JPH1081967A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板等の被搬送材を搭載して搬送する搬送車
の熱による膨張や変形を簡単な構成で確実に吸収できる
ような搬送装置を提供する。 【解決手段】 基板２を搭載する搬送車３を進行方向に
案内するための第１レール３５および第２レール３６と
を有する。第１レール３５と上記搬送車３の第１ホイー
ル３０・３１とで搬送車３の進行方向を規制すると共
に、搬送車３を支持する第１支持部を構成する。第２レ
ール３６と上記搬送車３の第２ホイール３２・３３とで
搬送車３を進行方向に垂直な方向に摺動自在に支持する
第２支持部を構成する。搬送車３に駆動力を伝達するボ
ールねじ軸５が、上記第２支持部よりも第１支持部に近
い側に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に、真空蒸着、
イオンプレーティング、ＣＶＤ（Chemical VaporDeposi
tion ）等の真空成膜装置において使用され、加熱され
た基板やウェハ等の被搬送材を搬送する搬送装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、真空蒸着、イオンプレーティ
ング、ＣＶＤ等の真空成膜装置において使用され、基板
やウェハ等の被搬送材を搬送する搬送装置としては、例
えば、図１４に示すように、基板１０５を搭載する搬送
車１１１と、搬送車１１１を支持すると共に走行方向の
規制を行うリニアガイドを構成する４個のベアリング１
１５ａ〜１１５ｄと平行に配置された２本のレール１１
０ａ・１１０ｂと、搬送車１１１に駆動力を伝達するた
めの動力伝達部を構成するボールねじ軸１３０とボール
ナット１３５とからなるものがある。

【０００３】上記搬送車１１１は、上記のリニアガイド
により小さな駆動力でレール１１０ａ・１１０ｂ上を動
くことができる。また、ボールねじ軸１３０は、上記レ
ール１１０ａ・１１０ｂと平行に配置され、支持部１２
０ａ・１２０ｂで回転自在に支持されている。さらに、
上記ボールナット１３５は、搬送車１１１に固定されて
おり、ボールねじ軸１３０に図示しないモータ等の駆動
手段からの回転を与えると、この回転力を直進力に変換
して搬送車１１１に伝達するようになっている。

【０００４】上記構成の搬送装置では、搬送車１１１は
リニアガイドを構成するリニアベアリング１１５ａ〜１
１５ｄの４か所と、ボールナット１３５とによって拘束
されているので、該搬送車１１１は過拘束の状態となっ
ている。

【０００５】また、真空蒸着、イオンプレーティング、
ＣＶＤ等の真空成膜装置では、一般に成膜速度や膜質向
上のため室温から５００℃または１０００℃程度まで基
板を加熱する必要があり、基板を搬送する搬送系の熱膨
張を考慮する必要がある。つまり、搬送系は、基板の温
度を所定の温度に保つための基板加熱ヒータ等から熱を
受けることになり、搬送系を構成する搬送車やガイドが
加熱され、それらは熱膨張する。また、搬送車が加熱さ
れ、該搬送車に温度分布が発生すると搬送車の部分によ
って発生する熱膨張に差が発生し、搬送車が歪むことに
なる。

【０００６】したがって、図１４に示すような搬送装置
を上記真空成膜装置において使用した場合、搬送車１１
１は上述のようにリニアガイドを構成するリニアベアリ
ング１１５ａ〜１１５ｄの４か所と、ボールナット１３
５とによって過拘束されているので、熱膨張による歪み
が過拘束部に集中する。そして、この歪みによって、過
拘束部やボールねじ軸１３０、ベアリング１１５ａ〜１
１５ｄ等の精密部品を破損したり、ベアリング１１５ａ
〜１１５ｄのボールが詰まって動かなかったり、その寿
命を縮めることになる。また、ベアリング１１５ａ〜１
１５ｄとレール１１０ａ・１１０ｂとの摺動部におい
て、大きな圧力が発生するため、パーティクルの発生が
問題となり、上述のような真空成膜装置に使用すること
ができないという問題が生じる。

【０００７】上記の熱膨張を考慮した搬送装置として、
特開平１−１１０４１５号公報には、半田槽にプリント
基板をつけるときの基板の支持爪にバネ要素を介して連
結した「搬送装置」が開示されている。上記公報の搬送
装置では、半田槽にプリント基板をつけたときに、該プ
リント基板が熱による反りの防止と、プリント基板の幅
のバラツキを吸収することを目的としており、プリント
基板の支持部が単にプリント基板の熱膨張を吸収してい
るだけである。したがって、上記のように基板を搭載し
て搬送する搬送車のような大きな重量を支持する場合に
は、上記公報のような機構、即ちバネ要素だけでは、熱
膨張による搬送車の変形を吸収することができない。

【０００８】また、上記搬送車１１１は、上述したよう
に、リニアベアリング１１５ａ〜１１５ｄの４か所と、
ボールナット１３５とによって拘束されているので、該
搬送車１１１の基準位置とボールねじ軸１３０との距離
が決まっている。これにより、搬送車１１１が熱膨張し
た場合、膨張量に相当する力が搬送車の走行方向規制部
やボールねじ軸１３０にかかることになる。

【０００９】例えば、長さ１ｍの鋼が１００℃上昇する
と約１ｍｍ熱膨張する。このことから、幅方向に過拘束
された鋼の搬送車（１ｍ（幅）×１ｍ（長さ）×２０ｍ
ｍ（厚さ））が１ｍｍ幅方向へ熱膨張したとすると、ｔ
ｏｎｆ単位の力が２本のレール１１０ａ・１１０ｂの間
隔を拡げる方向にかかることになる。

【００１０】したがって、このような力が、リニアガイ
ドやボールねじ軸１３０にかかることになる。特に、ボ
ールねじ軸１３０は、軸垂直方向への負荷に対して非常
に弱く、ボールねじ軸１３０の寿命を極端に短くしてし
まうという問題が生じる。

【００１１】また、リニアガイドやボールねじ軸１３０
自体に熱が伝わることによって、ベアリング１１５ａ〜
１１５ｄやボールねじ軸１３０の支持部１２０ａ・１２
０ｂ等にも熱膨張、熱変形が発生するという問題が生じ
る。

【００１２】そこで、上記の搬送車の熱膨張および熱変
形を吸収するために、特開平３−１７６９４４号公報に
は、搬送車を案内する２本のレールのうち、一方のレー
ルを逆Ｖあるいは逆Ｕ状に形成し、他方のレールを平形
に形成した「搬送装置」が開示されている。上記公報の
搬送装置では、一方のレールによって搬送車の進行方向
が規制されているので、搬送車が熱膨張により幅方向に
膨張した場合、他方の平形に形成されているレール上を
幅方向に自由にシフトするようになる。つまり、搬送装
置は、例えば、図１５に示すように、搬送車２００のＶ
ホイール２０３が逆Ｖ状に形成されたレール２０１に接
触して進行方向を規制すると共に、搬送車２００の平ホ
イール２０４が平形のレール２０２上に接触して、該搬
送車２００を進行方向に案内するようになっている。こ
れにより、熱膨張による搬送車の幅方向の熱膨張を吸収
できる。

【００１３】また、熱膨張により搬送車の幅方向の変形
を、バネにより吸収することが提案されている。このよ
うなバネを用いた変形吸収手段としては、例えば、図１
６に示すように、搬送車の幅方向、即ちｘ方向に伸縮自
在なバネ３００を有するものがある。このバネ３００
は、搬送車（図示せず）に取り付けられた固定部３０１
の支持棒３０１ａに挿通され、この支持棒３０１ａは、
上記バネ３００を介して、動力伝達部（図示せず）に取
り付けられたスライド方向規制部３０２にスライド自在
に挿通されている。即ち、上記変形吸収手段は、搬送車
が熱膨張すると、固定部３０１が矢印ｘ方向に移動し、
バネ３００が収縮して熱膨張分を吸収するようになる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開平
３−１７６９４４号公報の搬送装置のように一方のレー
ルで進行方向を規制し、他方のレールで熱膨張を吸収す
る構成では以下のような問題が生じる。

【００１５】つまり、搬送車２００の熱膨張が生じる
と、例えば図１７（ａ）に示すように、下方に凸状とな
るように基板搬送部分が反る。このような状態では、図
１７（ｂ）に示すように、搬送車２００のＶホイール２
０３が逆Ｖ状のレール２０１に片当たりする。そして、
平ホイール２０４が平レール２０２上を幅方向にシフト
とすると共に、平ホイール２０４が平レール２０２にも
片当たりする。

【００１６】上記のようなホイールとレールとが片当た
りする状態では、レールとホイールとの接触部に働く面
圧が非常に大きくなる。したがって、ホイールまたはレ
ールの摺動部から発生するダストの増加、ホイールとレ
ールとの異常な摩擦、ホイールまたはレールの表面被膜
部へのダメージ、およびボールねじ軸等の各部への異常
な負荷等の問題が生じる。

【００１７】また、搬送車の熱膨張をバネにより吸収す
る構成では、バネ３００が収縮する場合、即ち搬送車が
熱による膨張や収縮した場合に、固定部３０１の支持棒
３０１ａとスライド方向規制部３０２との摩擦等により
ダストが発生する。

【００１８】さらに、上記の熱による搬送車の変形を吸
収する変形吸収手段では、バネ３００、固定部材３０
１、支持棒３０１ａ、スライド方向規制部３０２等の構
成部品が多く、熱膨張や収縮の都度、上記の各部材が駆
動するようになるので、ダストが発生し易くなる。

【００１９】このように、ダストの発生する搬送装置で
は、真空成膜装置に使用することができないという問題
が生じる。

【００２０】本発明は、上記の各問題点を解決するため
になされたもので、その目的は、基板等の被搬送材を搭
載して搬送する搬送車の熱による膨張や変形を簡単な構
成で確実に吸収でき、膨張や変形の吸収時にダストの発
生の無いような搬送装置を提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１の搬送装置は、
上記の課題を解決するために、加熱または冷却される基
板等の被搬送材を搭載する搬送車と、平行に配置され、
上記搬送車を進行方向に案内するための第１レールおよ
び第２レールと、上記の一方のレールと上記搬送車とで
構成され、該搬送車の進行方向を規制すると共に、搬送
車を支持する第１支持部と、上記の他方のレールと上記
搬送車とで構成され、該搬送車を進行方向に垂直な方向
に摺動自在に支持する第２支持部と、上記第１および第
２レールと平行に配置され、搬送車に駆動力を伝達する
動力伝達部とを含み、上記動力伝達部は、上記第２支持
部よりも第１支持部に近い側に設けられていることを特
徴としている。

【００２２】上記の構成によれば、搬送車は、第１支持
部において、その進行方向が規制され、第２支持部によ
って搬送車の膨張や収縮により変形した変形分を吸収す
るようになっている。このように、搬送車が膨張あるい
は収縮する場合、第１支持部を基準として、第２支持部
で膨張あるいは収縮による変形分を吸収するようになっ
ているので、搬送車では、第２支持部にいくにつれて変
形量が多くなる。したがって、搬送車に駆動力を伝達す
る動力伝達部が、上記第２支持部よりも第１支持部に近
い側に設けられていることで、動力伝達部への搬送車の
膨張および収縮による変形の影響を少なくすることがで
き、この結果、搬送車が熱膨張することにより発生する
種々の影響の少ない搬送装置を提供することができる。

【００２３】請求項２の搬送装置は、上記の課題を解決
するために、請求項１の構成に加えて、第１支持部が、
断面逆Ｖ字状の第１レールおよび、断面Ｖ字状でその傾
斜面の断面形状が円弧状に形成されているホイールから
構成されると共に、第２支持部が、平レール及び平ホイ
ールから構成されていることを特徴としている。

【００２４】上記の構成によれば、請求項１の作用に加
えて、第１支持部が、断面逆Ｖ字状の第１レールおよ
び、断面Ｖ字状でその傾斜面の断面形状が円弧状に形成
されているホイールで構成されていることで、搬送車の
進行方向を規制することができる。また、第２支持部
が、平レールおよび平ホイールから構成されていること
で、搬送車の幅方向、即ち進行方向に対して垂直な方向
に、平ホイールが平レール上を移動することができる。
よって、搬送車が加熱あるいは冷却によって膨張あるい
は収縮しても、その変形分を吸収することができる。

【００２５】しかも、搬送車の進行方向を規制するＶホ
イールの傾斜面の断面形状を円弧状に形成することで、
搬送車が加熱や冷却等によって変形しても第１支持部で
はホイールがレールに片当たりする虞がなく、従来のＶ
ホイールと逆Ｖレールとの接触部により進行方向を規制
する場合のように、搬送車が加熱や冷却等により変形し
たときにＶホイールのレールに対する片当たりによって
発生するダストを無くすことができる。

【００２６】請求項３の搬送装置は、上記の課題を解決
するために、請求項１の構成に加えて、第１支持部が、
逆Ｖ字状の第１レールおよび該第１レールの傾斜面に対
してそれぞれ垂直に接触する２つの平ホイールから構成
され、第２支持部が、平レールおよび平ホイールから構
成されていることを特徴としている。

【００２７】上記の構成によれば、請求項１の作用に加
えて、第１支持部を構成する第１レールが逆Ｖ字状をな
し、搬送車に該第１レールの傾斜面に対してそれぞれ垂
直な平ホイールが設けられていることで、搬送車を第１
レール上で進行方向に安定して規制することができる。
また、第２支持部が、平レールおよび平ホイールから構
成されていることで、搬送車の幅方向、即ち進行方向に
対して垂直な方向に、平ホイールが平レール上を移動す
ることができる。よって、搬送車の加熱あるいは冷却に
より膨張あるいは収縮による変形分を吸収することがで
きる。

【００２８】しかも、第１支持部では、平ホイールの外
周面の断面形状にＲを付けやすいので、平ホイールが第
１レールの傾斜面に片当たりするのを容易に回避するこ
とができる。したがって、搬送車が変形しても第１支持
部では、従来のＶホイールと逆Ｖ状のレールとの接触部
により進行方向を規制する場合のように、搬送車が変形
したときにＶホイールのレールに対する片当たりによっ
て発生するダストを無くすことができる。

【００２９】請求項４の搬送装置は、上記の課題を解決
するために、請求項１ないし３の何れかの構成に加え
て、動力伝達部に、上記搬送車の加熱あるいは冷却によ
る膨張あるいは収縮による変形を吸収する変形吸収手段
が設けられていることを特徴としている。

【００３０】上記の構成によれば、請求項１ないし３の
何れかの作用に加えて、動力伝達部に、上記搬送車の加
熱あるいは冷却による膨張あるいは収縮による変形を吸
収する変形吸収手段が設けられていることで、動力伝達
部に加わる搬送車の変形による荷重を無くすことができ
る。これにより、例えば請求項１のように、動力伝達部
を搬送車の変形の影響の小さい部分に特に設ける必要が
なくなるので、搬送装置の設計の自由度を向上させるこ
とができる。

【００３１】特に、変形吸収手段は、上記搬送車の膨張
あるいは収縮が発生する方向へは剛性が低く、且つ該搬
送車の進行方向へは剛性が高くなるように構成すれば良
い。具体的には、一方向にのみ剛性の高い平行板バネを
用いれば良い。即ち、変形吸収手段は、搬送車の膨張あ
るいは収縮が発生する方向に伸縮する平行板バネと、搬
送車の進行方向に伸縮する平行板バネとで構成すれば良
い。

【００３２】請求項５の搬送装置は、上記の課題を解決
するために、請求項１〜４の何れかの構成に加えて、基
板等の被搬送材の加熱または冷却中に、該被搬送材を搬
送する搬送車を進行方向に移動させることを特徴として
いる。

【００３３】上記の構成によれば、請求項１ないし４の
何れかの作用に加えて、基板等の被搬送材の加熱または
冷却中に、該被搬送材を搬送する搬送車を進行方向に移
動させることで、基板等の被搬送材の加熱あるいは冷却
時に発生する搬送車の膨張あるいは収縮によりホイール
とレールの摺動を１か所に集中させずに、分散させるこ
とができる。このように移動中のホイールとレールとの
摩擦力は、停止中のホイールとレールとの摩擦力よりも
小さくなるので、ホイールとレールとの摩擦によるパー
ティクルの発生を抑制することができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】

〔実施の形態１〕本発明の実施の一形態について図１な
いし図６に基づいて説明すれば、以下の通りである。
尚、本実施の形態では、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）等の真空成
膜装置にて用いられる基板やウェハ等を搬送する搬送装
置について説明する。

【００３５】本実施の形態に係る搬送装置は、図１に示
すように、装置内空間１に、被加熱材としての基板２を
搭載する搬送車３、搬送車３に駆動力を伝達するための
ボールナット６およびボールねじ軸５、装置外部の駆動
源である駆動モータ１０の回転力を装置内空間１内に導
入するための回転導入機８、ボールねじ軸５と回転導入
機８とを接続するためのカップリング９を含んでいる。
尚、搬送車３とボールねじ軸５との間には、図２に示す
ように、動力伝達部７が設けられている。

【００３６】上記搬送車３は、図３（ａ）に示すよう
に、中央部に加熱ヒータ４が嵌め込まれた略額縁形状を
しており、この加熱ヒータ４に基板２が載置されるよう
になっている。このとき、基板２は、図示しない基板ホ
ルダーにて加熱ヒータ４に密着するように固定される。
加熱ヒータ４は、電熱用抵抗材料を発熱体として内蔵さ
れ、加熱面が平面状に形成されており、その上に密着固
定された基板２を加熱するするようになっている。尚、
加熱ヒータ４は、図示しない温度センサによって基板２
や加熱ヒータ４の温度を検出し、基板２の温度が所定の
値になるように、その出力がコントロールされている。
また、基板２の全面を均一に加熱するには、基板２より
も加熱ヒータ４の方が大きいことが望ましい。

【００３７】上記ボールねじ軸５は、図３（ｂ）に示す
ように、搬送車３の進行方向である矢印Ｙ方向に延設さ
れており、両端部側でボールねじ支持部１１・１２内の
図示しないベアリングで回転自在となるように支持され
ている。また、ボールナット６は、ボールねじ軸５に螺
着されており、ボールねじ軸５の回転力をボールねじ軸
５の軸方向の直進力に変換するようになっている。

【００３８】動力伝達部７は、図２に示すように、一端
部が搬送車３に固定されると共に、他端部がボールナッ
ト６に固定されており、ボールナット６の軸方向への直
進力を搬送車３に伝達するようになっている。尚、動力
伝達部７の詳細については後述する。

【００３９】また、上記搬送装置の装置内空間１には、
矢印Ｘ・Ｙ方向に延びる第１レール３５と第２レール３
６とが平行に配設され、これら２本のレール３５・３６
上を上記搬送車３が走行するようになっている。

【００４０】上記搬送車３には、第１レール３５に対応
する端部３ａに、上記第１レール３５上を移動する第１
ホイール３０・３１が設けられ、第２レール３６に対応
する端部３ｂに、上記第２レール３６上を移動する第２
ホイール３２・３３が設けられている。したがって、こ
れら４つのホイール３０〜３３は、搬送車３を第１レー
ル３５および第２レール３６上で支持する支持部となっ
ている。

【００４１】即ち、上記構成の搬送装置では、装置の外
部にある駆動モータ１０の回転力が回転導入機８によっ
て装置内空間１内に導入され、カップリング９を介して
ボールねじ軸５に伝達される。そして、ボールねじ軸５
の回転力はボールナット６によって軸方向、即ち搬送車
３の進行方向への直進力に変換され、動力伝達部７を介
して搬送車３に伝達される。このようにして伝達された
駆動力により搬送車３は、図１に示す、矢印Ｙ方向に移
動するようになる。

【００４２】ここで、上記第１レール３５と第１ホイー
ル３０・３１、および上記第２レール３６と第２ホイー
ル３２・３３との関係について、さらに詳細に説明す
る。尚、説明の便宜上、各レールに対応するホイール
は、それぞれ同じ形状のものであるので、一方のホイー
ルについては、その説明は省略する。

【００４３】上記第１レール３５は、図４に示すよう
に、上端部が逆Ｖ字状に形成されたＶレールであり、第
１ホイール３０は、第１レール３５との当接部分が上記
Ｖ字溝となったＶホイールである。この第１レール３５
の上端部と、第１ホイール３０の溝とはほぼ同じ角度と
なるように形成されている。これにより、第１レール３
５に第１ホイール３０・３１が嵌合することで、第１ホ
イール３０・３１の走行方向が規制される。したがっ
て、第１ホイール３０・３１は、第１レール３５上を搬
送車３の進行方向に走行できるが、進行方向と垂直な方
向に動かないようになる。

【００４４】このように、第１ホイール３０・３１は、
一方のレールである第１レール３５上を走行するので、
第１レール３５および搬送車３が第１レール３５の長手
方向に熱膨張して伸びても問題はない。また、第１ホイ
ール３０・３１と第１レール３５とによって、搬送車３
を進行方向に垂直な平面内で幅、高さ方向に位置決めす
るようになっている。よって、熱により搬送車３が熱膨
張する場合、搬送車３の熱膨張は第１ホイール３０・３
１と第１レール３５との接触部が基準となる。即ち、上
記接触部が、搬送車３の進行方向および進行方向に垂直
な方向への熱膨張の基準位置となる。

【００４５】一方、第２レール３６は、図２および図３
（ｃ）に示すように、上端部が平面状に形成された平レ
ールであり、第２ホイール３２・３３は、第２レール３
６との当接部分が平面状となった平ホイールである。し
たがって、第２ホイール３２・３３は、第２レール３６
上を幅方向に移動可能となっている。これにより、搬送
車３が幅方向に熱膨張した分だけ、第２ホイール３２・
３３の位置が第２レール３６上で幅方向に移動するよう
になるので、搬送車３の幅方向の膨張分を吸収できる。

【００４６】また、第１ホイール３０・３１と第１レー
ル３５との接触部が搬送車３の熱膨張の基準となるの
で、搬送車３の幅方向では、この接触部に近くなるほど
熱膨張の影響が小さくなる。したがって、この接触部
を、搬送車３にボールねじ軸５からの動力を伝達する動
力伝達部７近傍に設けることが望ましい。これにより、
動力伝達部７からボールねじ軸５への熱膨張の伝達量を
低減することができる。

【００４７】しかしながら、第１ホイール３０・３１と
第１レール３５との接触部を、上記の動力伝達部７近傍
に位置しても、搬送車３の熱膨張による影響を完全にな
くすことはできない。つまり、搬送車３の動力伝達部７
の取り付け部と、ボールねじ軸５との距離が搬送車３の
熱膨張によって僅かに変動する。一般に、ボールねじ軸
５は、軸垂直方向の荷重に対して弱いため、上記の熱膨
張による位置変動分を吸収し、且つ、ボールねじ軸５の
軸垂直方向の荷重をできるだけ小さくする必要がある。
そこで、この変動を吸収するために、動力伝達部７を平
行板バネで構成することが考えられる。

【００４８】ここで、上記動力伝達部７を平行板バネで
構成した場合について、図５を参照しながら以下に説明
する。

【００４９】動力伝達部７は、図５に示すように、ボー
ルナット６と、搬送車３に設けられた動力伝達バネ取付
部７５との間に、第１平行板バネ７１、中継部材７３、
第２平行板バネ７２が順に設けられた構造となってい
る。

【００５０】第１平行板バネ７１は、ボールナット６上
に設けられた動力伝達バネ取付部７４と、中継部材７３
との間に、搬送車３の進行方向と垂直となる方向、即ち
矢印Ａ方向に設けられ、第２平行板バネ７２は、上記動
力伝達バネ取付部７５と中継部材７３との間に上下方向
に設けられている。

【００５１】一般に、平行板バネは一方向にのみ剛性が
低く、その他の方向への剛性が非常に高いバネである。
このような特性を有する平行板バネを上記のように、２
つ組み合わせることで、搬送車３の幅方向への剛性、お
よび上下方向への剛性が低く、他の方向への剛性が非常
に高い構成とすることができる。即ち、第１平行板バネ
７１は、搬送車３の進行方向に垂直な方向、即ちＸ方
向、第２平行板バネ７２は上下方向、即ちＺ方向への剛
性が極めて低く、その他の方向への剛性が高くなる。

【００５２】したがって、上記の構成の動力伝達部７で
は、搬送車３の幅方向および上下方向、即ちＸ方向およ
びＺ方向への搬送車３の熱膨張はそれぞれ第２平行板バ
ネ７２、第１平行板バネ７１により吸収することができ
る。また、第１平行板バネ７１および第２平行板バネ７
２は、進行方向、即ちＹ方向への剛性が非常に高いの
で、搬送車３の進行方向への精密な送り、および位置決
めを行うことができる。

【００５３】また、一般に平行板バネは、固有振動数を
考慮した設計が容易になる。つまり、板バネの板幅、長
さ、厚さを変えることにより、該板バネの有する水平、
垂直、進行方向および各軸周りの回転方向のバネ定数を
容易に設定することができる。このように平行板バネを
構成する板バネのバネ定数を設定することで、平行板バ
ネ全体の固有振動数を設定することができる。

【００５４】これにより、平行板バネの固有振動数を、
外乱の周波数と一致しないように容易に調整することが
できるので、平行板バネを動力伝達部に用いる場合に問
題となる共振を確実に避けることができる。

【００５５】また、上述のように動力伝達部に平行板バ
ネを用いれば、動力伝達部の駆動部分に他の板バネや巻
きバネ等を用いた場合のように摺動部分がないので、発
塵を無くすことができる。したがって、動力伝達部に平
行板バネを用いた搬送装置は、真空成膜装置に好適に使
用することができる。

【００５６】ところで、搬送車３に搭載された基板２が
加熱ヒータ４により加熱された場合、搬送車３は、図６
に示すように、基板２搭載部分、即ち加熱部分が下にな
るように反る。これは、加熱ヒータ４により基板２を加
熱したとき、搬送車３も加熱ヒータ４によって加熱され
ることになり、搬送車３では、加熱ヒータ４に近い側の
面３ｃの温度の方が加熱ヒータ４から遠い側の面３ｄよ
りも高いため、搬送車３の面３ｃと面３ｄとで膨張率が
異なるからである。尚、図６では、搬送車３に駆動力を
伝達するための動力伝達部７を省略している。

【００５７】このように、搬送車３が反った状態では、
搬送車３の熱膨張による基準部分となる搬送車３の端部
３ａ側の第１ホイール３０・３１と第１レール３５との
接触部分は問題がないが、搬送車３の端部３ｂ側の第２
ホイール３２・３３と第２レール３６との接触部分で問
題が生じる。つまり、上記第２ホイール３２・３３は平
ホイールからなり、第２レール３６は平レールからなっ
ているので、上記のような搬送車３の熱膨張による反り
が生じた場合、平ホイールである第２ホイール３２・３
３が平レールである第２レール３６に片当たりするとい
う問題が生じる。このような場合、第２ホイール３２・
３３の外周面の進行方向側断面を略円弧状にすること
で、第２ホイール３２・３３の第２レール３６への片当
たりを防止することができる。

【００５８】しかしながら、上記のように第２ホイール
３２・３３の外周面の進行方向側断面を略円弧状にして
第２レール３６への片当たりを防止しても、搬送車３を
一か所に固定した状態で基板２を加熱すれば、搬送車３
の熱膨張分だけ第２ホイール３２・３３は第２レール３
６上を摺動し、第２ホイール３２・３３と第２レール３
６との間で摩擦が生じ、パーティクルの発生等の種々の
問題が生じる。

【００５９】このようなことから、基板２を加熱する
際、搬送車３を移動させれば、第２ホイール３２・３３
が回転しながら、第２レール３６上を幅方向に摺動する
ようになるので、第２ホイール３２・３３と第２レール
３６との間の摩擦係数を小さくすることができ、摩擦に
より生じる上記の問題を解消することができる。

【００６０】特に、真空蒸着、イオンプレーティング、
ＣＶＤ等の真空成膜装置において使用される搬送装置で
は、パーティクルの発生は厳禁であるので、各レールや
ホイールには表面処理が施されており、搬送車３を移動
させながら基板２の加熱を行えば、レールとホイールと
の間の摩擦が少ないので、摩擦によるパーティクルの発
生や、レールやホイールの被膜の劣化を低減することが
できる。

【００６１】上記構成の搬送装置では、搬送車３の熱膨
張による基準を、搬送車３のＶホイールからなる第１ホ
イール３０・３１と、Ｖレールからなる第１レール３５
との接触部分としているが、これに限定されるものでは
ない。以下の実施の形態において、搬送車３の進行方向
の位置規制を行うと共に、熱膨張の基準となるような搬
送車３の支持部について説明する。

【００６２】〔実施の形態２〕本発明の他の実施の形態
について図７に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記実施の形態１と同一の機能
を有する部材に同一の番号を付記し、その説明は省略す
る。以下の実施の形態でも同様とする。

【００６３】本実施の形態に係る搬送装置は、図７に示
すように、前記実施の形態１の搬送車３の位置規制側の
端部３ａの第１ホイール３０・３１と第１レール３５と
の代わりに、リニアガイド５０が用いられている。

【００６４】上記リニアガイド５０は、搬送車３の端部
３ａにリニアガイドベアリング５１が取り付けられ、搬
送装置側に上記リニアガイドベアリング５１を案内する
ためのレール５２が取り付けられ、レール５２上をリニ
アガイドベアリング５１が走行するようになっている。

【００６５】上記の構成によれば、搬送車３は、リニア
ガイド５０により搬送車３の支持と進行方向を規制する
ことができる。これにより、前記実施の形態１と同様の
作用・効果を得ることができ、さらに、リニアガイド５
０では、前記実施の形態１のようにホイールとレールと
の組み合わせよりも走行時の摩擦が少なく、好適に真空
成膜装置に使用することができる。

【００６６】〔実施の形態３〕本発明のさらに他の実施
の形態について図８に基づいて説明すれば、以下の通り
である。

【００６７】本実施の形態に係る搬送装置は、図８に示
すように、前記実施の形態１の搬送車３の位置規制側の
端部３ａの第１ホイール３０・３１と第１レール３５と
の代わりに、２個の平ホイール７７・７７と逆Ｖ字状の
Ｖレール７８を用いて搬送車３の支持と進行方向の規制
とを行うものである。

【００６８】上記平ホイール７７は、Ｖレール７８の傾
斜面７８ａに垂直に当接するように、搬送車（図示せ
ず）の位置規制側端部に設けられた取り付け部７６に設
けられている。即ち、平ホイール７７・７７は、Ｖレー
ル７８を挟み込むようにして当接しながら走行するよう
になる。また、上記の平ホイール７７は、熱膨張等によ
る搬送車の変形で、Ｖレール７８の傾斜面７８ａに片当
たりする虞があるので、平ホイール７７の外周面の断面
形状を円弧状にすることにより、上記の片当たりを防止
している。

【００６９】上記の構成によれば、平ホイール７７・７
７とＶレール７８とによって搬送車の支持と進行方向を
規制することができる。これにより、前記実施の形態１
と同様の作用・効果を得ることができ、さらに、平ホイ
ール７７・７７は、Ｖレール７８を挟み込むようにして
走行しているので、前記実施の形態１のようにホイール
とレールとの組み合わせよりも走行時の摩擦が少なく、
好適に真空成膜装置に使用することができる。

【００７０】〔実施の形態４〕本発明のさらに他の実施
の形態について図９に基づいて説明すれば、以下の通り
である。

【００７１】本実施の形態に係る搬送装置は、図９に示
すように、前記実施の形態１の搬送装置における搬送車
３の第１ホイール３０の代わりに、平ホイール８１が設
けられ、搬送車３の第２ホイール３２の代わりに、平ホ
イール８０が設けられている。また、前記実施の形態１
の搬送装置における第１レール３５の代わりに、平レー
ル８５が設けられ、第２レール３６の代わりに、平レー
ル８４が設けられている。そして、搬送車３には、搬送
車３の進行方向を規制するための平ホイール８２・８３
が各平レール８４・８５の側面に当接するようにして設
けられている。尚、図９では、各平ホイールは１つずつ
記載しているが、実際には、第１ホイール３１と、第２
ホイール３３に対応する平ホイールと進行方向を規制す
る平ホイールがそれぞれ設けられている。

【００７２】したがって、上記搬送車３は、各平ホイー
ルによって平レール８４・８５上を走行するようになっ
ている。

【００７３】上記の平ホイール８３は、圧着機構８６を
介して搬送車３に取り付けられている。この圧着機構８
６は、搬送車３に設けられたバネ取付部６１に搬送車３
を平レール８５側に付勢するバネ６２と、このバネ６２
を収納する収納部６３とが設けれ、収納部６３には図示
しない駆動手段と、平レール８５の側面い当接する平ホ
イール８３とが設けられている。これにより、上記圧着
機構８６は、搬送車３を平レール８５側に押し付けるよ
うになっているので、搬送車３が熱膨張しても、その膨
張分が吸収され、搬送車３の進行方向を規制することが
可能となっている。

【００７４】尚、上記圧着機構８６により発生する圧着
力は、搬送車３の駆動力よりも大きくすることで、搬送
車３に駆動力が働いても問題はない。また、各平ホイー
ル８０〜８３の外周面の断面形状は円弧状に形成されて
いる。これにより、熱膨張による搬送車３の変形で平ホ
イール８０〜８３が各平レール８４・８５の各面に片当
たりするのを防止することができる。

【００７５】以上の実施の形態２〜４では、搬送車３の
支持と進行方向の規制について述べたが、以下の実施の
形態では、搬送車３に駆動力を伝達する動力伝達部７に
ついて説明する。

【００７６】〔実施の形態５〕本発明のさらに他の実施
の形態について図１０に基づいて説明すれば、以下の通
りである。尚、本実施の形態および以降の実施の形態に
ついては、他の構成が実施の形態１と同じであるので、
動力伝達部近傍の構成についてのみ説明する。

【００７７】本実施の形態に係る搬送装置の動力伝達部
は、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、ボールねじ軸５
と搬送車３とが動力伝達部材９１を介して接続され、ボ
ールナット６には動力伝達シャフト９０が軸方向をボー
ルねじ軸５と直交する方向、即ちＺ方向に合わせて２本
取り付けられた構成である。

【００７８】上記動力伝達部材９１には、２つのリニア
ベアリング８８・８８と、動力伝達シャフト８９が設け
られ、さらに、搬送車３には、リニアベアリング８７が
その軸方向をＸ方向に合わせて設けられている。そし
て、動力伝達部材９１のリニアベアリング８８には、ボ
ールナット６の動力伝達シャフト９０が、搬送車３のリ
ニアベアリング８７には、動力伝達部材９１の動力伝達
シャフト８９がそれぞれ挿通されている。

【００７９】一般に、各リニアベアリング８７・８８
は、軸方向と軸まわりの回転を拘束しないようになって
いる。そこで、上記のように、それぞれのリニアベアリ
ング８７・８８の軸の方向をＸ軸およびＺ軸方向に一致
させることで、Ｘ軸、Ｚ軸方向への熱膨張が吸収でき
る。

【００８０】また、上記構成の動力伝達部では、各リニ
アベアリングと直交する向きのボールねじ軸５の軸方向
には剛性が高い、即ち進行方向への剛性が高い構成とな
っている。それ故、搬送車３の進行方向への精密な送
り、および位置決めが可能となる。

【００８１】〔実施の形態６〕本発明のさらに他の実施
の形態について図１１に基づいて説明すれば、以下の通
りである。

【００８２】本実施の形態に係る搬送装置の動力伝達部
は、図１１に示すように、一端が搬送車３に取付けられ
た平行板バネ７１の他端部と、ボールねじ軸５とが動力
伝達部材９６を介して接続された構成である。

【００８３】上記動力伝達部材９６は、ボールナット６
の外側に設けられた第１動力伝達中継部材９２と、この
第１動力伝達中継部材９２の外側に設けられ、上記平行
板バネ７１と接続されている第２動力中継部材９３とか
らなる。

【００８４】上記ボールナット６には、ボールねじ軸５
からの回転力を伝達するための動力伝達シャフト９４が
その軸方向をＺ軸に合わせて上下に２本取り付けられて
いる。また、上記第１動力伝達中継部材９２には、上記
動力伝達シャフト９４を受けるベアリング（図示せず）
と、ボールナット６からの駆動力を第２動力伝達中継部
材９３に伝達するための動力伝達シャフト９５が軸方向
をＸ軸方向に合わせて２本取り付けられている。さら
に、第２動力伝達中継部材９３には、上記動力伝達シャ
フト９５を受けるベアリング（図示せず）が設けられて
いる。

【００８５】上記の構成において、搬送車が熱膨張した
場合、その膨張は平行板バネ７１を介して第２動力伝達
中継部材９３に伝わる。これにより、搬送車の進行方向
に垂直な方向への膨張が、第２動力伝達中継部材９３の
ベアリングと第１動力伝達中継部材９２の動力伝達シャ
フト９５とにより吸収される一方、搬送車の上下方向へ
の膨張が、第１動力伝達中継部材９２のベアリングとボ
ールナット６の動力伝達シャフト９４とにより吸収され
る。

【００８６】したがって、上記構成の動力伝達部では、
搬送車の熱膨張分を、第１動力伝達中継部材９２および
第２動力伝達中継部材９３によって完全に吸収すること
ができるので、搬送車とボールねじ軸５との位置関係に
よってボールねじ軸５に働くモーメントを回避すること
ができる。

【００８７】〔実施の形態７〕本発明のさらに他の実施
の形態について図１２および図１３を用いて説明すれ
ば、以下の通りである。

【００８８】本実施の形態に係る搬送装置は、図１２に
示すように、第１支持部として、前記実施の形態１の搬
送車３の位置規制側の端部３ａの第１ホイール３０・３
１の代わりに、逆Ｖ字状の第１レール３５との接触面で
ある傾斜面の断面を円弧状に形成したＶホイール１００
・１０１を用いて、搬送車３の支持と進行方向の規制と
を行うようになっている。このように、Ｖホイール１０
０・１０１が第１レール３５との接触面である傾斜面の
断面を円弧状に形成していることで、搬送車３が熱によ
り変形して搬送車３の幅方向に係る力によりＶホイール
１００・１０１は第１レール３５に片当たりすることが
ない。

【００８９】一方、本実施の形態の搬送装置の第２支持
部は、図１３（ａ）に示すように、前記実施の形態１と
同様に第２レール３６が、上端部が平面状に形成された
平レールであり、第２ホイール３２・３３は、第２レー
ル３６との当接部分が平面状となった平ホイールであ
る。したがって、第２ホイール３２・３３は、第２レー
ル３６上を幅方向に移動可能となっている。これによ
り、搬送車３が幅方向に熱膨張した分だけ、第２ホイー
ル３２・３３の位置が第２レール３６上で幅方向に移動
するようになるので、搬送車３の幅方向の膨張分を吸収
できる。しかも、上記第２ホイール３２・３３の第２レ
ール３６の接触面は、断面が円弧状に形成されている。

【００９０】上記の構成によれば、図１３（ａ）に示す
ように、搬送車３が熱により変形した場合、図１３
（ｂ）に示すように、Ｖホイール１００・１０１の傾斜
面の断面が円弧状に形成されているので、Ｖホイール１
００・１０１は第１レール３５に片当たりすることがな
く、また、第２ホイール３２・３３の第２レール３６の
接触面は、断面が円弧状に形成されているので、第２ホ
イール３２・３３は第２レール３６に片当たりすること
がない。よって、パーティクルの発生やレールやホイー
ルの被膜の劣化を低減できるので、本実施の形態の搬送
装置を、好適に真空成膜装置に使用することができる。

【００９１】以上の各実施の形態では、加熱による搬送
車の熱膨張、熱変形に対応して説明を行っているが、本
発明は、膨張による問題だけではなく、冷却による収縮
にも対応できる。つまり、搬送車が冷却により収縮する
場合には、熱膨張の場合の逆となるだけであるので、熱
膨張に対応した上記の各実施の形態がそのまま使用する
ことができる。

【００９２】

【発明の効果】請求項１の発明の搬送装置は、以上のよ
うに、加熱または冷却される基板等の被搬送材を搭載す
る搬送車と、平行に配置され、上記搬送車を進行方向に
案内するための第１レールおよび第２レールと、上記の
一方のレールと上記搬送車とで構成され、該搬送車の進
行方向を規制すると共に、搬送車を支持する第１支持部
と、上記の他方のレールと上記搬送車とで構成され、該
搬送車を進行方向に垂直な方向に摺動自在に支持する第
２支持部と、上記第１および第２レールと平行に配置さ
れ、搬送車に駆動力を伝達する動力伝達部とを含み、上
記動力伝達部は、上記第２支持部よりも第１支持部に近
い側に設けられている構成である。

【００９３】それゆえ、搬送車が膨張あるいは収縮する
場合、第１支持部を基準として、第２支持部で膨張ある
いは収縮による変形分を吸収するようになっているの
で、搬送車では、第２支持部にいくにつれて変形量が多
くなる。したがって、搬送車に駆動力を伝達する動力伝
達部が、上記第２支持部よりも第１支持部に近い側に設
けられていることで、動力伝達部への搬送車の膨張およ
び収縮による変形の影響を少なくすることができるの
で、熱膨張の影響の少ない搬送装置を提供することがで
きるという効果を奏する。

【００９４】請求項２の発明の搬送装置は、以上のよう
に、請求項１の構成に加えて、第１支持部が、断面逆Ｖ
字状の第１レールおよび、断面Ｖ字状でその傾斜面の断
面形状が円弧状に形成されているホイールから構成され
ると共に、第２支持部が、平レール及び平ホイールから
構成されている。

【００９５】それゆえ、請求項１の効果に加えて、第１
支持部が、断面逆Ｖ字状の第１レールおよび、断面Ｖ字
状でその傾斜面の断面形状が円弧状に形成されているホ
イールで構成されていることで、搬送車の進行方向を規
制することができる。また、第２支持部が、平レールお
よび平ホイールから構成されていることで、搬送車の幅
方向、即ち進行方向に対して垂直な方向に、平ホイール
が平レール上を移動することができる。よって、搬送車
が加熱あるいは冷却によって膨張あるいは収縮しても、
その変形分を吸収することができる。

【００９６】しかも、搬送車の進行方向を規制するＶホ
イールの傾斜面の断面形状を円弧状に形成することで、
搬送車が加熱や冷却等によって変形しても第１支持部で
はホイールがレールに片当たりする虞がなく、従来のＶ
ホイールと逆Ｖレールとの接触部により進行方向を規制
する場合のように、搬送車が加熱や冷却等により変形し
たときにＶホイールのレールに対する片当たりによって
発生するダストを無くすことができるという効果を奏す
る。

【００９７】請求項３の発明の搬送装置は、以上のよう
に、請求項１の構成に加えて、第１支持部が、逆Ｖ字状
に形成された第１レールおよび該第１レールの傾斜面に
対してそれぞれ垂直な２つの平ホイールから構成され、
第２支持部が、平レールおよび平ホイールから構成され
ている。

【００９８】それゆえ、請求項１の構成による効果に加
えて、第１支持部が、逆Ｖ字状に形成された第１レール
および該第１レールの傾斜面に対してそれぞれ垂直な２
つの平ホイールから構成されていることで、平ホイール
の外周面の断面形状にＲが付けやすくなるので、平ホイ
ールが第１レールの傾斜面に片当たりするのを容易に回
避することができる。したがって、搬送車が変形しても
第１支持部では、従来のＶホイールと逆Ｖ状のレールと
の接触部により進行方向を規制する場合のように、搬送
車が変形したときにＶホイールのレールに対する片当た
りによって発生するダストを無くすことができるという
効果を奏する。

【００９９】請求項４の発明の搬送装置は、以上のよう
に、請求項１ないし３の何れかの構成に加えて、動力伝
達部に、上記搬送車の加熱あるいは冷却による膨張ある
いは収縮による変形を吸収する変形吸収手段が設けられ
ている構成である。

【０１００】それゆえ、請求項１ないし３の何れかの構
成による効果に加えて、動力伝達部に、上記搬送車の加
熱あるいは冷却による膨張あるいは収縮による変形を吸
収する変形吸収手段が設けられていることで、動力伝達
部に加わる荷重を無くすことができる。これにより、例
えば請求項１のように、動力伝達部を搬送車の変形の影
響を小さい部分に特に設ける必要がなくなるので、搬送
装置の設計の自由度を向上させることができるという効
果を奏する。

【０１０１】請求項５の発明の搬送装置は、以上のよう
に、請求項１〜４の何れかの構成に加えて、基板等の被
搬送材の加熱または冷却中に、該被搬送材を搬送する搬
送車を進行方向に移動させる構成である。

【０１０２】それゆえ、請求項１ないし４の何れかの構
成による効果に加えて、基板等の被搬送材の加熱または
冷却中に、該被搬送材を搬送する搬送車を進行方向に移
動させることで、基板等の被搬送材の加熱あるいは冷却
時に発生する搬送車の膨張あるいは収縮によりホイール
とレールの摺動を１か所に集中させずに、分散させるこ
とができる。このように移動中のホイールとレールとの
摩擦力は、停止中のホイールとレールとの摩擦力よりも
小さくなるので、ホイールとレールとの摩擦によるパー
ティクルの発生を抑制することができるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送装置の概略平面図である。

【図２】図１に示す搬送装置の概略正面図である。

【図３】図１に示す搬送装置の概略断面図を示し、
（ａ）はＡ・Ａ線矢視断面図、（ｂ）はＢ・Ｂ線矢視断
面図、（ｃ）はＣ・Ｃ線矢視断面図である。

【図４】図１に示す搬送装置の搬送車の第１ホイールと
第１レールとの関係を示す概略構成図である。

【図５】図１に示す搬送装置の動力伝達部近傍を示す概
略構成図である。

【図６】図１に示す搬送装置において、搬送車が熱によ
り変形している状態を示す説明図である。

【図７】本発明の他の実施の形態に係る搬送装置の概略
構成正面図である。

【図８】本発明のさらに他の実施の形態に係る搬送装置
の搬送車の平ホイールと逆Ｖ字状レールとの接触状態を
示す説明図である。

【図９】本発明のさらに他の実施の形態に係る搬送装置
の概略構成正面図である。

【図１０】本発明のさらに他の実施の形態に係る搬送装
置の動力伝達部の概略構成図である。

【図１１】本発明のさらに他の実施の形態に係る搬送装
置の動力伝達部の概略構成図である。

【図１２】本発明のさらに他の実施の形態に係る搬送装
置の支持部を示す概略構成図である。

【図１３】図１２に示す搬送装置の搬送車が熱により変
形した状態を示す説明図である。

【図１４】従来の搬送装置の概略平面図である。

【図１５】従来の搬送装置の概略正面図である。

【図１６】従来の搬送装置に備えられた熱膨張吸収機構
の概略構成図である。

【図１７】従来の搬送装置の搬送車が熱により変形した
状態を示す説明図である。

【符号の説明】

２ 基板 ３ 搬送車 ４ 加熱ヒータ ５ ボールねじ軸（動力伝達手段） ６ ボールナット（動力伝達手段） ７ 動力伝達部 １０ 駆動モータ（駆動手段） ３０・３１ 第１ホイール ３２・３３ 第２ホイール ３５ 第１レール ３６ 第２レール ５０ リニアガイド ７７ 平ホイール ７８ Ｖレール（第１レール） １００ Ｖホイール １０１ Ｖホイール

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加熱または冷却される基板等の被搬送材を
   搭載する搬送車と、 平行に配置され、上記搬送車を進行方向に案内するため
   の第１レールおよび第２レールと、 上記の第１レールと上記搬送車とで構成され、該搬送車
   の進行方向を規制すると共に、搬送車を支持する第１支
   持部と、 上記の第２レールと上記搬送車とで構成され、該搬送車
   を、進行方向に垂直な方向に摺動自在に支持する第２支
   持部と、 上記第１および第２レールと平行に配置され、搬送車に
   駆動力を伝達する動力伝達部とを含み、 上記動力伝達部は、上記第２支持部よりも第１支持部に
   近い側に設けられていることを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】上記第１支持部が、断面逆Ｖ字状の第１レ
   ールおよび、断面Ｖ字状でその傾斜面の断面形状が円弧
   状に形成されているホイールから構成されると共に、上
   記第２支持部が、平レール及び平ホイールから構成され
   ていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
3. 【請求項３】上記第１支持部が、断面逆Ｖ字状の第１レ
   ールおよび、該第１レールの傾斜面に対してそれぞれ垂
   直に接触する２つの平ホイールから構成されると共に、
   上記第２支持部が、平レールおよび平ホイールから構成
   されていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
4. 【請求項４】上記動力伝達部に、上記搬送車の加熱ある
   いは冷却による膨張あるいは収縮による変形を吸収する
   変形吸収手段が設けられていることを特徴とする請求項
   １ないし３の何れかに記載の搬送装置。
5. 【請求項５】基板等の被搬送材の加熱または冷却中に、
   該被搬送材を搬送する搬送車を進行方向に移動させるこ
   とを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の搬送
   装置。