JPH11132215A

JPH11132215A - 締結具の締結確認装置

Info

Publication number: JPH11132215A
Application number: JP29416497A
Authority: JP
Inventors: Akira Morisada; 晃森貞; Toshihito Shirai; 白井　　稔人; Masayoshi Sakai; 坂井　　正善
Original assignee: Nippon Signal Co Ltd
Current assignee: Nippon Signal Co Ltd
Priority date: 1997-10-27
Filing date: 1997-10-27
Publication date: 1999-05-18

Abstract

(57)【要約】【課題】ボルトの締め付け状態を確認する。【解決手段】蓋３をボルト締めするチャンバー本体２
に、送信側及び受信側コイル６，７を対向配置し、ボル
ト先端の磁性体５が送受信側コイル６，７間に位置する
か否かを、受信側コイル７の出力レベルのレベル判定に
基づいて判定する。ボルト４ａが所定位置までねじ込ま
れて磁性体５が両コイル６，７間に位置すれば、磁気抵
抗が小さくなり受信側コイルの出力レベルが増大してボ
ルト４ａの締結正常を示す高レベルの判定出力が発生す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、互い部材間を螺合
締結する締結具、例えばボルト等が所定の位置までねじ
込まれていることを確認する締結具の締結確認装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、内部が空洞のチャンバー等の開
口部を蓋で塞いで密閉して作業を行う必要があるような
場合は、蓋が取り付けられていない状態で作業を行う
と、重大な事故に至る虞れがある。従って、蓋が閉じて
いることの確認が従来より行われている。蓋が閉位置に
あることの確認は、例えばリミットスイッチを用いて行
うことができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え蓋
が所定の閉位置にあることを確認したとしても、蓋の位
置確認だけでは十分ではない。蓋が所定の方法でしっか
りと固定されていないと、例えばチャンバー内部圧力の
増大や、チャンバーの移動、回転、振動等で蓋が作業中
に開いてしまう場合があり、事故に至る虞れがある。従
って、開口部に蓋をボルト等の締結具を用いて固定する
場合、蓋が所定位置に締結具によって固定されているこ
とを確認する必要がある。

【０００４】本発明は上記の事情に鑑みななされたもの
で、締結具が正常に締め付けられていることを確認する
ための締結具の締結確認装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このため、請求項１に記
載の発明では、互いの部材間を螺合締結する締結具が正
常に締め付けられていることを確認する締結具の締結確
認装置であって、締結具の位置を検出する位置検出手段
と、該位置検出手段からの検出出力に基づいて締結具が
所定のねじ込み位置まで到達している時に正常判定出力
を発生する判定手段とを備えて構成した。

【０００６】かかる構成では、互いの部材を締結具で締
め付けた時に、位置検出手段が締結具のねじ込み位置を
検出する。締結具が所定のねじ込み位置まで到達すれ
ば、判定手段は位置検出手段の検出出力に基づいて正常
判定出力を発生する。前記位置検出手段としては、請求
項２に記載のように、締結具の位置を直接検出する構成
でもよく、請求項８に記載のように、締結具の位置を間
接的に検出する構成でもよい。

【０００７】直接検出する場合、位置検出手段は、例え
ば、請求項３に記載のように、前記締結具側に磁性体を
設ける共に、前記互いの部材のどちらか一方に送信側コ
イルと受信側コイルを設け、締結具が前記所定のねじ込
み位置に到達した時に前記送信側コイルと受信側コイル
との間に前記磁性体を介した磁路が形成される構成とす
る。

【０００８】また、請求項４に記載のように、前記位置
検出手段は、前記締結具側に磁性体を設ける共に、前記
互いの部材のどちらか一方にコイルを設け、締結具が前
記所定のねじ込み位置に到達した時に前記コイルのイン
ダクタンスが変化する構成としてもよい。また、請求項
５に記載のように、前記位置検出手段は、前記締結具の
頭部を挟んで互いに対向させて投光手段と受光手段を配
置し、締結具が前記所定のねじ込み位置に到達した時に
前記投光手段からの光ビームが受光手段で受光される構
成としてもよい。

【０００９】また、請求項６に記載のように、前記位置
検出手段は、前記締結具の頭部を挟んで互いに対向し締
結具の進退方向に沿って前記頭部上方まで延長して多数
配列される一対の投光素子と受光素子をそれぞれ有する
投光手段と受光手段からなる多光軸光線式センサを備
え、該多光軸光線式センサの受光出力レベルが締結具の
ねじ込み位置に応じて変化する構成としてもよい。

【００１０】また、請求項７に記載のように、前記位置
検出手段は、前記締結具の頭部上面に電極板を設け、該
電極板と間隔を有して対向する別の電極板を設け、両電
極板間の距離に対応する静電容量値を検出する構成とし
てもよい。請求項８に記載のように、前記位置検出手段
が、締結具が所定のねじ込み位置に到達した時に位置が
確定する位置確定手段の位置を検出する構成とし、位置
確定手段を介して間接的にボルト位置を検出するように
してもよい。

【００１１】前記位置確定手段は、請求項９に記載のよ
うに、締結具取付け部上方に設けられ締結具が前記所定
のねじ込み位置にある時のみ正常な所定位置で閉じて締
結具取付け部を覆うカバーであり、前記位置検出手段
が、前記カバー位置を検出する構成とする。また、請求
項１０に記載のように、前記位置検出手段は、前記カバ
ーを支持する支持部と該支持部に開閉可能に支持される
前記カバーのどちらか一方に磁性体を設け、他方に送信
側コイルと受信側コイルを設け、カバーが前記正常な所
定位置で閉じた時に前記送信側コイルと受信側コイルと
の間に前記磁性体を介した磁路が形成される構成として
もよい。

【００１２】また、請求項１１に記載のように、前記位
置検出手段は、前記カバーを支持する支持部と該支持部
に開閉可能に支持される前記カバーのどちらか一方に磁
性体を設け、他方にコイルを設け、カバーが前記正常な
所定位置で閉じた時に前記コイルのインダクタンスが変
化する構成としてもよい。また、請求項１２に記載のよ
うに、前記位置検出手段は、前記投光手段及び該投光手
段からの光ビームを受光する受光手段を備え、前記カバ
ーが前記正常な所定位置で閉じた時に前記投光手段から
の光ビームが受光手段で受光される構成としてもよい。

【００１３】請求項１３に記載の発明では、前記判定手
段は、所定のねじ込み位置にあった締結具が緩んだこと
を判定可能な構成とした。かかる構成では、締結具の緩
みも検出できるので、締結具の締め付け状態の異常を早
期に知ることができるようちなる。請求項１３に記載の
判定手段の具体的な構成としては、請求項１４に記載の
ように、予め定められた閾値を有し前記位置検出手段の
出力レベルを前記閾値を比較し位置検出手段出力レベル
が閾値以上の時に高レベルの出力を発生するレベル検定
部と、前記位置検出手段の出力レベルが変化したことを
検出する変化検出部と、前記レベル検定部から高レベル
出力が入力した時に当該高レベル出力を記憶して高レベ
ルの正常判定出力を発生し、高レベル出力記憶後に前記
変化検出部から変化検出出力が発生した時に前記記憶が
消滅して低レベルの異常判定出力を発生する記憶部とを
備える構成とした。

【００１４】かかる構成では、締結具が所定のねじ込み
位置に到達して正常な締結状態にあれば、記憶部はこの
状態を記憶保持して高レベルの正常判定出力を発生し続
ける。この状態で、締結具の締め付け状態が緩むと、位
置検出手段の出力が変化し、この変化が変化検出部で検
出され、変化検出部からの出力によって、記憶部の記憶
が消滅すると共に低レベルの異常判定出力が記憶部から
発生するようになる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１〜図３に、本発明の第１実施形
態を示す。図１において、例えば、チャンバー１は、内
部が空洞で開口部２ａを有するチャンバー本体２と前記
開口部２ａを塞ぐ蓋３で構成される。蓋３は、チャンバ
ー本体２に例えば４本のボルト４ａ〜４ｄで、シール部
材８（図２に示す）を介して固定される。各ボルト４ａ
〜４ｄの先端には磁性体５が図２に示すように取り付け
てある。尚、以下の説明はボルト４ａについて説明する
が、他のボルト４ｂ〜４ｄについても同様である。

【００１６】ボルト４ａが所定位置までねじ込まれた時
に前記磁性体５が位置するチャンバー本体２の位置に、
例えば互いに対向して送信側コイル６と受信側コイル７
が配置される。送信側コイル６の入力端子Ｉ１，Ｉ２に
は、図３に示すように、抵抗Ｒを介して交流信号源９が
接続されている。受信側コイル７の出力端子Ｏ１，Ｏ２
からの出力信号は、ボルト４ａの締結状態を判定する判
定手段としての判定部１０に入力される。前記判定部１
０は、２つのコンデンサＣ１，Ｃ２と２つのダイオード
Ｄ１，Ｄ２で構成され整流信号を電源電位Ｖ_CCに重畳し
て出力する倍電圧整流回路１１と、少なくとも下限の閾
値を有し倍電圧整流回路１１からの整流出力と前記下限
閾値を比較して整流出力レベルを判定するレベル検定回
路１２とを備えている。ここで、磁性体５、送信側コイ
ル６、受信側コイル７及び信号源８によりボルト位置を
検出する位置検出手段が構成される。

【００１７】次に、本実施形態の締結確認装置の動作を
説明する。ボルト４ａの先端が、正常な締結状態、即
ち、図２に示す所定位置までねじ込まれた場合、送信側
コイル６と受信側コイル７の間に磁性体５が位置するた
め、磁性体５を介した磁気抵抗の小さい磁路が形成さ
れ、信号源９から送信側コイル６に供給された交流信号
が受信側コイル３に伝達される。一方、ボルト４ａが所
定位置までねじ込まれず、磁性体５が送信側コイル６と
受信側コイル７の間に到達しない状態では、送信側コイ
ル６と受信側コイル７の間の磁気抵抗は大きく、交流信
号は伝達されない（或いは、受信レベルが小さく受信側
コイル７の交流出力信号レベルは著しく低下する）。

【００１８】前述のように、ボルト４ａが正常にねじ込
まれ磁性体５が所定位置まで到達した状態では受信側コ
イル７の出力端子０１−０２間の交流出力レベルは大き
く、磁性体５が所定位置まで到達しない状態では受信側
コイル７の交流出力レべルは小さい。判定部１０では、
受信側コイル７からの交流出力を倍電圧整流回路１１に
入力し整流して直流信号としてレベル検定回路１２に入
力する。レベル検定回路１２は、入力する直流信号と下
限閾値を比較し、入力する直流信号レベルが下限閾値以
上である時に出力信号Ｚ１＝１の高レベルの正常判定出
力を発生し、下限閾値より小さい時に出力信号Ｚ１＝０
の低レベルの異常判定出力となる。これにより、判定部
１０の出力信号Ｚ１の出力状態により、ボルト４ａが正
常に締結されているか否かを確認することができる。

【００１９】上記第１実施形態では、ボルト先端に磁性
体５を設ける構成としたが、図４に示す第２実施形態の
ように、ボルト４ａ〜４ｄの各頭部に磁性体５を取り付
けてもよい。この場合、送信側コイル６と受信側コイル
７は、ボルト４ａ〜４ｄが所定位置までねじ込まれた時
にボルト頭部が位置する蓋３上面に配置する。尚、第１
実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略す
る。また、ボルトの締結状態が正常か否かの確認動作
は、上記第１実施形態と同様であるので説明を省略す
る。

【００２０】第１及び第２実施形態では、送受信側コイ
ル６，７を互いに対向するように配置したが、必ずしも
対向させる必要はなく、磁性体５により磁路が形成され
れば良く、例えば、送受信側コイル６，７が互いに９０
°の角度を有するような配置でも構わない。また、図５
（Ａ），（Ｂ）に示すように、送信側コイル６と受信側
コイル７の各磁芯部分を略コ字状の磁性体１３で一体に
形成して変化に寄与しない磁束の経路を構成すると、磁
性体５の有無による送信側コイル６から受信側コイル７
に向かう磁束の変化が大きくなり、ボルト位置の確認が
容易になり、好ましい。

【００２１】次に、第３実施形態について説明する。
尚、第１実施形態と同一部分には同一符号を付して説明
を省略する。第３実施形態は、コイルのインダクタンス
変化に基づいてボルト位置を確認する例である。第３実
施形態では、第１及び第２実施形態における受信側コイ
ルを省いて単一のコイルを設け、このコイルのインダク
タンス変化を測定してボルト位置を検出する構成とす
る。図６にその具体的な回路構成例を示す。

【００２２】図６において、単一のコイル１４を、抵抗
Ｒ１〜Ｒ４とコンデンサＣ３を備えたブリッジ回路１５
の一辺に、例えば抵抗Ｒ２とコンデンサＣ３と直列に挿
入する。ブリッジ回路１５には、信号源９から交流信号
を供給し、抵抗Ｒ１とＲ２の中間点と抵抗Ｒ３とＲ４の
中間点から出力を取り出して図３に示した判定部１０に
入力する。尚、コイル１３とボルト４ａ〜４ｄに設ける
磁性体５との配置関係は、第１実施形態又は第２実施形
態の送信側コイル６と同様とすればよい。

【００２３】次に動作を説明する。磁性体５が所定位置
にない状態のコイル１４のインダクタンスをＬ、磁性体
５が所定位置にある状態のコイル１４のインダクタンス
をＬ＋ΔＬとする。コンデンサＣ３と磁性体５が所定位
置にない状態のコイル１４（インダクタンスＬ）を信号
源９の交流信号周波数ωで直列共振状態とすると、コイ
ル１４が挿入された一辺のインピーダンスはＲ２とな
る。コイル１４のインダクタンスがΔＬ変化すると、一
辺のインピーダンスはＲ２＋ｊωΔＬとなり、このとき
にブリッジ回路１５の出力レベルが増加するように、ブ
リッジ回路１５の各定数を設定する。

【００２４】例えば、Ｒ１＝Ｒ２＝Ｒ３＝Ｒ４＝ｒ（ｒ
は抵抗値）に設定すると、コイル１４のインダクタンス
がＬ（即ち、磁性体５が所定位置にない状態）の時、ブ
リッジ回路１５の出力は略零になる。コイル１３のイン
ダクタンスがΔＬ変化すると（即ち、磁性体５が所定位
置にある状態）、ブリッジ回路１５は不平衡状態になり
交流信号があるレベルで出力される。この時に倍電圧整
流回路１１から出力される直流信号がレベル検定回路１
２の下限閾値以上となるように当該下限閾値を設定して
おけば、磁性体５が所定位置まで到達してコイル１４の
インダクタンスがＬ＋ΔＬに変化した時に、判定部１０
のレベル検定回路１２から高レベルの出力信号Ｚ１＝１
の正常判定信号が生成する。

【００２５】尚、第１〜第３実施形態において、ボルト
に４ａ〜４ｄに取り付ける磁性体５の形状としては、図
５（Ａ）のような中実形状や（Ｂ）のような中空形状等
が考えられる。次に、本発明の第４実施形態として、ボ
ルト位置検出に光線式センサを用いた例を図７及び図８
に示す。尚、ここでは、ボルト４ａについて説明する。

【００２６】図７において、ボルト４ａ（ボルト４ｂ〜
４ｃについても同様）が所定位置にねじ込まれた時に、
投光手段としての投光器２１からの光ビームＬＢが受光
手段としての受光器２２に到達し受信されるように、蓋
３上面に、投光器２１と受光器２２をボルト頭部を挟ん
で配置する。図８に示すように、投光器２１は信号源９
に抵抗Ｒを介して接続し、受光器２２は増幅器２３を介
して図３の判定部１０に接続する。

【００２７】次に動作を説明する。投光器１には信号源
９から交流信号が供給され、投光器ｌからパルス状（即
ち、交流）の光ビームＬＢが発生する。図７のように、
ボルト４ａが所定位置までねじ込まれた時には、投光器
２１と受光器２２の間の光軸より下方にボルト４ａ頭部
が位置し、投光器２１からの光ビームＬＢが受光器２２
で受信される。受光器２で投光器１からのパルス状の光
ビームＬＢが受信されると、受光器２２で電気信号に変
換され、この電気信号は増幅器２３で増増されて判定部
１０に入力する。このときの倍電圧整流回路１１の整流
出力レべルがレベル検定回路１２の下限閾値以上になる
ように設定しておけば、ボルト４ａが所定位置までねじ
込まれて受光器２２で光ビームＬＢが受信された時に、
判定部１０からＺ１＝１の正常判定信号が発生する。

【００２８】一方、ボルト４ａが所定位置までねじ込ま
れていない時には、ボルト４ａは蓋３上方に所定長以上
突出しており、投光器２１と受光器２２の間がボルト４
ａで遮断され、投光器２１からの光ビームＬＢが受光器
２２で受信されない（或いは大幅に減光される）。この
ため、増幅器２３からの交流出力信号レべルは略零にな
り（或いは、大幅に小さくなり）、倍電圧整流回路１１
の整流出力レべルは下限閾値より小さくなり、レベル検
定回路１２の出力Ｚ１＝０となり、ボルトが所定位置ま
でねじ込まれていないことを示す。但し、この構成にお
いてボルトが蓋３から完全に抜け落ちた場合にも、光ビ
ームＬＢは受信されてしまい、誤りのＺ１＝１を生成し
てしまう。この事態を防止するためには、例えばボルト
が蓋から抜け落ちないような処置が必要である。

【００２９】次に、ボルト位置をボルト自体でなく間接
的に検出する場合の実施形態について説明する。例え
ば、図９に示すように、蓋３を覆うようなカバー３１を
支持部３２を介してチャンバー１に取付ける。そして、
図１０に示すように、例えばカバー３１側に磁性体５を
取り付け、支持部３２側の対応する位置に送信側コイル
６及び受信側コイル７を取り付ける。ここで、前記カバ
ー３１が、ボルトが所定のねじ込み位置に到達した時に
所定位置で閉じてその位置が確定する位置確定手段に相
当する。

【００３０】次に動作を説明する。カバー３１は、図１
１に実線で示すように、ボルトが所定位置までねじ込ま
れている時には図中のＰ１の位置まで閉じることが出来
るが、もし、ボルトが所定位置までねじ込まれていない
とボルトが邪魔になり、Ｐ１の位置まで閉じることがで
きない。カバー３１が所定位置Ｐｌまで閉じた時は、図
１０のように磁性体５が送信側コイル６と受信側コイル
７に当接して磁路が形成されて両コイル６，７間の磁気
抵抗が小さくなる。従って、カバー３１が所定位置Ｐｌ
まで閉じると、判定部１０から高レベルのＺ１＝１の正
常判定信号が発生する。一方、カバー３１が例えば図１
１中の破線で示すＰ２の位置までしか閉じることが出来
ない時には、図１０の破線で示すように磁性体５は送信
側コイル６及び受信側コイル７から離れており、両コイ
ル６，７間の磁気抵抗は大きく、交流信号は受信側コイ
ル７に伝達されないか、或いは、大幅に減衰するので、
判定部１０の出力信号Ｚ１＝０となる。

【００３１】尚、送信側及び受信側コイル６，７に代え
て単一のコイル１４を支持部３２側に配置し、図６に示
すブリッジ回路を用いてカバー３１の位置をコイル１４
のインダクタンス変化から検出する構成とすることがで
きることは言うまでもない。また、図１２（Ａ）に示す
ように、カバー３１側に反射板３３を取り付け、図示し
ない支持部３２側に投光器２１及び受光器２２を設け
る。投光器２１及び受光器２２の配置は、カバー３１が
Ｐ１の位置まで閉じた時のみ、投光器２１からの光ビー
ムＬＢの反射板３３による反射光が受光器２２で受光さ
れるような関係に配置する。

【００３２】その動作は、図１２（Ｂ）に実線で示すよ
うに、カバー３１が所定位置Ｐｌまで閉じる（ボルトが
所定位置までねじ込まれている）時は、投光器２１から
の光ビームＬＢの反射板３３による反射光の経路が図中
となって受光器２２で受信される。一方、カバー３１
が所定位置Ｐ１まで閉じず、図１２（Ｂ）に破線で示す
Ｐ２の位置までしか閉じない時は、反射板３３の角度が
正常時と異なるので、投光器２１からの光ビームＬＢの
反射板３３による反射光の経路は図中となり受光器２
２で受信されない。従って、図８の回路において判定部
１０の出力Ｚ１は、カバー３１が所定位置Ｐ１まで閉じ
た時はＺ１＝１となってボルトが正常に所定位置までね
じ込まれていることを示し、カバー３１が位置Ｐ２まで
しか閉じない時はＺ１＝０となってボルトが十分にねじ
込まれていないことを示す。

【００３３】反射板３３を設けず、図１３（Ａ）に示す
ように、例えば支持部３２側に受光器２２（又は投光器
２１）を、カバー３１側に投光器２１（又は受光器２
２）を取り付ける。この場合、図１３（Ｂ）に示すよう
に、カバー３１が所定位置Ｐ１まで閉じた時には、カバ
ー３１側の投光器２１からの光ビームＬＢの経路が図中
となり受光器２２で受信される。一方、カバー３１が
所定位置Ｐ１まで閉じず、ボルトに当たってＰ２の位置
まで止まった時は、カバー３１側の投光器２１の光ビー
ムＬＢの経路はとなり受光器２２で受信されない。

【００３４】このように、カバー３１の位置を検出する
ことにより、間接的にボルト位置を検出し、ボルトの締
結状態が正常か否かを判定することもできる。尚、上述
した回動式のカバーに代えてスライド式のカバーでも同
様である。図１４において、蓋３を囲む支持部３２′に
スライド式のカバー３１′を設ける。この場合も、図１
５に示すように、例えばボルト４ａ〜４ｃが所定位置ま
でねじ込まれているとカバー３１′はボルト４ａ〜４ｃ
に当たることなく所定位置Ｐｌまでスライドすることが
出来る。一方、例えばボルト４ａ〜４ｄのいずれか１つ
（例えば、ボルト４ｂ位置）でも所定位置までねじ込ま
れていないと、そのボルト位置でカバー３１′はつかえ
てしまい所定位置Ｐｌまでスライドすることが出来な
い。

【００３５】従って、図１６に示すように、例えばカバ
ー３１′側に磁性体５を設け、支持部３２′或いはチャ
ンバー本体２等の所定位置Ｐ１に到達した対応する位置
に図示しないブラケット等を介して送信側及び受信側コ
イル６，７を設ければよい。これにより、カバー３１′
が所定位置Ｐｌに到達した時は、磁性体５が送信側及び
受信側コイル６，７に図１６のように当接して送信側及
び受信側コイル６，７間の磁気抵抗が小さくなり判定部
１０からＺ１＝１が出力が発生し、到達しなければ送信
側及び受信側コイル６，７間の磁気抵抗は大きく、Ｚ１
＝０となる。

【００３６】図１７は、カバー３１′が所定位置Ｐｌま
でスライドされた状態の時のみ投光器２１からの光ビー
ムＬＢの反射光が受光器２２で受信される構成とした、
図１２と同様の検出原理を用いた実施形態である。この
実施形態では、カバー３１′自身を反射体としている。
カバー３１′が所定位置Ｐｌに至らない時にはカバー３
１′が存在せず、投光器２１の光ビームＬＢは受光器２
２に至らない。

【００３７】図１８は、カバー３１′側に投光器２１
（又は受光器２２）を、チャンバー本体２側に受光器２
２（又は投光器２１）を取り付け、カバー３１′が所定
位置Ｐｌに至った状態で投光器２１からの光ビームＬＢ
が受光器２２で受信される、図１３と同様の検出原理を
用いた実施形態である。次に、ボルトのねじ込み位置だ
けでなく、ボルトの緩みも検出可能な実施形態について
述べる。

【００３８】図１９において、ボルト４ａ（ボルト４ｂ
〜４ｄについても同様）の頭部を挟んで互いに対向させ
て多数の投光素子を有する投光器４１と同数の受光素子
を有する受光器４２からなる多光軸光線式センサ４０を
設ける。投光器４１と受光器４２の各投光素子及び受光
素子は、ボルト４ａの進退方向（図中矢印方向）に沿っ
てボルト頭部上方まで延長して配列される。多光軸光線
式センサ４０は、各投光器４１からの光ビームＬＢによ
り幅Ｂの光幕を形成している。そして、ボルト４ａが所
定位置までねじ込まれている場合には、図中の幅Ａの光
幕が受光器４２側に到達するよう構成され、残りの幅
（Ｂ−Ａ）の光幕が、各ボルト４ａの頭部に遮られて受
光器２に到達しない。

【００３９】受光器４２の出力レべルと光幕幅との関係
は、受光器４２の出力レベルが受光量に比例し、且つ、
光ビームＬＢの光強度が一様であるとすると、図２０に
示すような関係になる。図中、縦軸は受光器４２の出力
レベルで光幕Ａ＝Ｂの時を１として正規化しており、横
軸は光幕幅で光幕（Ａ／Ｂ）で正規化して示している。

【００４０】ボルト４ａが正規の位置までねじ込まれて
いる時の受光器４２に到達する光幕の幅がＡ１で、その
ときの受光器出力レべルがＯＰ１であったとする。ボル
トが緩むにつれてボルトは所定の位置から上方に迫り出
してくるので、受光器４２に到達する光幕の幅は小さく
なる。例えば、光幕幅がＡ１→Ａ１−ΔＡになったとす
る。この光幕幅の変化に応じて、受光器４２の出力レべ
ルもＯＰ１→ＯＰ１−ΔＯＰと変化する。この受光器４
２の出力を図３の判定部１０に入力する。この場合、判
定部１０のレベル検定回路１２の下限閾値をＯＰ１とＯ
Ｐ１−ΔＯＰの間に設定しておけば、受光器４２の出力
レベルの低下を検出でき、ボルトの緩みを検出できる。
ただし、受光器４２の出力のレベル検定だけでボルトの
緩みを検出することは、下限閾値の設定が難しく、信頼
性の点で問題がある。

【００４１】より信頼性のあるボルトの緩み検出可能な
別の実施形態を図２１に示す。図２１では、受光器４２
の出力レベルを検定するレベル検定部４３と、受光器４
２の出力変化を検出する変化検出部４４と、レベル検定
部４３と変化検出部４３の各出力Ｚ１，Ｚ２の論理積演
算を行うＡＮＤゲート４５と、ＡＮＤゲート４５の出力
を信号Ｔ＝１の入力で記憶する記憶部４６を設ける。こ
れらによって判定手段が構成される。

【００４２】前記変化検出部４４は、受光器４２の出力
ｅの変化を検出しており、出力ｅに変化がないことを確
認して出力Ｚ２＝１を生成し、出力ｅに変化が生じると
出力Ｚ２＝０となる。記憶部４６は、信号Ｔ＝１でＡＮ
Ｄゲート４５の論理値１の出力を取り込み出力Ｚ＝１を
生成し、Ｔ＝０となった後もＡＮＤゲート４４の出力が
論理値１である間はこれを記憶保持して論理値１の出力
Ｚ＝１を出力する。ＡＮＤゲート４５の出力が一旦論理
値０になると出力Ｚ＝０を生成し、再度ＡＮＤゲート４
５の出力が論理値１となっても信号Ｔ＝１が入力される
までは出力Ｚ＝０を記憶保持する。尚、信号Ｔとして
は、例えば、作業者の手動操作によりＯＮとなる確認動
作開始のためのスイッチ信号等を用いればよい。

【００４３】かかる構成では、例えばボルト４ａが所定
位置までねじ込まれると、レベル検定部４３の出力Ｚ１
及び変化検出部４４の出力Ｚ２が共に論理値１となり、
ＡＮＤゲート４５からの論理値１の出力を、信号Ｔ＝１
の入力により記憶部４６が記憶して出力Ｚ＝１を生成
し、ボルト４ａが正常であることを示す。この状態にお
いて、ボルト４ａに緩みが生じ出力ｅに変化が生じてレ
ベル検定部４３の出力Ｚ１又は変化検出部４４の出力Ｚ
２の少なくとも一方が一旦論理値０になると、ＡＮＤゲ
ート４５の出力が論理値０になり、記憶部４６の出力Ｚ
＝０となって、再度信号Ｔ＝１になるまで出力Ｚ＝０を
保持する。記憶部４６の出力Ｚ＝０は、ボルト４ａが緩
む等、正常に締結されていないことを示す。

【００４４】図２２に、図２１の具体的回路構成の一例
を示す。図２２において、投光器４１は、交流信号源４
１Ｂからの交流信号が抵抗Ｒを介して各発光素子４１Ａ
に供給されて多数の光ビームＬＢにより光幕を形成す
る。受光器４２は、各受光素子４２Ａからの受光出力を
電気信号に変換し、増幅器４２Ｂで増幅し、平滑用コン
デンサに４端子コンデンサＣ５を使用し、図３と同様に
２つのコンデンサＣ４，Ｃ５と、２つのダイオードＤ
３，Ｄ４で構成した倍電圧整流回路４２Ｃで整流し受光
量に応じた整流出力レベルの出力ｅを生成する。また、
この整流出力ｅに、信号発生器４２Ｄからの高周波信号
が抵抗Ｒ５とＲ６で分圧されて重畳される。尚、この重
畳信号レベルは整流出力信号レベルに比して小さい。受
光器４２からの高周波信号の重畳された整流出力信号ｅ
は、図３のレベル検定回路１２と同様の構成で下限閾値
を有するレベル検定部４３に入力されてレべル検定され
る。また、前記整流出力信号ｅは、変化検出部４４にも
入力される。変化検出部４４では、コンデンサＣ６によ
り整流出力信号ｅの整流直流分が阻止され、整流出力信
号ｅに重畳された高周波信号成分のみが増幅器４４Ａで
増幅され、図３と同様の構成の倍電圧整流回路４４Ｂで
整流される。更に、この整流信号は、レベル検定部４３
と同様の構成のレベル検定回路４４Ｃに入力されてレベ
ル検定される。

【００４５】記憶部４６は、ＡＮＤゲート４５の出力を
トリガ入力とし、信号Ｔをホールド入力とする自己保持
回路で構成する。次に動作を説明する。ボルトが正常に
締め付けられ所定位置までねじ込まれている場合は、受
光器４２からの整流出力信号ｅの出力レベルが、レベル
検定部４３の下限閾値以上となり、レベル検定部４３の
出力Ｚ＝１が発生する。また、変化検出部４４では、整
流出力信号ｅに重畳された高周波信号成分の整流出力が
レベル検定回路４４Ｃの下限閾値以上となり変化検出部
４４から出力Ｚ２＝１が発生する。これにより、ＡＮＤ
ゲート４５から論理値１の出力が自己保持回路（記憶
部）４６のトリガ端子に入力し、ホールド端子に信号Ｔ
＝１が入力していれば自己保持回路４６からボルトの締
め付け状態が正常であることを示すＺ＝１の出力が発生
する。

【００４６】この状態において、もしボルトに緩みが発
生しボルト位置変化に伴って受光器４２の出力信号ｅの
レべルが変化すると、その変化が変化検出部４４のコン
デンサＣ６を通過して増幅器４４Ａに伝達され増幅され
て増幅器４４Ａを飽和させる。その結果、整流出力信号
ｅに重畳された高周波信号成分は増幅されなくなり、倍
電圧整流回路４４Ｂの整流出力レベルが、レべル検定回
路４４Ｃの下限閾値より小さくなり、変化検出部４４か
らの出力はＺ２＝０となる。これにより、ＡＮＤゲート
４５の出力が論理値０となり、自己保持回路４６の出力
Ｚ＝０となり、ボルトの締め付けが正常でないことを示
す。自己保持回路４６の出力Ｚ＝０の状態は、その後
に、ＡＮＤゲート４４の出力が論理値１になったとして
も、再度Ｔ＝１が入力されない限りは継続保持される。

【００４７】尚、図２２の回路における変化検出原理等
は、例えば国際公開ＷＯ９４／２３３０３或いは国際公
開ＷＯ９５／３３１９０等で既に公知である。図２３〜
図２５に、ボルトの緩み検出可能な別の実施形態を示
す。図２３において、ボルと４ａ（ボルト４ｂ〜４ｄも
同様）頭部に、絶縁材５１を介して電極板５２を設け
る。また、例えばカバー３１等のボルト４ａ頭部に対応
する位置にも、絶縁材５３を介して電極板５４を前記電
極板５２に近接させて配置する。この２枚の電極板５
２，５４により構成されるコンデンサの容量Ｃは２枚の
電極間の間隔ｄに反比例する。ボルト４ａが緩んでくる
と、２枚の電極板５２，５４の間隔ｄは小さくなり、コ
ンデンサ容量Ｃは大きくなる。この容量Ｃの変化を電気
的に検出すれば、電極板間距離の変化、即ち、ボルトの
緩みを検出できる。

【００４８】図２４に、図２３の構成によるボルトの位
置と緩みを検出するための具体的な回路構成例を示す。
尚、本実施形態の回路は、容量測定部からの出力を図２
２のレベル検定部４３と変化検出部４４に入力する構成
であり、これらは図２２と同様であるので、図２４では
容量測定部の構成のみを示す。図２４において、容量測
定部５５は、信号源５５Ａの一端に抵抗ＲとコイルＬ１
を介して電極板５４の出力端子０３を直列接続し、信号
源５５Ａの他端に電極板５２の出力端子０４を接続す
る。電極板５２，５４でコンデンサＣ_Aを構成する。コ
イルＬ１とコンデンサＣ_Aの中間点出力を増幅器５５Ｂ
で増幅し、図２２の倍電圧整流回路４２Ｃと同様の構成
の倍電圧整流回路５５Ｃで整流し、信号発生器５５Ｄか
らの高周波信号を抵抗Ｒ７，Ｒ８で分圧して重畳して、
容量測定部５５の整流出力信号ｅ′を生成する。そし
て、ボルト４ａを所定位置までねじ込んだ時のコンデン
サＣ_Aの容量Ｃ＝Ｃｏで、信号源周波数でコイルＬ１と
略直列共振として、容量Ｃと整流出力ｅの関係が図２５
のグラフのようになるよう設定する。即ち、Ｃ＝Ｃｏで
ｅ′＝ｅ₁とする。ボルトが緩むと電極板５２，５４の
間隔ｄは小さくなり容量Ｃは大きくなる。Ｃ＝Ｃｏ→Ｃ
ｏ＋ΔＣとなると、ｅ′はｅ′＝ｅ₁→ｅ₁−Δｅとな
る。レベル検定部４３の下限閾値はｅ′＝ｅ₁より低く
設定する。

【００４９】尚、整流出力信号ｅ′のレベル検定及び変
化検出の動作は、図２２の回路の場合と同様であるので
回路動作の説明は省略する。図２６及び図２７は、ボル
トの緩みを検出する更に別の実施形態である。図２６及
び図２７のボルト位置検出原理は、図２及び図３に示す
送信側及び受信側コイル６，７を用いた第１実施形態と
同様であり、ボルトに設ける磁性体５の形状のみが異な
る。図２６の実施形態の磁性体５は、中実で円形の一部
を切り欠いた形状である。

【００５０】この場合の動作は、ボルトが所定位置まで
ねじ込まれた時に、図２６（Ａ）の位置に磁性体５が位
置するようにする。図（Ａ）の状態では、送信側コイル
６と受信側コイル７の間の磁気抵抗は小さくなり、判定
部１０からＺ１＝１の正常判定信号が発生する。ボルト
が緩んでネジ溝に従って回転し、同図（Ｂ）のような状
態に磁性体５が位置すると、送信側及び受信側コイル
６，７間の磁気抵抗は大きく、判定部１０の出力はＺ１
＝０となる。

【００５１】尚、コイルのインダクタンス変化に基づい
て磁性体５の位置を検出する、図６に示す第２実施形態
の回路構成としても同様に検出可能である。図２７は、
磁性体５が、中空形状の一部を切り欠いた形状であるこ
とを除いては図２６と同様である。以上のように、本実
施形態によれば、ボルトが所定位置までしっかりとねじ
込まれているか否か、その締結状態を確認することがで
きる。また、ボルトの緩みも検出可能に構成できるの
で、ボルト締結状態の異常を早期に発見できる。

【００５２】尚、図３、図２２、図２４で用いた倍電圧
整流回路は、例えば、Ｕ．Ｓ．Ｐａｔｅｎｔ５，３４
５，１３８号明細書等で従来公知のものである。この倍
電圧整流回路は、図にも示したように、２つのコンデン
サと２つのダイオードで構成され、出力信号が定電圧に
クランプされて出力される構成である。また、図３及び
図２２で用いた、レベル検定回路やＡＮＤゲートは、例
えば、「Safety Control of Power Press by Using Fai
l-Safe Multiple-Valued Logic」（IEICE Trans. Inf.
＆ Sust.，Vol.E76-D, No.5 May l993）や、「LSI Impl
ementation and Safety Verification Of Window Compa
rator Used in Fale-Safe Multiple-Valued Logic Oper
ations」(IEICE Trans. Electron., Vo1.E76−C,No.3 M
arch 1993) や、「フェールセーフ・ウィンドウ・コン
パレータ／ＡＮＤゲートの開発とその応用」（平成３年
電気学会産業応用部門全国大会）、Ｕ．Ｓ．Ｐａｔｅｎ
ｔ４，６６１，８８０号明細書、Ｕ．Ｓ．Ｐａｔｅｎｔ
５，０２７，１１４号明細書、特公平１−２３００６号
公報及び特開平４−３６６６１号公報等で既に公知のフ
ェールセーフ・ウィンドウ・コンパレータを用いて構成
することが出来る。

【００５３】このようなフェールセーフ・ウインドウ・
コンパレータの具体的な回路構成例を図２８に示す。但
し、図２８はフェールセーフ・ウィンドウ・コンパレー
タを２段接続したＡＮＤゲートの構成をなっている。図
２８において、フェールセーフ・ウィンドウ・コンパレ
ータは、抵抗Ｒ１１〜Ｒ２８と、トランジスタＴｒ１１
〜Ｔｒ１７と、整流回路２０３とを備える。Ｖａ，Ｖｂ
は入力端子、Ｖ_CCはウィンドウ・コンパレータの電源電
位である。図中、一点鎖線で囲った部分は、トランジス
タＴｒ１１〜Ｔｒ１３とトランジスタＴｒ１５〜Ｔｒ１
７を用いた直結の直流増幅回路２０１，２０２を構成し
ている。トランジスタＴｒ１４は位相反転回路（インバ
ータ）を構成しており、直流増幅回路２０１の出力信号
の反転増幅機能を持つ。図２８の回路は、直流増幅回路
２０１が直流増幅回路２０２にトランジスタＴｒ１４を
介して直結され、また、直流増幅回路２０２の出力信号
は抵抗Ｒ２８を介して直流増幅回路２０１に直結されて
おり、帰還発振器を構成している。

【００５４】図２８の回路が発振するための条件は、入
力端子Ｖａの入力電位をＶ₁₀、入力端子Ｖｂの入力電位
をＶ₂₀とすれば、次式で定まる。入力端子Ｖａについ
て、（ｒ11＋ｒ12＋ｒ13) Ｖ_CC／ｒ13≦Ｖ₁₀≦（ｒ16＋ｒ17) Ｖ_CC／ｒ17 ・・・（１）入力端子Ｖｂについて、（ｒ21＋ｒ22＋ｒ23) Ｖ_CC／ｒ23≦Ｖ₂₀≦（ｒ26＋ｒ27) Ｖ_CC／ｒ27 ・・・（２）上の２つの式で、ｒ11〜ｒ27は各抵抗の抵抗値を示す。

【００５５】（１）式で、（ｒ11＋ｒ12＋ｒ13) Ｖ_CC／
ｒ13は入力端子Ｖａの下限の閾値を表し、（ｒ16＋ｒ1
7) Ｖ_CC／ｒ17は入力端子Ｖａの上限の閾値を表す。同
様に、（２）式で、（ｒ21＋ｒ22＋ｒ23) Ｖ_CC／ｒ23は
入力端子Ｖｂの下限の閾値を表し、（ｒ26＋ｒ27) Ｖ_CC
／ｒ27は入力端子Ｖｂの上限の閾値を表す。入力端子Ｖ
ａが（１）式を満たす範囲の入力レベルＶ₁₀であり、且
つ、入力端子Ｖｂが（２）式を満たす範囲の入力レベル
Ｖ₂₀である時、図２８の回路は発振して端子Ｕｆに交流
の出力信号を生じ、整流回路２０３で整流されて直流の
出力信号となる。

【００５６】また、図２８の回路は、入力端子Ｖａ，Ｖ
ｂに各々（１）式と（２）式を満たす直流の入力電圧が
供給された時、初めて発振して交流の出力信号を生成で
きるので、ＡＮＤゲートの機能を持つ。しかも、入力端
子ＶａとＶｂのいずれもがウィンドウ・コンパレータの
機能を持つので、２入力ウインドウ・コンパレータ／Ａ
ＮＤゲートと呼ばれる。そして、図２８の回路は、回路
を構成するトランジスタと抵抗に短絡若しくは断線の故
障が起こった時に発振できない特性を有し、また、回路
要素が故障しても、入力端子Ｖａ，Ｖｂの両方に（１）
式と（２）式で定める入力電圧が供給されない限り発振
できない特性を持つ。このため、図２８の回路はフェー
ルセーフなウィンドウ・コンパレータ／ＡＮＤゲートと
呼ばれる。図２８の回路の入力端子Ｖａ，Ｖｂを互いに
接続して共通の入力端子Ｖｃとすれば、レベル検定回路
となる。

【００５７】また、図２２に示した自己保持回路は、例
えば、「フェールセーフ・ウインドウ・コンパレータ／
ＡＮＤゲートの開発とその応用」（平成３年電気学会産
業応用部門全国大会）や特開昭５６−１２５１１７号公
報等で公知のフェールセーフな自己保持回路を用いるこ
とが出来る。この自己保持回路は、図２８に示したフェ
ールセーフ・ウインドウ・コンパレータと、整流回路
と、帰還抵抗とを備えて構成される。ウインドウ・コン
パレータの一方の入力端子をトリガ端子とし、他方の入
力端子をホールド端子とし、ウインドウ・コンパレータ
の発振出力を整流回路で整流して帰還抵抗を介してトリ
ガ端子側にフィードバックする。自己保持回路の出力と
しては、図２８に示した整流回路２０３の整流出力を用
いる。

【００５８】そして、両入力端子に共に論理値１の入力
信号が入力すると論理値１の出力を発生し、この論理値
１の出力をトリガ端子側にフィードバックしてトリガ入
力を自己保持する。ホールド端子入力が論理値０になら
ない限り、論理値１の出力は保持され、一旦ホールド端
子入力が論理値０になると、ウィンドウ・コンパレータ
の出力が論理値０となり、再び、トリガ入力が論理値１
となってもホールド端子に論理値１の信号が入力しない
限り、論理値１の出力が発生しない。

【００５９】以上のようなフェールセーフな素子・回路
を用い、更に、使用する増幅器を故障時増幅度が増大せ
ず、且つ、自己発振しないように構成することで、フェ
ールセーフなボルトの締結確認装置とすることが出来
る。そのようなフェールセーフな増幅器は、例えば前述
の国際公開ＷＯ９４／２３３０３等で公知である。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜１２に
記載の発明によれば、締結具が所定位置までねじ込まれ
ているか否かを確認できるので、締結具によって結合さ
れた互いの部材がしっかりと結合されていることを確認
でき、例えば圧力容器等のような、蓋がはずれた時に危
険を伴う容器を取り扱う作業者等の安全性が向上する。

【００６１】また、請求項１３及び１４に記載の発明に
よれば、締結具の緩みも検出できるので、互いの部材の
結合状態の異常を早期に発見でき、事故等を未然に防止
できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用するチャンバーの正面図

【図２】本発明の第１実施形態の位置検出部の構成図

【図３】同上第１実施形態の全体回路図

【図４】本発明の第２実施形態の位置検出部の構成図

【図５】（Ａ），（Ｂ）磁性体の異なる形状例を示す図

【図６】コイルのインダクタンス変化を用いた実施形態
の全体回路図

【図７】本発明の別の実施形態の位置検出部の構成図

【図８】図７の実施形態の全体回路図

【図９】ボルトを覆うカバーを示す斜視図

【図１０】送受信側コイルによりカバー位置を検出する
場合の実施形態を示す図

【図１１】図１０の実施形態の動作説明図

【図１２】（Ａ），（Ｂ）カバー位置を検出する別の実
施形態を示す図

【図１３】（Ａ），（Ｂ）カバー位置を検出する更に別
の実施形態を示す図

【図１４】スライド式のカバーの例を示す図

【図１５】スライド式カバーによるボルト位置検出原理
の説明図

【図１６】スライド式カバー位置を送受信側コイルを用
いて検出する場合の実施形態を示す図

【図１７】スライド式カバー位置を検出する別の実施形
態を示す図

【図１８】スライド式カバー位置を検出する更に別の実
施形態を示す図

【図１９】ボルト緩み検出機能を有する実施形態の位置
検出部の構成図

【図２０】図１９の受光器出力と光幕幅の関係図

【図２１】図１９の実施形態の全体回路図

【図２２】図２１の具体的な回路構成図

【図２３】ボルト緩み検出機能を有する別の実施形態の
位置検出部の構成図

【図２４】図２３の実施形態の容量測定部の回路図

【図２５】図２４の回路のコンデンサ容量と整流出力レ
ベルの関係図

【図２６】（Ａ）ボルト緩み検出機能を有する更に別の
実施形態の位置検出部の構成図、（Ｂ）動作説明図

【図２７】（Ａ）ボルト緩み検出機能を有する更に別の
実施形態の位置検出部の構成図、（Ｂ）動作説明図

【図２８】本実施形態に適用するフェールセーフ・ウィ
ンドウ・コンパレータの回路図

【符号の説明】

２チャンバー本体３蓋４ａ〜４ｄボルト５磁性体６送信側コイル７受信側コイル１０判定部１４コイル１５ブリッジ回路２１投光器２２受光器３１，３１′ カバー４０多光軸光線式センサ４３レベル検定部４４変化検出部４５ＡＮＤゲート４６記憶部５２，５４電極板５５容量測定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いの部材間を螺合締結する締結具が正常
に締め付けられていることを確認する締結具の締結確認
装置であって、締結具の位置を検出する位置検出手段
と、該位置検出手段からの検出出力に基づいて締結具が
所定のねじ込み位置まで到達している時に正常判定出力
を発生する判定手段とを備えて構成したことを特徴とす
る締結具の締結確認装置。
【請求項２】前記位置検出手段が、締結具の位置を直接
検出する構成である請求項１に記載の締結具の締結確認
装置。
【請求項３】前記位置検出手段は、前記締結具側に磁性
体を設ける共に、前記互いの部材のどちらか一方に送信
側コイルと受信側コイルを設け、締結具が前記所定のね
じ込み位置に到達した時に前記送信側コイルと受信側コ
イルとの間に前記磁性体を介した磁路が形成される構成
である請求項２に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項４】前記位置検出手段は、前記締結具側に磁性
体を設ける共に、前記互いの部材のどちらか一方にコイ
ルを設け、締結具が前記所定のねじ込み位置に到達した
時に前記コイルのインダクタンスが変化する構成である
請求項２に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項５】前記位置検出手段は、前記締結具の頭部を
挟んで互いに対向させて投光手段と受光手段を配置し、
締結具が前記所定のねじ込み位置に到達した時に前記投
光手段からの光ビームが受光手段で受光される構成であ
る請求項２に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項６】前記位置検出手段は、前記締結具の頭部を
挟んで互いに対向し締結具の進退方向に沿って前記頭部
上方まで延長して多数配列される一対の投光素子と受光
素子をそれぞれ有する投光手段と受光手段からなる多光
軸光線式センサを備え、該多光軸光線式センサの受光出
力レベルが締結具のねじ込み位置に応じて変化する構成
である請求項２に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項７】前記位置検出手段は、前記締結具の頭部上
面に電極板を設け、該電極板と間隔を有して対向する別
の電極板を設け、両電極板間の距離に対応する静電容量
値を検出する構成である請求項２に記載の締結具の締結
確認装置。
【請求項８】前記位置検出手段が、締結具が所定のねじ
込み位置に到達した時に位置が確定する位置確定手段の
位置を検出する構成である請求項１に記載の締結具の締
結確認装置。
【請求項９】前記位置確定手段が、締結具取付け部上方
に設けられ締結具が前記所定のねじ込み位置にある時の
み正常な所定位置で閉じて締結具取付け部を覆うカバー
であり、前記位置検出手段が、前記カバー位置を検出す
る構成である請求項８に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項１０】前記位置検出手段は、前記カバーを支持
する支持部と該支持部に開閉可能に支持される前記カバ
ーのどちらか一方に磁性体を設け、他方に送信側コイル
と受信側コイルを設け、カバーが前記正常な所定位置で
閉じた時に前記送信側コイルと受信側コイルとの間に前
記磁性体を介した磁路が形成される構成である請求項８
に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項１１】前記位置検出手段は、前記カバーを支持
する支持部と該支持部に開閉可能に支持される前記カバ
ーのどちらか一方に磁性体を設け、他方にコイルを設
け、カバーが前記正常な所定位置で閉じた時に前記コイ
ルのインダクタンスが変化する構成である請求項８に記
載の締結具の締結確認装置。
【請求項１２】前記位置検出手段は、前記投光手段及び
該投光手段からの光ビームを受光する受光手段を備え、
前記カバーが前記正常な所定位置で閉じた時に前記投光
手段からの光ビームが受光手段で受光される構成である
請求項８に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項１３】前記判定手段は、所定のねじ込み位置に
あった締結具が緩んだことを判定可能な構成である請求
項１に記載の締結具の締結確認装置。
【請求項１４】前記判定手段は、予め定められた閾値を
有し前記位置検出手段の出力レベルを前記閾値を比較し
位置検出手段出力レベルが閾値以上の時に高レベルの出
力を発生するレベル検定部と、前記位置検出手段の出力
レベルが変化したことを検出する変化検出部と、前記レ
ベル検定部から高レベル出力が入力した時に当該高レベ
ル出力を記憶して高レベルの正常判定出力を発生し、高
レベル出力記憶後に前記変化検出部から変化検出出力が
発生した時に前記記憶が消滅して低レベルの異常判定出
力を発生する記憶部とを備える構成である請求項１３に
記載の締結具の締結確認装置。