JPH10186644A - Production of phosphor pattern - Google Patents

Production of phosphor pattern

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Publication number
JPH10186644A
JPH10186644A JP8349251A JP34925196A JPH10186644A JP H10186644 A JPH10186644 A JP H10186644A JP 8349251 A JP8349251 A JP 8349251A JP 34925196 A JP34925196 A JP 34925196A JP H10186644 A JPH10186644 A JP H10186644A
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JP
Japan
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photosensitive resin
phosphor
layer
resin composition
resin layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP8349251A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideyasu Tachiki
秀康 立木
Takeshi Nojiri
剛 野尻
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
Yumiko Wada
有美子 和田
Seiji Tai
誠司 田井
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP8349251A priority Critical patent/JPH10186644A/en
Publication of JPH10186644A publication Critical patent/JPH10186644A/en
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Luminescent Compositions (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to form phosphor patterns of uniform shapes with high accuracy by forming positive type photosensitive resin layers on the substrate base and rib wall surfaces within the discharge spaces of a substrate for a plasma display panel formed with barrier ribs. SOLUTION: The positive photosensitive resin layers C5 are formed on the substrate base and rib wall surfaces within the discharge spaces of the substrate for the plasma display panel formed with the barrier ribs. The positive photosensitive resin layers C5 are irradiated imagewise with active rays and the irradiated parts thereof are removed by development. A negative photosensitive resin compsn. layer A7 contg. the phosphors and a thermoplastic resin layer B7 are thermally press bonded onto the substrate for the plasma display panel from which the positive type-photosensitive resin compsns. C5 are removed only in the desired parts by disposing the A layer 7 on the substrate side. These layers are irradiated imagewise with the active layers. The unnecessary parts of the theremally press bonded A layer 7 and B layer 6 are removed by development. The multicolor patterns consisting of the photosensitive resin compsns. contg. the phosphors developing red, green and blue are formed by repeating these stages. The unnecessary parts are removed by baking.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体パターンの
製造法に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor pattern.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、平板ディスプレイの1つとし
て、プラズマ放電により発光する蛍光体を設けることに
よって多色表示を可能にしたプラズマディスプレイパネ
ル(以下PDPと記す)が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as one of flat panel displays, a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) capable of performing multicolor display by providing a phosphor which emits light by plasma discharge has been known.

【0003】PDPは、ガラスからなる平板状の前面板
と背面板とが互いに平行にかつ対向して配設され、両者
はその間に設けられたバリアリブにより一定の間隔に保
持されており、前面板、背面板及びバリアリブに囲まれ
た空間で放電する構造になっている。
In a PDP, a flat front plate and a rear plate made of glass are disposed in parallel and opposed to each other, and both are held at a fixed interval by barrier ribs provided therebetween. , And discharges in a space surrounded by the back plate and the barrier ribs.

【0004】このような空間には、表示のための蛍光体
が塗布され、放電によって封入ガスから発生する紫外線
によって蛍光体が発光させられ、この光を観察者が視認
できるようになっている。
[0004] In such a space, a phosphor for display is applied, and the phosphor is illuminated by ultraviolet rays generated from the sealed gas by discharge, so that the light can be visually recognized by an observer.

【0005】従来、この蛍光体を設ける方法としては、
各色蛍光体を分散させたスラリー液若しくはペーストを
スクリーン印刷等の印刷方法によって、塗布する方法が
提案されており、特開平1−115027号公報、特開
平1−124929号公報、特開平1−124930号
公報、特開平2−155142号公報等に開示されてい
る。
Conventionally, as a method of providing this phosphor, there are:
A method of applying a slurry liquid or paste in which phosphors of each color are dispersed by a printing method such as screen printing has been proposed, and is disclosed in JP-A-1-115027, JP-A-1-124929, and JP-A-1-124930. And JP-A-2-155142.

【0006】しかし、上記の蛍光体分散スラリー液は液
状であるため、蛍光体の沈殿等による分散不良が生じや
すく、またスラリー液に液状の感光性レジストを用いた
場合には、暗反応の促進等により保存安定性が乏しくな
る等の欠点を有する。さらにスクリーン印刷等の印刷方
法は印刷精度に劣るため、将来的なPDPの大画面化へ
の対応は困難である等の問題がある。
However, since the above-mentioned phosphor dispersion slurry is in a liquid state, poor dispersion due to precipitation of the phosphor or the like is likely to occur, and when a liquid photosensitive resist is used as the slurry liquid, the dark reaction is accelerated. It has disadvantages such as poor storage stability. Furthermore, since printing methods such as screen printing are inferior in printing accuracy, there is a problem that it is difficult to cope with a larger PDP in the future.

【0007】これらの問題点の解決には、蛍光体を含有
させた感光性エレメント(感光性フィルムともいう)を
用いる方法が提案されている(特開平6−273925
号公報)。
To solve these problems, a method using a photosensitive element containing a phosphor (also referred to as a photosensitive film) has been proposed (JP-A-6-273925).
No.).

【0008】感光性エレメントを用いる方法とは、蛍光
体を含有する感光性樹脂層と支持体フィルムよりなる感
光性エレメントの蛍光体を含有する感光性樹脂層を、加
熱圧着(ラミネート)により前記PDP用基板の空間に
埋め込み、次に、ネガフィルムを用いて、写真法により
紫外線等の活性光で像的に露光し、その後、アルカリ水
溶液等の現像液で、未露光部分を除去し、さらに、焼成
により不必要な有機成分を取り除いて、必要な部分のみ
に蛍光体パターンを形成するものである。
[0008] The method using a photosensitive element means that a photosensitive resin layer containing a phosphor of a photosensitive element comprising a photosensitive resin layer containing a phosphor and a support film is heat-pressed (laminated) to the PDP. Embedded in the space of the substrate for use, then, using a negative film, imagewise exposed to actinic light such as ultraviolet light by a photographic method, then, with a developing solution such as an aqueous alkaline solution, to remove the unexposed portions, Unnecessary organic components are removed by firing, and a phosphor pattern is formed only in a necessary portion.

【0009】従って、前記PDP用基板の空間に蛍光体
パターンを形成する際には、蛍光体の分散性を確認する
必要はなく、また、蛍光体分散スラリー液若しくはペー
ストに比べて保存安定性にも優れている。さらに、写真
法を用いるため、精度良く蛍光体パターンを形成するこ
とができる。
Therefore, when forming the phosphor pattern in the space of the PDP substrate, it is not necessary to confirm the dispersibility of the phosphor, and the storage stability is lower than that of the phosphor dispersion slurry or paste. Is also excellent. Furthermore, since a photographic method is used, a phosphor pattern can be formed with high accuracy.

【0010】しかし、従来の方法により感光性エレメン
トを使用して発光体を含有する感光性樹脂層を、ラミネ
ートにより前記PDP用基板の空間(セル内)に埋め込
むと、バリアリブ壁面及び空間底面上に蛍光体パターン
を均一な層厚、形状で形成することが困難であった。
However, when a photosensitive resin layer containing a luminous body is embedded in a space (in a cell) of the PDP substrate by lamination using a photosensitive element by a conventional method, the barrier rib wall surface and the space bottom surface are laid. It was difficult to form a phosphor pattern with a uniform thickness and shape.

【0011】また、従来の方法により感光性エレメント
を使用して蛍光体を含有する感光性樹脂層を、ラミネー
トにより前記PDP用基板の空間(セル内)に埋め込む
方法を3回繰り返して、赤、緑及び青に発色する蛍光体
を含有する感光性樹脂からなるパターンを形成する場
合、2回目に蛍光体を含有する感光性樹脂からなるパタ
ーンを形成する空間は、一部が1回目の蛍光体を含有す
る感光性樹脂で埋め込まれた空間と、まだ何も埋め込ま
れていない空間とに囲まれることになり、2回目に形成
される蛍光体を含有する感光性樹脂層の層厚や形状の均
一性をさらに悪化させる傾向があった。
Further, a method of embedding a phosphor-containing photosensitive resin layer in a space (in a cell) of the PDP substrate by lamination using a photosensitive element by a conventional method is repeated three times to obtain red, In the case of forming a pattern made of a photosensitive resin containing a phosphor that emits green and blue, a space where a pattern made of a photosensitive resin containing a phosphor is formed for the second time is partially partially formed of the first phosphor. Of the photosensitive resin layer containing the phosphor formed the second time is surrounded by the space embedded with the photosensitive resin containing There was a tendency to further deteriorate the uniformity.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、PD
P用基板の空間への埋め込み性(PDP用基板のバリア
リブ壁面及び基板底面上における蛍光体を含有するネガ
型感光性樹脂組成物層の形成性)が優れ、高精度で均一
であり、対称性に優れた形状の蛍光体パターンを形成で
きる蛍光体パターンの製造法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a PD
Excellent embedding into the space of the substrate for P (formation of the negative photosensitive resin composition layer containing the phosphor on the barrier rib wall surface and the bottom surface of the substrate for PDP), high accuracy, uniformity, and symmetry An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a phosphor pattern capable of forming a phosphor pattern having an excellent shape.

【0013】本発明の他の目的は、さらに作業性に優れ
た蛍光体パターンの製造法を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a phosphor pattern which is more excellent in workability.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、(I)バリア
リブが形成されたプラズマディスプレイパネル用基板の
放電空間内の基板底面及びリブ壁面上にポジ型感光性樹
脂層(C)を形成する工程、(II)活性光線を像的に
照射する工程、(III)現像によりポジ型感光性樹脂
層(C)の照射部を除去する工程、(IV)所望の部位
のみポジ型感光性樹脂層(C)が除去されたプラズマデ
ィスプレイパネル用基板上に、蛍光体を含有するネガ型
感光性樹脂組成物層(A)と熱可塑性樹脂層(B)と
(A)層を基板側にして加熱圧着する工程、(V)活性
光線を(II)の工程と同一のパターンで像的に照射す
る工程、(VI)現象により(IV)の工程で加熱圧着
された(A)層及び(B)層の不要部を除去する工程、
(VII)(II)〜(VI)の工程を繰り返して、
赤、緑及び青に発色する蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物からなる多色パターンを形成する工程及び(VII
I)焼成により不要分を除去する工程からなることを特
徴とする蛍光体パターンの製造法を提供するものであ
る。
According to the present invention, (I) a positive photosensitive resin layer (C) is formed on a bottom surface of a substrate and a wall surface of a rib in a discharge space of a substrate for a plasma display panel on which barrier ribs are formed. (II) a step of imagewise irradiating an actinic ray, (III) a step of removing an irradiated portion of the positive photosensitive resin layer (C) by development, and (IV) a positive photosensitive resin layer only at a desired portion. On the plasma display panel substrate from which (C) was removed, heating was performed with the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor, the thermoplastic resin layer (B), and the (A) layer facing the substrate. Compression bonding step, (V) imagewise irradiation with actinic ray in the same pattern as step (II), (VI) phenomenon, and (A) layer and (B) heat-pressed in step (IV) due to phenomenon. Removing unnecessary portions of the layer,
(VII) repeating steps (II) to (VI),
Forming a multicolor pattern comprising a photosensitive resin composition containing a phosphor that emits red, green and blue light; and (VII)
I) A method of manufacturing a phosphor pattern, comprising a step of removing unnecessary components by firing.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の(IV)の工程の所望の
部位のみポジ型感光性樹脂層(C)が除去されたプラズ
マディスプレイパネル用基板上に、蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)と熱可塑性樹脂層(B)
とを(A)層を基板側にして加熱圧着する工程は、例え
ば、(1)(IV−1)プラズマディスプレイパネル用
基板上に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂層(A)
が配置された状態で熱可塑性樹脂層(B)を加熱圧着す
る方法と(2)(IV−2)プラズマディスプレイパネ
ル用基板上に、支持体フィルム上に設けた熱可塑性樹脂
層(B)の上に蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成
物層(A)を設けた多層フィルムからなる感光性エレメ
ントを加熱圧着する方法により行われる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION On a plasma display panel substrate from which a positive photosensitive resin layer (C) has been removed only at a desired portion in step (IV) of the present invention, a negative photosensitive resin containing a phosphor is provided. Resin composition layer (A) and thermoplastic resin layer (B)
In the step of heat-pressing with the (A) layer on the substrate side, for example, (1) (IV-1) a negative photosensitive resin layer (A) containing a phosphor on a plasma display panel substrate
And (2) (IV-2) a method of forming a thermoplastic resin layer (B) provided on a support film on a substrate for a plasma display panel on a substrate for a plasma display panel. It is carried out by a method of thermocompression bonding a photosensitive element formed of a multilayer film on which a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor is provided.

【0016】本発明におけるバリアリブが形成されたプ
ラズマディスプレイパネル用基板(PDP用基板)とし
ては、例えば、ガラス板、合成樹脂板等の基板に、電極
及びバリアリブが形成されたものなどが挙げられる。こ
れらの基板には透明な接着のための表面処理が施されて
いてもよい。
As the substrate for a plasma display panel (substrate for PDP) on which barrier ribs are formed in the present invention, for example, a substrate in which electrodes and barrier ribs are formed on a substrate such as a glass plate or a synthetic resin plate can be mentioned. These substrates may be subjected to a surface treatment for transparent bonding.

【0017】バリアリブの形成には、特に制限はなく、
公知の材料を使用できるが、例えば、シリカ、熱硬化性
樹脂、低融点ガラス(酸化鉛等)、溶剤などを含むリブ
材を用いることができる。
The formation of the barrier rib is not particularly limited.
A known material can be used, and for example, a rib material containing silica, a thermosetting resin, a low-melting glass (such as lead oxide), a solvent, and the like can be used.

【0018】また、PDP用基板には、電極及びバリア
リブの他に、必要に応じて、誘電膜、絶縁膜、補助電
極、抵抗体等が形成されていてもよい。
Further, in addition to the electrodes and barrier ribs, a dielectric film, an insulating film, an auxiliary electrode, a resistor, and the like may be formed on the PDP substrate, if necessary.

【0019】これらのものを、基板へ形成する方法とし
ては、特に制限はなく、例えば、基板に、蒸着、スパッ
タリング、メッキ、塗布、印刷等の方法で電極を形成す
ることができ、印刷法、サンドブラスト法、埋め込み法
等の方法でバリアリブを形成することができる。
The method of forming these on a substrate is not particularly limited. For example, electrodes can be formed on a substrate by a method such as vapor deposition, sputtering, plating, coating, printing, and the like. The barrier rib can be formed by a method such as a sand blast method or an embedding method.

【0020】バリアリブは、通常、高さが20〜500
μm、幅が20〜200μmとされる。バリアリブで囲
まれた放電空間の形状には、特に制限はなく、格子状、
ストライプ状、ハニカム状、3角形状、楕円形状等が可
能であるが、通常、図1及び図2等に示すような、格子
状又はストライプ状の放電空間が形成される。
The barrier ribs usually have a height of 20 to 500.
μm and a width of 20 to 200 μm. There is no particular limitation on the shape of the discharge space surrounded by the barrier ribs,
Although a stripe shape, a honeycomb shape, a triangular shape, an elliptical shape, and the like are possible, a grid-like or stripe-like discharge space is usually formed as shown in FIGS.

【0021】図1及び図2において、基板1上には、バ
リアリブ2が形成されており、図1では格子状放電空間
3が、図2ではストライプ状放電空間4が形成されてい
る。放電空間の大きさは、PDPの大きさと解像度によ
って決められ、通常、図1のような格子状放電空間であ
れば、縦及び横の長さは、50μm〜1mmとなり、図
2のようなストライプ状放電空間であれば、間隔は、3
0μm〜1mmとなる。
1 and 2, a barrier rib 2 is formed on a substrate 1. In FIG. 1, a grid-shaped discharge space 3 is formed, and in FIG. 2, a stripe-shaped discharge space 4 is formed. The size of the discharge space is determined by the size and resolution of the PDP. Generally, in the case of a grid-like discharge space as shown in FIG. 1, the vertical and horizontal lengths are 50 μm to 1 mm, and the stripe as shown in FIG. In case of a discharge space, the interval is 3
0 μm to 1 mm.

【0022】本発明における、ポジ型感光性樹脂層
(C)としては、特に制限はないが、例えば、溶解抑制
剤系ポジ型レジスト、化学増幅ポジ型レジスト等が好ま
しいものとして挙げられる。溶解抑制剤系ポジ型レジス
トは、(h)バインダーと(i)感光剤を含有する。
The positive photosensitive resin layer (C) in the present invention is not particularly limited, but preferred examples thereof include a dissolution inhibitor-based positive resist and a chemically amplified positive resist. The dissolution inhibitor-based positive resist contains (h) a binder and (i) a photosensitizer.

【0023】(h)バインダーとしては、アルカリ水溶
液に可溶な樹脂が用いられ、例えば、クレゾールノボラ
ック樹脂、フェノールノボラック樹脂、メラミン−ホル
ムアルデヒド樹脂、ポリエチレンオキシド、ポリアクリ
ルアミド、ポリ−p−ビニルフェノール、ポリメタクリ
ル酸、ポリアクリル酸、クレゾールとヒドロキシベンジ
ルアルコールとの共重合体、スチレンとマレイミドの共
重合体、ポリジメチルグルタルイミド、ポリ−p−ヒド
ロキシスチレン等が挙げられる。(i)感光剤として
は、1,2−ナフトキノンジアジド化合物、5−ジアゾ
メルドラム酸、2−ジアゾ−1,3−ジケトシクロヘキ
サン−5−カルボン酸エステル、ジフェニルヨードニウ
ム塩、トリフェニルスルホニウム塩等が挙げられる。
(H) As the binder, a resin soluble in an aqueous alkali solution is used. For example, cresol novolak resin, phenol novolak resin, melamine-formaldehyde resin, polyethylene oxide, polyacrylamide, poly-p-vinylphenol, poly-p-vinylphenol Examples include methacrylic acid, polyacrylic acid, a copolymer of cresol and hydroxybenzyl alcohol, a copolymer of styrene and maleimide, polydimethylglutarimide, and poly-p-hydroxystyrene. (I) Photosensitizers include 1,2-naphthoquinonediazide compounds, 5-diazomeldrum acid, 2-diazo-1,3-diketocyclohexane-5-carboxylate, diphenyliodonium salts, triphenylsulfonium salts and the like. Is mentioned.

【0024】化学増幅ポジ型レジストとしては、活性光
線の照射により酸を発生する化合物と、酸により分解な
どの反応を起こし、現像液に可溶化する化合物とを組み
合わせた感光システムが挙げられ、例えば、光照射によ
り酸を発生する化合物と、アセタール化合物との組み合
わせ、主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマ
ーとの組み合わせ、エノールエーテル化合物との組み合
わせ、主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組
み合わせ、カルボン酸のtert−ブチルエステル又は
フェノールのtert−ブチルカルボナート基を有する
重合体との組み合わせ、分子内にカルボン酸のtert
−アミルエステル構造を有する化合物との組み合わせ等
が挙げられる。
Examples of the chemically amplified positive resist include a photosensitive system in which a compound that generates an acid upon irradiation with an actinic ray and a compound that causes a reaction such as decomposition by the acid and solubilizes in a developing solution are used. , A combination of a compound generating an acid by light irradiation and an acetal compound, a combination of a polymer having an acetal or ketal group in the main chain, a combination of an enol ether compound, and a combination of a polymer having an orthoester group in the main chain , Tert-butyl ester of carboxylic acid or a polymer having tert-butyl carbonate group of phenol, and tert-butyl carboxylic acid in the molecule.
And a combination with a compound having an amyl ester structure.

【0025】これらの中で、活性光線の照射により酸を
発生する化合物と、分子内にカルボン酸のtert−ア
ミルエステル構造を有する化合物との組み合わせによる
感光システムは、光感度が高く、安定性が良好で、現像
裕度が広いので、より好ましい。
Among these, a photosensitive system using a combination of a compound that generates an acid upon irradiation with actinic rays and a compound having a tert-amyl ester structure of a carboxylic acid in the molecule has high photosensitivity and high stability. It is more preferable because it is good and has a wide development latitude.

【0026】これらの中で、活性光線の照射により酸を
発生する化合物と、分子内にカルボン酸のtert−ア
ミルエステル構造を有する化合物との組み合わせによる
感光システムとしては、例えば特開昭59−45439
号公報に開示されているような化合物の組み合わせが挙
げられる。
Among these, a photosensitive system using a combination of a compound that generates an acid upon irradiation with actinic rays and a compound having a tert-amyl ester structure of a carboxylic acid in the molecule is described in, for example, JP-A-59-45439.
Combinations of compounds as disclosed in Japanese Patent Publication No.

【0027】それらの中で、下記一般式(ア)又は
(イ)で表されるニトロベンジル誘導体(式中、Rは炭
素数1〜16のアルキル基を示し、好ましくはブチル基
である。)
Among them, a nitrobenzyl derivative represented by the following general formula (A) or (A) (wherein, R represents an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, and is preferably a butyl group).

【0028】[0028]

【化1】 Embedded image

【0029】[0029]

【化2】 とtert−アミルアクリレート及びtert−アミル
アクリレートの単独共重合体、若しくは他の共重合可能
なモノマーとの共重合体との組み合わせが特に好まし
い。
Embedded image And tert-amyl acrylate and a homopolymer of tert-amyl acrylate, or a copolymer with another copolymerizable monomer.

【0030】ここでいう他の共重合可能なモノマーとし
ては、例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリ
レート、n−ブチルメタクリレート、メチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、シ
クロヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、アクリロニトリル、スチレ
ン、α−メチルスチレン、ジアセトンアクリルアミド、
ビニルトルエン等が挙げられ、これらは1種以上併用し
て共重合することができる。これら他の共重合可能なモ
ノマーの共重合量は、共重合体を構成する全モノマーの
総量100重量部のうち、80重量部以下とすることが
好ましい。更に好ましくは70〜20重量部とする。8
0重量部を超えると光感度が低くなる傾向がある。
Examples of other copolymerizable monomers mentioned herein include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, 2-hydroxyethyl Methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, acrylonitrile, styrene, α-methylstyrene, diacetone acrylamide,
Vinyl toluene and the like can be mentioned, and these can be copolymerized by using one or more kinds in combination. The copolymerization amount of these other copolymerizable monomers is preferably 80 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total amount of all the monomers constituting the copolymer. More preferably, it is 70 to 20 parts by weight. 8
If it exceeds 0 parts by weight, the light sensitivity tends to decrease.

【0031】前記共重合体の合成は、前記共重合性モノ
マーを有機溶媒中でアゾビスイソブチロニトリル、アゾ
ビスジメチルバレロニトリル、過酸化ベンゾイル等の重
合開始剤を用いて一般的な溶液重合により得ることがで
きる。このとき用いる有機溶媒としては、メトキシエタ
ノール、エトキシエタノール、トルエン、キシレン、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘ
キサノール、酢酸ブチル、クロルベンゼン、ジオキサ
ン、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどが用
いられる。この共重合体は、重量平均分子量(GPCに
よるポリスチレン換算)が5,000〜300,000
とすることが好ましく、10,000〜150,000
とすることがより好ましい。この重量平均分子量が、
5,000未満では、レジストの機械強度が弱くなる傾
向があり、300,000を超えると現像性(露光部が
現像により、容易に除去できる性質)が悪くなる傾向が
ある。
The copolymer is synthesized by a general solution polymerization method using the above-mentioned copolymerizable monomer in an organic solvent by using a polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile, azobisdimethylvaleronitrile, and benzoyl peroxide. Can be obtained by As the organic solvent used at this time, methoxyethanol, ethoxyethanol, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanol, butyl acetate, chlorobenzene, dioxane, propylene glycol monomethyl ether and the like are used. This copolymer has a weight average molecular weight (in terms of polystyrene by GPC) of 5,000 to 300,000.
Preferably, 10,000 to 150,000
Is more preferable. This weight average molecular weight is
If it is less than 5,000, the mechanical strength of the resist tends to be weak, and if it exceeds 300,000, the developability (the property that the exposed portion can be easily removed by development) tends to be poor.

【0032】ポジ型感光性樹脂(C)の現像液として
は、例えば、メタケイ酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、
水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム等の
無機アルカリ及び、トリエタノールアミン、水酸化テト
ラメチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げ
られる。アルカリ水溶液の濃度は、0.1〜15重量%
が好ましく、0.5〜5重量%がより好ましい。0.1
重量%未満では露光部を短時間に完全に除去できないこ
とがあり、また、15重量%を超えると未露光部も一部
侵される可能性がある。現像方法は、上記の現像液を吹
きつけるか、現像液に浸漬するなどして行われる。
Examples of the developer for the positive photosensitive resin (C) include sodium metasilicate, sodium carbonate,
Aqueous solutions of inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium carbonate and potassium hydroxide, and organic alkalis such as triethanolamine and tetramethylammonium hydroxide are included. The concentration of the aqueous alkali solution is 0.1 to 15% by weight.
Is preferable, and 0.5 to 5% by weight is more preferable. 0.1
If it is less than 15% by weight, the exposed portion may not be completely removed in a short time, and if it exceeds 15% by weight, the unexposed portion may be partially damaged. The developing method is performed by spraying the above-mentioned developer or immersing the developer in the developer.

【0033】本発明における蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)としては、蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層であれば特に制限はないが、例
えば、(a)フィルム性付与ポリマー、(b)末端にエ
チレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物、
(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する光
開始剤及び(d)蛍光体を含む層等が好ましいものとし
て挙げられる。
The negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor in the present invention is not particularly limited as long as it is a negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor. a) a film-imparting polymer, (b) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at a terminal,
Preferred are (c) a photoinitiator that generates free radicals upon irradiation with actinic rays, and (d) a layer containing a phosphor.

【0034】(a)フィルム性付与ポリマーとしては、
ビニル共重合体が好ましく、ビニル共重合体に用いられ
るビニル単量体としては、例えば、アクリル酸、メタク
リル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、アクリル
酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メ
タクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、メタクリ
ル酸n−プロピル、アクリル酸iso−プロピル、メタ
クリル酸iso−プロピル、アクリル酸n−ブチル、メ
タクリル酸n−ブチル、アクリル酸iso−ブチル、メ
タクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec−ブチ
ル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert
−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸
ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシ
ル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタ
クリル酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メ
タクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、
メタクリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル
酸ノニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、ア
クリル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸
テトラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸
ヘキサデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸
オクタデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸
エイコシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコ
シル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチ
ル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘ
キシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シク
ロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸
ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニ
ル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチ
ル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸メトキシ
ジエチレングリコール、メタクリル酸メトキシジエチレ
ングリコール、アクリル酸メトキシジプロピレングリコ
ール、メタクリル酸メトキシジプロピレングリコール、
アクリル酸メトキシトリエチレングリコール、メタクリ
ル酸メトキシトリエチレングリコール、アクリル酸2−
ヒドロキシエチル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチ
ル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジ
メチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチ
ル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジ
メチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノプ
ロピル、アクリル酸2−クロロエチル、メタクリル酸2
−クロロエチル、アクリル酸2−フルオロエチル、メタ
クリル酸2−フルオロエチル、アクリル酸2−シアノエ
チル、メタクリル酸2−シアノエチル、スチレン、α−
メチルスチレン、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビ
ニル、N−ビニルピロリドン、ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン、アクリルアミド、メタクリルアミ
ド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙げら
れる。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用
される。
(A) As the film-imparting polymer,
A vinyl copolymer is preferable, and as a vinyl monomer used for the vinyl copolymer, for example, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, Ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-methacrylate Butyl, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, tert-acrylate
-Butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate,
Octyl methacrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, methacrylic acid Octadecyl, eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate, docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate Benzyl, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate, methacrylate Shiechiru, methoxy acrylic acid diethylene glycol methacrylate methoxy diethylene glycol, methoxy dipropylene glycol acrylate, methoxy dipropylene glycol methacrylate,
Methoxy triethylene glycol acrylate, methoxy triethylene glycol methacrylate, acrylic acid 2-
Hydroxyethyl, 2-hydroxyethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, 2-chloroethyl acrylate, Methacrylic acid 2
-Chloroethyl, 2-fluoroethyl acrylate, 2-fluoroethyl methacrylate, 2-cyanoethyl acrylate, 2-cyanoethyl methacrylate, styrene, α-
Examples include methylstyrene, vinyltoluene, vinyl chloride, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, butadiene, isoprene, chloroprene, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0035】(a)フィルム性付与ポリマーの重量平均
分子量は、5,000〜300,000とすることが好
ましく、20,000〜150,000とすることがよ
り好ましい。この重量平均分子量が、5,000未満で
は、感光性エレメントとした場合にフィルム形成性及び
可とう性が低下する傾向があり、300,000を超え
ると、現像性(不要部が現像により、容易に除去できる
性質)が低下する傾向がある。
(A) The weight average molecular weight of the film imparting polymer is preferably from 5,000 to 300,000, more preferably from 20,000 to 150,000. If the weight average molecular weight is less than 5,000, the film formability and flexibility of the photosensitive element tend to decrease, and if it exceeds 300,000, the developability (unnecessary portions are easily developed by development). Tend to be reduced).

【0036】なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエー
ションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリス
チレン検量線を用いて換算した値である。
The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve.

【0037】また、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
が、公知の各種現像液により現像可能となるように、
(a)フィルム性付与ポリマーのカルボキシル基含有率
(酸価(mgKOH/g)で規定できる)を適宜調整す
ることができる。
Further, the photosensitive resin composition containing the phosphor can be developed with various known developing solutions.
(A) The carboxyl group content (defined by the acid value (mgKOH / g)) of the film-imparting polymer can be appropriately adjusted.

【0038】例えば、炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム
等のアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価
を、90〜260とすることが好ましい。この酸価が、
90未満では、現像が困難となる傾向があり、260を
超えると、耐現像液性(現像により除去されずに残りパ
ターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質)
が低下する傾向がある。
For example, when developing with an aqueous alkali solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is preferably set to 90 to 260. This acid value is
If it is less than 90, development tends to be difficult, and if it exceeds 260, resistance to developing solution (the property that the remaining pattern that is not removed by development and remains as a pattern is not attacked by the developing solution).
Tends to decrease.

【0039】また、水又はアルカリ水溶液と1種以上の
有機溶剤とからなる水系現像液を用いて現像する場合に
は、酸価を、16〜260とすることが好ましい。この
酸価が、16未満では、現像が困難となる傾向があり、
260を超えると、耐現像液性が低下する傾向がある。
When developing using an aqueous developing solution comprising water or an aqueous alkaline solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably from 16 to 260. If the acid value is less than 16, development tends to be difficult,
If it exceeds 260, the developer resistance tends to decrease.

【0040】さらに、1,1,1−トリクロロエタン等
の有機溶剤現像液を用いる場合には、カルボキシル基を
含有しなくても良い。
Furthermore, when an organic solvent developer such as 1,1,1-trichloroethane is used, it does not need to contain a carboxyl group.

【0041】(b)末端にエチレン性不飽和基を有する
光重合性不飽和化合物としては、従来、光重合性多官能
モノマーとして知られているものを全て用いることがで
きる。
As the photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal (b), all compounds conventionally known as photopolymerizable polyfunctional monomers can be used.

【0042】例えば、多価アルコールのアクリレート又
はメタクリレート(ジエチレングリコールジアクリレー
ト、ジエチレングリコールジメタクリレート、テトラエ
チレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリ
コールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジア
クリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレー
ト、テトラプロピレングリコールジアクリレート、テト
ラプロピレングリコールジメタクリレート、ヘキサプロ
ピレングリコールジアクリレート、ヘキサプロピレング
リコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコール
ジアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールト
リメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリ
レート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、
1,9−ノナンジオールジアクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルペンタメタクリレート等)、エポキシアクリレート又
はエポキシメタクリレート(2,2−ビス(4−メタク
リロキシエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−アクリロキシエトキシフェニル)プロパン、ビス
フェノールA/エピクロルヒドリン系のエポキシ樹脂
の、アクリル酸又はメタクリル酸付加物等)、分子中に
ベンゼン環を有する低分子不飽和ポリエステルのアクリ
レート又はメタクリレート(無水フタル酸/ネオペンチ
ルグリコール/アクリル酸=1/2/2(モル比)の縮
合物等)、トリメチロールプロパントリグリシジルエー
テルのアクリル酸又はメタクリル酸との付加物、トリメ
チルヘキサメチレンジイソシアネートと2価アルコール
のアクリル酸モノエステル又はメタクリル酸モノエステ
ルとの反応で得られるウレタンアクリレート化合物又は
ウレタンメタクリレート化合物、トリス(アクリロキシ
エチル)イソシアヌレート、トリス(メタクリロキシエ
チル)イソシアヌレート、ポリスチリルエチルアクリレ
ート、ポリスチリルエチルメタクリレート、4−(2,
2,6,6−テトラメチルピペリジニル)アクリレー
ト、4−(2,2,6,6−テトラメチルピペリジニ
ル)メタクリレート、ビスフェノールAジアクリレー
ト、ビスフェノールAジメタクリレートなどが挙げられ
る。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
されるが、本発明における蛍光体を含有する感光性樹脂
組成物層(A)は、焼成により不要な有機成分を除去す
る必要があるため、熱分解性が良好であるポリエチレン
グリコールジメタクリレートが好ましい。
For example, polyhydric alcohol acrylates or methacrylates (diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate) Propylene glycol dimethacrylate, hexapropylene glycol diacrylate, hexapropylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triac Rate, pentaerythritol trimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate,
1,9-nonanediol diacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, etc., epoxy acrylate or epoxy methacrylate (2,2-bis (4-methacryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis ( 4-acryloxyethoxyphenyl) propane, bisphenol A / epichlorohydrin epoxy resin, acrylic acid or methacrylic acid adduct, etc., and acrylate or methacrylate of phthalic anhydride / low molecular weight unsaturated polyester having a benzene ring in the molecule. Neopentyl glycol / acrylic acid = 1/2/2 (molar ratio), etc.), adduct of trimethylolpropane triglycidyl ether with acrylic acid or methacrylic acid, trimethylhexamethylene di Urethane acrylate compounds or urethane methacrylate compounds obtained by the reaction of a cyanic acid and a monohydric acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, tris (methacryloxyethyl) isocyanurate, polystyrylethyl Acrylate, polystyrylethyl methacrylate, 4- (2,
2,6,6-tetramethylpiperidinyl) acrylate, 4- (2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl) methacrylate, bisphenol A diacrylate, bisphenol A dimethacrylate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. However, the photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor in the present invention needs to remove unnecessary organic components by baking, Polyethylene glycol dimethacrylate having good degradability is preferred.

【0043】(c)活性光線の照射により遊離ラジカル
を生成する光開始剤としては、例えば、芳香族ケトン
(ベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′
−ジアミノベンゾフエノン(ミヒラーケトン)、N,
N′−テトラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノ
ン、4−メトキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルホリノフェニル)−ブタノン−1,2,2−ジメトキ
シ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロ
キシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−メチル
−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォ
リノプロパノン−1、2,4−ジエチルチオキサント
ン、2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等)、ベンゾインエーテル(ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等)、ベンゾイン(メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等)、ベンジル誘導体(ベンジルジメチルケタ
ール等)、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量
体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニル
イミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−
4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量
体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−フェニル
イミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェ
ニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体
等)、アクリジン誘導体(9−フェニルアクリジン、
1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等)
などが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組
み合わせて使用される。
(C) Examples of the photoinitiator which generates free radicals upon irradiation with actinic rays include aromatic ketones (benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4 '
-Diaminobenzophenone (Michler's ketone), N,
N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,2- Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone-1,2,4- Diethylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, etc.), benzoin ether (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.), benzoin (methyl benzoin, ethyl benzoin, etc.), benzyl derivative (benzyl dimethyl ketal, etc.), 2 , 4,5 Triarylimidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl) -
4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-phenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, -(2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like, and acridine derivatives (9-phenylacridine,
1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane and the like
And the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0044】(d)蛍光体としては、特に限定はなく、
通常の金属酸化物を主体とするものが用いられる。
(D) The phosphor is not particularly limited.
A material mainly composed of a normal metal oxide is used.

【0045】赤色発色の蛍光体としては、例えば、Y2
2S:Eu、Zn3(PO42:Mn、Y33:Eu、
YVO4:Eu、(Y,Gd)BO3:Eu、γ−Zn3
(PO42:Mn、(ZnCd)S:Ag+In2O等
が挙げられる。
As a red-colored phosphor, for example, Y 2
O 2 S: Eu, Zn 3 (PO 4) 2: Mn, Y 3 0 3: Eu,
YVO 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, γ-Zn 3
(PO 4 ) 2 : Mn, (ZnCd) S: Ag + In 2 O and the like.

【0046】緑色発色の蛍光体としては、例えば、Zn
S:Cu、Zn2SiO4:Mn、ZnS:Cu+Zn2
SiO4:Mn、Gd22S:Tb、Y3Al512:C
e、ZnS:Cu,Al、Y22S:Tb、ZnO:Z
n、ZnS:Cu,Al+In 23、LaPO4:C
e,Tb、BaO・6Al23:Mn等が挙げられる。
As a green-colored phosphor, for example, Zn
S: Cu, ZnTwoSiOFour: Mn, ZnS: Cu + ZnTwo
SiOFour: Mn, GdTwoOTwoS: Tb, YThreeAlFiveO12: C
e, ZnS: Cu, Al, YTwoOTwoS: Tb, ZnO: Z
n, ZnS: Cu, Al + In TwoOThree, LaPOFour: C
e, Tb, BaO.6AlTwoOThree: Mn and the like.

【0047】青色発色の蛍光体としては、例えば、Zn
S:Ag、ZnS:Ag,Al、ZnS:Ag,Ga,
Al、ZnS:Ag,Cu,Ga,Cl、ZnS:Ag
+In23、Ca259Cl:Eu2+、(Sr,C
a,Ba,Mg)10(PO46C12:Eu2+、Sr10
(PO46Cl2:Eu2+、BaMgAl1017:Eu
2+、BaMgAl1423:Eu2+、BaMgAl
1626:Eu2+等が挙げられる。
As a blue-emitting phosphor, for example, Zn
S: Ag, ZnS: Ag, Al, ZnS: Ag, Ga,
Al, ZnS: Ag, Cu, Ga, Cl, ZnS: Ag
+ In 2 O 3 , Ca 2 B 5 O 9 Cl: Eu 2+ , (Sr, C
a, Ba, Mg) 10 (PO 4 ) 6 C 12 : Eu 2+ , Sr 10
(PO 4 ) 6 Cl 2 : Eu 2+ , BaMgAl 10 O 17 : Eu
2+ , BaMgAl 14 O 23 : Eu 2+ , BaMgAl
16 O 26 : Eu 2+ and the like.

【0048】(a)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、感光性エレメントとしてロール状で供給した場合、
蛍光体含有感光性樹脂組成物がロール端部からしみ出す
(以下エッジフュージョンと記す)ことにより、感光性
エレメントのラミネート時にロールからの繰り出しが困
難となり、またしみ出した部分がPDP用基板の空間に
部分的に過剰に埋め込まれ、製造歩留りが著しく低下す
る等の問題が生じたり、フィルム形成性が低下する等の
傾向があり、90重量部を超えると、感度が不充分とな
る傾向がある。
The amount of component (a) is preferably from 10 to 90 parts by weight, more preferably from 20 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of components (a) and (b). preferable. When the compounding amount is less than 10 parts by weight, when the photosensitive element is supplied in a roll form,
When the phosphor-containing photosensitive resin composition exudes from the end of the roll (hereinafter, referred to as edge fusion), it becomes difficult to draw out the photosensitive element from the roll at the time of laminating the photosensitive element, and the extruded portion is a space of the PDP substrate. In some cases, there is a problem that the film is partially embedded excessively and the production yield is remarkably reduced, the film formability is lowered, and when the content exceeds 90 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient. .

【0049】(b)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物の感度が
不充分となる傾向があり、90重量部を超えると、感光
性エレメントとした場合に、蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物が流動によって端部からしみ出したり、
フィルム形成性が低下する等の傾向がある。
The amount of the component (b) is preferably 10 to 90 parts by weight, more preferably 20 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b). preferable. When the amount is less than 10 parts by weight, the sensitivity of the negative photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient. Negative photosensitive resin composition containing the body or exuded from the edge by flow,
There is a tendency that film formability decreases.

【0050】(c)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の総量100重量部に対して、0.01〜3
0重量部とすることが好ましく、0.1〜20重量部と
することがより好ましい。この配合量が、0.01重量
部未満では、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
の感度が不充分となる傾向があり、30重量部を超える
と、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物の露光表
面での活性光線の吸収が増大して、内部の光硬化が不充
分となる傾向がある。
The amount of the component (c) is 0.01 to 3 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b).
It is preferably 0 parts by weight, more preferably 0.1 to 20 parts by weight. When the amount is less than 0.01 part by weight, the sensitivity of the negative photosensitive resin composition containing the phosphor tends to be insufficient. The absorption of actinic rays on the exposed surface of the photosensitive resin composition tends to increase, and the internal photocuring tends to be insufficient.

【0051】(d)成分の配合量は、(a)成分、
(b)成分及び(c)成分の総量100重量部に対し
て、10〜300重量部とすることが好ましく、50〜
250重量部とすることがより好ましく、70〜200
重量部とすることが特に好ましい。この配合量が、10
重量部未満では、PDPとして発光させた場合に発光効
率が低下する傾向があり、300重量部を超えると、感
光性エレメントとした場合に、フィルム形成性が低下し
たり、可とう性が低下する傾向がある。
The amount of component (d) is as follows:
The total amount of the components (b) and (c) is preferably 10 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight, and 50 to 300 parts by weight.
250 parts by weight, more preferably 70 to 200 parts by weight.
It is particularly preferred to use parts by weight. This blending amount is 10
If the amount is less than part by weight, the luminous efficiency tends to decrease when light is emitted as a PDP. If the amount exceeds 300 parts by weight, the film formability or flexibility decreases when the photosensitive element is used. Tend.

【0052】本発明における蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)を構成する感光性樹脂組成物に
は、長期間増粘を起こさず、貯蔵安定性を良好にするた
めに、カルボキシル基を有する化合物を含有させること
ができる。カルボキシル基を有する化合物としては、例
えば、飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸、脂肪族二塩基酸、芳
香族二塩基酸、脂肪族三塩基酸、芳香族三塩基酸等が挙
げられる。
The photosensitive resin composition constituting the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor in the present invention does not cause thickening for a long period of time and has good storage stability. And a compound having a carboxyl group. Examples of the compound having a carboxyl group include saturated fatty acids, unsaturated fatty acids, aliphatic dibasic acids, aromatic dibasic acids, aliphatic tribasic acids, and aromatic tribasic acids.

【0053】具体的には、例えば、ぎ酸、酢酸、クロロ
酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、プロピオン酸、
カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、トリデカン
酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、ヘ
プタデカン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキジ
ン酸、パルミトオレイン酸、オレイン酸、エライジン
酸、リノレン酸、リノール酸、しゅう酸、マロン酸、メ
チルマロン酸、エチルマロン酸、マロン酸モノメチル、
マロン酸モノエチル、こはく酸、メチルこはく酸、アジ
ピン酸、メチルアジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、
アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、イタコン酸、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト
酸、クエン酸、サリチル酸、ピルビン酸、リンゴ酸等が
挙げられる。
Specifically, for example, formic acid, acetic acid, chloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, propionic acid,
Capric, undecanoic, lauric, tridecanoic, myristic, pentadecanoic, palmitic, heptadecanoic, stearic, nonadecanoic, arachidic, palmitooleic, oleic, elaidic, linolenic, linoleic, Oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, monomethyl malonate,
Monoethyl malonate, succinic acid, methylsuccinic acid, adipic acid, methyladipic acid, pimelic acid, suberic acid,
Azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, itaconic acid,
Examples include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, citric acid, salicylic acid, pyruvic acid, malic acid and the like.

【0054】中でも、増粘を抑制する効果が高い点か
ら、しゅう酸、マロン酸、メチルマロン酸、エチルマロ
ン酸、クエン酸等が好ましく、しゅう酸、マロン酸、ク
エン酸等がより好ましい。これらは単独で又は2種類以
上組み合わせて使用される。
Among these, oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, citric acid and the like are preferred, and oxalic acid, malonic acid, citric acid and the like are more preferred, from the viewpoint of a high effect of suppressing thickening. These are used alone or in combination of two or more.

【0055】カルボキシル基を有する化合物の配合量
は、(a)成分100重量部に対して、0.01〜30
重量部とすることが好ましい。この配合量が、0.01
重量部未満では、保存安定性の効果が低くなる傾向があ
り、30重量部を超えると、感度が不充分となる傾向が
ある。
The amount of the compound having a carboxyl group is 0.01 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the component (a).
It is preferable to use parts by weight. When the blending amount is 0.01
If the amount is less than 30 parts by weight, the effect of storage stability tends to decrease, and if it exceeds 30 parts by weight, sensitivity tends to be insufficient.

【0056】本発明における蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物層(A)を構成する感光性樹脂組成物には、蛍
光体の分散を良好とするために、分散剤を添加すること
が好ましい。
It is preferable to add a dispersant to the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor in the present invention in order to improve the dispersion of the phosphor. .

【0057】分散剤としては、無機分散剤(シリカゲル
系、ベントナイト系、カオリナイト系、タルク系、ヘク
トライト系、モンモリロナイト系、サポナイト系、バイ
デライト系等)、有機分散剤(脂肪族アマイド系、脂肪
族エステル系、酸化ポリエチレン系、硫酸エステル系ア
ニオン活性剤、ポリカルボン酸アミン塩系、ポリカルボ
ン酸系、ポリアマイド系、高分子ポリエーテル系、アク
リル共重合物系、特殊シリコン系等)等が挙げられる。
これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用する
ことができる。
Examples of the dispersant include inorganic dispersants (silica gel type, bentonite type, kaolinite type, talc type, hectorite type, montmorillonite type, saponite type, beidellite type, etc.), and organic dispersants (aliphatic amide type, fat Group-based esters, polyethylene oxides, sulfate ester-based anionic surfactants, polycarboxylic acid amine salts, polycarboxylic acids, polyamides, polymer polyethers, acrylic copolymers, special silicones, etc.) Can be
These can be used alone or in combination of two or more.

【0058】分散剤の使用量としては、特に制限はな
く、(a)成分100重量部に対して、0.01〜10
0重量部とすることが好ましい。この使用量が、0.0
1重量部未満では、添加効果が発現しない傾向があり、
100重量部を超えると、パターン形成精度(蛍光体を
含有するネガ型感光性樹脂組成物からなるパターンを、
現像後、寸法的に正確に、所望の形状で得られる性質)
が低下する傾向がある。
The amount of the dispersant used is not particularly limited, and is preferably 0.01 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of the component (a).
It is preferably 0 parts by weight. If this usage is 0.0
If it is less than 1 part by weight, the effect of addition tends not to be exhibited,
If it exceeds 100 parts by weight, the pattern formation accuracy (a pattern made of a negative photosensitive resin composition containing a phosphor,
After development, it is dimensionally accurate and has the desired shape.)
Tends to decrease.

【0059】本発明における蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物層(A)を構成する感光性樹脂組成物には、焼
成後、PDP用基板から蛍光体が剥離しないようにする
ために、結着剤を使用することが好ましい。
In the present invention, the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor is bonded to the phosphor for preventing the phosphor from peeling off the PDP substrate after firing. It is preferable to use an adhesive.

【0060】結着剤としては、例えば、低融点ガラス、
金属アルコキシド、シランカップリング剤等が挙げられ
る。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
される。
As the binder, for example, low melting glass,
Metal alkoxides, silane coupling agents and the like can be mentioned. These are used alone or in combination of two or more.

【0061】結着剤の使用量としては、特に制限はな
く、(d)成分100重量部に対して、0.01〜10
0重量部とすることが好ましく、0.05〜50重量部
とすることがより好ましく、0.1〜30重量部とする
ことが特に好ましい。この使用量が、0.01重量部未
満では、蛍光体の結着効果が発現しない傾向があり、1
00重量部を超えると、発光効率が低下する傾向があ
る。
The amount of the binder used is not particularly limited, and is 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (d).
The amount is preferably 0 parts by weight, more preferably 0.05 to 50 parts by weight, and particularly preferably 0.1 to 30 parts by weight. If the amount is less than 0.01 part by weight, the effect of binding the phosphor tends not to be exhibited, and
If it exceeds 00 parts by weight, the luminous efficiency tends to decrease.

【0062】また、本発明における蛍光体を含有する感
光性樹脂組成物層(A)を構成するネガ型感光性樹脂組
成物には、染料、発色剤、可塑剤、顔料、重合禁止剤、
表面改質剤、安定剤、密着性付与剤、熱硬化剤等を必要
に応じて添加することができる。
The negative photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor according to the present invention includes a dye, a color former, a plasticizer, a pigment, a polymerization inhibitor,
A surface modifier, a stabilizer, an adhesion-imparting agent, a thermosetting agent, and the like can be added as needed.

【0063】本発明における熱可塑性樹脂層(B)を構
成する樹脂としては、加熱圧着時の温度で軟化するもの
であれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩
化ビニリデン、ポリスチレン、ポリビニルトルエン、ポ
リアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、エ
チレンと酢酸ビニルの共重合体、エチレンとアクリル酸
エステルの共重合体、塩化ビニルと酢酸ビニルの共重合
体、スチレンとアクリル酸エステル又はメタクリル酸エ
ステルとの共重合体、ビニルトルエンとアクリル酸エス
テル又はメタクリル酸エステルとの共重合体、ポリビニ
ルアルコール系樹脂(ポリアクリル酸エステル又はポリ
メタクリル酸エステルの加水分解物、ポリ酢酸ビニルの
加水分解物、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体の加水
分解物、エチレンとアクリル酸エステルとの共重合体の
加水分解物、塩化ビニルと酢酸ビニルとの共重合体の加
水分解物、スチレンとアクリル酸エステル又はメタクリ
ル酸エステルとの共重合体の加水分解物、ビニルトルエ
ンとアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルとの
共重合体の加水分解物等)、カルボキシアルキルセルロ
ースの水溶性塩、水溶性セルロースエステル類、カルボ
キシアルキルでん粉の水溶性塩、ポリビニルピロリド
ン、不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な不飽和単
量体を共重合することにより得られるカルボキシル基を
有する樹脂などが挙げられる。
The resin constituting the thermoplastic resin layer (B) in the present invention is not particularly limited as long as it is softened at the temperature during the heat and pressure bonding. For example, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate , Polyvinylidene chloride, polystyrene, polyvinyl toluene, polyacrylate, polymethacrylate, copolymer of ethylene and vinyl acetate, copolymer of ethylene and acrylate, copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, styrene And acrylic acid or methacrylic acid ester, copolymer of vinyl toluene and acrylic or methacrylic acid ester, polyvinyl alcohol resin (polyacrylic acid ester or polymethacrylic acid ester hydrolyzate, poly Hydrolyzate of vinyl acetate, ethyl Hydrolyzate of a copolymer of ethylene and acrylate, hydrolyzate of a copolymer of ethylene and acrylate, hydrolyzate of a copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, styrene and acrylate or Hydrolysates of copolymers with methacrylic esters, hydrolysates of copolymers of vinyl toluene with acrylic esters or methacrylic esters, etc.), water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose esters, carboxy Examples thereof include water-soluble salts of alkyl starch, polyvinylpyrrolidone, and resins having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith.

【0064】また、本発明における熱可塑性樹脂層
(B)は、混色防止、作業性の向上等の点から、(e)
熱可塑性樹脂、(f)末端にエチレン性不飽和基を有す
る光重合性不飽和化合物及び(g)活性光線の照射によ
り遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなるネガ
型感光性樹脂組成物により構成することもできる。
The thermoplastic resin layer (B) according to the present invention is preferably made of (e) from the viewpoint of preventing color mixing and improving workability.
Negative-type photosensitive resin composition comprising: a thermoplastic resin; (f) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at a terminal; and (g) a photoinitiator that generates free radicals upon irradiation with actinic light. It can also be constituted by an object.

【0065】(e)熱可塑性樹脂としては、前記した熱
可塑性樹脂層(B)を構成する樹脂として使用可能な樹
脂及び蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を構成する感光性樹脂組成物に使用可能な(a)
フィルム性付与ポリマーを使用することができる。
(E) As the thermoplastic resin, a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a resin usable as a resin constituting the above-mentioned thermoplastic resin layer (B) and a phosphor is constituted. (A) usable for photosensitive resin composition
Film imparting polymers can be used.

【0066】(f)末端にエチレン性不飽和基を有する
光重合性不飽和化合物としては、前記した蛍光体を含有
するネガ型感光性樹脂組成物層(A)を構成するネガ型
感光性樹脂組成物に使用可能な(b)末端にエチレン性
不飽和基を有する光重合性不飽和化合物を使用すること
ができる。
(F) As the photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at the terminal, the negative photosensitive resin constituting the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the above-mentioned phosphor can be used. A (b) photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at a terminal, which can be used in the composition, can be used.

【0067】(g)活性光線の照射により遊離ラジカル
を生成する光開始剤としては、前記した蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)を構成するネガ型感
光性樹脂組成物に使用可能な(c)活性光線の照射によ
り遊離ラジカルを生成する光開始剤を使用することがで
きる。
(G) As the photoinitiator which generates free radicals upon irradiation with actinic rays, the negative photosensitive resin composition constituting the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the above-mentioned phosphor is used. And (c) a photoinitiator that generates free radicals upon irradiation with actinic rays can be used.

【0068】(e)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、感光性エレメントとした場合に、ネガ型感光性樹脂
組成物が流動によって端部からしみ出したり、フィルム
形成性が低下する等の傾向があり、90重量部を超える
と、感度が不充分となる傾向がある。
The amount of component (e) is preferably from 10 to 90 parts by weight, more preferably from 20 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of components (e) and (f). preferable. When the compounding amount is less than 10 parts by weight, when the photosensitive element is used as a photosensitive element, the negative photosensitive resin composition tends to exude from an end portion due to flow, or the film-forming property tends to decrease, and 90 parts by weight. If the amount exceeds the above range, the sensitivity tends to be insufficient.

【0069】(f)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量が100重量部として、10〜90重
量部とすることが好ましく、20〜80重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、10重量部未満で
は、感度が不充分となる傾向があり、90重量部を超え
ると、感光性エレメントとした場合に、ネガ型感光性樹
脂組成物が流動によって端部からしみ出したり、フィル
ム形成性が低下する等の傾向がある。
The amount of component (f) is preferably 10 to 90 parts by weight, more preferably 20 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of components (e) and (f). preferable. If the amount is less than 10 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient. If the amount is more than 90 parts by weight, when the photosensitive element is used, the negative photosensitive resin composition is stained from the edge by the flow. And there is a tendency that the film formability is lowered.

【0070】(g)成分の配合量は、(e)成分及び
(f)成分の総量100重量部に対して、0.01〜3
0重量部とすることが好ましく、0.1〜20重量部と
することがより好ましい。この配合量が、0.01重量
部未満では、感度が不充分となる傾向があり、30重量
部を超えると、露光表面での活性光線の吸収が増大し
て、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
The amount of the component (g) is 0.01 to 3 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (e) and (f).
It is preferably 0 parts by weight, more preferably 0.1 to 20 parts by weight. If the amount is less than 0.01 part by weight, the sensitivity tends to be insufficient. If the amount exceeds 30 parts by weight, the absorption of actinic rays on the exposed surface increases, resulting in insufficient light curing inside. It tends to be.

【0071】また、熱可塑性樹脂層(B)は、後述する
現像工程において、前記(1)の方法においては、蛍光
体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)及び熱可
塑性樹脂層(B)が、同一の現像液を使用して現像でき
るものであることが、前記(2)の方法においてはポジ
型感光性樹脂層(C)、蛍光体を含有するネガ型感光性
樹脂組成物層(A)及び熱可塑性樹脂層(B)が、同一
の現像液を使用して現像できるものであることが工程を
少なくできる点から好ましい。同一の現像液で現像でき
るものとしては、水又はアルカリ水溶液に可溶なものが
挙げられる。
In the development step described below, the thermoplastic resin layer (B) is prepared by the method (1), wherein the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor and the thermoplastic resin layer In the method (2), the positive photosensitive resin layer (C) and the negative photosensitive resin composition containing a phosphor may be used, wherein (B) can be developed using the same developer. It is preferable that the material layer (A) and the thermoplastic resin layer (B) can be developed using the same developer from the viewpoint of reducing the number of steps. Those which can be developed with the same developer include those which are soluble in water or an aqueous alkaline solution.

【0072】水又はアルカリ水溶液に可溶な熱可塑性樹
脂層(B)を構成する樹脂としては、例えば、ポリビニ
ルアルコール系樹脂(ポリアクリル酸エステル又はポリ
メタクリル酸エステルの加水分解物、ポリ酢酸ビニルの
加水分解物、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体の加水
分解物、エチレンとアクリル酸エステルとの共重合体の
加水分解物、塩化ビニルと酢酸ビニルとの共重合体の加
水分解物、スチレンとアクリル酸エステル又はメタクリ
ル酸エステルとの共重合体の加水分解物、ビニルトルエ
ンとアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルとの
共重合体の加水分解物等)、カルボキシアルキルセルロ
ースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボ
キシアルキルでん粉の水溶性塩、ポリビニルピロリド
ン、不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な不飽和単
量体を共重合することにより得られるカルボキシル基を
有する樹脂などが挙げられる。
Examples of the resin constituting the thermoplastic resin layer (B) soluble in water or an aqueous alkali solution include polyvinyl alcohol-based resins (polyacrylic acid ester or polymethacrylic acid ester hydrolyzate, polyvinyl acetate Hydrolyzate, hydrolyzate of copolymer of ethylene and vinyl acetate, hydrolyzate of copolymer of ethylene and acrylate ester, hydrolyzate of copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, styrene and Hydrolysates of copolymers of acrylic or methacrylic esters, hydrolysates of copolymers of vinyl toluene and acrylic or methacrylic esters, etc.), water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose Ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinylpyrrolidone, unsaturated carboxylic acids A resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing these copolymerizable unsaturated monomer and the like.

【0073】不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な
不飽和単量体を共重合することにより得られるカルボキ
シル基を有する樹脂としては、例えば、不飽和カルボン
酸(アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸等)と、前記蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物層(A)を構成する(a)フィルム性付与ポリ
マーに使用可能なビニル単量体とを共重合して得られる
ビニル共重合体などを使用することが好ましい。
Examples of the resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith include, for example, unsaturated carboxylic acids (acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid). , Fumaric acid, itaconic acid, etc.) and a vinyl monomer that can be used as the (a) film-forming polymer constituting the photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor. It is preferable to use a vinyl copolymer obtained.

【0074】不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な
不飽和単量体を共重合することにより得られるカルボキ
シル基を有する樹脂は、重量平均分子量が、5,000
〜300,000とすることが好ましく、20,000
〜150,000とすることがより好ましい。この重量
平均分子量が、5,000未満では、感光性エレメント
とした場合にフィルム形成性及び可とう性が低下する傾
向があり、300,000を超えると、現像性(不要部
が現像により、容易に除去できる性質)が低下する傾向
がある。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーショ
ンクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレ
ン検量線を用いて換算した値である。
A resin having a carboxyl group obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith has a weight average molecular weight of 5,000.
~ 300,000, preferably 20,000
More preferably, it is set to 150150,000. If the weight average molecular weight is less than 5,000, the film formability and flexibility of the photosensitive element tend to decrease, and if it exceeds 300,000, the developability (unnecessary portions are easily developed by development). Tend to be reduced). The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve.

【0075】また、アルカリ水溶液に可溶な熱可塑性樹
脂層(B)として、公知の各種現像液により現像可能と
なるように、不飽和カルボン酸とこれらと共重合可能な
不飽和単量体を共重合することにより得られるカルボキ
シル基を有する樹脂のカルボキシル基含有率(酸価(m
gKOH/g)で規定できる)を適宜調整することがで
きる。例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアル
カリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価を90〜2
60とすることが好ましい。この酸価が、90未満で
は、現像が困難となる傾向があり、260を超えると、
耐現像液性が低下する傾向がある。また、水又はアルカ
リ水溶液と1種以上の有機溶剤とからなる水系現像液を
用いて現像する場合には、酸価を16〜260とするこ
とが好ましい。この酸価が、16未満では、現像が困難
となる傾向があり、260を超えると、耐現像液性が低
下する傾向がある。
As the thermoplastic resin layer (B) soluble in an aqueous alkali solution, an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated monomer copolymerizable therewith can be used so as to be developable by various known developers. The carboxyl group content of the resin having a carboxyl group obtained by copolymerization (acid value (m
gKOH / g) can be appropriately adjusted. For example, when developing using an aqueous alkali solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is 90 to 2
It is preferably 60. If the acid value is less than 90, development tends to be difficult, and if it exceeds 260,
The developer resistance tends to decrease. When developing using an aqueous developing solution comprising water or an aqueous alkaline solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably from 16 to 260. When the acid value is less than 16, development tends to be difficult, and when it exceeds 260, developer resistance tends to decrease.

【0076】また、熱可塑性樹脂層(B)のフィルム性
を良好なものとするために、上記した熱可塑性樹脂層
(B)を構成する樹脂中に、可塑剤を添加することがで
きる。
In order to improve the film properties of the thermoplastic resin layer (B), a plasticizer can be added to the resin constituting the thermoplastic resin layer (B).

【0077】可塑剤としては、ポリプロピレングリコー
ル、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、
ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレ
ジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェー
ト、ビフェニルジフェニルフォスフェート等が挙げられ
る。
As the plasticizer, polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate,
Examples include diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate, and the like.

【0078】本発明の(1)の方法においては、蛍光体
を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)はこれを構
成する前記各成分を溶解又は分散可能な溶剤に、溶解又
は混合させることにより、均一に分散した溶液とし、支
持体フィルム上に、塗布乾燥して得られた感光性エレメ
ントとして用いられる 本発明における熱可塑性樹脂層(B)は、これを構成す
る樹脂を溶解する溶剤に、溶解又は混合させることによ
り、均一な溶液とし、支持体フィルム上に、ナイフコー
ト法、ロールコー卜法、スプレーコート法、グラビアコ
ート法、バーコート法、カーテンコート法等の公知の塗
布方法を用いて、塗布、乾燥することによりフィルム状
に形成することができる。
In the method (1) of the present invention, the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor is dissolved or mixed in a solvent capable of dissolving or dispersing the above-mentioned components. The thermoplastic resin layer (B) according to the present invention, which is used as a photosensitive element obtained by coating and drying a solution uniformly dispersed on a support film and thereby dissolving the resin constituting the solution, A known coating method such as a knife coating method, a roll coating method, a spray coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a curtain coating method, etc. is formed on the support film by dissolving or mixing in a solvent to form a uniform solution. Can be formed into a film by coating and drying.

【0079】本発明の前記(2)の方法においては、支
持体フィルム上に熱可塑性樹脂層(B)を設け、その上
に蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)を
積層して得られた感光性エレメントとして用いられる。
積層方法としては、ネガ型感光性樹脂組成物を構成する
前記各成分を溶解又は分散可能な溶剤に、溶解又は混合
させることにより、均一に分散した溶液とし、熱可塑性
樹脂層(B)上に、塗布乾燥する方法が用いられる。
In the method (2) of the present invention, a thermoplastic resin layer (B) is provided on a support film, and a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor is formed thereon. Used as a photosensitive element obtained by laminating.
As a lamination method, the components constituting the negative photosensitive resin composition are dissolved or mixed in a solvent capable of being dissolved or dispersed to form a uniformly dispersed solution, and the solution is formed on the thermoplastic resin layer (B). A method of coating and drying is used.

【0080】蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
層(A)の各成分を溶解又は分散可能な溶剤としては、
例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メ
チルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロ
ソルブ、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、
ジメチルホルムアミド、テトラメチルスルホン、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノブチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン、
メチルアルコール、エチルアルコール等が挙げられる。
これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用され
る。
Examples of the solvent capable of dissolving or dispersing the components of the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor include:
For example, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, γ-butyl lactone, N-methyl pyrrolidone,
Dimethylformamide, tetramethylsulfone, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, chloroform, methylene chloride,
Examples include methyl alcohol and ethyl alcohol.
These are used alone or in combination of two or more.

【0081】また、熱可塑性樹脂層(B)を構成する樹
脂を溶解する溶剤としては、例えば、水及び上記の溶剤
等が挙げられる。
Examples of the solvent for dissolving the resin constituting the thermoplastic resin layer (B) include water and the above-mentioned solvents.

【0082】支持体フィルムとしては、化学的及び熱的
に安定であり、また、可とう性の物質で構成された、例
えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネー
ト、ポリエチレン、ポリプロピレン等が挙げられ、その
中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが
好ましく、ポリエチレンテレフタレートがより好まし
い。この支持体フィルムの厚さは、5〜100μmとす
ることが好ましく、10〜30μmとすることがより好
ましい。
The support film is chemically and thermally stable and is composed of a flexible substance, for example, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene and the like. Terephthalate and polyethylene are preferred, and polyethylene terephthalate is more preferred. The thickness of the support film is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 30 μm.

【0083】塗布方法としては、公知の方法を用いるこ
とができ、例えば、ナイフコート法、ロールコート法、
スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法、
カーテンコート法等が挙げられる。
As a coating method, a known method can be used. For example, a knife coating method, a roll coating method,
Spray coating, gravure coating, bar coating,
Curtain coat method and the like can be mentioned.

【0084】乾燥温度は、60〜130℃とすることが
好ましく、乾燥時間は、3分〜1時間とすることが好ま
しい。
The drying temperature is preferably from 60 to 130 ° C., and the drying time is preferably from 3 minutes to 1 hour.

【0085】本発明における蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の厚さは、特に制限はないが、
10〜100μmとすることが好ましく、20〜80μ
mとすることがより好ましい。この厚さが、10μm未
満では、焼成後の蛍光体パターンが薄くなり、発光効率
が低下する傾向があり、100μmを超えると、焼成後
の蛍光体パターンが厚くなり、蛍光面の発光面積が縮小
して発光効率が低下する傾向がある。
The thickness of the negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor in the present invention is not particularly limited.
10 to 100 μm, preferably 20 to 80 μm
m is more preferable. If the thickness is less than 10 μm, the phosphor pattern after firing tends to be thin and the luminous efficiency tends to decrease. If the thickness exceeds 100 μm, the phosphor pattern after firing becomes thick and the emission area of the phosphor screen decreases. As a result, the luminous efficiency tends to decrease.

【0086】本発明における蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の上には、さらに剥離可能なカ
バーフィルムを積層することができる。
A releasable cover film can be further laminated on the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor of the present invention.

【0087】カバーフィルムとしては、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカ
ーボネート等が挙げられ、支持体フィルムと蛍光体を含
有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)との接着力より
も、カバーフィルムと蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層(A)との接着力の方が小さいものであるこ
とが好ましい。このようにして得られる感光性エレメン
トは、ロール状に巻いて保管可能とすることができる。
As the cover film, polyethylene,
Examples include polypropylene, polyethylene terephthalate, and polycarbonate. The negative photosensitivity containing the cover film and the phosphor is less than the adhesive strength between the support film and the negative type photosensitive resin composition layer containing the phosphor (A). It is preferable that the adhesive strength with the resin composition layer (A) is smaller. The photosensitive element thus obtained can be stored in a roll.

【0088】本発明における熱可塑性樹脂層(B)の厚
さは、特に制限はないか、PDP用基板の空間への埋め
込み性等の点から、10〜200μmとすることが好ま
しく、20〜100μmとすることがより好ましい。
The thickness of the thermoplastic resin layer (B) in the present invention is not particularly limited, and is preferably from 10 to 200 μm, and more preferably from 20 to 100 μm, from the viewpoint of embedding in the space of the PDP substrate. Is more preferable.

【0089】本発明における熱可塑性樹脂層(B)の上
には、さらに剥離可能なカバーフィルムを積層すること
ができる。
On the thermoplastic resin layer (B) in the present invention, a releasable cover film can be further laminated.

【0090】カバーフィルムとしては、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカ
ーボネート等が挙げられ、支持体フィルムと熱可塑性樹
脂層(B)との接着力よりも、カバーフィルムと熱可塑
性樹脂層(B)との接着力の方が小さいものであること
が好ましい。このようにしてフィルム上に形成された熱
可塑性樹脂層(B)は、ロール状に巻いて保管可能とす
ることができる。
As the cover film, polyethylene,
Examples thereof include polypropylene, polyethylene terephthalate, and polycarbonate. The adhesive strength between the cover film and the thermoplastic resin layer (B) is smaller than the adhesive strength between the support film and the thermoplastic resin layer (B). Is preferred. The thermoplastic resin layer (B) thus formed on the film can be stored in a roll shape.

【0091】以下、本発明の蛍光体パターンの製造法の
各工程について、図3及び図4を用いて詳述する。な
お、図3及び図4は、本発明の蛍光体パターンの製造法
の各工程を示した模式図である。 [(I)バリアリブが形成されたプラズマディスプレイ
パネル用基板の放電空間内の基板底面及びリブ壁面に、
ポジ型感光性樹脂層(C)を形成する工程]バリアリブ
2が形成されたPDP用基板1の放電空間内の基板底面
及びリブ壁面に、ポジ型感光性樹脂層(C)5を形成し
た状態を図3(I)に示した。
Hereinafter, each step of the method for producing a phosphor pattern of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIGS. 3 and 4 are schematic views showing each step of the method for producing a phosphor pattern of the present invention. [(I) On the substrate bottom surface and the rib wall surface in the discharge space of the plasma display panel substrate on which the barrier rib is formed,
Step of Forming Positive Photosensitive Resin Layer (C)] A state in which the positive photosensitive resin layer (C) 5 is formed on the substrate bottom surface and the rib wall surface in the discharge space of the PDP substrate 1 on which the barrier ribs 2 are formed. Is shown in FIG. 3 (I).

【0092】図3(I)において、バリアリブ2が形成
されたPDP用基板1の放電空間内の基板底面及びリブ
壁面に、ポジ型感光性樹脂層(C)5を形成する方法と
しては、例えば、前記したポジ型感光性樹脂の溶液を塗
布し、乾燥する方法等が挙げられる。
In FIG. 3 (I), as a method for forming the positive photosensitive resin layer (C) 5 on the substrate bottom surface and the rib wall surface in the discharge space of the PDP substrate 1 on which the barrier rib 2 is formed, for example, And a method of applying a solution of the above-mentioned positive type photosensitive resin and drying the applied solution.

【0093】また、ポジ型感光性樹脂の感光性エレメン
トを作製し、後述する(IV)の工程と同様の工程によ
ってポジ型感光性樹脂層(C)を加熱圧着した後、現像
によって熱可塑性樹脂層(B)を除去することにより、
ポジ型感光性樹脂層(C)5を形成してもよい。
Further, a photosensitive element made of a positive photosensitive resin is prepared, and the positive photosensitive resin layer (C) is heated and pressed by the same step as the step (IV) described later, and then the thermoplastic resin is developed. By removing layer (B)
A positive photosensitive resin layer (C) 5 may be formed.

【0094】また、支持体フィルム上に熱可塑性樹脂層
(B)を設けたフィルムの(B)層の上にポジ型感光性
樹脂の溶液を塗布、乾燥してポジ型感光性樹脂層を含む
多層フィルムを作製し、後述する(IV)の工程と同様
の工程によってポジ型感光性樹脂層(C)5を形成して
もよい。
Further, a solution of a positive photosensitive resin is applied on the layer (B) of the film in which the thermoplastic resin layer (B) is provided on the support film and dried to include the positive photosensitive resin layer. A positive-type photosensitive resin layer (C) 5 may be formed by preparing a multilayer film and performing a process similar to the process (IV) described later.

【0095】放電空間内に形成されるポジ型感光性樹脂
層(C)5の体積は、後述する(VI)の工程を終了し
た時点における蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層
(A)7′の体積の70〜130%となるようにするこ
とが好ましく、90〜110%であればより好ましく、
同一であればさらに好ましく、ポジ型感光性樹脂層
(C)5と光硬化後の蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物層(A)7′との形状が一致すれば最も好ましい。ポ
ジ型感光性樹脂層(C)の形成量がこの範囲外では、後
述する(VII)の工程において、2色目の蛍光体を含
有する感光性樹脂組成物層(A)7′bの対称性を低下
させる傾向がある。
The volume of the positive photosensitive resin layer (C) 5 formed in the discharge space is determined by the phosphor-containing photosensitive resin composition layer (A) at the time when the step (VI) described later is completed. It is preferable that the volume is 7 to 130% of the volume of the 7 ', more preferably 90 to 110%,
It is more preferable that they are the same, and it is most preferable that the shapes of the positive photosensitive resin layer (C) 5 and the photosensitive resin composition layer (A) 7 ′ containing the phosphor after photocuring match. If the formation amount of the positive photosensitive resin layer (C) is out of this range, the symmetry of the photosensitive resin composition layer (A) 7'b containing the phosphor of the second color in the step (VII) described later. Tends to decrease.

【0096】また、熱可塑性樹脂層(B)にネガ型感光
性樹脂を使用した場合は、ポジ型感光性樹脂層(C)5
の体積は、光硬化後の熱可塑性樹脂層(B)と光硬化後
の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層(A)7′の体
積の合計に対して、70〜130%となるようにするこ
とが好ましく、90〜110%であればより好ましく、
同一であればさらに好ましく、ポジ型感光性樹脂層
(C)5と光硬化後の熱可塑性樹脂層(B)及び蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物層(A)7′の合計との形
状が一致すれば最も好ましい。
When a negative photosensitive resin is used for the thermoplastic resin layer (B), the positive photosensitive resin layer (C) 5
Is 70 to 130% of the total volume of the thermoplastic resin layer (B) after photocuring and the photosensitive resin composition layer (A) 7 'containing the phosphor after photocuring. It is preferable to set it as 90% to 110%,
It is more preferable that they are the same, and the positive photosensitive resin layer (C) 5 and the total of the photocured thermoplastic resin layer (B) and the phosphor-containing photosensitive resin composition layer (A) 7 ′ Most preferably, the shapes match.

【0097】このようにポジ型感光性樹脂層を形成する
ことにより、後述する(IV)の工程において、蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物層(A)を形成する放電空
間の周囲の凹凸の対称性を高めることができ、後述する
(VII)の工程において、赤、緑及び青色に発色する
蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層からなる多
色パターンを形成する時に、全ての色について、高精度
で均一であり、対称性に優れた蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物層(A)を形成することができる。 [(II)活性光線を像的に照射する工程]活性光線1
0を像的に照射する状態を図3(II)に示した。
By forming the positive photosensitive resin layer in this manner, in the step (IV) described later, irregularities around the discharge space where the photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor is formed are formed. When forming a multicolor pattern composed of a negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor that emits red, green and blue in the step (VII) described below, The photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor that is uniform with high accuracy and excellent in symmetry can be formed. [(II) Step of irradiating actinic ray imagewise] actinic ray 1
FIG. 3 (II) shows a state where 0 is imagewise irradiated.

【0098】図3(II)において、活性光線10を像
的に照射する方法としては、図3(II)の状態でフォ
トマスク9を介して、ポジ型感光性樹脂層(C)5に活
性光線10を像的に照射することができる。
In FIG. 3 (II), as a method of imagewise irradiating the active light beam 10, the positive photosensitive resin layer (C) 5 is activated through the photomask 9 in the state of FIG. The light beam 10 can be illuminated imagewise.

【0099】活性光線10としては、公知の活性光源が
使用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、
キセノンアーク、その他から発生する光等が挙げられ
る。
As the actinic ray 10, a known actinic light source can be used, for example, a carbon arc, a mercury vapor arc,
Xenon arc, light generated from others, and the like.

【0100】ポジ型感光性樹脂の感受性は、通常、紫外
線領域において最大であるので、その場合の活性光源
は、紫外線を有効に放射するものにすべきである。ま
た、ポジ型感光性樹脂が可視光線に感受するものである
場合には、活性光線10としては、可視光が用いられ、
その光源としては、前記のもの以外に写真用フラッド電
球、太陽ランプ等も使用することができる。 [(III)現像により照射部を除去する工程]現像に
より活性光線の照射部を除去した状態を図3(III)
に示した。本発明における現像方法としては、例えば、
図3(II)の状態の後、ポジ型感光性樹脂層(C)に
前述した化学増幅ポジ型レジストを使用する場合は、通
常は60〜150℃で1〜30分加熱して、露光部の現
像液への可溶化反応を完了させてから、アルカリ水溶液
等の公知の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラ
ッシング、スクラッビング等の公知方法により現像を行
い、露光部を除去する方法等が挙げられる。ただし、ポ
ジ型感光性樹脂層(C)の現像に用いる現像液は、ポジ
型感光性樹脂層(C)の現像を行うことによって、後述
する蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
及びネガ型感光性の熱硬化性樹脂層(B)の光硬化部を
溶解させたり剥離させたり変質させたりするものであっ
てはならない。
Since the sensitivity of the positive photosensitive resin is usually maximum in the ultraviolet region, the active light source in that case should be one that effectively emits ultraviolet light. When the positive photosensitive resin is sensitive to visible light, visible light is used as the active light ray 10,
As the light source, a flood light bulb for photography, a sun lamp and the like can be used in addition to the above. [(III) Step of Removing Irradiated Portion by Development] FIG. 3 (III) shows a state in which the irradiated portion of active light is removed by development.
It was shown to. As the developing method in the present invention, for example,
When the above-mentioned chemically amplified positive resist is used for the positive photosensitive resin layer (C) after the state shown in FIG. 3 (II), it is usually heated at 60 to 150 ° C. for 1 to 30 minutes to expose the exposed portion. After completion of the solubilization reaction in a developing solution, a known developing solution such as an alkaline aqueous solution is used to perform development by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scrubbing to remove exposed portions. And the like. However, the developing solution used for developing the positive photosensitive resin layer (C) is developed by developing the positive photosensitive resin layer (C), thereby forming a negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor described later. (A)
In addition, the photocured portion of the negative photosensitive thermosetting resin layer (B) must not be dissolved, peeled, or altered.

【0101】アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化ア
ルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物
等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸
塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ
金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸
カリウム等)、アルカリ金属メタケイ酸塩(メタケイ酸
ナトリウム、メタケイ酸カリウム等)、水酸化テトラメ
チルアンモニウム、トリエタノールアミンなどが挙げら
れ、中でも、炭酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアン
モニウム等が好ましいものとして挙げられる。
Examples of the base of the aqueous alkali solution include alkali hydroxide (such as hydroxide of lithium, sodium or potassium), alkali carbonate (such as carbonate or bicarbonate of lithium, sodium or potassium), and alkali metal phosphate (such as carbonate). Potassium phosphate, sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphate (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), alkali metal metasilicate (sodium metasilicate, potassium metasilicate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanol Examples include amines, and among them, sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide and the like are preferable.

【0102】アルカリ水溶液の濃度は、0.1〜15重
量%が好ましく、0.5〜5重量%がより好ましい。
0.1重量%未満では露光部を短時間に完全に除去でき
ないことがあり、また、15重量%を超えると未露光部
も一部侵される可能性がある。
The concentration of the aqueous alkali solution is preferably 0.1 to 15% by weight, more preferably 0.5 to 5% by weight.
If it is less than 0.1% by weight, the exposed portion may not be completely removed in a short time, and if it exceeds 15% by weight, the unexposed portion may be partially damaged.

【0103】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させることができる。 [(IV−1)プラズマディスプレイパネル用基板上
に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
の上部に熱可塑性樹脂層(B)が配置された状態で、
(B)層を加熱圧着する工程]及び[(IV−2)プラ
ズマディスプレイパネル用基板上に、感光性エレメント
(E)を加熱圧着する工程]バリアリブ2が形成された
PDP用基板1上に、前記蛍光体を含有するネガ型感光
性樹脂組成物層(A)7を積層させた状態を図3(IV
−1)に示した。
Further, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like can be mixed in the alkaline aqueous solution. [(IV-1) Negative-type photosensitive resin composition layer containing phosphor on substrate for plasma display panel (A)
With the thermoplastic resin layer (B) placed on top of
(B) Step of thermocompression bonding of layer] and [(IV-2) Step of thermocompression bonding of photosensitive element (E) on plasma display panel substrate] On PDP substrate 1 on which barrier rib 2 is formed, FIG. 3 (IV) shows a state where the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor is laminated.
-1).

【0104】図3(IV−1)において、バリアリブ2
が形成されたPDP用基板1上に、前記蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)7を積層させる方法
としては、例えば前記感光性エレメントを用いて積層さ
せる方法等が挙げられる。
In FIG. 3 (IV-1), the barrier rib 2
As a method of laminating the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor on the PDP substrate 1 on which is formed, for example, a method of laminating using the photosensitive element and the like can be mentioned. Can be

【0105】感光性エレメントを用いる場合は、感光性
エレメントにカバーフィルムが存在しているときは、そ
のカバーフィルムを除去後、PDP用基板のバリアリブ
を形成した面に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組
成物層(A)7が接するように、圧着ロール等で圧着さ
せることにより積層することができる。
In the case of using a photosensitive element, if a cover film is present on the photosensitive element, the cover film is removed, and a negative electrode containing a phosphor is formed on the surface of the PDP substrate on which the barrier ribs are formed. The photosensitive resin composition layer (A) 7 can be laminated by pressing with a pressure roll or the like so as to be in contact therewith.

【0106】この時の圧着圧力は、線圧で50〜1×1
6N/mとすることが好ましい。この圧着圧力が、5
0N/m未満では、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7が、PDP用基板上の空間への埋め込
み性が低下する傾向があり、1×106N/mを超える
と、PDP用基板のバリアリブが破壊される傾向があ
る。
The pressing pressure at this time is 50 to 1 × 1 in linear pressure.
It is preferable that the 0 6 N / m. This pressure is 5
Is less than 0N / m, the negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor (A) 7 is, there is a tendency that the embedding of the space on the substrate for PDP is lowered, the 1 × 10 6 N / m If it exceeds, the barrier rib of the PDP substrate tends to be broken.

【0107】また、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7の空間への埋め込み性をさらに向上さ
せる点から、上記圧着ロールの表面が、ゴム、プラスチ
ック等の柔軟性に富んだ材質のものを使用することもで
きる。なお、柔軟性に富んだ材質の層の厚さは、200
〜400μmとすることが好ましい。
Further, from the viewpoint of further improving the embedding property of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor into the space, the surface of the pressure roll is made to be flexible such as rubber and plastic. Rich materials can also be used. The thickness of the layer made of a material having a high flexibility is 200
It is preferable to set it to 400 μm.

【0108】また、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7の空間への埋め込み性をさらに向上さ
せる点から、加熱ロール8等により感光性エレメントを
加熱しながら、PDP用基板のバリアリブを形成した面
に圧着して積層することもできる。
Further, in order to further improve the embedding property of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor into the space, the photosensitive element is heated while heating the photosensitive element with a heating roll 8 or the like. It can also be laminated by pressing against the surface of the substrate on which the barrier ribs are formed.

【0109】加熱圧着時の加熱温度は、10〜130℃
とすることが好ましく、20〜120℃とすることがよ
り好ましく、30〜110℃とすることが特に好まし
い。この加熱温度が、10℃未満では、蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)7が、PDP基板上
に充分に密着できない傾向があり、130℃を超える
と、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
7が熱硬化する傾向がある。
The heating temperature during thermocompression bonding is 10 to 130 ° C.
The temperature is preferably set to 20 to 120 ° C, more preferably 30 to 110 ° C. If the heating temperature is lower than 10 ° C., the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor tends to be unable to sufficiently adhere to the PDP substrate. Negative photosensitive resin composition layer containing (A)
7 tends to thermoset.

【0110】また、加熱圧着時の圧着圧力は、線圧で5
0〜1×106N/mすることが好ましい。この圧着圧
力が、50N/m未満では、蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)7が、PDP基板上に充分に密
着できない傾向があり、1×106N/mを超えると、
PDP用基板のバリアリブが破壊される傾向がある。
[0110] The pressing pressure during the heat pressing is 5 linear pressures.
It is preferably 0 to 1 × 10 6 N / m. The crimping pressure is less than 50 N / m, the negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor (A) 7 is, tend not to be sufficiently adhered to the PDP substrate, the 1 × 10 6 N / m If exceeded,
The barrier ribs of the PDP substrate tend to be broken.

【0111】感光性エレメントを前記のように加熱すれ
ば、バリアリブを形成したPDP用基板を予熱処理する
ことは必要ではないが、蛍光体を含有するネガ型感光性
樹脂組成物層(A)7の空間への埋め込み性をさらに向
上させる点から、前記PDP用基板の予熱処理を行うこ
とが好ましい。
If the photosensitive element is heated as described above, it is not necessary to preheat the PDP substrate on which the barrier ribs have been formed, but the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor is required. In order to further improve the embedding property in the space, it is preferable to perform a pre-heat treatment on the PDP substrate.

【0112】さらに、同様の目的で、4×103Pa以
下の減圧下で、上記した圧着及び加熱圧着の操作を行う
こともできる。
Further, for the same purpose, the above-mentioned compression bonding and heating compression bonding can be performed under reduced pressure of 4 × 10 3 Pa or less.

【0113】また、このように積層が完了した後、30
〜150℃の範囲で、1〜120分間、加熱することも
できる。この際、支持体フィルムを必要に応じて除去す
ることもできる。
After the completion of the lamination as described above, 30
Heating can also be performed at a temperature in the range of ~ 150 ° C for 1 to 120 minutes. At this time, the support film can be removed as necessary.

【0114】蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
層(A)7の上部に、熱可塑性樹脂層(B)6を配置
し、加熱圧着しながら蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層(A)7及び熱可塑性樹脂層(B)6を積層
させた状態を図3(IV−1)に示した。
A thermoplastic resin layer (B) 6 is disposed on the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor, and the negative photosensitive resin containing the phosphor is heated and pressed. FIG. 3 (IV-1) shows a state in which the composition layer (A) 7 and the thermoplastic resin layer (B) 6 are laminated.

【0115】図3(IV−1)において、蛍光体を含有
するネガ型感光性樹脂組成物層(A)7の上部に、熱可
塑性樹脂層(B)6を配置し、加熱圧着させる方法とし
ては、例えば、図3(IV−1)の状態の蛍光体を含有
するネガ型感光性樹脂組成物層(A)7の上に、支持体
フィルムが存在している場合には、支持体フィルムを除
去後、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)7の上部に、熱可塑性樹脂層(B)6(カバーフ
ィルムが存在しているときは、そのカバーフィルムを除
去した後)を配置し、加熱ロール8等により加熱圧着す
る方法などが挙げられる。
In FIG. 3 (IV-1), a thermoplastic resin layer (B) 6 is disposed on a negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor, and the thermocompression bonding is performed. For example, when a support film is present on the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor in the state of FIG. 3 (IV-1), the support film Is removed, the thermoplastic resin layer (B) 6 (if a cover film is present, the cover film is removed above the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor). After that, a method of thermocompression bonding with a heating roll 8 or the like is used.

【0116】加熱圧着時の加熱温度は、10〜130℃
とすることが好ましく、20〜120℃とすることがよ
り好ましく、30〜110℃とすることが特に好まし
い。この加熱温度が、10℃未満では、蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)7のPDP基板の空
間への埋め込み性が低下する傾向があり、130℃を超
えると、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)7が熱硬化する傾向がある。
The heating temperature during thermocompression bonding is 10 to 130 ° C.
The temperature is preferably set to 20 to 120 ° C, more preferably 30 to 110 ° C. If the heating temperature is lower than 10 ° C., the embedding property of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor into the space of the PDP substrate tends to decrease. The negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the body tends to be cured by heat.

【0117】また、加熱圧着時の圧着圧力は、線圧で5
0〜1×106N/mすることが好ましい。この圧着圧
力が、50N/m未満では、蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)7のPDP基板の空間への埋め
込み性が低下する傾向があり、1×106N/mを超え
ると、PDP用基板のバリアリブが破壊される傾向があ
る。
Further, the pressing pressure at the time of heating and pressing is a linear pressure of 5
It is preferably 0 to 1 × 10 6 N / m. If the pressure is less than 50 N / m, the embedding property of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor into the space of the PDP substrate tends to decrease, and 1 × 10 6 N / m If it exceeds m, the barrier rib of the PDP substrate tends to be broken.

【0118】熱可塑性樹脂層(B)6を前記のように加
熱すれば、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)7を積層したPDP用基板を予熱処理することは
必要ではないが、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組
成物層(A)7の空間への埋め込み性をさらに向上させ
る点から、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)7を積層したPDP用基板を予熱処理することが
好ましい。
If the thermoplastic resin layer (B) 6 is heated as described above, it is necessary to pre-heat the PDP substrate on which the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor is laminated. However, the negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor is more preferable because the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor is more improved in embedding into a space. It is preferable to pre-heat the PDP substrate on which No. 7 is laminated.

【0119】この時の予熱温度は、30〜130℃とす
ることが好ましく、また、予熱時間は0.5〜20分間
とすることが好ましい。
At this time, the preheating temperature is preferably 30 to 130 ° C., and the preheating time is preferably 0.5 to 20 minutes.

【0120】また、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7の空間への埋め込み性をさらに向上さ
せる点から、上記圧着ロールの表面が、ゴム、プラスチ
ック等の柔軟性に富んだ材質のものを使用することもで
きる。
Further, from the viewpoint of further improving the embedding property of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor in the space, the surface of the pressure roll is made to be flexible such as rubber and plastic. Rich materials can also be used.

【0121】なお、柔軟性に富んだ材質の層の厚さは、
200〜400μmとすることが好ましい。
The thickness of the layer made of a material having high flexibility is as follows.
The thickness is preferably 200 to 400 μm.

【0122】さらに同様の目的で、4×103Pa以下
の減圧下で、上記した圧着及び加熱圧着操作を行うこと
もできる。
Further, for the same purpose, the above-mentioned press-bonding and heat-pressing operations can be performed under reduced pressure of 4 × 10 3 Pa or less.

【0123】また、積層が完了した後、30〜150℃
の範囲で、1〜120分間加熱することもできる。この
時、熱可塑性樹脂(B)6の上に支持体フィルムが存在
する場合には、その支持体フィルムを必要に応じて除去
してもよい。
After the lamination is completed, the temperature is set at 30 to 150 ° C.
Can be heated for 1 to 120 minutes. At this time, if a support film exists on the thermoplastic resin (B) 6, the support film may be removed as necessary.

【0124】また、本発明における(IV−1)の工程
においても、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
層(A)7と熱可塑性樹脂層(B)6とを、2層同時に
加熱圧着しながら積層させることもできる。2層同時に
加熱圧着させるときの加熱圧着条件としては、前記熱可
塑性樹脂層(B)6を加熱圧着させるときの条件を用い
ることができる。
In the step (IV-1) of the present invention, two layers of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a phosphor and the thermoplastic resin layer (B) 6 are simultaneously formed. It is also possible to laminate while heating and pressing. As the thermocompression bonding conditions when two layers are simultaneously thermocompression bonded, the conditions when thermocompression bonding of the thermoplastic resin layer (B) 6 can be used.

【0125】次に、バリアリブ2が形成されたPDP基
板1上に、感光性エレメント(E)を積層させた状態を
図4(IV−2)に示した。
Next, a state in which the photosensitive element (E) is laminated on the PDP substrate 1 on which the barrier ribs 2 are formed is shown in FIG. 4 (IV-2).

【0126】図4(IV−2)において、バリアリブ2
が形成されたPDP用基板1上に、熱可塑性樹脂層
(B)6及び前記蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組
成物層(A)7からなる感光性エレメント(E)を積層
させる方法としては、例えば感光性エレメント(E)に
カバーフィルムが存在しているときは、そのカバーフィ
ルムを除去後、PDP用基板のバリアリブを形成した面
に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
7が接するように配置し、加熱ロール8等により加熱圧
着する方法等が挙げられる。
In FIG. 4 (IV-2), the barrier rib 2
A method of laminating a photosensitive element (E) composed of a thermoplastic resin layer (B) 6 and a negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor on the PDP substrate 1 on which is formed For example, when a cover film is present on the photosensitive element (E), after removing the cover film, a negative photosensitive resin composition containing a phosphor is formed on the surface of the PDP substrate on which the barrier ribs are formed. Material layer (A)
7 are arranged so as to be in contact with each other, and are heated and pressed by a heating roll 8 or the like.

【0127】加熱圧着条件、PDP基板の予熱条件等は
(IV−1)と同様である。
The conditions of the thermocompression bonding, the preheating conditions of the PDP substrate, etc. are the same as in (IV-1).

【0128】このようにして、蛍光体を含有するネガ型
感光性樹脂組成物層(A)7をPDP用基板の放電空間
内の基板底面及びリブ壁面に均一に形成することができ
る。 [(V)活性光線を像的に照射する工程]活性光線10
を像的に照射する状態を図4(V)に示した。(V)の
工程において、活性光線10を像的に照射する方法とし
ては、図4(V)の状態の熱可塑性樹脂(B)6の上部
に、(II)の工程で用いたフォトマスクと同一パター
ンのフォトマスク9を介して、活性光線10を像的に照
射することができる。このとき、熱可塑性樹脂層(B)
6の上に支持体フィルムが存在する場合は、その支持体
フィルムを積層したまま活性光線10を像的に照射して
もよく、また、支持体フィルムを除去した後に活性光線
10を像的に照射してもよい。
In this manner, the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor can be uniformly formed on the substrate bottom surface and the rib wall surface in the discharge space of the PDP substrate. [(V) Step of irradiating actinic ray imagewise] actinic ray 10
FIG. 4 (V) shows a state in which is irradiated imagewise. In the step (V), a method of imagewise irradiating the actinic ray 10 is as follows. The photomask used in the step (II) is placed on the thermoplastic resin (B) 6 in the state of FIG. The actinic ray 10 can be imagewise irradiated through the photomask 9 having the same pattern. At this time, the thermoplastic resin layer (B)
In the case where a support film is present on 6, the actinic ray 10 may be irradiated imagewise while the support film is laminated, or the actinic ray 10 may be imaged after removing the support film. Irradiation may be performed.

【0129】なお、この時、熱可塑性樹脂層(B)6
が、前記したネガ型感光性樹脂組成物である場合には、
蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層(A)7及び熱可
塑性樹脂層(B)6は、同時に光硬化することとなる。
At this time, the thermoplastic resin layer (B) 6
Is, when the negative photosensitive resin composition described above,
The photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor and the thermoplastic resin layer (B) 6 are simultaneously photo-cured.

【0130】また、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7を溶解しない水、アルカリ水溶液、水
系現像液、有機溶剤等を用いて、熱可塑性樹脂層(B)
6を溶解により除去した後、フォトマスク9を介して、
活性光線10を像的に照射することもできる。
The thermoplastic resin layer (B) is prepared by using water, an alkali aqueous solution, an aqueous developer, an organic solvent or the like which does not dissolve the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor.
After removing 6 by dissolving, through photomask 9
The actinic ray 10 can be irradiated imagewise.

【0131】活性光線10としては、公知の活性光源が
使用でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、
キセノンアーク、その他から発生する光等が挙げられ
る。
As the actinic ray 10, a known actinic light source can be used. For example, a carbon arc, a mercury vapor arc,
Xenon arc, light generated from others, and the like.

【0132】光開始剤の感受性は、通常、紫外線領域に
おいて最大であるので、その場合の活性光源は、紫外線
を有効に放射するものにすべきである。また、光開始剤
が可視光線に感受するもの、例えば、9,10−フェナ
ンスレンキノン等である場合には、活性光線10として
は、可視光が用いられ、その光源としては、前記のもの
以外に写真用フラッド電球、太陽ランプ等も使用するこ
とができる。 [(VI)現像により(A)層及び(B)層の不要部を
除去する工程]現像により、(A)層及び(B)層の不
要部を除去した状態を図4(VI)に示した。なお、図
4(VI)において、7′は光硬化後の蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層である。
Since the sensitivity of the photoinitiator is usually maximal in the ultraviolet range, the active light source in that case should be one that effectively emits ultraviolet light. When the photoinitiator is sensitive to visible light, for example, 9,10-phenanthrenequinone or the like, visible light is used as the active light 10 and the light source is as described above. In addition, a photo flood bulb, a sun lamp, and the like can be used. [(VI) Step of Removing Unwanted Parts of Layers (A) and (B) by Development] FIG. 4 (VI) shows a state where the unnecessary parts of layers (A) and (B) are removed by development. Was. In FIG. 4 (VI), reference numeral 7 'denotes a negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor after photocuring.

【0133】図4(VI)において、現像方法として
は、例えば、図4(V)の状態の後、熱可塑性樹脂層
(B)6の上に支持体フィルムが存在する場合には、こ
れを除去した後、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶
剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブ
ラッシング、スクラッビング等の公知方法により現像を
行い、不要部を除去する方法等が挙げられる。ただし、
蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)の現
像に用いる現像液は、蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層(A)の現像を行うことによって、前述した
ポジ型感光性樹脂層(C)の未露光部を溶解させたり剥
離させたり変質させたりするものであってはならない。
In FIG. 4 (VI), as a developing method, for example, if a support film is present on the thermoplastic resin layer (B) 6 after the state of FIG. After removal, using a known developing solution such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, an organic solvent, and the like, performing development by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scrubbing, and removing unnecessary portions. Can be However,
The developer used for developing the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor is obtained by developing the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the phosphor. The unexposed portion of the mold photosensitive resin layer (C) must not be dissolved, peeled off or altered.

【0134】不要部を除去する場合には、まず、蛍光体
を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)7及びポジ
型感光性樹脂層(C)の未露光部を溶解しない水、アル
カリ水溶液、半溶剤水溶液、半溶剤アルカリ水溶液、有
機溶剤等を用いて、熱可塑性樹脂層(B)6を溶解によ
り除去した後に、現像液を用いて、蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)7の不要部を除去しても
よく、また、熱可塑性樹脂層(B)6が、前記した蛍光
体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)7の現像
液と同一の現像液を使用して現像できるものである場合
には、その現像液を用いて、蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)7の不要部及び熱可塑性樹脂層
(B)6を一工程で除去することもできる。
In removing unnecessary portions, first, water that does not dissolve unexposed portions of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor and the positive photosensitive resin layer (C) is used. After dissolving the thermoplastic resin layer (B) 6 by dissolving with an aqueous alkali solution, a semi-solvent aqueous solution, a semi-solvent alkaline aqueous solution, an organic solvent, or the like, using a developing solution, a negative photosensitive resin containing a phosphor is used. Unnecessary portions of the composition layer (A) 7 may be removed, and the thermoplastic resin layer (B) 6 may be used to develop the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor described above. When the developer can be developed using the same developer as the developer, the unnecessary portion of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor and the thermoplastic resin can be used by using the developer. The layer (B) 6 can be removed in one step.

【0135】また、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)7の不要部及び熱可塑性樹脂層(B)6
の不要部を除去する方法として、ドライ現象にて、それ
ぞれ単独に又は一工程で行うこともできる。
Unnecessary portions of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor and the thermoplastic resin layer (B) 6
As a method for removing unnecessary portions of the above, the dry phenomenon can be used for each step alone or in one step.

【0136】なお、このとき、蛍光体を含有するネガ型
感光性樹脂組成物層(A)7が、前記したネガ型感光性
樹脂組成物である場合には、光硬化後の蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物層7′の上部には、光硬化後の熱可
塑性樹脂層(B)が残存することとなる。
At this time, when the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor is the negative photosensitive resin composition described above, the phosphor containing the photocured phosphor is contained. The photo-cured thermoplastic resin layer (B) will remain above the photosensitive resin composition layer 7 '.

【0137】アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化ア
ルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物
等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸
塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ
金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸
カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリ
エタノールアミンなどが挙げられ、中でも、炭酸ナトリ
ウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいも
のとして挙げられる。
Examples of the base of the aqueous alkali solution include alkali hydroxides (eg, hydroxides of lithium, sodium or potassium), alkali carbonates (eg, carbonates or bicarbonates of lithium, sodium or potassium), and alkali metal phosphates (eg, carbonates or bicarbonates). Potassium phosphate, sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine, etc., among which sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide And the like are preferred.

【0138】現像に用いるアルカリ水溶液のpHは、9
〜11とすることが好ましく、また、その温度は、蛍光
体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)7及び熱
可塑塑性樹脂層(B)6の現像性に合わせて調整するこ
とができる。
The pH of the aqueous alkali solution used for development is 9
The temperature is preferably adjusted in accordance with the developability of the negative photosensitive resin composition layer (A) 7 containing the phosphor and the thermoplastic resin layer (B) 6. Can be.

【0139】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させることができる。
Further, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating the development, and the like can be mixed in the alkaline aqueous solution.

【0140】水系現像液としては、水又はアルカリ水溶
液と1種以上の有機溶剤とからなるものが挙げられる。
Examples of the aqueous developer include those comprising water or an aqueous alkali solution and at least one organic solvent.

【0141】ここで、アルカリ水溶液の塩基としては、
前記物質以外に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウ
ム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレン
トリアミン、2−アミノー2−ヒドロキシメチル−1,
3−プロパンジオール、1,3−ジアミノプロパノール
−2−モルホリン、水酸化テトラメチルアンモニウム等
が挙げられる。
Here, as the base of the aqueous alkali solution,
Other than the above substances, for example, borax, sodium metasilicate, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, 2-amino-2-hydroxymethyl-1,
3-propanediol, 1,3-diaminopropanol-2-morpholine, tetramethylammonium hydroxide and the like.

【0142】水系現像液のpHは、8〜12とすること
が好ましく、9〜10とすることがより好ましい。
The pH of the aqueous developer is preferably from 8 to 12, more preferably from 9 to 10.

【0143】有機溶剤としては、例えば、三アセトンア
ルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアル
コキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル等が挙げられる。これらは、単独で又は
2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the organic solvent include triacetone alcohol, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol. Monobutyl ether and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0144】有機溶剤の濃度は、通常、2〜90重量%
の範囲とされ、また、その温度は、現像性にあわせて調
整することができる。
The concentration of the organic solvent is usually 2 to 90% by weight.
The temperature can be adjusted according to the developing property.

【0145】また、水系現像液中には、界面活性剤、消
泡剤等を少量混入することができる。
Further, a small amount of a surfactant, an antifoaming agent or the like can be mixed in the aqueous developer.

【0146】単独で用いる有機溶剤現像液としては、例
えば、1,1,1−トリクロロエタン、N−メチルピロ
リドン、N,N−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等
が挙げられる。これらの有機溶剤には、引火防止のた
め、1〜20重量%の範囲で水を添加してもよい。
As the organic solvent developer used alone, for example, 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, γ-butyrolactone and the like can be mentioned. Water may be added to these organic solvents in the range of 1 to 20% by weight to prevent ignition.

【0147】また、現像後、PDP用基板の放電空間内
の基板底面及びリブ壁面における蛍光体を含有するネガ
型感光性樹脂組成物層7′の密着性及び耐薬品性等を向
上させる目的で、加熱を行うこともできる。このときの
温度は、60〜180℃とすることが好ましく、100
〜180℃とすることがより好ましい。ただし、この温
度範囲であっても、ポジ型感光性樹脂層(C)が変形し
たり変質したりする場合は、ポジ型感光性樹脂層(C)
が変形したり変質したりすることがない範囲の温度に設
定することが好ましい。また、加熱時間は、15〜90
分間とすることが好ましい。 [(VII)(II)〜(VI)の工程を繰り返して、
赤、緑及び青に発色する蛍光体を有するネガ型感光性樹
脂組成物からなる多色パターンを形成する工程]前記
(II)〜(VI)の各工程を繰り返して、赤、緑及び
青に発色する蛍光体を含有するネガ型感光性樹組成物か
らなる多色パターンを形成した状態を図5に示した。な
お、図5において、7′aは1色目のパターン、7′b
は2色目のパターン及び7′cは3色目のパターンであ
る。
Further, after the development, for the purpose of improving the adhesion and chemical resistance of the negative photosensitive resin composition layer 7 'containing the phosphor on the substrate bottom surface and the rib wall surface in the discharge space of the PDP substrate. Heating can also be performed. The temperature at this time is preferably 60 to 180 ° C.
The temperature is more preferably set to 180 ° C. However, even in this temperature range, if the positive photosensitive resin layer (C) is deformed or deteriorates, the positive photosensitive resin layer (C)
It is preferable to set the temperature within a range that does not cause deformation or deterioration. The heating time is 15 to 90
Minutes. [By repeating the steps of (VII) (II) to (VI),
Step of Forming Multicolor Pattern Consisting of Negative-Type Photosensitive Resin Composition Having Phosphor Emitting Red, Green and Blue] Each of the above steps (II) to (VI) is repeated to obtain red, green and blue. FIG. 5 shows a state in which a multicolor pattern composed of a negative photosensitive tree composition containing a color-forming phosphor is formed. In FIG. 5, 7'a is the first color pattern, 7'b
Is a second color pattern and 7'c is a third color pattern.

【0148】本発明において、赤色、青色及び緑色に発
色するそれぞれの蛍光体を単独で含む蛍光体を含有する
感光性樹脂組成物層(A)7は、赤色、青色及び緑色の
各色について、どの様な順番でも行うことができる。
In the present invention, the photosensitive resin composition layer (A) 7 containing a single phosphor containing each of the phosphors that emit red, blue and green light is composed of any of the red, blue and green colors. It can be performed in any order.

【0149】前記(II)〜(VI)の工程を1回行っ
て1色目のパターンを形成した後、2回目の(III)
の工程まで終了した状態を図5(VII)に示す。ま
た、前記(II)〜(VI)の工程を2回行って1色目
及び2色目のパターンを形成した後、3回目の(II
I)の工程まで終了した状態を図5(VII)に示す。
After the steps (II) to (VI) are performed once to form the first color pattern, the second (III)
FIG. 5 (VII) shows a state where the steps up to the step have been completed. After the steps (II) to (VI) are performed twice to form the first and second color patterns, the third (II)
FIG. 5 (VII) shows a state where the process up to the step I) is completed.

【0150】本発明において、(IV)の工程で蛍光体
を含有するネガ型感光性樹脂組成物層を形成しようとす
る放電空間4′以外の放電空間には、ポジ型感光性樹脂
層(C)5、又は光硬化後の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹組成物層(A)7′のどちらかが形成されてお
り、(IV)の工程を行うときの放電空間まわりの対称
性が向上しているので、特に対称性に優れた(A)層を
形成することができる。 [(VIII)焼成により不要分を除去する工程]本発
明における(VIII)の工程を行い多色の蛍光体パタ
ーンを形成した状態を図5(VIII)に示した。図5
(VIII)において、11aは1色目の蛍光体パター
ン、11bは2色目の蛍光体パターン及び11cは3色
目の蛍光体パターンである。
In the present invention, the positive photosensitive resin layer (C) is provided in the discharge space other than the discharge space 4 'where the negative photosensitive resin composition layer containing the phosphor is to be formed in the step (IV). 5) or either of the negative-type photosensitive resin composition layer (A) 7 'containing a phosphor after photocuring is formed, and the symmetry around the discharge space when performing the step (IV). Is improved, so that the (A) layer having particularly excellent symmetry can be formed. [(VIII) Step of Removing Unwanted Parts by Firing] FIG. 5 (VIII) shows a state in which the step (VIII) in the present invention has been performed to form a multicolor phosphor pattern. FIG.
In (VIII), 11a is the first color phosphor pattern, 11b is the second color phosphor pattern, and 11c is the third color phosphor pattern.

【0151】(VIII)の工程において、焼成方法と
しては、特に制限はなく、公知の焼成方法を使用し、蛍
光体及び結着剤以外の不要分を除去し、蛍光体パターン
を形成することができる。
In the step (VIII), the firing method is not particularly limited, and a known firing method may be used to remove unnecessary components other than the phosphor and the binder to form a phosphor pattern. it can.

【0152】この時の焼成温度は、350〜800℃と
することが好ましく、400〜600℃とすることがよ
り好ましい。また、焼成時間は3〜120分間とするこ
とが好ましく、5〜90分間とすることがより好まし
い。
The firing temperature at this time is preferably from 350 to 800 ° C., and more preferably from 400 to 600 ° C. The firing time is preferably from 3 to 120 minutes, more preferably from 5 to 90 minutes.

【0153】[0153]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0154】製造例1 [ポジ型感光性樹脂溶液の作製]撹拌機、還流冷却機、
温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラス
コにプロピレングリコールモノメチルエーテル240g
を仕込み、窒素ガス雰囲気下で90℃に昇温した。反応
温度を90±2℃に保ちながら、tert−アミルアク
リレート120g、メチルメタクリレート80g及びア
ゾビスイソブチロニトリル2gを混合した液を2時間か
けてフラスコ内に滴下した。その後、90℃±2℃で3
時間撹拌を続けた後に、アゾビスジメチルバレロニトリ
ル1gをプロピレングリコールモノメチルエーテル40
gに溶解した液を10分かけてフラスコ内に滴下し、そ
の後再び90℃±2℃で4時間撹拌を続け、重量平均分
子量39,000のtert−アミルアクリレートの共
重合ポリマー溶液を得た。
Production Example 1 [Preparation of Positive Photosensitive Resin Solution] Stirrer, reflux condenser,
240 g of propylene glycol monomethyl ether in a flask equipped with a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas inlet tube
And heated to 90 ° C. in a nitrogen gas atmosphere. While maintaining the reaction temperature at 90 ± 2 ° C., a mixture of 120 g of tert-amyl acrylate, 80 g of methyl methacrylate and 2 g of azobisisobutyronitrile was dropped into the flask over 2 hours. Then, at 90 ° C ± 2 ° C, 3
After stirring for 1 hour, 1 g of azobisdimethyl valeronitrile was added to propylene glycol monomethyl ether 40 g.
The solution dissolved in g was dropped into the flask over 10 minutes, and then stirring was continued again at 90 ° C. ± 2 ° C. for 4 hours to obtain a tert-amyl acrylate copolymer solution having a weight average molecular weight of 39,000.

【0155】このようにして得られたtert−アミル
アクリレートの共重合ポリマー溶液240g(ポリマー
固形100g)に、下記一般式(I)
The thus obtained tert-amyl acrylate copolymer solution (240 g, polymer solid 100 g) was mixed with the following general formula (I)

【0156】[0156]

【化3】 であるp−ニトロベンジル誘導体15gを溶解させて、
ポジ型感光性樹脂の溶液を得た。
Embedded image 15 g of the p-nitrobenzyl derivative
A solution of a positive photosensitive resin was obtained.

【0157】製造例2 [フィルム性付与ポリマー(a)の作製]撹拌機、還流
冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコ
に、表1に示すを仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃
に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1
に示すを4時間かけて均一に滴下した。の滴下後、
80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が8
0,000、酸価が130mgKOH/gのフィルム性
付与ポリマー(a)を得た。
Production Example 2 [Preparation of film-imparting polymer (a)] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer was charged with the components shown in Table 1 and placed under a nitrogen gas atmosphere. 80 ℃
And maintaining the reaction temperature at 80 ° C ± 2 ° C, Table 1
Was dropped uniformly over 4 hours. After dripping,
Stirring is continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours, and the weight average molecular weight is 8
A polymer (a) having a film property of 000 and an acid value of 130 mgKOH / g was obtained.

【0158】[0158]

【表1】 製造例3 [赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層を
含む感光性エレメント(A−R)の作製]表2に示す材
料を、ライカイ機を用いて15分間混合し、赤色の蛍光
体を含有するネガ型感光性樹脂組成物溶液を調製した。
[Table 1] Production Example 3 [Preparation of photosensitive element (A-R) including negative photosensitive resin composition layer containing red phosphor] Materials shown in Table 2 were mixed for 15 minutes using a raikai machine, and red A negative photosensitive resin composition solution containing the phosphor was prepared.

【0159】[0159]

【表2】 得られた溶液を、20μmの厚さのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に均一に塗布し、80〜110℃の
熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤を除去し、赤
色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
を形成した。得られた赤色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層の乾燥後の厚さは、60μmであっ
た。
[Table 2] The obtained solution is uniformly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm, dried with a hot air convection dryer at 80 to 110 ° C. for 10 minutes to remove the solvent, and a negative containing a red phosphor is removed. -Type photosensitive resin composition layer (A)
Was formed. The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained red phosphor after drying was 60 μm.

【0160】次いで、赤色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の上に、厚さが25μmのポリ
エチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ
て、赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(A−R)を作製した。
Next, a 25 μm-thick polyethylene film was laminated as a cover film on the negative-type photosensitive resin composition layer (A) containing the red phosphor to form a negative-type negative resin containing the red phosphor. A photosensitive element (A-R) containing the photosensitive resin composition layer (A) was produced.

【0161】製造例4 [緑色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(A−G)の作製]表2
に示す材料に代えて、表3に示す材料を使用した以外
は、製造例3と同様にして、緑色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層を形成した。得られた緑色の蛍
光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚
さは、60μmであった。
Production Example 4 [Preparation of photosensitive element (AG) including negative photosensitive resin composition layer (A) containing green phosphor] Table 2
A negative photosensitive resin composition layer containing a green phosphor was formed in the same manner as in Production Example 3 except that the materials shown in Table 3 were used instead of the materials shown in Table 3. The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained green phosphor after drying was 60 μm.

【0162】[0162]

【表3】 次いで、製造例3と同様にして、緑色の蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメ
ント(A−G)を作製した。
[Table 3] Next, in the same manner as in Production Example 3, a photosensitive element (AG) including a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a green phosphor was produced.

【0163】製造例5 [青色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(A−B)の作製]表2
に示す材料に代えて、表4に示す材料を使用した以外
は、製造例3と同様にして、青色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層を形成した。得られた緑色の蛍
光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚
さは、60μmであった。
Production Example 5 [Preparation of photosensitive element (AB) containing negative photosensitive resin composition layer (A) containing blue phosphor] Table 2
A negative type photosensitive resin composition layer containing a blue phosphor was formed in the same manner as in Production Example 3 except that the materials shown in Table 4 were used instead of the materials shown in Table 4. The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained green phosphor after drying was 60 μm.

【0164】[0164]

【表4】 次いで、製造例3と同様にして、緑色の蛍光体を含有す
るネガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメ
ント(A−B)を作製した。
[Table 4] Next, in the same manner as in Production Example 3, a photosensitive element (AB) including a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a green phosphor was produced.

【0165】製造例6 [熱可塑性樹脂層(B)を含むフィルム(B−1)の作
製]表5に示す材料からなる樹脂溶液を、20μmの厚
さのポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗
布し、熱可塑性樹脂層(B)を形成した。得られた熱可
塑性樹脂層(B)の乾燥後の厚さは70μmであった。
Production Example 6 [Preparation of Film (B-1) Containing Thermoplastic Resin Layer (B)] A resin solution composed of the materials shown in Table 5 was uniformly applied on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm. Then, a thermoplastic resin layer (B) was formed. The thickness of the obtained thermoplastic resin layer (B) after drying was 70 μm.

【0166】[0166]

【表5】 次いで、熱可塑性樹脂層(B)の上に厚さが25μmの
ポリエチレンテレフタレートフィルムをカバーフィルム
として張り合せて、熱可塑性樹脂層(B)を含むフィル
ム(B−1)を作製した。
[Table 5] Next, a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm was laminated as a cover film on the thermoplastic resin layer (B) to prepare a film (B-1) including the thermoplastic resin layer (B).

【0167】製造例7 [熱可塑性樹脂層(B)及び赤色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメント
(E−R)の作製]表2に示す材料を、ライカイ機を用
いて15分間混合し、蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物溶液を調製した。
Production Example 7 [Preparation of photosensitive element (E-R) including thermoplastic resin layer (B) and negative-type photosensitive resin composition layer (A) containing red phosphor] Table 2 The materials were mixed using a raikai machine for 15 minutes to prepare a negative photosensitive resin composition solution containing a phosphor.

【0168】得られた溶液を、製造例6で得た熱可塑性
樹脂層を含むフィルム(B−1)のポリエチレンテレフ
タレートフィルムを剥離した後、熱可塑性樹脂層(B)
の上に均一に塗布し、80〜110℃の熱風対流式乾燥
機で10分間乾燥して溶剤を除去し、赤色の蛍光体を含
有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)を形成した。得
られた赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
層の乾燥後の厚さは、60μmであった。
After the polyethylene terephthalate film of the film (B-1) containing the thermoplastic resin layer obtained in Production Example 6 was peeled off from the obtained solution, the thermoplastic resin layer (B) was removed.
And then dried with a hot air convection dryer at 80 to 110 ° C. for 10 minutes to remove the solvent, thereby forming a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a red phosphor. . The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained red phosphor after drying was 60 μm.

【0169】次いで、赤色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の上に、厚さが25μmのポリ
エチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ
て、赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(E−R)を作製した。
Next, a 25 μm-thick polyethylene film was laminated as a cover film on the negative-type photosensitive resin composition layer (A) containing the red phosphor, and the negative-type negative resin containing the red phosphor was A photosensitive element (E-R) containing the photosensitive resin composition layer (A) was produced.

【0170】製造例8 [熱可塑性樹脂層(B)及び緑色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメント
(E−G)の作製]表2に示す材料に代えて、表3に示
す材料を使用した以外は、製造例7と同様にして、緑色
の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層を形成し
た。得られた緑色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層の乾燥後の厚さは、60μmであった。
Production Example 8 [Preparation of photosensitive element (EG) containing thermoplastic resin layer (B) and negative photosensitive resin composition layer (A) containing green phosphor] Table 2 A negative photosensitive resin composition layer containing a green phosphor was formed in the same manner as in Production Example 7 except that the materials shown in Table 3 were used instead of the materials. The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained green phosphor after drying was 60 μm.

【0171】次いで、緑色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の上に、厚さが25μmのポリ
エチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ
て、緑色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(E−G)を作製した。
Then, a polyethylene film having a thickness of 25 μm is laminated as a cover film on the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the green phosphor to form a negative photosensitive resin composition containing the green phosphor. A photosensitive element (EG) containing the photosensitive resin composition layer (A) was produced.

【0172】製造例9 [熱可塑性樹脂層(B)及び青色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメント
(E−B)の作製]表2に示す材料に代えて、表4に示
す材料を使用した以外は、製造例7と同様にして、青色
の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層を形成し
た。得られた青色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層の乾燥後の厚さは、60μmであった。
Production Example 9 [Preparation of photosensitive element (EB) including thermoplastic resin layer (B) and negative photosensitive resin composition layer (A) containing blue phosphor] Table 2 A negative photosensitive resin composition layer containing a blue phosphor was formed in the same manner as in Production Example 7 except that the materials shown in Table 4 were used instead of the materials. The thickness of the negative photosensitive resin composition layer containing the obtained blue phosphor after drying was 60 μm.

【0173】次いで、青色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)の上に、厚さが25μmのポリ
エチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ
て、青色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(E−B)を作製した。
Next, a polyethylene film having a thickness of 25 μm is laminated as a cover film on the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the blue phosphor, and the negative photosensitive resin composition layer containing the blue phosphor is adhered. A photosensitive element (EB) containing the photosensitive resin composition layer (A) was produced.

【0174】次に、PDP用基板(ストライプ状バリア
リブ、バリアリブ間の開口幅150μm、バリアリブの
幅70μm、バリアリブの高さ150μm)のバリアリ
ブが形成された側に、上記ポジ型感光性樹脂の溶液の塗
布と100℃で15分の乾燥とを5回繰り返して、空間
にポジ型感光性樹脂を充填した。
Next, the solution of the positive photosensitive resin was applied to the PDP substrate (striped barrier ribs, opening width between barrier ribs 150 μm, barrier rib width 70 μm, barrier rib height 150 μm) formed side. Coating and drying at 100 ° C. for 15 minutes were repeated five times, and the space was filled with a positive photosensitive resin.

【0175】実施例1 [蛍光パターンの作製] [(I)バリアリブが形成されたプラズマディスプレイ
パネル用基板の放電空間内にポジ型感光性樹脂層を形成
する工程]PDP用基板(ストライプ状バリアリブ、バ
リアリブ間の開口幅150μm、バリアリブの幅70μ
m、バリアリブの高さ150μm)のバリアリブが形成
された側に、製造例1で得られたポジ型感光性樹脂の溶
液をロールコート法により塗布し、100℃で15分乾
燥してポジ型感光性樹脂層(C)をPDP用基板の放電
空間内に形成した。 [(II)活性光線を像的に照射する工程]次いで、ポ
ジ型感光性樹脂層(C)を形成したPDP用基板に、赤
色用フォトレジストマスクを密着させて、(株)オーク
製作所製、HMW−590型露光機を使用し、200m
J/cm2で活性光線を像的に照射した。 [(III)現像によりポジ型感光性樹脂層(C)の照
射部を除去する工程]次いで、120℃で15分間加熱
した後、1重量%のメタケイ酸ナトリウム水溶液で15
0秒間スプレー現像して、ポジ型感光性樹脂層(C)の
照射部を除去した。その後、蒸留水を5分間スプレーし
て洗浄し、80℃の熱風を10分間吹けつけて乾燥し
た。 [(IV−1)プラズマディスプレイパネル用基板上
に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)
の上部に熱可塑性樹脂層が配置された状態で、(B)層
を加熱圧着する工程]次いで、このPBP用基板に、製
造例3で得られた蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組
成物層(A)を含む感光性エレメント(A−R)を、ポ
リエチレンフィルムを剥がしながら真空ラミネータ(日
立化成工業(株)製、商品名VLM−1型)を用いて、
ヒートシュー温度が30℃、ラミネート速度が1.5m
/分、気圧が4000Pa以下、圧着圧力が線圧で2.
5×105N/mで積層した。
Example 1 [Preparation of Fluorescent Pattern] [(I) Step of Forming Positive Photosensitive Resin Layer in Discharge Space of Plasma Display Panel Substrate Formed with Barrier Rib] PDP substrate (stripe-shaped barrier rib, Opening width between barrier ribs 150 μm, barrier rib width 70 μm
m, the barrier rib having a height of 150 μm) is coated with the solution of the positive photosensitive resin obtained in Production Example 1 by a roll coating method, and dried at 100 ° C. for 15 minutes to form a positive photosensitive resin. The conductive resin layer (C) was formed in the discharge space of the PDP substrate. [(II) Step of irradiating actinic rays imagewise] Then, a red photoresist mask is brought into close contact with the PDP substrate on which the positive photosensitive resin layer (C) is formed, and is manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Using an HMW-590 type exposure machine, 200m
Actinic rays were irradiated imagewise at J / cm 2 . [(III) Step of Removing Irradiated Area of Positive-Type Photosensitive Resin Layer (C) by Development] Then, the mixture is heated at 120 ° C. for 15 minutes, and then treated with a 1% by weight aqueous solution of sodium metasilicate.
The exposed portion of the positive photosensitive resin layer (C) was removed by spray development for 0 second. Thereafter, the substrate was washed by spraying distilled water for 5 minutes, and dried by blowing hot air of 80 ° C. for 10 minutes. [(IV-1) Negative-type photosensitive resin composition layer containing phosphor on substrate for plasma display panel (A)
(B) Step of thermocompression bonding of layer (B) in a state where a thermoplastic resin layer is disposed on top of the above] Next, a negative photosensitive resin composition containing the phosphor obtained in Production Example 3 on this PBP substrate The photosensitive element (AR) containing the material layer (A) is peeled off from the polyethylene film using a vacuum laminator (VLM-1 type, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.).
Heat shoe temperature 30 ° C, laminating speed 1.5m
/ Min, the pressure is 4000 Pa or less, and the pressure is 2.
Lamination was performed at 5 × 10 5 N / m.

【0176】次いで、赤色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメント(A−
R)のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、
赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)上に、製造例6で得られた熱可塑性樹脂層(B)
を含むフィルム(B−1)をポリエチレンテレフタレー
トフィルムを剥がしながら、ラミネータ(日立化成工業
(株)製、商品名HLM−3000型)を用いて、ラミ
ネート速度が0.5m/分、圧着圧力が線圧で5.0×
105N/mで積層した。 [(V)活性光線を、(II)の工程と同一のパターン
で像的に照射する工程]次いで、熱可塑性樹脂層(B)
を含むフィルム(B−1)のポリエチレンテレフタレー
トフィルム上に、(II)の工程で用いた赤色フォトマ
スクを密着させて、(株)オーク製作所製、HMW−5
90型露光機を使用し、100mJ/cm2で活性光線
を像的に照射した。 [(VI)現像により、(IV−1)の工程で加熱圧着
された(A)層及び(B)層の不要部を除去する工程]
次いで、活性光線の照射後、常温で1時間放置した後、
1重量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で70
秒間スプレー現像した。現像後、蒸留水を5分間吹きつ
けて洗浄し、80℃の熱風を10分間吹きつけて乾燥し
て赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)のパターンを得た。 [(VII)(II)〜(VI)の工程を繰り返して、
赤、緑及び青に発色する蛍光体を有するネガ型感光性樹
脂組成物からなる多色パターンを形成する工程]次い
で、上記の(II)〜(VI)の工程において、赤色用
フォトマスクの代わりに緑色用フォトマスクを用い、赤
色の蛍光体を含有するネガ型感光性エレメント(A−
R)の代わりに緑色の蛍光体を含有するネガ型感光性エ
レメント(A−G)を用いて(II)〜(VI)の工程
を繰り返し、緑色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂
組成物層(A)のパターンを付け加えた。
Next, the photosensitive element (A-A) containing the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the red phosphor was prepared.
R) peeling off the polyethylene terephthalate film,
The thermoplastic resin layer (B) obtained in Production Example 6 on the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the red phosphor
While laminating the polyethylene terephthalate film from the film (B-1) containing, a laminator (trade name: HLM-3000 type, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was used, the laminating speed was 0.5 m / min, and the pressure was linear. 5.0 × by pressure
The layers were laminated at 10 5 N / m. [(V) Step of irradiating actinic rays imagewise with the same pattern as the step (II)] Next, the thermoplastic resin layer (B)
The red photomask used in the step (II) is adhered to the polyethylene terephthalate film of the film (B-1) containing, and HMW-5 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.
Active light was imagewise irradiated at 100 mJ / cm 2 using a 90 type exposure machine. [(VI) Step of Removing Unwanted Parts of Layers (A) and (B) Heat-Pressed in Step (IV-1) by Development]
Then, after irradiating with actinic light, leave at room temperature for 1 hour
70% at 30 ° C. using a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution.
Spray developed for seconds. After the development, the film was washed by blowing distilled water for 5 minutes, and dried by blowing hot air of 80 ° C. for 10 minutes to obtain a pattern of a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a red phosphor. . [By repeating the steps of (VII) (II) to (VI),
Step of Forming Multicolor Pattern Made of Negative-Type Photosensitive Resin Composition Having Phosphor Emitting Red, Green and Blue] Then, in the above-mentioned steps (II) to (VI), a photomask for red is used instead. Using a green photomask, a negative photosensitive element containing a red phosphor (A-
The steps (II) to (VI) are repeated using a negative photosensitive element (AG) containing a green phosphor in place of R) to obtain a negative photosensitive resin composition containing a green phosphor. The pattern of the material layer (A) was added.

【0177】次いで、上記の(II)〜(VI)の工程
において、赤色用フォトマスクの代わりに青色用フォト
マスクを用い、赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性エ
レメント(A−R)の代わりに青色の蛍光体を含有する
ネガ型感光性エレメント(A−B)を用いて(II)〜
(VI)の工程を繰り返し、青色の蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)のパターンを付け加え
て、赤、緑及び青色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層のパターンを作製した。 [(VIII)焼成により不要分を除去する工程]次い
で、550℃で30分間加熱処理(焼成)を行い、不必
要な樹脂成分を除去し、PDP用基板の空間に蛍光体パ
ターンを形成させた。 [蛍光体パターンの評価]得られた蛍光体パターンの断
面のSEM写真を撮り、蛍光体層と放電空間底面との間
の空隙の有無と蛍光体層の形状の観察及び放電空間の底
面中央及びリブの中央部の蛍光体層の厚さの測定を行
い、結果を表6に示した。
Next, in the above steps (II) to (VI), a blue type photomask is used instead of the red type photomask, and the negative type photosensitive element (A-R) containing the red phosphor is used. Instead of using a negative photosensitive element (AB) containing a blue phosphor, (II)-
The process of (VI) is repeated, and the pattern of the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the blue phosphor is added to the negative photosensitive resin composition containing the red, green and blue phosphors. A layer pattern was prepared. [(VIII) Step of Removing Unwanted Parts by Firing] Then, heat treatment (firing) was performed at 550 ° C. for 30 minutes to remove unnecessary resin components, and a phosphor pattern was formed in the space of the PDP substrate. . [Evaluation of Phosphor Pattern] A SEM photograph of a cross section of the obtained phosphor pattern was taken, the presence or absence of a gap between the phosphor layer and the bottom of the discharge space, the shape of the phosphor layer was observed, and the center of the bottom of the discharge space and The thickness of the phosphor layer at the center of the rib was measured, and the results are shown in Table 6.

【0178】[0178]

【表6】 実施例2 実施例1において(IV−1)及び(V−1)の工程を
次に示す(IV−2)及び(V−2)の工程に変えた他
は同様にして、PDP用基板の空間に蛍光体パターンを
形成させた。蛍光体パターンの評価を表7に示す。 [(IV−2)プラズマディスプレイパネル用基板上
に、感光性エレメント(E)(支持体フィルム上に熱可
塑性樹脂層(B)を設け、その上に蛍光体を含有するネ
ガ型感光性樹脂組成物層(A)を設けた多層フィルム)
を加熱圧着する工程]次いで、このPBP用基板に、製
造例7で得られた熱可塑性樹脂層(B)及び赤色の蛍光
体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A)を含む感
光性エレメント(E−R)を、ポリエチレンフィルムを
剥がしながら真空ラミネータ(日立化成工業(株)製、
商品名VLM−1型)を用いて、ヒートシュー温度が1
10℃、ラミネート速度が0.5m/分、気圧が400
0Pa以下、圧着圧力が線圧で5.0×105N/mで
積層した。 [(V−2)活性光線を、(II)の工程と同一のパタ
ーンで像的に照射する工程]次いで、感光性エレメント
のポリエチレンテレフタレートフィルム上に、(II)
の工程で用いた赤色フォトマスクを密着させて、(株)
オーク製作所製、HMW−590型露光機を使用し、1
00mJ/cm2で活性光線を像的に照射した。
[Table 6] Example 2 A PDP substrate was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the steps (IV-1) and (V-1) were changed to the following steps (IV-2) and (V-2). A phosphor pattern was formed in the space. Table 7 shows the evaluation of the phosphor pattern. [(IV-2) A photosensitive element (E) is provided on a substrate for a plasma display panel (a thermoplastic resin layer (B) is provided on a support film, and a negative photosensitive resin composition containing a phosphor is provided thereon). Multilayer film provided with material layer (A))
Step of thermocompression bonding] Next, a photosensitive composition comprising the thermoplastic resin layer (B) obtained in Production Example 7 and the negative photosensitive resin composition layer (A) containing a red phosphor on this PBP substrate. A vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.,
The heat shoe temperature is 1
10 ° C., lamination speed 0.5 m / min, air pressure 400
Lamination was performed at 0 Pa or less and a pressure of 5.0 × 10 5 N / m as a linear pressure. [(V-2) Step of irradiating actinic rays imagewise in the same pattern as the step (II)] Next, on the polyethylene terephthalate film of the photosensitive element, (II)
Adhere the red photomask used in the process of
Using an HMW-590 type exposure machine manufactured by Oak Works,
An actinic ray was imagewise irradiated at 00 mJ / cm 2 .

【0179】[0179]

【表7】 比較例1 実施例1と同様のプラズマディスプレイパネル用基板
に、赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)を含む感光性エレメント(A−R)を、ポリエチ
レンフィルムを剥離しながら、ラミネータ(日立化成工
業(株)製、商品名HLM−3000型)を用いて、ラ
ミネート温度が110℃、ラミネート速度が0.5m/
分、圧着圧力が線圧で5.0×105N/mで積層し
た。
[Table 7] Comparative Example 1 A photosensitive element (A-R) including a negative-type photosensitive resin composition layer (A) containing a red phosphor was peeled off a polyethylene film on the same plasma display panel substrate as in Example 1. While using a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: HLM-3000 type), the laminating temperature was 110 ° C., and the laminating speed was 0.5 m /
The lamination was performed at a compression pressure of 5.0 × 10 5 N / m in linear pressure.

【0180】次いで、赤色の蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメント(A−
R)のポリエチレンテレフタレートフィルム上に赤色用
フォトマスクを密着させて、(株)オーク製作所製、H
MW−590型露光機を使用し、100mJ/cm2
活性光線を像的に照射した。
Next, the photosensitive element (A-A) containing the negative photosensitive resin composition layer (A) containing the red phosphor was prepared.
R) A red photomask is adhered to the polyethylene terephthalate film of R), and H
Using an MW-590 type exposure machine, actinic rays were irradiated imagewise at 100 mJ / cm 2 .

【0181】次いで、活性光線の照射後、常温で1時間
放置した後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、
30℃で70秒間スプレー現像した。現像後、蒸留水を
5分間吹きつけて洗浄し、80℃の熱風を10分間吹き
つけて乾燥して赤色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層(A)のパターンを得た。
Next, after irradiating with actinic rays, the mixture was allowed to stand at room temperature for 1 hour, and then, using a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution,
Spray development was performed at 30 ° C. for 70 seconds. After the development, the film was washed by blowing distilled water for 5 minutes, and dried by blowing hot air of 80 ° C. for 10 minutes to obtain a pattern of a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a red phosphor. .

【0182】同様の工程をさらに2回繰り返して、緑色
の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層のパター
ン及び青色の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物
層のパターンをつけ加えて、赤、緑及び青色の蛍光体を
含有するネガ型感光性樹脂組成物層のパターンを作製し
た。
The same steps were repeated two more times to add a pattern for the negative photosensitive resin composition layer containing the green phosphor and a pattern for the negative photosensitive resin composition layer containing the blue phosphor. Thus, a pattern of a negative photosensitive resin composition layer containing red, green and blue phosphors was prepared.

【0183】次いで、実施例と同様の条件で熱処理を行
い、PDP用基板の空間に蛍光体パターンを形成させ
た。
Next, a heat treatment was performed under the same conditions as in the example to form a phosphor pattern in the space of the PDP substrate.

【0184】得られた蛍光体パターンの断面のSEM写
真を撮り、蛍光体の観察を行った結果、蛍光体層と放電
空間底面との間に隙間が生じ、蛍光体層は放電空間底面
まで到達していなかった。
As a result of taking a SEM photograph of the cross section of the obtained phosphor pattern and observing the phosphor, a gap was formed between the phosphor layer and the bottom of the discharge space, and the phosphor layer reached the bottom of the discharge space. I didn't.

【0185】この結果から、蛍光体を含有するネガ型感
光性樹脂組成物層(A)を含む感光性エレメントを熱圧
着する従来の方法では、ポジ型感光性樹脂(C)及び熱
可塑性樹脂層を含むフィルムを使用した、実施例1及び
2と比較して、PDP用基板の空間における蛍光体パタ
ーンの形成性(PDP用基板のバリアリブ面及び空間底
面上への埋め込み性)が劣ることが分かる。
From these results, it is apparent that the conventional method of thermocompression-bonding a photosensitive element containing a negative photosensitive resin composition layer (A) containing a fluorescent substance has a positive photosensitive resin (C) and a thermoplastic resin layer. It can be seen that, compared to Examples 1 and 2, in which a film containing P was used, the formability of the phosphor pattern in the space of the PDP substrate (the embedding property on the barrier rib surface and the space bottom surface of the PDP substrate) was inferior. .

【0186】[0186]

【発明の効果】本発明の蛍光体パターンの製造法は、P
DP用基板の空間への埋め込み性(PDP用基板の放電
空間内のバリアリブ壁面及び基板底面上における蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物層の形成性)が優れ、高精
度で均一な形状の蛍光体パターンを形成できる。
As described above, the method for producing a phosphor pattern of the present invention comprises the steps of:
Excellent embedding into the space of the DP substrate (formability of the photosensitive resin composition layer containing the phosphor on the barrier rib wall surface and the bottom surface of the substrate in the discharge space of the PDP substrate) with a high precision and uniform shape A phosphor pattern can be formed.

【0187】また、本発明はさらに作業性に優れる蛍光
体パターンの製造法を提供するものである。
Further, the present invention provides a method for producing a phosphor pattern which is more excellent in workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.

【図2】バリアリブが形成されたPDP用基板の一例を
示した模式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a PDP substrate on which barrier ribs are formed.

【図3】本発明の蛍光体パターンの製造方法の各工程を
示した模式図である。
FIG. 3 is a schematic view showing each step of a method for manufacturing a phosphor pattern according to the present invention.

【図4】本発明の蛍光体パターンの製造方法の各工程を
示した模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing each step of a method for manufacturing a phosphor pattern according to the present invention.

【図5】蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層からなる
多色パターンを形成した状態を示した模式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing a state in which a multicolor pattern composed of a photosensitive resin composition layer containing a phosphor is formed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 バリアリブ 3 格子状放電空間 4 ストライプ状放電空間 4′ 蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層を形
成するストライプ状放電空間 5 ポジ型感光性樹脂層(C) 6 熱可塑性樹脂層(B) 7 蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層(A) 7′光硬化後の蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成
物層(A) 7′a 1色目の蛍光体パターン 7′b 2色目の蛍光体パターン 7′c 3色目の蛍光体パターン 8 加熱ロール 9 フォトマスク 10 活性光線 11a 1色目の蛍光体パターン 11b 2色目の蛍光体パターン 11c 3色目の蛍光体パターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Barrier rib 3 Lattice discharge space 4 Stripe discharge space 4 'Stripe discharge space forming negative photosensitive resin composition layer containing phosphor 5 Positive photosensitive resin layer (C) 6 Thermoplastic resin Layer (B) 7 Negative-type photosensitive resin composition layer containing phosphor (A) 7 ′ Negative-type photosensitive resin composition layer containing phosphor after photocuring (A) 7′a First-color fluorescence Body pattern 7'b Second-color phosphor pattern 7'c Third-color phosphor pattern 8 Heating roll 9 Photomask 10 Active ray 11a First-color phosphor pattern 11b Second-color phosphor pattern 11c Third-color phosphor pattern

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 9/227 H01J 9/227 E // C09D 4/06 C09D 4/06 (72)発明者 和田 有美子 茨城県日立市東町4丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田井 誠司 茨城県日立市東町4丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H01J 9/227 H01J 9/227 E // C09D 4/06 C09D 4/06 (72) Inventor Yumiko Wada 4--13 Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 1 Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Seiji Tai 4-13-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Pref., Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (I)バリアリブが形成されたプラズマ
ディスプレイパネル用基板の放電空間内の基板底面及び
リブ壁面にポジ型感光性樹脂層(C)を形成する工程、
(II)活性光線を像的に照射する工程、(III)現
像によりポジ型感光性樹脂層(C)の照射部を除去する
工程、(IV)所望の部位のみポジ型感光性樹脂層
(C)が除去されたプラズマディスプレイパネル用基板
上に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成物層
(A)と熱可塑性樹脂層(B)とを(A)層を基板側に
して加熱圧着する工程、(V)活性光線を(II)の工
程と同一のパターンで像的に照射する工程、(VI)現
象により(IV)の工程で加熱圧着された(A)層及び
(B)層の不要部を除去する工程、(VII)(II)
〜(VI)の工程を繰り返して、赤、緑及び青に発色す
る蛍光体を含有する感光性樹脂組成物からなる多色パタ
ーンを形成する工程及び(VIII)焼成により不要分
を除去する工程からなることを特徴とする蛍光体パター
ンの製造法。
(I) a step of forming a positive photosensitive resin layer (C) on a bottom surface and a rib wall surface in a discharge space of a plasma display panel substrate on which barrier ribs are formed,
(II) a step of irradiating actinic rays imagewise, (III) a step of removing an irradiated portion of the positive photosensitive resin layer (C) by development, and (IV) a positive photosensitive resin layer (C) only at a desired portion. ) On the substrate for a plasma display panel, from which the negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor and the thermoplastic resin layer (B) are heat-pressed with the (A) layer as the substrate side. (A) and (B) the layers (A) and (B) heat-pressed in the step (IV) due to the phenomenon (VI) due to the phenomenon (VI). Removing unnecessary parts of (VII), (II)
Steps (VI) to (VI) are repeated to form a multicolor pattern made of a photosensitive resin composition containing a phosphor that emits red, green and blue, and (VIII) a step of removing unnecessary components by firing. A method for producing a phosphor pattern.
【請求項2】 (IV)の工程を、プラズマディスプレ
イパネル用基板上に、蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂層(A)の上部に熱可塑性樹脂層(B)が配置された
状態で熱可塑性樹脂層(B)を加熱圧着することにより
行う請求項1記載の蛍光体パターンの製造法。
2. The step (IV) is carried out on a plasma display panel substrate in a state where a thermoplastic resin layer (B) is disposed on a negative photosensitive resin layer (A) containing a phosphor. The method for producing a phosphor pattern according to claim 1, wherein the method is performed by thermocompression bonding the thermoplastic resin layer (B).
【請求項3】 (VI)の工程の蛍光体を含有するネガ
型感光性樹脂層(A)及び熱可塑性樹脂層(B)の不要
部の除去を同一の現像液を使用して現像することにより
行う請求項2記載の蛍光体パターンの製造法。
3. The removal of unnecessary portions of the negative photosensitive resin layer (A) and the thermoplastic resin layer (B) containing the phosphor in the step (VI) is performed by using the same developer. 3. The method for producing a phosphor pattern according to claim 2, wherein
【請求項4】 (IV)の工程を、プラズマディスプレ
イパネル用基板上に、支持体フィルム上に設けた熱可塑
性樹脂層(B)の上に蛍光体を含有するネガ型感光性樹
脂組成物層(A)を設けた多層フィルムからなる感光性
エレメントを加熱圧着することにより行う請求項1記載
の蛍光体パターンの製造法。
4. A negative photosensitive resin composition layer containing a phosphor on a thermoplastic resin layer (B) provided on a support film on a substrate for a plasma display panel in the step (IV). The method for producing a phosphor pattern according to claim 1, wherein the method is performed by heat-pressing a photosensitive element comprising a multilayer film provided with (A).
【請求項5】 (III)の工程のポジ型感光性樹脂層
(C)の照射部の除去並びに(VI)の工程の蛍光体を
含有するネガ型感光性樹脂層(A)及び熱可塑性樹脂層
(B)の不要部の除去を同一の現像液を使用して現像す
ることにより行う請求項4記載の蛍光体パターンの製造
法。
5. The removal of the irradiated portion of the positive photosensitive resin layer (C) in the step (III), the negative photosensitive resin layer (A) containing the phosphor in the step (VI) and the thermoplastic resin 5. The method for producing a phosphor pattern according to claim 4, wherein the unnecessary portion of the layer (B) is removed by developing using the same developer.
【請求項6】 蛍光体を含有するネガ型感光性樹脂組成
物層(A)が、(a)フィルム性付与ポリマー、(b)
末端にエチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合
物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成す
る光開始剤及び(d)蛍光体、を含むものである請求項
1記載の蛍光体パターンの製造法。
6. A negative photosensitive resin composition layer (A) containing a phosphor, comprising: (a) a film property-imparting polymer; and (b)
The phosphor pattern according to claim 1, comprising a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group at a terminal, (c) a photoinitiator that generates free radicals upon irradiation with actinic light, and (d) a phosphor. Manufacturing method.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0865067A2 (en) * 1997-03-11 1998-09-16 Hitachi Chemical Co., Ltd. Processes for preparing phosphor pattern, phosphor pattern prepared by the same and back plate for plasma display panel
JP2006159180A (en) * 2004-11-15 2006-06-22 Jsr Corp Method for cleaning metallic vessel and method for cleaning resin molding

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