JPH11153103A - ベーン形揺動アクチュエータ - Google Patents

ベーン形揺動アクチュエータ

Info

Publication number
JPH11153103A
JPH11153103A JP33811397A JP33811397A JPH11153103A JP H11153103 A JPH11153103 A JP H11153103A JP 33811397 A JP33811397 A JP 33811397A JP 33811397 A JP33811397 A JP 33811397A JP H11153103 A JPH11153103 A JP H11153103A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vane
shaft
actuator
clamp
type oscillating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33811397A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhito Kimura
村 康 仁 木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP33811397A priority Critical patent/JPH11153103A/ja
Publication of JPH11153103A publication Critical patent/JPH11153103A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Actuator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転ストロークの所望の位置におけるトルク
が大きく、しかも圧力流体の消費量が少ないベーン形揺
動アクチュエータを提供する。 【解決手段】 半径方向及び軸方向長さが小さくて回転
ストロークが大きい第1のベーン7を有するベーン形揺
動アクチュエータ2と、半径方向及び軸方向長さが第1
のベーンより大きくて回転ストロークが小さい第2のベ
ーン13を有するベーン形揺動アクチュエータ3とを同
軸に配設するとともに、第2のベーン13に、第1のベ
ーン7のシャフト8をクランプするクランプ手段を設け
る。シャフト8の回転ストローク中にベーン形揺動アク
チュエータ3に圧力流体を給排すると、クランプ手段に
よってシャフト8が第2のベーン13にクランプされる
ので、2個のベーンに作用する流体圧によってシャフト
のトルクが大きくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベーン形揺動アク
チュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】圧力流体の給排によってベーンとシャフ
トが所定の角度回転するベーン形揺動アクチュエータ
は、特に例示するまでもなく周知であり、このベーン形
揺動アクチュエータにおける圧力流体の消費量は、ベー
ンの半径方向及び軸方向長さ、並びにベーンの回転角度
(回転ストローク)に関係があり、これらが大きいほど
圧力流体の消費量が多くなる。一方、上記ベーン形揺動
アクチュエータのトルクは、ベーンの半径方向及び軸方
向長さに関係があり、これらが大きいほどトルクが大き
くなる。
【0003】したがって、ベーン形揺動アクチュエータ
における圧力流体の消費量は、トルクが大きいほど、ま
たベーンの回転ストロークが大きいほど多くなる。この
ため、ベーン形揺動アクチュエータにおいて、トルクを
一定にして圧力流体の消費量を少なくするためには、ベ
ーンの回転ストロークを小さくすればよいが、ベーンの
回転ストロークは、該揺動アクチュエータの使用態様に
よって所定のストロークが必要であるために、圧力流体
の消費量を少なくするためにベーンの回転ストロークを
小さくすることはできない。
【0004】一方、ベーン形揺動アクチュエータの使用
態様によっては、ベーンの回転ストローク全体において
大きなトルクを必要としないことがある。即ち、例えば
ワークのクランプ作業に使用する場合のように、ベーン
の回転ストロークの終端近くまでは大きなトルクを必要
とせず、回転ストロークの終端近くにおいて、ワークの
クランプのために大きなトルクが必要なものがある。ま
た使用態様によっては、ベーンの回転ストロークの当初
や回転ストロークの途中において大きなトルクが必要な
ものもある。しかしながら、周知のベーン形揺動アクチ
ュエータは、回転ストローク全体において大きなトルク
を必要としない場合であっても、そのストロークの全体
において大きなトルクを発生させているために、圧力流
体の消費量が多いという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、ベーンの回転ストロークの所望の位置にお
けるトルクが大きく、しかも圧力流体の消費量が少ない
ベーン形揺動アクチュエータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のベーン形揺動アクチュエータは、半径方向
及び軸方向の長さが小さくて回転ストロークが大きい第
1のベーン、及びそのシャフトを有する第1のベーン形
揺動アクチュエータと;半径方向及び軸方向の長さが大
きくて回転ストロークが小さい第2のベーンを有する第
2のベーン形揺動アクチュエータと;該第2のベーン形
揺動アクチュエータへの圧力流体の給排により作動して
第2のベーンと上記シャフトとをクランプするクランプ
手段とを備えていることを特徴としている。
【0007】また、同様の課題を解決するため、上記ベ
ーン形揺動アクチュエータにおける第2のベーン形揺動
アクチュエータが、第2のベーンを回転ストロークの中
央位置に復帰させる復帰手段を備えていることを特徴と
している。
【0008】さらに、同様の課題を解決するため、これ
らのベーン形揺動アクチュエータにおけるクランプ手段
を、第2のベーンに設けたこと;及び第2のベーンが、
圧力流体の給排によって相互に近接する方向に回転する
2個のベーン部材を備え、クランプ手段が、これらの一
方のベーン部材に設けたクランプシリンダと、他方のベ
ーン部材に設けた上記クランプシリンダを気密に摺動す
るクランプピストンと、一方のベーン部材に設けた、ク
ランプピストンで区画されたクランプ室に圧力流体を給
排する給排手段とを備えていることを特徴としている。
【0009】
【作用】第1のベーンで区画された第1のベーン形揺動
アクチュエータの圧力室に圧力流体を給排すると、第1
のベーンとシャフトが所定の方向に回転する。この場
合、第1のベーンは半径方向長さ及び軸方向長さが共に
小さいので、その回転ストロークが大きくても空気の消
費量は少ない。
【0010】第1のベーンの回転ストロークの所望の位
置において、第2のベーンで区画された第2のベーン形
揺動アクチュエータの圧力室に圧力流体を給排すると、
第2のベーンが第1のベーンと同方向に回転するととも
に、クランプ手段によって第2のベーンとシャフトがク
ランプされるので、シャフトのトルクはこれらのベーン
のトルクの和になる。したがって、シャフトの回転スト
ロークの所望の位置におけるトルクを大きくすることが
できる。この場合、第2のベーンは半径方向及び軸方向
の長さが第1のベーンより大きいので、第1のベーンに
比べて大きなトルクを発生することができるが、回転ス
トロークが小さいために圧力流体の消費量はそれほど多
くない。
【0011】第2のベーンの回転ストローク終端位置に
おいて、第2のベーン形揺動アクチュエータの圧力室の
圧力流体を排出すると、クランプ手段による第2のベー
ンとシャフトとのクランプが解除されるので、シャフト
は第2のベーンと関係なく回転することができる。この
ため、シャフトの回転当初、回転途中または回転終端近
く等の、第2のベーン形揺動アクチュエータへの圧力流
体の給排の時期に応じて、シャフトのトルクを大きくす
ることができる。したがって、半径方向及び軸方向の長
さが大きいベーンを、大きなストローク回転させるもの
に比べて、回転ストロークの所望の位置において必要な
トルクを発生することができるものでありながら、圧力
流体の消費量を大幅に少なくすることができる。
【0012】請求項2に記載したベーン形揺動アクチュ
エータは、復帰手段によって第2のベーンを回転ストロ
ークの中央位置に復帰させているので、第1のベーンの
回転方向に関係なくトルクを大きくすることができる。
また、請求項3及び請求項4に記載したベーン形揺動ア
クチュエータは、クランプ手段を第2のベーンに設けた
ので、ベーン形揺動アクチュエータを小形にすることが
できる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1ないし図3は本発明の実施例
を示し、このベーン形揺動アクチュエータ1は、第1の
ベーン形揺動アクチュエータ2と、第2のベーン形揺動
アクチュエータ3と、第1の揺動アクチュエータ2のシ
ャフト8と第2のベーン形揺動アクチュエータ2の後記
する第2のベーン13とをクランプするクランプ手段4
とを備え、上記揺動アクチュエータ2と3は同軸に配設
されている。
【0014】第1のベーン形揺動アクチュエータ2は、
円筒状の第1のボディ6と、該ボディ6内を回転揺動す
る第1のベーン7及びそのシャフト8とを備えている。
上記第1のボディ6内は、ベーン7、シャフト8及びシ
ール部材9,9によって一対の圧力室10a,10bに
区画され、これらの圧力室にそれぞれ圧縮空気等の圧力
流体を給排するポート11a,11bが開設されてい
る。上記第1のベーン7は、半径方向長さ及び軸方向長
さが共に小さく、したがってその受圧面積が小さいが、
回転ストロークはベーン形揺動アクチュエータ1に必要
な回転ストロークを有している。
【0015】図2に詳細を示す第2のベーン形揺動アク
チュエータ3は、第2のボディ12を備え、該ボディ1
2は、平面視欠円形の基部12aと、基部12aから半
径方向外方に伸びる平面視扇形の延長部12bとを有し
ている。また、上記シャフト8は、一端が第1のボディ
6を、他端が第2のボディ12の基部12aの中心部分
をそれぞれ貫通して、図1に示すようにこれらのボディ
外に突出している。第2のベーン形揺動アクチュエータ
3における第2のベーン13は、基端がピン14によっ
て相対回転可能に枢支された第1のベーン部材15と第
2のベーン部材16とを備え、これらのベーン部材15
と16は、いずれもシャフト8の外周面を取り囲む断面
半円形の基部15a,16aと、これらの基部から延長
部12bに向いて伸びる受圧部15b,16bとを備え
ている。
【0016】上記ベーン部材15,16の受圧部15
b,16bは、半径方向及び軸方向長さが第1のベーン
7のそれよりも大きく、したがって受圧面積が第1のベ
ーン7の受圧面積より大きいが、その回転ストロークは
第1のベーン7のそれよりも小さくされている。また、
上記基部15a,16aの内周面とこれらが取り囲むシ
ャフト8の外周面とに、基部15a,16aがシャフト
8の外周面に圧接したときに、ベーン部材15と16を
シャフト8と一体に回転させるための動力伝達機構17
(図示の例はローッレット)が形成されている。さら
に、第1のベーン部材15には、第2のベーン13によ
って区画された一対の圧力室18a,18bをシールす
るシール部材19,19が取付けられており、第2のボ
ディ12の延長部12bに、圧力室18a,18bに圧
縮空気等の圧力流体を給排するポート20a,20bが
開設されている。
【0017】上記第2のベーン13は、ベーン部材1
5,16とシャフト8とを一体回転可能にクランプする
クランプ手段4を備えている。図示の実施例におけるク
ランプ手段4は、第1のベーン部材15に設けたクラン
プシリンダ22と、第2のベーン部材16に設けた、ク
ランプシリンダ22を気密に摺動するクランプピストン
23と、クランプピストン23によって気密に区画され
た一対のクランプ室24a,24bに圧縮空気を供給す
るためのオア回路を構成する高圧優先シャトル弁25
と、クランプ室24a,24bに供給された圧縮空気を
排出するためのアンド回路を構成する低圧優先シャトル
弁26とを備え、これらの弁25と26はいずれも第1
のベーン部材15の受圧部15bに組み込まれている。
【0018】上記弁25と26の軸方向両端は、それぞ
れ圧力室18aと18bに開口し、高圧優先シャトル弁
25の軸方向中間部は流路27aによってクランプ室2
4aに、低圧優先シャトル弁26の軸方向中間部は流路
27bによってクランプ室24bにそれぞれ連通してい
る。なお、図示を省略しているが、クランプシリンダ2
2と高圧優先シャトル弁25及び低圧優先シャトル弁2
6を第2のベーン部材16に、クランプピストン23を
第1のベーン部材15に、それぞれ設けることもでき
る。
【0019】上記ベーン部材15と16の受圧部15b
と16bの間には、これらのベーン部材15,16とシ
ャフト8とのクランプを解除するためのクランプ解除ば
ね28(図示の例はコイルばね)が縮設されている。ま
た、第1のベーン部材15と第2のボディ12の延長部
12bとの間には、同一の付勢力が付与された一対の復
帰ばね29,29(図示の例はコイルばね)が縮設され
ており、第1のベーン部材15は、これらの復帰ばね2
9,29によって回転ストロークの中央位置に保持され
ている。
【0020】上記第1のベーン形揺動アクチュエータ2
のポート11a,11bには切換弁31の出力ポートA
とBが、第2のベーン形揺動アクチュエータ3のポート
20a,20bには切換弁32の出力ポートAとBが、
それぞれ接続されており、切換弁32は、中立位置にお
いて出力ポートAとBがいずれも排出ポートRに接続す
る、ABR接続の3位置弁とされている。
【0021】上記実施例は、切換弁31から第1のアク
チュエータ2の圧力室10a,10bに圧縮空気を給排
すると、第1のベーン7とシャフト8が図3において時
計方向に回転する。しかしながら、切換弁32が中間位
置にあって、第2のアクチュエータ3の圧力室20a,
20bがいずれも外部に連通しているために、クランプ
手段4によるシャフト8と第2のベーン13のクランプ
が解除されているので、第2のベーン13は復帰ばね2
9,29の付勢力によって回転ストロークの中央位置に
保持されている。この場合、第1のベーン7は受圧面積
が小さいために、回転ストロークが大きくても、第1の
ベーン7は少ない空気量で回転する。
【0022】第1のベーン7とシャフト8が回転ストロ
ークの所定の位置まで回転したことを位置検出センサ
(図示省略)が検出すると、該位置検出センサが出力す
る信号により切換弁32が作動して、第2の揺動アクチ
ュエータ3の圧力室18a,18bに圧縮空気が給排さ
れる。また、圧力室18aに供給された圧縮空気が高圧
優先シャトル弁25によってクランプ手段4を構成する
クランプ室24aに供給されるとともに、クランプ室2
4bの空気が、低圧優先シャトル弁26及び圧力室18
bを介してポート20bから外部に排出される。したが
って、第1のベーン部材15がクランプ解除ばね28の
付勢力に抗して図における時計方向に僅かに回転して、
ベーン部材15と16の基部15aと16aがシャフト
8の外周面に圧接するので、これらに設けた動力伝達機
構17によってシャフト8が第2のベーン13と一体と
なって時計方向に回転する。
【0023】この場合、シャフト8のトルクは、第1の
ベーン7のトルクと第2のベーン13のトルクとの和に
なり、しかも第2のベーン13のトルクは第1のベーン
7に比べて大きいので、シャフト8は回転ストロークの
所望の位置において大きなトルクを発生する。しかしな
がら、第2のベーン13は回転ストロークが小さいため
に、その回転に必要な空気量は比較的少量である。した
がって、上記ベーン形揺動アクチュエータ1は、シャフ
ト8の回転ストロークの任意の位置において大きいトル
クを発生するものでありながら、回転ストロークの全部
を大きなトルクでベーンを回転させる周知のベーン形揺
動アクチュエータに比べて、必要なトルクが得られるも
のでありながら消費空気量を少なくすることができる。
【0024】切換弁32を中立位置に切り換えると、圧
力室20aとクランプ室24aの圧縮空気が外部に排出
されるので、第1のベーン部材15がクランプ解除ばね
28の付勢力により僅かに反時計方向に回転して、クラ
ンプ手段4によるシャフト8のクランプが解除されると
ともに、第2のベーン13が復帰ばね29,29の付勢
力によって回転ストロークの中央位置に復帰する。
【0025】切換弁31による圧縮空気の給排を逆転す
ると、圧力室10b,10aに給排される圧縮空気によ
って第1のベーン7とシャフト8が反時計方向に回転す
る。この場合も、シャフト8の回転ストロークの任意の
位置において、切換弁32から圧力室18b,18aに
圧縮空気を給排すると、クランプ手段4によって第2の
ベーン13がシャフト8をクランプして反時計方向に回
転するので、シャフト8の反時計方向の回転ストローク
の任意の位置において大きなトルクを発生させることが
でき、しかも圧縮空気の消費量を少ないものとすること
ができる。したがって、上記ベーン形揺動アクチュエー
タ1は、シャフト8の回転方向に関係なく、空気の消費
量が少なくかつその回転ストロークの任意の位置におけ
るトルクを大きくすることができる。
【0026】この場合、ベーン形揺動アクチュエータ2
と3の圧力室10a,10bと18a,18bに同時に
圧縮空気を給排すると、シャフト8の回転ストローク当
初におけるトルクを大きくすることができ、シャフト8
の回転ストロークの途中において第2のベーン形揺動ア
クチュエータ3の圧力室18a,18bに圧縮空気を給
排すると、シャフト8の回転途中におけるトルクを大き
くすることができ、シャフト8の回転ストロークの終端
近くにおいて第2のベーン形揺動アクチュエータ3の圧
力室18a,18bに圧縮空気を給排すると、シャフト
8の回転終端位置におけるトルクを大きくすることがで
きる。これらのいずれの場合も、図示を省略している位
置検出センサが、第1のベーン7が所定の角度回転した
ことを検出して出力する信号で、切換弁32が作動して
圧力室18a,18bに圧縮空気が給排され、第2のベ
ーン13がそのストローク終端まで回転すると、その位
置を検出した位置検出センサ(図示省略)の出力信号で
切換弁32が中立位置に復帰し、これによって圧力室1
8a,18bの空気が共に排出されるので、クランプ手
段4によるシャフト8のクランプが解除される。
【0027】図4は、上記ベーン形揺動アクチュエータ
の使用の一例を示し、このベーン形揺動アクチュエータ
1は、適宜のワーク34を搬送する無端ベルト35の側
方に設置され、シャフト8の一端に、ワーク34をクラ
ンプするためのクランプ部材36が、適宜の手段によっ
て一体回転可能に取付けられている。上記使用例は、ワ
ーク34が無端ベルト35によってアクチュエータ1の
設置位置の側方近くに搬送されると、ワーク34の位置
を検出した位置検出手段(図示省略)の出力信号によっ
て無端ベルト35の移動が停止されるとともに、第1の
ベーン形揺動アクチュエータ2の圧力室に圧縮空気が供
給されるので、シャフト8とクランプ部材36が所定の
方向に回転し、その回転ストロークの終端近くにおいて
第2のベーン形揺動アクチュエータ3の圧力室に圧縮空
気が供給されるので、シャフト8が大きなトルクで回転
する。したがって、クランプ部材36が大きな力によっ
てワーク34を保持するために、ワーク24に必要な加
工や必要な部材の組み付け等の作業を行うことができ
る。
【0028】
【発明の効果】本発明のベーン形揺動アクチュエータ
は、シャフトの回転ストロークの任意の位置において大
きなトルクを発生することができるものでありながら、
圧力流体の消費量が少なく、しかも第1のベーン形揺動
アクチュエータを小さくできるので、ベーン形揺動アク
チュエータ全体を小形にすることができる。また、第2
のベーンとシャフトとをクランプするクランプ手段を、
第2のベーンに設けたので、これによってもベーン形揺
動アクチュエータ全体を一層小形にすることができる。
【0029】さらに、第2のベーンを復帰手段によって
回転ストロークの中央位置に復帰させるので、第1、第
2のベーンの回転方向に関係なく、これらの回転ストロ
ークの任意の位置におけるトルクを大きくすることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の縦断面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】同じくB−B断面図である。
【図4】使用の一例の斜視図である。
【符号の説明】
1 ベーン形揺動アクチュエータ 2 第1のベーン形揺動アクチュエータ 3 第2のベーン形揺動アクチュエータ 4 クランプ手段 7,13 ベーン 8 シャフト 22 クランプシリンダ 23 クランプピストン 25,26 シャトル弁 29 復帰ばね

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半径方向及び軸方向の長さが小さくて回転
    ストロークが大きい第1のベーン、及びそのシャフトを
    有する第1のベーン形揺動アクチュエータと;半径方向
    及び軸方向の長さが大きくて回転ストロークが小さい第
    2のベーンを有する第2のベーン形揺動アクチュエータ
    と;該第2のベーン形揺動アクチュエータへの圧力流体
    の給排により作動して第2のベーンと上記シャフトとを
    クランプするクランプ手段とを備えている、ことを特徴
    とするベーン形揺動アクチュエータ。
  2. 【請求項2】第2のベーン形揺動アクチュエータが、第
    2のベーンを回転ストロークの中央位置に復帰させる復
    帰手段を備えている、ことを特徴とする請求項1に記載
    したベーン形揺動アクチュエータ。
  3. 【請求項3】クランプ手段を、第2のベーンに設けた、
    ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載したベ
    ーン形揺動アクチュエータ。
  4. 【請求項4】第2のベーンが、圧力流体の給排によって
    相互に近接する方向に回転する2個のベーン部材を備
    え、クランプ手段が、これらの一方のベーン部材に設け
    たクランプシリンダと、他方のベーン部材に設けた上記
    クランプシリンダを気密に摺動するクランプピストン
    と、一方のベーン部材に設けた、クランプピストンで区
    画されたクランプ室に圧力流体を給排する給排手段とを
    備えている、ことを特徴とする請求項3に記載したベー
    ン形揺動アクチュエータ。
JP33811397A 1997-11-21 1997-11-21 ベーン形揺動アクチュエータ Pending JPH11153103A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33811397A JPH11153103A (ja) 1997-11-21 1997-11-21 ベーン形揺動アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33811397A JPH11153103A (ja) 1997-11-21 1997-11-21 ベーン形揺動アクチュエータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11153103A true JPH11153103A (ja) 1999-06-08

Family

ID=18315040

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33811397A Pending JPH11153103A (ja) 1997-11-21 1997-11-21 ベーン形揺動アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11153103A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015182634A1 (ja) * 2014-05-27 2015-12-03 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、ヒューマノイド型ロボットおよびパワーアシスト装置
JP2016191467A (ja) * 2014-05-27 2016-11-10 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、ヒューマノイド型ロボットおよびパワーアシスト装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015182634A1 (ja) * 2014-05-27 2015-12-03 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、ヒューマノイド型ロボットおよびパワーアシスト装置
JP2016006345A (ja) * 2014-05-27 2016-01-14 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、ヒューマノイド型ロボットおよびパワーアシスト装置
JP2016191467A (ja) * 2014-05-27 2016-11-10 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、ヒューマノイド型ロボットおよびパワーアシスト装置
US11225984B2 (en) 2014-05-27 2022-01-18 Advanced Telecommunications Research Institute International Actuator device, humanoid robot and power assist device
US11635096B2 (en) 2014-05-27 2023-04-25 Advanced Telecommunications Research Institute International Actuator device, humanoid robot and power assist device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6497172B2 (en) Rotary actuator with cushion mechanism
JPS6220688A (ja) ベ−ン型圧縮機
US6217306B1 (en) Reversible double-throw air motor
KR20040079183A (ko) 능력가변 회전압축기
EP1266126B1 (en) Double-throw air motor with reverse feature
JPH11153103A (ja) ベーン形揺動アクチュエータ
KR20190120072A (ko) 액추에이터 장치
US3718410A (en) Reversible pressure fluid actuated vane motor
JP4489364B2 (ja) 被印刷体を処理する機械のロータに作動流体を供給するための回転ブシュ
US4655695A (en) Rotating fluid driven rotary actuator
JPS63205493A (ja) ベ−ン型圧縮機
US20040067148A1 (en) Functionalties of axially movable spool valve
CA2132173A1 (en) Variable Capacity Vane Compressor with Axial Pressure Device
JP2866837B2 (ja) 冷暖房装置における暖冷媒ガスの流路切換装置
US5775199A (en) Rotary valve and directional valve combination
JPH0772553B2 (ja) ベーン型圧縮機
JPH067233Y2 (ja) 3位置ロータリバルブ
JP3354979B2 (ja) 可変容量型液圧回転機
JP3548738B2 (ja) 中間停止機構付きロータリアクチュエータ
JPS58221077A (ja) 操作用アクチユエ−タ付きプラグ弁
JPH0419397B2 (ja)
JP2523014Y2 (ja) ステップ揺動アクチュエータ
JP4152566B2 (ja) 単動揺動型アクチュエータ用速度制御装置
JPH0739570Y2 (ja) チャック装置
JP2577800Y2 (ja) 可変容量ベーン圧縮機