JPH11135852A - 圧電体素子の製造方法 - Google Patents

圧電体素子の製造方法

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JPH11135852A
JPH11135852A JP29511397A JP29511397A JPH11135852A JP H11135852 A JPH11135852 A JP H11135852A JP 29511397 A JP29511397 A JP 29511397A JP 29511397 A JP29511397 A JP 29511397A JP H11135852 A JPH11135852 A JP H11135852A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
glass plate
filter
substrate
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP29511397A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Ichikawa
洋 市川
Kenji Iijima
賢二 飯島
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電体素子のを他の素子、部品と一体化し、
システム全体を小型・軽量化するものである。 【解決手段】 弾性波送信用電極２および受信用電極３
と、圧電性セラミックス基体１とからなる圧電体フィル
ターを、形成したのち、前記圧電性セラミックス構造体
を非圧電性基体４に接着し、導体６、７、８、９を形成
して、ワイヤー１０、１１、１２を取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動体通信などに広
く用いられている圧電体素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通信機器システムを構成する部品群（フ
ィルター、抵抗、コンデンサー、導体、半導体など）
は、別々に、プリント基板に半田づけして、システム化
が行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】セラミックス圧電体フ
ィルターは、通信機器の信号経路に必ず有り、小型化、
軽量化のために、抵抗、誘電体共振器、導体との一体化
が叫ばれていた。しかしながら、一体成形、焼成時に
は、セラミックスの微妙な機械的変形などにより、厳し
い周波数精度が要求される圧電体の一体化には、部品そ
れぞれをプリント基板に半田づけする以外、有効な手だ
てはなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電体素子の製
造方法は、圧電性セラミックス構造体を形成したのち、
前記圧電性セラミックス構造体を非圧電性基体に接着す
る。
【０００５】また、前記方法において、非圧電性基体が
少なくともガラス性成分を含むものであることが望まし
い。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明者らは、システム構成時の
第１段階に、圧電体フィルターを、誘電率の低い、ガラ
ス性非圧電性基体に接着させれば、この工程以降、圧電
体フィルターほど周波数精度を要求されない導体、コン
デンサー、誘電体の素子、抵抗体等の構成部分、もしく
は部品を形成すれば、システムが一体化でき、工程が簡
略化できるのではと考え、発明に至った。
【０００７】図１に、本発明による圧電素子の製造工程
を示す。工程（ａ）には、圧電フィルターの断面構造概
略図を示す。本実施例では、圧電体基体１として、成形
後、空気中で１０時間１１００℃にて焼成したPb(Mg1/3
Nb2/3)0.125Ti0.435Zr0.44O3の圧電体セラミックスを、
厚み５ｍｍに研磨加工して用いた。Ａｌをスパッタ蒸着
し、弾性波発生用電極２と、受信用電極３を圧電体基体
１上に形成した。本実施例で作製した圧電体フィルター
の中心周波数は、４ＭＨｚである。
【０００８】工程（ｂ）では、電極３が収まる分（本実
施例では、直径１０ｍｍ）の、穴５の開いた厚み０．３
ｍｍのＰｂ系ガラス板４上に、圧電体フィルターを乗
せ、還元雰囲気中で、２００℃に５時間加熱した。この
加熱工程により、圧電フィルターは、完全にガラス板４
に接着した。
【０００９】工程（ｃ）では、アルミニウムを溶射し
て、ガラス板４上に導体６、７、８、９を形成後、導体
６、７、９と、電極２、３を結線するため、ワイヤー１
０、１１、１２をワイヤーボンダーで取り付けた。
【００１０】工程（ｃ）の終了後、圧電体フィルターの
中心周波数を測定し、ガラス板４に取り付け前の値を比
較した結果を表１に示す。
【００１１】
【表１】
【００１２】表１から明らかなように、ガラス板４への
取り付け前後での、圧電フィルターの中心周波数の変化
は数１０Ｈｚの１００ｐｐｍ以下であり、実用上なんら
問題にならないことがわかり、本発明の有効性が示され
た。
【００１３】なお、電極２、３および、導体６、７、
８、９は、圧電体セラミックス１をガラス板４上に接着
した後、形成しても、圧電フィルターの特性に、実用上
問題のないことを、本発明者らは、確認済みである。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、周波数精度が要求され
る圧電体をプリント基板上に一体化して形成する事がで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】圧電体素子の製造工程概略図
【符号の説明】
１ 圧電体セラミックス ２ 送信用櫛型電極 ３ 受信用櫛型電極 ４ Ｐｂ系ガラス板 ５ ガラス板に開けた穴 ６，７，８，９ 導体 １０，１１，１２ ワイヤー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０３Ｈ 9/17 Ｈ０１Ｌ 41/22 Ｚ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電性セラミックス構造体を形成したの
    ち、前記圧電性セラミックス構造体を非圧電性基体に接
    着する圧電体素子の製造方法。
  2. 【請求項２】 非圧電性基体が少なくともガラス性成分
    を含むものである請求項１に記載の圧電体素子の製造方
    法。
JP29511397A 1997-10-28 1997-10-28 圧電体素子の製造方法 Pending JPH11135852A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016133016A1 (ja) * 2015-02-16 2016-08-25 株式会社村田製作所 超音波センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016133016A1 (ja) * 2015-02-16 2016-08-25 株式会社村田製作所 超音波センサ
JPWO2016133016A1 (ja) * 2015-02-16 2017-12-21 株式会社村田製作所 超音波センサ

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