JPH1090302A - 金属板で形成したプロ−ブ - Google Patents
金属板で形成したプロ−ブInfo
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- JPH1090302A JPH1090302A JP8261200A JP26120096A JPH1090302A JP H1090302 A JPH1090302 A JP H1090302A JP 8261200 A JP8261200 A JP 8261200A JP 26120096 A JP26120096 A JP 26120096A JP H1090302 A JPH1090302 A JP H1090302A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】インピ−ダンスを所望の特性に容易に設定する
ことができると共に、微小なピッチ間隔を検査するフア
インピッチの積層プロ−ブに構成しても、高周波のロス
及び直流抵抗値を小さくすることができるプロ−ブを提
供する。 【解決手段】金属板で形成した電極とグラウンドとを間
隔付けて面一となるように配し、同一面に伝送線路を形
成することにより、電極とグラウンドとの間隔を調整す
ることによって、所望のインピ−ダンスに容易に設定し
得るようにした。
ことができると共に、微小なピッチ間隔を検査するフア
インピッチの積層プロ−ブに構成しても、高周波のロス
及び直流抵抗値を小さくすることができるプロ−ブを提
供する。 【解決手段】金属板で形成した電極とグラウンドとを間
隔付けて面一となるように配し、同一面に伝送線路を形
成することにより、電極とグラウンドとの間隔を調整す
ることによって、所望のインピ−ダンスに容易に設定し
得るようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、集積回路、面実
装デバイス等の回路検査を行う金属板で形成したプロー
ブに係り、詳記すれば、同一面に伝送線路を形成するこ
とができると共に回路インピ−ダンスを所望の特性イン
ピ−ダンスになるように容易に配置することができ、高
周波領域で使用することができる金属板で形成したプロ
ーブに関するものである。
装デバイス等の回路検査を行う金属板で形成したプロー
ブに係り、詳記すれば、同一面に伝送線路を形成するこ
とができると共に回路インピ−ダンスを所望の特性イン
ピ−ダンスになるように容易に配置することができ、高
周波領域で使用することができる金属板で形成したプロ
ーブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高周波領域で使用するプロ−ブと
しては、中心の細長い針金状の電極を、誘電体を介し
て、グラウンドとなる筒体に内装し、全体を細長い円筒
状に形成した同軸プロ−ブが知られていた。
しては、中心の細長い針金状の電極を、誘電体を介し
て、グラウンドとなる筒体に内装し、全体を細長い円筒
状に形成した同軸プロ−ブが知られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の同軸プロー
ブは、コネクタ−を介して測定しようとする回路に接触
させるので、構造が複雑で高価になるほか、最近開発さ
れてきた微小なピッチ間隔の高集積回路等を検査するプ
ロ−ブとするには、加工が極めて困難であると共に機械
的に弱くなり、しかも高周波のロスが増大する問題があ
った。そればかりか、コネクタ−を介在させているの
で、インピ−ダンスのコントロ−ルが難しい問題があっ
た。
ブは、コネクタ−を介して測定しようとする回路に接触
させるので、構造が複雑で高価になるほか、最近開発さ
れてきた微小なピッチ間隔の高集積回路等を検査するプ
ロ−ブとするには、加工が極めて困難であると共に機械
的に弱くなり、しかも高周波のロスが増大する問題があ
った。そればかりか、コネクタ−を介在させているの
で、インピ−ダンスのコントロ−ルが難しい問題があっ
た。
【０００４】これは、上記従来のプロ−ブにバネ性を付
与させようとすると、先端ニ−ドル部は、ある程度の長
さとする必要があったので、インダクタンス成分が増大
し、これが高周波信号の伝達ロスが増大する原因となっ
ていたためである。コイルスプリングを介装すれば、先
端ニ−ドル部を短くすることは可能であるが、これで
は、微小なピッチ間隔を検査するプロ−ブとすることは
極めて困難であるほか、コイルスプリングを介在させた
ことにより同様に高周波のロスが増大する問題があっ
た。
与させようとすると、先端ニ−ドル部は、ある程度の長
さとする必要があったので、インダクタンス成分が増大
し、これが高周波信号の伝達ロスが増大する原因となっ
ていたためである。コイルスプリングを介装すれば、先
端ニ−ドル部を短くすることは可能であるが、これで
は、微小なピッチ間隔を検査するプロ−ブとすることは
極めて困難であるほか、コイルスプリングを介在させた
ことにより同様に高周波のロスが増大する問題があっ
た。
【０００５】更に、コイルスプリングを内蔵したシリン
ダ−状のプロ−ブの場合は、プロ−ブの位置で全長が変
わるため、電気長を一定とすることが難しいと共に、コ
イルスプリングが存在するため、構造が複雑となり、プ
ロ−ブのインピ−ダンスを所望のインピ−ダンスにする
のが困難な問題があった。
ダ−状のプロ−ブの場合は、プロ−ブの位置で全長が変
わるため、電気長を一定とすることが難しいと共に、コ
イルスプリングが存在するため、構造が複雑となり、プ
ロ−ブのインピ−ダンスを所望のインピ−ダンスにする
のが困難な問題があった。
【０００６】この発明のうち請求項１に記載の発明は、
このような問題点を解決しようとするものであり、イン
ピ−ダンスを所望の特性に容易に設定することができる
と共に、微小なピッチ間隔を検査するフアインピッチの
積層プロ−ブに構成しても、高周波のロス及び直流抵抗
値を小さくすることができるプロ−ブを提供することを
目的とする。
このような問題点を解決しようとするものであり、イン
ピ−ダンスを所望の特性に容易に設定することができる
と共に、微小なピッチ間隔を検査するフアインピッチの
積層プロ−ブに構成しても、高周波のロス及び直流抵抗
値を小さくすることができるプロ−ブを提供することを
目的とする。
【０００７】請求項５に記載の発明は、上記請求項１に
記載の発明の目的に加えて、電極を複数積層した場合
に、アイソレ−ション特性が改善されるプロ−ブを提供
することを目的とする。また、請求項６に記載の発明
は、上記請求項５に記載の発明の目的に加えて、よりフ
アインピッチな積層プロ−ブを形成できるプロ−ブを提
供することを目的とする。
記載の発明の目的に加えて、電極を複数積層した場合
に、アイソレ−ション特性が改善されるプロ−ブを提供
することを目的とする。また、請求項６に記載の発明
は、上記請求項５に記載の発明の目的に加えて、よりフ
アインピッチな積層プロ−ブを形成できるプロ−ブを提
供することを目的とする。
【０００８】更に、請求項７に記載の発明は、上記請求
項６に記載の発明の目的に加えて、微小なピッチ間隔の
集積回路、面実装デバイス等の回路検査を支障なく行う
ことができる積層プロ−ブを提供することを目的とす
る。
項６に記載の発明の目的に加えて、微小なピッチ間隔の
集積回路、面実装デバイス等の回路検査を支障なく行う
ことができる積層プロ−ブを提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項１に記載の発明は、電極及びグ
ラウンドを金属板で形成し、該電極とグラウンドとを、
間隔付けて面一となるように保持して、同一面に伝送線
路を形成したことを特徴とする。
に、本発明のうち請求項１に記載の発明は、電極及びグ
ラウンドを金属板で形成し、該電極とグラウンドとを、
間隔付けて面一となるように保持して、同一面に伝送線
路を形成したことを特徴とする。
【００１０】要するに、本発明は、金属板で形成した電
極とグラウンドとを間隔付けて面一となるように配し
て、同一面に伝送線路を形成しているので、電極とグラ
ウンドとの間隔を調整することによって、所望のインピ
−ダンスに容易に設定し得るようにしたことを要旨とす
るものである。
極とグラウンドとを間隔付けて面一となるように配し
て、同一面に伝送線路を形成しているので、電極とグラ
ウンドとの間隔を調整することによって、所望のインピ
−ダンスに容易に設定し得るようにしたことを要旨とす
るものである。
【００１１】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
に記載の面一となる電極とグラウンドとの面の下方に、
絶縁材を介してグラウンドを積層したことを特徴とす
る。また、請求項６に記載の発明は、前記請求項５に記
載の発明の構成に加えて、絶縁材の間に、請求項１に記
載の電極とは異なる形の第２の電極を配してなることを
特徴とする。更に、請求項７に記載の発明は、前記請求
項６に記載の板体で形成したプローブを複数積層してな
ることを特徴とする。
に記載の面一となる電極とグラウンドとの面の下方に、
絶縁材を介してグラウンドを積層したことを特徴とす
る。また、請求項６に記載の発明は、前記請求項５に記
載の発明の構成に加えて、絶縁材の間に、請求項１に記
載の電極とは異なる形の第２の電極を配してなることを
特徴とする。更に、請求項７に記載の発明は、前記請求
項６に記載の板体で形成したプローブを複数積層してな
ることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す斜
視図であり、バネ性を有する金属製薄板状電極１とバネ
性を有する薄板状グラウンド（ＧＮＤ）２とを、間隔付
けて面一となるように配し、該同一面の裏面に絶縁材３
を積層した例を示す。
に基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す斜
視図であり、バネ性を有する金属製薄板状電極１とバネ
性を有する薄板状グラウンド（ＧＮＤ）２とを、間隔付
けて面一となるように配し、該同一面の裏面に絶縁材３
を積層した例を示す。
【００１３】電極１とグラウンド（ＧＮＤ）２とは、間
隔付けて同一面となれば良く、同一の平面であっても曲
面であっても差し支えない。また、同一というのは、板
体で構成したコプレ−ナ型といえる程度の同一であれば
良い。
隔付けて同一面となれば良く、同一の平面であっても曲
面であっても差し支えない。また、同一というのは、板
体で構成したコプレ−ナ型といえる程度の同一であれば
良い。
【００１４】図１において、絶縁材３は、空気であって
も良く、プロ−ブの先端部分の絶縁材３を空気とし、根
元は隣接するプロ−ブを保持する目的から、樹脂等から
形成したフイルム若しくは板体としても良い。絶縁材３
は、電極１とグラウンド２とを保持できるものであれば
平面でなくとも良く、例えば波板状のフイルムであって
も差し支えない。
も良く、プロ−ブの先端部分の絶縁材３を空気とし、根
元は隣接するプロ−ブを保持する目的から、樹脂等から
形成したフイルム若しくは板体としても良い。絶縁材３
は、電極１とグラウンド２とを保持できるものであれば
平面でなくとも良く、例えば波板状のフイルムであって
も差し支えない。
【００１５】上記実施例では、電極１とグラウンド２と
を、バネ性を有する金属製薄板で形成している。これ
は、電極１及びグラウンド２とも可動するように構成す
るためであるが、可動させる必要がない場合は、必ずし
もバネ性を有する金属製薄板でなくとも差し支えない。
例えば、グラウンドは、デバイスに接続する必要がなけ
れば、可動しないように構成しても差し支えない。
を、バネ性を有する金属製薄板で形成している。これ
は、電極１及びグラウンド２とも可動するように構成す
るためであるが、可動させる必要がない場合は、必ずし
もバネ性を有する金属製薄板でなくとも差し支えない。
例えば、グラウンドは、デバイスに接続する必要がなけ
れば、可動しないように構成しても差し支えない。
【００１６】フアインピッチのプロ−ブとするには、電
極１及びグラウンド２の薄板厚さは、０．２ｍｍ以下、
好ましくは０．１２ｍｍ以下とするのが良い。このよう
な薄板は、鋼、銅合金、タングステンまたは焼入れ帯鋼
板から形成するのが好ましく、このような材質から形成
すると、０．０２ｍｍという超薄板に容易に形成するこ
とができる。しかしながら、適用目的によっては、電極
１及びグラウンド２は、薄板でなくとも良い。例えば、
低い周波数の大電流デバイス等の検査に適用する場合
は、電極、グラウンド及び絶縁材の厚さは、数ｍｍ〜数
ｃｍの厚さにすることができる。
極１及びグラウンド２の薄板厚さは、０．２ｍｍ以下、
好ましくは０．１２ｍｍ以下とするのが良い。このよう
な薄板は、鋼、銅合金、タングステンまたは焼入れ帯鋼
板から形成するのが好ましく、このような材質から形成
すると、０．０２ｍｍという超薄板に容易に形成するこ
とができる。しかしながら、適用目的によっては、電極
１及びグラウンド２は、薄板でなくとも良い。例えば、
低い周波数の大電流デバイス等の検査に適用する場合
は、電極、グラウンド及び絶縁材の厚さは、数ｍｍ〜数
ｃｍの厚さにすることができる。
【００１７】電極１の被測定物への接触部及びグラウン
ドのデバイス等への接続部は、ニ−ドル構造として点接
触にしても、或は面接触にしても差し支えない。ウエハ
−上のデバイスを測定する場合は、酸化膜を破る必要が
あることから、ニ−ドル構造の方が有利であり、デバイ
スの端子で測定する場合は、デバイスとプロ−ブとのミ
スマッチを減らすためにも、ある一定の広さとした面構
造とするのが有利である。
ドのデバイス等への接続部は、ニ−ドル構造として点接
触にしても、或は面接触にしても差し支えない。ウエハ
−上のデバイスを測定する場合は、酸化膜を破る必要が
あることから、ニ−ドル構造の方が有利であり、デバイ
スの端子で測定する場合は、デバイスとプロ−ブとのミ
スマッチを減らすためにも、ある一定の広さとした面構
造とするのが有利である。
【００１８】また、電極部分のみ可動させるようにして
も、電極とグラウンドとを一体として可動させるように
しても良い。ニ−ドル構造とするには、例えば図４に示
すように、薄板からなる電極１のニ−ドル部４の後方に
切り欠き５を形成し、先端ニ−ドル部４が矢印で示すよ
うに、上下方向に弾性移動するようにすれば良い。図１
は、単一の電極の例を示すものであるが、電極を多数設
けた積層プロ−ブとする場合は、絶縁材３を介して、面
一とした電極１とＧＮＤ２とを多数積層するようにすれ
ば良い。
も、電極とグラウンドとを一体として可動させるように
しても良い。ニ−ドル構造とするには、例えば図４に示
すように、薄板からなる電極１のニ−ドル部４の後方に
切り欠き５を形成し、先端ニ−ドル部４が矢印で示すよ
うに、上下方向に弾性移動するようにすれば良い。図１
は、単一の電極の例を示すものであるが、電極を多数設
けた積層プロ−ブとする場合は、絶縁材３を介して、面
一とした電極１とＧＮＤ２とを多数積層するようにすれ
ば良い。
【００１９】しかしながら、上記のようにして多数積層
すると、絶縁材３を介して隣接する電極同士が結合し、
一方の電極の信号が他方の電極の信号に現れ、アイソレ
−ションが要求される高周波領域で使用するプロ−ブに
は、不向きとなる。図２に示すように、絶縁材３の電極
１の反対側に第２のＧＮＤ２′を積層したグランデッド
コプレ−ナ型の構造とすれば、電極１を複数積層した場
合のアイソレ−ション特性が改善される。これは、図２
に示すプロ−ブを積層すれば、電極１は、周りをＧＮＤ
２，２′で囲まれる形となるからである。
すると、絶縁材３を介して隣接する電極同士が結合し、
一方の電極の信号が他方の電極の信号に現れ、アイソレ
−ションが要求される高周波領域で使用するプロ−ブに
は、不向きとなる。図２に示すように、絶縁材３の電極
１の反対側に第２のＧＮＤ２′を積層したグランデッド
コプレ−ナ型の構造とすれば、電極１を複数積層した場
合のアイソレ−ション特性が改善される。これは、図２
に示すプロ−ブを積層すれば、電極１は、周りをＧＮＤ
２，２′で囲まれる形となるからである。
【００２０】しかしながら、図２に示すプロ−ブを積層
した場合は、電極間のピッチは、マイクロストリップ型
のプロ−ブと同等となり、フアインピッチを実現するこ
とができない。尚、マイクロストリップ型のプロ−ブと
は、電極の両脇にＧＮＤが存在せず、下部のＧＮＤ面と
の間で伝送線路が形成されるプロ−ブのことである。図
３及び図６に示すように、電極１とは異なる形の電極
１′を絶縁材３，３′の間に挟んだグランデッドコプレ
−ナ型とすれば、電極１，１′はグランドラインで囲ま
れるようになるので、アイソレ−ション特性が改善され
ると共に、フアインピッチも実現できる。
した場合は、電極間のピッチは、マイクロストリップ型
のプロ−ブと同等となり、フアインピッチを実現するこ
とができない。尚、マイクロストリップ型のプロ−ブと
は、電極の両脇にＧＮＤが存在せず、下部のＧＮＤ面と
の間で伝送線路が形成されるプロ−ブのことである。図
３及び図６に示すように、電極１とは異なる形の電極
１′を絶縁材３，３′の間に挟んだグランデッドコプレ
−ナ型とすれば、電極１，１′はグランドラインで囲ま
れるようになるので、アイソレ−ション特性が改善され
ると共に、フアインピッチも実現できる。
【００２１】図１〜図３の実施例では、電極１の片側に
しかＧＮＤ２は存在しない非対称型コプレ−ナ線路を形
成しているが、図６に示すように、電極１の両側にＧＮ
Ｄ２，２を配し、対称型コプレ−ナ線路を形成するよう
にすると、アイソレ−ション特性は更に改善される。
尚、図５は、図２のグランデッドコプレ−ナ型プロ−ブ
についての対称型プロ−ブを断面図で示したが、図１及
び図３のプロ−ブについても、同様に対称型プロ−ブを
形成することができる。
しかＧＮＤ２は存在しない非対称型コプレ−ナ線路を形
成しているが、図６に示すように、電極１の両側にＧＮ
Ｄ２，２を配し、対称型コプレ−ナ線路を形成するよう
にすると、アイソレ−ション特性は更に改善される。
尚、図５は、図２のグランデッドコプレ−ナ型プロ−ブ
についての対称型プロ−ブを断面図で示したが、図１及
び図３のプロ−ブについても、同様に対称型プロ−ブを
形成することができる。
【００２２】本発明のプロ−ブは、スイッチ、リレ−及
びコネクタ等の電気部品の接点とすることができる。電
気部品の接点とすることによって、フアインピッチ、長
寿命、小接点容量及び電気長が変わらない等の利点が得
られる。この接点をリレ−の内部に用いることによっ
て、小型、長寿命及び小接点容量のリレ−が構成でき、
このリレ−を組み合わせることによって、小型のスイッ
チマトリックス等を構成することができる。
びコネクタ等の電気部品の接点とすることができる。電
気部品の接点とすることによって、フアインピッチ、長
寿命、小接点容量及び電気長が変わらない等の利点が得
られる。この接点をリレ−の内部に用いることによっ
て、小型、長寿命及び小接点容量のリレ−が構成でき、
このリレ−を組み合わせることによって、小型のスイッ
チマトリックス等を構成することができる。
【００２３】また、コネクタは、現在すり割りの付いた
小さめの金属穴に、丸棒状の金属を差し込む方法が取ら
れているが、差し込む際の位置合わせが難しいため、自
動化できなかったり、また、嵌合後の位置が不安定なた
め、電気長が変化したりする欠点がある。本発明のプロ
−ブの構造を、コネクタの接点部分とすることによっ
て、上記問題を解決することができる。
小さめの金属穴に、丸棒状の金属を差し込む方法が取ら
れているが、差し込む際の位置合わせが難しいため、自
動化できなかったり、また、嵌合後の位置が不安定なた
め、電気長が変化したりする欠点がある。本発明のプロ
−ブの構造を、コネクタの接点部分とすることによっ
て、上記問題を解決することができる。
【００２４】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、板体で
形成した電極とＧＮＤとを間隔付けて面一となるように
配しているので、電極とＧＮＤとの隙間を調節すれば、
所望の特性インピ−ダンスが実現でき、高周波領域で使
用するプロ−ブとして好適であるほか、電極及びＧＮＤ
が面状となっているので、マイクロ波回路等を容易に内
蔵させることができる。また、従来の同軸プロ−ブと比
べて、製造が容易であるので製造コストを低減させるこ
とができ、製品の品質のバラツキを小さくすることがで
きると共にプロ−ブの寿命が長くなる利点が得られる。
形成した電極とＧＮＤとを間隔付けて面一となるように
配しているので、電極とＧＮＤとの隙間を調節すれば、
所望の特性インピ−ダンスが実現でき、高周波領域で使
用するプロ−ブとして好適であるほか、電極及びＧＮＤ
が面状となっているので、マイクロ波回路等を容易に内
蔵させることができる。また、従来の同軸プロ−ブと比
べて、製造が容易であるので製造コストを低減させるこ
とができ、製品の品質のバラツキを小さくすることがで
きると共にプロ−ブの寿命が長くなる利点が得られる。
【００２５】マイクロストリップ型の積層プロ−ブの場
合は、ＧＮＤと電極のピン間によって、誘導体の厚さと
電極の厚さが決まるので、同じ特性インピ−ダンスの伝
送線路でＧＮＤと電極間を変えるためには、誘導体の厚
さを変えるしかなく、設計の自由度がない。例えば、隣
の電極の距離が変わり、誘導体の厚さを厚くすると、マ
イクロストリップ型の場合、電極の設計変更が必要にな
る。
合は、ＧＮＤと電極のピン間によって、誘導体の厚さと
電極の厚さが決まるので、同じ特性インピ−ダンスの伝
送線路でＧＮＤと電極間を変えるためには、誘導体の厚
さを変えるしかなく、設計の自由度がない。例えば、隣
の電極の距離が変わり、誘導体の厚さを厚くすると、マ
イクロストリップ型の場合、電極の設計変更が必要にな
る。
【００２６】これに対し、請求項１に記載の板体で形成
したコプレ−ナ型プロ−ブの場合は、同じ特性インピ−
ダンスを実現する電極とＧＮＤとの隙間の関係は、無限
にあるので、電極の位置が多少変わっても、比較的簡単
にプロ−ブを対応させることができ、電極の型を再び起
こして電極を作る必要がない。
したコプレ−ナ型プロ−ブの場合は、同じ特性インピ−
ダンスを実現する電極とＧＮＤとの隙間の関係は、無限
にあるので、電極の位置が多少変わっても、比較的簡単
にプロ−ブを対応させることができ、電極の型を再び起
こして電極を作る必要がない。
【００２７】更に、請求項１に記載のプロ−ブは、板体
で形成されているので、先端の形状を小さくしても、機
械的強度が保てるため、寿命の長い、接点容量の小さい
製品を構成することができると共に、プロ−ブの位置で
全長が変わることが殆どないため、電気長を一定とする
ことができる。
で形成されているので、先端の形状を小さくしても、機
械的強度が保てるため、寿命の長い、接点容量の小さい
製品を構成することができると共に、プロ−ブの位置で
全長が変わることが殆どないため、電気長を一定とする
ことができる。
【００２８】また、請求項５に記載の発明によれば、上
記請求項１に記載の発明の効果に加えて、電極を複数積
層した場合に、電極はＧＮＤで囲まれるので、アイソレ
−ション特性が改善される効果が得られる。
記請求項１に記載の発明の効果に加えて、電極を複数積
層した場合に、電極はＧＮＤで囲まれるので、アイソレ
−ション特性が改善される効果が得られる。
【００２９】また、請求項６に記載の発明によれば、上
記請求項５に記載の発明の効果に加えて、電極を複数積
層した場合に、よりフアインピッチな積層プロ−ブが形
成される利点が得られる。更に、請求項７に記載の発明
によれば、上記請求項６に記載の発明の効果に加えて、
微小なピッチ間隔の集積回路、面実装デバイス等の回路
検査を支障なく行うことができる効果が得られる。
記請求項５に記載の発明の効果に加えて、電極を複数積
層した場合に、よりフアインピッチな積層プロ−ブが形
成される利点が得られる。更に、請求項７に記載の発明
によれば、上記請求項６に記載の発明の効果に加えて、
微小なピッチ間隔の集積回路、面実装デバイス等の回路
検査を支障なく行うことができる効果が得られる。
【００３０】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図４】本発明に使用する電極の例を示す側面図であ
る。
る。
【図５】図３のプロ−ブの断面図である。
【図６】本発明の他の実施例を示す示す断面図である。
１，１′ 電極 ２，２′ グラウンド（ＧＮＤ） ３，３′ 絶縁材 ４ 電極のニ−ドル部
Claims (11)
- 【請求項１】電極及びグラウンドを金属板で形成し、該
電極とグラウンドとを、間隔付けて面一となるように保
持して、同一面に伝送線路を形成したことを特徴とする
金属板で形成したプローブ。 - 【請求項２】上記プロ−ブが、高周波領域で使用するプ
ロ−ブである請求項１に記載のプローブ。 - 【請求項３】前記グラウンドを前記電極の一側に配して
非対称型コプレ−ナ線路を形成してなる請求項１に記載
のプローブ。 - 【請求項４】前記グラウンドを前記電極の両側に配して
対称型コプレ−ナ線路を形成してなる請求項１に記載の
プローブ。 - 【請求項５】前記面一となる電極とグラウンドとの面の
下方に、絶縁材を介してグラウンドを積層してなる請求
項１に記載のプローブ。 - 【請求項６】前記面一となる電極とグラウンドとの面の
下方に絶縁材を配し、該絶縁材の間に、グラウンドと前
記電極とは異なる形の第２の電極とを配してなる請求項
１に記載のプローブ。 - 【請求項７】前記金属板で形成したプローブを複数積層
してなる請求項６に記載の積層プローブ。 - 【請求項８】前記金属板を、鋼、銅合金、タングステン
または焼入れ帯鋼板から形成してなる請求項１に記載の
プローブ。 - 【請求項９】前記電極とグラウンドとの間隔を調節する
ことによって、所望の特性インピ−ダンスとなるように
設定してなる請求項１〜８のいずれかに記載のプロー
ブ。 - 【請求項１０】前記プローブが電気部品の接点である請
求項１及び３〜９のいずれかに記載のプローブ。 - 【請求項１１】前記電気部品の接点が、スイッチ、リレ
−またはコネクタである請求項１０に記載のプロ−ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8261200A JPH1090302A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 金属板で形成したプロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8261200A JPH1090302A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 金属板で形成したプロ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090302A true JPH1090302A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17358539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8261200A Pending JPH1090302A (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 金属板で形成したプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090302A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100911975B1 (ko) | 2002-11-14 | 2009-08-13 | 유우겐가이샤 키요다 세이사쿠쇼 | 적층형 프로브 |
| JP2011257329A (ja) * | 2010-06-11 | 2011-12-22 | Kiyota Manufacturing Co | 積層型プローブ |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02208572A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-20 | Nec Corp | 高周波プローブ |
| JPH04131774U (ja) * | 1991-03-19 | 1992-12-04 | 横河電機株式会社 | 高周波プローブ |
| JPH0764034A (ja) * | 1993-08-23 | 1995-03-10 | Ibiden Co Ltd | 進行波型光変調器 |
| JPH07122602A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波プローブ及びプローブカード |
| JPH07336113A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Murata Mfg Co Ltd | 高周波電極及び高周波伝送線路 |
| JPH0886812A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-04-02 | Kiyota Seisakusho:Kk | 超微小ピッチ検査用積層プロ−ブコンタクト |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP8261200A patent/JPH1090302A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041129 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041220 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050506 |