JPH11153403A - 磁気ネジ検出システム - Google Patents

磁気ネジ検出システム

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JPH11153403A
JPH11153403A JP31851097A JP31851097A JPH11153403A JP H11153403 A JPH11153403 A JP H11153403A JP 31851097 A JP31851097 A JP 31851097A JP 31851097 A JP31851097 A JP 31851097A JP H11153403 A JPH11153403 A JP H11153403A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ネジの脱調を簡単に検出できる磁気ネジ
検出システムを提供すること。 【解決手段】 本発明の磁気ネジ検出システムは、N極
及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雄磁気
ネジ61と雌磁気ネジ66との異極の着磁帯同士が吸引
し合うことで、主動部材62の動力を従動部材52に伝
達する雄磁気ネジ61と雌磁気ネジ66とからなる磁気
ネジと、主動部材62又は従動部材52の一方に取り付
けられ、この主動部材62又は従動部材52に対して相
対的に移動する雌磁気ネジ66又は雄磁気ネジ61の着
磁帯から受ける磁束を検出する磁気センサ1と、その磁
気センサ1からの検出信号を処理する制御装置11とを
有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁力による吸引力
を利用して動力の伝達を行う磁気ネジの脱調などを検出
する磁気ネジ検出システムに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば従来、モータを使用し、その回転
出力によってスライダを水平移動させる場合、ロッドの
回転によってスライダに推力を発生させるために、その
ロッドとスライダとの間にボールネジなどの機械的構造
の動力伝達機構を介し、回転方向の運動から直線方向へ
の運動を得ることが行われていた。しかし、近年、その
機械的構造の動力伝達機構に代わり、非接触によって同
様の動力伝達が可能な磁気ネジの開発が進められてい
る。図4は、磁気ネジを使用したスライド搬送装置を示
す一部外観斜視図であり、平行に引かれた2本のスライ
ドガイド51,51上を、磁気ネジによって動力の与え
られたスライダ52が摺動する構成を示した図である。
また、図5は、その磁気ネジの構造を示す雄磁気ネジ及
び雌磁気ネジの分解斜視図である。
【0003】雄磁気ネジ61は、図5に示すように、ロ
ッド62の外周に嵌合され接着された円筒磁石63より
構成されている。ロッド62は、高透磁性の材料(例え
ば鉄、酸化鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらを主
成分とする合金その他の化合物等)より成形されてい
る。円筒磁石63には、螺旋状に形成された着磁帯64
が形成され、隣接する帯同士は極性が逆向きとなるよう
着磁されている。すなわち、N極が着磁された着磁帯6
4Nの隣には必ずS極の着磁帯64Sが着磁されてい
る。そのため、雄磁気ネジ61の表面には、図5に示す
ようにN極とS極とが交互に着磁された螺旋状の着磁帯
64が整然と形成されている。
【0004】一方、スライダには、前記雄磁気ネジ61
が貫通する貫通孔が穿設され、そこにはめ込まれた円筒
形状の雌ネジホルダ67の内周面に雄磁気ネジ61に対
応する雌磁気ネジ66が形成されている。雌磁気ネジ6
6は、図5に示すように、円筒磁石68が高透磁性材料
(例えば鉄、酸化鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれ
らを主成分とする合金その他化合物等)から成形される
雌ネジホルダ67内に固着されることにより構成されて
いる。そして、雌磁気ネジ66の内周には、図5に示す
ように、雄磁気ネジ61と同様に螺旋状に69N極と6
9S極とが交互に螺旋状に着磁された着磁帯69が形成
されている。
【0005】そこで、雄磁気ネジ61と雌磁気ネジ66
とは、互いに異極同士(64Nと69S,64Sと69
N)の着磁帯64,69が磁力によって吸引し合ってい
る。そのため、ロッド62にモータの回転が与えられて
雄磁気ネジ61が回転すると、雌磁気ネジ66の着磁帯
69が、回転する雄磁気ネジ61の着磁帯64に追随し
ようとする。しかし、雌磁気ネジ66は回転しないスラ
イダ52に固着されているために、その雌磁気ネジ66
には推力が作用してスライダ52がロッド62に沿って
直線上に移動することとなる。よって、従来の機械的な
ネジに比べ抵抗がないため、動力の伝達が非常にスムー
ズで、その使用範囲が拡大しつつある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このような磁気ネジ
は、非接触状態で動力を伝達するため、外部の抵抗によ
って脱調が生じやすい。このことは、例えばスライダ5
2による搬送物の間に手が挟まれる等の緊急時の危険回
避や、制御ミスによってスライダ52がオーバーランし
て衝突する異常時の破損防止等には効果的である。とこ
ろが、脱調が生じる場合はこのような緊急時等に限られ
ず、その構成によって種々起こり得る。例えば、前記し
たスライド搬送装置の場合では、スライダ52が移動の
際に、載置されたワーク荷重のオーバーや片寄り、スラ
イダ52とそれを補助しているスライドガイド51,5
1との摺動抵抗のバラツキ、或いはロッド62の撓みに
よるスライド移動摺動抵抗などの原因が考えられる。
【0007】このような原因から脱調が生じると、スラ
イダ52を定量移動させる為に行う雄磁気ネジ61の定
量回転指令に対し、雌磁気ネジ66が追随できず、指令
値と実際の移動位置との間にズレが発生する。そして、
そのズレによってワーク位置決め不良により治具やワー
クを破損させる原因となったり、オーバーランしたスラ
イダによってワークに破損が生じたるなど搬送ミスの原
因となってしまっていた。しかし、従来からある検出器
で磁気ネジの脱調を検出しようとした場合、搬送ユニッ
トなどにシステムとして構築することが難しかった。具
体的には、例えばモータ軸にエンコーダを取り付けて回
転角度を検出する方法では、磁気ネジが非接触であるた
め脱調の検出ができない。また、例えばスライドガイド
51に沿って設けた磁気リニアスケールを、スライダ5
2に固着した磁気ヘッドによって読み取る方法では、コ
ストが高く、更にスケール自体が搬送領域にかけて必要
なためコントローラが大型化してしまうなどの問題があ
った。
【0008】そこで、本発明は、磁気ネジの脱調を簡単
に検出できる磁気ネジ検出システムを提供することを目
的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ネジ検出シ
ステムは、N極及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁さ
れてなる雄磁気ネジと雌磁気ネジとの異極の着磁帯同士
が吸引し合うことで、主動部材の動力を従動部材に伝達
する該雄磁気ネジと雌磁気ネジとからなる磁気ネジと、
前記主動部材又は従動部材の一方に取り付けられ、この
主動部材又は従動部材に対して相対的に移動する前記雌
磁気ネジ又は雄磁気ネジの着磁帯から受ける磁束を検出
する磁気センサと、前記磁気センサからの検出信号を処
理する制御装置とを有する。
【0010】よって、例えば、主動部材に設けられた雄
磁気ネジの回転により、吸引し合う着磁帯同士の動力伝
達によって、回転が制限された従動部材の雌磁気ネジに
直線方向の運動が与えられ、その従動部材に取り付けら
れた磁気センサが、軸方向に相対的に移動する雄磁気ネ
ジの着磁帯を検出する。そのとき、磁気ネジに脱調が生
じると、吸引し合っていた着磁帯にズレが生じ、磁気セ
ンサがそれまで検出していた着磁帯とは異なる極性の着
磁帯を横切り、その変化する磁束を磁気センサが検出
し、その検出信号が制御装置で処理され脱調が確認され
る。
【0011】また、本発明の磁気ネジ検出システムは、
駆動モータによって回転可能なロッド外周面にN極及び
S極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雄磁気ネジ
と、前記ロッドに貫通されたスライダの貫通孔内周面に
N極及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雌
磁気ネジと、前記スライダに取り付けられ、前記雄磁気
ネジの着磁帯から受ける磁束を検出する磁気センサと、
前記磁気センサからの検出信号を処理する制御装置とを
有する。
【0012】よって、駆動モータによってロッドが回転
され、それと同時に雄磁気ネジにも回転が与えられるこ
とにより、吸引し合う着磁帯同士の動力伝達によって、
回転が制限されたスライダの雌磁気ネジには直線方向の
力が働き、その結果、スライダが軸方向に直線運動する
こととなる。その際、スライダに取り付けられた磁気セ
ンサが、軸方向に相対的に移動することとなる雄磁気ネ
ジの着磁帯の磁束を検出し、磁気ネジに脱調が生じる
と、吸引し合っていた着磁帯にズレが生じ、磁気センサ
がそれまで検出していた着磁帯とは異なる極性の着磁帯
を横切り、変化する磁束を磁気センサが検出し、その検
出信号が制御装置で処理され脱調が確認される。
【0013】また、本発明の磁気ネジ検出システムは、
前記雄磁気ネジと雌磁気ネジとの吸引し合う着磁帯にズ
レが生じて脱調状態になった場合には、その状況を検出
した前記磁気センサからの検出信号によって、前記制御
装置が、前記駆動モータを停止、又はその回転を制御す
ることを特徴とする。よって、脱調によって雄磁気ネジ
と雌磁気ネジとの位置がずれたまま動作させることで、
スライダが本来の移動領域を外れて移動することを防止
することができる。
【0014】また、本発明の磁気ネジ検出システムは、
前記ロッドの回転を検出する回転検出センサと、前記ス
ライダの移動位置を検出する位置検出センサとの少なく
とも一つを有することを特徴とする。よって、例えば制
御装置が回転検出センサの信号の入力により駆動モータ
によるロッドの回転を確認し、また位置検出センサの信
号によりスライダのオーバーランなどを確認して、駆動
モータの駆動を制御する。
【0015】
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる磁気ネジ検
出システムの一実施の形態について図面を参照して説明
する。本実施の形態での磁気ネジ検出システム(以下、
単に「検出システム」とする)は、前記スライダ搬送装
置(図4参照)に取り付けるものとし、図1にその概略
の平面図を示す。この磁気ネジ搬送装置は、前述した雄
磁気ネジ61を備えたロッド62が、本体フレーム41
に立設された支持板42,42にベアリング43,43
を介して回転支持され、それがカップリング44によっ
て駆動モータ45の出力軸に連結されている。そして、
雄磁気ネジ61によって貫かれたスライダ52(図4参
照)の貫通孔内周面には雌磁気ネジ66(図5参照)が
設けられ、そのスライダ52は、本体フレーム41上に
取り付けられた2枚のスライドガイド51,51上に、
磁気ネジによって作用する推力によって摺動するよう配
置されている。
【0016】そして、このような磁気ネジ搬送装置に検
出器が取り付けられる。本実施の形態では、先ず、雌磁
気ネジ66の端部、即ち雌磁気ネジ66が設けられたス
ライダ52の貫通孔端部には、雄磁気ネジ61の磁束を
検出する磁気センサからなる脱調検出センサ1が取り付
けられている。脱調検出センサ1には、磁極の判別能力
をもったホール素子を利用する。また、ロッド62には
スリット円盤2がはめ込まれ、そのスリット円盤2を挟
み込む馬蹄形の回転検出センサ3が設置されている。回
転検出センサ3には、スリット円盤2のスリットを通過
する光を検出する馬蹄形の光電センサ3を利用する。更
に、スライダ52の摺動端部付近には、そのスライダ5
2の終端位置を超えて移動するオーバーランを検出する
ためのオーバートラベル検出センサ(以下、「OT検出
センサ」という)4,5が設けられている。OTセンサ
4,5には、近接スイッチ4,5を利用する。
【0017】次に、図2は、検出システムの制御装置を
示した概念図である。制御装置11は、大きく分けて前
記各種センサ1,3,4,5からの検出信号を受け取っ
て演算処理等する検出部12と、搬送装置の駆動を制御
するための駆動部13とから構成されている。図3は、
この制御装置11の主要な回路構成を示したブロック図
である。脱調検出センサ1が、ホール素子アンプ14に
接続され、そのホール素子アンプ14が演算処理回路1
5に接続されている。また、回転検出センサ3及びOT
検出センサ4,5は演算処理回路15に接続されてい
る。演算処理回路15は、脱調などを知らせるためのア
ラーム表示部16及び駆動モータ45の動作を制御する
コントローラ17に接続されている。そして、そのコン
トローラ17は、駆動モータ45に接続されたモータド
ライバ18及び前記演算処理回路15に接続されてい
る。
【0018】このような構成からなる本実施の形態の検
出システムでは、次のようにして磁気ネジ搬送装置の脱
調などが検出される。オペレータが操作スイッチをON
することにより、駆動モータ45を電源に通電させ、出
力回路によって印加電圧を変化させることによって駆動
モータ45を正転及び逆転させる。駆動モータ45の回
転はカップリング44を介して連結されたロッド62に
伝達され、本体フレーム41上でロッド62が回転する
こととなる。ロッド62が回転すれば、一体に形成され
た雄磁気ネジ61も回転し、雌磁気ネジ66との間に作
用する磁力による吸引力によってスライダ52に直線方
向の運動が与えられる。
【0019】即ち、雄磁気ネジ61と雌磁気ネジ66と
は、互いに異極同士(64Nと69S,64Sと69
N)の着磁帯64,69が磁力によって吸引し合ってい
る。そのため、ロッド62にモータの回転が与えられて
雄磁気ネジ61が回転すると、雌磁気ネジ66の着磁帯
69が回転する雄磁気ネジ61の着磁帯64に追随しよ
うとする。しかし、雌磁気ネジ66は回転しないスライ
ダに固着されているために、その雌磁気ネジ66には推
力が作用してスライダ52がロッド62に沿って直線上
を移動することとなる。
【0020】駆動モータ45の駆動によってスライダ5
2がスライドガイド51,51上を摺動して移動する場
合、前述したように雄磁気ネジ61と雌磁気ネジ66と
は吸引し合っている。そのため、脱調検出センサ1は、
正常運転時には回転する雄磁気ネジ61の同一磁極(着
磁帯64N或いは64S)上に常に位置することとな
る。ところが、例えばスライドガイド51,51上を摺
動するスライダ52の摺動抵抗が部分的に大きいと、そ
こで瞬間的に磁気ネジ同士の吸引が外れて脱調が生じる
ことがある。脱調検出センサ1から取り出された出力電
圧はホールアンプ14へ入力され、磁束に比例した電圧
値が微分回路で微分処理され、予め設定された正常値と
の比較が行われる。
【0021】スライダ52が正常に移動した場合、雌磁
気ネジ66のある一点は、常に雄磁気ネジ61の同一磁
極(着磁帯64N或いは64S)上に位置するため、多
少の磁束の変化はあろうとも所定範囲内で検出される。
そのため、雌磁気ネジ66側に取り付けた脱調検出セン
サ1における磁束による出力電圧の許容ピーク値を設定
し、その値以下を正常値とする。そこで、ホール素子ア
ンプ14では、脱調検出センサ1から検出された検出電
圧と正常値とが比較され、検出電圧が正常値で示す許容
範囲内であれば正常運転であると判断される。
【0022】しかし、検出電圧が正常値を超えると、脱
調が生じたと判断される。例えば、図1に示す搬送装置
でスライダ52が矢印A方向に移動し、脱調検出センサ
1が雄磁気ネジ61の着磁帯64N上に配置されている
とする。そこで、スライダ52が矢印Aとは逆方向に抵
抗を受けると、雌磁気ネジ66が雄磁気ネジ61の回転
に遅れて、1回転或いは2回転以上した雄磁気ネジ61
の着磁帯64N,64Sに吸引し合って再びA方向へ移
動することとなる。そのため、脱調検出センサ1は、そ
の間にS極上を通過するため正常値を超える検出電圧が
得られる。従って、その値はホール素子アンプ14で正
常値と比較され、演算処理回路15へエラー信号として
入力される。
【0023】一方、操作スイッチがONされると、ON
信号が演算処理回路15へ送信され、、回転検出センサ
3では、ロッド62とともに回転するスリット円盤2の
回転が検出され、その検出信号が演算処理回路15へ送
信される。このコントローラ17からのON信号と回転
検出センサ3からの検出信号とによって搬送装置の稼働
が確認される。例えば、カップリング44が正確に連結
されておらず、駆動モータ45が空転している場合に
は、回転検出センサ3からの信号が演算処理回路15入
力されず、そこで空転或いはロッド62の回転を制限す
る何らかの故障が生じていることが確認され、アラーム
信号がアラーム表示部16へ送信され、雄磁気ネジ61
回転不能の事実がオペレータへ知らされる。また、この
とき、演算処理回路15からコントローラ17へコント
ロール信号が送信され、モータドライバ18によって駆
動モータ45の回転が停止される。
【0024】次に、駆動モータ45の回転がロッド62
に伝達され搬送装置が正常に稼働している場合に磁気ネ
ジの脱調が生じると、前記ホール素子アンプ14からの
エラー信号が演算処理回路15へ入力され、回転検出信
号などとAND処理が行われ、アラーム信号がアラーム
表示部16へ送信されて脱調の事実がオペレータへ知ら
される。また、このとき、演算処理回路15からコント
ローラ17へコントロール信号が送信され、モータドラ
イバ18によって駆動モータ45の回転が停止され、搬
送装置の稼働が止められる。
【0025】更に、駆動モータ45の回転オーバーなど
によりスライダ52が勢い良く支持板42へ衝突しない
ように、スライダ52が所定の移動領域を超えたところ
で、OT検出センサ4(或いは5)から検出信号が演算
処理回路15へ発信される。そして、演算処理回路15
からアラーム信号がアラーム表示部16へ送信されて脱
調の事実がオペレータへ知らされるとともに、コントロ
ーラ17へコントロール信号が送信され、モータドライ
バ18によって駆動モータ45の回転が停止され、搬送
装置の稼働が止められる。
【0026】よって、本実施の形態の検出システムによ
れば、脱調検出センサ1にホール素子を使用し、その検
出信号を制御装置11によって脱調検出センサ1からの
検出信号を制御処理することで容易に磁気ネジの脱調を
確認することができ、磁気ネジを使用した装置等の安全
性が高められた。また、検出システムの構成もホール素
子を使用した脱調検出センサ1としたのでコンパクトに
することができた。また、制御装置11も簡単な回路で
形成することができコストの面でも検出システムを安価
にすることができた。また、制御装置11が回転検出セ
ンサ3の信号の入力により駆動モータ45によるロッド
62の回転も確認することで、磁気ネジの脱調を確実に
確認できるようになった。また、制御装置11がOT検
出センサ4,5の信号によりスライダ52のオーバーラ
ンなどを確認して、駆動モータ45の駆動を制御するこ
とで、磁気ネジを使用した装置等の安全性が高められ
た。
【0027】なお、本発明は前記実施の形態のものに限
定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では、
雄磁気ネジ61を回転させる搬送装置における検出シス
テムを説明したが、逆に雌磁気ネジ66を回転させて、
回転を制限した雄磁気ネジを軸方向に移動するような装
置に使用する検出システムであってもよい。また、例え
ば、前記実施の形態では、脱調が生じた場合に演算処理
回路15からコントロール信号がコントローラ17に送
信されて駆動モータ45が停止されたが、演算処理回路
15で脱調量を演算して、その脱調分駆動モータ45を
回転させて、脱調が生じてもスライダ52が所定位置ま
で移動するようコントロールするようにしてもよい。ま
た、例えば前記実施の形態では、脱調検出センサ1にホ
ール素子を使用したが、この他に磁気飽和型磁極センサ
などを使用するようにしてもよい。
【0028】
【発明の効果】本発明は、N極及びS極の着磁帯が平行
螺旋状に着磁されてなる雄磁気ネジと雌磁気ネジとの異
極の着磁帯同士が吸引し合うことで、主動部材の動力を
従動部材に伝達する該雄磁気ネジと雌磁気ネジとからな
る磁気ネジと、主動部材又は従動部材の一方に取り付け
られ、この主動部材又は従動部材に対して相対的に移動
する雌磁気ネジ又は雄磁気ネジの着磁帯から受ける磁束
を検出する磁気センサと、磁気センサからの検出信号を
処理する制御装置とを有する構成としたので、磁気ネジ
の脱調を簡単に検出できる磁気ネジ検出システムを提供
することが可能となった。
【0029】また、本発明の磁気ネジ検出システムは、
駆動モータによって回転可能なロッド外周面にN極及び
S極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雄磁気ネジ
と、ロッドに貫通されたスライダの貫通孔内周面にN極
及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雌磁気
ネジと、スライダに取り付けられ、雄磁気ネジの着磁帯
から受ける磁束を検出する磁気センサと、磁気センサか
らの検出信号を処理する制御装置とを有する構成とした
ので、磁気ネジの脱調を簡単に検出できる磁気ネジ検出
システムを提供することが可能となった。
【0030】また、本発明の磁気ネジ検出システムは、
雄磁気ネジと雌磁気ネジとの吸引し合う着磁帯にズレが
生じて脱調状態になった場合には、その状況を検出した
磁気センサからの検出信号によって、制御装置が、駆動
モータを停止、又はその回転を制御する構成としたの
で、脱調によって雄磁気ネジと雌磁気ネジとの位置がず
れたまま動作させることで、スライダが本来の移動領域
を外れて移動することを防止することができる磁気ネジ
検出システムを提供することが可能となった。また、本
発明の磁気ネジ検出システムは、ロッドの回転を検出す
る回転検出センサと、スライダの移動位置を検出する位
置検出センサとの少なくとも一つを有する構成としたの
で、磁気ネジの脱調を確実に確認でき、また磁気ネジを
使用した装置等の安全性が高められた磁気ネジ検出シス
テムを提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の磁気ネジ検出システム
を備えたスライダ搬送装置の概略の平面図である。
【図2】検出システムの制御装置を示した概念図であ
る。
【図3】制御装置11の主要な回路構成を示したブロッ
ク図である。
【図4】磁気ネジを使用したスライド搬送装置を示す一
部外観斜視図である。
【図5】磁気ネジの構造を示す雄磁気ネジ及び雌磁気ネ
ジの分解斜視図である。
【符号の説明】
1 脱調検出センサ 3 回転検出センサ 4,5 OT検出センサ 11 制御装置 14 ホール素子アンプ 15 演算処理回路 16 アラーム表示部 17 コントローラ 18 モータドライバ 45 駆動モータ 52 スライダ 61 雄磁気ネジ 62 ロッド 63,68 円筒磁石 64,69 着磁帯 66 雌磁気ネジ 67 雌ネジホルダ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 N極及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着
    磁されてなる雄磁気ネジと雌磁気ネジとの異極の着磁帯
    同士が吸引し合うことで、主動部材の動力を従動部材に
    伝達する該雄磁気ネジと雌磁気ネジとからなる磁気ネジ
    と、 前記主動部材又は従動部材の一方に取り付けられ、この
    主動部材又は従動部材に対して相対的に移動する前記雌
    磁気ネジ又は雄磁気ネジの着磁帯から受ける磁束を検出
    する磁気センサと、 前記磁気センサからの検出信号を処理する制御装置とを
    有する磁気ネジ検出システム。
  2. 【請求項2】 駆動モータによって回転可能なロッド外
    周面にN極及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されて
    なる雄磁気ネジと、 前記ロッドに貫通されたスライダの貫通孔内周面にN極
    及びS極の着磁帯が平行螺旋状に着磁されてなる雌磁気
    ネジと、 前記スライダに取り付けられ、前記雄磁気ネジの着磁帯
    から受ける磁束を検出する磁気センサと、 前記磁気センサからの検出信号を処理する制御装置とを
    有する磁気ネジ検出システム。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の磁気ネジ検出システム
    において、 前記雄磁気ネジと雌磁気ネジとの吸引し合う着磁帯にズ
    レが生じて脱調状態になった場合には、その状況を検出
    した前記磁気センサからの検出信号によって、前記制御
    装置が、前記駆動モータを停止、又はその回転を制御す
    ることを特徴とする磁気ネジ検出システム。
  4. 【請求項4】 請求項2又は請求項3に記載の磁気ネジ
    検出システムにおいて、 前記ロッドの回転を検出する回転検出センサと、前記ス
    ライダの移動位置を検出する位置検出センサとの少なく
    とも一つを有することを特徴とする磁気ネジ検出システ
    ム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014002165A (ja) * 2013-08-08 2014-01-09 Nippon Thompson Co Ltd 小型スライド装置
DE102016208136B4 (de) * 2015-05-19 2021-06-10 Aalborg University Vorrichtung zur Steuerung eines magnetischen Spindelantriebs

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