JPH11108835A - 赤外線検出器及び赤外線式ガス分析計 - Google Patents
赤外線検出器及び赤外線式ガス分析計Info
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- JPH11108835A JPH11108835A JP26678797A JP26678797A JPH11108835A JP H11108835 A JPH11108835 A JP H11108835A JP 26678797 A JP26678797 A JP 26678797A JP 26678797 A JP26678797 A JP 26678797A JP H11108835 A JPH11108835 A JP H11108835A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動のある場所でも高感度で赤外線を検出で
き、赤外線ガス分析を実現する。 【解決手段】 検出器４の室内を、固定電極９を挟んで
両側に対向配置した2 つのコンデンサ膜１０、１１によ
り固定電極９を有する中間室１２とその両側室１３、１
３の3 室に分離すると共に各室内部に赤外線を吸収する
ガスを充填したものである。この検出器４では、１つの
固定電極９と２つのコンデンサ膜１０、１１とによって
２つのコンデンサＣ１、Ｃ２が形成され、これら２つの
コンデンサＣ１、Ｃ２が電気的に並列に接続された、そ
の電気容量の変化を検出するものである。
き、赤外線ガス分析を実現する。 【解決手段】 検出器４の室内を、固定電極９を挟んで
両側に対向配置した2 つのコンデンサ膜１０、１１によ
り固定電極９を有する中間室１２とその両側室１３、１
３の3 室に分離すると共に各室内部に赤外線を吸収する
ガスを充填したものである。この検出器４では、１つの
固定電極９と２つのコンデンサ膜１０、１１とによって
２つのコンデンサＣ１、Ｃ２が形成され、これら２つの
コンデンサＣ１、Ｃ２が電気的に並列に接続された、そ
の電気容量の変化を検出するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボイラーなどの燃
焼排ガス測定、大気測定、自動車排ガス測定などの環境
監視用として、あるいは鉄鋼、窯業、石油化学プラント
のプロセスガスの濃度監視や制御用として広く用いられ
る、ガス固有の赤外線吸収特性を利用したガス分析計及
び同分析計にも使用される赤外線検出器に関する。
焼排ガス測定、大気測定、自動車排ガス測定などの環境
監視用として、あるいは鉄鋼、窯業、石油化学プラント
のプロセスガスの濃度監視や制御用として広く用いられ
る、ガス固有の赤外線吸収特性を利用したガス分析計及
び同分析計にも使用される赤外線検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の赤外線検出器及び赤外線式ガス分
析計は、図５に示されるとおり、その光学系は、光源
１、比較セル２、試料セル３及び検出器４から構成さ
れ、光源エレメントから出射した光は２つの光束に分け
られて、モータ５により駆動される回転セクタ６で断続
光となり、比較セル２及び試料セル３を透過して検出器
４に到達する。比較セル２には、赤外線を吸収しないガ
ス、例えば窒素ガスが封入されており、赤外線の吸収が
ないため比較セル２を透過した光の波形（Ｃ）は入射光
（Ａ）とほぼ同形である。これに対して、試料ガスが流
れている試料セル３においては、試料ガス中の測定成分
の濃度に応じた赤外線の吸収が起きるため、その透過光
の波形（Ｄ）は、入射光の波形（Ｂ）のうち測定成分の
吸収帯のみが少なくなっている。
析計は、図５に示されるとおり、その光学系は、光源
１、比較セル２、試料セル３及び検出器４から構成さ
れ、光源エレメントから出射した光は２つの光束に分け
られて、モータ５により駆動される回転セクタ６で断続
光となり、比較セル２及び試料セル３を透過して検出器
４に到達する。比較セル２には、赤外線を吸収しないガ
ス、例えば窒素ガスが封入されており、赤外線の吸収が
ないため比較セル２を透過した光の波形（Ｃ）は入射光
（Ａ）とほぼ同形である。これに対して、試料ガスが流
れている試料セル３においては、試料ガス中の測定成分
の濃度に応じた赤外線の吸収が起きるため、その透過光
の波形（Ｄ）は、入射光の波形（Ｂ）のうち測定成分の
吸収帯のみが少なくなっている。
【０００３】検出器４としてはその室内が比較側と試料
側に対応して金属薄膜により２室に分離され、一方側の
室内に配置された固定電極と金属薄膜との間にコンデン
サを形成している。また、検出器４の室内には、測定成
分がある濃度で封入されており、測定成分の固有の波長
の光のみが選択的に吸収される。
側に対応して金属薄膜により２室に分離され、一方側の
室内に配置された固定電極と金属薄膜との間にコンデン
サを形成している。また、検出器４の室内には、測定成
分がある濃度で封入されており、測定成分の固有の波長
の光のみが選択的に吸収される。
【０００４】この検出器４で、比較セル２と試料セル３
を透過した断続光の光量差（熱エネルギーの差）を圧力
差に変換し、これをコンデンサ容量の変化として検出し
て、増幅など電気信号処理のあと、出力信号として取り
出す。
を透過した断続光の光量差（熱エネルギーの差）を圧力
差に変換し、これをコンデンサ容量の変化として検出し
て、増幅など電気信号処理のあと、出力信号として取り
出す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の赤外線検出器では外部振動に対して弱い、即
ち、コンデンサを形成する金属薄膜が外部振動の影響を
受け易く、特に同薄膜の変位方向に外部から振動を受け
た場合には測定指示に直ちに影響を受けるという問題点
があった。従って、赤外線式ガス分析計としても振動の
ある場所での測定には不向きであった。
うな従来の赤外線検出器では外部振動に対して弱い、即
ち、コンデンサを形成する金属薄膜が外部振動の影響を
受け易く、特に同薄膜の変位方向に外部から振動を受け
た場合には測定指示に直ちに影響を受けるという問題点
があった。従って、赤外線式ガス分析計としても振動の
ある場所での測定には不向きであった。
【０００６】また、従来の検出器では、比較セルと試料
セルを透過した断続光の光量差（熱エネルギーの差）を
圧力差に変換し、これをコンデンサ容量の変化として検
出するのであるが、十分な光量差がない場合、即ち試料
ガス中の測定成分の濃度が低い場合には、これを圧力差
として感度よく検出することに少なからず限界があっ
た。従って、赤外線式ガス分析計としても高感度のガス
分析が行えなかった。
セルを透過した断続光の光量差（熱エネルギーの差）を
圧力差に変換し、これをコンデンサ容量の変化として検
出するのであるが、十分な光量差がない場合、即ち試料
ガス中の測定成分の濃度が低い場合には、これを圧力差
として感度よく検出することに少なからず限界があっ
た。従って、赤外線式ガス分析計としても高感度のガス
分析が行えなかった。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、外部か
らの振動にも強く、従って、振動のある場所でも高感度
のガス分析が可能な赤外線検出器及び赤外線式ガス分析
計を提供することを目的としている。
らの振動にも強く、従って、振動のある場所でも高感度
のガス分析が可能な赤外線検出器及び赤外線式ガス分析
計を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の赤外線検出器においては、検出器の室内
を、固定電極を挟んで両側に対向配置した2 つのコンデ
ンサ膜により固定電極を有する中間室とその両側室の3
室に分離すると共に各室内部に赤外線を吸収するガスを
充填したものである。従って、この検出器では、１つの
固定電極と２つのコンデンサ膜とによって２つのコンデ
ンサが形成され、図２の等価電気回路に示されるよう
に、これら２つのコンデンサが電気的に並列に接続され
た、その電気容量の変化を検出するものである。
に、本発明の赤外線検出器においては、検出器の室内
を、固定電極を挟んで両側に対向配置した2 つのコンデ
ンサ膜により固定電極を有する中間室とその両側室の3
室に分離すると共に各室内部に赤外線を吸収するガスを
充填したものである。従って、この検出器では、１つの
固定電極と２つのコンデンサ膜とによって２つのコンデ
ンサが形成され、図２の等価電気回路に示されるよう
に、これら２つのコンデンサが電気的に並列に接続され
た、その電気容量の変化を検出するものである。
【０００９】また、本発明の赤外線式ガス分析計におい
ては、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに同時
に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で検出して
試料ガス中の測定成分の濃度を求める方式の赤外線式ガ
ス分析計であって、検出器として上記赤外線検出器を用
い、比較セルと測定セルを透過した赤外線を、検出器の
中間室又は両側室の一方側に連通する受光室と同中間室
又は両側室の他方側に連通する受光室で別々に同時に受
光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つのコ
ンデンサ膜の圧力差から試料ガス中の測定成分の濃度を
求めるようにしたものである。
ては、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに同時
に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で検出して
試料ガス中の測定成分の濃度を求める方式の赤外線式ガ
ス分析計であって、検出器として上記赤外線検出器を用
い、比較セルと測定セルを透過した赤外線を、検出器の
中間室又は両側室の一方側に連通する受光室と同中間室
又は両側室の他方側に連通する受光室で別々に同時に受
光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つのコ
ンデンサ膜の圧力差から試料ガス中の測定成分の濃度を
求めるようにしたものである。
【００１０】さらに、本発明の赤外線式ガス分析計にお
いては、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに交
互に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で検出し
てその強度比から試料ガス中の測定成分の濃度を求める
方式の赤外線式ガス分析計であって、検出器として上記
赤外線検出器を用い、検出器の中間室又は両側室の一方
側に連通する受光室と同中間室又は両側室の他方側に連
通する受光室を直列に配置して、比較セルと測定セルを
交互に透過した赤外線を直列配置の２つの受光室を通し
て受光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つ
のコンデンサ膜の圧力差の比から試料ガス中の測定成分
の濃度を求めるようにしたものである。
いては、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに交
互に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で検出し
てその強度比から試料ガス中の測定成分の濃度を求める
方式の赤外線式ガス分析計であって、検出器として上記
赤外線検出器を用い、検出器の中間室又は両側室の一方
側に連通する受光室と同中間室又は両側室の他方側に連
通する受光室を直列に配置して、比較セルと測定セルを
交互に透過した赤外線を直列配置の２つの受光室を通し
て受光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つ
のコンデンサ膜の圧力差の比から試料ガス中の測定成分
の濃度を求めるようにしたものである。
【００１１】さらにまた、本発明の赤外線式ガス分析計
においては、ゼロガスと試料ガスが交互に導入される測
定セルに赤外線を照射し、測定セルを透過した赤外線を
検出器で検出して試料ガス中の測定成分の濃度を求める
方式の赤外線式ガス分析計であって、検出器として上記
検出器を用い、測定セルを透過した赤外線を、検出器の
中間室又は両側室のいずれか一方側に連通する受光室で
受光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つの
コンデンサ膜の圧力差から試料ガス中の測定成分の濃度
を求めるようにしたものである。
においては、ゼロガスと試料ガスが交互に導入される測
定セルに赤外線を照射し、測定セルを透過した赤外線を
検出器で検出して試料ガス中の測定成分の濃度を求める
方式の赤外線式ガス分析計であって、検出器として上記
検出器を用い、測定セルを透過した赤外線を、検出器の
中間室又は両側室のいずれか一方側に連通する受光室で
受光し、検出器の中間室と両側室との間を仕切る２つの
コンデンサ膜の圧力差から試料ガス中の測定成分の濃度
を求めるようにしたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施例の赤外線検出器並びに赤外線式ガス分析計を
説明するに、図１に本発明の赤外線検出器の基本的構成
を、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに同時に
照射し、両セルを透過した赤外線を２つの受光室７、８
で別々に同時に受光して試料ガス中の測定成分の濃度を
求める方式の赤外線式ガス分析計（図５参照）に適用し
た例として示す。
の一実施例の赤外線検出器並びに赤外線式ガス分析計を
説明するに、図１に本発明の赤外線検出器の基本的構成
を、赤外線を断続光として比較セルと測定セルに同時に
照射し、両セルを透過した赤外線を２つの受光室７、８
で別々に同時に受光して試料ガス中の測定成分の濃度を
求める方式の赤外線式ガス分析計（図５参照）に適用し
た例として示す。
【００１３】図２において、固定電極９はその両端に数
十μｍ程度の隙間をもって検出器４の室内に設けられ、
かつ両側には２つのコンデンサ膜（金属薄膜）１０、１
１が対向配置され、これにより検出器４の室内は、固定
電極９を有する中間室１２とその両側室１３、１３の３
室に分離される。
十μｍ程度の隙間をもって検出器４の室内に設けられ、
かつ両側には２つのコンデンサ膜（金属薄膜）１０、１
１が対向配置され、これにより検出器４の室内は、固定
電極９を有する中間室１２とその両側室１３、１３の３
室に分離される。
【００１４】固定電極９と２つのコンデンサ膜１０、１
１とから２つのコンデンサが形成される。これらコンデ
ンサＣ１、Ｃ２は図２の等価電気回路のように電気的に
並列に接続され、その電気容量の変化がプリアンプで検
知される。また、各室内部には赤外線を吸収するガス
（測定成分）がある濃度で充填されている。
１とから２つのコンデンサが形成される。これらコンデ
ンサＣ１、Ｃ２は図２の等価電気回路のように電気的に
並列に接続され、その電気容量の変化がプリアンプで検
知される。また、各室内部には赤外線を吸収するガス
（測定成分）がある濃度で充填されている。
【００１５】固定電極９を有する中間室１２は１つの受
光室、例えば測定セル３を透過した光を受光する受光室
８に連通され、コンデンサ膜１０、１１で仕切られた両
側室１３、１３は他方の受光室、例えば比較セル２を透
過した光を受光する受光室７に連通される。
光室、例えば測定セル３を透過した光を受光する受光室
８に連通され、コンデンサ膜１０、１１で仕切られた両
側室１３、１３は他方の受光室、例えば比較セル２を透
過した光を受光する受光室７に連通される。
【００１６】従って、２つの受光室７、８の圧力差の変
化は２つのコンデンサで検知することになり、受感面積
（容量）が従来に比し２倍となるので、圧力変化に対す
る容量変化が大きく、感度が向上する。また、コンデン
サ膜１０、１１の変位方向に外部から振動を受けた場
合、その振動（膜の動き）は２つのコンデンサの容量に
影響は及ぼすが、２つのコンデンサでその影響が逆とな
り（一方の容量が増加すれば他方のそれは減少する）、
トータルの容量には影響を及ぼさなくなるので、結果的
に外部振動の影響を受けない測定が可能となる。
化は２つのコンデンサで検知することになり、受感面積
（容量）が従来に比し２倍となるので、圧力変化に対す
る容量変化が大きく、感度が向上する。また、コンデン
サ膜１０、１１の変位方向に外部から振動を受けた場
合、その振動（膜の動き）は２つのコンデンサの容量に
影響は及ぼすが、２つのコンデンサでその影響が逆とな
り（一方の容量が増加すれば他方のそれは減少する）、
トータルの容量には影響を及ぼさなくなるので、結果的
に外部振動の影響を受けない測定が可能となる。
【００１７】図３は、赤外線を断続光として比較セル２
と測定セル３に交互に照射し、両セル２、３を透過した
赤外線を検出器で検出してその強度比から試料ガス中の
測定成分の濃度を求めるレシオ方式の赤外線式ガス分析
計に本発明検出器を適用した実施例を示す。
と測定セル３に交互に照射し、両セル２、３を透過した
赤外線を検出器で検出してその強度比から試料ガス中の
測定成分の濃度を求めるレシオ方式の赤外線式ガス分析
計に本発明検出器を適用した実施例を示す。
【００１８】図３において、レシオ方式の赤外線式ガス
分析計の動作原理を簡単に説明すると、光学系は上述し
た両セル同時照射方式の分析計（図５参照）と同様に、
光源５、セル２、３、検出器４で構成されているが、光
源５から放射された赤外線は回転セクタ６により比較セ
ル２と試料セル３に交互にパルス状に導入され、両セル
２、３を透過した赤外線は交互に検出器４に達し、この
検出器４は前室と後室に分離されている。また、検出器
４の内部には同様に測定成分が適当な濃度で封入されて
いる。このため、検出器４に入射した赤外線のうち測定
成分の吸収帯のみが前室と後室で吸収され、前室と後室
の圧力差（赤外線強度）が信号として検出され、この両
セル２、３の赤外線強度比から測定成分のガス濃度を求
める。
分析計の動作原理を簡単に説明すると、光学系は上述し
た両セル同時照射方式の分析計（図５参照）と同様に、
光源５、セル２、３、検出器４で構成されているが、光
源５から放射された赤外線は回転セクタ６により比較セ
ル２と試料セル３に交互にパルス状に導入され、両セル
２、３を透過した赤外線は交互に検出器４に達し、この
検出器４は前室と後室に分離されている。また、検出器
４の内部には同様に測定成分が適当な濃度で封入されて
いる。このため、検出器４に入射した赤外線のうち測定
成分の吸収帯のみが前室と後室で吸収され、前室と後室
の圧力差（赤外線強度）が信号として検出され、この両
セル２、３の赤外線強度比から測定成分のガス濃度を求
める。
【００１９】検出器４には本発明の検出器が適用され、
前室の受光室１４が固定電極９を有する中間室１２に連
通され、後室の受光室１５がコンデンサ膜１０、１１で
仕切られた両側室１３、１３に連通される。従って、上
記実施例と同様に、２つの受光室１４、１５の圧力差の
変化は２倍の容量の検出器で検出することになり、圧力
変化に対する容量変化が大きく、感度が向上する。ま
た、コンデンサ膜１０、１１が対向した位置に配置され
ているので、振動による静電容量変化が２つのコンデン
サでキャンセルされ、外部振動の影響を受けなくなる。
前室の受光室１４が固定電極９を有する中間室１２に連
通され、後室の受光室１５がコンデンサ膜１０、１１で
仕切られた両側室１３、１３に連通される。従って、上
記実施例と同様に、２つの受光室１４、１５の圧力差の
変化は２倍の容量の検出器で検出することになり、圧力
変化に対する容量変化が大きく、感度が向上する。ま
た、コンデンサ膜１０、１１が対向した位置に配置され
ているので、振動による静電容量変化が２つのコンデン
サでキャンセルされ、外部振動の影響を受けなくなる。
【００２０】図４は、ゼロガスと試料ガスが交互に導入
される測定セル１６に赤外線を照射し、測定セル１６を
透過した赤外線を検出器４で検出して試料ガス中の測定
成分の濃度を求める方式の赤外線式ガス分析計に本発明
検出器を適用した実施例を示す。
される測定セル１６に赤外線を照射し、測定セル１６を
透過した赤外線を検出器４で検出して試料ガス中の測定
成分の濃度を求める方式の赤外線式ガス分析計に本発明
検出器を適用した実施例を示す。
【００２１】図４において、検出器４は１つの受光室１
７を有し、この受光室１７は検出器の中間室又は両側室
のいずれか一方側、例えば実施例では中間室の両側の側
室１３、１３に連通している。勿論、検出器４の内部に
は同様に測定成分が適当な濃度で封入されている。従っ
て、測定セル１６にゼロガスと試料ガスとを交互に流
し、そのとき測定セル透過光を１つの受光室１７で受光
し、検出器の中間室１２と両側室１３、１３との間を仕
切る２つのコンデンサ膜１０、１１の圧力差として検出
して試料ガス中の測定成分の濃度を求める。
７を有し、この受光室１７は検出器の中間室又は両側室
のいずれか一方側、例えば実施例では中間室の両側の側
室１３、１３に連通している。勿論、検出器４の内部に
は同様に測定成分が適当な濃度で封入されている。従っ
て、測定セル１６にゼロガスと試料ガスとを交互に流
し、そのとき測定セル透過光を１つの受光室１７で受光
し、検出器の中間室１２と両側室１３、１３との間を仕
切る２つのコンデンサ膜１０、１１の圧力差として検出
して試料ガス中の測定成分の濃度を求める。
【００２２】従って、この実施例においても上記実施例
と同様に、測定セル１７を透過した赤外線を２倍の容量
の検出器で検出することになり、圧力変化に対する容量
変化が大きく、感度が向上する。また、振動による静電
容量変化が２つのコンデンサでキャンセルされ、外部振
動の影響を受けることもない。
と同様に、測定セル１７を透過した赤外線を２倍の容量
の検出器で検出することになり、圧力変化に対する容量
変化が大きく、感度が向上する。また、振動による静電
容量変化が２つのコンデンサでキャンセルされ、外部振
動の影響を受けることもない。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、感度の高い赤外線の検出か可能となり、高
感度ガス分析ができると共に、外部振動に対しても影響
を受けることがないので、振動のある場所でのガス分析
も可能となる。
ているので、感度の高い赤外線の検出か可能となり、高
感度ガス分析ができると共に、外部振動に対しても影響
を受けることがないので、振動のある場所でのガス分析
も可能となる。
【図１】本発明実施例の赤外線検出器を示す概略図であ
る。
る。
【図２】本発明実施例の赤外線検出器の要部等価電気回
路図である。
路図である。
【図３】本発明実施例の赤外線式ガス分析計の概略図で
ある。
ある。
【図４】本発明実施例の他の赤外線式ガス分析計の概略
図である。
図である。
【図５】従来の赤外線式ガス分析計の概略図である。
１…光源 ２…比較セル ３…試料セル ４…検出器
７、８…受光室 ９…固定電極 １０、１１…コンデンサ膜（薄膜） １
２…中間室 １３、１３…側室 １４、１５…受光室 １６…測定セ
ル １７…受光室 Ｃ１、Ｃ２…コンデンサ
７、８…受光室 ９…固定電極 １０、１１…コンデンサ膜（薄膜） １
２…中間室 １３、１３…側室 １４、１５…受光室 １６…測定セ
ル １７…受光室 Ｃ１、Ｃ２…コンデンサ
Claims (4)
- 【請求項１】 検出器の室内を、固定電極を挟んで両側
に対向配置した2 つのコンデンサ膜により固定電極を有
する中間室とその両側室の3 室に分離すると共に各室内
部に赤外線を吸収するガスを充填してなる赤外線検出
器。 - 【請求項２】 赤外線を断続光として比較セルと測定セ
ルに同時に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で
検出して試料ガス中の測定成分の濃度を求める方式の赤
外線式ガス分析計において、 赤外線検出器として、その室内を、固定電極を挟んで両
側に対向配置した２つのコンデンサ膜により固定電極を
有する中間室とその両側室の3 室に分離し、かつ各室内
部に測定成分ガスを封入して構成し、比較セルと測定セ
ルを透過した赤外線を、検出器の中間室又は両側室の一
方側に連通する受光室と同中間室又は両側室の他方側に
連通する受光室で別々に同時に受光し、検出器の中間室
と両側室との間を仕切る２つのコンデンサ膜の圧力差か
ら試料ガス中の測定成分の濃度を求めるようにしたこと
を特徴とする赤外線式ガス分析計。 - 【請求項３】 赤外線を断続光として比較セルと測定セ
ルに交互に照射し、両セルを透過した赤外線を検出器で
検出してその強度比から試料ガス中の測定成分の濃度を
求める方式の赤外線式ガス分析計において、 赤外線検出器として、その室内を、固定電極を挟んで両
側に対向配置した２つのコンデンサ膜により固定電極を
有する中間室とその両側室の3 室に分離し、かつ各室内
部に測定成分ガスを封入して構成し、検出器の中間室又
は両側室の一方側に連通する受光室と同中間室又は両側
室の他方側に連通する受光室を直列に配置して、比較セ
ルと測定セルを交互に透過した赤外線を直列配置の２つ
の受光室を通して受光し、検出器の中間室と両側室との
間を仕切る２つのコンデンサ膜の圧力差の比から試料ガ
ス中の測定成分の濃度を求めるようにしたことを特徴と
する赤外線式ガス分析計。 - 【請求項４】 ゼロガスと試料ガスが交互に導入される
測定セルに赤外線を照射し、測定セルを透過した赤外線
を検出器で検出して試料ガス中の測定成分の濃度を求め
る方式の赤外線式ガス分析計において、 赤外線検出器として、その室内を、固定電極を挟んで両
側に対向配置した２つのコンデンサ膜により固定電極を
有する中間室とその両側室の3 室に分離し、かつ各室内
部に測定成分ガスを封入して構成し、測定セルを透過し
た赤外線を、検出器の中間室又は両側室のいずれか一方
側に連通する受光室で受光し、検出器の中間室と両側室
との間を仕切る２つのコンデンサ膜の圧力差から試料ガ
ス中の測定成分の濃度を求めるようにしたことを特徴と
する赤外線式ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26678797A JPH11108835A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 赤外線検出器及び赤外線式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26678797A JPH11108835A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 赤外線検出器及び赤外線式ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108835A true JPH11108835A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17435694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26678797A Pending JPH11108835A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 赤外線検出器及び赤外線式ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108835A (ja) |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26678797A patent/JPH11108835A/ja active Pending
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