JPH11129134A

JPH11129134A - 移動テーブル

Info

Publication number: JPH11129134A
Application number: JP29896597A
Authority: JP
Inventors: Katsuyoshi Suzuki; 克義鈴木
Original assignee: NTN Corp; NTN Toyo Bearing Co Ltd
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1997-10-30
Filing date: 1997-10-30
Publication date: 1999-05-18

Abstract

(57)【要約】【課題】別体の加圧ユニットなしで貼り合わせや圧着
作業が可能な移動テーブルを提供することである。【解決手段】可動盤３の上面側にリング状の凹部２ａ
を設け、この凹部２ａにピストン２ｂを組み込んでシリ
ンダーを形成し、ステージ５をピストン２ｂの上面に固
定するとともに、ステージ５の下面にストッパー１９が
装着されたガイドピン１８を取り付け、このガイドピン
１８を可動盤３に埋め込まれたガイド部材２０で案内す
ることにより、ステージ５を高精度で昇降できるように
し、ワークの貼り合わせや圧着作業を可能としたのであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを平面上
で移動させる移動テーブルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】加工装置や検査装置等に組み込まれてワ
ークの位置決めに使用される移動テーブルは、固定盤の
上に可動盤が配置され、この可動盤が駆動装置により固
定盤の上面に平行な平面内で移動して、位置決めされる
構成のものが多い。この種の移動テーブルには、可動盤
が前記平面内の直交する２軸方向に移動可能なＸＹテー
ブルと、前記２軸方向の移動に加えて可動盤が前記平面
内で回動可能なＸＹθテーブルとがある。

【０００３】上記のような移動テーブルが組み込まれた
装置では、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用
のフラットパネル基板を貼り合わせたり、基板等にフィ
ルムを圧着する作業を行なう場合がある。従来、このよ
うな場合は、移動テーブルでワークの位置決めをしたの
ち、加工装置等に別に組み込まれた加圧ユニットを用い
て移動テーブル全体を昇降させたり、移動テーブルの上
方から加圧ユニットのシリンダーを下降させたりして、
前述の貼り合わせや圧着作業を行なっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の貼り合
わせや圧着作業では、位置決め用の移動テーブルのほか
に別体の加圧ユニットを必要とする問題がある。この加
圧ユニットを加工装置等に組み込む際には、加工装置等
の作業台や移動テーブルの高さに制約されて、加圧ユニ
ットを組み込む高さスペースを確保できない場合があ
る。また、加圧ユニットを移動テーブルの上方に組み込
む場合は、その支持のための部材を配置するスペースの
確保が困難な場合もある。加圧ユニットを移動テーブル
の下に組み込む場合は、移動テーブル全体を昇降させる
ために、大きな容量の加圧ユニットを必要とする問題も
ある。

【０００５】また、上記の貼り合わせや圧着作業では、
貼り合わせ等のためのパーツを保持する保持ピンや、仕
上がったワークを取り外すための突き上げピン等を必要
とする場合が多い。これらのピンは移動テーブルのステ
ージ内で上下できるように設置する必要があり、中央の
孔が小さい移動テーブルでは、これらのピンを可動盤の
移動と干渉しない位置に取り付けるのが困難な問題もあ
る。

【０００６】そこで、この発明の課題は、別体の加圧ユ
ニットなしで貼り合わせや圧着作業が可能な移動テーブ
ルを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明は、固定盤の上に可動盤が配置され、こ
の可動盤が、駆動装置により前記固定盤の上面に平行な
平面内で移動して、位置決めされる移動テーブルにおい
て、前記可動盤の上面側に、この面と垂直な方向に作動
するシリンダーを組み込み、この可動盤の上に前記シリ
ンダーで昇降するステージを配置した構成を採用したの
である。

【０００８】すなわち、可動盤の上面側に、この面と垂
直な方向に作動するシリンダーを組み込むことにより、
この可動盤の上に配置されたステージに載置されるワー
クもしくはワークのパーツをステージとともに昇降さ
せ、前述した貼り合わせや圧着作業を行なうことができ
る。この場合、固定盤と可動盤は昇降しないため、シリ
ンダーの容量を必要最小限のものとすることができる。
前記ステージはシリンダーのピストンと一体に形成する
こともできる。

【０００９】前記シリンダーを前記固定盤の下面側に、
この面と垂直な方向に作動するように組み込む構成とし
ても、前述と同様の機能を得ることができる。

【００１０】前記ステージの昇降を案内する手段を設け
ることにより、ステージの昇降に際して、前記貼り合わ
せや圧着作業のために位置決めされたワーク等の位置を
精度よく保つことができる。

【００１１】また、前記ステージの上面にピンを立てる
ことにより、このピンを使用して、ワーク等をステージ
上で位置決めしたり、ステージ上方に浮かせて保持した
りすることができる。

【００１２】さらに、前記ステージに上下方向の貫通孔
を形成し、この貫通孔に挿入されて前記シリンダーで上
下する突き上げピンを設けることにより、仕上がったワ
ークをこの突き上げピンでステージから突き上げ、ワー
クの取り出しを容易にすることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図１乃至図８に基づき、こ
の発明の実施形態を説明する。

【００１４】図１乃至図４に第１の実施形態を示す。図
１は移動テーブルの分解斜視図、図２はその組み立て
図、図３は縦断面図である。この移動テーブルは、固定
盤１と、シリンダー２が組み込まれた可動盤３と、この
可動盤３を水平面内で移動させる３つの直線駆動装置４
と、ステージ５とで基本的に構成されたＸＹθテーブル
である。

【００１５】前記固定盤１の２つの平行な側面と、これ
らに直交する１つの側面には、直線駆動装置４が各々１
つづつ金具６で取り付けられ、各駆動装置４の伸縮部７
先端が継手８を介して前記可動盤３に連結されている。
この継手８は回動ピン９とスライド軸受１０を有し、こ
の各スライド軸受１０が、可動盤３の側面に金具１１で
取り付けられた各案内レール１２に係合されている。固
定盤１と可動盤３の間には、可動盤３の移動を円滑にす
るためのスラスト軸受１３が組み込まれている。前記３
つの駆動装置４の伸縮量の組み合わせにより、可動盤３
が固定盤１上で平行移動や回動し、位置決めされる。移
動テーブルの中央部には、ワークに光等を照射するため
の孔１４が設けられている。

【００１６】前記可動盤３の上面側には、リング状の凹
部２ａが設けられ、この凹部２ａにＯリング１５を装着
されたピストン２ｂが組み込まれてシリンダー２を形成
している。凹部２ａの下部側面には、ピストン２ｂを昇
降させるための圧搾空気用のエアー配管１６が接続され
ている。

【００１７】前記ステージ５は、ボルト１７で前記ピス
トン２ｂの上面に固定され、ステージ５の下面コーナー
部には４本のガイドピン１８が取り付けられている。こ
のガイドピン１８の頭部には、前記シリンダー２のスト
ロークを規制するストッパー１９が装着されている。

【００１８】前記可動盤３のコーナー部には、図４に示
すように、前記各ガイドピン１８を案内する筒状のガイ
ド部材２０が埋め込まれている。このガイド部材２０の
下方には、前記シリンダー２のストロークで上下する前
記ガイドピン１８の頭部を収納する凹部２１が設けられ
ている。前記ガイドピン１８とガイド部材２０の案内部
はスプライン構造とすることもできる。また、このスプ
ラインをボールスプラインとしてもよい。

【００１９】前記エアー配管１６から凹部２ａに圧搾空
気を入れると、ピストン２ｂは、図３（ａ）に示す状態
から上昇し、図３（ｂ）に示すように、ステージ５がガ
イドピン１８とガイド部材２０で案内されて、前記スト
ッパー１９が前記ガイド部材２０の縁に当たる位置で停
止する。圧着作業の場合は、ステージ５の上方に前記シ
リンダー２のストローク内でフィルム等のパーツがセッ
トされ、ステージ５に載置された基板等がこのパーツに
押圧される。

【００２０】図５および図６は、第２の実施形態を示
す。この移動テーブルは、図５に示すように、検査装置
の作業台２２の下方に配置され、第１の実施形態の移動
テーブルのステージ５上面に、前記作業台２２に設けら
れた貫通孔２３の位置に合わせて突き上げピン２４が立
てられたものである。この移動テーブルは、図６（ａ）
に示すように、前記シリンダー２を作動させて、突き上
げピン２４で作業台２２上で検査が終了したワーク２５
を突き上げるようになっている。この突き上げピン２４
の頭部には、図６（ｂ）に示すように、ワーク２５の位
置決めのための切欠き部２６が設けられている。

【００２１】図７は第３の実施形態を示す。この移動テ
ーブルは、図７（ａ）に示すように、基本的な構成は第
１の実施形態と同じであるが、前記ピストン２ｂの上面
に突き上げピン２７が立てられている点が異なる。ステ
ージ２８には、この突き上げピン２７の位置に合わせて
貫通孔２９が設けられている。

【００２２】この移動テーブルは、前記シリンダー２を
作動させることによりピストン２ｂが上昇して、まず図
７（ｂ）に示すように、前記突き上げピン２７でステー
ジ２８上のワーク３０が突き上げられ、つぎに図７
（ｃ）に示すように、ステージ２８と突き上げピン２７
がさらに上昇してワーク３０を持ち上げる。この持ち上
げられたワーク３０はロボットハンドや真空吸盤等で搬
出される。

【００２３】図８は第４の実施形態を示す。この移動テ
ーブルも、図８（ａ）に示すように、作業台３１の下方
に配置され、第１の実施形態と同じ移動テーブルのステ
ージ５に、ワーク３２を仮位置決めするためのピン３３
が立てられている。このピン３３は、図８（ｂ）に示す
ように、ステージ５の上面対角コーナー部に立てられ、
このピン３３がワーク３２の位置決め用孔３４に嵌め込
まれるようになっている。

【００２４】前記作業台３１の下面にはフィルム３５が
真空吸着でセットされ、前記駆動装置４で可動盤３の位
置決めをしたのち、前記シリンダー２を作動させること
によりステージ５が上昇して、前記ワーク３２にこのフ
ィルム３５が圧着されるようになっている。

【００２５】以上の各実施形態は、３つの駆動装置で可
動盤が移動するＸＹθテーブルについて述べたが、本発
明の移動テーブルは、固定盤上面に平行な平面内で可動
盤が移動するタイプのものであればよく、可動盤の駆動
方式や案内方式は種々のものを採用することができる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように、この発明の移動テーブル
は、可動盤の上面側もしくは固定盤の下面側に、これら
の面と垂直な方向に作動するシリンダーを組み込み、可
動盤の上に配置されたステージを昇降させるようにした
ので、別体の加圧ユニットなしで、ステージ上でワーク
の貼り合わせや圧着作業を行なうことができる。また、
前記ステージやシリンダーのピストンにピンを立てるこ
とにより、これらのピンをシリンダーの作動で上下さ
せ、ステージ上のワークの突き上げや保持に活用するこ
ともできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施形態を示す分解斜視図

【図２】図１の組み立て斜視図

【図３】ａ、ｂは図２の作動を説明する縦断面図

【図４】図３の要部拡大断面図

【図５】第２の実施形態を示す縦断面図

【図６】ａは図５の要部拡大断面図、ｂは図５の一部省
略平面図

【図７】ａは第３の実施形態を示す縦断面図、ｂ、ｃは
ａの作動を説明する要部拡大断面図

【図８】ａは第４の実施形態を示す正面図、ｂはａの要
部分解斜視図

【符号の説明】

１固定盤２シリンダー２ａ凹部２ｂピストン３可動盤４駆動装置５ステージ６金具７伸縮部８継手９回動ピン１０スライド軸受１１金具１２レール１３スラスト軸受１４孔１５Ｏリング１６エアー配管１７ボルト１８ガイドピン１９ストッパー２０ガイド部材２１凹部２２作業台２３貫通孔２４突き上げピン２５ワーク２６切欠き部２７突き上げピン２８ステージ２９貫通孔３０ワーク３１作業台３２ワーク３３ピン３４孔３５フィルム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定盤の上に可動盤が配置され、この可
動盤が、駆動装置により前記固定盤の上面に平行な平面
内で移動して、位置決めされる移動テーブルにおいて、
前記可動盤の上面側に、この面と垂直な方向に作動する
シリンダーが組み込まれ、この可動盤の上に前記シリン
ダーで昇降するステージが配置されたことを特徴とする
移動テーブル。
【請求項２】前記ステージの昇降を案内する手段が設
けられた請求項１に記載の移動テーブル。
【請求項３】前記ステージの上面にピンが立てられた
請求項１または請求項２に記載の移動テーブル。
【請求項４】前記ステージに上下方向の貫通孔が形成
され、この貫通孔に挿入されて前記シリンダーで上下す
る突き上げピンが設けられた請求項１または請求項２に
記載の移動テーブル。
【請求項５】固定盤の上に可動盤が配置され、この可
動盤が、駆動装置により前記固定盤の上面に平行な平面
内で移動して、位置決めされる移動テーブルにおいて、
前記固定盤の下面側に、この面と垂直な方向に作動する
シリンダーが組み込まれたことを特徴とする移動テーブ
ル。