JPH11185616A - Manufacture of phosphor pattern - Google Patents

Manufacture of phosphor pattern

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Publication number
JPH11185616A
JPH11185616A JP35591197A JP35591197A JPH11185616A JP H11185616 A JPH11185616 A JP H11185616A JP 35591197 A JP35591197 A JP 35591197A JP 35591197 A JP35591197 A JP 35591197A JP H11185616 A JPH11185616 A JP H11185616A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor
acid
color
substrate
pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP35591197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoki Kimura
直紀 木村
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
Takeshi Nojiri
剛 野尻
Yoshiyuki Horibe
芳幸 堀部
Kazuya Sato
和也 佐藤
Mariko Shimamura
真理子 島村
Seiji Tai
誠司 田井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP35591197A priority Critical patent/JPH11185616A/en
Publication of JPH11185616A publication Critical patent/JPH11185616A/en
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  • Luminescent Compositions (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide phosphor patterns having no chrominance change even if the phosphors buried in cells immediately before are mixed in the recovered phosphors with a good yield by forming the phosphor patterns in red for a first color, in blue for a second color, and in green for, a third color in sequence. SOLUTION: A phosphor is not limited in particular, and the phosphor mainly made of a normal metal oxide is used, e.g. Y2 O2 S is used for the red luminous phosphor, ZnS: Cu for the blue luminous phosphor, and ZnS: Ag for the green luminous phosphor. When the other luminous phosphor is mixed into each luminous phosphor, the upper limit of the phosphor mixed quantity causing no chrominance change is the red or blue phosphor at 10 wt.% or below against the green phosphor, or the total of the red and green phosphors at 5 wt.% or below. When the red phosphor is kept at 10 wt.% or below against the blue phosphor, no chrominance change occurs.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体パターンの
製造法、蛍光体パターン、CRTディスプレイ、電界放
出型ディスプレイ、蛍光表示ディスプレイ、電波発光デ
ィスプレイ及びプラズマディスプレイパネル用背面板に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor pattern, a phosphor pattern, a CRT display, a field emission display, a fluorescent display, a radio emission display, and a back plate for a plasma display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】以下、本発明をプラズマディスプレイパ
ネルを一例にとり説明する。
2. Description of the Related Art The present invention will be described below by taking a plasma display panel as an example.

【0003】従来より、平板ディスプレイの1つとし
て、プラズマ放電により発光する蛍光体を設けることに
よって多色表示を可能にしたプラズマディスプレイパネ
ル(以下PDPと記す)が知られている。
Conventionally, as one of the flat panel displays, a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) which is capable of performing multicolor display by providing a phosphor which emits light by plasma discharge is known.

【0004】PDPは、ガラスからなる平板状の前面板
と背面板とが互いに平行にかつ対向して配設され、両者
はその間に設けられたバリアリブにより一定の間隔に保
持されており、前面板、背面板及びバリアリブに囲まれ
た空間で放電する構造になっている。
In a PDP, a flat front plate and a rear plate made of glass are arranged in parallel and opposed to each other, and both are held at a fixed interval by barrier ribs provided therebetween. , And discharges in a space surrounded by the back plate and the barrier ribs.

【0005】このような空間には、表示のための蛍光体
が塗布され、放電によって封入ガスから発生する紫外線
によって蛍光体が発光させられ、この光を観察者が視認
できるようになっている。
[0005] In such a space, a phosphor for display is applied, and the phosphor is caused to emit light by ultraviolet rays generated from the sealed gas by discharge, so that the light can be visually recognized by an observer.

【0006】従来、この蛍光体を設ける方法としては、
各色蛍光体を分散させたスラリー液若しくはペーストを
スクリーン印刷等の印刷方法によって、塗布する方法が
提案されており、特開平1−115027号公報、特開
平1−124929号公報、特開平1−124930号
公報、特開平2−155142号公報等に開示されてい
る。
Conventionally, as a method of providing this phosphor,
A method of applying a slurry liquid or paste in which phosphors of each color are dispersed by a printing method such as screen printing has been proposed, and is disclosed in JP-A-1-115027, JP-A-1-124929, and JP-A-1-124930. And JP-A-2-155142.

【0007】しかし、上記の蛍光体分散スラリー液は液
状であるため、蛍光体の沈殿等による分散不良が生じや
すく、またスラリー液に液状の感光性レジストを用いた
場合には、暗反応の促進等により保存安定性が乏しくな
る等の欠点を有する。さらにスクリーン印刷等の印刷方
法は印刷精度に劣るため、将来的なPDPの大画面化へ
の対応は困難である等の問題がある。
However, since the above-mentioned phosphor-dispersed slurry liquid is in a liquid state, poor dispersion due to precipitation of the phosphor or the like is apt to occur, and when a liquid photosensitive resist is used as the slurry liquid, the dark reaction is accelerated. It has disadvantages such as poor storage stability. Furthermore, since printing methods such as screen printing are inferior in printing accuracy, there is a problem that it is difficult to cope with a larger PDP in the future.

【0008】これらの問題点の解決には、蛍光体を含有
させた感光性エレメント(感光性フィルムともいう)を
用いる方法が提案されている(特開平6−267421
号公報及び特開平6−273925号公報)。
In order to solve these problems, a method using a photosensitive element containing a phosphor (also referred to as a photosensitive film) has been proposed (JP-A-6-267421).
And JP-A-6-273925).

【0009】液状のレジストを用いる方法とは、蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物を構成する各成分を、溶解
又は分散可能な溶剤に、溶解又は混合させることによ
り、均一に分散した溶液として前記PDP用基板に直接
塗布し、乾燥し、蛍光体パターンを形成するものであ
る。
[0009] The method using a liquid resist means that the components constituting the photosensitive resin composition containing the phosphor are dissolved or mixed in a solvent that can be dissolved or dispersed to form a uniformly dispersed solution. It is applied directly to the PDP substrate and dried to form a phosphor pattern.

【0010】また、感光性エレメントを用いる方法と
は、蛍光体を含有する感光性樹脂層と支持体フィルムよ
りなる感光性エレメントの蛍光体を含有する感光性樹脂
層を、加熱圧着(ラミネート)により前記PDP用基板
の空間に埋め込み、次に、ネガフィルムを用いて、写真
法により紫外線等の活性光で像的に露光し、その後、ア
ルカリ水溶液等の現像液で、未露光部分を除去し、さら
に、焼成により露光部分の蛍光体を含有する感光性樹脂
層の不必要な有機成分を取り除いて、必要な部分のみに
蛍光体パターンを形成するものである。
[0010] The method using a photosensitive element means that a photosensitive resin layer containing a phosphor of a photosensitive element comprising a photosensitive resin layer containing a phosphor and a support film is heated and pressed (laminated). Embedding in the space of the PDP substrate, then, using a negative film, imagewise exposing with actinic light such as ultraviolet by photographic method, and then removing the unexposed portion with a developing solution such as an alkaline aqueous solution, Further, unnecessary organic components of the photosensitive resin layer containing the phosphor in the exposed portion are removed by baking, and a phosphor pattern is formed only in a necessary portion.

【0011】従って、前記PDP用基板の空間に蛍光体
パターンを形成する際には、蛍光体の分散性を確認する
必要はなく、また、蛍光体分散スラリー液若しくはペー
ストに比べて保存安定性に優れている。さらに写真法を
用いるため、精度良く蛍光体パターンを形成することが
できる。
Therefore, when forming the phosphor pattern in the space of the PDP substrate, it is not necessary to confirm the dispersibility of the phosphor, and the storage stability is lower than that of the phosphor dispersion slurry or paste. Are better. Furthermore, since a photographic method is used, a phosphor pattern can be formed with high accuracy.

【0012】しかしながら、従来の方法では、蛍光体を
回収して再利用する場合には、蛍光体の価格を考慮に入
れるため、第一色目に青、第二色目に赤、第三色目に緑
の蛍光体パターンを順に形成していた。しかし、これら
の蛍光体を再利用するために回収すると、直前にセル内
に埋め込んだ蛍光体が次に埋め込んだ蛍光体に混入する
ことにより色差の変化を生じていた。
However, in the conventional method, when the phosphor is collected and reused, the first color is blue, the second color is red, and the third color is green, in consideration of the price of the phosphor. Were sequentially formed. However, when these phosphors are collected for reuse, the color difference changes because the phosphor embedded in the cell immediately before is mixed with the phosphor embedded next.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、蛍光
体を回収して再利用する場合に、回収した蛍光体中に直
前にセル内に埋め込んだ蛍光体が混入しても蛍光体の色
差変化のない蛍光体パターンを歩留まりよく製造できる
蛍光体パターンの製造法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for collecting and reusing a phosphor, even if a phosphor embedded in a cell immediately before is mixed into the collected phosphor. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a phosphor pattern that can produce a phosphor pattern having no color difference change with a high yield.

【0014】本発明の他の目的は、色差変化のない蛍光
体パターンを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a phosphor pattern having no color difference change.

【0015】本発明の他の目的は、色差変化のない蛍光
体パターンを備えたCRTディスプレイ、電界放出型デ
ィスプレイ、蛍光表示ディスプレイ、電波発光ディスプ
レイ及びプラズマディスプレイパネル用背面板を提供す
ることにある。
Another object of the present invention is to provide a CRT display, a field emission display, a fluorescent display, a radio wave display and a back panel for a plasma display panel having a phosphor pattern having no color difference change.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明は、色の異なる
(A)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物にフォトリソ
グラフィー法を一色毎に繰り返して多色の蛍光体パター
ンを基板上に形成する蛍光体パターンの製造法におい
て、第一色目に赤、第二色目に青、第三色目に緑の蛍光
体パターンを順に形成することを特徴とする蛍光体パタ
ーンの製造法に関する。
According to the present invention, a multicolor phosphor pattern is formed on a substrate by repeating a photolithography method for each color on a photosensitive resin composition containing a phosphor (A) having a different color. The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor pattern, comprising sequentially forming a red phosphor pattern for a first color, a blue color for a second color, and a green phosphor pattern for a third color.

【0017】本発明はまた、前記蛍光体パターンの製造
法により製造された蛍光体パターンに関する。
The present invention also relates to a phosphor pattern manufactured by the method for manufacturing a phosphor pattern.

【0018】本発明はまた、CRT用基板、電解放出型
ディスプレイ用基板、蛍光表示パネル用基板、電波発光
ディスプレイ用基板又はプラズマディスプレイパネル用
基板上に上記の蛍光体パターンを備えてなるCRTディ
スプレイ、電界放出型ディスプレイ、蛍光表示ディスプ
レイ、電波発光ディスプレイ又はプラズマディスプレイ
パネル用背面板に関する。
The present invention also provides a CRT display comprising the above-described phosphor pattern on a CRT substrate, a field emission display substrate, a fluorescent display panel substrate, a radio wave emitting display substrate or a plasma display panel substrate. The present invention relates to a back plate for a field emission display, a fluorescent display, a radio-emitting display, or a plasma display panel.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明の蛍光体パターンは、色の
異なる(A)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物にフォ
トリソグラフィー法を一色毎に繰り返して多色の蛍光体
パターンを基板上に形成する蛍光体パターンの製造法に
おいて、第一色目に赤、第二色目に青、第三色目に緑の
蛍光体パターンを順に形成することにより製造される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The phosphor pattern of the present invention is obtained by repeating a photolithography method for each color on a photosensitive resin composition containing a phosphor (A) having a different color to form a multicolor phosphor pattern on a substrate. In the method of manufacturing a phosphor pattern to be formed in the first color, the phosphor pattern is formed by sequentially forming a red phosphor pattern in a first color, a blue color in a second color, and a green phosphor pattern in a third color.

【0020】本発明において、蛍光体パターンは、有機
高分子結合剤、ビニル基、ヒドロキシル基、カルボキシ
ル基、エポキシ基、アミノ基等の官能基を有する硬化
剤、有機溶剤などの有機物及び蛍光体を必須成分として
含むものである。
In the present invention, the phosphor pattern includes an organic polymer binder, a curing agent having a functional group such as a vinyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an epoxy group, or an amino group, an organic substance such as an organic solvent, and a phosphor. It is included as an essential component.

【0021】この蛍光体パターンは、上記成分を含んだ
ペーストをスクリーン印刷法、グラビアコート法等によ
りプラズマディスプレイ用基板上にパターン状に塗布
し、必要に応じ加熱して、乾燥、硬化し形成できる。
This phosphor pattern can be formed by applying a paste containing the above-described components in a pattern on a substrate for a plasma display by a screen printing method, a gravure coating method, or the like, heating and drying and curing as necessary. .

【0022】また、高精細なパターン形状を得る点か
ら、上記成分を含んだペーストを、フォトレジストに蛍
光体を添加した感光性ペーストとし、これに、フォトリ
ソグラフィー法を適用して蛍光体パターンを形成するこ
とができる。
From the viewpoint of obtaining a high-definition pattern shape, the paste containing the above components is used as a photosensitive paste obtained by adding a phosphor to a photoresist, and the phosphor pattern is formed by applying a photolithography method thereto. Can be formed.

【0023】また、より高精細なパターン形状、バリア
リブ壁面への蛍光体形成性、作業性の観点から、蛍光体
を含む感光性樹脂組成物層を有するドライフィルム(感
光性エレメント)を用いて、これをプラズマディスプレ
イパネル用基板上にラミネートし、フォトリソグラフィ
ー法を適用して蛍光体パターンを形成することができ
る。
Further, from the viewpoints of higher definition pattern shape, phosphor forming property on barrier rib wall surface, and workability, a dry film (photosensitive element) having a photosensitive resin composition layer containing a phosphor is used. This is laminated on a substrate for a plasma display panel, and a phosphor pattern can be formed by applying a photolithography method.

【0024】色の異なる蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物を用いてフォトリソグラフィー法により蛍光体パタ
ーンを形成する際、現像により除去された蛍光体を含有
する感光性樹脂組成物から蛍光体を回収して再使用しよ
うとすると、回収する蛍光体に直前に使用した他の色の
蛍光体が混入することは避けられない。
When a phosphor pattern is formed by a photolithography method using a photosensitive resin composition containing phosphors of different colors, the phosphor is converted from the photosensitive resin composition containing the phosphor removed by development. If it is to be recovered and reused, it is inevitable that the fluorescent material of another color used immediately before is mixed into the fluorescent material to be recovered.

【0025】例えば、緑色蛍光体に赤又は青色蛍光体が
10重量%混入した場合色差の変化はない。しかし、赤
色蛍光体に対して緑又は青色蛍光体がそれぞれ1重量%
以上又は緑及び青色蛍光体の総量が1重量%以上混入し
たとき色差が変化する。また、青色蛍光体に対して緑色
蛍光体が5重量%以上混入したとき色差が変化する。
For example, when 10% by weight of a red or blue phosphor is mixed into a green phosphor, there is no change in color difference. However, the green and blue phosphors are each 1% by weight based on the red phosphor.
The color difference changes when the above or when the total amount of the green and blue phosphors is 1% by weight or more. In addition, when 5% by weight or more of the green phosphor is mixed with the blue phosphor, the color difference changes.

【0026】各色の蛍光体に別の色が混入した場合、色
差変化のない蛍光体混入量の上限は、赤又は青色蛍光体
が緑色蛍光体に対してそれぞれ10重量%以下のとき又
は赤及び緑色蛍光体の総量が5重量%以下のときであ
る。また、青色蛍光体に対して赤色蛍光体が10重量%
以下のとき色差変化はない。各色の混入割合に対する色
差を図9(a)、(b)、(c)に示した。なお、図9
は各蛍光体を172nmの紫外光を用いて励起した場合
の色差を示す。
When a different color is mixed into the phosphor of each color, the upper limit of the mixed amount of the phosphor without a color difference change is when the red or blue phosphor is 10% by weight or less of the green phosphor, or This is when the total amount of the green phosphor is 5% by weight or less. The red phosphor is 10% by weight based on the blue phosphor.
There is no color difference change in the following cases. 9 (a), 9 (b) and 9 (c) show the color difference with respect to the mixing ratio of each color. Note that FIG.
Indicates the color difference when each phosphor is excited using ultraviolet light of 172 nm.

【0027】本発明においては、第一色目に赤、第二色
目に青、第三色目に緑色の蛍光体パターンを順に形成す
るため、蛍光体を回収して再利用する場合に回収した蛍
光体中に直前の色の蛍光体が混入しても色度が変化せ
ず、色純度のよい蛍光体パターンを得ることができる。
In the present invention, since the phosphor patterns of red for the first color, blue for the second color, and green for the third color are sequentially formed, the collected phosphor is used when the phosphor is collected and reused. Even if the phosphor of the immediately preceding color is mixed therein, the chromaticity does not change, and a phosphor pattern with good color purity can be obtained.

【0028】本発明に用いられる蛍光体としては、特に
制限はなく、通常の金属酸化物を主体とするものが使用
できる。
The phosphor used in the present invention is not particularly limited, and a phosphor mainly composed of a usual metal oxide can be used.

【0029】赤色発色の蛍光体としては、例えば、Y2
2S:Eu、Zn3(PO42:Mn、Y23:Eu、
YVO4:Eu、(Y,Gd)BO3:Eu、γ−Zn3
(PO42:Mn、(ZnCd)S:Ag+In2O等
が挙げられる。
As a red-colored phosphor, for example, Y 2
O 2 S: Eu, Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn, Y 2 O 3 : Eu,
YVO 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, γ-Zn 3
(PO 4 ) 2 : Mn, (ZnCd) S: Ag + In 2 O and the like.

【0030】緑色発色の蛍光体としては、例えば、Zn
S:Cu、Zn2SiO4:Mn、ZnS:Cu+Zn2
SiO4:Mn、Gd22S:Tb、Y3Al512:C
e、ZnS:Cu,Al、Y22S:Tb、ZnO:Z
n、ZnS:Cu,Al+In 23、LaPO4:C
e,Tb、BaO・6Al23:Mn等が挙げられる。
As a green-colored phosphor, for example, Zn
S: Cu, ZnTwoSiOFour: Mn, ZnS: Cu + ZnTwo
SiOFour: Mn, GdTwoOTwoS: Tb, YThreeAlFiveO12: C
e, ZnS: Cu, Al, YTwoOTwoS: Tb, ZnO: Z
n, ZnS: Cu, Al + In TwoOThree, LaPOFour: C
e, Tb, BaO.6AlTwoOThree: Mn and the like.

【0031】青色発色の蛍光体としては、例えば、Zn
S:Ag、ZnS:Ag,Al、ZnS:Ag,Ga,
Al、ZnS:Ag,Cu,Ga,Cl、ZnS:Ag
+In23、Ca259Cl:Eu2+、(Sr,C
a,Ba,Mg)10(PO46C12:Eu2+、Sr10
(PO46Cl2:Eu2+、BaMgAl1017:Eu
2+、BaMgAl1423:Eu2+、BaMgAl
1626:Eu2+等が挙げられる。
As the phosphor emitting blue light, for example, Zn
S: Ag, ZnS: Ag, Al, ZnS: Ag, Ga,
Al, ZnS: Ag, Cu, Ga, Cl, ZnS: Ag
+ In 2 O 3 , Ca 2 B 5 O 9 Cl: Eu 2+ , (Sr, C
a, Ba, Mg) 10 (PO 4 ) 6 C 12 : Eu 2+ , Sr 10
(PO 4 ) 6 Cl 2 : Eu 2+ , BaMgAl 10 O 17 : Eu
2+ , BaMgAl 14 O 23 : Eu 2+ , BaMgAl
16 O 26 : Eu 2+ and the like.

【0032】本発明における蛍光体の粒径は、0.1〜
20μmであることが好ましく、1〜15μmであるこ
とがより好ましく、2〜8μmであることが特に好まし
い。この粒径が0.1μm未満では、発光効率が低下す
る傾向があり、また、20μmを超えると、分散性が低
下する傾向がある。また、本発明における蛍光体の形状
としては、球形であることが好ましく、その表面積は小
さい方が好ましい。
In the present invention, the particle size of the phosphor is from 0.1 to 0.1.
It is preferably 20 μm, more preferably 1 to 15 μm, and particularly preferably 2 to 8 μm. When the particle size is less than 0.1 μm, the luminous efficiency tends to decrease, and when it exceeds 20 μm, the dispersibility tends to decrease. Further, the shape of the phosphor in the present invention is preferably spherical, and the surface area is preferably small.

【0033】本発明における蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物は、その組成に特に制限はなく、フォトリソグ
ラフィー法に通常使用される感光性樹脂組成物を用いて
構成しうるが、光感度、作業性の点から、(a)フィル
ム性付与ポリマー、(b)エチレン性不飽和基を有する
光重合性不飽和化合物、(c)活性光の照射により遊離
ラジカルを生成する光開始剤及び(d)蛍光体を含むも
のであることが好ましい。
The photosensitive resin composition containing a phosphor in the present invention is not particularly limited in composition, and can be constituted by using a photosensitive resin composition usually used in a photolithography method. From the viewpoint of workability, (a) a film-imparting polymer, (b) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group, (c) a photoinitiator that generates free radicals by irradiation with active light, and (d) ) It is preferable to include a phosphor.

【0034】(a)フィルム性付与ポリマーとしては、
ビニル共重合体が好ましく、ビニル共重合体に用いられ
るビニル単量体としては、例えば、アクリル酸、メタク
リル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、アクリル
酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メ
タクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、メタクリ
ル酸n−プロピル、アクリル酸iso−プロピル、メタ
クリル酸iso−プロピル、アクリル酸n−ブチル、メ
タクリル酸n−ブチル、アクリル酸iso−ブチル、メ
タクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec−ブチ
ル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert
−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸
ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシ
ル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタ
クリル酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メ
タクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、
メタクリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル
酸ノニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、ア
クリル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸
テトラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸
ヘキサデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸
オクタデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸
エイコシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコ
シル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチ
ル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘ
キシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シク
ロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸
ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニ
ル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチ
ル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸メトキシ
ジエチレングリコール、メタクリル酸メトキシジエチレ
ングリコール、アクリル酸メトキシジプロピレングリコ
ール、メタクリル酸メトキシジプロピレングリコール、
アクリル酸メトキシトリエチレングリコール、メタクリ
ル酸メトキシトリエチレングリコール、アクリル酸2−
ヒドロキシエチル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチ
ル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジ
メチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチ
ル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジ
メチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノプ
ロピル、アクリル酸2−クロロエチル、メタクリル酸2
−クロロエチル、アクリル酸2−フルオロエチル、メタ
クリル酸2−フルオロエチル、アクリル酸2−シアノエ
チル、メタクリル酸2−シアノエチル、スチレン、α−
メチルスチレン、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビ
ニル、N−ビニルピロリドン、ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン、アクリルアミド、メタクリルアミ
ド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙げら
れる。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用
される。
(A) As the film-imparting polymer,
A vinyl copolymer is preferable, and as a vinyl monomer used for the vinyl copolymer, for example, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, Ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-methacrylate Butyl, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, tert-acrylate
-Butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate,
Octyl methacrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, methacrylic acid Octadecyl, eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate, docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate Benzyl, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate, methacrylate Shiechiru, methoxy acrylic acid diethylene glycol methacrylate methoxy diethylene glycol, methoxy dipropylene glycol acrylate, methoxy dipropylene glycol methacrylate,
Methoxy triethylene glycol acrylate, methoxy triethylene glycol methacrylate, acrylic acid 2-
Hydroxyethyl, 2-hydroxyethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, 2-chloroethyl acrylate, Methacrylic acid 2
-Chloroethyl, 2-fluoroethyl acrylate, 2-fluoroethyl methacrylate, 2-cyanoethyl acrylate, 2-cyanoethyl methacrylate, styrene, α-
Examples include methylstyrene, vinyltoluene, vinyl chloride, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, butadiene, isoprene, chloroprene, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0035】また、(a)フィルム性付与ポリマーとし
ては、ポリビニルアルコール系樹脂(ポリアクリル酸エ
ステル又はポリメタクリル酸エステルの加水分解物、ポ
リ酢酸ビニルの加水分解物、エチレンと酢酸ビニルとの
共重合体の加水分解物、エチレンとアクリル酸エステル
との共重合体の加水分解物、塩化ビニルと酢酸ビニルと
の共重合体の加水分解物、スチレンとアクリル酸エステ
ル又はメタクリル酸エステルとの共重合体の加水分解
物、ビニルトルエンとアクリル酸エステル又はメタクリ
ル酸エステルとの共重合体の加水分解物)、カルボキシ
アルキルセルロースの水溶性塩、ヒドロキシプロピルセ
ルロース等の水溶性セルロース類、水溶性セルロースエ
ーテル類、カルボキシアルキルでん粉の水溶性塩、ポリ
ビニルピロリドン等を使用することもできる。
Examples of the polymer (a) for imparting film properties include polyvinyl alcohol-based resins (polyacrylate or polymethacrylate hydrolyzate, polyvinyl acetate hydrolyzate, copolymer of ethylene and vinyl acetate). Combined hydrolysate, hydrolyzate of copolymer of ethylene and acrylate, hydrolyzate of copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, copolymer of styrene and acrylate or methacrylate A hydrolyzate of a copolymer of vinyl toluene and an acrylate or methacrylate), a water-soluble salt of carboxyalkyl cellulose, a water-soluble cellulose such as hydroxypropyl cellulose, a water-soluble cellulose ether, Water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinylpyrrolidone, etc. It can also be used.

【0036】(a)フィルム性付与ポリマーの重量平均
分子量は、5,000〜300,000とすることが好
ましく、20,000〜150,000とすることがよ
り好ましい。この重量平均分子量が、5,000未満で
は、感光性エレメントとした場合にフィルム形成性及び
可とう性が低下する傾向があり、300,000を超え
ると、現像性(不要部が現像により、容易に除去できる
性質)が低下する傾向がある。
(A) The weight average molecular weight of the film imparting polymer is preferably from 5,000 to 300,000, more preferably from 20,000 to 150,000. If the weight average molecular weight is less than 5,000, the film formability and flexibility of the photosensitive element tend to decrease, and if it exceeds 300,000, the developability (unnecessary portions are easily developed by development). Tend to be reduced).

【0037】なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエー
ションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリス
チレン検量線を用いて換算した値である。
The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve.

【0038】また、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
が、現像液により現像可能となるように、(a)フィル
ム性付与ポリマーのカルボキシル基含有率(酸価(mg
KOH/g)で規定できる)を適宜調整することができ
る。
Further, the (a) carboxyl group content (acid value (mg) of the film-imparting polymer is so set that the photosensitive resin composition containing the phosphor can be developed with a developer.
KOH / g) can be appropriately adjusted.

【0039】例えば、炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム
等のアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価
を、90〜260とすることが好ましい。この酸価が、
90未満では、現像が困難となる傾向があり、260を
超えると、耐現像液性(現像により除去されずに残りパ
ターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質)
が低下する傾向がある。
For example, when developing with an aqueous alkali solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is preferably set to 90 to 260. This acid value is
If it is less than 90, development tends to be difficult, and if it exceeds 260, resistance to developing solution (the property that the remaining pattern that is not removed by development and remains as a pattern is not attacked by the developing solution).
Tends to decrease.

【0040】また、水又はアルカリ水溶液と1種以上の
有機溶剤とからなる水系現像液を用いて現像する場合に
は、酸価を、16〜260とすることが好ましい。この
酸価が、16未満では、現像が困難となる傾向があり、
260を超えると、耐現像液性が低下する傾向がある。
When the development is carried out using an aqueous developer comprising water or an aqueous alkali solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably from 16 to 260. If the acid value is less than 16, development tends to be difficult,
If it exceeds 260, the developer resistance tends to decrease.

【0041】さらに、水と水に溶解しない1種以上の有
機溶剤とからなる現像液(エマルジョン現像液)や1,
1,1−トリクロロエタン等の有機溶剤現像を用いて現
像する場合には、感光性樹脂組成物中のフィルム性付与
ポリマーはカルボキシル基を含有しなくてもよい。
Further, a developer (emulsion developer) comprising water and at least one organic solvent which is insoluble in water,
When developing using an organic solvent development such as 1,1-trichloroethane, the polymer imparting film properties in the photosensitive resin composition may not contain a carboxyl group.

【0042】(b)エチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、従来、光重合性多官能モノマ
ーとして知られているものを全て用いることができる。
As the photopolymerizable unsaturated compound (b) having an ethylenically unsaturated group, all compounds conventionally known as photopolymerizable polyfunctional monomers can be used.

【0043】例えば、下記一般式(I)For example, the following general formula (I)

【0044】[0044]

【化1】 [式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、kは1〜1
0の整数であり、Yは置換基を有していてもよい飽和若
しくは不飽和炭化水素残基又は複素環残基若しくはポリ
アルキレングリコール残基、あるいは式(II)
Embedded image [Wherein, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and k represents 1 to 1
And Y is an integer of 0, and Y is a saturated or unsaturated hydrocarbon residue or a heterocyclic residue or a polyalkylene glycol residue which may have a substituent;

【0045】[0045]

【化2】 (式中、R1及びR2は水素原子、メチル基、エチル基、
プロピル基又はトリフルオロメチル基を示し、R3及び
4は炭素数1〜6のアルキレン基、m及びnは各々独
立に、1〜20の整数である。)で表される基であ
る。]で表される化合物等が挙げられる。
Embedded image (Wherein R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group,
A propyl group or a trifluoromethyl group is shown, R 3 and R 4 are an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms, and m and n are each independently an integer of 1 to 20. ). And the like.

【0046】一般式(I)中、Yで示される置換基を有
していてもよい飽和又は不飽和の炭化水素残基又は複素
環残基としては、例えば、ハロゲン原子、ヒドロキシル
基、アミノ基、カルボキシル基等の置換基を有していて
もよい炭素数1〜22の直鎖、分岐若しくは脂環状のア
ルカン残基(メタン残基、エタン残基、プロパン残基、
シクロプロパン残基、ブタン残基、イソブタン残基、シ
クロブタン残基、ペンタン残基、イソペンタン残基、ネ
オペンタン残基、シクロペンタン残基、ヘキサン残基、
シクロヘキサン残基、ヘプタン残基、シクロヘプタン残
基、オクタン残基、ノナン残基、デカン残基等)、芳香
族環残基(ベンゼン残基、ナフタレン残基、アントラセ
ン残基、ビフェニル残基、ターフェニル残基等)、複素
環残基(フラン残基、チオフェン残基、ピロール残基、
オキサゾール残基、チアゾール残基、イミダゾール残
基、ピリジン残基、ピリミジン残基、ピラジン残基、ト
リアジン残基、キノリン残基、キノキサリン残基等)等
が挙げられる。
In the general formula (I), examples of the saturated or unsaturated hydrocarbon residue or heterocyclic residue optionally having a substituent represented by Y include a halogen atom, a hydroxyl group and an amino group. A straight-chain, branched or alicyclic alkane residue having 1 to 22 carbon atoms which may have a substituent such as a carboxyl group (methane residue, ethane residue, propane residue,
Cyclopropane residue, butane residue, isobutane residue, cyclobutane residue, pentane residue, isopentane residue, neopentane residue, cyclopentane residue, hexane residue,
Cyclohexane residue, heptane residue, cycloheptane residue, octane residue, nonane residue, decane residue, etc.), aromatic ring residue (benzene residue, naphthalene residue, anthracene residue, biphenyl residue, Phenyl residue), heterocyclic residue (furan residue, thiophene residue, pyrrole residue,
Oxazole residue, thiazole residue, imidazole residue, pyridine residue, pyrimidine residue, pyrazine residue, triazine residue, quinoline residue, quinoxaline residue and the like.

【0047】具体的には、一個のエチレン性不飽和基を
有する光重合性不飽和化合物としては、例えば、アクリ
ル酸又はメタクリル酸のエステル系モノマー(アクリル
酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メ
タクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、メタクリ
ル酸n−プロピル、アクリル酸iso−プロピル、メタ
クリル酸iso−プロピル、アクリル酸n−ブチル、メ
タクリル酸n−ブチル、アクリル酸iso−ブチル、メ
タクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec−ブチ
ル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert
−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸
ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシ
ル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタ
クリル酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メ
タクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、
メタクリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル
酸ノニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、ア
クリル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸
テトラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸
ヘキサデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸
オクタデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸
エイコシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコ
シル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチ
ル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘ
キシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シク
ロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸
ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニ
ル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチ
ル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチル
アミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、ア
クリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチ
ルアミノプロピル、アクリル酸2−クロロエチル、メタ
クリル酸2−クロロエチル、アクリル酸2−フルオロエ
チル、メタクリル酸2−フルオロエチル、アクリル酸2
−シアノエチル、メタクリル酸2−シアノエチル、アク
リル酸メトキシジエチレングリコール、メタクリル酸メ
トキシジエチレングリコール、アクリル酸メトキシジプ
ロピレングリコール、メタクリル酸メトキシジプロピレ
ングリコール、アクリル酸メトキシトリエチレングリコ
ール、メタクリル酸メトキシトリエチレングリコール
等)、スチレン系モノマー(スチレン、α−メチルスチ
レン、p−t−ブチルスチレン等)、ポリオレフィン系
モノマー(ブタジエン、イソプレン、クロロプレン
等)、ビニル系モノマー(塩化ビニル、酢酸ビニル
等)、ニトリル系モノマー(アクリロニトリル、メタク
リロニトリル等)、1−(メタクリロイロキシエトキシ
カルボニル)−2−(3′−クロロ−2′−ヒドロキシ
プロポキシカルボニル)ベンゼン(γ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル
−o−フタレート)等が挙げられる。
Specifically, examples of the photopolymerizable unsaturated compound having one ethylenically unsaturated group include acrylic acid or methacrylic acid ester monomers (methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, Ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-methacrylate Butyl, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, tert-acrylate
-Butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate,
Octyl methacrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, methacrylic acid Octadecyl, eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate, docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate Benzyl, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate, methacrylate Siethyl, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, 2-chloroethyl acrylate, 2-chloroethyl methacrylate, 2-fluoroethyl acrylate, 2-fluoro methacrylate Ethyl, acrylic acid 2
-Cyanoethyl, 2-cyanoethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, etc.), styrene Monomer (styrene, α-methylstyrene, pt-butylstyrene, etc.), polyolefin monomer (butadiene, isoprene, chloroprene, etc.), vinyl monomer (vinyl chloride, vinyl acetate, etc.), nitrile monomer (acrylonitrile, methacrylic acid) Lonitrile), 1- (methacryloyloxyethoxycarbonyl) -2- (3'-chloro-2'-hydroxypropoxycarbonyl) ben Down (.gamma.-chloro -β- hydroxypropyl -β'- methacryloyloxyethyl -o- phthalate) and the like.

【0048】二個のエチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、エチレングリコールジアクリ
レート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テト
ラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコール
ジアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレ
ート、ヘキサプロピレングリコールジアクリレート、ヘ
キサプロピレングリコールジメタクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリ
コールジメタクリレート、ブチレングリコールジアクリ
レート、ブチレングリコールジメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジアク
リレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、
1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,4−ブタ
ンジオールジメタクリレート、1,5−ペンタンジオー
ルジアクリレート、1,5−ペンタンジオールジメタク
リレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエ
リスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールジ
メタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ビスフ
ェノールAジアクリレート、ビスフェノールAジメタク
リレート、2,2−ビス(4−アクリロキシエトキシフ
ェニル)プロパン、2,2−ビス(4−メタクリロキシ
エトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アク
リロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−メタクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、
2,2−ビス(4−アクリロキシポリエトキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(4−メタクリロキシポリ
エトキシフェニル)プロパン、一般式(I)の式中、Y
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound having two ethylenically unsaturated groups include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, and triethylene glycol diacrylate. Methacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, hexapropylene glycol diacrylate, hexapropylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol diacrylate , Butylene Recall dimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate,
1,4-butanediol diacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 1,5-pentanediol diacrylate, 1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate,
1,6-hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, bisphenol A diacrylate, bisphenol A dimethacrylate, 2,2-bis (4-acrylic Roxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) )propane,
2,2-bis (4-acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane, Y in the formula (I)
But

【0049】[0049]

【化3】 (式中、m及びnは各々独立に、1〜20の整数であ
る。)である化合物、ビスフェノールAジグリシジルエ
ーテルジアクリレート、ビスフェノールAジグリシジル
エーテルジメタクリレート、ウレタンジアクリレート化
合物等が挙げられる。
Embedded image (Wherein m and n are each independently an integer from 1 to 20), bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, bisphenol A diglycidyl ether dimethacrylate, urethane diacrylate compound, and the like.

【0050】三個のエチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、例えば、トリメチロールプロ
パントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメ
タクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、エチレ
ンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジ
ルエーテルトリアクリレート、トリメチロールプロパン
トリグリシジルエーテルトリメタクリレート等が挙げら
れる。
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound having three ethylenically unsaturated groups include, for example, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, and ethylene oxide-modified trimethylol. Examples include propane triacrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, and trimethylolpropane triglycidyl ether trimethacrylate.

【0051】四個のエチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、例えば、テトラメチロールプ
ロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパン
テトラメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト等が挙げられる。
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound having four ethylenically unsaturated groups include tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and pentaerythritol tetramethacrylate.

【0052】五個のエチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、例えば、ジペンタエリスリト
ールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート等が挙げられる。
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound having five ethylenically unsaturated groups include dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate and the like.

【0053】六個のエチレン性不飽和基を有する光重合
性不飽和化合物としては、例えば、ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サメタクリレート等が挙げられる。
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound having six ethylenically unsaturated groups include dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate and the like.

【0054】これらのエチレン性不飽和基を有する光重
合性不飽和化合物は、いずれにしても、光照射によりラ
ジカル重合するものであればよく、また、これらのエチ
レン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物は、単独
で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Any of these photopolymerizable unsaturated compounds having an ethylenically unsaturated group may be those capable of undergoing radical polymerization upon irradiation with light. The sexually unsaturated compounds are used alone or in combination of two or more.

【0055】また、本発明における蛍光体を含有する感
光性樹脂組成物は、蛍光体パターンの作製時に、焼成に
より不要分を除去する必要があるため、前記した(b)
エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物の中
から、熱分解性が良好な、ポリエチレングリコールジメ
タクリレートがより好ましく用いられる。
Further, the photosensitive resin composition containing the phosphor in the present invention needs to be removed by baking during the formation of the phosphor pattern.
Among the photopolymerizable unsaturated compounds having an ethylenically unsaturated group, polyethylene glycol dimethacrylate having good thermal decomposability is more preferably used.

【0056】また、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
層を、埋め込み層を有する感光性エレメントを用いて形
成する場合PDP用基板の空間に埋め込んだ後の保存安
定性を向上(蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層にお
ける(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和
化合物が、埋め込み層へマイグレーションを起こす性質
を抑制)できる点及び蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物層をPDP用基板の空間に埋め込む際の減圧加熱時
に、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物における(b)
エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物の蒸
発を抑制できる点から、(b)エチレン性不飽和基を有
する光重合性不飽和化合物の重量平均分子量は、400
以上であることが好ましく、500以上であることがよ
り好ましく、600以上であることが特に好ましく、ま
た、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和
化合物の沸点(760mmHg)は、300℃以上であ
ればよく、他に特に制限はないが、減圧下で加熱した場
合の安定性、作業性等の点から、沸点(760mmH
g)は、350℃以上であることが好ましく、400℃
以上であることがより好ましい。
Further, when the photosensitive resin composition layer containing the phosphor is formed using a photosensitive element having a buried layer, the storage stability after embedding in the space of the PDP substrate is improved. (B) the photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group in the containing photosensitive resin composition layer can suppress migration of the ethylenically unsaturated group into the burying layer) and a phosphor-containing photosensitive resin composition (B) in the photosensitive resin composition containing the phosphor during heating under reduced pressure when embedding the layer in the space of the PDP substrate
From the viewpoint that the evaporation of the photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group can be suppressed, the weight average molecular weight of (b) the photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group is 400.
The boiling point (760 mmHg) of the photopolymerizable unsaturated compound (b) having an ethylenically unsaturated group is preferably at least 500, more preferably at least 500, particularly preferably at least 600. The temperature may be 300 ° C. or higher, and there is no particular limitation. From the viewpoint of stability and workability when heated under reduced pressure, the boiling point (760 mmH
g) is preferably 350 ° C. or more, and 400 ° C.
More preferably, it is the above.

【0057】重量平均分子量が、400以上である
(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物又は
沸点(760mmHg)が300℃以上である(b)エ
チレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物として
は、例えば、前記の光重合性不飽和化合物の中から、選
択して使用することができる。
(B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group having a weight average molecular weight of 400 or more, or (b) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group having a boiling point (760 mmHg) of 300 ° C. or more As the unsaturated compound, for example, the photopolymerizable unsaturated compound can be selected and used.

【0058】また、後述する蛍光体パターンの作製時
に、焼成により不要成分を除去する必要があるため、本
発明における蛍光体を含有する感光性樹脂組成物を構成
する感光性樹脂組成物の内、蛍光体及び必要に応じて用
いられる後述の結着剤以外の感光性樹脂組成物は、熱分
解性が良好なものである必要があるため、これを構成す
る元素として、炭素、水素、酸素及び窒素以外のものを
含まないことが好ましい。
Since it is necessary to remove unnecessary components by baking when forming a phosphor pattern described later, of the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition containing the phosphor of the present invention, Since the photosensitive resin composition other than the phosphor and the binder described below used as necessary needs to have good thermal decomposability, carbon, hydrogen, oxygen and It is preferable not to include anything other than nitrogen.

【0059】(c)活性光の照射により遊離ラジカルを
生成する光開始剤としては、例えば芳香族ケトン(ベン
ゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジア
ミノベンゾフエノン(ミヒラーケトン)、N,N′−テ
トラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−
メトキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−
ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノ
フェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−(4−
(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノプロパノン
−1、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン
−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニ
ル−ケトン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−エ
チルアントラキノン、フェナントレンキノン等)、ベン
ゾインエーテル(ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等)、
ベンゾイン(メチルベンゾイン、エチルベンゾイン
等)、ベンジル誘導体(ベンジルジメチルケタール
等)、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体
(2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,
5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、
2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェ
ニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体
等)、アクリジン誘導体(9−フェニルアクリジン、
1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等)
などが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組
み合わせて使用される。
(C) Examples of photoinitiators that generate free radicals upon irradiation with actinic light include aromatic ketones (benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-
Methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-
Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-1- (4-
(Methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone-1,2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Ethyl anthraquinone, phenanthrenequinone, etc.), benzoin ether (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.),
Benzoin (methylbenzoin, ethylbenzoin, etc.), benzyl derivative (benzyldimethylketal, etc.), 2,4,5-triarylimidazole dimer (2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,
5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer,
2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, -(2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like, and acridine derivatives (9-phenylacridine,
1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane and the like
And the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0060】(d)蛍光体としては前述したものが用い
られる。
(D) As described above, the phosphor is used.

【0061】本発明における(a)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量が100重量部とし
て、10〜90重量部とすることが好ましく、20〜8
0重量部とすることがより好ましい。この配合量が、1
0重量部未満では、感光性エレメントとしてロール状で
供給した場合、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物がロ
ール端部からしみ出す(以下エッジフュージョンと記
す)ことにより、感光性エレメントのラミネート時にロ
ールからの繰り出しが困難となり、またしみ出した部分
がPDP用基板の空間に部分的に過剰に埋め込まれ、製
造歩留りが著しく低下する等の問題が生じたり、フィル
ム形成性が低下する等の傾向があり、90重量部を超え
ると、感度が不十分となる傾向がある。
The amount of the component (a) in the present invention is as follows:
The total amount of the component (a) and the component (b) is preferably 10 to 90 parts by weight based on 100 parts by weight, and more preferably 20 to 8 parts by weight.
More preferably, it is 0 parts by weight. If this blending amount is 1
If it is less than 0 parts by weight, when the photosensitive element is supplied in the form of a roll, the photosensitive resin composition containing the phosphor oozes out from the end of the roll (hereinafter, referred to as edge fusion), so that when the photosensitive element is laminated, Dispensing from a roll becomes difficult, and the extruded portion is partially and excessively buried in the space of the PDP substrate, causing a problem such as a remarkable decrease in manufacturing yield and a tendency such as a decrease in film formability. When the amount exceeds 90 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient.

【0062】本発明における(b)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量が100重量部とし
て、10〜90重量部とすることが好ましく、20〜8
0重量部とすることがより好ましい。この配合量が、1
0重量部未満では、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
の感度が不十分となる傾向があり、90重量部を超える
と、光硬化物が脆くなる傾向があり、また、感光性エレ
メントとした場合に、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物が流動によって端部からしみ出したり、フィルム形成
性が低下する傾向がある。
The amount of the component (b) in the present invention is as follows:
The total amount of the component (a) and the component (b) is preferably 10 to 90 parts by weight based on 100 parts by weight, and more preferably 20 to 8 parts by weight.
More preferably, it is 0 parts by weight. If this blending amount is 1
If the amount is less than 0 parts by weight, the sensitivity of the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient, and if it exceeds 90 parts by weight, the photocured product tends to become brittle, and the photosensitive element and In such a case, the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to exude from the edge due to the flow, and the film-forming property tends to decrease.

【0063】本発明における(c)成分の配合量は、
(a)成分及び(b)成分の総量100重量部に対し
て、0.01〜30重量部とすることが好ましく、0.
1〜20重量部とすることがより好ましい。この配合量
が、0.01重量部未満では、蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物の感度が不十分となる傾向があり、30重量
部を超えると、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の露
光表面での活性光の吸収が増大して、内部の光硬化が不
十分となる傾向がある。
The amount of the component (c) in the present invention is as follows:
The amount is preferably 0.01 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b).
More preferably, it is 1 to 20 parts by weight. If the amount is less than 0.01 part by weight, the sensitivity of the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient. If the amount exceeds 30 parts by weight, the photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient. The absorption of active light on the exposed surface of the object tends to increase, and the internal light curing tends to be insufficient.

【0064】本発明における(d)成分の配合量は、
(a)成分、(b)成分及び(c)成分の総量100重
量部に対して、10〜500重量部とすることが好まし
く、10〜400重量部とすることがより好ましく、1
0〜300重量部とすることが特に好ましく、50〜2
50重量部とすることが極めて好ましい。この配合量
が、10重量部未満では、PDPとして発光させた場合
に発光効率が低下する傾向があり、500重量部を超え
ると、感光性エレメントとした場合に、フィルム形成性
が低下したり、可とう性が低下する傾向がある。
The amount of the component (d) in the present invention is as follows:
The amount is preferably from 10 to 500 parts by weight, more preferably from 10 to 400 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of the components (a), (b) and (c).
It is particularly preferred that the content be 0 to 300 parts by weight,
It is extremely preferred to be 50 parts by weight. When the compounding amount is less than 10 parts by weight, the luminous efficiency tends to decrease when light is emitted as a PDP, and when it exceeds 500 parts by weight, when a photosensitive element is used, the film formability decreases, Flexibility tends to decrease.

【0065】本発明における感光性樹脂組成物には、長
期間増粘を起こさず、貯蔵安定性を良好にするために、
カルボキシル基を有する化合物を含有させることができ
る。
The photosensitive resin composition according to the present invention does not cause thickening for a long period of time and has good storage stability.
A compound having a carboxyl group can be contained.

【0066】カルボキシル基を有する化合物としては、
例えば、飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸、脂肪族二塩基酸、
芳香族二塩基酸、脂肪族三塩基酸、芳香族三塩基酸等が
挙げられる。
As the compound having a carboxyl group,
For example, saturated fatty acids, unsaturated fatty acids, aliphatic dibasic acids,
Examples thereof include aromatic dibasic acids, aliphatic tribasic acids, and aromatic tribasic acids.

【0067】具体的には、例えば、ぎ酸、酢酸、クロロ
酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、プロピオン酸、
カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、トリデカン
酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、ヘ
プタデカン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキジ
ン酸、パルミトオレイン酸、オレイン酸、エライジン
酸、リノレン酸、リノール酸、しゅう酸、マロン酸、メ
チルマロン酸、エチルマロン酸、マロン酸モノメチル、
マロン酸モノエチル、こはく酸、メチルこはく酸、アジ
ピン酸、メチルアジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、
アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、イタコン酸、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト
酸、クエン酸、サリチル酸、ピルビン酸、リンゴ酸等が
挙げられる。
Specifically, for example, formic acid, acetic acid, chloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, propionic acid,
Capric, undecanoic, lauric, tridecanoic, myristic, pentadecanoic, palmitic, heptadecanoic, stearic, nonadecanoic, arachidic, palmitooleic, oleic, elaidic, linolenic, linoleic, Oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, monomethyl malonate,
Monoethyl malonate, succinic acid, methylsuccinic acid, adipic acid, methyladipic acid, pimelic acid, suberic acid,
Azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, itaconic acid,
Examples include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, citric acid, salicylic acid, pyruvic acid, malic acid and the like.

【0068】中でも、増粘を抑制する効果が高い点か
ら、しゅう酸、マロン酸、メチルマロン酸、エチルマロ
ン酸、クエン酸等が好ましく、しゅう酸、マロン酸、ク
エン酸等がより好ましい。これらは単独で又は2種類以
上組み合わせて使用される。
Among them, oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, citric acid and the like are preferable, and oxalic acid, malonic acid, citric acid and the like are more preferable from the viewpoint of a high effect of suppressing thickening. These are used alone or in combination of two or more.

【0069】カルボキシル基を有する化合物の配合量
は、(a)成分100重量部に対して、0.01〜30
重量部とすることが好ましい。この配合量が、0.01
重量部未満では、保存安定性の効果が低くなる傾向があ
り、30重量部を超えると、感度が不十分となる傾向が
ある。
The compounding amount of the compound having a carboxyl group is 0.01 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (a).
It is preferable to use parts by weight. When the blending amount is 0.01
If the amount is less than 10 parts by weight, the effect of storage stability tends to decrease, and if it exceeds 30 parts by weight, sensitivity tends to be insufficient.

【0070】本発明における感光性樹脂組成物には、蛍
光体の分散を良好とするために、分散剤を添加すること
が好ましい。
It is preferable to add a dispersant to the photosensitive resin composition of the present invention in order to improve the dispersion of the phosphor.

【0071】分散剤としては、無機分散剤(シリカゲル
系、ベントナイト系、カオリナイト系、タルク系、ヘク
トライト系、モンモリロナイト系、サポナイト系、バイ
デライト系等)、有機分散剤(脂肪族アマイド系、脂肪
族エステル系、酸化ポリエチレン系、硫酸エステル系ア
ニオン活性剤、ポリカルボン酸アミン塩系、ポリカルボ
ン酸系、ポリアマイド系、高分子ポリエーテル系、アク
リル共重合物系、特殊シリコン系等)等が挙げられる。
これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用する
ことができる。
As dispersants, inorganic dispersants (silica gel, bentonite, kaolinite, talc, hectorite, montmorillonite, saponite, beidellite, etc.) and organic dispersants (aliphatic amide, fatty amide, etc.) Group-based esters, polyethylene oxides, sulfate ester-based anionic surfactants, polycarboxylic acid amine salts, polycarboxylic acids, polyamides, polymer polyethers, acrylic copolymers, special silicones, etc.) Can be
These can be used alone or in combination of two or more.

【0072】分散剤の使用量としては、特に制限はな
く、(a)成分100重量部に対して、0.01〜10
0重量部とすることが好ましい。この使用量が、0.0
1重量部未満では、添加効果が発現しない傾向があり、
100重量部を超えると、パターン形成精度(蛍光体を
含有する感光性樹脂組成物層からなるパターンを、現像
後、寸法的に正確に、所望の形状で得られる性質)が低
下する傾向がある。
The amount of the dispersant used is not particularly limited, and is preferably 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (a).
It is preferably 0 parts by weight. If this usage is 0.0
If it is less than 1 part by weight, the effect of addition tends not to be exhibited,
If the amount exceeds 100 parts by weight, the pattern formation accuracy (the property of obtaining a pattern formed of a photosensitive resin composition layer containing a phosphor, which is dimensionally accurate and in a desired shape after development) tends to decrease. .

【0073】本発明における感光性樹脂組成物には、焼
成後、PDP用基板から蛍光体が剥離しないようにする
ために、結着剤を使用することが好ましい。
It is preferable to use a binder in the photosensitive resin composition of the present invention in order to prevent the phosphor from peeling off the PDP substrate after firing.

【0074】結着剤としては、例えば、低融点ガラス、
金属アルコキシド、シランカップリング剤等が挙げられ
る。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
される。
As the binder, for example, low melting glass,
Metal alkoxides, silane coupling agents and the like can be mentioned. These are used alone or in combination of two or more.

【0075】結着剤の使用量としては、特に制限はな
く、(d)成分100重量部に対して、0.01〜10
0重量部とすることが好ましく、0.05〜50重量部
とすることがより好ましく、0.1〜30重量部とする
ことが特に好ましい。この使用量が、0.01重量部未
満では、蛍光体の結着効果が発現しない傾向があり、1
00重量部を超えると、発光効率が低下する傾向があ
る。
The amount of the binder used is not particularly limited, and is 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (d).
The amount is preferably 0 parts by weight, more preferably 0.05 to 50 parts by weight, and particularly preferably 0.1 to 30 parts by weight. If the amount is less than 0.01 part by weight, the effect of binding the phosphor tends not to be exhibited, and
If it exceeds 00 parts by weight, the luminous efficiency tends to decrease.

【0076】また、本発明における感光性樹脂組成物に
は、染料、発色剤、可塑材、顔料、重合禁止剤、表面改
質剤、安定剤、密着性付与剤、熱硬化剤等を必要に応じ
て添加することができる。
The photosensitive resin composition of the present invention requires a dye, a color former, a plasticizer, a pigment, a polymerization inhibitor, a surface modifier, a stabilizer, an adhesion promoter, a thermosetting agent, and the like. It can be added accordingly.

【0077】本発明において、フォトリソグラフィー法
に用いる現像液としてはアルカリ現像液が好ましく用い
られる。アルカリ現像液の塩基としては、水酸化アルカ
リ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物
等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸
塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ
金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸
カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリ
エタノールアミンなどが挙げられ、中でも、炭酸ナトリ
ウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいも
のとして挙げられる。
In the present invention, an alkali developer is preferably used as a developer used in the photolithography method. Examples of the base of the alkali developer include alkali hydroxides (such as hydroxides of lithium, sodium or potassium), alkali carbonates (such as carbonates or bicarbonates of lithium, sodium or potassium), and alkali metal phosphates (such as phosphoric acid). Potassium, sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine, etc., among which sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide, etc. Preferred are mentioned.

【0078】現像に用いるアルカリ水溶液のpHは、9
〜11とすることが好ましく、また、その温度は現像性
に合わせて調整することができる。
The pH of the aqueous alkali solution used for development is 9
To 11, and the temperature can be adjusted according to the developability.

【0079】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤を
混入させることができる。
Further, a surfactant, an antifoaming agent, and a small amount of an organic solvent for accelerating the development can be mixed in the aqueous alkali solution.

【0080】蛍光体パターンが、蛍光体を含有する感光
性樹脂組成物にアルカリ現像液を用いたウエット現像を
行うフォトリソグラフィー法を適用して形成する場合、
アルカリ現像により蛍光体がセル内から剥れ落ちて現像
液漕に蛍光体が残存する。この蛍光体を回収してパター
ン形成に再び用いる際に、パターン形成前に蛍光体を酸
処理又は水洗(中和処理)することが好ましい。蛍光体
の発光輝度の低下又は色差の変化を抑制するためには蛍
光体中のアルカリ金属又はアルカリ土類金属の含有量を
各々2重量%以下(蛍光体1gに対して)とすることが
好ましい。この方法として、酸処理又は水洗(中和処
理)することが有効である。この酸処理又は水洗(中和
処理)は、有機酸、無機酸又はこれらの酸水溶液又は水
のみを用いて、10〜80℃の温度で、1〜180分間
行うことが好ましく、アルカリ現像液由来の塩基が除去
される。また、濾過、遠心分離、自然沈降等の公知方法
により、10〜80℃の温度で、蛍光体と前記した有機
酸、無機酸、これらの水溶液又は水とを分離する。
When the phosphor pattern is formed by applying a photolithography method in which a photosensitive resin composition containing a phosphor is subjected to wet development using an alkali developing solution,
The phosphor is peeled off from the cell by the alkali development, and the phosphor remains in the developer tank. When this phosphor is collected and used again for pattern formation, it is preferable to subject the phosphor to acid treatment or water washing (neutralization treatment) before pattern formation. In order to suppress a decrease in emission luminance or a change in color difference of the phosphor, the content of the alkali metal or alkaline earth metal in the phosphor is preferably set to 2% by weight or less (based on 1 g of the phosphor). . As this method, acid treatment or water washing (neutralization treatment) is effective. This acid treatment or water washing (neutralization treatment) is preferably performed using an organic acid, an inorganic acid or an aqueous solution of these acids or water alone at a temperature of 10 to 80 ° C. for 1 to 180 minutes. Base is removed. In addition, the phosphor is separated from the above-mentioned organic acid, inorganic acid, aqueous solution or water thereof at a temperature of 10 to 80 ° C. by a known method such as filtration, centrifugation, or natural sedimentation.

【0081】蛍光体を酸処理する酸としては、例えば、
飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸、脂肪族二塩基酸、芳香族二
塩基酸、脂肪族三塩基酸、芳香族三塩基酸等の有機酸及
び無機酸が挙げられる。
Examples of the acid for acid-treating the phosphor include:
Organic acids and inorganic acids such as saturated fatty acids, unsaturated fatty acids, aliphatic dibasic acids, aromatic dibasic acids, aliphatic tribasic acids, and aromatic tribasic acids are exemplified.

【0082】具体的な有機酸としては、例えば、ぎ酸、
酢酸、クロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、プ
ロピオン酸、カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、
トリデカン酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミ
チン酸、ヘプタデカン酸、ステアリン酸、ノナデカン
酸、アラキジン酸、パルミトオレイン酸、オレイン酸、
エライジン酸、リノレン酸、リノール酸、しゅう酸、マ
ロン酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、マロン酸モ
ノメチル、マロン酸モノエチル、こはく酸、メチルこは
く酸、アジピン酸、メチルアジピン酸、ピメリン酸、ス
ベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、イ
タコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ト
リメリト酸、クエン酸、サリチル酸、ピルビン酸、リン
ゴ酸、アスパラギン酸、アゼライン酸、アニス酸、メタ
ニル酸、スルファニル酸、アントラニル酸、2−アミノ
エチルスルホン酸、4−アミノ酪酸、安息香酸、イソニ
コチン酸、イソニコチン酸メチル、2−インドールカル
ボン酸、オキサロ酢酸、グリオキシル酸、グリコール
酸、グリセリンリン酸、グルコース−1−リン酸、還元
型グルタチオン、グルタミン酸、グルタル酸、クロロ安
息香酸、2−クロロプロピオン酸、ケイ皮酸、サリチル
酸、サルコシン、シアノ安息香酸、2,4−ジアミノ酪
酸、ジクロロ酢酸、N,N−ジメチルグリシン、ペニシ
ラミン、酒石酸、チオグリコール酸、トリクロロ酢酸、
ナフトエ酸、ニトロ安息香酸、乳酸、バルビツル酸、ピ
クリン酸、ピコリン酸、ヒドロキシ安息香酸、ビニル酢
酸、2,6−ピリジンジカルボン酸、フェニル酢酸、フ
マル酸、2−フランカルボン酸、フルオロ安息香酸、フ
ルオロ酢酸、ブロモ安息香酸、ヘキサフルオロアセチル
アセトン、フタル酸、マンデル酸、メルカプト酢酸、ヨ
ード安息香酸、ヨード酢酸、レブリン酸等が挙げられ
る。また具体的な無機酸としては、例えば、硫酸、塩
酸、硝酸、リン酸等が挙げられる。
Specific organic acids include, for example, formic acid,
Acetic acid, chloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, propionic acid, capric acid, undecanoic acid, lauric acid,
Tridecanoic acid, myristic acid, pentadecanoic acid, palmitic acid, heptadecanoic acid, stearic acid, nonadecanoic acid, arachidic acid, palmito oleic acid, oleic acid,
Elaidic acid, linolenic acid, linoleic acid, oxalic acid, malonic acid, methyl malonic acid, ethyl malonic acid, monomethyl malonate, monoethyl malonate, succinic acid, methyl succinic acid, adipic acid, methyl adipic acid, pimelic acid, suberic acid , Azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, citric acid, salicylic acid, pyruvic acid, malic acid, aspartic acid, azelaic acid, anisic acid, metanylic acid, sulfanilic acid , Anthranilic acid, 2-aminoethylsulfonic acid, 4-aminobutyric acid, benzoic acid, isonicotinic acid, methyl isonicotinate, 2-indolecarboxylic acid, oxaloacetic acid, glyoxylic acid, glycolic acid, glycerin phosphate, glucose-1 -Phosphoric acid, reduced glutathione, Tamic acid, glutaric acid, chlorobenzoic acid, 2-chloropropionic acid, cinnamic acid, salicylic acid, sarcosine, cyanobenzoic acid, 2,4-diaminobutyric acid, dichloroacetic acid, N, N-dimethylglycine, penicillamine, tartaric acid, thioic acid Glycolic acid, trichloroacetic acid,
Naphthoic acid, nitrobenzoic acid, lactic acid, barbituric acid, picric acid, picolinic acid, hydroxybenzoic acid, vinylacetic acid, 2,6-pyridinedicarboxylic acid, phenylacetic acid, fumaric acid, 2-furancarboxylic acid, fluorobenzoic acid, fluoro Acetic acid, bromobenzoic acid, hexafluoroacetylacetone, phthalic acid, mandelic acid, mercaptoacetic acid, iodobenzoic acid, iodoacetic acid, levulinic acid and the like can be mentioned. Specific examples of the inorganic acid include sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and phosphoric acid.

【0083】これらのうち、中和の効果が高い点から、
ぎ酸、しゅう酸、マロン酸、クエン酸、酒石酸、乳酸、
ピクリン酸、フマル酸、フタル酸、マレイン酸、マンデ
ル酸等の水溶液中の解離指数pKaの値が0.1〜7で
あるものがが好ましいものとして挙げられる。これらは
単独で又は2種以上組み合わせて使用される。
Of these, from the point of high neutralization effect,
Formic acid, oxalic acid, malonic acid, citric acid, tartaric acid, lactic acid,
Preferred are those having a dissociation index pKa of 0.1 to 7 in an aqueous solution of picric acid, fumaric acid, phthalic acid, maleic acid, mandelic acid, or the like. These may be used alone or in combination of two or more.

【0084】この酸処理に用いる酸水溶液のpHは、1
〜6とすることが好ましく、酸水溶液のpH及び温度
は、蛍光体の耐酸性(酸に対して劣化しない耐久性)に
合わせて調整することができる。さらに酸処理(中和処
理)の後、水洗する工程を行うこともできる。
The pH of the aqueous acid solution used for this acid treatment is 1
The pH and temperature of the aqueous acid solution can be adjusted in accordance with the acid resistance of the phosphor (durability that does not deteriorate with acid). Further, after the acid treatment (neutralization treatment), a step of washing with water can be performed.

【0085】以下、本発明の蛍光体パターンの製造法の
一例を、図1を用いて説明する。なを、図1は、本発明
の蛍光体パターンの製造法の一例の各工程を示した模式
図であり、1は基板、2はバリアリブ、5は感光性樹脂
組成物層、5′は光硬化後の感光性樹脂組成物層、6は
埋め込み層、8はフォトマスク、9は活性光線、10は
蛍光体パターンである。
Hereinafter, an example of a method for manufacturing a phosphor pattern according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view showing each step of an example of a method for producing a phosphor pattern of the present invention, wherein 1 is a substrate, 2 is a barrier rib, 5 is a photosensitive resin composition layer, and 5 ′ is a light. The cured photosensitive resin composition layer, 6 is a buried layer, 8 is a photomask, 9 is an actinic ray, and 10 is a phosphor pattern.

【0086】[(I)凹凸を有する基板に蛍光体を含有
する感光性樹脂組成物層を形成する工程]本発明におけ
る蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層は、液状感光性
樹脂組成物又は感光性エレメントを用いて凹凸を有する
基板の凹凸表面上に形成される。形成する方法として
は、特に制限はなく、例えば、前記した感光性樹脂組成
物を構成する各成分を、溶解又は分散可能な溶剤に、溶
解又は混合させることにより、均一に分散した溶液とし
た液状ペーストを、凹凸表面上に、直接塗布し、乾燥し
て形成する方法、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層
を有する感光性エレメントを用いて、凹凸表面上に形成
する方法等が挙げられる。
[(I) Step of Forming Photosensitive Resin Composition Layer Containing Phosphor on Substrate Having Irregularities] The photosensitive resin composition layer containing a phosphor in the present invention is a liquid photosensitive resin composition. Alternatively, it is formed on an uneven surface of a substrate having unevenness using a photosensitive element. The method of forming is not particularly limited, for example, by dissolving or mixing each component constituting the above-described photosensitive resin composition in a dissolvable or dispersible solvent to obtain a liquid that is uniformly dispersed. A method in which a paste is directly applied to an uneven surface and formed by drying, a method in which a paste is formed on the uneven surface by using a photosensitive element having a photosensitive resin composition layer containing a phosphor, and the like. .

【0087】本発明における凹凸を有する基板として
は、バリアリブが形成されたプラズマディスプレイパネ
ル用基板(PDP用基板)等が挙げられる。
Examples of the substrate having irregularities in the present invention include a substrate for a plasma display panel (substrate for PDP) on which barrier ribs are formed.

【0088】PDP用基板としては、例えば、透明な接
着のための表面処理を施していてもよい、ガラス板、合
成樹脂等の基板に、電極及びバリアリブが形成されたも
のなどが挙げられる。バリアリブの形成には、特に制限
なく、公知の材料を使用できるが、例えば、シリカ、熱
硬化性樹脂、低融点ガラス(酸化鉛等)、溶剤などを含
むリブ材を用いることができる。
Examples of the PDP substrate include a substrate made of a glass plate, a synthetic resin or the like, on which electrodes and barrier ribs are formed, which may be subjected to a surface treatment for transparent bonding. For forming the barrier rib, a known material can be used without any particular limitation. For example, a rib material containing silica, a thermosetting resin, a low-melting glass (such as lead oxide), a solvent, or the like can be used.

【0089】また、PDP用基板には、電極及びバリア
リブの他に、必要に応じて、誘電膜、絶縁膜、補助電
極、抵抗体等が形成されていてもよい。
Further, in addition to the electrodes and barrier ribs, a dielectric film, an insulating film, an auxiliary electrode, a resistor, and the like may be formed on the PDP substrate, if necessary.

【0090】これらのものを、基板へ形成する方法とし
ては、特に制限はなく、例えば、基板に、蒸着、スパッ
タリング、メッキ、塗布、印刷等の方法で電極を形成す
ることができ、印刷法、サンドブラスト法、埋め込み等
の方法でバリアリブを形成することができる。
The method for forming these on a substrate is not particularly limited. For example, electrodes can be formed on a substrate by a method such as vapor deposition, sputtering, plating, coating, printing, and the like. Barrier ribs can be formed by a method such as sandblasting or embedding.

【0091】図2及び図3にバリアリブが形成されたP
DP用基板の模式図を示した。バリアリブは、通常、高
さが20〜500μm、幅が20〜200μmとされ
る。図2及び図3において、3は格子状放電空間、4は
ストライプ状放電空間である。
FIGS. 2 and 3 show a P having a barrier rib formed thereon.
A schematic diagram of the DP substrate is shown. The barrier ribs usually have a height of 20 to 500 μm and a width of 20 to 200 μm. 2 and 3, reference numeral 3 denotes a grid-shaped discharge space, and 4 denotes a stripe-shaped discharge space.

【0092】バリアリブで囲まれた放電空間の形状に
は、特に制限はなく、格子状、ストライプ状、ハニカム
状、3角形状、楕円形状等が可能であるが、通常図2及
び図3に示すような、格子状又はストライプ状の放電空
間が形成される。
The shape of the discharge space surrounded by the barrier ribs is not particularly limited, and may be a lattice shape, a stripe shape, a honeycomb shape, a triangular shape, an elliptical shape, etc., and is usually shown in FIGS. Such a grid-like or stripe-like discharge space is formed.

【0093】図2及び図3において、基板1上にはバリ
アリブ2が形成されており、図2では格子状放電空間3
が、図3ではストライプ状放電空間4が形成されてい
る。放電空間の大きさは、PDPの大きさと解像度によ
って決められ、通常、図2のような格子状放電空間であ
れば、縦及び横の長さは、50μm〜1mmとなり、図
3のようなストライプ状放電空間であれば、間隔は、3
0μm〜1mmとなる。図4及び図5に本工程を終えた
状態のPDP基板の様子の2態様を示す。
2 and 3, a barrier rib 2 is formed on a substrate 1. In FIG.
However, in FIG. 3, a stripe-shaped discharge space 4 is formed. The size of the discharge space is determined by the size and resolution of the PDP. Generally, in the case of a grid-like discharge space as shown in FIG. 2, the vertical and horizontal lengths are 50 μm to 1 mm, and the stripe as shown in FIG. In case of a discharge space, the interval is 3
0 μm to 1 mm. FIGS. 4 and 5 show two aspects of the state of the PDP substrate after the completion of this step.

【0094】[(II)蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物層に活性光線を像的に照射する工程]活性光線9を
像的に照射する状態を図1(II)に示した。図1(I
I)において、活性光線9を像的に照射する方法として
は、図1(I)の状態の感光性樹脂組成物層5の上部
に、ネガフィルム、ポジフィルム等のフォトマスク8を
介して、活性光線9を像的に照射することができる。
[(II) Step of irradiating the photosensitive resin composition layer containing the phosphor imagewise with actinic rays] The state of irradiating actinic rays 9 imagewise is shown in FIG. 1 (II). FIG. 1 (I
In the method (I), the actinic ray 9 is imagewise irradiated by a method in which a photomask 8 such as a negative film or a positive film is provided on the photosensitive resin composition layer 5 in the state shown in FIG. The actinic ray 9 can be irradiated imagewise.

【0095】このとき、感光性樹脂組成物層5の上に、
前記した支持体フィルムを新たに被覆して、活性光線9
を像的に照射することもできる。
At this time, on the photosensitive resin composition layer 5,
The above-mentioned support film is newly coated and actinic rays 9
Can be illuminated imagewise.

【0096】また、埋め込み層6が、活性光線9を透過
する材質のものであれば、埋め込み層6が配置された状
態で本工程を行い、次いで、埋め込み層6を除去する工
程を行うこともできる。
If the buried layer 6 is made of a material that transmits the actinic ray 9, this step may be performed in a state where the buried layer 6 is disposed, and then a step of removing the buried layer 6 may be performed. it can.

【0097】また、フォトマスク8の活性光線9の透過
幅としては、通常、PDP用基板の凹部の開口幅である
が、前記(I)の工程において図5のように積層させた
い場合には、PDP用基板の凹部の開口幅と同じ透過幅
か又はPDP用基板の凹部の開口幅よりも狭い透過幅と
することが、バリアリブの上に所望しない光硬化した蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物を残さず位置合わせ精
度の裕度を大きくできる点から好ましい。
The transmission width of the actinic rays 9 of the photomask 8 is usually the opening width of the concave portion of the PDP substrate. However, in the case of laminating as shown in FIG. A photosensitive resin containing an undesired photocured phosphor on a barrier rib may have a transmission width equal to the opening width of the concave portion of the PDP substrate or a transmission width smaller than the opening width of the concave portion of the PDP substrate. This is preferable because the tolerance of the positioning accuracy can be increased without leaving the composition.

【0098】活性光線9としては、公知の活性光源が使
用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キ
セノンアーク、その他から発生する光等が挙げられる。
As the actinic ray 9, a known actinic light source can be used, and examples thereof include light generated from a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, and the like.

【0099】光開始剤の感受性は、通常、紫外線領域に
おいて最大であるので、その場合の活性光源は、紫外線
を有効に放射するものにすべきである。また、光開始剤
が可視光線に感受するもの、例えば、9,10−フェナ
ンスレンキノン等である場合には、活性光線9として
は、可視光が用いられ、その光源としては、前記のもの
以外に写真用フラッド電球、太陽ランプ等も使用するこ
とができる。また、本発明における活性光線9として
は、平行光線、散乱光線等が挙げられ、平行光線、散乱
光線のどちらを使用してもよく、また、両方を一工程に
おいて使用してもよく、両方を二段階で別々で使用して
もよい。なお、両方を二段階で別々に使用する場合に
は、どちらを先に行ってもよい。
Since the sensitivity of the photoinitiator is usually maximal in the ultraviolet range, the active light source in that case should be one that effectively emits ultraviolet light. When the photoinitiator is sensitive to visible light, for example, 9,10-phenanthrenequinone or the like, visible light is used as the active light 9 and the light source is as described above. In addition, a photo flood bulb, a sun lamp, and the like can be used. In addition, as the active light beam 9 in the present invention, a parallel light beam, a scattered light beam and the like can be mentioned, and any of a parallel light beam and a scattered light beam may be used, or both may be used in one step, and both may be used in one step. It may be used separately in two stages. If both are used separately in two stages, either may be performed first.

【0100】また、本発明における活性光線9の照射量
は、特に制限はないが、5〜10000mJ/cm2
することが好ましく、7〜5000mJ/cm2とする
ことがより好ましく、10〜1000mJ/cm2とす
ることが特に好ましい。
[0100] The irradiation of active light 9 in the present invention is not particularly limited, preferably in the 5~10000mJ / cm 2, more preferably to 7~5000mJ / cm 2, 10~1000mJ / Cm 2 is particularly preferred.

【0101】[(III)現像により活性光線を像的に
照射した蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の不要部
を選択的に除去してパターンを形成する工程]現像によ
り不要部を除去した状態を図1(III)に示した。な
お、図1(III)において、5′は光硬化後の感光性
樹脂組成物層である。
[(III) Step of selectively removing unnecessary portions of the photosensitive resin composition layer containing the phosphor which has been image-irradiated with actinic rays by development to form a pattern] Unnecessary portions are removed by development FIG. 1 (III) shows the state after the completion. In FIG. 1 (III), 5 ′ is a photosensitive resin composition layer after photo-curing.

【0102】図1(III)の工程において、現像方法
としては、例えば、図1(II)の状態の後、感光性樹
脂組成物層5の上に支持体フィルムが存在する場合に
は、これを除去した後、アルカリ水溶液、水系現像液、
有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、揺動浸
漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知方法により
現像を行い、不要部を除去する方法等が挙げられる。
In the step of FIG. 1 (III), for example, if the support film is present on the photosensitive resin composition layer 5 after the state of FIG. After removing, aqueous alkaline solution, aqueous developer,
A method of performing development by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scrubbing using a known developer such as an organic solvent to remove unnecessary portions, and the like.

【0103】また、感光性樹脂組成物5の不要部を除去
する方法として、露光部、未露光部の粘着性の差を利用
し、感光性樹脂組成物5の粘着性を有した不要部のみを
剥離するドライ現像にて行うこともできる。
As a method for removing unnecessary portions of the photosensitive resin composition 5, the difference between the adhesiveness of the exposed portion and the unexposed portion is utilized, and only the unnecessary portion of the photosensitive resin composition 5 having the adhesiveness is used. Can be carried out by dry development for peeling off.

【0104】アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化ア
ルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物
等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸
塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ
金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸
カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリ
エタノールアミンなどが挙げられ、中でも、炭酸ナトリ
ウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいも
のとして挙げられる。
Examples of the base of the aqueous alkali solution include alkali hydroxides (such as hydroxides of lithium, sodium or potassium), alkali carbonates (such as carbonates or bicarbonates of lithium, sodium or potassium), and alkali metal phosphates (such as carbonates or bicarbonates). Potassium phosphate, sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine, etc., among which sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide And the like are preferred.

【0105】現像に用いるアルカリ水溶液のpHは、9
〜11とすることが好ましく、また、その温度は、感光
性樹脂組成物層5の現像性に合わせて調整することがで
きる。
The pH of the aqueous alkali solution used for development is 9
To 11, and the temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition layer 5.

【0106】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤を
混入させることができる。
A surfactant, an antifoaming agent, and a small amount of an organic solvent for accelerating the development can be mixed in the alkaline aqueous solution.

【0107】水系現像液としては、水又はアルカリ水溶
液と1種以上の有機溶剤とからなるものが挙げられる。
Examples of the aqueous developer include those comprising water or an aqueous alkali solution and at least one organic solvent.

【0108】ここで、アルカリ水溶液の塩基としては、
前記物質以外に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウ
ム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレン
トリアミン、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,
3−プロパンジオール、1,3−ジアミノプロパノール
−2−モルホリン、水酸化テトラメチルアンモニウム等
が挙げられる。
Here, as the base of the aqueous alkali solution,
Other than the above substances, for example, borax, sodium metasilicate, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, 2-amino-2-hydroxymethyl-1,
3-propanediol, 1,3-diaminopropanol-2-morpholine, tetramethylammonium hydroxide and the like.

【0109】水系現像液のpHは、8〜12とすること
が好ましく、9〜10とすることがより好ましい。
The pH of the aqueous developer is preferably from 8 to 12, more preferably from 9 to 10.

【0110】有機溶剤としては、例えば、アセトンアル
コール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアルコ
キシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル等が挙げられる。これらは、単独で又は
2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the organic solvent include acetone alcohol, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and diethylene glycol. Monobutyl ether and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0111】水と1種以上の有機溶剤とからなる水系現
像液(有機溶剤が水に溶解しない場合はエマルジョン溶
液)で、有機溶剤としては、例えばアセトンアルコー
ル、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアルコキシ
基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イ
ソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレン
グリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコール
モノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチル
エーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールモノプロピルエーテル、3−メチル
−3−メトキシブチルアクリレート、1,1,1−トリ
クロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチ
ルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチル
ケトン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これら
は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
A water-based developer comprising water and one or more organic solvents (emulsion solution when the organic solvent is not soluble in water). Examples of the organic solvent include acetone alcohol, acetone, ethyl acetate, and C 1 -C 1. Alkoxyethanol having 4 alkoxy groups, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, 3-methyl-3-methoxybutyl acrylate, 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cycle Hexanone, methyl isobutyl ketone, .gamma.-butyrolactone. These are used alone or in combination of two or more.

【0112】有機溶剤の濃度は、通常、2〜90重量%
の範囲とされ、また、その温度は、現像性にあわせて調
整することができる。
The concentration of the organic solvent is usually 2 to 90% by weight.
The temperature can be adjusted according to the developing property.

【0113】また、水系現像液中には、界面活性剤、消
泡剤等を少量混入することができる。
Further, a small amount of a surfactant, an antifoaming agent or the like can be mixed in the aqueous developer.

【0114】単独で用いる有機溶剤現像液としては、例
えば、1,1,1−トリクロロエタン、N−メチルピロ
リドン、N,N−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等
が挙げられる。これらの有機溶剤には、引火防止のた
め、1〜20重量%の範囲で水を添加してもよい。
Examples of the organic solvent developer used alone include 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, γ-butyrolactone, and the like. Water may be added to these organic solvents in the range of 1 to 20% by weight to prevent ignition.

【0115】また、水、アルカリ水溶液、水系現像液
(水と1種以上の有機溶剤又はアルカリ水溶液と1種以
上の有機溶剤とからなるもの)、有機溶剤等の公知の現
像液中には、現像時の蛍光体劣化防止の点で、アルカリ
金属イオン以外の金属イオン又はハロゲンイオンを含ま
ないことが好ましい。
Known developers such as water, an aqueous alkali solution, an aqueous developer (composed of water and at least one organic solvent or an aqueous alkali solution and at least one organic solvent), and an organic solvent include: From the viewpoint of preventing the phosphor from deteriorating at the time of development, it is preferable that no metal ions other than alkali metal ions or halogen ions are contained.

【0116】また、現像後、PDP用基板上の凹部内面
における光硬化後の感光性樹脂組成物層5′の密着性及
び耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプ等に
よる紫外線照射や加熱を行うこともできる。
After the development, in order to improve the adhesiveness and chemical resistance of the photo-cured photosensitive resin composition layer 5 ′ on the inner surface of the concave portion on the PDP substrate, ultraviolet irradiation by a high-pressure mercury lamp or the like is performed. Heating can also be performed.

【0117】このときの紫外線の照射量は、通常0.2
〜10J/cm2であり、照射の際に加熱を行うことも
できる。また、加熱の温度は60〜180℃とすること
が好ましく、100〜180℃とすることがより好まし
い。また、加熱時間は15〜90分間とすることが好ま
しい。これらの紫外線の照射と加熱は、照射と加熱を別
々に行ってもよく、どちらを先に行ってもよい。
At this time, the irradiation amount of ultraviolet rays is usually 0.2
J10 J / cm 2 , and heating can be performed during irradiation. Further, the heating temperature is preferably from 60 to 180 ° C, more preferably from 100 to 180 ° C. Further, the heating time is preferably set to 15 to 90 minutes. Irradiation and heating of these ultraviolet rays may be performed separately from irradiation and heating, and either may be performed first.

【0118】なお、図5に示すように凸部の上部に蛍光
体を含有する感光性樹脂組成物層5が存在する場合に
は、露光・現像条件及びフォトマスクの位置ずれなどに
よって、本工程(III工程)を行うことにより、凹部
内面以外に残存した光硬化後の蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物層(不要部)が残存する傾向がある。この場
合、凹部内面以外に残存した光硬化後の感光性樹脂組成
物層5′の不要部を研磨等により完全に除去することが
できる。
In the case where the photosensitive resin composition layer 5 containing a phosphor exists above the projections as shown in FIG. 5, this process may be performed depending on the exposure / development conditions and the misalignment of the photomask. By performing the (III) step, the photosensitive resin composition layer (unnecessary part) containing the phosphor after photocuring remaining on the inner surface of the concave portion tends to remain. In this case, unnecessary portions of the photo-cured photosensitive resin composition layer 5 ′ remaining on portions other than the inner surfaces of the concave portions can be completely removed by polishing or the like.

【0119】また、このような場合を想定して、後述す
る赤、青及び緑に発色する蛍光体を含有する感光性樹脂
組成物からなる多色のパターンを形成後、後述する焼成
工程前に、凸部の上部に酸化鉄、酸化クロム、酸化銅な
どの黒色無機顔料及び低融点ガラスフリット等を含む黒
色無機材料ペーストを塗布又は印刷あるいは、黒色無機
材料含有感光性エレメントを用いてブラックストライプ
を形成した後に後述する焼成を行うことができる。
Further, assuming such a case, after forming a multicolor pattern made of a photosensitive resin composition containing a phosphor that emits red, blue, and green, which will be described later, and before forming a firing step described later, Applying or printing a black inorganic material paste including a black inorganic pigment such as iron oxide, chromium oxide, and copper oxide and a low-melting glass frit on the convex portion, or forming a black stripe using a black inorganic material-containing photosensitive element. After formation, baking described below can be performed.

【0120】[(IV)(III)の工程により、前記
パターンから現像液漕に落ちた蛍光体を回収再利用する
工程]本発明の蛍光体を現像液漕から回収する方法とし
ては、特に制限はなく、例えば、濾過、遠心分離、自然
沈降等の公知の方法を用いて蛍光体と現像液の分離を行
う。
[Step (IV) of recovering and reusing the phosphor dropped from the pattern into the developer tank in the steps (IV) and (III)] The method of recovering the phosphor of the present invention from the developer tank is not particularly limited. Instead, for example, a known method such as filtration, centrifugation, or natural sedimentation is used to separate the phosphor from the developer.

【0121】また、蛍光体に残存したアルカリ水溶液の
塩基を、有機酸、無機酸又はこれらの酸水溶液又はは水
を用いて、酸処理又は水洗(中和処理)することができ
る。
Further, the base of the aqueous alkali solution remaining on the phosphor can be subjected to an acid treatment or a water washing (neutralization treatment) using an organic acid, an inorganic acid or an aqueous solution of these acids or water.

【0122】具体的な酸としては、例えば、飽和脂肪
酸、不飽和脂肪酸、脂肪族二塩基酸、芳香族二塩基酸、
脂肪族三塩基酸、芳香族三塩基酸等の有機酸及び無機酸
が挙げられる。
Specific acids include, for example, saturated fatty acids, unsaturated fatty acids, aliphatic dibasic acids, aromatic dibasic acids,
Organic acids and inorganic acids such as aliphatic tribasic acids and aromatic tribasic acids are exemplified.

【0123】酸処理に用いる酸水溶液のpHは、2〜6
とすることが好ましく、酸水溶液のpH及び温度は、蛍
光体の耐酸性(酸に対して劣化しない耐久性)に合わせ
て調整することができる。
The pH of the aqueous acid solution used for the acid treatment is 2-6.
Preferably, the pH and temperature of the aqueous acid solution can be adjusted according to the acid resistance of the phosphor (durability that does not deteriorate with acid).

【0124】酸処理によりアルカリ金属又はアルカリ土
類金属が蛍光体1gに対して20mg(2重量%)以下
の蛍光体を得ることができる。
By the acid treatment, a phosphor having an alkali metal or alkaline earth metal content of 20 mg (2% by weight) or less based on 1 g of the phosphor can be obtained.

【0125】さらに、酸処理(中和処理)の後、水洗す
る工程を行うこともできる。
Further, after the acid treatment (neutralization treatment), a step of washing with water can be performed.

【0126】[(IV)焼成により不要分を除去する工
程]焼成により不要分を除去した後の蛍光体パターンを
形成した状態を図1(IV)に示した。なお、図1(I
V)において、10は蛍光体パターンである。
[(IV) Step of Removing Unwanted Parts by Firing] FIG. 1 (IV) shows a state in which the phosphor pattern has been formed after the unnecessary parts have been removed by firing. FIG. 1 (I
In V), 10 is a phosphor pattern.

【0127】図1(IV)において、焼成方法として
は、特に制限はなく、公知の焼成方法を使用し、蛍光体
及び結着剤以外の不要分を除去し、蛍光体パターンを形
成することができる。
In FIG. 1 (IV), the firing method is not particularly limited, and a known firing method may be used to remove unnecessary components other than the phosphor and the binder to form a phosphor pattern. it can.

【0128】このときの焼成温度は、350〜800℃
とすることが好ましく、400〜600℃とすることが
より好ましい。また、焼成時間は、3〜120分間とす
ることが好ましく、5〜90分間とすることがより好ま
しい。
The firing temperature at this time is 350 to 800 ° C.
And more preferably 400 to 600 ° C. The firing time is preferably from 3 to 120 minutes, more preferably from 5 to 90 minutes.

【0129】このときの昇温速度は0.5〜50℃/分
とすることが好ましく、1〜45℃/分とすることがよ
り好ましい。また、最高焼成温度に達する前の350〜
450℃の間に、その温度を保持するステップを設ける
ことができ、その保持時間は5〜100分間とすること
が好ましい。
The heating rate at this time is preferably 0.5 to 50 ° C./min, more preferably 1 to 45 ° C./min. Before reaching the maximum firing temperature,
A step of holding the temperature between 450 ° C. can be provided, and the holding time is preferably 5 to 100 minutes.

【0130】本発明における蛍光体パターンの製造法
は、工程数を低減できる等の点から、前記本発明におけ
る(I)〜(III)の各工程を1色毎に繰り返して、
赤色、青色及び緑色に発色する蛍光体を含有する感光性
樹組成物層からなる多色パターンを形成した後、(I
V)の工程を行い多色の蛍光体パターンを形成すること
が好ましい。
In the method of manufacturing a phosphor pattern according to the present invention, the steps (I) to (III) of the present invention are repeated for each color from the viewpoint that the number of steps can be reduced.
After forming a multicolor pattern composed of a photosensitive tree composition layer containing a phosphor that emits red, blue and green light, (I
It is preferable to perform the step V) to form a multicolor phosphor pattern.

【0131】本発明における(I)〜(III)の各工
程を1色毎に繰り返して、赤色、青色及び緑色に発色す
る蛍光体を含有する感光性樹組成物のパターンを形成し
た状態を図6に示した。図6において、5′aは1色目
のパターン、5′bは2色目のパターン及び5′cは3
色目のパターンである。
[0131] Each of the steps (I) to (III) in the present invention is repeated for each color to form a pattern of a photosensitive tree composition containing a phosphor that emits red, blue and green light. 6 is shown. In FIG. 6, 5'a is a first color pattern, 5'b is a second color pattern, and 5'c is 3
It is a color pattern.

【0132】図7は多色の蛍光体パターンを形成した状
態を示すものであり、10aは1色目の蛍光体パター
ン、10bは2色目の蛍光体パターン、10cは3色目
の蛍光体パターンである。
FIG. 7 shows a state in which a multicolor phosphor pattern is formed. 10a is a first phosphor pattern, 10b is a second phosphor pattern, and 10c is a third phosphor pattern. .

【0133】また、本発明の蛍光体パターン製造法は、
膜べりの抑制等の点から、前記本発明における(I)〜
(IV)の各工程を赤色、青色及び緑色の順に繰り返し
て、赤色、青色及び緑色に発色する多色の蛍光体パター
ンを形成することが好ましい。
Further, the method for producing a phosphor pattern of the present invention comprises:
From the viewpoint of suppression of film thinning and the like, (I) to (I) in the present invention.
It is preferable to repeat the steps (IV) in the order of red, blue and green to form a multicolor phosphor pattern that emits red, blue and green.

【0134】本発明のプラズマディスプレイパネル用背
面板は、上述のようにして得られた蛍光体パターンを、
プラズマディスプレイパネル用基板上に備えてなるもの
である。
The back plate for a plasma display panel of the present invention is obtained by combining the phosphor pattern obtained as described above with
It is provided on a plasma display panel substrate.

【0135】以下に、プラズマディスプレイパネル用背
面板について、図8を用いて説明する。なお、図8は、
プラズマディスプレイパネル(PDP)の一例を示した
模式図であり、図8において1は基板、2はバリアリ
ブ、4はストライプ状放電空間、10は蛍光体パター
ン、11はアドレス用電極、12は保護膜、13は誘電
体層、14は表示用電極及び15は前面板用基板であ
る。
The back plate for a plasma display panel will be described below with reference to FIG. In addition, FIG.
FIG. 9 is a schematic view showing an example of a plasma display panel (PDP). In FIG. 8, 1 is a substrate, 2 is a barrier rib, 4 is a stripe-shaped discharge space, 10 is a phosphor pattern, 11 is an address electrode, and 12 is a protective film. , 13 is a dielectric layer, 14 is a display electrode, and 15 is a front plate substrate.

【0136】図8において、基板1、バリアリブ2、蛍
光体パターン10及びアドレス用電極11を含む下部が
PDP用背面板であり、保護膜12、誘電体層13、表
示用電極14及び前面板用基板15を含む上部がPDP
用前面板である。
In FIG. 8, the lower portion including the substrate 1, the barrier ribs 2, the phosphor pattern 10, and the address electrodes 11 is the back plate for the PDP, and the protective film 12, the dielectric layer 13, the display electrodes 14, and the front plate. The upper part including the substrate 15 is a PDP
It is a front plate for use.

【0137】PDPは、電圧の印加方式から、ΑC(交
流)型PDP、DC(直流)型PDP等に分類でき、一
例として示した図8の模式図は、ΑC型PDPである。
PDPs can be classified into ΔC (alternating current) type PDPs, DC (direct current) type PDPs, and the like according to the voltage application method, and the schematic diagram of FIG. 8 shown as an example is a ΔC type PDP.

【0138】なお、本発明の蛍光体パターンの製造法
は、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、
エレクトロルミネッセンスディスプレイ(ELD)等の
自発光型ディスプレイにも適用することができる。
The method of manufacturing a phosphor pattern according to the present invention employs a field emission display (FED),
The present invention can be applied to a self-luminous display such as an electroluminescence display (ELD).

【0139】本発明においては、第一色目に赤、第二色
目に青、第三色目に緑色の蛍光体パターンを順に形成す
るため、蛍光体を回収して再利用する場合に回収した蛍
光体中に直前の色の蛍光体が混入しても色度が変化せ
ず、色純度のよい蛍光体を得ることができる。
In the present invention, a red phosphor for the first color, a blue phosphor for the second color, and a green phosphor pattern for the third color are formed in this order. Even if the phosphor of the immediately preceding color is mixed therein, the chromaticity does not change, and a phosphor with good color purity can be obtained.

【0140】[0140]

【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0141】製造例1 [フィルム性付与ポリマーの溶液(d−1)の作製]撹
拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備え
たフラスコに、表1に示す材料を仕込み、窒素ガス雰囲
気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ち
ながら、表1に示す材料を4時間かけて均一に滴下し
た。
Production Example 1 Preparation of Solution (d-1) of Film-Providing Polymer The materials shown in Table 1 were charged into a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer. The temperature was raised to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere, and the materials shown in Table 1 were uniformly dropped over 4 hours while maintaining the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C.

【0142】滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続
け、重量平均分子量が80,000、酸価が130mg
KOH/gのフィルム性付与ポリマーの溶液(固形分4
5.5重量%)(d−1)を得た。
After dropping, stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours, and the weight average molecular weight was 80,000 and the acid value was 130 mg.
KOH / g of a film-imparting polymer solution (solid content 4
(5.5% by weight) (d-1) was obtained.

【0143】[0143]

【表1】 製造例2 [蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層用溶液(D−
1)の作製]表2に示す材料を、ライカイ機を用いて1
5分間混合し、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物用溶
液(D−1)を作製した。
[Table 1] Production Example 2 [A solution for a photosensitive resin composition layer containing a phosphor (D-
1) Production of the materials shown in Table 2 using a raikai machine
After mixing for 5 minutes, a solution (D-1) for a photosensitive resin composition containing a phosphor was prepared.

【0144】[0144]

【表2】 製造例2で得られた、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物用溶液(D−1)を、20μmの厚さのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に均一に塗布し、110℃の
熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤を除去し、蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物層を形成した。得られ
た蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の厚さは50μ
mであった。
[Table 2] The solution (D-1) for a photosensitive resin composition containing a phosphor obtained in Production Example 2 was uniformly applied on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm, and a hot air convection dryer at 110 ° C. For 10 minutes to remove the solvent, thereby forming a photosensitive resin composition layer containing a phosphor. The thickness of the photosensitive resin composition layer containing the obtained phosphor is 50 μm.
m.

【0145】次いで、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物層上に、更に、25μmの厚さのポリエチレンフィル
ムを、カバーフィルムとして張り合わせて、感光性エレ
メント(i)を作製した。
Then, a polyethylene film having a thickness of 25 μm was further laminated on the photosensitive resin composition layer containing the phosphor as a cover film to produce a photosensitive element (i).

【0146】製造例3 [蛍光体を含有する感光性樹脂組成物用溶液(D−2)
の作製]製造例2において、表2に示す材料を、表3に
示す材料に代えた以外は、製造例2と同様にして蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物用溶液(D−2)を作製し
た。
Production Example 3 [Solution for Photosensitive Resin Composition Containing Phosphor (D-2)
Preparation of a phosphor-containing solution for a photosensitive resin composition (D-2) in the same manner as in Production Example 2 except that the materials shown in Table 2 were replaced with the materials shown in Table 3 in Production Example 2 Was prepared.

【0147】[0147]

【表3】 製造例3で得られた、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物用溶液(D−2)を、20μmの厚さのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に均一に塗布し、110℃の
熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤を除去し、蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物層を形成した。得られ
た蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層の厚さは、50
μmであった。
[Table 3] The solution (D-2) for a photosensitive resin composition containing a phosphor obtained in Production Example 3 was uniformly applied on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm, and was heated at 110 ° C. by a hot air convection dryer. For 10 minutes to remove the solvent, thereby forming a photosensitive resin composition layer containing a phosphor. The thickness of the photosensitive resin composition layer containing the obtained phosphor is 50
μm.

【0148】次いで、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物層上に、更に、25μmの厚さのポリエチレンフィル
ムを、カバーフィルムとして張り合わせて、感光性エレ
メント(ii)を作製した。
Next, a 25 μm-thick polyethylene film was further laminated as a cover film on the phosphor-containing photosensitive resin composition layer to produce a photosensitive element (ii).

【0149】製造例4 [蛍光体を含有する感光性樹脂組成物用溶液(D−3)
の作製]製造例2において、表2に示す材料を、表4に
示す材料に代えた以外は、製造例2と同様にして蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物用溶液(D−3)を作製し
た。
Production Example 4 [Solution for photosensitive resin composition containing phosphor (D-3)]
Preparation of a phosphor-containing solution for a photosensitive resin composition (D-3) in the same manner as in Production Example 2 except that the materials shown in Table 2 were replaced with the materials shown in Table 4 in Production Example 2 Was prepared.

【0150】[0150]

【表4】 製造例4で得られた、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物用溶液(D−3)を、20μmの厚さのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に均一に塗布し、110℃の
熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤を除去し、蛍
光体を含有する感光性樹脂物を形成した。得られた蛍光
体を含有する感光性樹脂組成物層の厚さは、50μmで
あった。
[Table 4] The solution (D-3) for a photosensitive resin composition containing a phosphor obtained in Production Example 4 was uniformly applied on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm, and a hot air convection dryer at 110 ° C. For 10 minutes to remove the solvent, thereby forming a photosensitive resin material containing a phosphor. The thickness of the photosensitive resin composition layer containing the obtained phosphor was 50 μm.

【0151】次いで、蛍光体を含有する感光性樹脂物上
に、更に、25μmの厚さのポリエチレンフィルムを、
カバーフィルムとして張り合わせて、感光性エレメント
(iii)を作製した。
Next, a 25 μm-thick polyethylene film was further formed on the phosphor-containing photosensitive resin material.
The photosensitive element (iii) was produced by bonding together as a cover film.

【0152】[実験操作1] 実施例1 PDP用基板(ストライプ状のバリアリブ、バリアリブ
間の開口幅140μm、バリアリブの幅70μm、バリ
アリブの高さ140μm)のバリアリブが形成された側
に、製造例4で得られた感光性エレメント(iii)の
ポリエチレンフィルムを剥がしながら、真空ラミネータ
(日立化成工業(株)製、商品名VLM−1型)を用い
て、ヒートシュー温度が30℃、ラミネート速度が1.
5m/分、気圧が4,000Pa以下、圧着圧力(シリ
ンダ圧力)が5×104Pa(厚さが3mm、縦10c
m×横10cmの基板を用いたため、このときの線圧は
2.4×103N/m)で積層した。
[Experimental operation 1] Example 1 A PDP substrate (stripe-shaped barrier ribs, opening width between barrier ribs 140 μm, barrier rib width 70 μm, barrier rib height 140 μm) was formed on the side where barrier ribs were formed. While peeling off the polyethylene film of the photosensitive element (iii) obtained in the above, using a vacuum laminator (trade name: VLM-1 type, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), the heat shoe temperature was 30 ° C. and the laminating speed was 1 .
5 m / min, air pressure 4,000 Pa or less, crimping pressure (cylinder pressure) 5 × 10 4 Pa (thickness 3 mm, length 10 c
Since a substrate of mx 10 cm in width was used, the layers were laminated at a linear pressure of 2.4 x 10 3 N / m at this time.

【0153】次に、感光性エレメント(iii)のバリ
アリブと接していない面のポリエチレンテレフタレート
フィルムを剥離し、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
上に、膜厚100μmのポリエチレンフィルム(ビカッ
ト軟化点:82〜100℃)を埋め込み層として用い、
ラミネータ(日立化成工業(株)製、商品名HLM−3
000型)を使用して、ラミネート温度が70℃、ラミ
ネート速度が0.5m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)
が4×105Pa(厚さが3mm、縦10cm×横10
cmの基板を用いたため、このときの線圧は9.8×1
3N/m)で埋め込み層を圧着し、蛍光体を含有する
感光性樹脂組成物及び埋め込み層を、バリアリブ壁面及
び基板底面上に囲まれた空間へ埋め込んだ。
Next, the polyethylene terephthalate film on the surface of the photosensitive element (iii) that is not in contact with the barrier rib is peeled off, and a 100 μm-thick polyethylene film (Vicat softening point) is placed on the photosensitive resin composition containing the phosphor. : 82 to 100 ° C.) as the burying layer,
Laminator (HLM-3, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
000 type), the laminating temperature is 70 ° C., the laminating speed is 0.5 m / min, and the pressing pressure (cylinder pressure)
Is 4 × 10 5 Pa (thickness 3 mm, length 10 cm × width 10
cm substrate, the linear pressure at this time was 9.8 × 1
0 3 Crimp the buried layer N / m), a photosensitive resin composition containing a phosphor and a buried layer, embedded into a space surrounded by the barrier rib walls and the substrate on the bottom.

【0154】次いで、埋め込み層である膜厚100μm
のポリエチレンフィルムに、粘着テープを接着し、物理
的に埋め込み層を剥離した。
Next, the thickness of the buried layer is 100 μm.
An adhesive tape was adhered to the polyethylene film of No. 1, and the embedded layer was physically peeled off.

【0155】次に、感光性エレメント(iii)のバリ
アリブと接していない面上に、試験用フォトマスクを密
着させて、(株)オーク製作所製HMW−590型露光
機を使用し、500mJ/cm2で活性光線を像的に照
射し、現像機(e−1)を用い、1重量%炭酸ナトリウ
ム水溶液を現像液として、30℃で70秒間スプレー現
像して赤色蛍光体パターン前駆体を得た。このとき、使
用後の現像液に遠心分離を行い、赤色蛍光体を分離し
た。次いで、この分離した蛍光体に水を加え、撹拌、遠
心分離する操作を6回繰り返した。この操作後の蛍光体
を含む水溶液のpHは7であった。
Next, a photomask for testing was brought into close contact with the surface of the photosensitive element (iii) which was not in contact with the barrier rib, and was exposed to 500 mJ / cm using an HMW-590 type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Actinic light was imagewise irradiated in 2 and spray-developed at 30 ° C. for 70 seconds using a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate as a developing solution using a developing machine (e-1) to obtain a red phosphor pattern precursor. . At this time, the used developer was centrifuged to separate the red phosphor. Then, the operation of adding water to the separated phosphor, stirring and centrifuging was repeated six times. The pH of the aqueous solution containing the phosphor after this operation was 7.

【0156】次いで、分離した蛍光体にアセトンを加
え、遠心分離を行い、蛍光体を分離した。さらに分離し
た蛍光体に水を加え遠心分離を行った。次いで、分離し
た蛍光体を採取し、この蛍光体の乾燥を90℃で24時
間行い、赤色蛍光体(R−1)を回収した。
Next, acetone was added to the separated phosphor and centrifuged to separate the phosphor. Further, water was added to the separated phosphor and centrifuged. Next, the separated phosphor was collected, and the phosphor was dried at 90 ° C. for 24 hours to recover a red phosphor (R-1).

【0157】また、得られた赤色蛍光体(R−1)を直
径2cm、厚さ1mmの穴のあいたステンレス板に詰め
込みミクロ蛍光計(分光計器(株)社製)を用いて色差
を評価し、結果を表5に示した。
Further, the obtained red phosphor (R-1) was packed in a stainless steel plate having a hole of 2 cm in diameter and 1 mm in thickness, and the color difference was evaluated using a microfluorometer (manufactured by Spectrometer Co., Ltd.). The results are shown in Table 5.

【0158】ここで蛍光体を励起する波長は、172n
mであった。また、未処理及び未焼成の赤色蛍光体を色
差の基準とした。
Here, the wavelength for exciting the phosphor is 172 n
m. The untreated and unfired red phosphor was used as a reference for the color difference.

【0159】実施例2 実施例1において、製造例4で作製した感光性エレメン
ト(iii)を製造例2で作製した感光性エレメント
(i)に代えたこと及びPDP用基板を実施例1で作製
した赤色蛍光体パターン前駆体が形成された基板に代え
て、ラミネート、露光、現像(現像機(e−1′)を用
いた。)の各工程を行った以外は、実施例1と同様にし
て、青色蛍光体(B−1)を回収した。
Example 2 In Example 1, the photosensitive element (iii) produced in Production Example 4 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 2, and a PDP substrate was produced in Example 1. In the same manner as in Example 1 except that the respective steps of lamination, exposure, and development (using a developing machine (e-1 ′)) were performed instead of the substrate on which the red phosphor pattern precursor was formed. Thus, the blue phosphor (B-1) was recovered.

【0160】また、得られた青色蛍光体(B−1)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の青色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained blue phosphor (B-1). The untreated and unfired blue phosphor was used as a reference for the color difference.

【0161】実施例3 実施例1において、製造例4で作製した感光性エレメン
ト(iii)を製造例3で作製した感光性エレメント
(ii)に代えたこと及びPDP用基板を実施例2で作
製した赤及び青色蛍光体パターン前駆体が形成された基
板に代えて、ラミネート、露光、現像(現像機(e−
1′′)を用いた。)の各工程を行った以外は、実施例
1と同様にして、緑色蛍光体(G−1)を回収した。
Example 3 In Example 1, the photosensitive element (iii) produced in Production Example 4 was replaced with the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3, and a PDP substrate was produced in Example 2. Laminating, exposing, developing (developing machine (e-
1 '') was used. The green phosphor (G-1) was recovered in the same manner as in Example 1 except that each step of (1) was performed.

【0162】また、得られた緑色蛍光体(G−1)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の緑色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained green phosphor (G-1). The untreated and unfired green phosphor was used as a reference for the color difference.

【0163】[実験操作2] 比較例1 実施例2において、製造例2で製造した感光性エレメン
ト(i)を製造例3で製造した感光性エレメント(i
i)に代えたこと以外は実施例2と同様にして、緑色蛍
光体(G−2)を回収した。
[Experiment 2] Comparative Example 1 In Example 2, the photosensitive element (i) produced in Production Example 2 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 3.
A green phosphor (G-2) was recovered in the same manner as in Example 2 except that i) was replaced.

【0164】また、得られた緑色蛍光体(G−2)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の緑色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained green phosphor (G-2). The untreated and unfired green phosphor was used as a reference for the color difference.

【0165】比較例2 実施例3において、製造例3で製造した感光性エレメン
ト(ii)を製造例2で製造した感光性エレメント
(i)に代えたこと及び実施例2で作製した赤及び青色
蛍光体パターン前駆体が形成された基板を比較例1で作
製した赤及び緑色蛍光体パターン前駆体が形成された基
板に代えたこと以外は実施例3と同様にして、青色蛍光
体(B−2)を回収した。
Comparative Example 2 In Example 3, the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 2, and red and blue produced in Example 2 were used. Except that the substrate on which the phosphor pattern precursor was formed was replaced with the substrate on which the red and green phosphor pattern precursors prepared in Comparative Example 1 were formed, the same procedure as in Example 3 was repeated, except that the blue phosphor (B- 2) was collected.

【0166】また、得られた青色蛍光体(B−2)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の青色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained blue phosphor (B-2). The untreated and unfired blue phosphor was used as a reference for the color difference.

【0167】[実験操作3] 比較例3 実施例1において、製造例4で製造した感光性エレメン
ト(iii)を製造例3で製造した感光性エレメント
(ii)に代えたこと以外は実施例1と同様にして、緑
色蛍光体(G−3)を回収した。
[Experiment 3] Comparative Example 3 Example 1 was repeated except that the photosensitive element (iii) produced in Production Example 4 was replaced with the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3. In the same manner as in the above, the green phosphor (G-3) was recovered.

【0168】また、得られた緑色蛍光体(G−3)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の緑色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained green phosphor (G-3). The untreated and unfired green phosphor was used as a reference for the color difference.

【0169】比較例4 実施例2において、製造例2で製造した感光性エレメン
ト(i)を製造例4で製造した感光性エレメント(ii
i)に代えたこと及び実施例1で作製した赤色蛍光体パ
ターン前駆体が形成された基板を比較例3で作製した緑
色蛍光体パターン前駆体が形成された基板に代えたこと
以外は実施例2と同様にして、赤色蛍光体(R−2)を
回収した。
Comparative Example 4 In Example 2, the photosensitive element (i) produced in Production Example 2 was replaced with the photosensitive element (ii) produced in Production Example 4.
Example 1 except that i) was replaced and the substrate on which the red phosphor pattern precursor prepared in Example 1 was formed was replaced by the substrate on which the green phosphor pattern precursor prepared in Comparative Example 3 was formed In the same manner as in 2, the red phosphor (R-2) was recovered.

【0170】また、得られた赤色蛍光体(R−2)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の赤色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained red phosphor (R-2). The untreated and unfired red phosphor was used as a reference for the color difference.

【0171】比較例5 実施例3において、製造例3で製造した感光性エレメン
ト(ii)を製造例2で製造した感光性エレメント
(i)に代えたこと及び実施例2で作製した赤及び青色
蛍光体パターン前駆体が形成された基板を比較例4で作
製した緑及び赤色蛍光体パターン前駆体が形成された基
板に代えたこと以外は実施例3と同様にして、青色蛍光
体(B−3)を回収した。
Comparative Example 5 In Example 3, the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 2, and red and blue produced in Example 2 were used. Except that the substrate on which the phosphor pattern precursor was formed was replaced with the substrate on which the green and red phosphor pattern precursors prepared in Comparative Example 4 were formed, the same procedure as in Example 3 was repeated, except that the blue phosphor (B- 3) was recovered.

【0172】また、得られた青色蛍光体(B−3)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の青色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained blue phosphor (B-3). The untreated and unfired blue phosphor was used as a reference for the color difference.

【0173】[実験操作4] 比較例6 実施例2において、実施例1で作製した赤色蛍光体パタ
ーン前駆体が形成された基板を比較例3で作製した緑色
蛍光体パターン前駆体が形成された基板に代えたこと以
外は実施例2と同様にして、青色蛍光体(B−4)を回
収した。
[Experimental operation 4] Comparative example 6 In Example 2, the substrate on which the red phosphor pattern precursor prepared in Example 1 was formed was replaced with the green phosphor pattern precursor produced in Comparative example 3. A blue phosphor (B-4) was recovered in the same manner as in Example 2 except that the substrate was replaced.

【0174】また、得られた青色蛍光体(B−4)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の青色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained blue phosphor (B-4). The untreated and unfired blue phosphor was used as a reference for the color difference.

【0175】比較例7 実施例3において、製造例3で製造した感光性エレメン
ト(ii)を製造例4で製造した感光性エレメント(i
ii)に代えたこと及び実施例2で作製した赤及び青色
蛍光体パターン前駆体が形成された基板を比較例6で作
製した緑及び青色蛍光体パターン前駆体が形成された基
板に代えたこと以外は実施例3と同様にして、赤色蛍光
体(R−3)を回収した。
Comparative Example 7 In Example 3, the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 4.
ii) and replacing the substrate on which the red and blue phosphor pattern precursors produced in Example 2 were formed with the substrate on which the green and blue phosphor pattern precursors produced in Comparative Example 6 were formed A red phosphor (R-3) was recovered in the same manner as in Example 3 except for the above.

【0176】また、得られた赤色蛍光体(R−3)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の赤色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained red phosphor (R-3). The untreated and unfired red phosphor was used as a reference for the color difference.

【0177】[実験操作5] 比較例8 実施例1において、製造例4で製造した感光性エレメン
ト(iii)を製造例2で製造した感光性エレメント
(i)に代えたこと以外は実施例1と同様にして、青色
蛍光体(B−5)を回収した。
[Experiment 5] Comparative Example 8 Example 1 was repeated except that the photosensitive element (iii) produced in Production Example 4 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 2. In the same manner as in the above, the blue phosphor (B-5) was recovered.

【0178】また、得られた青色蛍光体(B−5)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の青色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluation of the color difference of the obtained blue phosphor (B-5). The untreated and unfired blue phosphor was used as a reference for the color difference.

【0179】比較例9 実施例2において、製造例2で製造した感光性エレメン
ト(i)を製造例4で製造した感光性エレメント(ii
i)に代えたこと及び実施例1で作製した赤色蛍光体パ
ターン前駆体が形成された基板を比較例8で作製した青
色蛍光体パターン前駆体が形成された基板に代えたこと
以外は実施例2と同様にして、赤色蛍光体(R−4)を
回収した。
Comparative Example 9 In Example 2, the photosensitive element (i) produced in Production Example 2 was replaced with the photosensitive element (ii) produced in Production Example 4.
Example 1 except that i) was replaced and the substrate on which the red phosphor pattern precursor produced in Example 1 was formed was replaced by the substrate on which the blue phosphor pattern precursor produced in Comparative Example 8 was formed In the same manner as in 2, the red phosphor (R-4) was recovered.

【0180】また、得られた赤色蛍光体(R−4)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の赤色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained red phosphor (R-4). The untreated and unfired red phosphor was used as a reference for the color difference.

【0181】比較例10 実施例3において、実施例2で製造した赤及び青色蛍光
体パターン前駆体が形成された基板を比較例9で作製し
た青及び赤色蛍光体パターン前駆体が形成された基板に
代えたこと以外は実施例3と同様にして、緑色蛍光体
(G−4)を回収した。
Comparative Example 10 In Example 3, the substrate on which the red and blue phosphor pattern precursors produced in Example 2 were formed was replaced with the substrate on which the blue and red phosphor pattern precursors produced in Comparative Example 9 were formed. The green phosphor (G-4) was recovered in the same manner as in Example 3 except that the above-mentioned was replaced.

【0182】また、得られた緑色蛍光体(G−4)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の緑色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained green phosphor (G-4). The untreated and unfired green phosphor was used as a reference for the color difference.

【0183】[実験操作6] 比較例11 実施例2において、製造例2で製造した感光性エレメン
ト(i)を製造例3で製造した感光性エレメント(i
i)に代えたこと及び実施例1で作製した赤色蛍光体パ
ターン前駆体が形成された基板を比較例8で作製した青
色蛍光体パターン前駆体が形成された基板に代えたこと
以外は実施例2と同様にして、緑色蛍光体(G−5)を
回収した。
[Experiment 6] Comparative Example 11 In Example 2, the photosensitive element (i) produced in Production Example 2 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 3.
Example 1 except that i) was replaced and the substrate on which the red phosphor pattern precursor produced in Example 1 was formed was replaced by the substrate on which the blue phosphor pattern precursor produced in Comparative Example 8 was formed In the same manner as in 2, the green phosphor (G-5) was recovered.

【0184】また、得られた緑色蛍光体(G−5)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の緑色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the results of evaluating the color difference of the obtained green phosphor (G-5). The untreated and unfired green phosphor was used as a reference for the color difference.

【0185】比較例12 実施例3において、製造例3で製造した感光性エレメン
ト(ii)を製造例4で製造した感光性エレメント(i
ii)に代えたこと及び実施例2で作製した赤及び青色
蛍光体パターン前駆体が形成された基板を比較例11で
作製した青及び緑色蛍光体パターン前駆体が形成された
基板に代えたこと以外は実施例3と同様にして、赤色蛍
光体(R−5)を回収した。
Comparative Example 12 In Example 3, the photosensitive element (ii) produced in Production Example 3 was replaced with the photosensitive element (i) produced in Production Example 4.
ii) and replacing the substrate on which the red and blue phosphor pattern precursors produced in Example 2 were formed with the substrate on which the blue and green phosphor pattern precursors produced in Comparative Example 11 were formed A red phosphor (R-5) was recovered in the same manner as in Example 3 except for the above.

【0186】また、得られた赤色蛍光体(R−5)の色
差の評価の結果を表5に示した。また、未処理及び未焼
成の赤色蛍光体を色差の基準とした。
Table 5 shows the evaluation results of the color difference of the obtained red phosphor (R-5). The untreated and unfired red phosphor was used as a reference for the color difference.

【0187】[0187]

【表5】 表5の結果から、実験操作1(実施例1〜3)におい
て、バリアリブを有する基板上に蛍光体パターン前駆体
を形成する順番を第一色目に赤、第二色目に青、第三色
目に緑色蛍光体パターン前駆体としたとき、第二色目の
青色及び第三色目の緑色蛍光体パターン前駆体から回収
した蛍光体の色差の変化(赤に形成された蛍光体パター
ン前駆体中の蛍光体の影響による色差の変化)はなかっ
たことがわかる。しかし、実験操作1以外の順番(実験
操作2〜6)でバリアリブを有する基板上に蛍光体パタ
ーン前駆体を形成すると二色目以降に形成された、赤、
緑及び青色蛍光体パターン前駆体から回収した赤、緑又
は青色蛍光体の色差は変化(0.0100以上)した。
[Table 5] From the results in Table 5, in the experimental operation 1 (Examples 1 to 3), the order of forming the phosphor pattern precursor on the substrate having the barrier ribs was determined in the order of red for the first color, blue for the second color, and blue for the third color. When the green phosphor pattern precursor is used, a change in the color difference of the phosphors recovered from the second color blue and third color green phosphor pattern precursors (the phosphor in the phosphor pattern precursor formed in red) Change in color difference due to the influence of the above). However, when the phosphor pattern precursor is formed on a substrate having barrier ribs in an order other than the experimental operation 1 (experimental operations 2 to 6), red,
The color difference of the red, green or blue phosphors recovered from the green and blue phosphor pattern precursor changed (0.0100 or more).

【0188】[0188]

【発明の効果】本発明の蛍光体パターンの製造法は、蛍
光体を回収して再利用する場合に回収した蛍光体中に直
前の色の蛍光体が混入しても色度に影響がでない蛍光体
パターンを歩留まりよく製造でき、得られた蛍光体パタ
ーンは色差変化がない。
According to the method for producing a phosphor pattern of the present invention, when a phosphor of the immediately preceding color is mixed in the collected phosphor when the phosphor is collected and reused, the chromaticity is not affected. The phosphor pattern can be manufactured with good yield, and the obtained phosphor pattern has no color difference change.

【0189】本発明のCRTディスプレイ、電界放出型
ディスプレイ、蛍光表示ディスプレイ、電波発光ディス
プレイ及びプラズマディスプレイパネル用背面板は、発
光輝度に優れ、色差変化のない蛍光体パターンを備えた
ものである。
The CRT display, the field emission display, the fluorescent display, the radio emission display, and the back panel for a plasma display panel of the present invention are provided with a phosphor pattern which is excellent in light emission luminance and does not change in color difference.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の蛍光体パターンの製造法の各工程を示
した模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing each step of a method for producing a phosphor pattern of the present invention.

【図2】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.

【図3】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。
FIG. 3 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.

【図4】本発明の蛍光体パターンの製造法の(I)工程
の終了後を示した模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a state after the step (I) of the method for producing a phosphor pattern of the present invention is completed.

【図5】本発明の蛍光体パターンの製造法の(I)工程
の終了後を示した模式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing a state after the step (I) of the method for producing a phosphor pattern of the present invention is completed.

【図6】各々互いに異なる蛍光体を含有する樹脂組成物
の層のパターンを形成した状態を示した模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a state in which a pattern of a layer of a resin composition containing different phosphors is formed.

【図7】蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層からなる
多色パターンを形成した状態を示した模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a state in which a multicolor pattern composed of a photosensitive resin composition layer containing a phosphor is formed.

【図8】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
の一例を示した模式図である。
FIG. 8 is a schematic view showing an example of a back plate for a plasma display panel of the present invention.

【図9】赤色蛍光体、青色蛍光体及び緑色蛍光体の各々
に、他の2色の蛍光体が混入したときの色度の変化を表
すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing a change in chromaticity when other two color phosphors are mixed into each of a red phosphor, a blue phosphor, and a green phosphor.

【符号の説明】 1 基板 2 バリアリブ 3 格子状放電空間 4 ストライプ状放電空間 5 感光性樹脂組成物層 5′光硬化後の感光性樹脂組成物層 5′a 1色目のパターン 5′b 2色目のパターン 5′c 3色目のパターン 6 埋め込み層 8 フォトマスク 9 活性光線 10 蛍光体パターン 10a 1色目の蛍光体パターン 10b 2色目の蛍光体パターン 10c 3色目の蛍光体パターン 11 アドレス用電極 12 保護膜 13 誘電体層 14 表示用電極 15 前面板用電極[Description of Signs] 1 Substrate 2 Barrier rib 3 Lattice discharge space 4 Stripe discharge space 5 Photosensitive resin composition layer 5 ′ Photocured resin composition layer after photocuring 5′a First color pattern 5′b Second color 5'c Third color pattern 6 Embedded layer 8 Photomask 9 Active light 10 Phosphor pattern 10a First color phosphor pattern 10b Second color phosphor pattern 10c Third color phosphor pattern 11 Address electrode 12 Protective film 13 Dielectric layer 14 Display electrode 15 Front plate electrode

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 (72)発明者 堀部 芳幸 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 佐藤 和也 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 島村 真理子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田井 誠司 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 (72) Inventor Yoshiyuki Horibe 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Ibaraki Inside the research institute (72) Kazuya Sato 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi, Ibaraki Prefecture Inside the Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Mariko Shimamura 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi, Ibaraki Hitachi, Ltd. (72) Inventor Seiji Tai, 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Pref., Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 色の異なる蛍光体を含有する感光性樹脂
組成物にフォトリソグラフィー法を一色毎に繰り返して
多色の蛍光体パターンを基板上に形成する蛍光体パター
ンの製造法において、第一色目に赤、第二色目に青、第
三色目に緑の蛍光体パターンを順に形成することを特徴
とする蛍光体パターンの製造法。
1. A method for producing a phosphor pattern in which a multicolor phosphor pattern is formed on a substrate by repeating photolithography on a photosensitive resin composition containing phosphors of different colors for each color. A method of manufacturing a phosphor pattern, comprising sequentially forming a phosphor pattern of red for a color, blue for a second color, and green for a third color.
【請求項2】 請求項1記載の蛍光体パターンの製造法
により製造された蛍光体パターン。
2. A phosphor pattern produced by the method for producing a phosphor pattern according to claim 1.
【請求項3】 CRT用基板、電界放出型ディスプレイ
用基板、蛍光表示パネル用基板、電波発光ディスプレイ
用基板又はプラズマディスプレイパネル用基板上に請求
項2記載記載の蛍光体パターンを備えてなるCRTディ
スプレイ、電界放出型ディスプレイ、蛍光表示ディスプ
レイ、電波発光ディスプレイ又はプラズマディスプレイ
パネル用背面板。
3. A CRT display comprising the phosphor pattern according to claim 2 on a CRT substrate, a field emission display substrate, a fluorescent display panel substrate, a radio emission display substrate, or a plasma display panel substrate. , Field emission display, fluorescent display, radio emission display or back panel for plasma display panel.
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