送出された除害排ガスは、通常、排ガス処理装置１
４の下流に設けられたブロワ１６により工場排気系統に
（図示せず）送入される。工場排気系統は、水希釈排ガ
ス処理方式の水スクラバー装置を備え、工場全体から工
場排気系統に排出された排ガスを纏めて最終的に水希釈
処理して、工場排水及びガスの大気中への放出を行う。

【０００４】図７（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、排ガ
ス処理装置１４の一構成例を示す正面図及び矢視Ｉ−Ｉ
から見た平面断面図である。排ガス処理装置１４は、排
ガス中の有害成分を吸着し、かつ有害成分の所定量を単
位量当たり吸着した時点で所定の色に変色する除害剤を
充填した充填層を収容した除害筒１８と、除害筒１８を
格納する筐体１９とを備えている。除害筒１８内の除害
剤は、除害筒１８に設けられたビューポート２０及び筐
体１９に設けられた窓２１を通して観察することができ
る。除害筒１８は、排ガスを送入する送入管２２Ａ及び
除害した排ガスを送出する送出管２２Ｂを有しており、
送入管２２Ａ及び送出管２２Ｂには、それぞれ、開閉弁
としてハンドバルブ２４Ａ及び２４Ｂが設けられてい
る。

【０００５】以下に、図８を参照して、除害筒１８の構
成を説明する。図８は、除害筒１８の構成を示す側面断
面図である。除害筒１８は、図８に示すように、筒状の
容器であって、底部に近い位置に設けられた分散板１８
ａにより、排ガス分散室１８ｂと、除害剤充填室１８ｃ
とに区画されている。分散板１８ａは、除害剤の粒子よ
り小さい径の多数の孔を備えた多孔板である。送入管２
２Ａに接続する送入ポート１８ｄは除害筒１８内に貫入
して分散板１８ａに下端開口を備えている。除害剤充填
室１８ｃには除害剤が充填されていて、除害剤充填室１
８ｃの上部に設けられたビューポート２０を介して除害
剤を観察でき、また、除害剤充填室１８ｃの上部には、
送出ポート１８ｅを介して除害剤充填室１８ｃに連通す
る送出管２２Ｂが設けられている。ＣＶＤ装置１０から
の排ガスは、除害筒１８の送入管２２Ａから分散室１８
ｂに導入され、次いで分散板１８ａを通って除害剤充填
室１８ｃに充填された除害剤層を通過し、送出管２２Ｂ
から排出される。排ガス中の有害成分は、排ガスが除害
剤層を通過する過程で、除害剤に吸着され、除害され
る。排ガスの除害処理は、ビューポート２０から観察し
て除害剤が変色するまで、即ち破過状態になるまで行わ
れる。尚、除害剤の残存除害能力は、導入された排ガス
量に反比例して低下する。ビューポート２０から観察し
て、除害剤が変色しているときには、除害剤層が破過状
態になったと判断して、ハンドバルブ２４Ａ、Ｂを閉に
して、筐体１９から除害筒１８を取り出し、未使用の除
害剤を収容した別の除害筒と交換する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の吸着
式排ガス処理装置では、オペレータが、ビューポートか
ら観察して認識した除害剤の色の変化に基づいて、個人
的な勘に頼り、除害剤層が破過状態に達しているか否か
を判断している。このため、以下の問題が生じていた。
第１には、除害剤層全体が破過しても、オペレータが、
これに気が付かずに排ガスを導入し続け、除害してない
有害成分を含む排ガスを排ガス処理装置から工場排気系
統に送出することがある。有害成分を含有した排ガス
は、工場排気系統に送出され、次いで水スクラバー装置
により希釈される結果、水スクラバー装置から有害成分
を溶解した希釈水が工場から流出したり、また、有害ガ
ス濃度の高い排ガスが大気中に放出されたりして、環境
を悪化させる虞がある。更には、排ガス処理装置の後段
に設けられたブロワーが、未除害の排ガス中の有害成分
により損傷することもある。第２には、第１とは逆に、
除害剤層の破過を恐れて、除害能力が充分に残存する除
害筒の交換を行い勝ちになることである。除害筒の交換
の際には、ＣＶＤ装置等の排ガスを流出する製造装置の
運転を停止する必要があるので、無用な除害筒の交換に
より製造装置の運転停止を招き、製造装置の生産性を低
下させることになる。また、除害筒にかかるコストが嵩
む。

【０００７】以上のような事情に照らして、本発明の目
的は、従来の吸着式排ガス処理装置に比べて使い勝手の
良い吸着式排ガス処理装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討の
結果、除害剤の色を客観的に検出するセンサを覗き窓の
外側に設けることを考え付き、本発明を完成するに至っ
た。

【０００９】上記目的を達成するために、本発明に係る
排ガス処理装置は、排ガス中の有害成分を吸着し、かつ
有害成分の所定量を単位量当たり吸着した時点で所定の
色に変色する除害剤の充填層と、充填層を観察する覗き
窓とを備え、覗き窓を介して除害剤の変色を認識するま
で充填層に排ガスを通して除害処理する排ガス処理装置
において、覗き窓の外側に設けられ、除害剤の色変化を
検出するセンサと、センサからの検出信号を得て、除害
剤を交換すべき旨を出力する出力装置とを備えているこ
とを特徴としている。

【００１０】本発明で使用するセンサは、除害剤の色変
化を検出できる限りその形式には制約はなく、例えば既
知の構成の市販のセンサを使用できる。本発明により、
除害剤の破過状態を定量的に検知し、オペレータに除害
剤の交換を指示するので、従来のように、除害剤層の破
過を見逃したり、除害筒の無用の交換を行ったりするこ
とが防止される。

【００１１】本発明の好適な実施態様としては、センサ
が除害剤の色を検出して色データとして出力し、出力装
置が、基準色の色データを記憶する記憶装置を備え、セ
ンサから得た色データと、記憶している基準色の色デー
タとを比較して、合致している時には除害剤を交換すべ
き旨を判断し、その旨を出力するようにされている。こ
れにより、本実施態様は、種々の基準色を記憶装置に記
憶させることにより、種々の色変化を行う除害剤に対し
て対応することができる。

【００１２】また、好適には、覗き窓は充填層の排ガス
流れ方向に沿って所定の長さにわたり設けられ、センサ
は覗き窓に沿って外側に複数個設けられている。どのセ
ンサが検出したかを定期的に又は不定期で点検すること
により、除害剤層のどの位置まで破過前線が進んでいる
かを検知することができる。出力装置は、出力手段とし
て、例えば警報を発する警報器、又は除害剤を交換すべ
き旨を表示する表示画面を備えている。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより
詳細に説明する。実施形態例１本実施形態例は、本発明に係る吸着式排ガス処理装置の
実施形態の一例である。図１は本実施形態例の吸着式排
ガス処理装置の構成を示す概略フローシートである。図
１では、従来と同じものには同じ符号を付してその説明
を省略する。本実施形態例の吸着式排ガス処理装置２５
は、従来の吸着式排ガス処理装置１４の構成に加えて、
筐体１９の覗き窓２１の外側に設けられ、除害剤の色変
化を検出するセンサ２６と、センサ２６からの検出信号
を得て、除害剤を交換すべき旨を出力する出力装置２９
とを備えている。本実施形態例の除害筒１８は、図８に
示す除害筒１８と同じ構成の例えば大同ほくさん社製の
商品名「ＶＣＨ３５０Ｓ」の市販品であり、排ガス中の
有害成分、例えばＷＦ₆やＳｉＨ₄を吸着、除害する。
以上の構成により、排ガス処理装置２５は、従来の排ガ
ス処理装置１４に比べ、除害剤の色変化を定量的に検出
し、除害筒の適切な交換時期をオペレータに知らせるこ
とができる。

【００１４】図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、ビュ
ーポート２０に取り付けたセンサ２６の取り付け状態を
示す正面図及び側面図である。センサ２６は、キーエン
ス社製の商品名「ＰＩ−Ｃ４０」のセンサであって、専
用の金具２７を介してビューポート２０の正面に取り付
けられており、除害剤の色変化を検出して色データとし
て出力装置２９に出力する。出力装置２９は、センサ２
６からの信号を受けるコントローラ２８と、コントロー
ラ２８からの出力信号を受けて警報（アラーム）を発す
る警報機３０及び除害剤を除去すべき旨を表示する表示
器３２とから構成される（図１参照）。コントローラ２
８は、基準色の色データを記憶する記憶装置、センサ２
６から受けた出力信号を増幅するアンプ、中央処理装置
（ＣＰＵ）、電源等（何れも図示せず）からなり、セン
サ２６から得た色データと、記憶している基準色の色デ
ータとを比較して、合致している時には除害剤を交換す
べきと判断し、その旨を警報機３０及び表示器３２に出
力するようにされている。

【００１５】図３は、排ガス処理量と、ビューポート２
０から観察される除害剤の色との関係を示すグラフ図で
ある。排ガスを除害剤層に導入して処理するにつれて、
除害剤層は下方から徐々に破過して色が変化する。除害
剤の収容されている除害剤充填室１８ｃ（図８参照）の
下端高さｈ₁（図１参照）、即ち分散板１８ａの位置
（図８参照）からビューポート２０の下端高さｈ₂まで
の除害処理工程、すなわち図３で、Ｐ₁点からＰ₂点ま
での除害処理工程では、処理排ガス量が増えても、セン
サ２６は色の変化を検出することはない。この除害処理
工程では、ビューポート２０から観察した除害剤の色
は、破過前状態の色Ｃ₁である。本実施形態例では、色
Ｃ₁は赤紫色である。

【００１６】排ガス処理が進行して、処理排ガス量が増
えて行くと、除害剤層の破過前線、即ち色変化前線が上
昇する。色変化前線が高さｈ₂にまで達すると、ビュー
ポート２０から見た除害剤は変色し始め、色Ｃ₂を経
て、処理排ガス量がＰ₃点に達した時点で、ビューポー
ト２０上端の高さｈ₃まで除害剤層の破過前線が上昇
し、所定の色Ｃ₃に変色する。色Ｃ₃は除害剤が破過し
たことを示す色であり、その後は処理排ガス量が増加し
ても色は不変である。本実施形態例では、色Ｃ₃はやや
暗い赤茶色である。尚、図３で、色Ｃ₂に到達したこと
はビューポート２０の中間高さ位置の除害剤が変色した
ことを示す。

【００１７】排ガス処理装置２５を使用し、ビューポー
ト２０から観察した除害剤が所定の色に変色すると、セ
ンサ２６がこれを検出して、その旨をコントローラ２８
に送信し、警報機３０のアラームや表示器３２の表示画
面３４の表示により、オペレータは、除害筒１８の交換
すべきことを認識する。そしてオペレータは、ハンドバ
ルブ２４Ａ、Ｂを閉にして、除害筒１８を未使用の除害
剤を収容した別の除害筒に交換する。

【００１８】これにより、従来のように、破過状態の除
害剤を使用し続けて未除害の排ガスを排ガス処理装置２
５から排出するようなことは生じない。また、充分な除
害能力を有する除害剤を誤って交換をすることも防止さ
れる。また、コントローラ２８が、ＣＶＤ装置１０に信
号を伝達する通信回路（図示せず）を備え、コントロー
ラ２８が、除害剤を交換すべきと判断するとＣＶＤ装置
１０にインターロックをかけて運転不可能な状態にする
ように構成してもよい。

【００１９】実施形態例２本実施形態例は、ＷＦ₆とＳｉＨ₄との混合ガス（以
下、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガスと言う）を成膜用ガスとして
Ｗ（タングステン）膜を成膜するＣＶＤ装置（以下、Ｗ
−ＣＶＤ装置と言う）から排出される排ガスの処理に本
発明に係る吸着式排ガス処理装置を適用した実施形態例
である。図４は、本実施形態例の吸着式排ガス処理装置
の構成を示す概略フローシートである。本実施形態例で
は、実施形態例１と同じものには同じ符号を付してその
説明を省略する。

【００２０】本実施形態例の排ガス処理装置３６は、実
施形態例１の排ガス処理装置２５と同じ構成であって、
ＷＦ₆ガス用の除害剤３５を充填した充填層を収容し、
ビューポート２０を有する除害筒３７と、除害剤３５の
色変化を検出するセンサ３９とを備え、Ｗ−ＣＶＤ装置
４１のガス系統３８の一部として、真空ポンプ１２の下
流に設けられている。ガス系統３８は、Ｗ−ＣＶＤ装置
４１に接続されたマスフローコントローラ（以下、ＭＦ
Ｃと言う）４０を有するプロセスガス供給系統４３と、
送出管２２Ｂと真空ポンプ１２との間に設けられ、２方
向の排気系統を相互に切り換える切換機４２と、切換機
４２の下流側に接続された２方向の排気系統、即ちＷＦ
₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４及びＮＦ₃ガス排気系統
４６とから構成されている。排ガス処理装置３６は、Ｗ
Ｆ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４に設けれていて、除害
筒３７は、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４に着脱自
在であり、大同ほくさん社製の商品名「ＶＣＨ３５０
Ｓ」である。センサ３９は、キーエンス社製の商品名
「ＰＩ−Ｃ４０」である。プロセスガス供給系統４３の
分岐管は、ＭＦＣ４０から分岐して切換機４２に接続し
ており、また、ＮＦ₃ガス供給系統４６は、ＮＦ₃ガス
処理装置４７と、その下流側に接続された工場排気用の
ブロワ４８とを備えている。

【００２１】ＭＦＣ４０のＮＦ₃ガス供給バルブ（図示
せず）をＯＦＦにすると、切換機４２により排気方向が
自動的に切り換わるようにされており、切換機４２は、
常時は、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４側に開であ
って、真空ポンプ１２とＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統
４４とを連通させている。ＷＦ₆／ＳｉＨ₄排ガスを除
害処理するには、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４側
に開の状態で、排ガス処理装置３６を運転する。

【００２２】ＷＦ₆／ＳｉＨ₄排ガスの処理量の増大に
応じて除害剤３５の除害能力が低下し、それに伴い、実
施形態例１と同様、ビューポート２０から観察した除害
剤が所定の色に変色する。本実施形態例では、所定の色
は茶色である。センサ３９は、この変色を検出してその
旨をコントローラ２８に送信し、除害筒３７の交換を行
うように警報機３０のアラーム及び表示器３２による表
示でオペレータに知らせる。

【００２３】センサ３９は、ビューポート２０位置の除
害剤の除害能力を検出しており、検出した後、暫くは、
ビューポート２０よりも上方の除害剤層が除害能力を有
する。従って、ビューポート２０の位置を適切に設定す
ることにより、警報機３０及び表示器３２により除害筒
３７を交換すべき旨の指示があったとしても、オペレー
タは、ビューポート２０よりも上方の除害剤層の除害能
力を考慮に入れて、直ちにＷ−ＣＶＤ装置４１を停止す
る必要はなく、Ｗ−ＣＶＤ装置４１での成膜処理を終え
てから除害筒３７を交換すれば良くなる。逆に言えば、
直ちにＷ−ＣＶＤ装置４１を停止する必要がないよう
に、ビューポート２０の位置を設定することにより、Ｗ
−ＣＶＤ装置４１での成膜処理を終えてから除害筒３７
を交換することができる。また、Ｗ−ＣＶＤ装置４１が
警報機３０や表示器３２から離れていて、Ｗ−ＣＶＤ装
置４１のオペレータがアラームや表示を確認できない場
合、コントローラ２８が、センサ３９から検出した旨の
信号を受けてＷ−ＣＶＤ装置４１の表示出力装置（図示
せず）にその旨を表示し、Ｗ−ＣＶＤ装置４１のオペレ
ータにその旨を認識させるようにしても良い。

【００２４】また、Ｗ−ＣＶＤ装置４１のＷＦ₆ガス導
入量が所定量に達すると、Ｗ−ＣＶＤ装置４１のプロセ
スチャンバ壁等（図示せず）にＷ膜が堆積するので、堆
積したＷ膜を除去する必要が生じる。そこで、クリーニ
ングガスとしてＮＦ₃ガスをＷ−ＣＶＤ装置４１のプロ
セスチャンバ内に導入し、チャンバに堆積したＷ膜をを
取り除いている。ＮＦ₃ガス使用時には、ＭＦＣ４０の
ＮＦ₃ガス供給バルブ（図示せず）をＯＮにすることに
よって、切換機４２に信号が伝達され、排気方向が自動
的にＮＦ₃ガス排気系統４６側に切り換わる。その後、
ＮＦ₃排ガスはＮＦ₃ガス処理装置４７により除害さ
れ、更に、ブロワ４８で工場排気系統に排出される。

【００２５】本実施形態例により、Ｗ−ＣＶＤ装置４１
から排出された排ガスは、適切にしかも自動的に処理さ
れるので、有害成分を含有した排ガスが下流の工場排気
系統に送出されることもなく、また、高圧ガス取締法に
違反することもない。また、除害筒３７の交換時期を誤
ることもない。

【００２６】実施形態例２の改変例本改変例は、実施形態例２の改変例であって、図５は、
本改変例の排ガス処理装置５０の構成を示す正面図であ
る。排ガス処理装置５０は、図５に示すように、除害剤
層の高さ方向、即ち排ガスの流れ方向に延在するビュー
ポート５３を除害筒５２に備え、更に、ビューポート５
３に沿って互いに等間隔に設けられたセンサ５４Ａ〜Ｄ
と、センサ５４Ａ〜Ｄが色変化を検出した旨を示す表示
器５６とを備えている。センサ５４Ａ〜Ｄは、それぞ
れ、ビューポート５３の高、中高、中低、及び低の位置
に設けられ、センサ３９と同様、除害剤３５が所定色に
変色したことを検出してコントローラ２８に信号を伝達
するようにされている。表示器５６は、ＬＥＤで構成さ
れた表示画面５８を備え、コントローラ２８に接続され
ている。コントローラ２８は、センサ５４Ａ〜Ｄからの
検出信号を受け、表示画面５８の各センサにそれぞれ対
応する表示灯６０Ａ〜Ｄを点灯させる旨の信号を送信す
るようになっている。また、コントローラ２８は、最上
位置のセンサ５４Ａからの検出信号を受けると、警報機
によりアラームを発する旨の信号を送信する。

【００２７】本改変例により、センサ５４Ａ〜Ｄのうち
どのセンサが検出したかを定期的に、又は随時点検する
ことにより、点検時の除害剤層の残存高さを検出するこ
とができる。尚、実施形態例１と同様、センサ５４Ａが
検出すると、コントローラ２８がＷ−ＣＶＤ装置４１に
インターロックをかけて運転不可能な状態にしたりする
構成であってもよい。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、覗き窓の外側に設けら
れ、除害剤の色変化を検出するセンサと、センサからの
検出信号を得て、除害剤を交換すべき旨を出力する出力
装置とを吸着式排ガス処理装置に備えることにより、除
害剤の色変化がセンサにより客観的、定量的に検出さ
れ、交換すべきときにその旨をオペレータに認識させる
ことができる。従って、除害剤を充填した除害筒の交換
時期を適切に認識できるので、未除害処理の排ガスの意
図しない送出を防止して、環境汚染を未然に防ぐことが
できる。また、誤って又は必要以上の用心から、除害能
力が十分に残存する除害剤を交換することもないので、
除害剤を交換する際の装置の無用な停止を防止し、しか
も、除害剤の浪費を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１の吸着式排ガス処理装置の構成を
示す概略フローシートである。

【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、実施形態
例１で、ビューポートに取り付けたセンサの取り付け状
態を示す正面図及び側面図である。

【図３】実施形態例１で、排ガス処理量とビューポート
から観察される除害剤の色変化との関係を示すグラフ図
である。

【図４】実施形態例２の吸着式排ガス処理装置の構成を
示す概略フローシートである。

【図５】実施形態例２の改変例の排ガス処理装置の構成
を示す正面図である。

【図６】ＣＶＤ装置の排ガス系統に取り付けた従来の排
ガス処理装置の構成を示す概略フローシートである。

【図７】図７（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、従来の排
ガス処理装置の一構成例を示す正面図及び矢視Ｉ−Ｉか
ら見た平面断面図である。

【図８】除害筒の構成を示す側面断面図である。

【符号の説明】

１０……ＣＶＤ装置、１２……真空ポンプ、１４……吸
着式排ガス処理装置、１６……ブロワ、１８……除害
筒、１８ａ……分散板、１８ｂ……排ガス分散室、１８
ｃ……除害剤充填室、１８ｄ……送入ポート、１８ｅ…
…送出ポート、１９……筐体、２０……ビューポート、
２１……窓、２２Ａ……送入管、２２Ｂ……送出管、２
３……ゾーン、２４Ａ、Ｂ……ハンドバルブ、２５……
吸着式排ガス処理装置、２６……センサ、２７……金
具、２８……コントローラ、２９……出力装置、３０…
…警報機、３２……表示器、３４……表示画面、３５…
…除害剤、３６……吸着式排ガス処理装置、３７……除
害筒、３８……ガスフロー系統、３９……センサ、４０
……ＭＦＣ、４１……Ｗ−ＣＶＤ装置、４２……切換
機、４３……プロセスガス供給系統、４４……ＷＦ₆／
ＳｉＨ₄ガス排気系統、４６……ＮＦ₃ガス排気系統、
４７……ＮＦ₃ガス処理装置、４８……ブロワ、５０…
…排ガス処理装置、５２……除害筒、５３……ビューポ
ート、５４Ａ〜Ｄ……センサ、５６……表示器、５８…
…表示画面、６０Ａ〜Ｄ……表示灯。

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【手続補正書】

【提出日】平成１０年６月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより
詳細に説明する。実施形態例１本実施形態例は、本発明に係る吸着式排ガス処理装置の
実施形態の一例である。図１は本実施形態例の吸着式排
ガス処理装置の構成を示す概略フローシートである。図
１では、従来と同じものには同じ符号を付してその説明
を省略する。本実施形態例の吸着式排ガス処理装置２５
は、従来の吸着式排ガス処理装置１４の構成に加えて、
筐体１９の覗き窓２１の外側に設けられ、除害剤の色変
化を検出するセンサ２６と、センサ２６からの検出信号
を得て、除害剤を交換すべき旨を出力する出力装置２９
とを備えている。本実施形態例の除害筒１８は、図８に
示す除害筒１８と同じ構成の例えば大同ほくさん社製の
商品名「ＶＣＭ３５０Ｓ」の市販品であり、排ガス中の
有害成分、例えばＷＦ₆やＳｉＨ₄を吸着、除害する。
以上の構成により、排ガス処理装置２５は、従来の排ガ
ス処理装置１４に比べ、除害剤の色変化を定量的に検出
し、除害筒の適切な交換時期をオペレータに知らせるこ
とができる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】本実施形態例の排ガス処理装置３６は、実
施形態例１の排ガス処理装置２５と同じ構成であって、
ＷＦ₆ガス用の除害剤３５を充填した充填層を収容し、
ビューポート２０を有する除害筒３７と、除害剤３５の
色変化を検出するセンサ３９とを備え、Ｗ−ＣＶＤ装置
４１のガス系統３８の一部として、真空ポンプ１２の下
流に設けられている。ガス系統３８は、Ｗ−ＣＶＤ装置
４１に接続されたプロセスガスのマスフローコントロー
ラ（以下、ＭＦＣと言う）４０を有するプロセスガス供
給系統４３と、ＮＦ₃ガスのＭＦＣ４０’を有するＮＦ
₃ガス供給系統４３’と、送出管２２Ｂ及び真空ポンプ
１２の間に設けられ、２方向の排気系統を相互に切り換
える切換機４２と、切換機４２の下流側に接続された２
方向の排気系統、即ちＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４
４及びＮＦ₃ガス排気系統４６とから構成されている。
排ガス処理装置３６は、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統
４４に設けれていて、除害筒３７は、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄
ガス排気系統４４に着脱自在であり、大同ほくさん社製
の商品名「ＶＣＭ３５０Ｓ」である。センサ３９は、キ
ーエンス社製の商品名「ＰＩ−Ｃ４０」である。ＮＦ₃
ガス供給系統４３’のガス供給のＯＮ、ＯＦＦを伝達す
る信号線は、ＭＦＣ４０’から分岐して切換機４２に接
続しており、また、ＮＦ₃ガス排気系統４６は、ＮＦ₃
ガス処理装置４７と、その下流側に接続された工場排気
用のブロワ４８とを備えている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２１】ＭＦＣ４０’のＮＦ₃ガス供給信号をＯＦ
Ｆにすると、切換機４２により排気方向が自動的に切り
換わるようにされており、切換機４２は、常時は、ＷＦ
₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４側に開であって、真空ポ
ンプ１２とＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４４とを連通
させている。すなわち、ＮＦ₃ガス供給信号がＯＮの
時、ＭＦＣ４０’により切換機４２がＮＦ₃ガス排気系
統４６の側に切り換えられ、ＮＦ₃ガスの排気ガスは、
この時のみＮＦ₃ガス排気系統４６から排気される。排
気されるとき、真空ポンプ１２の排気側とＮＦ₃ガス排
気系統４６とは連通している。ＷＦ₆／ＳｉＨ₄排ガス
を除害処理するには、ＷＦ₆／ＳｉＨ₄ガス排気系統４
４側に開の状態で、排ガス処理装置３６を運転する。
尚、ＭＦＣ４０及び４０’が同時にＯＮ、すなわち同時
に開になることがないように、Ｗ−ＣＶＤ装置４１によ
りインターロックがかけられている。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】また、Ｗ−ＣＶＤ装置４１のＷＦ₆ガス導
入量が所定量に達すると、Ｗ−ＣＶＤ装置４１のプロセ
スチャンバ壁等（図示せず）にＷ膜が堆積するので、堆
積したＷ膜を除去する必要が生じる。そこで、クリーニ
ングガスとしてＮＦ₃ガスをＷ−ＣＶＤ装置４１のプロ
セスチャンバ内に導入し、チャンバに堆積したＷ膜をを
取り除いている。ＮＦ₃ガス使用時には、ＭＦＣ４０’
のＮＦ₃ガス供給バルブ（図示せず）をＯＮにすること
によって、切換機４２に信号が伝達され、排気方向が自
動的にＮＦ₃ガス排気系統４６側に切り換わる。その
後、ＮＦ₃排ガスはＮＦ₃ガス処理装置４７により除害
され、更に、ブロワ４８で工場排気系統に排出される。

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】排ガス中の有害成分を吸着し、かつ有害
成分の所定量を単位量当たり吸着した時点で所定の色に
変色する除害剤の充填層と、充填層を観察する覗き窓と
を備え、覗き窓を介して除害剤の変色を認識するまで充
填層に排ガスを通して除害処理する排ガス処理装置にお
いて、覗き窓の外側に設けられ、除害剤の色変化を検出するセ
ンサと、センサからの検出信号を得て、除害剤を交換すべき旨を
出力する出力装置とを備えていることを特徴とする吸着
式排ガス処理装置。
【請求項２】センサが除害剤の色を検出して色データ
として出力し、出力装置が、基準色の色データを記憶する記憶装置を備
え、センサから得た色データと、記憶している基準色の
色データとを比較して、合致している時には除害剤を交
換すべき旨を判断し、その旨を出力することを特徴とす
る請求項１に記載の吸着式排ガス処理装置。
【請求項３】覗き窓は充填層の排ガス流れ方向に沿っ
て所定の長さにわたり設けられ、センサは覗き窓に沿っ
て外側に複数個設けられていることを特徴とする請求項
１又は２に記載の吸着式排ガス処理装置。
【請求項４】出力装置は、出力手段として、警報を発
する警報器、又は除害剤を交換すべき旨を表示する表示
画面を備えていることを特徴とする請求項１から３のう
ち何れか１項に記載の吸着式排ガス処理装置。