JPH11162742A - Inductance element and manufacture thereof - Google Patents

Inductance element and manufacture thereof

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JPH11162742A
JPH11162742A JP9338204A JP33820497A JPH11162742A JP H11162742 A JPH11162742 A JP H11162742A JP 9338204 A JP9338204 A JP 9338204A JP 33820497 A JP33820497 A JP 33820497A JP H11162742 A JPH11162742 A JP H11162742A
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JP
Japan
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ferrite
inductance element
conductor
pattern
ferrite core
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JP9338204A
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Japanese (ja)
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Chiho Morita
千穂 森田
Mitsuo Sakakura
光男 坂倉
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Toko Inc
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Toko Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inductance element in which the inductance is enhanced and magnetic flux leakage to outside is prevented, by making the inductance element a closed magnetic circuit by forming a resinous ferrite layer on a spiral pattern of a conductor. SOLUTION: A spiral pattern 12 of a conductor is formed on the side surface of a ferrite core 10, and terminal electrodes 14 are formed. Spacing between the conductor pattern 12 and the pattern itself are covered by a resinous ferrite layer 18, which is a magnetic material composed of a resin containing ferrite powder, so that the conductor pattern 12 is buried in the resinous ferrite layer 18. The resinous ferrite layer 18 may be formed after a layer of a non-magnetic material, such as glass, is formed on the spacing between the conductor pattern 12 and on the surface of the pattern itself. By the constitution above stated, it is possible to make the inductance element a closed magnetic circuit, enhancing the inductance and preventing interference to outside circuit elements.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インダクタンス素
子とその製造方法に係るもので、特に、フェライトコア
の周囲に導体膜によるコイル形成用の導体パターンを形
成するタイプのインダクタンス素子とその製造方法に係
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inductance element and a method of manufacturing the same, and more particularly to an inductance element of a type in which a conductor pattern for forming a coil by a conductor film is formed around a ferrite core and a method of manufacturing the same. It is related.

【0002】[0002]

【従来の技術】インダクタンス素子は、一般にフェライ
トコアに導線を巻き回すものが用いられていたが、加工
技術の進歩等によって、巻線に代えて磁性体上に導体膜
を形成する構造のものが実用化されている。特に、レー
ザー加工技術の進歩によって、精度の高い導体パターン
が得られるようになり、中高周波用のチップインダクタ
等として適したものが得られるようになっている。
2. Description of the Related Art In general, an inductance element in which a conductive wire is wound around a ferrite core has been used. However, due to advances in processing technology and the like, a structure in which a conductor film is formed on a magnetic material instead of a winding is used. Has been put to practical use. In particular, with the advance of laser processing technology, highly accurate conductor patterns can be obtained, and those suitable as chip inductors for medium and high frequencies can be obtained.

【0003】このタイプのインダクタンス素子は、図3
に示したように、フェライトコア30の周囲に螺旋状の導
体パターン32を形成し、両端に端子電極34を形成したも
のである。製造する際には、フェライトコアの側面全体
に導体膜を形成し、この導体膜を切削してフェライト素
体を露出させ、螺旋状の導体パターンを残すようにする
のが一般的である。
[0003] This type of inductance element is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, a spiral conductive pattern 32 is formed around a ferrite core 30 and terminal electrodes 34 are formed at both ends. In manufacturing, a conductor film is generally formed on the entire side surface of the ferrite core, and the conductor film is cut to expose the ferrite body and leave a spiral conductor pattern.

【0004】導体膜の切削には、カッターに代えてレー
ザービームを照射して導体膜を除去する方法が採用され
るようになっている。これによって、精度良く導体パタ
ーンを形成できるようになった。
[0004] In order to cut the conductive film, a method of irradiating a laser beam instead of a cutter to remove the conductive film has been adopted. As a result, the conductor pattern can be formed with high accuracy.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】磁性体コアの両端の外
径を大きくして外径の小さい部分に導体パターンを形成
したインダクタンス素子は、ドラムコアに巻線を施した
コイルと同様の構造となる。導体膜の保護のために樹脂
で覆うのが一般的であるが、開磁路構造となるためにイ
ンダクタンスを大きくすることが難しく、また近接して
配置する他の素子に対する干渉を生じ易くなる。本発明
は、インダクタンス素子を閉磁路化して、インダクタン
スを向上させるとともに、外部への磁束の漏れを防止で
きるインダクタンス素子を提供するものである。
An inductance element in which the outer diameter of both ends of a magnetic core is increased and a conductor pattern is formed in a portion having a smaller outer diameter has a structure similar to that of a coil in which a drum core is wound. . The conductor film is generally covered with a resin to protect the conductor film. However, it is difficult to increase the inductance due to the open magnetic circuit structure, and it is easy to cause interference with other elements arranged close to each other. An object of the present invention is to provide an inductance element that can improve the inductance by forming the inductance element into a closed magnetic path, and that can prevent leakage of magnetic flux to the outside.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、螺旋状の導体
パターン上に樹脂フェライト層を形成することによっ
て、上記の課題を解決するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems by forming a resin ferrite layer on a spiral conductive pattern.

【0007】すなわち、角柱または円柱形のフェライト
コアの側面に施した導体膜の一部をレーザー加工によっ
て切削して、フェライトコアの周囲に螺旋状の導体パタ
ーンを形成したインダクタンス素子において、螺旋状の
導体パターンを覆うプラスチックフェライトの磁性体層
を具えたことに特徴を有するものである。
That is, in an inductance element in which a spiral conductive pattern is formed around a ferrite core by cutting a part of a conductive film formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core by laser processing, a spiral spiral is formed. It is characterized by having a magnetic layer of plastic ferrite covering the conductor pattern.

【0008】また、角柱または円柱形のフェライトコア
の側面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレーザー
加工によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋状の
導体パターンを形成するインダクタンス素子の製造方法
において、螺旋状の導体パターンを覆うプラスチックフ
ェライトの磁性体層を形成することに特徴を有するもの
である。
In addition, a conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. The manufacturing method is characterized in that a magnetic layer of plastic ferrite which covers the spiral conductive pattern is formed.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明によるインダクタンス素子
の製造方法の工程は以下の通りとなる。 フェライトコア形成 導体膜形成(無電解めっきまたは無電解めっきの後電解
めっき) 乾燥 レーザ加工(必要に応じて熱処理) 樹脂フェライト層形成
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The steps of a method for manufacturing an inductance element according to the present invention are as follows. Ferrite core formation Conductive film formation (electroless plating or electroless plating followed by electrolytic plating) Drying Laser processing (heat treatment if necessary) Resin ferrite layer formation

【0010】工数の低減のために、端子電極の形成は導
体膜の形成と同時に行い、端子電極のはんだ付けの際の
はんだ濡れ性を向上させるためにはんだめっき等を行う
とよい。また、Ni膜を形成しておくと螺旋状の導体パタ
ーンを形成する銀のはんだ食われを防止できる。また、
レーザ加工の後にフェライトの熱処理を行うと、レーザ
加工の際に還元されて導体化したフェライトを絶縁性の
高い酸化物に戻すことができる。また、導体パターンを
エポキシ樹脂等の薄い非磁性体層で覆った上に樹脂フェ
ライト層を形成するようにしてもよい。
In order to reduce the number of steps, it is preferable to form the terminal electrodes simultaneously with the formation of the conductor film, and to perform solder plating or the like in order to improve the solder wettability at the time of soldering the terminal electrodes. In addition, when the Ni film is formed, it is possible to prevent erosion of silver forming a spiral conductive pattern. Also,
When heat treatment of ferrite is performed after laser processing, ferrite reduced and converted to a conductor during laser processing can be returned to an oxide having high insulating properties. Further, a resin ferrite layer may be formed on a conductor pattern covered with a thin non-magnetic layer such as an epoxy resin.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明によるインダクタンス素子の製
造方法の実施例について、説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for manufacturing an inductance element according to the present invention will be described below.

【0012】通信機器用等の中高周波用のインダクタン
ス素子の材料としては、Ni-Zn 系あるいはNi-Cu-Zn系等
のフェライトが用いられる。これらの材料の酸化物とFe
2O3とを所定の量混合した材料を成形し、焼成してフェ
ライトコアを得る。
As a material for an inductance element for medium and high frequencies such as for communication equipment, a ferrite of Ni-Zn type or Ni-Cu-Zn type is used. Oxides of these materials and Fe
A material in which a predetermined amount of 2 O 3 is mixed is molded and fired to obtain a ferrite core.

【0013】このフェライトコアに、無電解めっきによ
って銀またはニッケル等の金属の導体膜を形成する。導
体膜を厚くして抵抗を下げるために、更に電解めっきに
よって銀の導体膜が形成される。この導体膜の材料とし
ては、銅を用いたり、ニッケル上に銅などの金属を形成
するようにしてもよい。
A conductive film of a metal such as silver or nickel is formed on the ferrite core by electroless plating. In order to reduce the resistance by thickening the conductor film, a silver conductor film is further formed by electrolytic plating. As a material of the conductor film, copper may be used, or a metal such as copper may be formed on nickel.

【0014】フェライトコアに形成された導体膜は、レ
ーザー加工によって切削される。レーザービームによっ
て導体膜を焼き切るもので、導体膜とともにフェライト
コア素体の表面の一部も焼き切られることになる。この
ときフェライトコアの表面は高温に熱せられることにな
るので、フェライトの粒子もその影響を受けて還元さ
れ、導体化することになる。
The conductor film formed on the ferrite core is cut by laser processing. The conductor film is burned off by the laser beam, and a part of the surface of the ferrite core body is burned off together with the conductor film. At this time, the surface of the ferrite core is heated to a high temperature, so that the ferrite particles are also reduced under the influence of the ferrite core and are converted into a conductor.

【0015】そこで、レーザー加工後のフェライトコア
を空気中または酸素雰囲気中で熱処理する。この熱処理
によって、金属化したフェライトが酸化されて本来の絶
縁体のフェライトに戻される。熱処理の方法としては、
空気中で 900°Cまで20°C/min で温度を上げ、 900
°Cを10分間保持し、その後冷却する方法を採用したと
ころ、本来のフェライトの組成に戻って特性を回復して
いた。
Therefore, the ferrite core after laser processing is heat-treated in air or an oxygen atmosphere. By this heat treatment, the metallized ferrite is oxidized and returned to the original insulator ferrite. As a method of heat treatment,
Raise the temperature in air to 900 ° C at 20 ° C / min, 900
When a method of holding at 10 ° C. for 10 minutes and thereafter cooling was adopted, the composition returned to the original ferrite composition and the properties were recovered.

【0016】上記のように処理されたフェライトコアの
導体パターンを外部回路に接続するための端子をコアの
両端に形成するが、最初に形成した金属膜をそのまま下
地電極として利用することもできる。端子電極の部分に
は、はんだ食われの防止のためにニッケルめっきおよび
はんだめっき等を施しておくとよい。
The terminals for connecting the conductor pattern of the ferrite core processed as described above to the external circuit are formed at both ends of the core, but the metal film formed first can be used as a base electrode as it is. The terminal electrode portion is preferably plated with nickel, solder, or the like to prevent solder erosion.

【0017】本発明によるインダクタンス素子の一例を
図1に示す。フェライトコア10の側面に螺旋状の導体パ
ターン12を形成し、端子電極14を形成した点は従来と同
じである。本発明においては、導体パターン12の間とそ
の上をプラスチックフェライト18で覆っている。プラス
チックフェライトは樹脂中にフェライト粉末を含む磁性
体であり、導体パターン12が磁性体中に埋設されたこと
になる。
FIG. 1 shows an example of the inductance element according to the present invention. The spiral conductor pattern 12 is formed on the side surface of the ferrite core 10 and the terminal electrode 14 is formed as in the conventional case. In the present invention, the space between and above the conductor patterns 12 is covered with the plastic ferrite 18. The plastic ferrite is a magnetic material containing ferrite powder in a resin, which means that the conductor pattern 12 is embedded in the magnetic material.

【0018】図2は、本発明の他の実施例を示すもの
で、フェライトコア20、導体パターン22、端子電極24は
上記の例と同じであるが、導体パターン22の間と導体パ
ターン22の表面にガラス等の非磁性体層26を形成し、そ
の上にプラスチックフェライト層28を形成している。導
体パターン22の間の磁性体を非磁性体に代えた構造であ
り、導体パターン22間の透磁率が低くなって磁界が主磁
路を回り易くなるのでインダクタンスを上げることがで
き、高周波用として適したインダクタンス素子が得られ
る。
FIG. 2 shows another embodiment of the present invention, in which the ferrite core 20, the conductor pattern 22, and the terminal electrode 24 are the same as those in the above-mentioned example, but between the conductor pattern 22 and the conductor pattern 22. A nonmagnetic layer 26 such as glass is formed on the surface, and a plastic ferrite layer 28 is formed thereon. This is a structure in which the magnetic material between the conductor patterns 22 is replaced with a non-magnetic material.The magnetic permeability between the conductor patterns 22 decreases, and the magnetic field easily moves around the main magnetic path, so that the inductance can be increased. A suitable inductance element is obtained.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明によれば、インダクタンス素子を
閉磁路化することができるので、インダクタンスを上げ
ることができるとともに、外部回路素子への干渉を防止
することもできる。
According to the present invention, since the inductance element can be formed as a closed magnetic circuit, the inductance can be increased and interference with external circuit elements can be prevented.

【0020】また、プラスチックフェライト層は導体パ
ターンの保護層にもなるので、信頼性の高い、特性の安
定したインダクタンス素子が得られる。
Further, since the plastic ferrite layer also serves as a protective layer for the conductor pattern, a highly reliable inductance element having stable characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施例を示す正面断面図FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の他の実施例を示す正面断面図FIG. 2 is a front sectional view showing another embodiment of the present invention.

【図3】 インダクタンス素子を示す正面図FIG. 3 is a front view showing an inductance element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、20、30:フェライトコア 12、22、32:導体パターン 26:非磁性体層 18、28:プラスチックフェライト層 10, 20, 30: Ferrite core 12, 22, 32: Conductor pattern 26: Non-magnetic layer 18, 28: Plastic ferrite layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 角柱または円柱形のフェライトコアの側
面に施した導体膜の一部をレーザー加工によって切削
し、フェライトコアの周囲に螺旋状の導体パターンを形
成したインダクタンス素子において、螺旋状の導体パタ
ーンを覆うプラスチックフェライトの磁性体層を具えた
ことを特徴とするインダクタンス素子。
In an inductance element in which a part of a conductor film formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core, a spiral conductor is provided. An inductance element comprising a plastic ferrite magnetic layer covering a pattern.
【請求項2】 角柱または円柱形のフェライトコアの側
面に施した導体膜の一部をレーザー加工によって切削
し、フェライトコアの周囲に螺旋状の導体パターンを形
成したインダクタンス素子において、螺旋状の導体パタ
ーン間のコアの表面に非磁性体の絶縁層を具え、螺旋状
の導体パターンとその絶縁層を覆うプラスチックフェラ
イトの磁性体層を具えたことを特徴とするインダクタン
ス素子。
2. The inductance element according to claim 1, wherein a part of the conductor film formed on the side surface of the prismatic or cylindrical ferrite core is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. An inductance element comprising a nonmagnetic insulating layer on the surface of a core between patterns, and a magnetic layer of plastic ferrite covering the spiral conductive pattern and the insulating layer.
【請求項3】 角柱または円柱形のフェライトコアの側
面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレーザー加工
によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋状の導体
パターンを形成するインダクタンス素子の製造方法にお
いて、螺旋状の導体パターンを覆うプラスチックフェラ
イトの磁性体層を形成することを特徴とするインダクタ
ンス素子の製造方法。
3. An inductance element, wherein a conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. A method of manufacturing an inductance element, comprising forming a magnetic layer of plastic ferrite covering a spiral conductive pattern.
【請求項4】 角柱または円柱形のフェライトコアの側
面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレーザー加工
によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋状の導体
パターンを形成するインダクタンス素子の製造方法にお
いて、螺旋状の導体パターン間に非磁性体の絶縁層を形
成し、螺旋状の導体パターンとその絶縁層を覆うプラス
チックフェライトの磁性体層を形成することを特徴とす
るインダクタンス素子の製造方法。
4. An inductance element in which a conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. In a manufacturing method, a nonmagnetic insulating layer is formed between spiral conductive patterns, and a magnetic layer of plastic ferrite covering the spiral conductive pattern and the insulating layer is formed. Method.
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