JPH1082404A - 電気液体圧ステッピングシリンダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気液体圧ステッピングシリンダ装置に関
し、シリンダ内を摺動するピストン内部の摺動孔に、上
記ピストン摺動方向に摺動可能に配設された液体圧サー
ボ用パイロット弁のスプールを、非常時に強制的に駆動
せしめ上記ピストンを原点復帰させて、上記電気液体圧
ステッピングシリンダ装置の安全を向上する。 【解決手段】 シリンダ２０内を摺動するピストン２２
内部の摺動孔２９に、ピストン２２の摺動方向に摺動可
能に配設された液体圧サーボ用パイロット弁のスプール
２４を、非常時に上記スプール２４とピストン２２内部
の摺動孔２９との間に形成された液体圧室２８ｃに、圧
液体を給排せしめて強制的にスプール２４を駆動し、ピ
ストン２２を原点復帰させる復帰手段Ｒを設け、上記電
気液体圧ステッピングシリンダ装置の安全を確保する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、油圧，水圧等の液
体圧に適用する電気液体圧ステッピングシリンダ装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、電気液体圧ステッピング
シリンダ装置は各分野の工業技術の広い分野にサーボ機
構として使用されているが、以下油圧を適用した場合に
ついて説明する。このサーボ機構は物体の位置・方位・
姿勢等を制御量（出力）とし、目標値（入力）の任意の
変化に追従するように構成された自動制御系や油圧回路
に使用されている。

【０００３】例えば、船舶，航空機の自動操縦，各種工
業動力の操作機構，位置伝達機構，トルクの増幅機構，
遠隔測定装置等の工業技術の広い分野に上記サーボ機構
が使用されている。そして、上記サーボ機構には、工作
機械のならい制御のように、入力は本来機械的位置であ
るが、電子式自動平衡計のように、電圧や電流を入力す
るものがある。

【０００４】又、上記サーボ機構はサーボモータの種類
によって、電気式，油圧式或いは電気─油圧式等があ
り、制御対象はこのサーボモータの負荷として、機械的
に一体となっていることが多い。そして、計器サーボで
は、負荷が記録用ペンぐらいであるから小型の二相サー
ボモータでよいが、パワーサーボでは、負荷の要求する
動力に見合う容量のサーボモータを必要とし、直流サー
ボモータ或いは油圧サーボモータは、容量の大きいパワ
ーサーボに適している。

【０００５】次に、従来の上記油圧サーボモータの、一
例として従来の電気油圧ステッピングシリンダ装置を図
４について説明する。図４において、１はロッド１ａの
一端に接続され他端が、図示しない被制御部側に接続さ
れ上記油圧サーボモータのシリンダ４内を摺動するピス
トンである。５はシリンダ４の一端のロッド１ａ側の開
口６を閉じると共に、ロッド室５ｂに圧油を供給するた
めの油圧供給ポート８が設けられたロッドカバーであ
る。

【０００６】９はシリンダ４の他端のヘッド側の開口１
０を閉塞するヘッドカバーである。この電気油圧ステッ
ピングシリンダ装置は、図示しないオペレータの操作や
作動信号により、電気パルスモータ２を駆動して送りネ
ジ３を介してスプール１３を矢印ｆ方向に作動すると、
ポートａ，ｂが連通するので、油圧源４４から圧油が、
圧油供給ポート８，ロッド室５ｂ及びピストン１に設け
られたポートａ，ポートｂを介して供給されるので、ヘ
ッド室５ａ内に圧力が惹起する。

【０００７】この時、シリンダ４のヘッド室５ａ側の受
圧面積Ｓ１はロッド室５ｂ側の受圧面積Ｓ２よりも大き
いので、ピストン１は矢印ｆ方向に作動しポートａとポ
ートｂとが遮断されるとピストン１は停止する。一方、
電気パルスモータ２を駆動して送りネジ３を介してスプ
ール４を矢印ｒ方向に作動するとポートｂとポートｃと
が連通し、上記圧油がヘッド室５ａ，ポートｂ，ｃを介
して戻りポートＴからリザーバタンク７に流出し、シリ
ンダのヘッド室５ａの圧力が低下するので、シリンダ４
のロッド室５ｂ側の受圧面積Ｓ２に作用する圧力がヘッ
ド室５ａの圧力に打ち勝ってピストン１を矢印ｒ方向に
作動せしめて、ポートｂとポートｃが遮断されるとピス
トン１は停止するように形成されている。

【０００８】又、Ｄはドレーンポートである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電気油圧ステッピングシリンダ装置では、ス
プール１３の摺動抵抗の増大等により電気パルスモータ
２に加わる負荷が過大になると、電気パルスに対応した
回転が得られない脱調現象が生じる。これは、スプール
１３の送りネジ３が電気パルスモータ２の回転軸２ａと
軸継ぎ手２ｂを介して同軸上に連結されて回転するよう
に形成されているので、上記負荷の増大により、送りネ
ジ３の回動によるスプール１３の上記軸線方向の移動が
できなくなるためである。

【００１０】従って、電気パルスに対応したピストン１
のストローク制御が困難となり、ピストン１の頭部１ｂ
がヘッドカバー９の内面９ａに当接する、所謂原点復帰
ができなくなる。例えば、上記スプール１３がｆ方向へ
作動中に上記過剰負荷がかかると、ピストン１がロッド
１ａを介して被制御部側から受ける過剰負荷に対してヘ
ッド室５ａに過剰の圧油が作用し続けることになり、上
記の被制御部側又は電気油圧ステッピングシリンダ装置
を破損する恐れがある。

【００１１】又、電気パルスモータ２が故障した場合
に、上記のスプール１３の送りネジ３を駆動することが
できないので、シリンダ４のピストン１及びスプール１
３を上記原点復帰させることができず、電気油圧ステッ
プピングシリンダ装置に不具合を惹起する恐れがあり、
従って上記電気パルスモータの脱調現象時や故障時に
は、非常処置を行なうことができないという課題があ
る。

【００１２】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、シリンダ内を摺動するピストン内部の摺動孔
に該ピストンの摺動方向に作動可能に組み込まれた液体
圧サーボ用パイロット弁のスプールを、非常時に上記の
スプールとピストン内部の摺動孔との間に形成される液
体圧室に液体圧源から圧液体を給排せしめ強制的に上記
スプールを駆動し、ピストンを原点復帰させる復帰手段
とを設けたことにより、非常時に同装置の破損を防止す
ることができる電気液体圧ステッピングシリンダ装置を
提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このため、請求項１記載
の本発明の電気液体圧ステッピングシリンダ装置は、シ
リンダ内を摺動するピストン内部の摺動孔に摺動可能に
組み込まれた液体圧サーボ用パイロット弁のスプールを
電動モータ又は電磁ソレノイド作動装置等で形成される
駆動手段により駆動して上記ピストンのストローク制御
を可能とする電気液体圧ステッピングモータにおいて、
非常時に上記液体圧サーボ用パイロット弁のスプールと
上記ピストン内部の摺動孔との間に形成される液体圧室
に圧液体を給排せしめ強制的に上記スプールを駆動して
上記ピストンを原点復帰させる復帰手段とを設けたこと
を特徴としている。

【００１４】請求項２記載の本発明の電気液体圧ステッ
ピングシリンダ装置は、シリンダ内を摺動するピストン
内部の摺動孔に摺動可能に組み込まれた液体圧サーボ用
パイロット弁のスプールを電気パルスモータで駆動して
電気パルスに対応した上記ピストンのストローク制御を
可能とする電気液体圧ステッピングモータにおいて、上
記液体圧サーボ用パイロット弁のスプールの長手方向軸
線に沿って設けられたラックと、該ラックに係合する電
気パルスモータのピニオンと、非常時に上記液体圧サー
ボ用パイロット弁のスプールと上記ピストン内部の摺動
孔との間に構成される液体圧室と、該液体圧室に液体圧
源から液体圧を給排せしめ強制的に上記スプールを駆動
して上記ピストンを原点復帰させる復帰手段とを設けた
ことを特徴としている。

【００１５】請求項３記載の本発明の電気液体圧ステッ
ピングシリンダ装置は、請求項１又は２記載の構成にお
いて、上記原点復帰手段は上記スプールの長手軸線方向
に沿って穿たれた液路をそなえ、該液路の一端が上記液
体圧室に連通され他端が切換弁を介して液体圧源に接続
されていることを特徴としている。請求項４記載の本発
明の電気液体圧ステッピングシリンダ装置は、請求項１
又は３記載の構成において、上記スプールの駆動手段が
電磁ソレノイド作動装置で形成され、上記パイロット弁
のスプールを中立位置に保持する中立位置保持手段を備
えていることを特徴としている。

【００１６】

【発明の実施形態】以下、説明する本発明の各実施形態
では、油圧，水圧等の液体圧のうち油圧を適用した場合
の電気液体圧ステッピングシリンダ装置について説明す
る。 （第１実施形態）図１は本発明の第１実施形態を示す説
明図、図２は図１の２Ａ−２Ａ線に沿う断面を示す断面
図である。

【００１７】図１又は２において、電気油圧ステッピン
グシリンダ装置のシリンダ２０内を摺動するピストン２
２内部に、ピストン２２の上記摺動方向の軸線に沿って
穿たれた摺動孔２９に組み込まれた油圧サーボ用パイロ
ット弁のスプール２４を駆動手段Ｋである電気パルスモ
ータ２６で駆動することにより、電気パルスに対応した
ピストン２２のストロークを制御ができるように電気油
圧ステッピングモータが形成されている。

【００１８】又、図１，２に示したように、シリンダ２
０の一端開口に嵌合し、ヘッド室２８ａを形成するヘッ
ドカバー３０が設けられ、更にヘッドカバー３０の外側
面には電気パルスモータ２６を収容するケーシング３２
が嵌合して取り付けられている。上記のスプール２４の
長手方向軸線に沿って延在するように設けられ、上記の
ヘッドカバー３０，ケーシング３２内を上記長手軸線方
向に貫通するラック３４と、ラック３４に係合する減速
機３６付き電気パルスモータ２６のピニオン３８を有し
ている。

【００１９】又、シリンダ２０の他端開口を閉塞しロッ
ド室２８ｂが形成されると共に、ロッド室２８ｂに油圧
源４４から圧油を供給するための供給ポート４１を備え
ているロッドカバ４０が設けられている。又、上記油圧
サーボ用パイロット弁のスプール２４とピストン２２内
部の摺動孔２９との間に形成される油圧室２８ｃに、圧
油を給排せしめるため、電磁切換弁４２を介して油圧源
４４が連結されている。

【００２０】又、４６は電磁切換弁４２をスプール２４
の油路２８に接続すためのプラグであり、又ケーシング
３２に漏洩した圧油をリザーバタンク４８に帰還させる
ドレーンポートＤが設けられている。上記のヘッド室２
８ａは、ポートａ，ｂが連通することにより油路２８
ｄ，２８ｅを介してロッド室２８ｂに連通するようにな
っており、又ポートｂ，ｃが連通することにより油路２
８ｆを介してリザーバタンク４８に連通せしめる戻りポ
ートＴが設けられている。

【００２１】本第１実施形態は上記のように構成されて
いるので、通常時には、電気パルスモータ２６を駆動し
て、減速機３６，ピニオン３８を介してスプール２４を
矢印ｆ方向に作動するとポートａ，ｂが連通するので、
油圧源４４からポート４１，ロッド室２８ｂ，ポート
ａ，ポートｂ，油路２８ｅに圧油が流れ、シリンダ２０
のヘッド室２８ａに圧油が導かれる。

【００２２】そして、ロッド２５の縦断面積がスプール
２４の縦断面積より大きいので、即ちピストン２２のヘ
ッド室２８ａ側の受圧面積Ｓ１は、ロッド室２８ｂ側の
受圧面積Ｓ２よりも大きいので、ピストン２２は矢印ｆ
方向に動き、ポートａとポートｂが再度遮断されるとピ
ストン２２は停止する。一方、電気パルスモータ２６に
よりスプール２４を矢印ｒ方向に作動すると、ポート
ｂ，ｃが連通するので、ヘッド室２８ａの圧油が油路２
８ｅ，ポートｂ，ポートｃに流れ、油路２８ｆ，戻りポ
ートＴを介してリザーバタンク４８に排出されるため、
シリンダ２０のヘッド室２８ａの圧力が低下し、ピスト
ン２２のロッド室２８ｂ側の受圧面積Ｓ２に作用する圧
力で、ピストン２２は矢印ｒ方向に動き、ポートｂとポ
ートｃが再度遮断されるとピストン１は停止する。

【００２３】以上の作用で、電気パルスに対応したピス
トン２２のストローク制御が実現される。又、上記ピス
トン２２のロッド２５に接続される、図示しない被制御
部側から過大な負荷がかかる等の非常時の状態では、電
気パルスモータ２６に過負荷が作用し、電気パルスに対
応した回転が得られない脱調現象が発生し電気パルスに
対応したピストン２２のストローク制御が困難になる。

【００２４】上記のような、脱調現象が発生した場合に
は、電気油圧ステッピングシリンダ装置の破損の防止や
安全のため、ピストン２２を強制的に最縮小位置の、所
謂原点位置に復帰させる必要がある。次に、上記ピスト
ン２２の原点復帰手段Ｒについて説明する。本実施形態
の原点復帰手段Ｒでは、図示しないオペレータが作業中
に上記過負荷であることを検知して、例えば切換弁であ
る電磁切換弁４２を、図示しないスイッチをＯＮにし
て、位置４４Ａからスプリング４５に抗して左方向に移
動し位置４４Ｂに切り換えると、油路４４ａ，４４ｂと
が連通せしめられ、油圧源４４から圧油が油路２８を介
してスプール２４とピストン２２内部の摺動孔２９とで
形成される油圧室２８ｃに圧油が供給される。

【００２５】従って、スプール２４の中央に設けられた
油路２８を介して油圧室２８ｃに圧油が導かれので、ス
プール２４は矢印ｒの方向に作動する。又、スプール２
４のケーシング３２側のストッパ部２４ａがケーシング
３２の内周壁３２ａに当接するまで移動する。従って、
ヘッド室２８ａの圧油は油路２８ｅ，ポートｂ，ポート
ｃ，油路２８ｆ，ポートＴを介してリザーバタンク４８
に排出されるので、ヘッド室２８ａの圧力が低下し、ピ
ストン２２のロッド室２８ｂ側の受圧面積Ｓ２に作用す
る圧油でピストン２２は矢印ｒ方向に動き、ピストン２
２は最縮の原点位置に復帰して停止せしめる。

【００２６】上記の第１実施形態の電気油圧ステッピン
グシリンダ装置では、電気パルスモータ２６が脱調した
場合あるいは電気パルスモータ２６が故障した場合に
は，上記圧油により強制的にスプール２４を駆動してピ
ストン２２を上記原点復帰させることができるので、上
記装置の安全を確保することができる。上記第１実施形
態では原点復帰させる復帰手段Ｒの油圧室２８ｃへの油
圧源４４からの圧油を電磁切換弁４２を介してスプール
２４の長手方向軸線に沿って設けられた油路２８により
供給するように形成したが、図２に二点鎖線で示したよ
うに油圧室２８ｃに連通するロッド２６に設けられた油
路２８ｇにプラグ４６を介して上記の電磁切換弁４２に
連結するように形成しても、上記第１実施形態と同様の
作用効果を奏することができる。

【００２７】（第２実施形態）以下、図３により、本発
明の第２実施形態について説明するが、上記第１実施形
態と実質的に同一部位には同一符号を付して上記第１実
施形態と相違する点について説明する。上記第１実施形
態では、スプール２４の作動に駆動手段Ｋである電気パ
ルスモータ２６を使用したが、本実施形態においては、
電磁ソレノイド６５ａからなる電気ソレノイド作動装置
６５を使用したものである。

【００２８】即ち、図３に示したように、ケーシング３
２内に挿入されたスプール２４に設けられた鍔部６０を
有している。この鍔部６０とケーシング内壁６０ａとの
間には、スプール２４を図３において左方向に付勢せし
めるスプリング６２ａが配設され、又鍔部６０とケーシ
ング内壁６０ｂとの間には、上記右方向に付勢せしめる
スプリング６２ｂが設けられ、図３に示したように上記
のスプリング６２ａ，６２ｂ，鍔部６０等により、スプ
ール２４を中立状態に保持できるように中立位置保持手
段Ｍが形成されている。

【００２９】更に、ケーシング３２内には、スプール２
４を駆動せしめる電磁ソレノイド作動装置６５が配設さ
れている。又、電磁ソレノイド作動装置６５は、図示し
ないが供給電流の電流方向を切換える切換スッチや増幅
器や自動制御する場合には、図示しない被制御部側の制
御量を検出する検出部，該検出部で検出された検出値と
目標値とを比較して誤差信号として出力する比較器等か
ら構成される制御装置６９がが接続されている。

【００３０】従って、本実施形態では、スプール２４の
駆動を上記の制御装置６９の仕様の変更により、手動駆
動，自動駆動のいずれにも適用することができるように
形成されている。本実施形態は上記のように構成されて
いるので、制御装置６９等からの出力信号により電磁ソ
レノイド作動装置６５を作動し、例えばスプール２４を
矢印ｆ方向に作動すると、上記第１実施形態で説明した
ようにポートａからポートｂに圧油が流れ、シリンダ２
０のヘッド室２８ａに圧油が導かれる。

【００３１】そして、シリンダのヘッド室２８ａ側の受
圧面積Ｓ１は、ロッド室２８ｂ側の受圧面積Ｓ２よりも
大きいので、ピストン２２は矢印ｆ方向に動き、ポート
ａとポートｂが再度遮断されるとピストン２２は停止す
る。一方、電磁ソレノイド作動装置６５に上記とは逆方
向の電流を入力し、スプール２４を矢印ｒ方向に作動す
ると、ポートｂ，ｃが連通し、ポートｂからポートｃに
圧油が流れ、油路２８ｆ，戻りポートＴを介してリザー
バタンク４８に排出されるので、シリンダ２０のヘッド
室２８ａの圧力が低下し、シリンダ２０のロッド室２８
ｂ側の受圧面積Ｓ２に作用する圧力で、ピストン２２は
矢印ｒ方向に動き、ポートｂとポートｃが再度遮断され
るとピストン２２は停止する。

【００３２】又、上記ピストン２２のロッド２５に接続
される、図示しない被制御部側から過大な負荷がかかる
等の非常時の状態では、上記過負荷が作用すると、上記
出力信号に対応した作動が得られない脱調現象が発生す
る。この時、上記第１実施形態で説明したように、図示
しない、オペレータが作業中に上記過負荷であること
を、検知して電磁切換弁４２を図示しないスイッチをＯ
Ｎにして、図３に示した位置４４Ａからスプリング４５
に抗して左方向に移動し位置４４Ｂに切り換えると、油
路４４ａ，４４ｂとが連通されるので、油圧源４４から
圧油が油路２８を介して油圧室２８ｃに供給される。

【００３３】従って、スプール２４の中央に設けられた
油路２８を介して油圧室２８ｃに圧油が導かれので、ス
プール２４は矢印ｒの方向に作動する。従って、ヘッド
室２８ａの圧油は油路２８ｅ，ポートｂ、ポートｃ，油
路２８ｆ，ポートＴを介してリザーバタンク４８に排出
されので、ヘッド室２８ａの圧力が低下し、ピストン２
２のロッド室２８ｂの受圧面積Ｓ２に作用する圧力でピ
ストン２２は矢印ｒ方向に動き、ピストン２２は最縮の
原点位置に復帰して停止する。

【００３４】上記の第２実施形態の電気油圧ステッピン
グシリンダ装置では、電磁ソレイノイド作動措置６５が
脱調した場合あるいは電磁ソレノイド作動装置６５がが
故障した場合には，油圧源４４からの圧油により強制的
にスプール２４を駆動してピストン２２を上記原点復帰
させることができるので、上記装置の安全を確保するこ
とができる。

【００３５】上記の第１実施形態の電気パルスモータ２
６に制御装置６９を設けても、第２実施形態と略同一の
作用効果を奏することができる。又、上記各実施形態で
は、油圧を適用した場合について説明したが、水圧等の
液体圧を適用してもよく、この場合には上記実施形態で
説明した、油圧を液体圧に、油圧室を液体圧室に、油路
を液路に、油圧源を液体圧源等に読みかえた構成にすれ
ば、上記各実施形態と略同様の作用効果を奏することが
できる。

【００３６】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１記載の本
発明の電気液体圧ステッピングシリンダ装置によれば、
シリンダ内を摺動するピストン内部の摺動孔に摺動可能
に組み込まれた液体圧サーボ用パイロット弁のスプール
を電動モータ又は電磁ソレノイド作動装置等で形成され
る駆動手段により駆動して上記ピストンのストローク制
御を可能とする電気液体圧ステッピングモータにおい
て、非常時に上記の液体圧サーボ用パイロット弁のスプ
ールと上記のピストン内部の摺動孔との間に形成される
液体圧室に圧液体を供給せしめ強制的に上記スプールを
駆動して上記ピストンを原点復帰させる復帰手段を設け
たので、上記のスプールの摺動抵抗の増大等により上記
スプールの駆動手段に加わる負荷が過大となり、制御信
号に対応した回転が得られない脱調現象が生じたり、又
上記スプールの駆動手段が故障した場合には、上記原点
復帰手段の作動により、上記液体圧室に圧液体を供給し
て強制的にスプールを駆動してシリンダを原点復帰させ
ることができるので、上記装置の破損を防止すると共
に、安全を確保することができる。

【００３７】請求項２記載の本発明の電気液体圧ステッ
ピングシリンダ装置によれば、シリンダ内を摺動するピ
ストン内部の摺動孔に摺動可能に組み込まれた液体圧サ
ーボ用パイロット弁のスプールを電気パルスモータで駆
動して電気パルスに対応した上記ピストンのストローク
制御を可能とする電気液体圧ステッピングモータにおい
て、上記液体圧サーボ用パイロット弁のスプールの長手
方向軸線に沿って設けられたラックと、該ラックに係合
する電気パルスモータのピニオンと、非常時に上記液体
圧サーボ用パイロット弁のスプールと上記ピストン内部
の摺動孔との間に形成される液体圧室と、該液体圧室に
液体圧源からの圧液体を給排せしめ、強制的に上記スプ
ールを駆動して上記ピストンを原点復帰させる復帰手段
とを設けたので、電気液体圧ステッピングモータでは、
上記のスプールの摺動抵抗の増大等により上記電気パル
スモータに加わる負荷が過大となり、電気パルスに対応
した回転が得られない脱調現象が生じたり、又上記電気
パルスモータが故障した場合には、上記原点復帰手段の
作動により、上記液体圧室に圧液体を供給して強制的に
スプールを駆動してピストンを原点復帰させることがで
きるので、上記装置の破損を防止すると共に、安全を確
保することができる。

【００３８】請求項３記載の本発明の電気液体圧ステッ
ピングシリンダ装置によれば、請求項１又は２記載の構
成において、上記原点復帰手段は上記スプールの長手軸
線方向に沿って穿たれた液路をそなえ、該液路の一端が
上記液体圧室に連通され他端が切換弁を介して液体圧源
に接続されているので、液体圧源から上記液体圧室に供
給される液体回路がコンパクトに簡単に且つコストが廉
価にできると共に、上記原点復帰手段の作動により、上
記液体圧室に圧液体を供給して強制的にスプールを駆動
して上記ピストンを原点復帰させることができるので、
上記装置の破損を防止すると共に、安全を確保すること
ができる。

【００３９】請求項４記載の本発明の電気液体圧ステッ
ピングシリンダ装置によれば、請求項１又は３記載の構
成において、上記スプールの駆動手段が電磁ソレノイド
作動装置で形成され、上記パイロット弁のスプールを中
立位置に保持する中立位置保持手段を備えているため、
上記スプールの駆動手段が簡素化されコンパクトに形成
することができると共に、上記液体圧室に圧液体を供給
して強制的にスプールを駆動して上記ピストンを原点復
帰させることができるので、上記装置の破損を防止し、
安全を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示す説明図である。

【図２】図１の２Ａ−２Ａ線に沿う断面を示す断面図で
ある。

【図３】本発明の第２実施形態を示す説明図である。

【図４】従来例の電気油圧ステッピングシリンダ装置の
図２と同様の断面を示す断面図である。

【符号の説明】

２０ シリンダ ２２ ピストン ２４ スプール ２５ ロッド ２６ 電気パルスモータ ２８ 油路（液路） ２８ａ ヘッド室 ２８ｂ ロッド室 ２８ｃ 油圧室（液体圧室） ２８ｄ 油路（液路） ２８ｆ 油路（液路） ２８ｅ 油路（液路） ２８ｇ 油路（液路） ３０ ヘッドカバー ３２ ケーシング ３４ ラック ３６ 減速機 ３８ ピニオン ４０ ロッドカバ ４１ ポート ４２ 電磁切換弁 ４４ 油圧源（液体圧源） ４６ プラグ ４８ リザーバタンク ６５ 電磁ソレノイド作動装置 ６５ａ 電磁ソレノイド ６９ 制御装置 Ｄ ドレーンポート Ｋ 駆動手段 Ｍ 中立位置保持手段 Ｒ 復帰手段 Ｓ１，Ｓ２ 受圧面積 Ｔ 戻りポート

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダ内を摺動するピストン内の摺動孔
   に摺動可能に組み込まれた液体圧サーボ用パイロット弁
   のスプールを電動モータ又は電磁ソレノイド作動装置等
   で形成される駆動手段により駆動して上記ピストンのス
   トローク制御を可能とする電気液体圧ステッピングモー
   タにおいて、非常時に上記液体圧サーボ用パイロット弁
   のスプールと上記ピストン内部の摺動孔との間に形成さ
   れる液体圧室に圧液体を給排せしめ強制的に上記スプー
   ルを駆動して上記ピストンを原点復帰させる復帰手段を
   設けたことを特徴とする、電気液体圧ステッピングシリ
   ンダ装置。
2. 【請求項２】シリンダ内を摺動するピストン内部の摺動
   孔に摺動可能に組み込まれた液体圧サーボ用パイロット
   弁のスプールを電気パルスモータで駆動して電気パルス
   に対応した上記ピストンのストローク制御を可能とする
   電気液体圧ステッピングモータにおいて、上記液体圧サ
   ーボ用パイロット弁のスプールの長手方向軸線に沿って
   設けられたラックと、該ラックに係合する電気パルスモ
   ータのピニオンと、非常時に上記液体圧サーボ用パイロ
   ット弁のスプールと上記ピストン内部の摺動孔との間に
   構成される液体圧室と、該液体圧室に液体圧源から液体
   圧を給排せしめ強制的に上記スプールを駆動して上記ピ
   ストンを原点復帰させる復帰手段とを設けたことを特徴
   とする、電気液体圧ステッピングシリンダ装置。
3. 【請求項３】 上記原点復帰手段は上記スプールの長手
   軸線方向に沿って穿たれた液路をそなえ、該液路の一端
   が上記液体圧室に連通され他端が切換弁を介して液体圧
   源に接続されていることを特徴とする、請求項１又は２
   記載の電気液体圧ステッピングシリンダ装置。
4. 【請求項４】 上記スプールの駆動手段が電磁ソレノイ
   ド作動装置で形成され、上記パイロット弁のスプールを
   中立位置に保持する中立位置保持手段を備えていること
   を特徴とする、請求項１又は３記載の電気液体圧ステッ
   ピングシリンダ装置。