JPH1085977A - 非円形開口のレーザー加工 - Google Patents
非円形開口のレーザー加工Info
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Abstract
ザー及び供給孔を形成するレーザー加工法。 【解決手段】金属製構成部材の壁21に、ディフューザ
ー15の底から壁の第一表面へ上方且つ外方に開いたデ
ィフューザーを有する開口14を形成する方法であっ
て、金属を蒸発するに十分なパルス繰り返し率及び出力
を有するレーザービーム24bを生じるレーザー24を
用いて壁をレーザー加工し、ディフューザーの予定の第
一側縁に向けてディフューザーの中心線から始まって、
単一パスで前記表面を横切って好ましくは鋭角でレーザ
ービームを発射し横断させ、前記パス期間中、相次ぐレ
ーザー・スポットが互い実質的に重なりその重なりが減
少していくように、増加する速度でレーザービームを横
断させて、各ビームパルスがレーザースポットの所で金
属を蒸発させて、連続した溝が表面より下に形成される
ようにする。
Description
に関し、特に、非円形断面開口のレーザービーム加工に
関する。ガスタービンエンジンは、燃焼器で高温燃焼ガ
スを発生するために、燃料と混合され、点火される空気
を圧縮する圧縮機を有し、圧縮機を駆動し且つ出力動力
を発生するために燃焼器の下流に配置されたタービンで
ガスからエネルギを抽出する。各種の構成部材が高温燃
焼ガスを囲んでいるので、従って、有用な寿命を得るた
めに運転中は、これらは一般的には冷却される。従来の
冷却の構成は、構成部材を貫通して典型的には鋭角で傾
斜しているフィルム冷却孔を含み、フィルム冷却孔を通
る圧縮空気の一部を構成部材の一方の側から受け取り、
運転中構成部材の有効なフィルム冷却を生じる冷却空気
フィルムを構成部材の片側に沿って形成する。フィルム
冷却孔は、燃焼ライナー、タービンノズル静翼及び動
翼、タービンシュラウド、並びに、効果的な冷却を要す
る各種の遮蔽にきまって見ることができる。フィルム冷
却孔の具体的な形状は、ディフューザー孔、或いは、或
成形孔である。典型的には、ディフューザー孔、又は、
スロットが冷却される構成部材の表面の出口領域に形成
され、出口領域は入口領域より大きい。しばしば、円形
又は他の形状の一定面積の供給孔が構成部材の他の表面
から開口のディフューザー部分の入口領域まで形成され
る。構成部材を冷却するために境界内に連続冷却空気フ
ィルムを生じるため、開口から冷却表面に沿って冷却空
気を放出する。
形成するための従来の方法があり、孔は、工業用レーザ
ー、又は、放電機械加工(EDM)を用いるドリル加工
により設けることができる。従来のレーザー加工は、レ
ーザービームが金属を蒸発しながら貫通孔が完成するま
で適当に付勢されたレーザービームを所望の位置に保持
させる。ND:YAGレーザーのようなレーザーは典型
的には適当なパルス繰り返し率で動作され、完全な孔が
完成するまで各パルスが金属の一部を蒸発する。
ザー開口或いはスロットに対する、構成部材のこのよう
ないわゆる止まり開口を形成する方法は、重大な問題と
経費を生じる。効果的なフィルム冷却ができて、なお、
費用のかからない方法で開口の非円形断面のディフュー
ザー部分を形成したいと言う要望もある。効率的なフィ
ルム冷却動作のために、スロットの側壁及び底は空気力
学的理由で好ましくは比較的に滑らかにすべきである。
側壁及び底は、長寿命を得るため、動作中の構成部材の
最大応力を制限するために望ましくない応力集中を避け
るのに十分な滑らかさもなければならない。
パルスは典型的にはその値がプラス・マイナス5%の変
動がある振幅と有限の持続時間を有する。各パルスの電
力を時間で積分することにより、各パルスのエネルギの
量を決定することができ、これらはパルス振幅と持続時
間のプラス・マイナス5%の最悪の変動の組み合わに基
づいて、プラス・マイナス約20%の変動がある。この
かなりのエネルギの変動は、パルス当たりの蒸発される
金属の量がパルスによりかなり変動することを意味し、
相次ぐパルスによって形成される対応する開口は、処理
中に形状がかなり変動する。このパルスのエネルギがか
なり変動することは、対象が貫通孔又は切り口の形成で
あり、形成中の孔又は切り口の形状は重要でないから、
ドリル加工或いはレーザー切削加工にとっては一般に大
きな問題ではない。
動することは、金属構成部材を完全に貫通しない非円形
止まり孔或いはスロットを形成しようとするにはかなり
重要である。従って、従来の方法でレーザーを用いて止
まり孔をドリル加工をし、そして、その加工を続けて延
長した非円形孔或いは止まりスロットを形成しようとす
ると、開口のディフューザー部分に幅、深さ、表面輪郭
にかなりの偏差を有するものをもたらす。生じるぎざぎ
ざの輪郭のディフューザー部分は空気力学及び強度の理
由で好ましくない。ぎざぎざの輪郭は実質的に滑らかで
一様な冷却空気フィルムを形成する能力を減じ、スロッ
トのぎざぎざの底部はスロット底部より下の構成部材の
基部の実効強度を望ましくなく減ずる。タービンのフィ
ルム冷却される構成部材は全体の厚さが比較的薄いのが
典型的であり、この事は止まり開口及びディフューザー
孔又はスロットの精確な配置及び深さが要求される。デ
ィフューザー部分より下の残りの基部材料があまりにも
薄いと、構成部材は不所望に低い強度を有することにな
り、その有効寿命を減ずるか、製造過程でその構成部材
を排除しなければならないであろう。
ディフューザー部分を精確に形成するのに用いることが
でき、引き続き、所要の貫通孔をスロット内に、従来の
EDM機械加工又は従来のレーザードリル加工を用いて
形成することができる。これら2つの方法は、典型的に
は、2つの別々の異なる工程で、同じ機械か異なる機械
に構成部材を再設定して、異なる形状の止まりスロット
及び貫通孔を構成部材に形成することになる。再設定す
ることは、止まりディフューザー部とその供給孔との精
確な整合を保たなければならない別な問題を呈する。従
って、その結果得られる製造法は、タービン動翼、ター
ビン静翼、或いは、燃焼ライナーなどの典型的な構成部
材はかなりの数のフィルム冷却貫通孔を有し、それに対
応した多数の関連した止まり開口があり、多くの動翼と
静翼はフィルム冷却開口を付して製造しなければならな
いから、比較的複雑で費用が嵩むことになる。
を有する開口を形成する方法であって、ディフューザー
がディフューザーの底から壁の第一表面へ上方且つ外方
に開いているものに於いて、その方法が、次の諸工程を
含むものである。A)金属を蒸発するに十分なパルス繰
り返し率及び出力を有するレーザービームを生じるレー
ザーを用いて壁をレーザー加工し、B)ディフューザー
の予定の第一側縁に向けてディフューザーの中心線から
始まって、単一パスで表面を横切って好ましくは鋭角で
レーザービームを発射し横断させ、そして、C)パス期
間中、相次ぐレーザー点が互いに実質的に重なりながら
その重なりが減少していくように、速度を増加させてレ
ーザービームを横断させ、パルスが金属を少しづつ削っ
て連続した溝が表面より下に形成されるように各ビーム
パルスがレーザースポットの所で金属を蒸発させる。
って直線的に行い、ディフューザーの予定の第一側縁に
向かって中心線から開始し、先に形成した第一の溝につ
ながり且つ同じ直線上に在る第二の溝を、レーザービー
ムをディフューザーの反対側の予定の第二の側縁に向か
って表面上を横断させて同じように形成して、一つの長
い連続した溝を形成するのが望ましい。複数の隣接する
長い溝が、側縁の一方から他方の側縁にレーザービーム
を直線的に横断させ、スポットの隣接する複数の列が少
なくとも接し、好ましくは重なり合うようにしたスポッ
トの複数の平行な列に沿って金属を蒸発させて形成され
る。隣接する長い溝は異なる長さにすることができる。
より具体的な実施例では、実質的に台形のディフューザ
ーを形成するため、溝の長さ方向に直角な方向では長さ
が狭められる。ディフューザーは複数の横断からなるシ
ーケンスを2回以上行うことにより形成することができ
るが、各横断はディフューザーのほぼ中心線から開始し
て、側縁の一方に外方に向かって進む。
ューザーのほぼ中心で壁の第一表面上にレーザービーム
を少なくとも一回当てて形成される。レーザーを用いて
供給孔を壁を完全に貫通してドリル加工するさらに具体
的な方法では、全開口が完了すると、供給孔は反対側の
表面から壁の第一表面へ壁中の約半分のような途中ま
で、且つディフューザーの底まで延びている。本発明の
方法は、動翼或いは静翼の冷却式タービン翼又は燃焼器
ライナーのような金属製の壁を貫通する複数の冷却開口
を形成するのに用いることができる。
特許請求の範囲に記載され特徴づけられている。本願発
明の他の目的及び利点は添付の図面と共により具体的に
記載されている。本発明の原理を説明するために好適実
施例を十分に記載しているが、特許請求の範囲に記載し
た本発明の範囲を逸脱することなく、好適実施例に様々
な改変或いは変更が可能であることを理解されたい。
は、典型的には、例えば翼12を有するガスタービンエ
ンジンのロータ動翼8のような金属構成部材の3乃至8
軸運動を生じる構成とすることができる。例示の実施例
では、動翼8は一体に形成され、翼12は全体に中空で
あり従来のダブティール11とその間のプラットフォー
ム13に一体に結合され、プラットフォームから翼は半
径方向Rに延在する。翼12には、通常、前縁LE及び
後縁TE、凹圧力側CC、及び凸吸込む側CVが形成さ
れる。翼12は、翼壁21を貫通して長軸又は半径方向
に離隔してレーザーで形成された複数の止まり開口14
の幾つかの列があることを除けば従来のものである。各
開口14は、供給孔16に接続され流体が供給されるよ
うに連通した、全体に下流Vに面する非円形断面のディ
フューザー15を有し、図2に詳細に示すように内側空
洞或いはチャンネル18と流通するように配置される。
チャンネル18には、通常、運転中にフィルム冷却空気
20が図1の流れ矢印に示すように供給され、この空気
は翼12の内側からいくつかの供給孔16を通して放出
され、ディフューザー15に供給され、エンジン運転中
に翼の上を流れる高温燃焼ガスの熱に対抗して、運転中
に翼12を冷却する半径方向に連続する冷却空気のフィ
ルムを形成する。
ザー15、並びにそれらに冷却空気20を供給する供給
孔16が翼12の圧力側表面に示されているが、それら
は、構成部材のフィルム冷却をするために、その吸込み
側表面に、或いは、ガスタービンエンジンの他の高温構
成部材、又は、燃焼ガスの様な高温流体に曝される他の
構造に用いることもできる。例えば、ディフューザー1
5及び供給孔16を、他の点では通常のガスタービンエ
ンジン燃焼ライナー、タービンノズル静翼、タービンロ
ータのシュラウド、又は、フィルム冷却を用いるように
設計された他の構成部材に同じように構成することがで
きる。
ビンエンジン構成部材には、非常に多くのディフューザ
ー15及びそれに対応する数の供給孔16、更にかなり
の数の個々の構成部材を形成しなければならないので、
製造コストを減少するために、ディフューザー15及び
供給孔16を比較的安価に、比較的速く、比較的精確に
形成或いは機械加工することが望まれている。図2及び
図3はより具体的に、開口14及びそれに対応する貫通
供給孔16がディフューザー15と翼12の内側チャン
ネル18との間に配置された例示的に最終的な形で示さ
れている。
10内に略図的に示されているジグ22に適当に固定し
て支持されて、典型的には並進及回転運動軸が3乃至8
軸である機械10の運動のいろいろな程度で動くことが
できるようにされる。ジグ22は、製造中に動翼8を固
定して保持するために従来の任意の形状とすることがで
きる。機械10は、製造工程中動翼8の精確な運動を生
じるため従来のコンピュータ数値制御(CNC)の形式
のものである。
に結合された従来の工業用レーザー24を含む。レーザ
ー24自体も焦束レンズ24aの様な各種のブレードを
含み、形状は通常のものであるが、これから記述するよ
うに本発明に従って動作される。本発明によれば、レー
ザー24は順に各開口14に対する個々の非円形断面の
ディフューザー15及びそれに対応する供給孔16を簡
単で、安価に、精確な製造方法で機械加工即ち形成する
ために動作される。図1に示す実施例では、対応する供
給孔16とディフューザー15を順に機械加工するため
に、本発明に従って構成された好ましくは従来のND:
YAGレーザーである。本発明は、供給孔を用いない
か、及び/又は、例示のディフューザー15とは目的及
び使用が異なる他の形式の非円形断面の開口或いは穴の
形成に用いることができる。
の供給孔16と台形断面のディフューザー15を有す
る。ディフューザー15は、軸17と交差し、且つ、デ
ィフューザーの第一側縁32及び第二側縁34と平行な
中心線30を有する。ディフューザー15の平行な前縁
36及び後縁38は中心線30に垂直であり、第一側縁
32及び第二側縁34に対してそれぞれ鋭角をなしてい
る。図9により具体的に示されているように、ディフュ
ーザー15の台形断面は側壁Wと傾斜壁WRとの間の角
Cでかなり丸みを付けられていることに注意されたい。
各ディフューザー15はディフューザーの底23から壁
21の外側表面25まで外方に広がっている。
開口14を形成するレーザー機械加工法を提供する。好
ましくは、レーザー24を最初に用いてレーザービーム
24bを発生し、そのレーザービームを軸17に沿って
向けて供給孔が完了するまで放射して、円形断面の供給
孔16を形成する。供給孔16は中心合わせ孔としても
作用するので、好ましくは最初に供給孔16をレーザー
24でドリル加工し、ディフューザー15の機械加工中
ディフューザー15を適正に形成する助けとする。次
に、レーザー24を用いて壁21の金属を少しづつ蒸発
するに十分なパルス繰り返し率及び出力を有するレーザ
ービーム24bを発生させ、外表面25を横切って、好
ましくは一定の鋭角Aで、ディフューザー15の中心線
から開始して一回のパスでディフューザーの予定の第一
側縁32までレーザービームを照射し横断させてディフ
ューザーが形成される。
ム24bの最初の横断1は中心線30から第一側縁32
まで行われる。最初の横断1とそれに続く横断は、各ビ
ームパルスが円で記された様にレーザースポットSの所
で金属を蒸発し、相次ぐレーザースポットが互いに実質
的に重なり合いその重なり程度が減少していくように横
断期間中その速度を増加しながら行われる。これは、パ
ルスが金属を少しづつ削り取って、外表面25より下で
幅WTを有する第一の溝40を形成し、ディフューザー
15の形状が側壁Wと傾斜壁WRの間の角Cで滑らかな
一体性を与える。横断は好ましくは直線状に行い、且
つ、鋭角Aは、第一側縁32、第二側縁34、及び前縁
36、後縁38によって画定されるディフューザー15
の出口面15Eに対して好ましくは一定に保たれる。鋭
角Aは中心合わせ且つ供給孔16の軸17と同じ角度に
するのが好ましい。横断期間中の速度の増加は、多軸機
械10の送り速度を一定の設定値に設定し、それから、
多軸機械とレーザーパルス動作を同時に始動して、横断
が設定値に向かって加速を開始するが、実際にその設定
値に達する前に停止し、レーザーも照射を終える様にし
て行うことができる。
有し同一線上の第二の溝は、同様に中心線30から第二
側縁34までのレーザービーム24bの第二の横断2に
よって形成して、平均第一長さL1を有する第一の長い
溝43を形成する。複数の、本実施例では3、隣接した
長い溝が、それぞれレーザービームを直線的に横断さ
せ、スポットSの平行な列に沿って金属を蒸発させて、
スポットの複数の列が少なくとも接し、好ましくは重な
り合うようにして複数の隣接した長い溝を形成すること
により、第一側縁32と第二側縁34との間に形成され
る。図4、7、及び8に図示しているのはそれぞれ順次
更に短い長さL2及びL3を有する第2及び第3の重な
り合う隣接溝44及び46である。第2の長い溝44は
第三及び第四の横断3及び4によって形成され、第三の
長い溝46は第五及び第六の横断5及び6によってそれ
ぞれ形成される。典型的な実施例に示すように隣接する
長い溝は異なる長さ(L1−L3)とし、略台形断面形
状のディフューザー15を形成するために、溝の長さと
直角の方向、即ち、前縁36から後縁38の方向、で隣
接溝の長さを狭めることができる。ディフューザーは上
記横断1−6からなるシーケンスを2回以上、或いは他
の数の横断を、利用することにより少しづつ削った層を
形成することができるが、その際、各横断はディフュー
ザーのほぼ中心線から開始して、側縁の一方に外方に向
かって進み、且つ、鋭角Aは、ディフューザー15の出
口面15Eに対して好ましくは一定に保たれる。
ルス繰り返し率及び送り速度を適当に選択することによ
り、スポットの位置のパルスエネルギが離散するように
互いに十分離隔させるために、相次ぐスポットが順次互
いに重ならない。従来のドリル加工作業では、例えば、
相次ぐパルスは同じスポットの上に働き、同一のスポッ
トの所で材料を蒸発するためパルスエネルギは加わり合
い、材料を貫通して孔をドリル加工する。この従来のド
リル加工作業はレーザーエネルギを集中させ、且つ、典
型的には、集中した熱及びその比較的大な熱影響領域の
ために、作業中パルスの公称直径よりもスポットの寸法
を大きくする。このことは、溝の制御を難しくし、且つ
ギザギザの表面を生じる。これに対して、本発明はレー
ザービーム24bを急速に横断することにより何れのス
ポットの所でもパルスエネルギが集中するのを防ぎ、こ
のためパルスエネルギ及びそれに対応するスポットSは
横方向に離散してエネルギを分散する。レーザービーム
24bの一連のパスを利用し、個々のパス内ではなく、
相次ぐパス間でスポットが結局は互いに重なりあってデ
ィフューザー15を形成することにより、レーザービー
ムパルスエネルギはディフューザーに沿って分布し全体
に効果的に平均化することができる。これは、前述した
プラス・マイナス約20%の大きさになりうるパルスエ
ネルギの大きな変動を、それにも拘わらずディフューザ
ー15を精確に形成するように効果的に調節する。パル
スエネルギをディフューザー15に沿って長さ方向に分
布するので、その結果得られる溝の直径は、個々のスポ
ットSの直径に略等しく、ディフューザーの寸法を精確
に加工して、それぞれ略真っ直ぐな前縁36及び後縁3
8並びに第一側縁32及び第二側縁34をを得ることが
できる。横断期間中の速度を増加することは、形成され
る長さ方向のディフューザー15の側壁W及び壁傾斜W
Rはそれにより比較的表面が平滑で、所期のフィルム冷
却をする環境でディフューザーの動作中適当な滑らかな
空気力学的性能を得るために、比較的にほとんどでこぼ
こがない。
ビーム24bの直径Dを有し、それに対応するスポット
Sの一つは7−15ミルの典型的な範囲にある。典型的
なND:YAGの形式のレーザー24は、本発明による
好ましいパルス繰り返し率は約10−50Hzの範囲が
好ましく、パルス持続期間は約0.6−2.0ミリ秒(m
s)の従来の範囲で、約30−300ワットの範囲の従
来の平均出力で動作させることができる。本発明によれ
ば、完全な横断の少なくとも2回のシーケンスでディフ
ューザーを形成するために、機械10の送り速度を毎分
約10−50インチの好ましい範囲に設定し、レーザー
ビーム24bを加速して横断させるために、静止レーザ
ー24に対し翼12を横断するのに機械10を従来のよ
うに動作させることができる。
用いて、壁21を貫通して供給孔16をドリル加工する
さらに具体的な方法では、全開口が終了すると、供給孔
は内側表面26から壁の外側表面25へ壁中へ約半分の
ような途中まで、且つディフューザー15の底まで延び
ている。本発明の方法は、動翼或いは静翼の冷却式ター
ビン翼又は燃焼器ライナーのような金属製の壁を貫通す
る複数の冷却用開口を形成するのに用いることができ
る。
えられるものについて説明したが、本発明の他の改変は
ここに教示したことから当業者に明らかであり、従っ
て、そのような改変は全て本発明の思想及び範囲に在る
ものとして、特許請求の範囲で保証されることを要望す
る。
冷却可能なガスタービンエンジンのロータ動翼のような
構成部材を対応するジグに保持する典型的な多軸機械
と、構成部材にスロット及び孔のような開口を機械加工
するレーザービームの略図を示す。
そこに形成した典型的な冷却用開口を通して線2−2に
沿ってとった断面図。
3に沿ってとった断面図。
口のディフューザー部分の線4−4に沿ってとった正面
図であり、非円形ディフューザー部分のレーザービーム
での形成を示すが、これは引き続きディフューザーの下
の壁の残りを貫通して供給孔をレーザーでドリル加工さ
れる。
のレーザーでの形成を示す斜視図。
の溝のレーザーによる形成を示す斜視図。
し重なり合う第2の溝をレーザーでの形成を示す斜視図
ームの複数の横断からなる第1のシーケンスで形成させ
たディフューザーの隣接し重なり合う第3の溝のレーザ
ーでの形成を示す斜視図
ームの横断の2回のシーケンスで形成させた完成した開
口を示す斜視図
Claims (10)
- 【請求項1】金属製構成部材の壁(21)に、ディフュ
ーザー(15)の底(23)から壁(21)の第一表面
(25)へ上方且つ外方に開いているようなディフュー
ザー(15)を有する開口(14)を形成する方法であ
って、 A)金属を蒸発するに十分なパルス繰り返し率及び出力
を有するレーザービーム(24b)を生じるレーザー
(24)を用いて壁(21)をレーザー加工し、 B)ディフューザー(15)の予定の第一の側縁(3
2)に向けてディフューザー(15)の中心線(30)
から始まって、単一パスで表面を横切って鋭角(A)で
レーザービーム(24b)を発射し横断させ、そして、 C)前記パス期間中、増加する速度でレーザービーム
(24b)を横断させて、相次ぐレーザー・スポット
(S)が互いに実質的に重なりながらその重なりが減少
していくようにし、且つ、パルスが金属を少しづつ削っ
て連続した溝が前記表面より下(40)に形成されるよ
うに各ビームパルスがレーザースポット(S)の所で金
属を蒸発させる、ことからなる方法。 - 【請求項2】第二の溝(42)を、レーザービーム(2
4b)をディフューザー(15)の反対側の予定の第二
の側縁(34)に向かって表面を横切って横断させて同
じように形成して、一つの長い連続した溝(43)を形
成する請求項1記載の方法。 - 【請求項3】レーザービーム(24b)を直線的に横断
させ、スポット(S)の隣接する複数の列が少なくとも
接するように、スポット(S)の複数の平行な列に沿っ
て金属を蒸発させて複数の隣接する長い溝(43,4
4,46)が一方の側縁(36)から他方の側縁(3
8)まで形成される請求項2記載の方法。 - 【請求項4】隣接する複数のスポット(S)の列が重な
り合い、実質的に台形のディフューザー(15)を形成
するため、隣接する長い溝は異なる長さ(L1,L2,
L3)を有し、溝の長さ方向に直角な方向では長さを狭
めた請求項3記載の方法。 - 【請求項5】更に、横断(1,2)からなるシーケンス
を少なくとも2回以上含み、前記横断はそれぞれディフ
ューザー(15)のほぼ中心線(30)から開始して、
側縁(32,34)の一方に外方に向かって進み、鋭角
(A)は全横断期間中一定に保たれる請求項3記載の方
法。 - 【請求項6】中心合わせ孔(16)がディフューザー
(15)のほぼ中心で壁(21)の第一表面(25)上
にレーザービーム(24b)を少なくとも一回当てて最
初に形成される請求項5記載の方法。 - 【請求項7】レーザー(24)を用いてディフューザー
(15)に供給孔(16)をドリル加工する更なる工程
が、供給孔(16)は第二の表面(26)から壁(2
1)の第一表面(25)に対して、且つディフューザー
(15)の底(23)まで延びていて、ディフューザー
(15)より前に供給孔(16)が形成され、供給孔
(16)が中心合わせ孔として用いられる請求項6記載
の方法。 - 【請求項8】金属製で且つ外及び内表面(25及び2
6)有する壁(21)を貫通して複数の冷却用開口(1
4)を形成する方法であって、開口(14)は、長さ方
向に離隔した前及び後縁(36及び38)並びに横方向
に離隔した第一及び第二側縁(32及び34)を有する
ディフューザー(15)を含み、ディフューザー(1
5)はその底(23)から構成部材の壁(21)の第一
の表面(25)まで上方外方に広がっているものにおい
て、各開口(14)に対する工程が、 A)金属を蒸発するためのパルス繰り返し率及び出力を
有するレーザービーム(24b)を生じるレーザー(2
4)を用いて壁(21)をレーザー加工し、 B)供給且つ中心合わせ孔(16)をディフューザー
(15)のほぼ中心で壁(21)の第一表面(25)上
をレーザービーム(24b)でレーザー機械加工し、 C)ディフューザー15の長さ方向に延びる中心線(3
0)から開始してディフューザー(15)の第一側縁
(32)まで後縁(38)に沿って1回のパスで前記表
面を横方向に横切って、鋭角(A)でレーザービーム2
4bを増加する速度で横断させて、各ビームパルスがス
ポット(S)の所で前記壁の金属を蒸発し、相次ぐレー
ザー(24)の当たるスポット(S)が互いに実質的に
重なり合って重なり程度が減少していくようにして前記
パルスが金属を少しづつ削り取り、集合的に前記表面よ
り下に深さが減少していく溝(40)の連続した部分を
形成し、次いで、 D)ディフューザー(15)の長さ方向に延びる中心線
(30)から開始してディフューザー(15)の反対側
の第二側縁(34)まで1回のパスで前記表面を横方向
に横切って、鋭角(A)でレーザービーム(24b)を
増加する速度で横断させて、各ビームパルスがスポット
(S)の所で前記金属を蒸発し、相次ぐレーザー(2
4)の当たるスポット(S)が互いに実質的に重なり合
ってその重なり程度が減少していくようにして前記パル
スが金属を少しづつ削り取り、集合的に前記表面より下
に深さが減少していく溝(44)の連続した残りの部分
を形成する、ことからなる、方法。 - 【請求項9】複数の隣接した重なり合う溝(40,4
4)が、先に形成された溝から始まって前縁(36)ま
で並べて形成されて、中空にされたディフューザー(1
5)を形成する請求項8記載の方法。 - 【請求項10】隣接する前記溝が異なる長さ(L1,L
2,L3)を有し、前記溝の長さと直角の方向の長さが
狭められて、平行な前及び後縁(36及び38)並びに
その間の鋭角の側壁(32及び34)を有する略台形の
ディフューザー(15)を形成するように、一連の前記
横断(1,2,3,4,5,6)が一連以上行われる請
求項9記載の方法。
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