JPH1092739A - プレートを保持する万能チャック - Google Patents
プレートを保持する万能チャックInfo
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- JPH1092739A JPH1092739A JP9100413A JP10041397A JPH1092739A JP H1092739 A JPH1092739 A JP H1092739A JP 9100413 A JP9100413 A JP 9100413A JP 10041397 A JP10041397 A JP 10041397A JP H1092739 A JPH1092739 A JP H1092739A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
- H05K13/0069—Holders for printed circuit boards
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 チャックによって保持されるフォトマスク、
又はレチクルの寸法及び形態に関係なく、同一の中心点
を保つ、万能チャックを提供する。 【解決手段】 長手方向軸線及び横軸線を有する基部２
と、長手方向軸線に沿って基部２上で可動である下方キ
ャリッジ３と、キャリッジ３上で可動である上方キャリ
ッジ４と、万能チャックにより保持されるプレート７０
の一端縁を取り付けるべくキャリッジ３により支持され
たプレートの取り付け部７１と、プレートの反対側の端
縁を取り付けるべく、キャリッジ３の一側部と反対側の
側部にてキャリッジ４により支持されたプレートの取り
付け部７２乃至７７とを備える、プレートを保持する万
能チャックを開示する。キャリッジ３及びキャリッジ４
を基部に関して動かすことにより、キャリッジ３とキャ
リッジ４のプレート取り付け部との間の距離が変化し、
チャックが長手方向寸法の異なるプレートを保持し得
る。
又はレチクルの寸法及び形態に関係なく、同一の中心点
を保つ、万能チャックを提供する。 【解決手段】 長手方向軸線及び横軸線を有する基部２
と、長手方向軸線に沿って基部２上で可動である下方キ
ャリッジ３と、キャリッジ３上で可動である上方キャリ
ッジ４と、万能チャックにより保持されるプレート７０
の一端縁を取り付けるべくキャリッジ３により支持され
たプレートの取り付け部７１と、プレートの反対側の端
縁を取り付けるべく、キャリッジ３の一側部と反対側の
側部にてキャリッジ４により支持されたプレートの取り
付け部７２乃至７７とを備える、プレートを保持する万
能チャックを開示する。キャリッジ３及びキャリッジ４
を基部に関して動かすことにより、キャリッジ３とキャ
リッジ４のプレート取り付け部との間の距離が変化し、
チャックが長手方向寸法の異なるプレートを保持し得
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種寸法のプレー
トを保持する万能チャックに関する。本発明は、半導体
ウェーハの製造に使用されるフォトマスク及びレチクル
を保持するために特に適用可能であり、このため、この
用途に関して本発明を以下に説明する。
トを保持する万能チャックに関する。本発明は、半導体
ウェーハの製造に使用されるフォトマスク及びレチクル
を保持するために特に適用可能であり、このため、この
用途に関して本発明を以下に説明する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの製造に使用されるフォ
トマスク及びレチクルは、特定の用途に従って、各種の
寸法、厚さ及び形態にて製造される。典型的なものは、
５インチ、６インチ、７インチ方形の形態、及び７イン
チの円形の形態のものである。
トマスク及びレチクルは、特定の用途に従って、各種の
寸法、厚さ及び形態にて製造される。典型的なものは、
５インチ、６インチ、７インチ方形の形態、及び７イン
チの円形の形態のものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかるフォトマスク及
びレチクルは、複雑な加工及び検査システムに従って取
り扱われる。フォトマスク及びレチクルの寸法及び形態
に従って取り扱い装置を予め設定したり、又は予め調節
する必要性を最小にすべく、寸法及び形態の異なるフォ
トマスク及びレチクル（又はその他のプレート）を取り
扱うことができるのみならず、チャックによって保持さ
れるフォトマスク、又はレチクルの寸法及び形態に関係
なく、同一の中心点を保つ、万能チャックを提供するこ
とが極めて望まれる。
びレチクルは、複雑な加工及び検査システムに従って取
り扱われる。フォトマスク及びレチクルの寸法及び形態
に従って取り扱い装置を予め設定したり、又は予め調節
する必要性を最小にすべく、寸法及び形態の異なるフォ
トマスク及びレチクル（又はその他のプレート）を取り
扱うことができるのみならず、チャックによって保持さ
れるフォトマスク、又はレチクルの寸法及び形態に関係
なく、同一の中心点を保つ、万能チャックを提供するこ
とが極めて望まれる。
【０００４】本発明の一つの目的は、上述の点で有利で
ある万能チャックを提供することであり、その利点は、
フォトマスク及びレチクルを保持するのに特に有効なチ
ャックにする一方で、各種寸法及び／又は形態のその他
の型式のプレートを保持するのに使用可能なチャックを
提供する点にある。
ある万能チャックを提供することであり、その利点は、
フォトマスク及びレチクルを保持するのに特に有効なチ
ャックにする一方で、各種寸法及び／又は形態のその他
の型式のプレートを保持するのに使用可能なチャックを
提供する点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、プレー
トを保持する万能チャックであって、長手方向軸線及び
横軸線を有する基部と、長手方向軸線に沿って基部上で
可動である下方キャリッジと、長手方向軸線に沿って下
方キャリッジ上で可動である上方キャリッジと、万能チ
ャックにより保持されるプレートの一端縁を取り付ける
べくその一側部にて下方キャリッジにより支持されたプ
レートの取り付け部と、万能チャックにより保持される
プレートの反対側端縁を取り付けるべく、下方キャリッ
ジの一側部と反対側である側部にて上方キャリッジによ
り支持されたプレートの取り付け部とを備え、下方キャ
リッジ及び上方キャリッジを上記の長手方向軸線に沿っ
て互いに且つ基部に関して動かすことにより、下方キャ
リッジと上方キャリッジのプレート取り付け部との間の
距離が変化し、これにより、チャックが異なる長手方向
寸法のプレートを保持し得るようにした、万能チャック
が提供される。
トを保持する万能チャックであって、長手方向軸線及び
横軸線を有する基部と、長手方向軸線に沿って基部上で
可動である下方キャリッジと、長手方向軸線に沿って下
方キャリッジ上で可動である上方キャリッジと、万能チ
ャックにより保持されるプレートの一端縁を取り付ける
べくその一側部にて下方キャリッジにより支持されたプ
レートの取り付け部と、万能チャックにより保持される
プレートの反対側端縁を取り付けるべく、下方キャリッ
ジの一側部と反対側である側部にて上方キャリッジによ
り支持されたプレートの取り付け部とを備え、下方キャ
リッジ及び上方キャリッジを上記の長手方向軸線に沿っ
て互いに且つ基部に関して動かすことにより、下方キャ
リッジと上方キャリッジのプレート取り付け部との間の
距離が変化し、これにより、チャックが異なる長手方向
寸法のプレートを保持し得るようにした、万能チャック
が提供される。
【０００６】以下により具体的に説明するように、上述
の特徴に従って構成された万能チャックは、このように
取り付けた全てのプレートに対して同一の中心点を保ち
つつ、長手方向寸法の異なるプレートを取り付けること
を可能にするものである。このため、かかる万能チャッ
クは、寸法及び／又は形態の異なるフォトマスク及びレ
チクルを取り付けるのに特に有用であり、これにより、
かかるプレートを取り扱うため、装填、排出、検査及び
／又はその他の取り扱い装置を予め設定したり、又は予
め調節する必要性が解消され、又は最小となる。
の特徴に従って構成された万能チャックは、このように
取り付けた全てのプレートに対して同一の中心点を保ち
つつ、長手方向寸法の異なるプレートを取り付けること
を可能にするものである。このため、かかる万能チャッ
クは、寸法及び／又は形態の異なるフォトマスク及びレ
チクルを取り付けるのに特に有用であり、これにより、
かかるプレートを取り扱うため、装填、排出、検査及び
／又はその他の取り扱い装置を予め設定したり、又は予
め調節する必要性が解消され、又は最小となる。
【０００７】上述の好適な実施の形態におけるその他の
特徴によれば、基部、下方キャリッジ及び上方キャリッ
ジは、全て、チャックにより取り付けられたプレートの
両側部へのアクセスを許容し得るように開いた矩形の形
態をしている。透明であるために、検査及び／又は加工
の目的に、フォトマスク又はレチクルの両側部に光学的
にアクセスすることを必要とするフォトマスク、及びレ
チクルに関して、この特徴は、特に有用である。
特徴によれば、基部、下方キャリッジ及び上方キャリッ
ジは、全て、チャックにより取り付けられたプレートの
両側部へのアクセスを許容し得るように開いた矩形の形
態をしている。透明であるために、検査及び／又は加工
の目的に、フォトマスク又はレチクルの両側部に光学的
にアクセスすることを必要とするフォトマスク、及びレ
チクルに関して、この特徴は、特に有用である。
【０００８】以下に説明する好適な実施の形態における
更なる特徴によれば、このプレート取り付け部の一方
は、基部の長手方向軸線上に配置されたパッドを有する
一方、プレート取り付け部のもう一方は、チャックによ
り保持されたプレートを三点で取り付け得るようにすべ
く、基部の長手方向軸線から横方向に等隔に隔たった位
置に設けられた一対のパッドを備えている。上述した好
適な実施の形態において、後者のプレート取り付け部
は、複数対のパッドを有し、その複数対のパッドは、長
手方向寸法及び横寸法の異なるプレートを受け入れ得る
ように、基部の横軸線及び長手方向軸線の双方に沿って
異なる距離にて互いから隔てた位置に配置されている。
更なる特徴によれば、このプレート取り付け部の一方
は、基部の長手方向軸線上に配置されたパッドを有する
一方、プレート取り付け部のもう一方は、チャックによ
り保持されたプレートを三点で取り付け得るようにすべ
く、基部の長手方向軸線から横方向に等隔に隔たった位
置に設けられた一対のパッドを備えている。上述した好
適な実施の形態において、後者のプレート取り付け部
は、複数対のパッドを有し、その複数対のパッドは、長
手方向寸法及び横寸法の異なるプレートを受け入れ得る
ように、基部の横軸線及び長手方向軸線の双方に沿って
異なる距離にて互いから隔てた位置に配置されている。
【０００９】上述の好適な実施の形態における更なる特
徴によれば、このプレート取り付け部は、吸引力によっ
てプレートを保持すべく吸引源に接続可能である吸引ポ
ートを有している。更に、該基部、及び該下方キャリッ
ジは、下方キャリッジを基部上のその駆動位置に保持す
る、協働可能なリテーナ部材を有し、該下方キャリッジ
及び該上方キャリッジは、上方キャリッジを下方キャリ
ッジ上のその駆動位置に保持する、協働可能なリテーナ
部材を備えている。
徴によれば、このプレート取り付け部は、吸引力によっ
てプレートを保持すべく吸引源に接続可能である吸引ポ
ートを有している。更に、該基部、及び該下方キャリッ
ジは、下方キャリッジを基部上のその駆動位置に保持す
る、協働可能なリテーナ部材を有し、該下方キャリッジ
及び該上方キャリッジは、上方キャリッジを下方キャリ
ッジ上のその駆動位置に保持する、協働可能なリテーナ
部材を備えている。
【００１０】上述した好適な実施の形態における更なる
特徴によれば、この万能チャックは、下方キャリッジ用
の電気駆動体と、上方キャリッジ用の電気駆動体とを更
に備えている。
特徴によれば、この万能チャックは、下方キャリッジ用
の電気駆動体と、上方キャリッジ用の電気駆動体とを更
に備えている。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の更なる特徴、及び有利な
点は、以下の説明から明らかになるであろう。
点は、以下の説明から明らかになるであろう。
【００１２】図１に示した万能チャックは、検査及び／
又は加工のためにチャックにより保持されたフォトマス
ク、又はレチクルの両側部へのアクセスを許容し得るよ
うに、各種寸法及び形態のプレート、特に、フォトマス
ク、又はレチクルを保持し得るような設計とされてい
る。
又は加工のためにチャックにより保持されたフォトマス
ク、又はレチクルの両側部へのアクセスを許容し得るよ
うに、各種寸法及び形態のプレート、特に、フォトマス
ク、又はレチクルを保持し得るような設計とされてい
る。
【００１３】この図示した万能チャックは、三つの主要
な構成要素、即ち、長手方向軸線ＬＡ及び横軸線ＴＡを
有する基部２（図２参照）と、長手方向軸線ＬＡに沿っ
て基部上を可動である下方キャリッジ、又はトレー３
と、長手方向軸線ＬＡに沿って下方キャリッジ３上を可
動である上方キャリッジ、又はスライド４とから構成さ
れている。基部２は、矩形の中心穴２ｅを画成する２つ
の長手方向側部２ａ、２ｂと、２つの横側部２ｃ、２ｄ
とを含む開いた矩形の形態をしている。同様に、下方キ
ャリッジ３は、矩形の中心穴３ｅを画成する２つの長手
方向側部３ａ、３ｂと、２つの横側部３ｃ、３ｄとを有
する開いた矩形の構造体である。また、上方キャリッジ
４は、矩形の中心穴４ｅを画成する２つの長手方向側部
４ａ、４ｂと、２つの横側部４ｃ、４ｄとを有する開い
た矩形の構造体である。
な構成要素、即ち、長手方向軸線ＬＡ及び横軸線ＴＡを
有する基部２（図２参照）と、長手方向軸線ＬＡに沿っ
て基部上を可動である下方キャリッジ、又はトレー３
と、長手方向軸線ＬＡに沿って下方キャリッジ３上を可
動である上方キャリッジ、又はスライド４とから構成さ
れている。基部２は、矩形の中心穴２ｅを画成する２つ
の長手方向側部２ａ、２ｂと、２つの横側部２ｃ、２ｄ
とを含む開いた矩形の形態をしている。同様に、下方キ
ャリッジ３は、矩形の中心穴３ｅを画成する２つの長手
方向側部３ａ、３ｂと、２つの横側部３ｃ、３ｄとを有
する開いた矩形の構造体である。また、上方キャリッジ
４は、矩形の中心穴４ｅを画成する２つの長手方向側部
４ａ、４ｂと、２つの横側部４ｃ、４ｄとを有する開い
た矩形の構造体である。
【００１４】下方キャリッジ３の側部３ｄ、及び上方キ
ャリッジ４の側部４ｄは、共に厚みが増してある。ま
た、これらの側部３ｄ、４ｄには、図７に関して以下に
より詳細に説明するように、万能チャックにプレート
（フォトマスク、レチクル等）を装填するロボットフォ
ークアームを受け入れ得るように、それぞれスロット３
ｆ、４ｆが形成されている。
ャリッジ４の側部４ｄは、共に厚みが増してある。ま
た、これらの側部３ｄ、４ｄには、図７に関して以下に
より詳細に説明するように、万能チャックにプレート
（フォトマスク、レチクル等）を装填するロボットフォ
ークアームを受け入れ得るように、それぞれスロット３
ｆ、４ｆが形成されている。
【００１５】基部２の２つの長手方向側部２ａ、２ｂの
上面は、下方キャリッジが基部２に関して比較的摩擦無
しで動くことを許容し得るように、下方キャリッジ３に
より支持された軸受（以下に説明する）と協働可能であ
る、長手方向に伸長する一対の軸受レール２１、２２を
有している。基部の側部２ａ、２ｂの上面には、複数の
溝２３、２４が形成されている。これらの複数の溝は、
下方キャリッジ３を基部２上の選択した位置に解放可能
に保持すべく、下方キャリッジ３により支持されたリテ
ーナ要素（以下に説明）と協働可能である側部の長手方
向に隔たった位置に形成されている。
上面は、下方キャリッジが基部２に関して比較的摩擦無
しで動くことを許容し得るように、下方キャリッジ３に
より支持された軸受（以下に説明する）と協働可能であ
る、長手方向に伸長する一対の軸受レール２１、２２を
有している。基部の側部２ａ、２ｂの上面には、複数の
溝２３、２４が形成されている。これらの複数の溝は、
下方キャリッジ３を基部２上の選択した位置に解放可能
に保持すべく、下方キャリッジ３により支持されたリテ
ーナ要素（以下に説明）と協働可能である側部の長手方
向に隔たった位置に形成されている。
【００１６】下方キャリッジ３の２つの長手方向側部３
ａ、３ｂの外端縁は、基部の軸受レール２１、２２上を
可動である線形のクロスローラ軸受３１、３２を支持し
ている。この下方キャリッジ３の両側部３ａ、３ｂは、
リテーナ要素３３、３４を更に備えている。これらのリ
テーナ要素の各々は、下方キャリッジ３に固定された板
ばね３３ａ、３４ａから構成されている。また、該リテ
ーナ要素の各々は、下方キャリッジ３を基部２上の選択
した位置に解放可能に保持すべく、基部の溝２３、２４
内に受け入れ可能であるリテーナボール３３ｂ、３４ｂ
を支持する。
ａ、３ｂの外端縁は、基部の軸受レール２１、２２上を
可動である線形のクロスローラ軸受３１、３２を支持し
ている。この下方キャリッジ３の両側部３ａ、３ｂは、
リテーナ要素３３、３４を更に備えている。これらのリ
テーナ要素の各々は、下方キャリッジ３に固定された板
ばね３３ａ、３４ａから構成されている。また、該リテ
ーナ要素の各々は、下方キャリッジ３を基部２上の選択
した位置に解放可能に保持すべく、基部の溝２３、２４
内に受け入れ可能であるリテーナボール３３ｂ、３４ｂ
を支持する。
【００１７】下方キャリッジ３は、上方キャリッジ４が
下方キャリッジ３に関して比較的摩擦無しで動くのを許
容し得るように、上方キャリッジ４により支持された軸
受（以下に説明）と協働可能である一対の軸受レール３
５、３６を両側部に更に備えている。
下方キャリッジ３に関して比較的摩擦無しで動くのを許
容し得るように、上方キャリッジ４により支持された軸
受（以下に説明）と協働可能である一対の軸受レール３
５、３６を両側部に更に備えている。
【００１８】基部２の溝２３、２４と協働可能であるリ
テーナ要素３３、３４に加えて、下方キャリッジ３は、
上方キャリッジ４上に形成された溝（以下に説明）と協
働可能である第二の対のリテーナ要素３７、３８を備え
ている。これらのリテーナ要素３７、３８は、リテーナ
要素３３、３４と同一構造である。これらのリテーナ要
素の各々は、板ばね３７ａ、３８ａを有しており、該板
ばねは、一端にて下方キャリッジに固定され、その自由
端にてリテーナボール３７ｂ、３８ｂを支持している。
しかしながら、リテーナ要素３３、３４は、基部２の溝
２３、２４と協働し得るように、下方キャリッジ３の外
方に突き出る一方、リテーナ要素３７、３８は、上方キ
ャリッジ４の協働可能な溝（以下に説明）と協働し得る
ように下方キャリッジの中方に突き出る。
テーナ要素３３、３４に加えて、下方キャリッジ３は、
上方キャリッジ４上に形成された溝（以下に説明）と協
働可能である第二の対のリテーナ要素３７、３８を備え
ている。これらのリテーナ要素３７、３８は、リテーナ
要素３３、３４と同一構造である。これらのリテーナ要
素の各々は、板ばね３７ａ、３８ａを有しており、該板
ばねは、一端にて下方キャリッジに固定され、その自由
端にてリテーナボール３７ｂ、３８ｂを支持している。
しかしながら、リテーナ要素３３、３４は、基部２の溝
２３、２４と協働し得るように、下方キャリッジ３の外
方に突き出る一方、リテーナ要素３７、３８は、上方キ
ャリッジ４の協働可能な溝（以下に説明）と協働し得る
ように下方キャリッジの中方に突き出る。
【００１９】該上方キャリッジ４は、該下方キャリッジ
の軸受レール３５、３６と協働可能である一対の線形ク
ロスローラ軸受４１、４２を備えている。更に、該上方
キャリッジ４の長手方向側部４ａ、４ｂは、その上面
に、複数の溝４３、４４を有している。これらの複数の
溝は、下方キャリッジ３により支持されたばねリテーナ
要素３７、３８のボール３７ｂ、３８ｂを受け入れ得る
ように、それぞれの側部の長手方向に隔たった位置にあ
る。
の軸受レール３５、３６と協働可能である一対の線形ク
ロスローラ軸受４１、４２を備えている。更に、該上方
キャリッジ４の長手方向側部４ａ、４ｂは、その上面
に、複数の溝４３、４４を有している。これらの複数の
溝は、下方キャリッジ３により支持されたばねリテーナ
要素３７、３８のボール３７ｂ、３８ｂを受け入れ得る
ように、それぞれの側部の長手方向に隔たった位置にあ
る。
【００２０】該下方キャリッジ３は、電気駆動体により
基部２の長手方向に駆動される。この駆動体は、取り付
けプレート５２により基部に固定された電気モータ５１
と、該モータ５１により回転されるピニオン歯車５３
と、該ピニオン歯車５３が係合し且つ下方キャリッジ３
の側部３ｂの長手方向に伸長するラック５４とを備えて
いる。モータ５１は、概略図的に符号５５で示したエン
コーダを備えている。このエンコーダは、モータのトラ
ッキング及び制御を行って、これにより、下方キャリッ
ジ３を基部２に関して長手方向に配置する。
基部２の長手方向に駆動される。この駆動体は、取り付
けプレート５２により基部に固定された電気モータ５１
と、該モータ５１により回転されるピニオン歯車５３
と、該ピニオン歯車５３が係合し且つ下方キャリッジ３
の側部３ｂの長手方向に伸長するラック５４とを備えて
いる。モータ５１は、概略図的に符号５５で示したエン
コーダを備えている。このエンコーダは、モータのトラ
ッキング及び制御を行って、これにより、下方キャリッ
ジ３を基部２に関して長手方向に配置する。
【００２１】同様に、該上方キャリッジ４は、プレート
６２により下方キャリッジ３に固着された電気モータ６
１により下方キャリッジ３に関して選択した位置に駆動
される。また、該電気モータは、ラック６４とかみ合う
ピニオン歯車６３を駆動する。モータ６１の回転動作
は、回転エンコーダ６５によりトラッキングされ、上方
キャリッジ４を下方キャリッジ３に関して適正に位置決
めし得るように、モータ６１をトラッキングし且つ制御
し得るようにする。
６２により下方キャリッジ３に固着された電気モータ６
１により下方キャリッジ３に関して選択した位置に駆動
される。また、該電気モータは、ラック６４とかみ合う
ピニオン歯車６３を駆動する。モータ６１の回転動作
は、回転エンコーダ６５によりトラッキングされ、上方
キャリッジ４を下方キャリッジ３に関して適正に位置決
めし得るように、モータ６１をトラッキングし且つ制御
し得るようにする。
【００２２】図１に示した万能チャックは、半導体ウェ
ーハを製造するとき、フォトマスク、又はレチクルのよ
うな、符号７０で示したプレートを保持するために使用
される。この下方キャリッジ３は、万能チャックにより
保持すべきプレート７０の一端縁を取り付けるため、そ
の一側部にてプレート取り付け部材７１を支持してい
る。追加のプレート取り付け部材７２、７３、７４、７
５、７６、７７は、万能チャックにより保持されるプレ
ートの反対側となる端縁を取り付け得るように、プレー
ト取り付け部材７１を支持する下方キャリッジの側と反
対側である上方キャリッジ４により支持されている。以
下に、より詳細に説明するように、下方キャリッジ３及
び上方キャリッジ４を互いに且つ基部２に関して選択的
に動かすことにより、一側部におけるプレートの取り付
け部材７１と、反対側におけるプレート取り付け部材７
２、７３、７４、７５、７６、７７との間の距離が変化
して、これにより、基部２に取り付けられたプレートの
同一の中心点ＣＰ（図２）を保ちつつ、チャックが寸法
及び形態の異なるプレートを保持することを可能にす
る。
ーハを製造するとき、フォトマスク、又はレチクルのよ
うな、符号７０で示したプレートを保持するために使用
される。この下方キャリッジ３は、万能チャックにより
保持すべきプレート７０の一端縁を取り付けるため、そ
の一側部にてプレート取り付け部材７１を支持してい
る。追加のプレート取り付け部材７２、７３、７４、７
５、７６、７７は、万能チャックにより保持されるプレ
ートの反対側となる端縁を取り付け得るように、プレー
ト取り付け部材７１を支持する下方キャリッジの側と反
対側である上方キャリッジ４により支持されている。以
下に、より詳細に説明するように、下方キャリッジ３及
び上方キャリッジ４を互いに且つ基部２に関して選択的
に動かすことにより、一側部におけるプレートの取り付
け部材７１と、反対側におけるプレート取り付け部材７
２、７３、７４、７５、７６、７７との間の距離が変化
して、これにより、基部２に取り付けられたプレートの
同一の中心点ＣＰ（図２）を保ちつつ、チャックが寸法
及び形態の異なるプレートを保持することを可能にす
る。
【００２３】下方キャリッジ３により支持された取り付
け部材７１は、基部２の長手方向軸線ＬＡ上に配置され
たパッドの形態をしている。
け部材７１は、基部２の長手方向軸線ＬＡ上に配置され
たパッドの形態をしている。
【００２４】該上方キャリッジ４により支持された取り
付け部材７２、７３、７４、７５、７６、７７も又、パ
ッドの形態をしている。これらのパッドは、プレートの
寸法及び形態に従って、取り付けられるプレート７０の
反対側となる端縁と選択的に係合可能である。このよう
に、パッド７２、７３は、図２に示すように、５インチ
方形のプレートを取り付けるために使用され、また、パ
ッド７４、７５は、図３に示すように、６インチ方形の
プレートを取り付けるために使用される。パッド７６、
７７は、図４に示した７インチ方形のプレート、及び図
５に示した７インチ円形のプレートを取り付けるために
使用される。
付け部材７２、７３、７４、７５、７６、７７も又、パ
ッドの形態をしている。これらのパッドは、プレートの
寸法及び形態に従って、取り付けられるプレート７０の
反対側となる端縁と選択的に係合可能である。このよう
に、パッド７２、７３は、図２に示すように、５インチ
方形のプレートを取り付けるために使用され、また、パ
ッド７４、７５は、図３に示すように、６インチ方形の
プレートを取り付けるために使用される。パッド７６、
７７は、図４に示した７インチ方形のプレート、及び図
５に示した７インチ円形のプレートを取り付けるために
使用される。
【００２５】２つのパッド７２、７３は、５インチのプ
レートを取り付け得るように、長手方向軸線ＬＡの両側
部にて等間隔の位置に配置されている。２つのパッド７
４、７５は、６インチのプレートを取り付けるべく長手
方向軸線ＬＡの両側部にて等間隔の位置にある。また、
２つのパッド７６、７７は、７インチ方形、又は円形の
プレートを取り付け得るように長手方向軸線の両側部に
て等間隔の位置にある。これらの全てのパッド７２、７
３、７４、７５、７６、７７は、同一の部材、即ち、上
方キャリッジ４に取り付けられているため、基部を横断
するその間隔は、万能チャックにより保持されるプレー
トの寸法に対応する。
レートを取り付け得るように、長手方向軸線ＬＡの両側
部にて等間隔の位置に配置されている。２つのパッド７
４、７５は、６インチのプレートを取り付けるべく長手
方向軸線ＬＡの両側部にて等間隔の位置にある。また、
２つのパッド７６、７７は、７インチ方形、又は円形の
プレートを取り付け得るように長手方向軸線の両側部に
て等間隔の位置にある。これらの全てのパッド７２、７
３、７４、７５、７６、７７は、同一の部材、即ち、上
方キャリッジ４に取り付けられているため、基部を横断
するその間隔は、万能チャックにより保持されるプレー
トの寸法に対応する。
【００２６】パッド７１は、上方キャリッジ４に関して
可動である下方キャリッジ３に固定されているため、パ
ッド７１（取り付けるべきプレートの一端縁と係合可能
なパッド）と、パッド７２、７３、７４、７５、７６、
７７（取り付けるべきプレートの反対端縁と選択的に係
合可能なパッド）との間の間隔は、万能チャックで保持
されるプレートの寸法に従って、上方キャリッジ４を下
方キャリッジ３に関して動かすことにより変更可能であ
ることが理解されよう。また、下方キャリッジ３及び上
方キャリッジ４の双方が互いに関してのみならず、基部
２に関しても可動であるため、万能チャックにより保持
されるプレートの寸法及び形態に関係なく、２つのキャ
リッジを基部に関して駆動して、万能チャックにより保
持されるプレートの中心点を同一の位置に保つことが可
能であることが理解されよう。
可動である下方キャリッジ３に固定されているため、パ
ッド７１（取り付けるべきプレートの一端縁と係合可能
なパッド）と、パッド７２、７３、７４、７５、７６、
７７（取り付けるべきプレートの反対端縁と選択的に係
合可能なパッド）との間の間隔は、万能チャックで保持
されるプレートの寸法に従って、上方キャリッジ４を下
方キャリッジ３に関して動かすことにより変更可能であ
ることが理解されよう。また、下方キャリッジ３及び上
方キャリッジ４の双方が互いに関してのみならず、基部
２に関しても可動であるため、万能チャックにより保持
されるプレートの寸法及び形態に関係なく、２つのキャ
リッジを基部に関して駆動して、万能チャックにより保
持されるプレートの中心点を同一の位置に保つことが可
能であることが理解されよう。
【００２７】パッド７１、７２、７３、７４、７５、７
６、７７の上記の配置は、各プレートに対する略安定的
な三点取り付け状態を可能にすることが理解されよう。
パッド７１は、プレートの１つの端縁を取り付ける一点
を形成する。三点取り付け部のその他の２つの点は、取
り付けたプレートの反対側端縁の外端部に係合する、作
用可能な対のパッド（５インチのプレートに対するパッ
ド７２、７３、６インチのプレートに対するパッド７
４、７５、７インチのプレートに対するパッド７６、７
７）により形成される。
６、７７の上記の配置は、各プレートに対する略安定的
な三点取り付け状態を可能にすることが理解されよう。
パッド７１は、プレートの１つの端縁を取り付ける一点
を形成する。三点取り付け部のその他の２つの点は、取
り付けたプレートの反対側端縁の外端部に係合する、作
用可能な対のパッド（５インチのプレートに対するパッ
ド７２、７３、６インチのプレートに対するパッド７
４、７５、７インチのプレートに対するパッド７６、７
７）により形成される。
【００２８】これらのパッド７２、７３、７４、７５の
各々には、位置決めピンが設けられている。該ピンは、
レチクルを万能チャック内に手で装填する間に、プレー
トを正確に位置決めし得るように取り付けられるプレー
トのそれぞれの端縁に係合可能である。このように、パ
ッド７１は、一側部にて２つの位置決めピン７１ａ、７
１ｂを有し、パッド７２、７３、７４、７５の各々は、
その反対側部にそれぞれの位置決めピン７２ａ、７３
ａ、７４ａ、７５ａを有している。この目的のため、上
方キャリッジ４には、更に４つの位置決めピン４ｇ、４
ｈ、４ｉ、４ｊが設けられている。
各々には、位置決めピンが設けられている。該ピンは、
レチクルを万能チャック内に手で装填する間に、プレー
トを正確に位置決めし得るように取り付けられるプレー
トのそれぞれの端縁に係合可能である。このように、パ
ッド７１は、一側部にて２つの位置決めピン７１ａ、７
１ｂを有し、パッド７２、７３、７４、７５の各々は、
その反対側部にそれぞれの位置決めピン７２ａ、７３
ａ、７４ａ、７５ａを有している。この目的のため、上
方キャリッジ４には、更に４つの位置決めピン４ｇ、４
ｈ、４ｉ、４ｊが設けられている。
【００２９】手動の装填過程中、操作者は、レチクルを
正確に配置し得るようにそのレチクルを３本のピンに押
し付ける。レチクルに使用されるピンは、次のようにな
る。即ち、５インチのレチクルに対して、ピン７２ａ、
７３ａ、７４ａ（図２）、６インチのレチクルに対し
て、ピン７４ａ、７５ａ、４ｇ（図３）、７インチ方形
のレチクルに対して、ピン４ｇ、４ｈ、４ｉ（図４）、
７インチ円形レチクルに対して、ピン７１ａ、７１ｂ、
４ｉ（図５）が使用されることになる。
正確に配置し得るようにそのレチクルを３本のピンに押
し付ける。レチクルに使用されるピンは、次のようにな
る。即ち、５インチのレチクルに対して、ピン７２ａ、
７３ａ、７４ａ（図２）、６インチのレチクルに対し
て、ピン７４ａ、７５ａ、４ｇ（図３）、７インチ方形
のレチクルに対して、ピン４ｇ、４ｈ、４ｉ（図４）、
７インチ円形レチクルに対して、ピン７１ａ、７１ｂ、
４ｉ（図５）が使用されることになる。
【００３０】ロボットによる自動装填過程中、これらの
ピンは使用されない。ロボットの端部作用子におけるレ
チクルの位置を検出し且つレチクルが万能チャック内で
正確な位置に配置されるように、万能チャック及び端部
作用子をそれぞれ位置決めすべく、何等かの事前の整合
方法が採用されなければならない。
ピンは使用されない。ロボットの端部作用子におけるレ
チクルの位置を検出し且つレチクルが万能チャック内で
正確な位置に配置されるように、万能チャック及び端部
作用子をそれぞれ位置決めすべく、何等かの事前の整合
方法が採用されなければならない。
【００３１】これらのピンは、プレート（レチクル、フ
ォトマスク等）を位置決めする働きをするのみならず、
負圧が失われたときに、プレートを保持する働きもす
る。
ォトマスク等）を位置決めする働きをするのみならず、
負圧が失われたときに、プレートを保持する働きもす
る。
【００３２】パッド７１は固定されているが、パッド７
２、７３、７４、７５、７６、７７の各々は、万能チャ
ックにより保持されるプレートを水平に配置し得るよう
に垂直方向に調節可能である（例えば、パッドをねじ付
きピンの上に配置することにより）。更に、各パッドに
は、参照符号７１ｅ、７２ｂ、７３ｂ、７４ｂ、７５
ｂ、７６ｂ、７７ｂで示すように吸引ポートが形成され
ている。これらの吸引ポートは、吸引力によりプレート
を万能チャック上に確実に保持すべく吸引源８０（図
１）にそれぞれ接続可能である。
２、７３、７４、７５、７６、７７の各々は、万能チャ
ックにより保持されるプレートを水平に配置し得るよう
に垂直方向に調節可能である（例えば、パッドをねじ付
きピンの上に配置することにより）。更に、各パッドに
は、参照符号７１ｅ、７２ｂ、７３ｂ、７４ｂ、７５
ｂ、７６ｂ、７７ｂで示すように吸引ポートが形成され
ている。これらの吸引ポートは、吸引力によりプレート
を万能チャック上に確実に保持すべく吸引源８０（図
１）にそれぞれ接続可能である。
【００３３】図１に示したこの万能チャックの使用方法
は、上記の説明から明らかであろう。図６には、その閉
じた作用状態にある万能チャックが図示されている。こ
の万能チャックは、手で装填し、又はロボットを使用し
て自動的に装填することができる。このように、図７に
は、万能チャック内に装填されるプレート８２（例え
ば、フォトマスク又はレチクル）を支持するロボットの
フォークアーム８１（端部作用子と称されることが多
い）が図示されている。フォークアーム８１は、装填さ
れるプレートの寸法に関係なく、同一の行程距離にて横
動作する。該フォークアームは、２つのキャリッジ３、
４のそれぞれの側部３ｄ、４ｄのスロット３ｆ、４ｆを
通過し、それぞれのパッド７１、７２、７３、７４、７
５、７６、７７（装填されるプレートの寸法に対応して
予め所定の位置に配置されたパッド）の上にプレート８
２を載せる。
は、上記の説明から明らかであろう。図６には、その閉
じた作用状態にある万能チャックが図示されている。こ
の万能チャックは、手で装填し、又はロボットを使用し
て自動的に装填することができる。このように、図７に
は、万能チャック内に装填されるプレート８２（例え
ば、フォトマスク又はレチクル）を支持するロボットの
フォークアーム８１（端部作用子と称されることが多
い）が図示されている。フォークアーム８１は、装填さ
れるプレートの寸法に関係なく、同一の行程距離にて横
動作する。該フォークアームは、２つのキャリッジ３、
４のそれぞれの側部３ｄ、４ｄのスロット３ｆ、４ｆを
通過し、それぞれのパッド７１、７２、７３、７４、７
５、７６、７７（装填されるプレートの寸法に対応して
予め所定の位置に配置されたパッド）の上にプレート８
２を載せる。
【００３４】このように、５インチ方形のプレートを保
持するためにこの万能チャックを使用するとき、駆動モ
ータ５１、６１を制御して下方キャリッジ３、及び上方
キャリッジ４をそれぞれ図２に示した位置に配置し、下
方キャリッジ３により支持されたパッド７１が取り付け
られるプレートの一端縁に係合する一方、上方キャリッ
ジ４により、支持されたパッド７２、７３がプレートの
反対側の端縁に係合する作用可能であるようにする。図
３に示すように、６インチのプレートを取り付けると
き、２つのキャリッジを図３の位置まで駆動して、パッ
ド７４、７５をプレートの反対側の端縁に係合させる。
７インチのプレートを取り付ける場合、図４に示した方
形の形状、又は図５に示した円形の形状の何れに対して
も、２つのキャリッジ３、４をそのそれぞれのモータ５
１、６１により制御し、パッド７６、７７が取り付けら
れるプレートの反対側である端縁と係合するように作用
可能であるようにする。
持するためにこの万能チャックを使用するとき、駆動モ
ータ５１、６１を制御して下方キャリッジ３、及び上方
キャリッジ４をそれぞれ図２に示した位置に配置し、下
方キャリッジ３により支持されたパッド７１が取り付け
られるプレートの一端縁に係合する一方、上方キャリッ
ジ４により、支持されたパッド７２、７３がプレートの
反対側の端縁に係合する作用可能であるようにする。図
３に示すように、６インチのプレートを取り付けると
き、２つのキャリッジを図３の位置まで駆動して、パッ
ド７４、７５をプレートの反対側の端縁に係合させる。
７インチのプレートを取り付ける場合、図４に示した方
形の形状、又は図５に示した円形の形状の何れに対して
も、２つのキャリッジ３、４をそのそれぞれのモータ５
１、６１により制御し、パッド７６、７７が取り付けら
れるプレートの反対側である端縁と係合するように作用
可能であるようにする。
【００３５】
【発明の効果】基部２及び２つのキャリッジ３、４が開
いた矩形の形態をしているため、図示した万能チャック
は、機械的方法及び光学的方法の双方で取り付けたプレ
ートの両側部にアクセスすることが可能となる。このた
め、かかる万能チャックは、加工及び／又は検査のため
にフォトマスク及びレチクルを取り付けるのに特に有用
であるが、各種寸法及び／又は形態のプレートを保持す
るためにこのチャックをその他の多数の用途で使用する
ことも可能であることが理解されよう。
いた矩形の形態をしているため、図示した万能チャック
は、機械的方法及び光学的方法の双方で取り付けたプレ
ートの両側部にアクセスすることが可能となる。このた
め、かかる万能チャックは、加工及び／又は検査のため
にフォトマスク及びレチクルを取り付けるのに特に有用
であるが、各種寸法及び／又は形態のプレートを保持す
るためにこのチャックをその他の多数の用途で使用する
ことも可能であることが理解されよう。
【００３６】従って、本発明は、一つの好適な実施の形
態に関して説明したが、これは、単に一例にしか過ぎ
ず、本発明のその他の多数の変更、改変例及び適用例が
可能であることを理解すべきである。
態に関して説明したが、これは、単に一例にしか過ぎ
ず、本発明のその他の多数の変更、改変例及び適用例が
可能であることを理解すべきである。
【図１】本発明により構成された万能チャックの一つの
形態を示す立体図である。
形態を示す立体図である。
【図２】フォトマスク又はレチクルのような５インチの
方形プレートを取り付ける、図１の万能チャックの状態
を示す平面図である。
方形プレートを取り付ける、図１の万能チャックの状態
を示す平面図である。
【図３】６インチの方形フォトマスク又はレチクルを取
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す図である。
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す図である。
【図４】７インチの方形フォトマスク又はレチクルを取
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す図である。
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す図である。
【図５】７インチの円形フォトマスク又はレチクルを取
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す部分図であ
る。
り付ける、図１の万能チャックの状態を示す部分図であ
る。
【図６】閉じた状態、即ち、作用状態にあるときの図１
の万能チャックを示す立体図である。
の万能チャックを示す立体図である。
【図７】ロボットにより７インチフォトマスク又はレチ
クルを装填する状態とされた万能チャックを示す立体図
である。
クルを装填する状態とされた万能チャックを示す立体図
である。
２ 基部 ２ａ、２ｂ 基部の
長手方向側部 ２ｃ、２ｄ 基部の横側部 ２ｅ 基部の中心穴 ３ 下方キャリッジ／トレー ３ａ、３ｂ 下方キャリッジの長手方向側部 ３ｃ、３ｄ 下方キャリッジの横側部 ３ｅ 下方キャリッジの中心穴 ３ｆ 下方キャリッジのスロット ４ 上方キャリッジ／スライド ４ａ、４ｂ 上方キャリッジの長手方向側部 ４ｃ、４ｄ 上方キャリッジの横側部 ４ｅ 上方キャリッジの中心穴 ４ｆ 上方キャリッジのスロット ４ｇ、４ｉ、４ｊ 上方キャリッジの位置決めピン ２１、２２ 軸受レール ２３、２４ 基部の
溝 ３１、３２ クロスローラ軸受 ３３、３４ リテー
ナ要素 ３３ａ、３４ａ 板ばね ３３ｂ、３４ｂ リ
テーナボール ３５、３６ 軸受レール ３７、３８ 第二の
リテーナ要素 ３７ａ、３８ａ 板ばね ３７ｂ、３８ｂ リ
テーナボール ４１、４２ クロスローラ軸受 ４３、４４ 上方キ
ャリッジの溝 ５１ 電気モータ ５３ ピニオン歯車 ５４ ラック ５５ エンコーダ ６１ 電気モータ ６２ プレート ６３ ピニオン歯車 ６４ ラック ６５ 回転エンコーダ ７０ プレート ７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７ プレート
の取り付け部材 ７１ｅ、７２ｂ、７３ｂ、７４ｂ、７５ｂ、７６ｂ、７
７ｂ 吸引ポート ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７３ａ、７４ａ、７５ａ 位
置決めピン ８０ 吸引源 ８１ ロボットのフ
ォークアーム ８２ プレート
長手方向側部 ２ｃ、２ｄ 基部の横側部 ２ｅ 基部の中心穴 ３ 下方キャリッジ／トレー ３ａ、３ｂ 下方キャリッジの長手方向側部 ３ｃ、３ｄ 下方キャリッジの横側部 ３ｅ 下方キャリッジの中心穴 ３ｆ 下方キャリッジのスロット ４ 上方キャリッジ／スライド ４ａ、４ｂ 上方キャリッジの長手方向側部 ４ｃ、４ｄ 上方キャリッジの横側部 ４ｅ 上方キャリッジの中心穴 ４ｆ 上方キャリッジのスロット ４ｇ、４ｉ、４ｊ 上方キャリッジの位置決めピン ２１、２２ 軸受レール ２３、２４ 基部の
溝 ３１、３２ クロスローラ軸受 ３３、３４ リテー
ナ要素 ３３ａ、３４ａ 板ばね ３３ｂ、３４ｂ リ
テーナボール ３５、３６ 軸受レール ３７、３８ 第二の
リテーナ要素 ３７ａ、３８ａ 板ばね ３７ｂ、３８ｂ リ
テーナボール ４１、４２ クロスローラ軸受 ４３、４４ 上方キ
ャリッジの溝 ５１ 電気モータ ５３ ピニオン歯車 ５４ ラック ５５ エンコーダ ６１ 電気モータ ６２ プレート ６３ ピニオン歯車 ６４ ラック ６５ 回転エンコーダ ７０ プレート ７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７ プレート
の取り付け部材 ７１ｅ、７２ｂ、７３ｂ、７４ｂ、７５ｂ、７６ｂ、７
７ｂ 吸引ポート ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７３ａ、７４ａ、７５ａ 位
置決めピン ８０ 吸引源 ８１ ロボットのフ
ォークアーム ８２ プレート
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年４月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (20)
- 【請求項１】 プレートを保持する万能チャックにし
て、 長手方向軸線及び横軸線を有する基部と、 前記長手方向軸線に沿って前記基部上で可動である下方
キャリッジと、 前記長手方向軸線に沿って前記下方キャリッジ上で可動
である上方キャリッジと、 該万能チャックにより保持されるプレートの一端縁を取
り付けるべく、その一側部にて前記下方キャリッジによ
り支持されたプレートの取り付け部と、 該万能チャックにより保持されるプレートの反対側端縁
を取り付けるべく、前記下方キャリッジの一側部と反対
側である側部にて前記上方キャリッジにより支持された
プレートの取り付け部とを備え、 前記下方キャリッジ及び前記上方キャリッジを前記長手
方向軸線に沿って互いに且つ前記基部に関して動かすこ
とにより、前記下方キャリッジと前記上方キャリッジの
プレート取り付け部との間の距離が変化し、これによ
り、該チャックが異なる長手方向寸法のプレートを保持
し得るようにしたことを特徴とする万能チャック。 - 【請求項２】 請求項１に記載の万能チャックにして、
前記基部、前記下方キャリッジ及び前記上方キャリッジ
の全てが、該チャックにより取り付けられたプレートの
両側部へのアクセスを許容し得るように開いた矩形の形
態であることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の万能チャックに
して、前記プレート取り付け部の一方が、前記基部の前
記長手方向軸線上に配置されたパッドを備え、前記プレ
ート取り付け部のもう一方が、該チャックにより保持さ
れたプレートに対する三点取り付け部を提供し得るよう
に前記基部の前記長手方向軸線から横断状に等間隔の位
置に配置された一対のパッドを備えることを特徴とする
万能チャック。 - 【請求項４】 請求項３に記載の万能チャックにして、
前記もう一方のプレート取り付け部が複数対のパッドを
備え、該複数対のパッドが、長手方向寸法及び横寸法の
異なるプレートを受け入れ得るように前記基部の前記横
軸線及び前記長手方向軸線の双方に沿って異なる距離に
て互いに隔たった位置に配置されることを特徴とする万
能チャック。 - 【請求項５】 請求項４に記載の万能チャックにして、
前記基部の前記長手方向軸線上に配置された前記パッド
が、前記下方キャリッジにより支持され、前記対のパッ
ドが前記上方キャリッジにより支持されることを特徴と
する万能チャック。 - 【請求項６】 請求項４又は５に記載の万能チャックに
して、前記パッドが、前記プレートを正確に位置決めし
得るようにその上に取り付けられるプレートの端縁と係
合可能である位置決めピンを備えることを特徴とする万
能チャック。 - 【請求項７】 請求項６に記載の万能チャックにして、
前記上方キャリッジが、前記プレートを正確に位置決め
し得るようにその上に取り付けられるプレートの端縁と
係合可能である位置決めピンを更に備えることを特徴と
する万能チャック。 - 【請求項８】 請求項１乃至７の何れかに記載の万能チ
ャックにして、前記プレート取り付け部が、吸引力によ
りプレートを保持し得るように吸引源に接続可能な吸引
ポートを有することを特徴とする万能チャック。 - 【請求項９】 請求項１乃至８の何れかに記載の万能チ
ャックにして、前記基部及び前記下方キャリッジが、該
下方キャリッジを前記基部上のその駆動位置に保持すべ
く協働可能であるリテーナ部材を備えることを特徴とす
る万能チャック。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の万能チャックにし
て、前記協働可能であるリテーナ部材が、前記基部の前
記長手方向軸線に沿って隔てた位置に複数の溝が形成さ
れた前記基部上の表面形成部分と、前記下方キャリッジ
を前記基部上のその駆動位置に保持し得るように前記溝
内に受け入れ得るべく、前記下方キャリッジにより支持
されたばね付勢式リテーナ要素とを備えることを特徴と
する万能チャック。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の万能チャックにし
て、前記ばね付勢式リテーナ要素が、前記下方キャリッ
ジに固着された板ばねの端部にて支持されるボールであ
ることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１２】 請求項９乃至１１の何れかに記載の万
能チャックにして、前記下方キャリッジ及び前記上方キ
ャリッジが、該上方キャリッジを前記下方キャリッジ上
のその駆動位置に保持すへく協働可能であるリテーナ部
材を更に備えることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の万能チャックにし
て、前記協働可能であるリテーナ部材が、前記基部の前
記長手方向軸線に沿って隔てた位置に複数の溝が形成さ
れた前記キャリッジの１つにおける表面形成部と、前記
上方キャリッジを前記下方キャリッジ上のその駆動位置
に保持し得るように前記溝内に受け入れられた前記キャ
リッジのもう一方により支持されるばね付勢式要素とを
備えることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１４】 請求項１３に記載の万能チャックにし
て、前記ばね付勢式リテーナ要素が前記他方のキャリッ
ジに固着された板ばねの端部に支持されるボールである
ことを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１５】 請求項１２乃至１４の何れかに記載の
万能チャックにして、前記基部及び前記下方キャリッジ
が、該基部及び下方キャリッジの両長手方向側部に設け
られて前記協働可能である前記リテーナ部材を一対、備
え、前記下方キャリッジ及び上方キャリッジが、前記下
方キャリッジ及び上方キャリッジの両長手方向側部に向
けられて協働可能である前記リテーナ部材を一対、備え
ることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１６】 請求項１乃至１５の何れかに記載の万
能チャックにして、前記下方キャリッジに対する電気駆
動体と、前記上方キャリッジに対する電気駆動体とを更
に備えることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１７】 請求項１６に記載の万能チャックにし
て、前記下方キャリッジに対する前記電気駆動体が、前
記基部により支持された回転モータと、該モータにより
回転されるピニオン歯車と、前記長手方向軸線に沿って
前記下方キャリッジに固定され且つ前記ピニオン歯車と
かみ合うラックとを備えることを特徴とする万能チャッ
ク。 - 【請求項１８】 請求項１７に記載の万能チャックにし
て、前記上方キャリッジに対する前記電気駆動体が、前
記下方キャリッジにより支持された第二の回転モータ
と、前記第二のモータにより回転される第二のピニオン
歯車と、前記長手方向軸線に沿って前記上方キャリッジ
に固定され且つ前記第二のピニオン歯車とかみ合うラッ
クとを備えることを特徴とする万能チャック。 - 【請求項１９】 請求項１８に記載の万能チャックにし
て、前記モータの各々が、該モータの動作を追跡し且つ
制御する回転エンコーダを駆動することを特徴とする万
能チャック。 - 【請求項２０】 請求項１乃至１９の何れかに記載の万
能チャックにして、前記下方キャリッジが、前記基部に
より支持された線形クロスローラ軸受上を可動であり、
前記上方キャリッジが、前記下方キャリッジにより支持
された線形クロスローラ軸受上を可動であることを特徴
とする万能チャック。
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