JPH11168036A - Method of manufacturing aluminum foil for electrolytic capacitor electrode - Google Patents

Method of manufacturing aluminum foil for electrolytic capacitor electrode

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JPH11168036A
JPH11168036A JP33293597A JP33293597A JPH11168036A JP H11168036 A JPH11168036 A JP H11168036A JP 33293597 A JP33293597 A JP 33293597A JP 33293597 A JP33293597 A JP 33293597A JP H11168036 A JPH11168036 A JP H11168036A
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JP
Japan
Prior art keywords
aluminum foil
electrolytic capacitor
capacitor electrode
aluminum
solid particles
Prior art date
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Pending
Application number
JP33293597A
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Japanese (ja)
Inventor
Tadao Fujihira
忠雄 藤平
Kiyoshi Watanabe
潔 渡辺
Ichizo Tsukuda
市三 佃
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Showa Aluminum Can Corp
Original Assignee
Showa Aluminum Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode the electrostatic capacitance is improved by making forming etching pits form densely uniformly on the surface to increase the surface area. SOLUTION: An aluminum foil is annealed, then is irradiated with ultrasonic wave in a processing liquid, and is etched. Preferably, the processing liquid is one in which solid particles have been diffused. The solid particles comprise one or two or more selected from among a group consisting of silicon carbide, boron carbide, diamond, and aluminum oxide, each having a mean diameter of 100 μm or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、電解コンデンサ
電極用アルミニウム箔の製造方法に関する。
The present invention relates to a method for producing an aluminum foil for an electrode of an electrolytic capacitor.

【0002】なお、この明細書において、「アルミニウ
ム」の語はアルミニウムおよびアルミニウム合金の両方
を意味する。
[0002] In this specification, the term "aluminum" means both aluminum and aluminum alloys.

【0003】[0003]

【従来の技術】一般に、電解コンデンサ電極材として用
いられるアルミニウム箔には、電気化学的あるいは化学
的エッチング処理を行い、箔の表面積を拡大することに
より単位面積当りの静電容量を大きくしている。そのた
め、このようなアルミニウム箔においては、エッチング
ピットを多数かつ均一に発生させることが必要とされ、
拡面率を増大させるための種々の提案がなされている。
2. Description of the Related Art Generally, an aluminum foil used as an electrode material of an electrolytic capacitor is subjected to an electrochemical or chemical etching treatment to increase the surface area of the foil to increase the capacitance per unit area. . Therefore, in such an aluminum foil, it is necessary to generate a large number of etching pits uniformly.
Various proposals have been made to increase the area coverage.

【0004】例えば、特開平6−124855号公報に
おいては、箔材料への微量元素の添加によるエッチング
ピットの成長促進や、表層部にエッチングピットの開始
点となる特定元素の濃化層を形成することが提案されて
いる。また、特開平3−122260号公報において
は、金属組成や箔表面の酸化皮膜厚さの制御によりエッ
チング特性を向上させることが提案されている。
For example, in JP-A-6-124855, the growth of etching pits is promoted by adding a trace element to a foil material, and a concentrated layer of a specific element serving as a starting point of the etching pits is formed in the surface layer. It has been proposed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-122260 proposes improving the etching characteristics by controlling the metal composition and the thickness of the oxide film on the foil surface.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法では、十分なピット密度が得られなかったり、ピ
ットが偏在して隣接するピットが結合し、十分な拡面効
果が得られないという問題点があった。
However, in the above-mentioned method, there is a problem that a sufficient pit density cannot be obtained, or that pits are unevenly distributed and adjacent pits are combined to obtain a sufficient surface enlargement effect. was there.

【0006】この発明は、このような背景技術に鑑み、
エッチングピットを高密度かつ均一に形成して拡面率を
向上させ、高静電容量の得られる電解コンデンサ電極用
アルミニウム箔の製造方法を目的とする。
The present invention has been made in view of such background art,
An object of the present invention is to provide a method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode, in which etching pits are formed with high density and uniformity to increase the surface area and obtain a high capacitance.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明者らは、箔表面
に発生した微小な欠陥がエッチングの開始点になること
に着目し、箔表面の酸化膜に微小な欠陥を高密度かつ均
一に発生させれば、エッチングにより均一かつ高密度の
ピットが形成されることを見出だし、この発明の完成に
至った。
The present inventors have paid attention to the fact that a minute defect generated on the foil surface becomes a starting point of etching, and the minute defect is uniformly and densely formed on the oxide film on the foil surface. It was found that if they were generated, uniform and high-density pits were formed by etching, and the present invention was completed.

【0008】即ち、この発明の電解コンデンサ電極用ア
ルミニウム箔の製造方法は、アルミニウム箔を焼鈍した
後、処理液中で超音波を照射し、次いでエッチング処理
を行うことを基本要旨とする。
[0008] That is, the basic idea of the method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode of the present invention is to anneal the aluminum foil, irradiate it with ultrasonic waves in a treatment solution, and then perform etching.

【0009】この発明の方法において、焼鈍により軟化
したアルミニウム箔に対し、処理液中で超音波を照射す
ることにより、箔表面の酸化膜にエッチングの開始点と
なる微小な欠陥を多数かつ均一に発生させる。処理液
は、液体のみでも超音波振動によって微小欠陥を発生さ
せることができるが、液体中に固体粒子を分散させるこ
とによって短時間で必要な微小欠陥を発生させることが
できる。
[0009] In the method of the present invention, the aluminum foil softened by annealing is irradiated with ultrasonic waves in a processing solution, so that an oxide film on the surface of the foil has a large number of minute defects serving as a starting point of etching uniformly. generate. Although the processing liquid can generate minute defects by ultrasonic vibration even with the liquid alone, the required minute defects can be generated in a short time by dispersing solid particles in the liquid.

【0010】固体粒子を用いない場合の処理液および固
体粒子を用いる場合の分散媒としては、水、酸またはア
ルカリの水溶液、有機溶剤のいずれでも用いることがで
きる。酸では、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸等を、アルカ
リでは苛性ソーダ、ケイ酸ソーダ、炭酸ソーダ、リン酸
ソーダ等を、有機溶剤ではフロン、トリクロルエタン等
の塩素系溶剤、ヘキサン、メチレンクロライド、イソプ
ロピルアルコール等を例示できる。また、酸またはアル
カリを用いれば酸化膜への溶解性が高く短時間の超音波
照射で微小欠陥を生成できるというメリットがある。し
かしその反面、溶解の進行が早いため、溶解が進みすぎ
ると酸化膜が溶失してしまい、却って良好なエッチング
ピットが得られなくなることがある。そのため、酸また
はアルカリを用いる場合は、超音波照射処理を容易に管
理する上で低濃度溶液を用いることが好ましい。これら
の処理液のうちでも、水または希酸が最も安価でありか
つ扱いも簡単で好適であり推奨できる。
As a treatment liquid in the case of using no solid particles and a dispersion medium in the case of using solid particles, any of water, an acid or alkali aqueous solution, and an organic solvent can be used. Acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, nitric acid, etc., alkalis include caustic soda, sodium silicate, sodium carbonate, sodium phosphate, etc .; Alcohol and the like can be exemplified. In addition, the use of an acid or an alkali has the advantage that it has high solubility in an oxide film and can generate minute defects by short-time ultrasonic irradiation. However, on the other hand, since the dissolution progresses rapidly, if the dissolution proceeds too much, the oxide film may be lost, and on the contrary, good etching pits may not be obtained. Therefore, when using an acid or an alkali, it is preferable to use a low-concentration solution in order to easily manage the ultrasonic irradiation treatment. Among these treatment liquids, water or dilute acid is the cheapest, easy to handle and suitable and can be recommended.

【0011】また、前記固体粒子は、アルミニウム箔表
面の酸化膜に微小な欠陥を発生させるために、箔表面の
酸化膜に欠陥をつけ得る硬度を有し、微細粒のものを使
用する。具体的には、シリコンカーバイド、ボロンカー
バイド、ダイヤモンドまたは酸化アルミニウムが好適で
あり、これらのうち1種でも2種以上を混合して使用し
ても良い。また、粒径は、小さすぎると短時間で微小な
欠陥を発生させる効果に乏しく、大きすぎると欠陥寸法
も大きくなってエッチングによりピットが結合してしま
い、却って拡面効果が低下するため、平均粒径で100
μm以下が好ましい。特に好ましい平均粒径の下限値は
7μmであり、上限値は60μmである。また、処理液
中の固体粒子濃度は10〜100g/lが好ましい。
The solid particles are fine particles having a hardness capable of causing defects in the oxide film on the foil surface in order to generate minute defects in the oxide film on the aluminum foil surface. Specifically, silicon carbide, boron carbide, diamond or aluminum oxide is suitable, and one or more of these may be used in combination. On the other hand, if the particle size is too small, the effect of generating minute defects in a short time is poor. 100 in particle size
μm or less is preferred. A particularly preferred lower limit of the average particle size is 7 μm, and an upper limit is 60 μm. The concentration of the solid particles in the treatment liquid is preferably 10 to 100 g / l.

【0012】また、微小な欠陥を高密度かつ均一に発生
させるために、次の超音波条件が好ましい。超音波の発
振周波数は、28〜100kHzが好ましく、特に45
kHz以下が好ましい。出力は100〜600Wが好ま
しい。照射時間は1〜50分が好ましく、特に3〜30
分が好ましい。
The following ultrasonic conditions are preferable in order to generate minute defects with high density and uniformity. The oscillation frequency of the ultrasonic wave is preferably from 28 to 100 kHz, particularly 45 kHz.
kHz or less is preferable. The output is preferably 100 to 600 W. The irradiation time is preferably 1 to 50 minutes, particularly 3 to 30 minutes.
Minutes are preferred.

【0013】なお、この発明の方法におけるアルミニウ
ム箔は、その種類や組成、あるいは焼鈍条件等は特に限
定されない。
The type and composition of the aluminum foil used in the method of the present invention and the annealing conditions are not particularly limited.

【0014】この発明の方法によれば、エッチング前に
行う超音波照射により箔表面の酸化膜に微小な欠陥が高
密度かつ均一に形成され、この欠陥がエッチングの開始
点となりピットが形成されるため、高密度かつ均一なエ
ッチングピットが形成される。
According to the method of the present invention, microscopic defects are uniformly and densely formed in the oxide film on the foil surface by the ultrasonic irradiation performed before the etching, and the defects serve as a starting point of the etching to form pits. Therefore, high-density and uniform etching pits are formed.

【0015】[0015]

【実施例】次に、この発明の電解コンデンサ電極用アル
ミニウム箔の製造方法の実施例について説明する。
Next, an embodiment of the method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode according to the present invention will be described.

【0016】先ず、常法により純度99.99%のアル
ミニウムを箔圧延上がりで100μmの厚さに形成し
た。この箔を、35℃の0.1%の苛性ソーダ水溶液中
で洗浄して圧延油を除去した後に、窒素ガス中で500
℃×4時間焼鈍した。
First, aluminum having a purity of 99.99% was formed to a thickness of 100 μm by a conventional method by foil rolling. This foil was washed in a 0.1% aqueous solution of caustic soda at 35 ° C. to remove the rolling oil, and then washed in nitrogen gas at 500 ° C.
Annealed for 4 hours.

【0017】このようにして製作した焼鈍箔について、
各実施例は後掲の表1に示す処理液に浸漬し、超音波照
射を行った。処理液は、実施例1については固体粒子を
使用しない水のみであり、実施例2〜18については表
1に示す平均粒径の固体粒子を水または0.1%塩酸に
50g/lの割合で分散させたものを使用した。また、
比較例については超音波照射を行わなかった。
With respect to the thus produced annealed foil,
Each example was immersed in a treatment solution shown in Table 1 below and irradiated with ultrasonic waves. The treatment liquid was only water without using solid particles in Example 1, and in Examples 2 to 18, solid particles having an average particle diameter shown in Table 1 were added to water or 0.1% hydrochloric acid at a ratio of 50 g / l. Was used. Also,
No ultrasonic irradiation was performed for the comparative example.

【0018】以上の処理を施した各アルミニウム箔につ
いて、下記の条件で2段階のエッチングを行い、さらに
化成処理処理を行った。
Each of the aluminum foils subjected to the above treatment was subjected to two-stage etching under the following conditions, and further subjected to a chemical conversion treatment.

【0019】(エッチング第1段階)78℃の5%塩酸
+30%硫酸浴中で、電流密度:直流20A/dm2
2分間のエッチングを行った。
(First Stage of Etching) Etching was performed for 2 minutes at a current density of 20 A / dm 2 in a 5% hydrochloric acid + 30% sulfuric acid bath at 78 ° C.

【0020】(エッチング第2段階)85℃の5%塩酸
+0.1%しゅう酸浴中で12分間のケミカルエッチン
グを行った。
(Second Stage of Etching) Chemical etching was performed in a 5% hydrochloric acid + 0.1% oxalic acid bath at 85 ° C. for 12 minutes.

【0021】(化成処理)90℃の100g/lほう酸
+0.9g/lほう酸アンモニウム浴中で270Vで化
成処理した。
(Chemical conversion treatment) Chemical conversion treatment was performed at 270 V in a bath of 100 g / l boric acid + 0.9 g / l ammonium borate at 90 ° C.

【0022】これらのアルミニウム箔について、静電容
量を測定した。比較例の静電容量を100としたときの
相対値を表1に合わせて示す。
The capacitance of these aluminum foils was measured. Table 1 also shows relative values when the capacitance of the comparative example is set to 100.

【0023】[0023]

【表1】 [Table 1]

【0024】表1の結果から、超音波照射を行った実施
例では、高い静電容量が得られることを確認できた。
From the results shown in Table 1, it was confirmed that a high electrostatic capacitance was obtained in the examples in which the ultrasonic irradiation was performed.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上の次第で、この発明の電解コンデン
サ電極用アルミニウム箔の製造方法は、アルミニウム箔
を焼鈍した後、処理液中で超音波を照射し、次いでエッ
チング処理を行うものであるから、箔表面の酸化膜に高
密度かつ均一に発生した微小な欠陥がエッチングの開始
点となって、高密度かつ均一なエッチングピットが形成
される。その結果、拡面率が増大して高い静電容量が達
成され、コンデンサの小型化を実現することができる。
As described above, according to the method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode of the present invention, the aluminum foil is annealed, irradiated with ultrasonic waves in a processing solution, and then subjected to etching. In addition, fine defects uniformly and densely generated in the oxide film on the foil surface serve as a starting point of etching, so that high-density and uniform etching pits are formed. As a result, the enlargement ratio is increased, a high capacitance is achieved, and the miniaturization of the capacitor can be realized.

【0026】さらに、前記処理液中に固体粒子を分散さ
せることにより、短時間で必要な微小欠陥を発生させる
ことができる。また、前記処理液または処理液の分散媒
として水または希酸を用いることにより、低コストで超
音波照射することができる。また、前記固体粒子とし
て、平均粒径100μm以下のシリコンカーバイド、ボ
ロンカーバイド、ダイヤモンドまたは酸化アルミニウム
のうちの1種または2種以上を用いることにより、最も
効率良く微小な欠陥を高密度かつ均一に発生させること
ができる。
Further, by dispersing the solid particles in the treatment liquid, necessary minute defects can be generated in a short time. In addition, ultrasonic irradiation can be performed at low cost by using water or a dilute acid as the treatment liquid or a dispersion medium of the treatment liquid. In addition, by using one or more of silicon carbide, boron carbide, diamond and aluminum oxide having an average particle diameter of 100 μm or less as the solid particles, the most efficient and efficient generation of minute defects is achieved. Can be done.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルミニウム箔を熱処理または焼鈍した
後、処理液中で超音波を照射し、次いでエッチング処理
を行うことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニ
ウム箔の製造方法。
1. A method of manufacturing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode, comprising: irradiating an ultrasonic wave in a treatment liquid after heat-treating or annealing the aluminum foil, and then performing an etching treatment.
【請求項2】 前記処理液は、液体に固体粒子を分散さ
せたものである請求項1に記載の電解コンデンサ電極用
アルミニウム箔の製造方法。
2. The method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode according to claim 1, wherein the treatment liquid is obtained by dispersing solid particles in a liquid.
【請求項3】 前記処理液または処理液の分散媒は、水
または希酸である請求項1または2に記載の電解コンデ
ンサ電極用アルミニウム箔の製造方法。
3. The method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor electrode according to claim 1, wherein the treatment liquid or the dispersion medium of the treatment liquid is water or a dilute acid.
【請求項4】 前記固体粒子は、平均粒径100μm以
下のシリコンカーバイド、ボロンカーバイド、ダイヤモ
ンドまたは酸化アルミニウムのうちの1種または2種以
上である請求項2または3に記載の電解コンデンサ電極
用アルミニウム箔の製造方法。
4. The aluminum for an electrolytic capacitor electrode according to claim 2, wherein the solid particles are one or more of silicon carbide, boron carbide, diamond and aluminum oxide having an average particle size of 100 μm or less. Method of manufacturing foil.
JP33293597A 1997-12-03 1997-12-03 Method of manufacturing aluminum foil for electrolytic capacitor electrode Pending JPH11168036A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003513172A (en) * 1999-11-03 2003-04-08 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Ultrasonic metal finish

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003513172A (en) * 1999-11-03 2003-04-08 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Ultrasonic metal finish

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