JPH11167641A - パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体Info
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- JPH11167641A JPH11167641A JP9335452A JP33545297A JPH11167641A JP H11167641 A JPH11167641 A JP H11167641A JP 9335452 A JP9335452 A JP 9335452A JP 33545297 A JP33545297 A JP 33545297A JP H11167641 A JPH11167641 A JP H11167641A
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- unit pattern
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の単位パターンの繰り返しパターン上に
おける欠陥の有無を、個々の単位パターンのばらつきに
関係なく検出する。 【解決手段】 ｎ枚の単位パターン画像の最初の一枚Ｐ
１と基準画像との一致度Ｒ１を求め、これを最大一致度
ＭＡＸとして記憶すると共にＰ１を新基準画像の候補と
して保存する。次に、２〜ｎ枚目の単位パターン画像Ｐ
２〜Ｐｎと基準画像との一致度Ｒ２〜Ｒｎを順次求め、
それぞれ現在のＭＡＸと比較してそれより大きければＭ
ＡＸの値と新基準画像候補とを更新していく。そして、
最終的に得た最大一致度ＭＡＸが基準値Ｌｒを越えてい
れば、それを新基準画像として用い、これとＰ１〜Ｐｎ
との一致度をそれぞれ求める。そして、求めた各一致度
Ｒ１〜Ｒｎを判定規格値Ｌｉとそれぞれ比較することに
より、単位パターン毎に欠陥の有無を判定する。
おける欠陥の有無を、個々の単位パターンのばらつきに
関係なく検出する。 【解決手段】 ｎ枚の単位パターン画像の最初の一枚Ｐ
１と基準画像との一致度Ｒ１を求め、これを最大一致度
ＭＡＸとして記憶すると共にＰ１を新基準画像の候補と
して保存する。次に、２〜ｎ枚目の単位パターン画像Ｐ
２〜Ｐｎと基準画像との一致度Ｒ２〜Ｒｎを順次求め、
それぞれ現在のＭＡＸと比較してそれより大きければＭ
ＡＸの値と新基準画像候補とを更新していく。そして、
最終的に得た最大一致度ＭＡＸが基準値Ｌｒを越えてい
れば、それを新基準画像として用い、これとＰ１〜Ｐｎ
との一致度をそれぞれ求める。そして、求めた各一致度
Ｒ１〜Ｒｎを判定規格値Ｌｉとそれぞれ比較することに
より、単位パターン毎に欠陥の有無を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物の表面
に形成されたパターン上の傷や異物等の欠陥の有無を検
出するパターン検出装置、パターン検出方法及びコンピ
ュータ読み取り可能な記憶媒体に関するものである。
に形成されたパターン上の傷や異物等の欠陥の有無を検
出するパターン検出装置、パターン検出方法及びコンピ
ュータ読み取り可能な記憶媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、パターン上の傷や異物を検出
する方法として、予め傷や異物のない基準対象物の画像
を記憶しておき、検査対象物の画像との画像間の相関に
基づいて検出する方法がある。これは、正常な対象物の
場合は基準対象物とほぼ一致するのに対して、傷や異物
のある対象物は、傷や異物の部分の明暗が基準対象物と
異なるため、画像間の相関の相関値が低下することを利
用している。
する方法として、予め傷や異物のない基準対象物の画像
を記憶しておき、検査対象物の画像との画像間の相関に
基づいて検出する方法がある。これは、正常な対象物の
場合は基準対象物とほぼ一致するのに対して、傷や異物
のある対象物は、傷や異物の部分の明暗が基準対象物と
異なるため、画像間の相関の相関値が低下することを利
用している。
【０００３】しかし、傷や異物のない正常な対象物であ
っても、基準対象物と完全に一致することは不可能であ
り、パターンの製品機能上の許容範囲内での誤差等によ
り相関値が低下する。また、一方で相関演算は統計処理
であるために、傷や異物が全体に対して微細であると、
画像全体としての相関値に反映されにくく、相関値だけ
では傷や異物を検出することが難しい。
っても、基準対象物と完全に一致することは不可能であ
り、パターンの製品機能上の許容範囲内での誤差等によ
り相関値が低下する。また、一方で相関演算は統計処理
であるために、傷や異物が全体に対して微細であると、
画像全体としての相関値に反映されにくく、相関値だけ
では傷や異物を検出することが難しい。
【０００４】このような問題に対して例えば特開平６−
８３９３９号公報においては、基準対象物の画像と検査
対象物の画像との相関演算における画素単位の誤差の大
きさを求め、傷や異物等により相関性から大きくはずれ
た部分を分離することにより、検出能力を高めるように
した技術が示されている。
８３９３９号公報においては、基準対象物の画像と検査
対象物の画像との相関演算における画素単位の誤差の大
きさを求め、傷や異物等により相関性から大きくはずれ
た部分を分離することにより、検出能力を高めるように
した技術が示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記公報により提案さ
れた従来技術により、周辺とのコントラストが高い線パ
ターン上の傷や異物を検出しようとすると、パターン幅
が製品機能上の許容範囲内でばらついた場合には、基準
画像とのパターン幅の異なる部分は明暗の差が大きく、
相関性からの誤差が大きくなり、このため欠陥部との分
離が難しくなる。また、汚れのように周辺とのコントラ
ストがつきにくい欠陥の場合は、誤差が小さく正常部と
の分離が難しくなり、微細な欠陥を検出することは容易
ではない。
れた従来技術により、周辺とのコントラストが高い線パ
ターン上の傷や異物を検出しようとすると、パターン幅
が製品機能上の許容範囲内でばらついた場合には、基準
画像とのパターン幅の異なる部分は明暗の差が大きく、
相関性からの誤差が大きくなり、このため欠陥部との分
離が難しくなる。また、汚れのように周辺とのコントラ
ストがつきにくい欠陥の場合は、誤差が小さく正常部と
の分離が難しくなり、微細な欠陥を検出することは容易
ではない。
【０００６】本発明の目的は、対象物の製品機能上の許
容範囲内での変化に影響されることなく、微細な欠陥を
検出できるようにすることにある。
容範囲内での変化に影響されることなく、微細な欠陥を
検出できるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によるパターン検
査装置においては、同一形状の単位パターンの複数個が
形成された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単位
パターン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、最
大一致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出手段
と、上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画像
とし、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パターン
画像との一致度をそれぞれ求める一致度検出手段と、上
記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較する
ことにより、その一致度を有する単位パターンにおける
欠陥の有無を判定する判定手段とを設けている。
査装置においては、同一形状の単位パターンの複数個が
形成された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単位
パターン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、最
大一致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出手段
と、上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画像
とし、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パターン
画像との一致度をそれぞれ求める一致度検出手段と、上
記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較する
ことにより、その一致度を有する単位パターンにおける
欠陥の有無を判定する判定手段とを設けている。
【０００８】本発明によるパターン検査方法において
は、同一形状の単位パターンの複数個が形成された検査
対象物を撮像して得られる複数枚の単位パターン画像と
基準画像との一致度をそれぞれ求め、最大一致度を有す
る単位パターン画像を抽出する手順と、上記抽出された
単位パターン画像を新たな基準画像とし、この新たな基
準画像と上記複数枚の単位パターン画像との一致度をそ
れぞれ求める手順と、上記求められた各一致度を判定規
格値とそれぞれ比較することにより、その一致度を有す
る単位パターンにおける欠陥の有無を判定する手順とを
設けている。
は、同一形状の単位パターンの複数個が形成された検査
対象物を撮像して得られる複数枚の単位パターン画像と
基準画像との一致度をそれぞれ求め、最大一致度を有す
る単位パターン画像を抽出する手順と、上記抽出された
単位パターン画像を新たな基準画像とし、この新たな基
準画像と上記複数枚の単位パターン画像との一致度をそ
れぞれ求める手順と、上記求められた各一致度を判定規
格値とそれぞれ比較することにより、その一致度を有す
る単位パターンにおける欠陥の有無を判定する手順とを
設けている。
【０００９】本発明によるコンピュータ読み取り可能な
記憶媒体においては、同一形状の単位パターンの複数個
が形成された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単
位パターン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、
最大一致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出処
理と、上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画
像とし、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パター
ン画像との一致度をそれぞれ求める一致度検出処理と、
上記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較す
ることにより、その一致度を有する単位パターンにおけ
る欠陥の有無を判定する判定処理とを実行するためのプ
ログラムを記憶している。
記憶媒体においては、同一形状の単位パターンの複数個
が形成された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単
位パターン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、
最大一致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出処
理と、上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画
像とし、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パター
ン画像との一致度をそれぞれ求める一致度検出処理と、
上記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較す
ることにより、その一致度を有する単位パターンにおけ
る欠陥の有無を判定する判定処理とを実行するためのプ
ログラムを記憶している。
【００１０】
【発明の実施の形態】例えば、検査対象物としてＩＣチ
ップ等を考えてみると、そのパターンの形状は、各層の
厚みや露光装置の精度などによりウェハやロット単位で
ばらつきはあるものの、各チップ内での変化は小さい。
また、傷や異物は突発的な欠陥であり、これらの欠陥が
チップ全体に存在する可能性は低い。従って、予め欠陥
のない良品のパターンの画像を基準画像として記憶して
おき、検査対象パターンから基準画像と一致度の高いパ
ターンを選び出し、これを新たな基準パターンとして検
査することにより、欠陥部以外のパターンの変化に影響
されずに微細な欠陥を検出することができる。
ップ等を考えてみると、そのパターンの形状は、各層の
厚みや露光装置の精度などによりウェハやロット単位で
ばらつきはあるものの、各チップ内での変化は小さい。
また、傷や異物は突発的な欠陥であり、これらの欠陥が
チップ全体に存在する可能性は低い。従って、予め欠陥
のない良品のパターンの画像を基準画像として記憶して
おき、検査対象パターンから基準画像と一致度の高いパ
ターンを選び出し、これを新たな基準パターンとして検
査することにより、欠陥部以外のパターンの変化に影響
されずに微細な欠陥を検出することができる。
【００１１】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照して詳細に説明する。図１は本発明によるパターン
検査装置の構成を示す図である。図１において、１は検
査対象物である基板で、後述する図２に示すようなパタ
ーンが形成されている。２は基板１を固定するための基
板固定治具、３は基板１の位置および姿勢を変更するた
めのステージ、４は装置全体を制御する装置制御部、５
は基板１を撮像し基板１のパターンの明暗を画像信号に
変換する撮像系である。
参照して詳細に説明する。図１は本発明によるパターン
検査装置の構成を示す図である。図１において、１は検
査対象物である基板で、後述する図２に示すようなパタ
ーンが形成されている。２は基板１を固定するための基
板固定治具、３は基板１の位置および姿勢を変更するた
めのステージ、４は装置全体を制御する装置制御部、５
は基板１を撮像し基板１のパターンの明暗を画像信号に
変換する撮像系である。
【００１２】６は撮像系５の信号を処理する画像処理部
である。この画像処理部６は、撮像系５からの画像信号
をデジタル画像に変換し入力する画像入力部１０と、検
査の基準となる基準パターンを記憶する基準画像登録部
１１と、基準画像登録部１１に登録されている基準画像
と画像入力部１０に取り込まれた基板１の画像との一致
度を求める画像比較部１２と、装置制御部４からの動作
命令に応じて画像処理部６の動作を制御する画像制御部
１３とで構成されている。
である。この画像処理部６は、撮像系５からの画像信号
をデジタル画像に変換し入力する画像入力部１０と、検
査の基準となる基準パターンを記憶する基準画像登録部
１１と、基準画像登録部１１に登録されている基準画像
と画像入力部１０に取り込まれた基板１の画像との一致
度を求める画像比較部１２と、装置制御部４からの動作
命令に応じて画像処理部６の動作を制御する画像制御部
１３とで構成されている。
【００１３】図２は検査対象物である基板１の表面のパ
ターンを示す図である。図２において、５０は一定形状
の単位パターンが複数配置されているパターン部、６０
および６１は位置の基準となる第１の基準マークおよび
第２の基準マークである。パターン部５０は第１の基準
マーク６０および第２の基準マーク６１に対して所定の
位置精度で配置されている。
ターンを示す図である。図２において、５０は一定形状
の単位パターンが複数配置されているパターン部、６０
および６１は位置の基準となる第１の基準マークおよび
第２の基準マークである。パターン部５０は第１の基準
マーク６０および第２の基準マーク６１に対して所定の
位置精度で配置されている。
【００１４】図３はパターン部５０をより詳細に示す図
である。このパターンは、例えば熱エネルギーを利用し
てインクを吐出するインクジェットヘッドのヒータ基板
のパターンである。図３において、５１はパターン部５
０を構成する単位パターン、５２は熱を発生するヒータ
部、５３および５４はヒータ部５２に電流を供給する配
線Ａおよび配線Ｂである。５５は欠陥部である。パター
ン部５０には複数の単位パターン５１が所定の位置に配
置されている。
である。このパターンは、例えば熱エネルギーを利用し
てインクを吐出するインクジェットヘッドのヒータ基板
のパターンである。図３において、５１はパターン部５
０を構成する単位パターン、５２は熱を発生するヒータ
部、５３および５４はヒータ部５２に電流を供給する配
線Ａおよび配線Ｂである。５５は欠陥部である。パター
ン部５０には複数の単位パターン５１が所定の位置に配
置されている。
【００１５】ここで、ヒータ部５２、配線Ａ５３、配線
Ｂ５４の形状は基板１ごとにばらつきがあるが、機能的
には電気的特性が重要であり、形状だけでは良否を判断
することは難しい。また、電気的特性が変化した場合に
も、駆動電流や印加電圧を制御することで正常動作させ
ることは可能であり、形状ばらつきの製品の良否に対す
る影響は小さい。
Ｂ５４の形状は基板１ごとにばらつきがあるが、機能的
には電気的特性が重要であり、形状だけでは良否を判断
することは難しい。また、電気的特性が変化した場合に
も、駆動電流や印加電圧を制御することで正常動作させ
ることは可能であり、形状ばらつきの製品の良否に対す
る影響は小さい。
【００１６】一方、ヒータ部５２に存在する欠陥５５
は、初期の寸法が小さくても、使用時に熱がかかり、し
だいに大きくなり、最終的には破損に至る可能性があ
る。従って、ヒータ部５２、配線Ａ５３および配線Ｂ５
４の形状の基板１ごとのばらつきに影響されることな
く、欠陥部５５を検出することが必要である。
は、初期の寸法が小さくても、使用時に熱がかかり、し
だいに大きくなり、最終的には破損に至る可能性があ
る。従って、ヒータ部５２、配線Ａ５３および配線Ｂ５
４の形状の基板１ごとのばらつきに影響されることな
く、欠陥部５５を検出することが必要である。
【００１７】次に、一致度の算出方法について図５およ
び図６を用いて説明する。図５において、Ｔｍｎは基準
画像、Ｓｍｎは撮像系５で撮像した被検査画像から基準
画像Ｔｍｎと同じサイズの画像を切り出した部分画像で
ある。基準画像Ｔｍｎおよび部分画Ｓｍｎは画像処理部
６内のメモリに１次元的に格納されているが、ここでは
説明の都合上２次元データとして表す。
び図６を用いて説明する。図５において、Ｔｍｎは基準
画像、Ｓｍｎは撮像系５で撮像した被検査画像から基準
画像Ｔｍｎと同じサイズの画像を切り出した部分画像で
ある。基準画像Ｔｍｎおよび部分画Ｓｍｎは画像処理部
６内のメモリに１次元的に格納されているが、ここでは
説明の都合上２次元データとして表す。
【００１８】Ｔｍｎ、Ｓｍｎ共に紙面上で左上を原点と
し、紙面上で横方向をＸ、縦方向をＹとする。また、Ｔ
ｍｎとＳｍｎはＸ方向ｍ画素、Ｙ方向ｎ画素で構成され
ている。このとき、Ｔｍｎ、Ｓｍｎでｘ＝ｉ、ｙ＝ｊの
画素の輝度値をそれぞれｔ（ｉ，ｊ）およびｓ（ｉ，
ｊ）とすると、ＴｍｎとＳｍｎの一致度は相関値を計算
することで求められる。相関値は、Ｎ＝ｍ＊ｎとしたと
き、
し、紙面上で横方向をＸ、縦方向をＹとする。また、Ｔ
ｍｎとＳｍｎはＸ方向ｍ画素、Ｙ方向ｎ画素で構成され
ている。このとき、Ｔｍｎ、Ｓｍｎでｘ＝ｉ、ｙ＝ｊの
画素の輝度値をそれぞれｔ（ｉ，ｊ）およびｓ（ｉ，
ｊ）とすると、ＴｍｎとＳｍｎの一致度は相関値を計算
することで求められる。相関値は、Ｎ＝ｍ＊ｎとしたと
き、
【００１９】
【数１】
【００２０】と定義され、ＴｍｎとＳｍｎが全く同一の
とき最大値１、全く相関がない場合は０、ネガポジ反転
した場合は−１となる。
とき最大値１、全く相関がない場合は０、ネガポジ反転
した場合は−１となる。
【００２１】図６は幾つかの画像の例を示し、（Ａ）を
基準画像、（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は被検査画像の部
分画像である。各画像における数値は輝度値を表わし、
値が大きい程明るいことを意味している。
基準画像、（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は被検査画像の部
分画像である。各画像における数値は輝度値を表わし、
値が大きい程明るいことを意味している。
【００２２】（Ｂ）は基準画像（Ａ）と全く同じ画像、
（Ｃ）は基準画像を９０度回転させた画像、（Ｄ）は明
るい部分の幅が基準画像より広い画像で、パターン幅が
広くなった画像を表し、（Ｅ）は基準画像の明るい部分
の一部が暗くなった（４が１になった）もので、欠陥の
あるパターンを表している。（Ａ）と（Ｂ）との相関値
は、（Ａ）と（Ｂ）が全く同一であるので、相関値＝１
である。（Ｃ）は（Ａ）が９０度回転しているので、画
像的には全く異なり、相関値＝０である。また、（Ｄ）
（Ｅ）は部分的に異なるため相関値も１より低下してい
る。
（Ｃ）は基準画像を９０度回転させた画像、（Ｄ）は明
るい部分の幅が基準画像より広い画像で、パターン幅が
広くなった画像を表し、（Ｅ）は基準画像の明るい部分
の一部が暗くなった（４が１になった）もので、欠陥の
あるパターンを表している。（Ａ）と（Ｂ）との相関値
は、（Ａ）と（Ｂ）が全く同一であるので、相関値＝１
である。（Ｃ）は（Ａ）が９０度回転しているので、画
像的には全く異なり、相関値＝０である。また、（Ｄ）
（Ｅ）は部分的に異なるため相関値も１より低下してい
る。
【００２３】次に、図４を用いて検査シーケンスについ
て説明する。ここで、基板１は検査に先立ち、第１の基
準マーク６０および第２の基準マーク６１の位置が測定
され、その結果に基づいてステージ３の移動方向に対す
る傾きや位置のずれが補正され、所定の位置に位置決め
されているものとする。
て説明する。ここで、基板１は検査に先立ち、第１の基
準マーク６０および第２の基準マーク６１の位置が測定
され、その結果に基づいてステージ３の移動方向に対す
る傾きや位置のずれが補正され、所定の位置に位置決め
されているものとする。
【００２４】図４において、まず先頭（ｎ＝１）の単位
パターン５１（Ｐ１）が撮像系５の視野に入る位置に基
板１を移動する。次に、画像比較部１２により基準画像
登録部１１に登録された基準パターンと単位パターン５
１（Ｐ１）との一致度（Ｒ１）を求め、この一致度（Ｒ
１）を一致度最大値（ＭＡＸ）として記憶すると共に、
単位パターン５１（Ｐ１）の画像を新基準パターンの候
補として保存する。
パターン５１（Ｐ１）が撮像系５の視野に入る位置に基
板１を移動する。次に、画像比較部１２により基準画像
登録部１１に登録された基準パターンと単位パターン５
１（Ｐ１）との一致度（Ｒ１）を求め、この一致度（Ｒ
１）を一致度最大値（ＭＡＸ）として記憶すると共に、
単位パターン５１（Ｐ１）の画像を新基準パターンの候
補として保存する。
【００２５】次に、２番目（ｎ＝２）の単位パターン５
１（Ｐ２）を評価するために、ステージ３を駆動して単
位パターン５１（Ｐ２）が撮像系５の視野に入る位置に
基板１を移動する。但し、前パターンの検査位置ですで
に撮像系５の視野に入っている場合は、移動する必要は
ない。次に、２番目の単位パターン５１（Ｐ２）と基準
パターンとの一致度（Ｒ２）を求める。ここで、Ｒ２＞
ＭＡＸの場合は、一致度（Ｒ２）を一致度最大値（ＭＡ
Ｘ）として更新すると共に、単位パターン５１（Ｐ２）
の画像を新基準パターンの候補として保存する。
１（Ｐ２）を評価するために、ステージ３を駆動して単
位パターン５１（Ｐ２）が撮像系５の視野に入る位置に
基板１を移動する。但し、前パターンの検査位置ですで
に撮像系５の視野に入っている場合は、移動する必要は
ない。次に、２番目の単位パターン５１（Ｐ２）と基準
パターンとの一致度（Ｒ２）を求める。ここで、Ｒ２＞
ＭＡＸの場合は、一致度（Ｒ２）を一致度最大値（ＭＡ
Ｘ）として更新すると共に、単位パターン５１（Ｐ２）
の画像を新基準パターンの候補として保存する。
【００２６】同様に、ｎ＝３、４、…と順次単位パター
ン５１（Ｐｎ）との一致度（Ｒｎ）を求め、一致度最大
値（ＭＡＸ）と新基準パターンの候補画像を更新する。
基準パターンとの一致度を求めた単位パターン５１の数
が所定の数（Ｎｐｓ）を越えたら、その時の一致度最大
値（ＭＡＸ）と基準パターンの更新基準値（Ｌｒ）とを
比較して、ＭＡＸ＞Ｌｒの場合は、新基準パターンの候
補画像として保存されている画像を新基準パターンとし
て抽出し、基準パターンを更新して基準画像登録部１１
に登録する。
ン５１（Ｐｎ）との一致度（Ｒｎ）を求め、一致度最大
値（ＭＡＸ）と新基準パターンの候補画像を更新する。
基準パターンとの一致度を求めた単位パターン５１の数
が所定の数（Ｎｐｓ）を越えたら、その時の一致度最大
値（ＭＡＸ）と基準パターンの更新基準値（Ｌｒ）とを
比較して、ＭＡＸ＞Ｌｒの場合は、新基準パターンの候
補画像として保存されている画像を新基準パターンとし
て抽出し、基準パターンを更新して基準画像登録部１１
に登録する。
【００２７】一方、ＭＡＸ＞Ｌｒの場合は、部分的な欠
陥ではなく対象物全体が異常な重大欠陥か、または対象
物が装置に正常にセットされていない可能性がある。こ
の場合は、新基準パターンとして採用可能なパターンが
存在しなかったとして、検査エラーまたは不良品として
検査を中断し、装置制御部４に通知する。
陥ではなく対象物全体が異常な重大欠陥か、または対象
物が装置に正常にセットされていない可能性がある。こ
の場合は、新基準パターンとして採用可能なパターンが
存在しなかったとして、検査エラーまたは不良品として
検査を中断し、装置制御部４に通知する。
【００２８】新基準パターンとして採用可能な正常パタ
ーンが存在する場合は、基準パターンを更新した後、ｎ
＝１として再び先頭の単位パターン５１（Ｐ１）から順
に全単位パターン５１について新基準パターンとの一致
度を求め、さらにこの一致度を不良品の判定規格値Ｌｉ
と比較し、Ｒｎ＞Ｌｉの場合は正常パターン、Ｒｎ＜Ｌ
ｉの場合は欠陥がある不良パターンと判断する。
ーンが存在する場合は、基準パターンを更新した後、ｎ
＝１として再び先頭の単位パターン５１（Ｐ１）から順
に全単位パターン５１について新基準パターンとの一致
度を求め、さらにこの一致度を不良品の判定規格値Ｌｉ
と比較し、Ｒｎ＞Ｌｉの場合は正常パターン、Ｒｎ＜Ｌ
ｉの場合は欠陥がある不良パターンと判断する。
【００２９】パターン更新基準値Ｌｒは、更新パターン
の探索時にはまだパターン幅等の影響を受けるため、不
良品の判定規格値Ｌｉより低く設定する。また、相関値
の最大値は１であるので、 Ｌｒ＜Ｌｉ＜１ と設定すればよい。
の探索時にはまだパターン幅等の影響を受けるため、不
良品の判定規格値Ｌｉより低く設定する。また、相関値
の最大値は１であるので、 Ｌｒ＜Ｌｉ＜１ と設定すればよい。
【００３０】尚、図１の各機能ブロックによるシステム
は、ハード的に構成してもよく、また、ＣＰＵやメモリ
等から成るマイクロコンピュータシステムに構成しても
よい。マイクロコンピュータシステムに構成する場合、
上記メモリは本発明による記憶媒体を構成する。この記
憶媒体には、図４のフローチャートに示す処理を実行す
るためのプログラムが記憶される。また、この記記憶体
としてはＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリや、光ディス
ク、光磁気ディスク、磁気媒体等を用いてよく、これら
をＣＤ−ＲＯＭ、フロッピディスク、磁気テープ、不揮
発性のメモリカード等として用いてよい。
は、ハード的に構成してもよく、また、ＣＰＵやメモリ
等から成るマイクロコンピュータシステムに構成しても
よい。マイクロコンピュータシステムに構成する場合、
上記メモリは本発明による記憶媒体を構成する。この記
憶媒体には、図４のフローチャートに示す処理を実行す
るためのプログラムが記憶される。また、この記記憶体
としてはＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリや、光ディス
ク、光磁気ディスク、磁気媒体等を用いてよく、これら
をＣＤ−ＲＯＭ、フロッピディスク、磁気テープ、不揮
発性のメモリカード等として用いてよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
欠陥部以外の複数の単位パターンの変化に影響されず
に、微細な欠陥を確実に検出することができる。従っ
て、本発明を例えばインクジェットヘッドの検査に用い
ると、配線パターン等の形状が機能に影響を与えにくい
部分の形状変化に影響されずに微細な欠陥を検出でき
る。
欠陥部以外の複数の単位パターンの変化に影響されず
に、微細な欠陥を確実に検出することができる。従っ
て、本発明を例えばインクジェットヘッドの検査に用い
ると、配線パターン等の形状が機能に影響を与えにくい
部分の形状変化に影響されずに微細な欠陥を検出でき
る。
【００３２】また、請求項２、６、１０の発明によれ
ば、最大一致度を持つ単位パターンを抽出した時点で、
その製品全体の不良を判定することができる。さらに、
請求項３、４、７、８、１１、１２の発明によれば、さ
らに高精度の検査を行うことができる。
ば、最大一致度を持つ単位パターンを抽出した時点で、
その製品全体の不良を判定することができる。さらに、
請求項３、４、７、８、１１、１２の発明によれば、さ
らに高精度の検査を行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態によるパターン検査装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】検査対象物である基板１のパターンを示す構成
図である。
図である。
【図３】パターン部５０をより詳細に示す構成図であ
る。
る。
【図４】検査シーケンスを示すフローチャートである。
【図５】部分画像の切り出しを説明するための構成図で
ある。
ある。
【図６】基準画像と部分画像の例を示す構成図である。
１ 検査対象物である基板 ４ 装置制御部 ５ 撮像系 ６ 画像処理部 １１ 基準画像登録部 １２ 画像比較部 １３ 画像制御部 ５０ パターン部 ５１ 単位パターン
Claims (12)
- 【請求項１】 同一形状の単位パターンの複数個が形成
された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単位パタ
ーン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、最大一
致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出手段と、 上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画像と
し、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パターン画
像との一致度をそれぞれ求める一致度検出手段と、 上記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較す
ることにより、その一致度を有する単位パターンにおけ
る欠陥の有無を判定する判定手段とを備えたパターン検
査装置。 - 【請求項２】 上記抽出手段は、上記最大一致度が所定
の基準値を越えたときその単位パターン画像を抽出する
ことを特徴とする請求項１記載のパターン検査装置。 - 【請求項３】 上記基準画像と単位パターン画像とが同
一のときの一致度を１としたとき、 上記基準値＜上記判定規格値＜１ の関係とすることを特徴とする請求項２記載のパターン
検査装置。 - 【請求項４】 上記一致度は画像間の相関演算により求
めることを特徴とする請求項１記載のパターン検出装
置。 - 【請求項５】 同一形状の単位パターンの複数個が形成
された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単位パタ
ーン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、最大一
致度を有する単位パターン画像を抽出する手順と、 上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画像と
し、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パターン画
像との一致度をそれぞれ求める手順と、 上記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較す
ることにより、その一致度を有する単位パターンにおけ
る欠陥の有無を判定する手順とを備えたパターン検査方
法。 - 【請求項６】 上記抽出する手順は、上記最大一致度が
所定の基準値を越えたときその単位パターン画像を抽出
することを特徴とする請求項５記載のパターン検査方
法。 - 【請求項７】 上記基準画像と単位パターン画像とが同
一のときの一致度を１としたとき、 上記基準値＜上記判定規格値＜１ の関係とすることを特徴とする請求項６記載のパターン
検査方法。 - 【請求項８】 上記一致度は画像間の相関演算により求
めることを特徴とする請求項５記載のパターン検出方
法。 - 【請求項９】 同一形状の単位パターンの複数個が形成
された検査対象物を撮像して得られる複数枚の単位パタ
ーン画像と基準画像との一致度をそれぞれ求め、最大一
致度を有する単位パターン画像を抽出する抽出処理と、 上記抽出された単位パターン画像を新たな基準画像と
し、この新たな基準画像と上記複数枚の単位パターン画
像との一致度をそれぞれ求める一致度検出処理と、 上記求められた各一致度を判定規格値とそれぞれ比較す
ることにより、その一致度を有する単位パターンにおけ
る欠陥の有無を判定する判定処理とを実行するためのプ
ログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒
体。 - 【請求項１０】 上記抽出処理は、上記最大一致度が所
定の基準値を越えたときその単位パターン画像を抽出す
ることを特徴とする請求項９記載のコンピュータ読み取
り可能な記憶媒体。 - 【請求項１１】 上記基準画像と単位パターン画像とが
同一のときの一致度を１としたとき、 上記基準値＜上記判定規格値＜１ の関係とすることを特徴とする請求項１０記載のコンピ
ュータ読み取り可能な記憶媒体。 - 【請求項１２】 上記一致度は画像間の相関演算により
求めることを特徴とする請求項９記載のコンピュータ読
み取り可能な記憶媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9335452A JPH11167641A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9335452A JPH11167641A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11167641A true JPH11167641A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=18288724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9335452A Pending JPH11167641A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11167641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003044506A1 (fr) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Shirai Electronics Industrial Co.,Ltd. | Procede et dispositif d'inspection de matiere imprimee |
| KR100437434B1 (ko) * | 1999-10-27 | 2004-06-25 | 산요덴키가부시키가이샤 | 화상 신호 처리 장치 및 화소 결함의 검출 방법 |
| JP2011226971A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Bridgestone Corp | タイヤ外観検査方法及びタイヤ外観検査装置 |
-
1997
- 1997-12-05 JP JP9335452A patent/JPH11167641A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100437434B1 (ko) * | 1999-10-27 | 2004-06-25 | 산요덴키가부시키가이샤 | 화상 신호 처리 장치 및 화소 결함의 검출 방법 |
| WO2003044506A1 (fr) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Shirai Electronics Industrial Co.,Ltd. | Procede et dispositif d'inspection de matiere imprimee |
| JP2011226971A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Bridgestone Corp | タイヤ外観検査方法及びタイヤ外観検査装置 |
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