JPH11135940A - Manufacture of printed wiring board - Google Patents

Manufacture of printed wiring board

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JPH11135940A
JPH11135940A JP31455397A JP31455397A JPH11135940A JP H11135940 A JPH11135940 A JP H11135940A JP 31455397 A JP31455397 A JP 31455397A JP 31455397 A JP31455397 A JP 31455397A JP H11135940 A JPH11135940 A JP H11135940A
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JP
Japan
Prior art keywords
hole
copper foil
circuit pattern
layer
forming
Prior art date
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Pending
Application number
JP31455397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Komatsu
健治 小松
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Nippon Avionics Co Ltd
Original Assignee
Nippon Avionics Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11135940A publication Critical patent/JPH11135940A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a highly precise circuit by narrowing the interval of a circuit pattern, and improve repairability by increasing peeling resistance of a pad part, by forming a circuit pattern of an outermost layer of a copper foil alone, and forming a copper plating layer only in an inner wall surface of a through hole or a via hole. SOLUTION: Copper plating 60 is formed only in an inner wall surface of a small hole if copper plating is applied to a lamination. After the copper plating 60 is formed to a specified thickness, plating resist is peeled. A circuit pattern 24A is formed in a copper foil of the lamination by photoetching, etc. As a result, a via hole 52A and a through hole 54A are formed. Since the circuit pattern 24A of an outermost layer formed in this way is formed of a copper foil alone, its peeling resistance is large. Therefore, if heating is carried out for removing a part mounted on a pad of the circuit pattern 24A of an outermost layer, the pad is hardly peeled from an insulation plate and repairability is improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ビルドアップ法
を用いたプリント配線板の製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board using a build-up method.

【0002】[0002]

【従来の技術】内層の回路パターンを各層ごとに形成し
ながら順次導体層と絶縁層とを積み上げて多層プリント
配線板を製造するビルドアップ法が公知である。
2. Description of the Related Art A build-up method is known in which a conductor pattern and an insulating layer are sequentially stacked while a circuit pattern of an inner layer is formed for each layer to manufacture a multilayer printed wiring board.

【0003】図4は従来のビルドアップ法を用いた多層
プリント配線板の製造方法を示す図である。この方法で
は、まず絶縁板10の両面にコア層となる第2層12お
よび第3層14の回路パターンを形成する(工程A)。
この場合、例えば両面銅張り積層板を用いて、その両面
に公知のドライフィルムやフォトレジスト液を用いたフ
ォトエッチング法により回路パターンを形成し、それぞ
れ第2層12および第3層14とすることができる。フ
ォトエッチング法に代えてプリントによりエッチングレ
ジストを印刷しエッチングする方法を用いてもよい。
FIG. 4 is a view showing a method of manufacturing a multilayer printed wiring board using a conventional build-up method. In this method, first, a circuit pattern of the second layer 12 and the third layer 14 serving as a core layer is formed on both surfaces of the insulating plate 10 (step A).
In this case, for example, using a double-sided copper-clad laminate, a circuit pattern is formed on both surfaces thereof by a photoetching method using a known dry film or a photoresist solution to form a second layer 12 and a third layer 14, respectively. Can be. Instead of the photo-etching method, a method of printing and etching an etching resist by printing may be used.

【0004】次に第2,3層12,14の上に絶縁基板
16,16を積層する(工程B)。絶縁基板16,16
は公知のプリプレグを積層し硬化させてもよいし、絶縁
板をエポキシ接着剤など接着してもよい。このように積
層した絶縁基板16,16には、ビアホール用の小孔1
8,18が加工される(工程C)。この加工は、例えば
径を絞ったレーザービームをビアホールの加工位置に垂
直に照射しすることにより行うことができる。レーザー
ビームは下層の第2層12あるいは第3層14の回路パ
ターン(銅箔)は加工することができないから、これら
第2,3層12,14まで達する小孔18が加工でき
る。
Next, insulating substrates 16 and 16 are laminated on the second and third layers 12 and 14 (step B). Insulating substrates 16, 16
A known prepreg may be laminated and cured, or an insulating plate may be bonded with an epoxy adhesive or the like. The small holes 1 for via holes are formed in the insulating substrates 16 and 16 thus laminated.
8, 18 are processed (process C). This processing can be performed by, for example, vertically irradiating a laser beam with a reduced diameter to the processing position of the via hole. Since the laser beam cannot process the circuit pattern (copper foil) of the lower second layer 12 or the third layer 14, the small holes 18 reaching the second and third layers 12 and 14 can be processed.

【0005】次にこのレーザービームによる小孔18の
加工時に小孔18の周囲に発生する樹脂の硬まり(樹脂
残り)を除去した後、表面にパネルめっき20を施す
(工程D)。このパネルめっき20は、絶縁基板16,
16の表面および小孔18の内壁面に無電界銅めっきを
施して導電性を付与した後、電解銅めっきを施すことに
より、必要な銅めっき厚とするものである。このパネル
めっき20が小孔18の内壁面に形成されることにより
ビアホール18Aが形成される。
Next, after removing the hardening of the resin (resin residue) generated around the small holes 18 when the small holes 18 are processed by the laser beam, a panel plating 20 is applied to the surface (step D). The panel plating 20 is formed on the insulating substrate 16,
The electroless copper plating is applied to the surface of the surface 16 and the inner wall surface of the small hole 18 to impart conductivity, and then the electrolytic copper plating is performed to obtain a required copper plating thickness. By forming the panel plating 20 on the inner wall surface of the small hole 18, a via hole 18A is formed.

【0006】そしてこのパネルめっき20に回路パター
ン20Aを形成する(工程E)。この回路パターン20
Aの加工には、公知のテンティング法や穴埋め法を用い
ることができる。テンティング法はエッチングレジスト
としてフィルムタイプのフォトレジストを用い、ビアホ
ールの小孔18をレジストフィルムでテントのようにふ
さぎ、また他の回路パターンにレジストフィルムを残し
てエッチングするものである。穴埋め法は、スルーホー
ル用の小孔18にレジストインクを充填してから、両面
にレジストをスクリーン印刷しエッチングするものであ
る。
Then, a circuit pattern 20A is formed on the panel plating 20 (step E). This circuit pattern 20
For the processing of A, a known tenting method or a hole filling method can be used. In the tenting method, a film type photoresist is used as an etching resist, and the small holes 18 of the via holes are covered with a resist film like a tent, and etching is performed while leaving the resist film in another circuit pattern. In the hole filling method, a resist ink is filled in small holes 18 for through holes, and then a resist is screen-printed on both surfaces and etched.

【0007】この図4に示す方法によれば、最外層とな
る回路パターン20Aの導体厚を薄くすることができ
る。このためのエッチング精度を高くして高精細回路を
形成することが可能になる。
According to the method shown in FIG. 4, the conductor thickness of the circuit pattern 20A as the outermost layer can be reduced. Therefore, it is possible to form a high-definition circuit with high etching accuracy.

【0008】図5は従来の他のビルドアップ法を示す図
である。この方法では絶縁基板10の両面にコア層とな
る第2層12と第3層14の回路パターンを形成した後
(工程A)、その両面に片面銅張絶縁板22,22を積
層する(工程B)。24,24は銅箔である。銅張絶縁
板22に代えて樹脂付き銅箔を接着してもよい。
FIG. 5 is a diagram showing another conventional build-up method. In this method, after forming a circuit pattern of the second layer 12 and the third layer 14 serving as a core layer on both surfaces of the insulating substrate 10 (Step A), the single-sided copper-clad insulating plates 22, 22 are laminated on both surfaces (Step A). B). 24 and 24 are copper foils. Instead of the copper-clad insulating plate 22, a resin-coated copper foil may be bonded.

【0009】次に銅箔24のビアホールを形成する位置
にエッチングによって穴26を加工する(工程C)。そ
してレーザービームを銅箔24の上から垂直に照射すれ
ば、穴26の下の絶縁板22が除去されて小孔28が形
成される(工程D)。この小孔28は下層の第2,3層
12,14まで達する。
Next, a hole 26 is formed in the copper foil 24 at a position where a via hole is to be formed by etching (step C). Then, when the laser beam is vertically irradiated from above the copper foil 24, the insulating plate 22 below the hole 26 is removed and a small hole 28 is formed (step D). The small holes 28 reach the second and third lower layers 12 and 14.

【0010】次にこの積層体の両面に銅めっき層30を
形成する(工程E)。この銅めっき層30は、無電界銅
めっきによって小孔28の内壁面に導電性を付与した
後、電解銅めっきを行うことにより形成する。そして最
後に最外層となる回路パターン30Aをエッチングによ
り加工すれば、内層回路パターン12,14と最外層の
回路パターン30Aとを接続するビアホール28Aが形
成される(工程F)。
Next, copper plating layers 30 are formed on both surfaces of the laminate (step E). The copper plating layer 30 is formed by applying conductivity to the inner wall surface of the small hole 28 by electroless copper plating and then performing electrolytic copper plating. Finally, if the outermost circuit pattern 30A is processed by etching, a via hole 28A connecting the inner layer circuit patterns 12, 14 and the outermost circuit pattern 30A is formed (step F).

【0011】この図5の方法によれば銅張り絶縁板22
あるいは樹脂付き銅箔あるいは銅箔積層板を用いるの
で、銅箔24と絶縁板22との接着強度が大きくなり、
ピール強度が大きくなる。このため表面実装した部品の
交換時にハンダ溶融のために加熱しても最外層の回路パ
ターン30Aすなわちパッド部が剥がれにくい。すなわ
ち搭載部品のリペア性(補修性)に優れる。
According to the method shown in FIG.
Alternatively, since a resin-coated copper foil or a copper foil laminate is used, the adhesive strength between the copper foil 24 and the insulating plate 22 increases,
Increases peel strength. For this reason, even when the components mounted on the surface are exchanged and heated for melting solder, the circuit pattern 30A of the outermost layer, that is, the pad portion is not easily peeled off. That is, it is excellent in the repairability (repairability) of the mounted component.

【0012】[0012]

【従来技術の問題点】前記図4に示した方法によれば、
最外層の回路パターン20Aが絶縁板上に直接めっきし
た銅めっき層で形成されているため、部品を実装するた
めのパッド部のピール強度を高くすることが困難であ
る。このためリペア性に劣るという問題があった。
Problems of the Prior Art According to the method shown in FIG.
Since the outermost circuit pattern 20A is formed of a copper plating layer directly plated on an insulating plate, it is difficult to increase the peel strength of a pad portion for mounting components. Therefore, there is a problem that the repairability is poor.

【0013】前記図5に示した方法によれば、最外層の
回路パターン30Aは銅箔24の上に銅めっき層30を
形成したために導体厚が厚くなる。このため高精細回路
の形成が困難であるという問題がある。
According to the method shown in FIG. 5, the outermost circuit pattern 30A has a thick conductor since the copper plating layer 30 is formed on the copper foil 24. Therefore, there is a problem that it is difficult to form a high definition circuit.

【0014】[0014]

【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、部品を実装するパッド部のピール強度を増
大させてリペア性を良くすると共に、回路パターンの線
間隔を狭くして高精細回路の形成を可能にすることがで
きるプリント配線板の製造方法を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and improves the repairability by increasing the peel strength of a pad portion on which components are mounted. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a printed wiring board that enables formation of a fine circuit.

【0015】[0015]

【発明の構成】本発明によればこの目的は、各層の回路
を形成しながら順次導体層および絶縁層を積み上げてゆ
くビルドアップ法を用いるプリント配線板の製造方法に
おいて、(A)外層となる銅箔を積層した積層体を形成
する;(B)前記積層体にスルーホールおよびビアホー
ルの少くとも一方を形成するための小孔を形成する;
(C)前記小孔の内壁面に無電解めっきを行うための触
媒を付着させる;(D)前記小孔の開口を除いて前記外
層の銅箔をめっきレジストで覆う;(E)前記積層体に
無電解銅めっきおよび電解銅めっきを順次施す;(F)
前記めっきレジストを剥離する;(G)前記外層の銅箔
に回路パターンを形成する;以上の各工程を有すること
を特徴とするプリント配線板の製造方法、により達成さ
れる。
According to the present invention, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a printed wiring board using a build-up method in which a conductor layer and an insulating layer are sequentially stacked while forming a circuit of each layer, and (A) an outer layer is formed. Forming a laminate in which copper foils are laminated; (B) forming small holes for forming at least one of a through hole and a via hole in the laminate;
(C) attaching a catalyst for electroless plating to the inner wall surface of the small hole; (D) covering the outer layer copper foil with a plating resist except for the opening of the small hole; (E) the laminate Electroless copper plating and electrolytic copper plating are sequentially applied to (F)
(G) forming a circuit pattern on the copper foil of the outer layer; a method for manufacturing a printed wiring board, comprising the above steps.

【0016】すなわち最外層の回路パターンは銅箔のみ
で形成し、銅めっき層はスルーホールまたはビアホール
の内壁面だけに形成したものである。銅めっき層はスル
ーホールやビアホールの内壁面だけでなく最外層回路パ
ターンのうち線間隔を狭くする必要がない部分、例えば
一部のパット部分などで銅箔の上に重ねて形成しておい
てもよい。
That is, the circuit pattern of the outermost layer is formed only of copper foil, and the copper plating layer is formed only on the inner wall surface of the through hole or the via hole. The copper plating layer is formed not only on the inner wall surface of the through hole and via hole but also on the outermost layer circuit pattern where there is no need to narrow the line interval, for example, over a copper foil at a part of the pad part etc. Is also good.

【0017】ここにスルーホールあるいはビアホールを
形成するための小孔は、レーザビームやプラズマビーム
を用いて加工することができる。例えば最外層の銅箔に
エッチングによって小孔を形成し、その上からレーザー
ビームまたはプラズマビームを照射することによってス
ルーホールまたはビアホール用の小孔を加工することが
できる。
Here, small holes for forming through holes or via holes can be processed using a laser beam or a plasma beam. For example, a small hole is formed in the outermost copper foil by etching, and a small hole for a through hole or a via hole can be processed by irradiating a laser beam or a plasma beam on the small hole.

【0018】[0018]

【実施態様】図1は本発明の工程前半を示す図、図2は
同じく工程後半を示す図、図3は図2におけるIIIの部
分拡大図であってビアホールの構造を示すものである。
1 is a diagram showing the first half of the process of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the second half of the process, and FIG. 3 is a partially enlarged view of III in FIG. 2 showing the structure of a via hole.

【0019】まず前記図5で説明した従来方法と同様
に、絶縁基板10の両面にコア層となる第2層12およ
び第2層14を形成し、その上に片面銅張絶縁板22、
22を接着し積層して積層体50を用意する(図1の工
程A)。ここで片面銅張絶縁板22を用いるのに代え
て、樹脂付きの銅箔を用いてもよい。
First, similarly to the conventional method described with reference to FIG. 5, a second layer 12 and a second layer 14 serving as core layers are formed on both surfaces of an insulating substrate 10, and a single-sided copper-clad insulating plate 22,
The laminated body 50 is prepared by bonding and laminating 22 (step A in FIG. 1). Here, instead of using the single-sided copper-clad insulating plate 22, a copper foil with resin may be used.

【0020】この積層体50の銅箔24、24には、前
記図5の工程C、Dと同様にしてビアホール用の小孔5
2およびスルーホール用の小孔54を形成する(図1の
工程B)。すなわちエッチングによって銅箔24、24
のビヤホールおよびスルーホールに対応する位置に小孔
を形成し、その上からレーザービームやプラズマビーム
を照射することによってこれらの小孔52、54を加工
することができる。
The copper foils 24, 24 of the laminate 50 have small holes 5 for via holes in the same manner as in steps C, D of FIG.
2 and small holes 54 for through holes are formed (step B in FIG. 1). That is, the copper foils 24, 24 are etched.
Small holes are formed at positions corresponding to the via holes and through holes, and the small holes 52 and 54 can be processed by irradiating a laser beam or a plasma beam from above.

【0021】このように小孔52、54を加工した積層
体50の表面および小孔52、54の内壁面には触媒5
6が付与される(図1の工程C)。この触媒56の付与
は後で行う無電解銅めっきの前処理工程となるものであ
り、脱脂、ソフトエッチング(表面粗化)などの後で銅
箔24の表面および小孔52、54の内壁面にPb−S
n(合金核)コロイド粒子を吸着させるものである。こ
のコロイド粒子は次の水洗工程で加水分解され、さらに
アクセレータ処理液によって活性化されて無電解銅めっ
きの下地を形成する。
The catalyst 5 is provided on the surface of the laminate 50 in which the small holes 52 and 54 are processed and on the inner wall surfaces of the small holes 52 and 54.
6 is given (step C in FIG. 1). This application of the catalyst 56 is a pretreatment step of electroless copper plating performed later, and after the degreasing, soft etching (surface roughening) and the like, the surface of the copper foil 24 and the inner wall surfaces of the small holes 52 and 54 are formed. Pb-S
n (alloy core) colloid particles are adsorbed. The colloid particles are hydrolyzed in the next washing step, and are activated by the accelerator treatment solution to form a base for electroless copper plating.

【0022】このように触媒56が付与された積層体5
0の表面はめっきレジスト58で覆われる(図1の工程
D)。このめっきレジスト58は、例えばスクリーン印
刷などによって形成できる。この場合、ステンシルスク
リーンによって小孔52、54の開口を塞ぎつつレジス
トインキをこすり出すことにより銅箔24の表面だけに
レジストインキを供給することができる。
The laminated body 5 thus provided with the catalyst 56
0 is covered with a plating resist 58 (step D in FIG. 1). The plating resist 58 can be formed by, for example, screen printing. In this case, the resist ink can be supplied only to the surface of the copper foil 24 by rubbing the resist ink while closing the openings of the small holes 52 and 54 with the stencil screen.

【0023】この積層体50を無電解銅めっき浴に浸漬
し、さらに電解銅めっき浴に浸漬して銅めっきをすれ
ば、活性なPb−Sn核コロイド粒子が付与された小孔
52、54の内壁面だけに銅めっき60が形成される
(図2の工程E)。この銅めっき60を所定の厚さに形
成した後、めっきレジスト58を剥離する(図1の工程
F)。そしてこの積層体50の銅箔24、24に回路パ
ターン24Aを公知のフォトエッチングなどにより形成
する(図2の工程G)、この場合小孔52、54の開口
を塞ぐためにテンティング法や穴埋め法を用いることが
できる。この結果図2の工程Gや図3に示す構造のビア
ホール52Aや、スルーホール54Aが形成される。
If the laminate 50 is immersed in an electroless copper plating bath and then immersed in an electrolytic copper plating bath to perform copper plating, the small holes 52 and 54 provided with active Pb-Sn nucleus colloid particles are formed. Copper plating 60 is formed only on the inner wall surface (step E in FIG. 2). After forming the copper plating 60 to a predetermined thickness, the plating resist 58 is peeled off (Step F in FIG. 1). Then, a circuit pattern 24A is formed on the copper foils 24, 24 of the laminate 50 by known photoetching or the like (step G in FIG. 2). In this case, a tenting method or a hole filling method is used to close the openings of the small holes 52, 54. Can be used. As a result, a via hole 52A and a through hole 54A having the structure shown in step G of FIG. 2 and FIG. 3 are formed.

【0024】このように形成された最外層の回路パター
ン24Aは、銅箔24のみで形成されるから、ピール強
度が大きい。すなわち銅箔24は片面銅張絶縁板22と
して予め絶縁板に強固に接着されたものであったり、樹
脂付き銅箔としてコア層に強固に接着され積層されてい
るからである。このため最外層の回路パターン24Aの
パッド部に実装した部品を取り外すために加熱した場合
に、パッド部が絶縁板22から剥がれにくく、リペア性
に優れたものとなる。また銅箔24だけで形成された回
路パターン24Aの厚さは十分に薄いから、回路パター
ンの線間隔を十分に狭くして高精細化が図れる。
Since the outermost circuit pattern 24A formed in this way is formed only of the copper foil 24, the peel strength is large. That is, the copper foil 24 is firmly bonded to the insulating plate in advance as the one-sided copper-clad insulating plate 22, or is firmly bonded and laminated to the core layer as a resin-coated copper foil. For this reason, when the component mounted on the pad portion of the circuit pattern 24A of the outermost layer is heated to remove the component, the pad portion is not easily peeled off the insulating plate 22 and the repairability is excellent. Further, since the thickness of the circuit pattern 24A formed only of the copper foil 24 is sufficiently thin, the line spacing of the circuit pattern is sufficiently narrowed to achieve high definition.

【0025】以上の実施態様では、図1の工程Dにおい
て銅箔24の表面全体をめっきレジスト58で覆ってい
るため、最外層の回路パターン24Aは全て銅箔24の
みで形成されることになる。しかし本発明は回路パター
ン24Aのうち線間隔(回路パターン間隔)を狭くする
必要がない部分、例えば一部のパッド部分をめっきレジ
ストが覆われないようにして、この部分に銅めっきを施
しておいてもよい。また回路パターンは4層のものに限
られないのは勿論である。
In the above embodiment, since the entire surface of the copper foil 24 is covered with the plating resist 58 in the step D of FIG. 1, the circuit pattern 24A of the outermost layer is entirely formed of only the copper foil 24. . However, according to the present invention, a portion of the circuit pattern 24A that does not need to be narrowed in line spacing (circuit pattern interval), for example, a portion of a pad portion is not covered with a plating resist, and this portion is plated with copper. May be. Of course, the circuit pattern is not limited to four layers.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のように、請求項1の発明はスルー
ホールやビアホールの内壁面だけ(これらの内壁面と最
外層回路パターンの線間隔を狭くする必要が無い部分
と)に銅めっきを施したものであるから、部品を実装す
るパッド部のピール強度が大となりリペア性に優れたも
のとなる。また回路パターンには銅めっきを施さず銅箔
だけとしたから、回路パターンの導体厚を十分に薄くし
て高精細化が図れる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, copper plating is applied only to the inner wall surfaces of the through holes and the via holes (the portions where it is not necessary to reduce the line interval between these inner wall surfaces and the outermost circuit pattern). As a result, the peel strength of the pad portion on which the component is mounted is increased, and the repairability is excellent. In addition, since the circuit pattern is made of only copper foil without being subjected to copper plating, the conductor thickness of the circuit pattern can be made sufficiently thin to achieve high definition.

【0027】めっきレジストで覆う部分は銅箔の表面全
体でなく、回路パターンのうち線間隔を狭くする必要が
ある部分だけとすれば、回路パターンのうち高精細化が
必要な部分だけ銅めっきを行わずに銅箔だけにすること
ができるから、同様に本発明の目的を達成することがで
きる(請求項2)。
If the portion to be covered with the plating resist is not the entire surface of the copper foil but only the portion of the circuit pattern that needs to be narrowed, the copper plating is applied only to the portion of the circuit pattern that requires high definition. Since only copper foil can be used without performing the above, the object of the present invention can be achieved similarly (claim 2).

【0028】工程Bにおいてビアホールやスルーホール
のための小孔を加工する際にはレーザービームやプラズ
マビームを用いることができる(請求項3)。この場合
には、銅箔にエッチングによって小孔を形成し、ここに
レーザービームやプラズマビームを照射することにより
銅箔から絶縁層にのびる小孔を加工すればよい。
In processing small holes for via holes and through holes in step B, a laser beam or a plasma beam can be used (claim 3). In this case, a small hole may be formed in the copper foil by etching, and a small hole extending from the copper foil to the insulating layer may be formed by irradiating the small hole with a laser beam or a plasma beam.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の方法の工程前半を示す図FIG. 1 shows the first half of the steps of the method of the present invention.

【図2】同じく工程後半を示す図FIG. 2 is a view showing the latter half of the process.

【図3】図2におけるIII部分の拡大図FIG. 3 is an enlarged view of a portion III in FIG. 2;

【図4】従来方法の工程を示す図FIG. 4 is a diagram showing steps of a conventional method.

【図5】従来方法の工程を示す図FIG. 5 is a diagram showing steps of a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、22 絶縁板 12 第2層の回路パターン 14 第3層の回路パターン 24 銅箔 24A 最外層の回路パターン 50 積層体 52 ビアホール用の小孔 52A ビアホール 54 スルーホール用の小孔 54A スルーホール 56 触媒 58 めっきレジスト 60 銅めっき 10, 22 Insulating plate 12 Circuit pattern of second layer 14 Circuit pattern of third layer 24 Copper foil 24A Circuit pattern of outermost layer 50 Stack 52 Small hole for via hole 52A Via hole 54 Small hole for through hole 54A Through hole 56 Catalyst 58 Plating resist 60 Copper plating

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 各層の回路を形成しながら順次導体層お
よび絶縁層を積み上げてゆくビルドアップ法を用いるプ
リント配線板の製造方法において、 (A)外層となる銅箔を積層した積層体を形成する; (B)前記積層体にスルーホールおよびビアホールの少
くとも一方を形成するための小孔を形成する; (C)前記小孔の内壁面に無電解めっきを行うための触
媒を付着させる; (D)前記小孔の開口を除いて前記外層の銅箔をめっき
レジストで覆う; (E)前記積層体に無電解銅めっきおよび電解銅めっき
を順次施す; (F)前記めっきレジストを剥離する; (G)前記外層の銅箔に回路パターンを形成する;以上
の各工程を有することを特徴とするプリント配線板の製
造方法。
1. A method of manufacturing a printed wiring board using a build-up method in which a conductor layer and an insulating layer are sequentially stacked while forming a circuit of each layer, wherein: (A) forming a laminate in which copper foil as an outer layer is stacked; (B) forming small holes for forming at least one of a through hole and a via hole in the laminate; (C) attaching a catalyst for performing electroless plating to the inner wall surface of the small hole; (D) covering the outer layer copper foil except for the openings of the small holes with a plating resist; (E) sequentially applying electroless copper plating and electrolytic copper plating to the laminate; (F) removing the plating resist (G) forming a circuit pattern on the outer layer copper foil; a method for manufacturing a printed wiring board, comprising the above steps.
【請求項2】 工程(D)において、めっきレジストは
小孔の開口と外層回路パターンの線間隔を狭くする必要
がない部分とを除いて銅箔を覆う請求項1のプリント配
線板の製造方法。
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein in the step (D), the plating resist covers the copper foil except for the openings of the small holes and portions where it is not necessary to reduce the line spacing of the outer layer circuit pattern. .
【請求項3】 工程(B)において、スルーホールおよ
びビアホールの少くとも一方を形成するための小孔は、 (Ba)外層の銅箔にエッチングによって小孔を形成
し; (Bb)レーザービームまたはプラズマビームを用い
て、前記工程(Ba)で銅箔に形成した小孔の下の絶縁
層に小孔を加工する;請求項1のプリント配線板の製造
方法。
3. In the step (B), a small hole for forming at least one of a through hole and a via hole is formed by: (Ba) forming a small hole in an outer copper foil by etching; (Bb) a laser beam or 2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein a small hole is formed in the insulating layer below the small hole formed in the copper foil in the step (Ba) using a plasma beam.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008205070A (en) * 2007-02-19 2008-09-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Printed wiring board and manufacturing method therefor
JP2016134395A (en) * 2015-01-15 2016-07-25 イビデン株式会社 Manufacturing method of printed wiring board

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