JPH11162839A

JPH11162839A - 露光装置

Info

Publication number: JPH11162839A
Application number: JP9343621A
Authority: JP
Inventors: Yasuyoshi Yamatsu; 康義山津
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-12-01
Filing date: 1997-12-01
Publication date: 1999-06-18

Abstract

(57)【要約】【課題】露光装置のランプ点灯時における該露光装置
の誤動作や、該露光装置近傍に位置する他の装置および
工場設備の誤動作を防止する。【解決手段】露光用の光源と、該光源からの光を転写
用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学系
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体とを
有し、感光基板上に前記マスクのパターンを転写する露
光装置において、該筐体に形成された開口部を、少なく
とも前記光源の点灯時に電磁シールドできる手段を配置
する。また、前記筐体の内外を接続する電気配線を少な
くとも前記光源の点灯時に遮断できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子や液晶表
示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する際に使用
される露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の露光装置を示している。こ
の図において水銀ランプ１には、図７に示すような交流
の数十ｋＶの電圧が、同ランプが点灯するまで繰り返し
印加される。図６に戻り、水銀ランプ１の点灯が終了し
た後、水銀ランプ１からの照明光は楕円ミラー１７によ
って集光され、集光光学系１８および所望の波長帯の光
を選択する光学フィルタ１９を経て露光シャッタ１３に
達する。露光シャッタ１３は、露光シャッタモータ制御
系１６からの指令に基づいて露光シャッタモータ１４に
より開閉される。露光シャッタ１３が開状態の場合、照
明光はインプットレンズ２０を介してはぼ平行光束とな
ってフライアイレンズ２１に入射する。

【０００３】フライアイレンズ２１の射出面に多数の光
源像が形成され、これにより照明光のレチクル３１上で
の照度分布の平坦化が行なわれる。その射出面にはター
レット板２２が配置されている。図８は、ターレット板
２２を照明光の射出方向から見たものであり、特開平４
−２２５３５８号等で公知の通り、変形光源法や輪帯照
明法等に対応した複数の照明系開口絞りを持っている。

【０００４】主制御系３は、ターレット板モータ制御系
２４に指令を出し、ターレット板２２の開口絞りの種類
を選択し、対応する照明系開口絞りをフライアイレンズ
２１の射出面に設定する。

【０００５】ターレット板２２の中の所定の開口絞りを
通過した照明光は、照明光を反射させる反射ミラー２
５，２８、レチクル３１を均一な照度分布で照明するた
めのレンズ群２６，２７，２９を通り、レチクル３１上
に照射され、このレチクル３１上のパターンが投影光学
系３２を介してウエハ３３に投影露光される。

【０００６】なお４は、照明系３０の一部を覆う筐体で
あり、この内部は水銀ランプ１から射出され、光学フィ
ルタ１９により選択されなかった光の影響等で高温にな
るため、排気ダクト９により強制的に熱排気されてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の構成では、水銀ランプ１の点灯時に、照明系３０
の外部に位置する露光装置の主制御系３を誤動作させる
場合があった。また、露光装置近傍に位置する他の装置
や、工場設備を誤動作させる場合もあった。

【０００８】本発明は、このような従来技術の欠点を除
去するもので、露光装置のランプ点灯時における該露光
装置の誤動作や、該露光装置近傍に位置する他の装置お
よび工場設備の誤動作を防止し、該露光装置の信頼性を
向上させることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の第１の局面では、露光用の光源と、該光
源からの光を転写用のパターンが形成されたマスクに照
明する照明光学系と、露光量を制御する露光シャッタ
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体とを
有し、感光基板上に前記マスクのパターンを転写する露
光装置において、露光シャッタとは別に、前記照明光学
系の照明光路を前記筐体内部から外部に連続させるため
該筐体に形成された開口部に電磁シールドシャッタを設
置したことを特徴とする。

【００１０】また、本発明の第２の局面では、露光用の
光源と、該光源からの光を転写用のパターンが形成され
たマスクに照明する照明光学系と、該光源と該照明光学
系の一部とを収納した筐体と、該光源からの熱を排出す
るため該筐体に配設された排気ダクトとを有し、感光基
板上に前記マスクのパターンを転写する露光装置におい
て、前記排気ダクトの開口部に電磁シールドシャッタを
設置したことを特徴とする。

【００１１】本発明の第３の局面では、露光用の光源
と、該光源からの光を転写用のパターンが形成されたマ
スクに照明する照明光学系と、該光源と該照明光学系の
一部とを収納した筐体と、該筐体の内外を接続する電気
配線とを有し、感光基板上に前記マスクのパターンを転
写する露光装置において、前記電気配線を断続するスイ
ッチ手段を設けたことを特徴とする。

【００１２】本発明の第４の局面では、露光用の光源
と、該光源からの光を転写用のパターンが形成されたマ
スクに照明する照明光学系と、該照明光学系の照明光路
上に配置された絞り手段と、該光源と該照明光学系の一
部とを収納した筐体とを有し、感光基板上に前記マスク
のパターンを転写する露光装置において、前記絞り手段
は複数種類の開口絞りと電磁シールド効果を有する部分
とを備え、かつ該電磁シールド効果を有する部分を前記
照明光学系の照明光路を前記筐体内部から外部に連続さ
せるため該筐体に形成された開口部に位置させ得るよう
配置されていることを特徴とする。

【００１３】本発明の第５の局面では、露光用の光源
と、該光源からの光を転写用のパターンが形成されたマ
スクに照明する照明光学系と、該照明光学系の照明光路
上に配置された絞り手段と、該光源と該照明光学系の一
部とを収納した筐体とを有し、感光基板上に前記マスク
のパターンを転写する露光装置において、前記露光シャ
ッタに電磁シールド効果をもたせ、かつ前記照明光学系
の照明光路を前記筐体内部から外部に連続させるため該
筐体に形成された開口部の近傍に配置したことを特徴と
する。

【００１４】本発明の第６の局面では、露光用の光源
と、該光源からの光を転写用のパターンが形成されたマ
スクに照明する照明光学系と、該光源と該照明光学系の
一部とを収納した筐体と、該光源からの熱を排出するた
め該筐体に配設された排気ダクトとを有し、感光基板上
に前記マスクのパターンを転写する露光装置において、
前記排気ダクトの開口部を電磁シールド性と通気性とを
有する遮蔽材で遮蔽したことを特徴とする。

【００１５】

【作用】上記従来例の構成において、水銀ランプ１の点
灯時に露光装置の主制御系３を誤動作させたり、露光装
置近傍に位置する他の装置や工場設備を誤動作させる場
合があるのは、水銀ランプ１の点灯時に交流の高電圧を
加えた時、多大なノイズが発生するにもかかわらず、以
下４点の理由により、このノイズを筐体４内に閉じ込め
ることができず、このノイズが外部に放射されるためで
ある。第１の理由として、露光シャッタ１３は露光量を
制御することを目的として構成されており、電磁シール
ド効果が期待できない材料で構成されてきた。第２の理
由として、露光シャッタ１３は高速で動く必要があり、
本シャッタ周辺部と露光シャッタ１３の間は、摩擦を防
ぐために隙間が多くとってあり、この隙間が水銀ランプ
１の点灯時に発生する誘導ノイズの抜け道となってい
た。第３の理由として、水銀ランプ１周辺は高温になる
ため、排気ダクト９により強制的に熱排気されており、
この排気経路が水銀ランプ点灯時に発生する導電ノイズ
の抜け道となっていた。第４の理由として、露光シャッ
タモータ１４等に結線してある配線等の、筐体４の内外
を接続する配線にラインノイズが乗り、これが外部に漏
洩していた。

【００１６】本発明によれば、光源の点灯時に、光源お
よび照明光学系の一部を収納した筐体に設けられている
開口部を電磁シールド手段で塞いだり、筐体の内外を接
続する電気配線を遮断して、露光装置におけるランプ点
灯時の放射ノイズおよびラインノイズを照明系内に閉じ
込めることによって低減し、露光装置の信頼性を増し、
他の装置への影響を低減することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態に係る
露光装置は、前述の問題点を解決するために、露光量を
制御するための露光シャッタの他に、照明光路上に電磁
シールド効果を有する電磁シールドシャッタを設け、水
銀ランプを点灯する前にこの電磁シールドシャッタを閉
じ、点灯が終了した後で開くことにより、点灯時の放射
ノイズを照明系内、すなわち筐体内に閉じ込め、筐体外
部への放射ノイズを減らしている。

【００１８】本発明の第２の実施の形態に係る露光装置
は、前述の問題点を解決するために、水銀ランプの熱排
気用の開口部に電磁シールドシャッタを設け、水銀ラン
プを点灯する前にこの電磁シールドシャッタを閉じ、点
灯が終了した後で開くことにより、点灯時の放射ノイズ
を照明系内に閉じ込めている。

【００１９】本発明の第３の実施の形態に係る露光装置
は、前述の問題点を解決するために、照明系の筐体内の
電気回路に導入される配線の途中にリレーを接続し、水
銀ランプを点灯する前に本リレーの接点を開いて筐体の
内外を電気的に絶縁し、点灯が終了した後で閉じること
により、点灯時のラインノイズを照明系内に閉じ込めて
いる。

【００２０】本発明の第４の実施の形態に係る露光装置
は、前述の問題点を解決するために、露光量を制御する
ための露光シャッタに電磁シールド効果を持たせ、水銀
ランプを点灯する前にこの露光シャッタを閉じ、点灯が
終了した後で開くことにより、点灯時の放射ノイズを照
明系内に閉じ込めている。

【００２１】本発明の第５の実施の形態に係る露光装置
は、前述の問題点を解決するために、照明光学系中に絞
り手段として複数種の開口絞りおよび電磁シールド効果
のある部分を選択できる開口絞り機構を用い、水銀ラン
プを点灯する前にこの電磁シールド効果のある部分を選
択し、点灯が終了した後で露光に用いる開口絞りを選択
することにより、点灯時の放射ノイズを照明系内に閉じ
込めている。

【００２２】本発明の第６の実施の形態に係る露光装置
は、前述の問題点を解決するために、水銀ランプの熱排
気用の開口部を、電磁シールド性と通気性のある材料で
構成された遮蔽板で遮蔽し、水銀ランプ点灯時の放射ノ
イズを照明系内に閉じ込めている。

【００２３】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。（第１の実施例）図１は本発明の一実施例に係る露光装
置の構成を示す。同図において、１は光源であるところ
の水銀ランプ、２は点灯装置であり、水銀ランプ１の点
灯時に交流の高電圧を周期的に加え、アーク放電を起こ
すことにより、水銀ランプ１を点灯させる。３は露光装
置全体を制御している主制御系であり、点灯装置２に点
灯指令を出し、また点灯装置２から点灯完了信号を受け
取ることができる。

【００２４】４は照明系３０の一部を覆う筐体であり、
水銀ランプ１が点灯する際に発生するノイズを閉じ込め
る働きをする。筐体４には、水銀ランプ１からの光を通
すための開口部５と、熱排気を行なう排気ダクト９が備
えられている。６は開口部５を閉じて、水銀ランプ１か
らのノイズを筐体４に閉じ込めるための電磁シールドシ
ャッタである。７は電磁シールドシャッタ６の駆動モー
タであり、８は駆動モータ７を制御する電磁シールドシ
ャッタ制御系である。ここで主制御系３は、電磁シール
ドシャッタ制御系８に電磁シールドシャッタ６の開閉を
指令することができる。

【００２５】１０は排気ダクト９を閉じて、水銀ランプ
１からのノイズを筐体４に閉じ込めるための電磁シール
ドシャッタである。１１は電磁シールドシャッタ１０の
駆動モータであり、１２は電磁シールドシャッタ駆動モ
ータ１１を制御する電磁シールドシャッタ制御系であ
る。ここで主制御系３は電磁シールドシャッタ制御系１
２に、電磁シールドシャッタ１０の開閉を指令すること
ができる。

【００２６】１３は露光シャッタであり、シャッタ駆動
モータ１４により開閉される。１６は露光シャッタモー
タ制御系であり、これが主制御系３からの指令により、
露光シャッタ１３を開閉し、ウエハ３３の露光時間を制
御している。なお露光シャッタモータ制御系１６とシャ
ッタ駆動モータ１４の間にはリレー１５が接続されてお
り、主制御系３の指令により、露光シャッタモータ制御
系１６とシャッタ駆動モータ１４との間を電気的に絶縁
することができる。

【００２７】１７は水銀ランプ１からの照明光を集光す
る楕円ミラー、１８は照明光をさらに集光する集光光学
系、１９は所望の波長帯の光を選択する光学フィルタで
ある。２０は光学フィルタからの光を平行光束にするイ
ンプットレンズ、２１はインプットレンズ２０からの照
明光を均一化するフライアイレンズである。２２は複数
種類の照明系開口絞りが形成されたターレット板、２３
はターレット板２２の駆動モータであり、２４は駆動モ
ータ２３を制御するターレット板モータ制御系である。
ここで主制御系３は、ターレット板モータ制御系２４に
指令を出し、ターレット板２２の開口絞りの種類を選択
することができる。

【００２８】２５，２８は照明光を反射させる反射ミラ
ー、２６，２７，２９はレチクル３１を均一な照度分布
で照明するためのレンズ群である。３０はここまで説明
してきた各要素からなる照明系である。３２は投影光学
系、３３はウエハであり、レチクル３１上の回路パター
ンがウエハ３３上に投影露光される。

【００２９】以上が本実施例に係る露光装置の構成であ
るが、上記構成における動作を順を追って説明する。主
制御装置３は水銀ランプ１を点灯する前に、電磁シール
ドシャッタ制御系８に指令を与え、電磁シールドシャッ
タ駆動モータ７を駆動し、電磁シールドシャッタ６を移
動させ、開口部５を閉鎖する。また、主制御装置３は水
銀ランプ１を点灯する前に、電磁シールドシャッタ制御
系１２に指令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モータ
１１を駆動し、電磁シールドシャッタ１０を移動させ、
排気ダクト９を閉鎖する。さらに、主制御装置３は水銀
ランプ１を点灯する前に、リレー１５の接点を開き、露
光シャッタモータ制御系１６とシャッタ駆動モータ１４
の間を電気的に絶縁する。

【００３０】次に主制御装置３は、点灯装置２に点灯指
令を与える。点灯装置２は、図７に示した波形の電圧を
水銀ランプ１が点灯するまで印加し続ける。このとき、
強大な放射ノイズおよびラインノイズが発生するが、電
磁シールドシャッタ１０が排気ダクト９を閉じており、
また、電磁シールドシャッタ６が開口部５を閉じている
ために、上記放射ノイズは、筐体４の外には放射されな
い。また、リレー１５が開放されているために、発生し
た強大なラインノイズも、該リレー１５において遮断さ
れ、筐体４の外には伝導されない。

【００３１】その後、水銀ランプ１の点灯が完了し、点
灯装置２から主制御装置３に点灯完了信号が送信された
ら、主制御装置３は電磁シールドシャッタ制御系８に指
令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モータ７を駆動
し、電磁シールドシャッタ６を移動させ、開口部５を開
放する。また、主制御装置３は電磁シールドシャッタ制
御系１２に指令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モー
タ１１を駆動し、電磁シールドシャッタ１０を移動さ
せ、排気ダクト９を開放する。さらに、主制御装置３は
リレー１５の接点を閉じ、露光シャッタモータ制御系１
６とシャッタ駆動モータ１４の間を接続する。

【００３２】この後は従来の露光装置と同様に、水銀ラ
ンプ１からの照明光は楕円ミラー１７によって集光され
た後、集光光学系１８、および所望の波長帯の光を選択
する光学フィルタ１９を経て、露光シャッタ１３に達す
る。露光シャッタ１３は、露光シャッタモータ制御系１
６からの指令に基づいて露光シャッタモータ１４により
開閉が行なわれる。露光シャッタ１３が開状態の場合、
照明光はインプットレンズ２０を介してほぼ平行光束と
なってフライアイレンズ２１に入射する。フライアイレ
ンズ２１の射出面には多数の光源像が形成され、これに
より照明光のレチクル３１上での照度分布の平坦化が行
なわれる。その射出面にはターレット板２２が配置され
ている。主制御系３は，ターレット板モータ制御系２４
に指令を出し、ターレット板２２の開口絞りの種類を選
択し、対応する照明系開口絞りをフライアイレンズ２１
の射出面に設定する。

【００３３】ターレット板２２の中の所定の開口絞りを
通過した照明光は、照明光を反射させる反射ミラー２
５，２８、レチクル３１を均一な照度分布で照明するた
めのレンズ群２６，２７，２９を通り、レチクル３１上
に照射され、このレチクル３１上のパターンが投影光学
系３２を介してウエハ３３に投影露光される。

【００３４】なお、本実施例中の電磁シールドシャッタ
１０は、排気ダクト９を完全に密閉する必要はなく、例
えば金網のように、排気効果が少量失われるが、電磁シ
ールド効果が高い材料を使用してもよい。

【００３５】（第２の実施例）図２は本発明の第２の実
施例に係る露光装置の構成を示す。本実施例が第１の実
施例と異なるのは、インプットレンズ２０からターレッ
ト板２２に至る光学系が筐体４の内部に取り込まれ、か
つ、ターレット板２２が図３に示すように全く開口して
いない部分３０１を持ち、これが電磁シールドシャッタ
の機能を兼用しているところである。

【００３６】本構成において動作を順を追って説明す
る。主制御装置３は、水銀ランプ１を点灯する前に、リ
レー３４の接点を閉じ、ターレット板駆動モータ制御系
２４に指令を与え、ターレット板駆動モータ２３を駆動
し、ターレット板２２を回転させ、全く開口していない
部分３０１を開口部５の位置に移動し、開口部５を閉鎖
した後、リレー３４の接点を開き、ターレット板駆動モ
ータ制御系２４とターレット板駆動モータ２３の間を電
気的に絶縁する。また、主制御装置３は、水銀ランプ１
を点灯する前に、電磁シールドシャッタ制御系１２に指
令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モータ１１を駆動
し、電磁シールドシャッタ１０を移動させ、排気ダクト
９を閉鎖する。さらに、主制御装置３は、水銀ランプ１
を点灯する前に、リレー１５の接点を開き、露光シャッ
タモータ制御系１６とシャッタ駆動モータ１４の間を電
気的に絶縁する。

【００３７】次に主制御装置３は、点灯装置２に点灯指
令を与える。点灯装置２は、図７に示した波形の電圧を
水銀ランプ１が点灯するまで印加し続ける。このとき、
強大な放射ノイズおよびラインノイズが発生するが、電
磁シールドシャッタ１０が排気ダクト９を閉じており、
ターレット板２２が開口部５を閉じているために、上記
放射ノイズは筐体４の外に放射されない。また、リレー
１５，３４が開放されているために、上記ラインノイズ
も上記リレーにおいて遮断され、筐体４の外には伝導さ
れない。

【００３８】その後、水銀ランプ１の点灯が完了し、点
灯装置２から主制御装置３に点灯完了信号が送信された
ら、主制御装置３は電磁シールドシャッタ制御系１２に
指令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モータ１１を駆
動し、電磁シールドシャッタ１０を移動させ、排気ダク
ト９を開放する。また、主制御装置３はリレー３４の接
点を閉じ、ターレット板駆動モータ制御系２４に指令を
与え、ターレット板駆動モータ２３を駆動し、ターレッ
ト板２２の開口絞りの種類を選択し、該選択された所定
の照明系開口絞り、例えば、開口絞り３０２を，フライ
アイレンズ２１の射出面に設定する。さらに、主制御装
置３はリレー１５の接点を閉じ、露光シャッタモータ制
御系１６とシャッタ駆動モータ１４の間を接続する。こ
の後の露光動作は第１の実施例と同様である。

【００３９】（第３の実施例）図４は本発明の第３の実
施例に係る露光装置を表わす図面である。本実施例が第
１の実施例と異なるのは、露光シャッタ１３が電磁シー
ルド効果のある材料で構成されており、筐体４と露光シ
ャッタ１３の隙間をなくし、電磁シールド効果を高める
ために、露光シャッタモータ１４が露光シャッタ１３を
筐体４に押しつける動作をも行なうところである。

【００４０】本構成において動作を順を追って説明す
る。主制御装置３は水銀ランプ１を点灯する前に、リレ
ー１５の接点を閉じ、露光シャッタモータ制御系１６に
指令を与え、露光シャッタ１３を回転させて閉状態にす
る。次に露光シャッタ１３を筐体４の開口部５に押しつ
け、開口部５を密閉する。その後、リレー１５の接点を
開き、露光シャッタモータ制御系１６と露光シャッタモ
ータ１４の間を電気的に絶縁する。また、主制御装置３
は水銀ランプ１を点灯する前に、電磁シールドシャッタ
制御系１２に指令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モ
ータ１１を駆動し、電磁シールドシャッタ１０を移動さ
せ、排気ダクト９を閉鎖する。

【００４１】次に主制御装置３は、点灯装置２に点灯指
令を与える。点灯装置２は、図７に示した波形の電圧を
水銀ランプ１が点灯するまで印加し続ける。このとき、
強大な放射ノイズが発生するが、電磁シールドシャッタ
１０が排気ダクト９を閉じており、露光シャッタ１３が
開口部５を閉じているために放射ノイズは筐体４の外に
放射されない。また、リレー１５が開放されているため
に、発生した強大なラインノイズも、該リレーにおいて
遮断され、筐体４の外に伝導されない。

【００４２】その後、水銀ランプ１の点灯が完了し、点
灯装置２から主制御装置３に点灯完了信号が送信された
ら、主制御装置３は電磁シールドシャッタ制御系１２に
指令を与え、電磁シールドシャッタ駆動モータ１１を駆
動し、電磁シールドシャッタ１０を移動させ、排気ダク
ト９を開放する。また、主制御装置３はリレー１５の接
点を閉じ、露光シャッタモータ制御系１６に指令を与
え、露光シャッタモータ１４を駆動し、露光シャッタ１
３を筐体の内部方向へ引き込み、筐体４との押しつけ動
作を終了し、筐体４との間に隙間を作る。この後の露光
動作は第１の実施例と同様である。

【００４３】なお第１、第２、第３の実施例において
は、水銀ランプ１を点灯する前に各種のノイズ対策を施
し、点灯が完了した後でノイズ対策を終了しているが、
水銀ランプ１を点灯する際に各種のノイズ対策が終了し
ているか否かのチェックを行ない、終了していない場合
には、点灯装置２に点灯指令が入らなくするようなイン
ターロック機構を構成してもよい。

【００４４】（第４の実施例）図５は本発明の第４の実
施例の係る露光装置を表わす図面である。本実施例が第
１の実施例の構成と異なるのは、排気ダクトを閉じるた
めの電磁シールドシャッタがなく、排気ダクト９の開口
部が電磁シールド効果のある遮蔽板３５で常時遮蔽され
ている点であり、動作は排気ダクト９の電磁シールドシ
ャッタ（１０〜１２）が省かれたことを除くと第１の実
施例と同じである。なお遮蔽板の材料には、例えば金網
のように電磁シールド効果が高く、排気効果の損失が少
ない材料が適切である。本実施例における排気ダクトの
開口部は、本発明の他の実施例と組み合わせることも可
能である。

【００４５】

【デバイス生産方法の実施例】次に上記説明した露光装
置または露光方法を利用したデバイスの生産方法の実施
例を説明する。図９は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の
半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、
マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ス
テップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成し
たマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）
ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。

【００４６】図１０は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ１６（露光）では上記説明した電磁シールド手段
またはリレーを有する露光装置によってマスクの回路パ
ターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）
では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチ
ング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで
不要となったレジストを取り除く。これらのステップを
繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パ
ターンが形成される。本実施例の生産方法を用いれば、
従来は製造が難しかった高集積度のデバイスを低コスト
に製造することができる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光源の点灯時に、光源および照明光学系の一部を収納し
た筐体に設けられている開口部を電磁シールド手段で塞
ぐことにより、光源や点灯装置等から発生する放射ノイ
ズが筐体の外に放射されることを防止することができ、
また、筐体の内外を接続する電気配線を遮断することに
より、この電気配線を伝わるラインノイズの外部への伝
達を防止することができる。

【００４８】具体的には、照明系内において、露光量を
制御するためのシャッタの他に、照明光路上に第２のシ
ャッタを設け、水銀ランプを点灯する前に、本シャッタ
を閉じ、点灯が終了した後で開くことにより、点灯時の
放射ノイズを前記照明系内に閉じ込めることが可能とな
る。

【００４９】次に、水銀ランプの熱排気用の開口部にシ
ャッタを設け、水銀ランプを点灯する前に、本シャッタ
を閉じ、点灯が終了した後で開くことにより、点灯時の
放射ノイズを照明系内に閉じ込めることが可能となる。

【００５０】また、照明系の電気回路に導入される電線
の間に、リレーを設け、水銀ランプを点灯する前に、本
リレーの接点を開き、点灯が終了した後で閉じることに
より、点灯時のラインノイズを照明系内に閉じ込めるこ
とが可能となる。

【００５１】さらに、露光量を制御するためのシャッタ
に、電磁シールド効果を持たせ、水銀ランプを点灯する
前に、本シャッタを閉じ、点灯が終了した後で開くこと
により、点灯時の放射ノイズを照明系内に閉じ込めるこ
とが可能となる。

【００５２】さらにまた、水銀ランプの熱排気用の開口
部を、電磁シールド性と通気性のある材料で構成された
常設の遮蔽板で、遮蔽することにより、点灯時の放射ノ
イズを照明系内に閉じ込めることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る露光装置の要部
概略図を示す。

【図２】本発明の第１の実施例に係る露光装置の要部
概略図を示す。

【図３】図２の装置で使用されるターレット板２２の
一例を示す平面図である。

【図４】本発明の第１の実施例に係る露光装置の要部
概略図を示す。

【図５】本発明の第１の実施例に係る露光装置の要部
概略図を示す。

【図６】従来の露光装置の要部概略図を示す。

【図７】水銀ランプ１が点灯するまで、同ランプに点
灯装置２が印加する電圧の一例を示す電圧−時間特性図
である。

【図８】従来の露光装置で使用されるターレット板２
２の一例を示す平面図である。

【図９】微小デバイスの製造の流れを示す図である。

【図１０】図９におけるウエハプロセスの詳細な流れ
を示す図である。

【符号の説明】

１：水銀ランプ、２：点灯装置、３：主制御系、４：筐
体、５：開口部、６，１０：電磁シールドシャッタ、
７，１１：電磁シールドシャッタ駆動モータ、８，１
２：電磁シールドシャッタ制御系、９：排気ダクト、１
３：露光シャッタ、１４：露光シャッタ駆動モータ、１
５，３４：リレー、１６：露光シャッタモータ制御系、
１７：楕円ミラー、１８：集光光学系、１９：光学フィ
ルタ、２０：インプットレンズ、２１：フライアイレン
ズ、２２：ターレット板、２３：ターレット板駆動モー
タ、２４：ターレット板駆動モータ制御系、２５，２
８：反射ミラー、２６，２７，２９：レンズ群、３０：
照明系、３１：レチクル、３２：投影光学系、３３：ウ
エハ、３５：遮蔽板、３０１：ターレット板の開いてい
ない部分、３０２：ターレット板の一つの開口絞り。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光用の光源と、該光源からの光を転写
用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学系
と、露光量を制御する露光シャッタと、該光源と該照明
光学系の一部とを収納した筐体とを有し、感光基板上に
前記マスクのパターンを転写する露光装置において、露光シャッタとは別に、前記照明光学系の照明光路を前
記筐体内部から外部に連続させるため該筐体に形成され
た開口部に電磁シールドシャッタを設置したことを特徴
とする露光装置。
【請求項２】露光用の光源と、該光源からの光を転写
用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学系
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体と、
該光源からの熱を排出するため該筐体に配設された排気
ダクトとを有し、感光基板上に前記マスクのパターンを
転写する露光装置において、前記排気ダクトの開口部に電磁シールドシャッタを設置
したことを特徴とする露光装置。
【請求項３】前記電磁シールドシャッタが、通気性の
ある金網状の材料からなることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の露光装置。
【請求項４】前記光源の点灯前に、前記電磁シールド
シャッタを閉じ、該光源の点灯完了後に、該電磁シール
ドシャッタを開くシーケンス制御手段をさらに備えるこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の露
光装置。
【請求項５】前記電磁シールドシャッタが閉じていな
い場合、前記光源の点灯を禁止するインターロック手段
をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
か１つに記載の露光装置。
【請求項６】露光用の光源と、該光源からの光を転写
用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学系
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体と、
該筐体の内外を接続する電気配線とを有し、感光基板上
に前記マスクのパターンを転写する露光装置において、前記電気配線を断続するスイッチ手段を設けたことを特
徴とする露光装置。
【請求項７】前記光源の点灯前に、前記スイッチ手段
を開いて前記電気配線を遮断し、該光源の点灯完了後
に、該スイッチ手段を閉じて該電気配線を接続するシー
ケンス制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項
６記載の露光装置。
【請求項８】前記スイッチ手段が開いていない場合、
前記光源の点灯を禁止するインターロック手段をさらに
備えることを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項９】露光用の光源と、該光源からの光を転写
用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学系
と、該照明光学系の照明光路上に配置された絞り手段
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体とを
有し、感光基板上に前記マスクのパターンを転写する露
光装置において、前記絞り手段は複数種類の開口絞りと電磁シールド効果
を有する部分とを備え、かつ該電磁シールド効果を有す
る部分を前記照明光学系の照明光路を前記筐体内部から
外部に連続させるため該筐体に形成された開口部に位置
させ得るよう配置されたことを特徴とする露光装置。
【請求項１０】前記光源の点灯前に、前記絞り手段の
電磁シールド効果を有する部分を前記開口部に位置さ
せ、該光源の点灯完了後に、該電磁シールド効果を有す
る部分を該開口部から退避させるシーケンス制御手段を
さらに備えることを特徴とする請求項９記載の露光装
置。
【請求項１１】前記絞り手段の電磁シールド効果を有
する部分が前記開口部に位置していない場合、前記光源
の点灯を禁止するインターロック手段をさらに備えるこ
とを特徴とする請求項９記載の露光装置。
【請求項１２】露光用の光源と、該光源からの光を転
写用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学
系と、該照明光学系の照明光路上に配置された絞り手段
と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体とを
有し、感光基板上に前記マスクのパターンを転写する露
光装置において、前記露光シャッタに電磁シールド効果をもたせ、かつ前
記照明光学系の照明光路を前記筐体内部から外部に連続
させるため該筐体に形成された開口部の近傍に配置した
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１３】前記光源の点灯前に、前記露光シャッ
タを閉じるとともに前記開口部に押しつけ、該光源の点
灯完了後に、該押し付けを解除して該露光シャッタを開
くシーケンス制御手段をさらに備えることを特徴とする
請求項１２記載の露光装置。
【請求項１４】前記露光シャッタが閉じていない場
合、前記光源の点灯を禁止するインターロック手段をさ
らに備えることを特徴とする請求項１２記載の露光装
置。
【請求項１５】露光用の光源と、該光源からの光を転
写用のパターンが形成されたマスクに照明する照明光学
系と、該光源と該照明光学系の一部とを収納した筐体
と、該光源からの熱を排出するため該筐体に配設された
排気ダクトとを有し、感光基板上に前記マスクのパター
ンを転写する露光装置において、前記排気ダクトの開口部を電磁シールド性と通気性とを
有する遮蔽材で遮蔽したことを特徴とする露光装置。
【請求項１６】前記光源の点灯装置を前記筐体内に配
置し、当該露光装置の動作を制御する主制御系を該筐体
外に配置したことを特徴とする請求項１〜１５のいずれ
か１つに記載の露光装置。
【請求項１７】前記光源が水銀ランプであることを特
徴とする請求項１〜１６のいずれか１つに記載の露光装
置。
【請求項１８】請求項１〜１７のいずれか１つに記載
の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とす
るデバイス製造方法。