JPH1092349A - 表示装置 - Google Patents
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- JPH1092349A JPH1092349A JP7514097A JP7514097A JPH1092349A JP H1092349 A JPH1092349 A JP H1092349A JP 7514097 A JP7514097 A JP 7514097A JP 7514097 A JP7514097 A JP 7514097A JP H1092349 A JPH1092349 A JP H1092349A
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Abstract
CRTにおいて,光電面に捉えられなかった紫外光線に
より,蛍光スクリーン52が直接発光してしまうとか,
光源10が発する可視光線が蛍光スクリーン52を明る
くしてしまい,画像のコントラストを落とし,信号対雑
音比を低下させる. 【解決手段】 紫外光電面33に捉えられなかった紫
外,および可視光線,の相当部分が,通過するのを妨げ
るような幾何学的構造の電極43であって,しかも,光
電陰極33から発生した光電子2の相当部分,あるいは
また,その光電子2がその電極43にあたって発生せし
める,2次電子などの相当部分を通過させうるような遮
光格子電極43を,蛍光スクリーン(陽極)52までの
間に挿入する.
Description
って,場所的に発光を制御し,光学的画像を表示する電
子的画像表示(ディスプレイ)装置にして,これを平板
状とする,いわゆる平面ディスプレイに関する.とく
に,陰極から発生する電子の流れを制御し,蛍光体スク
リーンの発光をもたらす陰極線管(CRT:Cathode Ra
y Tube)の技術分野に属する.
努力がなされている.現在では,液晶を用いたLCD
(Liquid Crystal Display)が実用化され,その生産,
販売,応用が大きく伸びている.しかしその欠点は,コ
ントラストがまだ不十分とか,視野角が限られているこ
と,などがある.気体放電によるプラズマディスプレイ
も,有力な次の候補であるが,構造の複雑さ,その他で
まだ問題を残している.
れてきたCRTの平面化が望ましい.しかし,平面状の
電子源のえにくいことが問題である.いろいろな試みの
まず最初は,熱電子放出型平面陰極である.熱陰極とし
て,単線,または複数本のタングステン陰極を配置した
ものが試みられてきている.しかし,エネルギ効率が悪
いとか,構造が複雑であるとかの欠点があり,実用的に
問題がある.
膜をはさんだ2枚の金属層間に電圧を印加し,その片側
の正極である金属層を,きわめて薄くすることにより,
電子が真空中に放出される現象の利用は,まだ充分な電
子流密度が得られず,実用が困難視されている.電界効
果方式の他の方法として,非常に微細な針を多数配置
し,対向電極に正電圧を印加して,針先から電子の放出
をうる,いわゆるスピント(Spindt)型の電界放出電子
源が,世界の各所で開発されつつある.しかし,針先の
変形などによる性能劣化等,多くの問題をかかえてい
る.
来の技術に対抗し,平面電子源として,光電子放出陰極
面(光電面)を利用したCRTに関する.光電面を利用
するCRTについては,すでに本願の発明者らによる出
願がある.(参考:発明の名称=表示装置,発明者=小
島,宮代,荒牧,出願人=東京芝浦電気株式会社,出願
日=昭和57年7月20日,出願番号=124996,
公開公報番号=昭59−15977,公告公報番号=平
3−54422,登録番号=1690189).
な問題がいくつか発生する.すなわち,(1)光電面を
通過した部分の紫外光線により,蛍光スクリーンが直接
発光してしまう.(2)紫外の光源が発する可視光線
が,蛍光スクリーンを明るくしてしまう.そのほか,光
電面の電子放出が不十分になりがちである.これらは,
いずれにしても,ディスプレイ画像として,コントラス
トを落とし,換言すれば信号対雑音比を,はなはだ悪く
するものである.
本発明の手段の基本を,図1を参照しながらまとめる
と,次のようになる.装置の本体は,真空外囲器20に
囲まれて,真空状態で動作する.光源10から発せられ
た紫外光1は,入力面板30の内面に設けられた光電面
を刺激して,光電子2を放出させる.この光電子にもと
づく電子流は,遮光格子,すなわち補助電極40を経
て,通過電子流3となる.真空外囲器20の他の端面,
出力面板50に設けた陽極(正電極)によって加速さ
れ,出力面板50の内面に設けた蛍光スクリーンに射突
し,これを発光させ,可視光画像6をうる.
の要点は,次のようである.まず,(1)入力面板30
に入力した紫外線は光電面を刺激するが,全部は捉えら
れずに通過する.それと同時に,光源10としてよく用
いられる低圧水銀灯などでは,可視光線も発せられ,そ
の大部分は紫外光電面で吸収を受けずに通過する.した
がって,格子電極3を設けて,これらの無用の光線,換
言すれば迷光が全部とはいかないまでも,少なくともそ
の相当部分が通過できないような遮光性の幾何学的構造
とする.その場合,入力面板にも遮光構造を一部受けも
たせることもできる.これによって迷光の多くが,蛍光
スクリーンに射突することを防ぐ.なお,可視光線の発
生を伴わない光源の場合には,もちろん上記の可視光線
除去作用の要のないことはいうまでもない.これによ
り,出力での雑音,すなわち不要迷光を低減させる.
は,光電陰極から発生した電子2の相当部分を,すり抜
けさせうるようにする.また,その光電子2が,その遮
光格子40の電極にあたって発生せしめる2次電子,あ
るいは反射電子の相当部分を通過させうるようにする.
るために,入力面板30に設けられた光電陰極面近傍,
あるいは,および格子40には電子流制御電極を付置
し,場所と時間に応じて変調信号を投入する.
子流を発生し,しかも,大気曝露に対して強く,かつ,
動作時間中に劣化の少ない光電面を組み込む.これに利
用すべき実際の光電面としては,紫外光に感度のある光
電面のなかから選ぶことができる.一般に,光電面の多
くは,真空中で材料物質を反応させて作成するが,真空
をやぶって,その面を大気に曝露すると,瞬時にして変
質し,ふたたび真空状態中に戻しても,光電子放出の性
能を発揮できなくなるものが多い.とくに可視光に感度
のある現存の実用光電面は,すべてそのような性質があ
る.一方,光電面を表示装置に利用するためには,他の
電極類,たとえば,電流変調電極,蛍光スクリーンをも
った陽極など,と組み立てねばならない.その組み立て
は,実際上は大気中で行うことが望ましい.したがっ
て,大気に曝して破壊されるような一般の可視光用光電
面では役に立たない.これに対して,紫外に感度のある
光電面の中には,大気に曝露しても大きな影響を受けな
いものを見いだすことができる.たとえば沃化セシウム
CsIである.詳細は後述する.
少なくし,また信号量を増やし,結果として,信号対雑
音比を大とした電子的画像ディスプレイ装置をうること
ができる.
例によって説明する. (実施例1)図2は本発明の実施例1の原理構造図であ
る.光源10から出た紫外線1は,紫外線透過性の面板
31,たとえば溶融石英板を透過し,その内面に設けら
れた光電陰極膜(紫外光電面44)を背面から照射す
る.紫外光電面44は光電子2を放出する.この光電子
2は,遮光格子電極G43の開口部44から入り込んで
くる電場にしたがって,光電子2aで示されるように,
G開口部44を蛍光スクリーン52の方向に通過する.
あるいは光電子2bで示されるように,遮光格子43に
射突して反射電子,あるいは2次電子となり,同じくG
開口部44を通過する.あるいは,図2でいえば,遮光
格子の下面に紫外線があたり,放出された光電子2cが
G開口部44を通過する.
構成,材料,電位の配置などにより左右される.たとえ
ば,遮光格子44の下面に,光電面材料,あるいは二次
電子を放出しやすい材料を被着せしめるなどの表面処理
をすることで,通過電子3の量は変わってくる.通過電
子3は正電位におかれた蛍光スクリーン44に向かって
加速され衝突し,可視光6を発光せしめる.
様な電位を保つべく,導電性をもつ必要がある.そのた
めには,蛍光材料それ自身が充分な電気伝導性をもたな
い場合には,ガラス面板51の内面に透明導電膜,たと
えばITO(Indum Tin Oxide)膜を予めつけておき,
その上に蛍光スクリーンを形成する.
ク,あるいは,アルミバック(アルミニウムの薄膜を蛍
光スクリーンの表側,すなわち真空側に形成したもの)
を設けることは,陽極に同電位を保たせるのによいし,
また,これによって,すでに述べた紫外,可視の迷光
を,蛍光スクリーンの直前で除去できるので非常に好ま
しい.しかし,射突する電子の加速電圧が大きく(たと
えば10kV)なければ電子がアルミバックに吸収され
て,蛍光スクリーンを刺激するに至らない.われわれの
平面CRTにおいては,陰極〜陽極の間隔を大きくしに
くいので,高電圧がかけにくい.言い換えれば,アルミ
バックの方法を採用することは,容易ではない.この事
情は本発明の動機の1つでもある.
光格子41の付近部分の構造説明図である.紫外透過面
板31の上には,丸い部分を残して,紫外線などの光線
を透過させない遮光層32が設けてある.残された丸い
部分には,光電陰極面33が作られている.多数の光電
陰極33は,個々に電気的に独立しており,その電位は
信号制御回路34,たとえば薄膜トランジスタ(TF
T:Thin Film Transister)を介して,X方向の走査線
36,すなわち水平走査場所の指定線,および,Y方向
の信号線35,すなわち画像信号供給線,によって順次
1フレームに一回づつ繰り返し制御される.各光電陰極
33には,所望の時間定数で電荷量を保つように,実効
電気容量を与える.紫外光電陰極33の真上には,遮光
格子41の円形の金属板がおかれ,その大きさと光電面
からの距離は,光電面を透過してきた紫外線などの光線
の相当部分を遮光し,蛍光スクリーンの方向にゆくのを
妨げるような構成とする.このようにして,それぞれの
円形の遮光格子の周辺から,各点の電気的画像信号に応
じた電子流が蛍光スクリーンに向かい,可視光画像6を
表示することになる.
の実施例について補足説明を行う.図2には明示してい
ないが,別の方法として,いわゆる三極管方式が採り上
げうる.前述の多数の光電陰極33は,ここでは常に同
電位を保つように接続され,前方に負の電界がなければ
紫外光線の照射を受けて,常に光電子が流出できるよう
にしておく.一方,三極真空管のいわゆる制御格子に相
当する電極を,たとえば図3の遮光層の上方または上部
に設け,その電位を各画素ごとに前記と同様に走査線3
6,および信号線35によって順次1フレームごとに繰
り返し切り替えを行う.この場合は,その制御格子電極
の電位を必要時間保持するために,制御格子電極には必
要な電気容量を与えておく.
光格子41がそれぞれ円であるとした場合について,そ
の相対的な大きさと,垂直方向から見た位置関係の例を
示してある.図4(a)は,図3に示したような正方形
配置の場合である.すなわち,紫外光電面と遮光格子の
各組が,正方形の碁盤の目に沿って配置されている.図
(b)は,互いに正三角形の頂点に配置された場合であ
る.いずれも紫外光電面よりも,遮光格子の方が円を大
きくして,前者を覆い隠すようにしてある.光源からく
る紫外線や可視光線は,必ずしも,垂直に到来するとは
限らず,斜めにきたものはすり抜けてゆくのは当然であ
る.しかし,相当多くの部分はここで述べた遮光構造で
除去できる.
原理構造図である.実施例1の説明の中[0014]に
おいて,『遮光格子44の下面に,光電面材料,あるい
は二次電子を放出しやすい材料を被着せしめるなどの表
面処理をする・・・』と記したが,とくに,この遮光格
子43の下面に,紫外光電面33をつけ,主としてここ
紫外線を照射するごとくしたものである.この場合は,
あえて紫外透過面板31の上に紫外光電面をつけなくて
もよい.遮光格子43の下面から放出された光電子2
は,蛍光スクリーン52,すなわち陽極にかけられた正
の電位にしたがって,G開口部から進入してくる正電界
により,蛍光スクリーンの方向に通過する.この際,紫
外透過面板の上に設けられた信号制御回路34により,
その量が制御変調される.この場合における,紫外透過
面板31と,遮光格子Gの開口部44の相互の配置につ
いては,実施例1と同様でもよい.
原理構造図である.光源10からの紫外線が,紫外線透
過面板の上の光電面33を刺激し,光電子を放出せしめ
る.その量は面板31の上に設けられた信号制御回路に
より変調される.光電面33の前方には,遮光格子G
1,43および同じくG2,45が設けてある.これら
の例の外見図を図7に示す.G1は平板電極に丸孔44
をあけてある.G2としては,G1孔44を覆うように
ある距離をへだてて円板電極をとりつける.G2の電位
は,G1と異なったようにして最適電位を与えることが
好ましいが,場合によっては,図7のように同電位にし
てもよいことが実証されている.なおG1の孔44とG
2円板電極の幾何学的な配置については,たとえば先の
図4で示されたものと同様であってよい.
たa,b,c,dのような過程を経て通過電子3とな
り,蛍光スクリーンを光らせる.aは光電子がそのまま
電界に引きずられて通過電子3となる場合である.bは
光電子がG2にあたって反射電子,あるいは2次電子と
なって,通過してゆく場合である.cは光電子がG1に
あたって反射電子,あるいは2次電子となって,通過し
てゆく場合である.dは光電子がG1にあたって反射電
子,あるいは2次電子となって,G1を通過し,さらに
G2にもあたって反射電子,あるいは2次電子となっ
て,G2を通過してゆく場合である.e,f,gは紫外
線がG1またはG2に直接あたって光電子を放出させる
場合である.
理構造図である.基本的には前述の実施例3とよく似て
いる.とくに異なるのは,遮光格子(G1)43と遮光
格子(G2)45の構造である.その部分構造を図9に
示してある.図9においては,G1,G2ともに平板に
丸孔が多数並べてあけてあり,それらが互い違いに配置
して重ねられているのである.遮光格子の面を垂直方向
から見た配置の例を図10に示す.いづれもG2の上か
ら見た図であって,G1の開口部(丸孔)は直接には見
えないから破線で示してある.(a)は正方形配置の場
合,(b)は三角形配置の場合である.
べたが,これらを作るのに,写真蝕刻(ホトエッチン
グ)法などで作ることもできる.さらに別の構造とし
て,ベネシアンブラインド式に,細い板状のものを斜め
にして並べることもできる.
のように,遮光格子としていわゆるマイクロチャンネル
プレート(MCP:Micro-Channel Plate)を用いるこ
ともできる.MCPは周知のとおり,細い管状のガラス
を多数束ねてこれを管とほぼ垂直な面で切って平板状に
したものであり,電子が片側から入ると管の内部で2次
電子増倍を受けて反対側から出てくるものである.先に
述べたほぼ垂直な面で切る場合に,少し斜めに切り,両
面に電極をかねて金属をある程度以上の厚さにつけてあ
るものを用いれば,光源からの迷光はほぼここで除去さ
れ,電子流は増倍され,結果として信号対雑音比の改善
に寄与できる.もちろん,この場合も光電陰極の面に沿
って信号制御回路を用いて電流変調を行う.あるいは,
遮光格子43に信号制御回路を付置する.
原理説明図である.光源10から放射された光線のう
ち,ある程度以上に斜めの光線は遮光格子をすり抜けて
ゆく.これを防ぐために,軸の向きに近い角度の光線の
割合を多くする,言い換えるとある程度以上斜めに到来
する光線を減少させるような光コリメータを図示のよう
に,光源と遮光格子の間に介在させる.光コリメータの
構造は図13(a),(b)にその例を示した.2次元
的な広がりを持つ光源の場合には(a)のような2次元
的なものが望ましい.光源が線状の場合には一次元的な
(b)のものでよい.すなわち,図示のように格子状,
蜂の巣状の軸方向の多くの筒,あるいはスリット状の単
位小室を多重して作られ,その内面は光吸収面61と図
示してあるように,光の吸収性をもつようにした構造体
である.その各単位小室の断面形状は長方形,正方形,
六角形,円形など種々考えられる.図6はこのコリメー
タを例として前述の実施例3に組みあわせたものである
が,いづれの場合も,遮光格子を漏れる光量を顕著に減
少させることができ,遮光格子の効果を一層発揮させ,
出力画像のコントラスト向上に寄与する.なおこのコリ
メータは各単位小室の断面積と軸方向深さの比率によっ
て除去減少させるべき光線の斜め角度βを決めることが
できる.一方,光源からの光量を立体角ωに対応して減
少させるので,光電子流の減少に関係する.このような
点を考慮して構造設計をする必要がある.
えば,周知の沃化セシウムCsIが用いられる.CsI
は絶縁性が高いので,その下地に透明導電膜ITOをつ
けることが常識的に行われるが,下地として金属薄膜を
つけておくのもよい.とくに透過形の光電面について述
べる.たとえばアルミニウムAlの数10ないし約20
0オングストロームの層をつけ,その上に,CsIの5
0〜300オングストロームの層を真空蒸着でつけて多
層構造とする.これは,CsI単体よりはいくらか長波
長に感度がのび,また大気に曝露しても劣化が少ない特
徴がある.銅Cuの下地膜にCsIをつけるのもよい.
CsIではなくて,ヨウ化銅CuIも紫外に感度があり
利用候補である.これらCsIやCuIなどを用いず
に,金属だけ,たとえばアルミニウムAlや銅Cuの薄
膜(100オングストロームの程度)だけでも紫外線に
より光電子をだし,CsIよりいくらか長波長に感度が
のび,利用候補である.
例をすでに[0017]および[0018]において,
実施例1に関連し,図3を参照しながらすでに述べた通
り,種々の方式が採用できる.すなわち,たとえばま
ず,すでに引用した本発明者らによる発明(発明の名称
=表示装置,発明者=小島,宮代,荒牧,出願人=東京
芝浦電気株式会社,出願日=昭和57年7月20日,出
願番号=124996,公開公報番号=昭59−159
77,公告公報番号=平3−54422,登録番号=1
690189)の信号電荷蓄積方式,あるいはそれに準
ずるような方式でもよい.さらに光電面から順次放出さ
れる光電子を,原理的には従来の三極真空管,あるいは
ブラウン管の電子銃で行われているような制御格子方式
で変調ができる.このように,実施例1に限らず,本発
明にはこれら方式はそのいかんによらず適用できる.
として,1画素あたり1遮光格子で構成されるかのよう
に説明してきたが,1画素あたり複数単位の遮光格子で
あってもよい.隣接画素の光の混じり合いを軽減できる
ので,解像度の点で好ましい.
は,複数の色の蛍光体を配置してカラー表示を行いうる
ことはもちろんである.
30と出力面板50とが真空容器の一部になっている
が,その両方または片方を,真空容器の内部におくこと
も,本発明の趣旨を変えることなく行いうることはもち
ろんである.内部に入れられた面板は,大気圧による変
形がないので,薄く平らな材料が自由に使用できる利点
がある.真空容器の外部に紫外線の光源がおかれたよう
な図面を例として示したが,この光源も真空容器の内部
に入れ込むことももちろんあってよい.紫外線の人体へ
の悪影響を防ぐことにもなる.前項[0030]および
この項[0031]については,既引用の発明(発明の
名称=表示装置,発明者=小島,宮代,荒牧,出願人=
東京芝浦電気株式会社,出願日=昭和57年7月20
日,出願番号=124996,公開公報番号=昭59−
15977,公告公報番号=平3−54422,登録番
号=1690189)にすでに記してあるとおりである
が,念のためあえて述べておく.
外線に感じる光電子放出陰極を,平面電子源とする平面
形画像表示装置において,光電面に捉えられずに進入す
る紫外光線を減少させ,それが直接蛍光スクリーンを発
光させ表示画像のコントラストを下げるのを防ぎ,ま
た,また紫外線発光に伴う可視光線の迷光部分も減少さ
せ,それが蛍光スクリーンを照射して画像のコントラス
トを下げるのも防ぎうる.さらに効率よく丈夫な光電面
を用い,場合により,遮光格子電極による電子増倍効果
も伴い,全体として信号対雑音比の高い表示装置がえら
れる.
である.
である.
である.
である.
図である.
す図である.
Claims (6)
- 【請求項1】 紫外光源から生じる紫外光線に刺激され
て,光電子を放出する平面電子源と,これに捉えられず
に進入する紫外光線,および付随する可視光線などの迷
光を減少させる一方,光電子,あるいはならびに,光電
子の射突等に起因する二次電子等を,通過させうる遮光
格子,すなわち補助電極と,これら光電子や二次電子等
からなる電子流の強度を,電子的に変調する手段と,そ
の電子流を加速衝突させることにより,可視光画像を発
生する蛍光スクリーン,とを具備する陰極線管式表示装
置. - 【請求項2】 前記紫外光線が入力透過する面板の,必
要部分以外に前記光源からの光線に対して不透明な材料
層を設け,前記遮光格子,すなわち補助電極と組んで,
前記の迷光を減少させるごとくした請求項1記載の表示
装置 - 【請求項3】 前記の遮光電極,すなわち補助電極が,
多重格子構造であることを特徴とする請求項1記載の表
示装置 - 【請求項4】 前記の遮光電極の,前記紫外光源に面す
る側が,光電子,あるいは二次電子の放出性の大となる
処理を施した表面からなることを特徴とする請求項1記
載の表示装置 - 【請求項5】 前記光電子を放出する平面電子源が,沃
化セシウムCsI,あるいは沃化銅CuIなどの紫外線
に感度のある光電子放出材料層と,その裏側におかれた
アルミニウムAl,あるいは銅Cuなどの金属からなる
多層構造であることを特徴とする請求項1記載の表示装
置. - 【請求項6】 前記の紫外光源から前記の遮光電極に到
来する光線のうち,遮光電極をすり抜けるような斜めに
入射する光線を除去あるいは減少させるべく,格子状,
蜂の巣状にならべた軸方向の多くの筒,あるいはスリッ
ト状の単位小室を多重した形状で,反射の少ない表面の
材料で構成された光コリメータを,紫外光源と遮光電極
との間に付加介在させることを特徴とする請求項1記載
の表示装置.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP07514097A JP3667487B2 (ja) | 1996-07-24 | 1997-03-27 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
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JP19461896 | 1996-07-24 | ||
JP8-194618 | 1996-07-24 | ||
JP07514097A JP3667487B2 (ja) | 1996-07-24 | 1997-03-27 | 表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1092349A true JPH1092349A (ja) | 1998-04-10 |
JP3667487B2 JP3667487B2 (ja) | 2005-07-06 |
Family
ID=26416286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP07514097A Expired - Fee Related JP3667487B2 (ja) | 1996-07-24 | 1997-03-27 | 表示装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP3667487B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6181307B1 (en) | 1998-01-21 | 2001-01-30 | International Business Machines Corporation | Photo-cathode electron source having an extractor grid |
JP2009543157A (ja) * | 2006-07-13 | 2009-12-03 | フォテグラ コーポレーション | 光放出素子とその製造方法、および光放出素子を用いた露光装置 |
-
1997
- 1997-03-27 JP JP07514097A patent/JP3667487B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6181307B1 (en) | 1998-01-21 | 2001-01-30 | International Business Machines Corporation | Photo-cathode electron source having an extractor grid |
JP2009543157A (ja) * | 2006-07-13 | 2009-12-03 | フォテグラ コーポレーション | 光放出素子とその製造方法、および光放出素子を用いた露光装置 |
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JP3667487B2 (ja) | 2005-07-06 |
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