JPH11102874A - ヒータユニット - Google Patents
ヒータユニットInfo
- Publication number
- JPH11102874A JPH11102874A JP27947697A JP27947697A JPH11102874A JP H11102874 A JPH11102874 A JP H11102874A JP 27947697 A JP27947697 A JP 27947697A JP 27947697 A JP27947697 A JP 27947697A JP H11102874 A JPH11102874 A JP H11102874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- strand
- end part
- dummy
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ヒータユニットのコイル状ヒータの１巻未満の
支持を確実にする。 【解決手段】円筒コイル状に成形したヒータ３を有する
ヒータユニットに於いて、ヒータ３の端部にダミー素線
１５を延設し、該ダミー素線を介して１巻未満のヒータ
端部近傍を支持する様にし、ヒータの端部１巻未満の支
持を確実にする。
支持を確実にする。 【解決手段】円筒コイル状に成形したヒータ３を有する
ヒータユニットに於いて、ヒータ３の端部にダミー素線
１５を延設し、該ダミー素線を介して１巻未満のヒータ
端部近傍を支持する様にし、ヒータの端部１巻未満の支
持を確実にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はヒータユニット、特
に縦型反応炉に用いられる円筒状のヒータユニットに関
するものである。
に縦型反応炉に用いられる円筒状のヒータユニットに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子を製造する半導体製造装置に
はウェーハの表面に薄膜を生成し、或は不純物の拡散、
或は熱処理等を行う為の縦型炉が具備されている。該縦
型炉は立設された筒状の反応管に筒状のヒータユニット
を同心に被せて構成されている。
はウェーハの表面に薄膜を生成し、或は不純物の拡散、
或は熱処理等を行う為の縦型炉が具備されている。該縦
型炉は立設された筒状の反応管に筒状のヒータユニット
を同心に被せて構成されている。
【０００３】図６〜図７に於いて従来のヒータユニット
について説明する。
について説明する。
【０００４】ドーナッツ状のヒータ受け１に有天筒状の
断熱体２が立設され、該断熱体２の内部にはヒータ素線
をコイル状に成形されたヒータ３が同心に配設され、該
ヒータ３は円周を等分した位置でコイルホルダ４により
支持されている。又、前記ヒータ３の所要位置には板状
の端子５，６，７，８が溶接され、該端子５，６，７，
８は前記断熱体２を貫通して突出している。該端子５，
６，７，８にはそれぞれ端子５，６，７，８を挾持する
様にそれぞれ放熱板９，１０が前記端子５，６，７，８
の上下にボルト１３により固着され、該放熱板９，１０
に電源ケーブル１２がボルト１３により固着接続され、
該電源ケーブル１２を介して図示しないヒータ電源に接
続されている。前記端子５，６，７，８には放熱板９，
１０を介して電源ケーブル１２が接続されているが、こ
れは前記端子５，６，７，８が高温となる為、電源ケー
ブル１２を直接前記端子５，６，７，８に接続すると電
源ケーブル１２が損傷するからである。
断熱体２が立設され、該断熱体２の内部にはヒータ素線
をコイル状に成形されたヒータ３が同心に配設され、該
ヒータ３は円周を等分した位置でコイルホルダ４により
支持されている。又、前記ヒータ３の所要位置には板状
の端子５，６，７，８が溶接され、該端子５，６，７，
８は前記断熱体２を貫通して突出している。該端子５，
６，７，８にはそれぞれ端子５，６，７，８を挾持する
様にそれぞれ放熱板９，１０が前記端子５，６，７，８
の上下にボルト１３により固着され、該放熱板９，１０
に電源ケーブル１２がボルト１３により固着接続され、
該電源ケーブル１２を介して図示しないヒータ電源に接
続されている。前記端子５，６，７，８には放熱板９，
１０を介して電源ケーブル１２が接続されているが、こ
れは前記端子５，６，７，８が高温となる為、電源ケー
ブル１２を直接前記端子５，６，７，８に接続すると電
源ケーブル１２が損傷するからである。
【０００５】前記ヒータ３の最下端部分は図８に示され
る様にヒータ３の下端に端子５が溶接され、所要箇所に
は前記コイルホルダ４が設けられ、該コイルホルダ４を
介して前記ヒータ受け１に載置されている。
る様にヒータ３の下端に端子５が溶接され、所要箇所に
は前記コイルホルダ４が設けられ、該コイルホルダ４を
介して前記ヒータ受け１に載置されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記ヒータ３の最下端
部は下端から上方に向かって巻上って行く為、最下端の
ヒータ素線は前記ヒータ受け１より徐々に離反してい
く。１巻する迄のコイルホルダ４の高さは徐々に高くな
っていく必要があるが、標準仕様の部品寸法では適正な
ものを準備できない。コイルホルダ４はセラミック製の
耐熱部品であり、特別仕様のものを製作すると高価なも
のとなるので、現在では標準仕様の部品が使用できない
箇所は支持していない。従って、最初の１巻の終わりの
略四半部分が支持されていない状態となっている（図８
中Ｈで示す部分近傍）。この為、ヒータユニットを稼働
して行くと、前記四半部分が熱変形して垂下がる等して
他の部分に影響し、ヒータ３とコイルホルダ４が外れた
り、或はヒータ３の変形によりショートする等の問題が
生じる。
部は下端から上方に向かって巻上って行く為、最下端の
ヒータ素線は前記ヒータ受け１より徐々に離反してい
く。１巻する迄のコイルホルダ４の高さは徐々に高くな
っていく必要があるが、標準仕様の部品寸法では適正な
ものを準備できない。コイルホルダ４はセラミック製の
耐熱部品であり、特別仕様のものを製作すると高価なも
のとなるので、現在では標準仕様の部品が使用できない
箇所は支持していない。従って、最初の１巻の終わりの
略四半部分が支持されていない状態となっている（図８
中Ｈで示す部分近傍）。この為、ヒータユニットを稼働
して行くと、前記四半部分が熱変形して垂下がる等して
他の部分に影響し、ヒータ３とコイルホルダ４が外れた
り、或はヒータ３の変形によりショートする等の問題が
生じる。
【０００７】又、上記した様に電源ケーブル１２は、２
枚の放熱板９，１０を介して前記端子５，６，７，８に
ボルト付けされているが、部品点数が多く作業工数も掛
かるという問題を有している。
枚の放熱板９，１０を介して前記端子５，６，７，８に
ボルト付けされているが、部品点数が多く作業工数も掛
かるという問題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、円筒コイル状
に成形したヒータを有するヒータユニットに於いて、ヒ
ータの端部にダミー素線を延設し、該ダミー素線を介し
て１巻未満のヒータ端部近傍を支持する様にしたヒータ
ユニットに係り、ダミー素線を延設することで１巻未満
の端部近傍のヒータ素線の支持が可能となり、ヒータ端
部が安定する。
に成形したヒータを有するヒータユニットに於いて、ヒ
ータの端部にダミー素線を延設し、該ダミー素線を介し
て１巻未満のヒータ端部近傍を支持する様にしたヒータ
ユニットに係り、ダミー素線を延設することで１巻未満
の端部近傍のヒータ素線の支持が可能となり、ヒータ端
部が安定する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００１０】尚、以下の説明に於いて図６中で示したも
のと同様のものには同符号を用いて説明してある。
のと同様のものには同符号を用いて説明してある。
【００１１】図１は本発明に係るヒータユニットのヒー
タ３を抽出して示したものであり、ヒータ３の終端に図
３で示す非発熱体であるダミー素線１５を溶接により固
着する。ダミー素線１５はヒータ３の下端部と対称な形
状でヒータ３と同一の曲率を有し、更にヒータの中心角
５０度に相当する線分の長さを有している。該ダミー素
線１５を前記ヒータ３下端より延出させることで、ダミ
ー素線１５をコイルホルダ４によりヒータ受け１に支持
させることができ、従って該ダミー素線１５を介してヒ
ータ受け１にヒータ３の最下端部を支持させることがで
き、ヒータ３最下端部が安定する。尚、前記線分の長さ
はヒータ３の直径、線径、巻きピッチ等ヒータ３の諸元
に応じ適切な値を選択すればよい。
タ３を抽出して示したものであり、ヒータ３の終端に図
３で示す非発熱体であるダミー素線１５を溶接により固
着する。ダミー素線１５はヒータ３の下端部と対称な形
状でヒータ３と同一の曲率を有し、更にヒータの中心角
５０度に相当する線分の長さを有している。該ダミー素
線１５を前記ヒータ３下端より延出させることで、ダミ
ー素線１５をコイルホルダ４によりヒータ受け１に支持
させることができ、従って該ダミー素線１５を介してヒ
ータ受け１にヒータ３の最下端部を支持させることがで
き、ヒータ３最下端部が安定する。尚、前記線分の長さ
はヒータ３の直径、線径、巻きピッチ等ヒータ３の諸元
に応じ適切な値を選択すればよい。
【００１２】ヒータ３の最上端部についてもダミー素線
１５を同様に溶接付けし、同様な処理を行えば、上端部
についても垂下りが防止できる等支持が安定する。
１５を同様に溶接付けし、同様な処理を行えば、上端部
についても垂下りが防止できる等支持が安定する。
【００１３】尚、図中１６はヒータ３に溶接付けされた
電導線であり、該電導線１６端に端子板１７が溶接付け
される。該端子板１７は断熱体２を貫通して炉外に突出
している。端子板１７の突出端には放熱板１８が溶接付
けされている。
電導線であり、該電導線１６端に端子板１７が溶接付け
される。該端子板１７は断熱体２を貫通して炉外に突出
している。端子板１７の突出端には放熱板１８が溶接付
けされている。
【００１４】該放熱板１８は図４に示す様に帯状板を３
箇所にて同方向に直角に折曲げて成形したものであり、
取付け場所により、或は電源ケーブル１２を接続しやす
い様に、更に充分な放熱面積が得られる様に、Ｌ1 ，Ｌ
2 ，Ｌ3 等の寸法が適宜決定される。而して、放熱板１
８の非固定端は反応炉の外部に上下方向に所要間隔とな
る様に配置される。前記放熱板１８は耐熱ステンレス鋼
板を材料とし、加工後歪み除去の為熱処理を行ってい
る。前記放熱板１８は所要箇所で複数まとめて、或は１
枚毎に端子板支持体１９により支持されている。前記放
熱板１８には電源ケーブル１２が２本のボルトにより固
着接続される。
箇所にて同方向に直角に折曲げて成形したものであり、
取付け場所により、或は電源ケーブル１２を接続しやす
い様に、更に充分な放熱面積が得られる様に、Ｌ1 ，Ｌ
2 ，Ｌ3 等の寸法が適宜決定される。而して、放熱板１
８の非固定端は反応炉の外部に上下方向に所要間隔とな
る様に配置される。前記放熱板１８は耐熱ステンレス鋼
板を材料とし、加工後歪み除去の為熱処理を行ってい
る。前記放熱板１８は所要箇所で複数まとめて、或は１
枚毎に端子板支持体１９により支持されている。前記放
熱板１８には電源ケーブル１２が２本のボルトにより固
着接続される。
【００１５】前記放熱板１８を前記端子板１７に溶接す
ることで、部品点数が少なくなると共に電源ケーブル１
２を接続する際の作業工数が少なくなり、電源ケーブル
１２の接続位置がまとめられるので作業性も向上する。
又、昇温時のヒータ発熱により従来ヒータではヒータ端
子部の高温により、ケーブル接続端子の緩み等事故発生
要因があったが、放熱板の溶接化、放熱板の冷却効果大
により、安全な電源供給が可能となる。
ることで、部品点数が少なくなると共に電源ケーブル１
２を接続する際の作業工数が少なくなり、電源ケーブル
１２の接続位置がまとめられるので作業性も向上する。
又、昇温時のヒータ発熱により従来ヒータではヒータ端
子部の高温により、ケーブル接続端子の緩み等事故発生
要因があったが、放熱板の溶接化、放熱板の冷却効果大
により、安全な電源供給が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ヒータ
のコイル端部が安定に支持され、コイルホルダの外れ、
ヒータ素線の垂下り等が防止できコイル寿命が延長で
き、又ダミー素線自体はヒータ成形時の切れ端を使用す
ることができるので要されるコストも殆ど問題とならな
い等の優れた効果を発揮する。
のコイル端部が安定に支持され、コイルホルダの外れ、
ヒータ素線の垂下り等が防止できコイル寿命が延長で
き、又ダミー素線自体はヒータ成形時の切れ端を使用す
ることができるので要されるコストも殆ど問題とならな
い等の優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の実施の形態に係るヒータを示す正面図
である。
である。
【図２】同前実施の形態を示す正面図である。
【図３】図１のＡ矢視図である。
【図４】同前実施の形態に使用される放熱板の正面図で
ある。
ある。
【図５】同前放熱板の平面図である。
【図６】従来例の立断面図である。
【図７】図６のＣ矢視図である。
【図８】図６のＢ矢視図である。
【図９】従来のヒータの下端部の平面図である。
１ ヒータ受け ３ ヒータ ４ コイルホルダ
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒コイル状に成形したヒータを有する
ヒータユニットに於いて、ヒータの端部にダミー素線を
延設し、該ダミー素線を介して１巻未満のヒータ端部近
傍を支持する様にしたことを特徴とするヒータユニッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27947697A JPH11102874A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ヒータユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27947697A JPH11102874A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ヒータユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11102874A true JPH11102874A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17611590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27947697A Pending JPH11102874A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ヒータユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11102874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007502549A (ja) * | 2003-05-23 | 2007-02-08 | エムアールエル インダストリーズ | 高温拡散炉の加熱コイルの保持メカニズム |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP27947697A patent/JPH11102874A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007502549A (ja) * | 2003-05-23 | 2007-02-08 | エムアールエル インダストリーズ | 高温拡散炉の加熱コイルの保持メカニズム |
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