JPH11135350A - Method for manufacturing inductance element - Google Patents
Method for manufacturing inductance elementInfo
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- JPH11135350A JPH11135350A JP9310010A JP31001097A JPH11135350A JP H11135350 A JPH11135350 A JP H11135350A JP 9310010 A JP9310010 A JP 9310010A JP 31001097 A JP31001097 A JP 31001097A JP H11135350 A JPH11135350 A JP H11135350A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インダクタンス素
子の製造方法に係るもので、特に、フェライトコアの周
囲に導体膜のコイル形成用の導体パターンを形成するタ
イプのインダクタンス素子の特性を改善するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an inductance element, and more particularly to a method for improving the characteristics of an inductance element of a type in which a conductor pattern for forming a coil of a conductor film is formed around a ferrite core. It is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インダクタンス素子は一般にフェライト
コアに導線を巻き回すものが用いられていたが、加工技
術の進歩等によって、巻線に代えて導体膜を形成する構
造のものが実用化されている。特に、レーザー加工技術
の進歩によって、精度の高い導体パターンが得られるよ
うになり、中高周波用のチップインダクタ等として適し
たものが得られるようになっている。2. Description of the Related Art In general, an inductance element in which a conductive wire is wound around a ferrite core has been used. However, due to advances in processing techniques, a structure in which a conductor film is formed instead of a winding has been put to practical use. . In particular, with the advance of laser processing technology, highly accurate conductor patterns can be obtained, and those suitable as chip inductors for medium and high frequencies can be obtained.
【０００３】このタイプのインダクタンス素子は、図２
に示したように、フェライトコア20の周囲に螺旋状の導
体パターン22を形成し、端子電極24を形成したものであ
る。製造する際には、フェライトコアの側面全体に導体
膜を形成し、この導体膜を切削してフェライト素体を露
出させ、螺旋状の導体パターンを残すようにするのが一
般的である。FIG. 2 shows an inductance element of this type.
As shown in FIG. 5, a spiral conductive pattern 22 is formed around a ferrite core 20, and a terminal electrode 24 is formed. In manufacturing, a conductor film is generally formed on the entire side surface of the ferrite core, and the conductor film is cut to expose the ferrite body and leave a spiral conductor pattern.
【０００４】導体膜の切削には、カッターに代えてレー
ザービームを照射して導体膜を除去する方法が採用され
るようになっている。これによって、精度よく導体パタ
ーンを形成できるようになった。[0004] In order to cut the conductive film, a method of irradiating a laser beam instead of a cutter to remove the conductive film has been adopted. As a result, the conductor pattern can be formed accurately.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、レーザー加工
による場合には、フェライトコア素体もレーザー照射に
より加熱されることになる。この加熱によってフェライ
トコアの表面の性質が変化し、絶縁性の高い酸化物が還
元されて導体化する問題も生じる。これによって、イン
ダクタンス素子のインダクタンス、Ｑ等の劣化を生じ
る。本発明は、このフェライトの特性の劣化を防止し
て、特性の良好なインダクタンス素子を得るものであ
る。However, in the case of laser processing, the ferrite core body is also heated by laser irradiation. The properties of the surface of the ferrite core change due to this heating, and a problem arises in that the oxide having high insulating properties is reduced and turned into a conductor. As a result, the inductance, Q, etc. of the inductance element deteriorate. The present invention is to prevent deterioration of the ferrite characteristics and obtain an inductance element having good characteristics.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、導体化したフ
ェライトコアを空気中または酸素雰囲気中で熱処理し
て、フェライトの本来の組成に戻すことによって絶縁性
を取り戻させて、上記の課題を解決するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above problems by heat-treating a conductive ferrite core in air or an oxygen atmosphere to restore the ferrite to its original composition, thereby restoring insulation. Is the solution.
【０００７】すなわち、角柱または円柱形のフェライト
コアの側面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレー
ザー加工によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋
状の導体パターンを形成するインダクタンス素子の製造
方法において、レーザー加工によって導体膜の一部を切
削した後、フェライトコアを空気中または酸素雰囲気中
で熱処理することに特徴を有するものである。That is, a conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. The manufacturing method is characterized in that after a part of the conductive film is cut by laser processing, the ferrite core is heat-treated in air or an oxygen atmosphere.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明によるインダクタンス素子
の製造方法のプロセスを図１に示す。Ni-Zn系またはNi-
Cu-Zn系のフェライトを所定の形状に成形し、焼成して
フェライトコアを得る。このフェライトコアの側面に銀
等の導体膜を形成する。この導体膜をレーザビームを走
査させながら所定のパターンで切削して、所定のパター
ンの導体膜を残す。その後、このフェライトコアを空気
中または酸素雰囲気中で所定時間熱処理することによっ
てインダクタンス素子を得る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a process of a method for manufacturing an inductance element according to the present invention. Ni-Zn or Ni-
A Cu-Zn ferrite is formed into a predetermined shape and fired to obtain a ferrite core. A conductor film such as silver is formed on the side surface of the ferrite core. This conductor film is cut in a predetermined pattern while scanning with a laser beam, leaving a conductor film of a predetermined pattern. Thereafter, the ferrite core is heat-treated in air or an oxygen atmosphere for a predetermined time to obtain an inductance element.
【０００９】[0009]
【実施例】通信機器用等の中高周波用のインダクタンス
素子の材料としてはNi-Zn 系あるいはNi-Cu-Zn系等のフ
ェライトが用いられる。これらの材料の酸化物とFe2O3
とを所定の量混合した材料を成形し、焼成してフェライ
トコアを得る。一般的に上記の系のコアは高い抵抗率を
有している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As a material for an inductance element for medium and high frequencies such as for communication equipment, a ferrite of Ni-Zn or Ni-Cu-Zn is used. Oxides of these materials and Fe 2 O 3
A material obtained by mixing the above components in a predetermined amount is molded and fired to obtain a ferrite core. Generally, the cores of the above systems have a high resistivity.
【００１０】このフェライトコアに、無電解めっきによ
って銀またはニッケル等の金属の導体膜を形成する。導
体膜を厚くして抵抗を下げるために、更に電解メッキに
よって銀の導体層が形成される。この導体膜の材料とし
ては、銅などを用いたり、異なる金属を多層に形成する
ようにしてもよい。A conductor film of a metal such as silver or nickel is formed on the ferrite core by electroless plating. In order to reduce the resistance by increasing the thickness of the conductor film, a silver conductor layer is further formed by electrolytic plating. As the material of the conductor film, copper or the like may be used, or different metals may be formed in multiple layers.
【００１１】フェライトコアに形成された導体膜は、レ
ーザー加工によって切削される。レーザービームによっ
て導体膜を焼き切るもので、導体膜とともにフェライト
コア素体の表面の一部も焼き切られることになる。この
とき、フェライトコア表面は高温に熱せられることにな
るので、フェライトの粒子もその影響を受けて還元され
易くなって導体化することになる。[0011] The conductor film formed on the ferrite core is cut by laser processing. The conductor film is burned off by the laser beam, and a part of the surface of the ferrite core body is burned off together with the conductor film. At this time, since the surface of the ferrite core is heated to a high temperature, the ferrite particles are also easily affected by the heat and are easily reduced and become conductive.
【００１２】そこで、本発明においては、レーザ加工後
のフェライトコアを空気中または酸素雰囲気中で熱処理
する。この熱処理によって、金属化したフェライトが酸
化されて本来の絶縁体のフェライトに戻される。熱処理
の方法としては、空気中で900 °Ｃまで20°Ｃ／min で
温度を上げ、 900°Ｃを10分間保持し、その後冷却する
方法などがある。Therefore, in the present invention, the ferrite core after laser processing is heat-treated in air or an oxygen atmosphere. By this heat treatment, the metallized ferrite is oxidized and returned to the original insulator ferrite. As a method of heat treatment, there is a method of increasing the temperature in air to 900 ° C. at a rate of 20 ° C./min, holding 900 ° C. for 10 minutes, and then cooling.
【００１３】なお、上記のように処理されたフェライト
コアの導体パターンを外部回路と接続するための端子電
極を形成するが、最初に形成した金属膜をそのまま下地
電極として利用することもできる。端子電極の部分には
半田食われの防止のためにニッケル、半田のめっきを施
しておくとよい。また、フェライトコアの側面に形成さ
れた導体パターンの表面には樹脂等によって保護膜を形
成することが望ましい。Although a terminal electrode for connecting the conductor pattern of the ferrite core treated as described above to an external circuit is formed, the metal film formed first can be used as a base electrode as it is. The terminal electrode portions are preferably plated with nickel or solder to prevent solder erosion. Further, it is desirable to form a protective film with a resin or the like on the surface of the conductor pattern formed on the side surface of the ferrite core.
【００１４】本発明は、上記の例に限られるものではな
く、フェライトコアに導体膜を形成してレーザー加工に
よって所定の導体パターンを得るインダクタンス素子全
般に利用できる。The present invention is not limited to the above example, but can be applied to all inductance elements in which a conductor film is formed on a ferrite core to obtain a predetermined conductor pattern by laser processing.
【００１５】[0015]
【発明の効果】本発明によれば、フェライトコアの抵抗
の劣化を防止することができるので、インダクタンスや
Ｑが高く、特性の良好なインダクタンス素子が得られ
る。According to the present invention, since the resistance of the ferrite core can be prevented from deteriorating, an inductance element having high inductance and high Q and excellent characteristics can be obtained.
【００１６】また、特別な加工や装置を必要とせず、大
量に処理することができるので、安価で量産性の高いイ
ンダクタンス素子が得られる。In addition, since a large amount of processing can be performed without requiring any special processing or equipment, an inexpensive inductance element having high productivity can be obtained.
【図１】 本発明の工程の説明図FIG. 1 is an explanatory view of a process of the present invention.
【図２】 インダクタンス素子の正面図FIG. 2 is a front view of an inductance element.
10：フェライトコア 12：導体パターン 14：端子電極 10: Ferrite core 12: Conductor pattern 14: Terminal electrode
Claims (3)
面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレーザー加工
によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋状の導体
パターンを形成するインダクタンス素子の製造方法にお
いて、レーザー加工によって導体膜の一部を切削した
後、フェライトコアを空気中または酸素雰囲気中で熱処
理することを特徴とするインダクタンス素子の製造方
法。1. An inductance element comprising: a conductor film formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core; and a part of the conductor film being cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. A method of manufacturing an inductance element, comprising: after cutting a part of a conductive film by laser processing, heat-treating a ferrite core in air or an oxygen atmosphere.
面に無電解めっきおよび電解めっきによって導体膜を形
成し、その導体膜の一部をレーザー加工によって切削し
てフェライトコアの周囲に螺旋状の導体パターンを形成
するインダクタンス素子の製造方法において、レーザー
加工によって導体膜の一部を切削した後、フェライトコ
アを空気中または酸素雰囲気中で熱処理することを特徴
とするインダクタンス素子の製造方法。2. A conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core by electroless plating and electrolytic plating, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor around the ferrite core. A method for manufacturing an inductance element for forming a pattern, the method comprising cutting a part of a conductive film by laser processing, and then heat-treating the ferrite core in air or an oxygen atmosphere.
面に導体膜を形成し、その導体膜の一部をレーザー加工
によって切削してフェライトコアの周囲に螺旋状の導体
パターンを形成するインダクタンス素子の製造方法にお
いて、レーザー加工によって導体膜の一部を切削した
後、フェライトコアを空気中または酸素雰囲気中で熱処
理してフェライトの抵抗を上げることを特徴とするイン
ダクタンス素子の製造方法。3. An inductance element, wherein a conductor film is formed on a side surface of a prismatic or cylindrical ferrite core, and a part of the conductor film is cut by laser processing to form a spiral conductor pattern around the ferrite core. A method of manufacturing an inductance element, comprising cutting a part of a conductive film by laser processing, and then heat-treating the ferrite core in air or an oxygen atmosphere to increase the resistance of the ferrite.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310010A JPH11135350A (en) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | Method for manufacturing inductance element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310010A JPH11135350A (en) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | Method for manufacturing inductance element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11135350A true JPH11135350A (en) | 1999-05-21 |
Family
ID=18000072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9310010A Pending JPH11135350A (en) | 1997-10-24 | 1997-10-24 | Method for manufacturing inductance element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11135350A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106256930A (en) * | 2015-06-16 | 2016-12-28 | 株式会社村田制作所 | The manufacture method of ceramic electronic components and ceramic electronic components |
| JP2017011256A (en) * | 2015-06-16 | 2017-01-12 | 株式会社村田製作所 | Method of manufacturing ceramic electronic component and ceramic electronic component |
-
1997
- 1997-10-24 JP JP9310010A patent/JPH11135350A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106256930A (en) * | 2015-06-16 | 2016-12-28 | 株式会社村田制作所 | The manufacture method of ceramic electronic components and ceramic electronic components |
| JP2017011256A (en) * | 2015-06-16 | 2017-01-12 | 株式会社村田製作所 | Method of manufacturing ceramic electronic component and ceramic electronic component |
| US10242789B2 (en) | 2015-06-16 | 2019-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic electronic component, and ceramic electronic component |
| US11322293B2 (en) | 2015-06-16 | 2022-05-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic electronic component, and ceramic electronic component |
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