JPH1079120A - Manufacturing method of magnetic recording medium - Google Patents

Manufacturing method of magnetic recording medium

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JPH1079120A
JPH1079120A JP23267896A JP23267896A JPH1079120A JP H1079120 A JPH1079120 A JP H1079120A JP 23267896 A JP23267896 A JP 23267896A JP 23267896 A JP23267896 A JP 23267896A JP H1079120 A JPH1079120 A JP H1079120A
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JP
Japan
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atmosphere
magnetic
thin film
recording medium
oxygen
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JP23267896A
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Japanese (ja)
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Takashi Chiba
隆嗣 千葉
Yukihiro Kojika
行広 小鹿
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize stabilization of magnetic property and electromagnetic conversion characteristics, by cutting a metallic magnetic thin film on a non- magnetic support web in the longitudinal direction to form a pancake-like roll having a predetermined width, and storing the roll in an atmosphere rich in oxygen for a predetermined time. SOLUTION: A metallic magnetic thin film is continuously formed on a non-magnetic support web, when cut in the longitudinal direction, and wound up with a width less than 20mm so as to form a pancake-like roll. This roll is stored in an atmosphere richer in oxygen than the ambient atmosphere, for example, in an mixed gas atmosphere of oxygen gas and nitrogen gas, for a predetermined time. After that, an anticorrosive agent is applied. Therefore, oxidation of the metallic magnetic thin film proceeds mainly from the cut surface of the pancake-like roll, and the coercive force significantly affecting the magnetic property, particularly the electromagnetic conversion characteristics, is saturated early. An Fe alloy and a Co alloy may be used as the material of the metallic magnetic thin film, and a polyester resin and a polycarbonate resin are used as the non-magnetic support. Thus, the magnetic property and electromagnetic conversion characteristics are stabilized.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は非磁性支持体上に金
属系磁性薄膜が形成された磁気記録媒体の製造方法に関
し、さらに詳しくは、磁気特性および電磁変換特性の経
時変化の少ない薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium in which a metal-based magnetic thin film is formed on a non-magnetic support, and more particularly, to a thin-film type magnetic material having little change over time in magnetic characteristics and electromagnetic conversion characteristics. The present invention relates to a method for manufacturing a recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録による情報記録の分野において
は、記録する情報量の増大や、磁気記録装置の小型化、
あるいは磁気記録媒体/磁気ヘッド間の相対速度の低減
等の動向から、高密度記録化が要望されている。これに
伴い、磁気記録媒体においても磁性粒子を有機バインダ
中に分散させた塗布型磁気記録媒体に替わり、金属系磁
性薄膜をめっきや真空薄膜形成技術、すなわち真空蒸
着、スパッタリングあるいはイオンプレーティング等に
より成膜する薄膜型磁気記録媒体が主流となりつつあ
る。なかでもCoを主体とした金属系磁性薄膜を採用す
る薄膜型磁気記録媒体は、保磁力、角形比あるいは残留
磁束密度等の各種静磁気特性に優れていることが知られ
ている。また塗布型磁気記録媒体のように磁性層中に非
磁性の有機バインダを混入する必要がないので、必要と
する磁束量を得るための磁性層厚を薄くすることが可能
であり、したがって記録減磁が小さいので、この面から
も短波長領域における電磁変換特性に優れた性質を有す
る。
2. Description of the Related Art In the field of information recording by magnetic recording, the amount of information to be recorded is increased, the size of a magnetic recording device is reduced,
Alternatively, high-density recording has been demanded in view of trends such as a reduction in the relative speed between the magnetic recording medium and the magnetic head. Along with this, instead of a coating type magnetic recording medium in which magnetic particles are dispersed in an organic binder also in a magnetic recording medium, a metal-based magnetic thin film is formed by plating or a vacuum thin film forming technique, that is, vacuum evaporation, sputtering or ion plating. Thin-film magnetic recording media for film formation are becoming mainstream. Above all, it is known that a thin-film magnetic recording medium employing a metal-based magnetic thin film mainly composed of Co is excellent in various magnetostatic properties such as coercive force, squareness ratio and residual magnetic flux density. Further, since it is not necessary to mix a non-magnetic organic binder in the magnetic layer as in the case of the coating type magnetic recording medium, it is possible to reduce the thickness of the magnetic layer for obtaining the required amount of magnetic flux. Since the magnetism is small, it also has excellent electromagnetic conversion characteristics in a short wavelength region from this aspect.

【0003】ヘリカルスキャン方式のビデオテープレコ
ーダ(VTR)やディジタルオーディオテープレコーダ
(DAT)等に用いる薄膜型磁気記録媒体においては、
テープ長手方向の磁気異方性を高め、より短波長での高
出力化を図るため、斜方蒸着による薄膜型磁気記録媒体
が提案され実用に供されている。この斜方蒸着は、移動
走行するポリエステル等の高分子材料からなる非磁性支
持体ウェブ上に、走行方向に対し斜め方向からの電子ビ
ーム蒸着等により磁性層を形成するものである。斜方蒸
着により形成された薄膜型磁気記録媒体は、その微細構
造において磁性粒子が非磁性支持体の表面に対して斜め
に配向している。したがって、磁性粒子を非磁性支持体
の面内長手方向に一軸配向した従来の磁気テープに比
べ、高密度記録が可能である。現在実用化されている斜
方蒸着による薄膜型磁気記録媒体の磁化容易軸は、非磁
性支持体表面に対し、およそ20°傾斜しているものが
一般的である。
In a thin-film magnetic recording medium used for a helical scan video tape recorder (VTR), a digital audio tape recorder (DAT), or the like,
In order to increase the magnetic anisotropy in the longitudinal direction of the tape and achieve higher output at shorter wavelengths, a thin film type magnetic recording medium by oblique deposition has been proposed and put to practical use. In the oblique deposition, a magnetic layer is formed on a non-magnetic support web made of a polymer material such as polyester which moves and travels by an electron beam deposition or the like oblique to the traveling direction. In a thin film type magnetic recording medium formed by oblique evaporation, magnetic particles are obliquely oriented with respect to the surface of the nonmagnetic support in the fine structure. Therefore, high-density recording is possible as compared with a conventional magnetic tape in which magnetic particles are uniaxially oriented in the longitudinal direction of the plane of the nonmagnetic support. The axis of easy magnetization of a thin-film magnetic recording medium formed by oblique vapor deposition that is currently in practical use is generally inclined at about 20 ° with respect to the surface of the nonmagnetic support.

【0004】斜方蒸着による薄膜型磁気記録媒体におい
ては、金属系磁性薄膜材料として、一般にCoやCo−
Ni合金系が採用される。これらの金属系磁性薄膜を非
磁性支持体ウェブ上に形成するには、CoやCo−Ni
合金を蒸発源とし、蒸着装置内に少量かつ一定量の酸素
ガスを導入しながら、移動する非磁性支持体ウェブ上に
斜方蒸着する製造法が通常である。この斜方蒸着工程に
より、金属系磁性薄膜は、α−Co(またはCo−N
i)の磁性粒子と、主としてその粒界に存在するCo−
O(またはCo−Ni−O)とが混在する構造となる。
酸素を金属系磁性薄膜中に導入する理由は、磁性粒子サ
イズを微細化して媒体ノイズを低減するとともに、金属
系磁性薄膜を柱状粒子構造とすることで、斜め方向の形
状異方性を増大させるためである。また斜方蒸着の他
に、CoやCo−Ni合金をターゲットとしたスパッタ
リング法により金属系磁性薄膜を形成する方法がある。
In a thin film type magnetic recording medium formed by oblique evaporation, Co or Co- is generally used as a metal-based magnetic thin film material.
Ni alloy system is adopted. In order to form these metal-based magnetic thin films on a non-magnetic support web, Co or Co-Ni
A manufacturing method in which oblique deposition is performed on a moving non-magnetic support web while an alloy is used as an evaporation source and a small and fixed amount of oxygen gas is introduced into a deposition apparatus is usually used. By this oblique deposition step, the metal-based magnetic thin film becomes α-Co (or Co-N
i) magnetic particles and Co-
O (or Co-Ni-O) is mixed.
The reason for introducing oxygen into the metal-based magnetic thin film is to reduce the medium noise by reducing the size of the magnetic particles and to increase the oblique shape anisotropy by forming the metal-based magnetic thin film into a columnar particle structure. That's why. In addition to the oblique deposition, there is a method of forming a metal-based magnetic thin film by a sputtering method using Co or a Co-Ni alloy as a target.

【0005】この後、必要に応じて非磁性支持体ウェブ
の裏面に導電性のバックコート層を設け、金属系磁性薄
膜上には潤滑剤や防錆剤を塗布し、この後所定幅にスリ
ットしてパンケーキ状ロールとなし、カセット等の容器
に収納して磁気記録媒体を完成する。
[0005] Thereafter, a conductive back coat layer is provided on the back surface of the non-magnetic support web as required, and a lubricant or rust inhibitor is applied on the metal-based magnetic thin film. Then, it is made into a pancake-shaped roll, and stored in a container such as a cassette to complete a magnetic recording medium.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、かかる金属
系磁性薄膜を用いた磁気記録媒体は、大気中で長時間保
管すると、磁気特性に変化を生じる場合がある。この現
象は、塗布型の磁気記録媒体と異なり、金属系磁性薄膜
が有機バインダにより被覆された状態ではないため、金
属系磁性薄膜の酸化がある程度進行するためと考えられ
ている。特に、保磁力の変化は比較例顕著に現れ、金属
系磁性薄膜の蒸着直後から上昇を始め、約200日を経
た時点で20〜30%上昇してようやく飽和値に達し、
その後は殆ど変化しない。この保磁力の変化の様子を図
2のグラフに示す。同図はピュアなCo金属を蒸発源と
して斜方蒸着法により180nmの厚さに金属系磁性薄
膜を形成し、これを8mm幅にスリットした磁気記録媒
体を、大気中に保管した場合の測定結果である。同図か
ら明らかなように、保磁力は金属系磁性薄膜の蒸着後2
00日で約27%上昇して飽和値に達して安定化する。
図2の例は8mm幅にスリットした磁気記録媒体の例で
あるが、より幅広にスリットしたものや、スリットせず
に保管した場合には、磁気特性が飽和するまでにはより
長時間は必要である。
By the way, when a magnetic recording medium using such a metal-based magnetic thin film is stored in the air for a long time, the magnetic characteristics may change. This phenomenon is considered to be because oxidation of the metal-based magnetic thin film proceeds to some extent because the metal-based magnetic thin film is not covered with the organic binder, unlike the coating type magnetic recording medium. In particular, the change in the coercive force is remarkable in the comparative example, and starts to increase immediately after the deposition of the metal-based magnetic thin film, and after about 200 days, increases by 20 to 30% and finally reaches the saturation value.
After that it hardly changes. FIG. 2 is a graph showing how the coercive force changes. The figure shows the results of measurement when a magnetic recording medium with a 180-nm-thick metal-based magnetic thin film formed by oblique deposition using pure Co metal as an evaporation source and slit to a width of 8 mm was stored in the atmosphere. It is. As is clear from the figure, the coercive force was 2% after the deposition of the metal-based magnetic thin film.
It rises about 27% in 00 days, reaches a saturation value and stabilizes.
The example of FIG. 2 is an example of a magnetic recording medium slit to a width of 8 mm. However, when the recording medium is slit to a wider width or stored without slitting, it takes a longer time until the magnetic characteristics are saturated. It is.

【0007】このように保磁力が安定化する迄には長期
間を要することから、この間にユーザに磁気記録媒体が
供給され、使用に供された場合には、記録電流やバイア
ス電流のミスマッチングにより、再生出力が低下する
等、磁気記録媒体本来の特性を発揮できない虞れがあ
る。本発明の課題は、磁気特性の変化のない薄膜型の磁
気記録媒体をユーザに供給し、磁気記録媒体本来の電磁
変換特性を安定に発揮し得る磁気記録媒体の製造方法を
提供することである。
Since it takes a long time for the coercive force to stabilize, when the magnetic recording medium is supplied to the user during this time and used, the mismatch between the recording current and the bias current is reduced. Therefore, there is a possibility that the original characteristics of the magnetic recording medium cannot be exhibited, such as a decrease in the reproduction output. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium capable of supplying a thin-film magnetic recording medium having no change in magnetic characteristics to a user and stably exhibiting the original electromagnetic conversion characteristics of the magnetic recording medium. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、上述した課題を達成するために提案するも
のであり、非磁性支持体ウェブ上に、少なくとも金属系
磁性薄膜を連続的に形成する工程を有する磁気記録媒体
の製造方法において、この金属系磁性薄膜が形成された
非磁性支持体ウェブを、その長手方向に裁断して20m
m未満の幅として巻き取りパンケーキ状ロールとなし、
このパンケーキ状ロールを、大気より酸素リッチな雰囲
気中で所定時間保管することを特徴とする。
The method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention is proposed to achieve the above-mentioned object, and at least a metal-based magnetic thin film is continuously formed on a non-magnetic support web. The non-magnetic support web on which the metal-based magnetic thin film has been formed is cut in the longitudinal direction by 20 m.
m and a width of less than m
The pancake roll is stored for a predetermined time in an oxygen-rich atmosphere than the atmosphere.

【0009】本発明の磁気記録媒体の製造方法におけ
る、大気より酸素リッチな雰囲気の圧力は、略大気圧で
あることが望ましい。この大気より酸素リッチな雰囲気
は、酸素ガスと窒素ガスとの混合ガス雰囲気、あるいは
酸素ガス雰囲気であることが望ましい。また、このパン
ケーキ状ロールを大気より酸素リッチな雰囲気中で保管
する所定時間は、金属系磁性薄膜の保磁力が増加し、略
飽和値に達するまでの時間とする。この時間は保管雰囲
気により数日から数十日の間で変動するものである。
In the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the pressure of the atmosphere rich in oxygen than the atmosphere is desirably substantially atmospheric pressure. The atmosphere richer in oxygen than the atmosphere is preferably a mixed gas atmosphere of oxygen gas and nitrogen gas or an oxygen gas atmosphere. The predetermined time for storing the pancake-shaped roll in an oxygen-rich atmosphere than the atmosphere is a time until the coercive force of the metal-based magnetic thin film increases and reaches a substantially saturated value. This time varies between several days and several tens of days depending on the storage atmosphere.

【0010】さらに本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいては、大気より酸素リッチな雰囲気中で所定時間保
管する工程後、この金属系磁性薄膜上に防錆剤を塗布す
ることが望ましい。
Further, in the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, it is preferable that after the step of storing for a predetermined time in an oxygen-rich atmosphere than the atmosphere, a rust inhibitor is applied to the metal-based magnetic thin film.

【0011】本発明における金属系磁性薄膜の材料は特
に限定されず、通常の薄膜型磁気記録媒体に採用される
磁性材料であればいずれも使用できる。例えば、Fe、
Co、Ni等の単体強磁性金属、およびFe−Co、F
e−Co−Ni、Fe−Co−Cr、Fe−Co−Ni
−Cr、Fe−Cr、Fe−Cu等のFe系合金や、C
o−Ni、Co−Fe−Ni、Co−Pt、Co−C
r、Co−Cu等のCo系合金が好ましく例示される。
これら金属系磁性薄膜の材料層は、酸素や窒素、炭素等
の不純物を含んでいてもよい。金属系磁性薄膜は単層で
あってもよく、積層構造であってもよい。さらに密着性
や保磁力の制御等のため、非磁性支持体と金属系磁性薄
膜との間や、積層構造の場合にはその層間に、下地層や
中間層を設けてもよい。
The material of the metal-based magnetic thin film in the present invention is not particularly limited, and any material can be used as long as it is a magnetic material used for a normal thin-film magnetic recording medium. For example, Fe,
Simple ferromagnetic metals such as Co and Ni, and Fe-Co and F
e-Co-Ni, Fe-Co-Cr, Fe-Co-Ni
-Cr, Fe-Cr, Fe-based alloys such as Fe-Cu, C
o-Ni, Co-Fe-Ni, Co-Pt, Co-C
Co-based alloys such as r and Co-Cu are preferably exemplified.
The material layers of these metal-based magnetic thin films may contain impurities such as oxygen, nitrogen, and carbon. The metal-based magnetic thin film may have a single layer or a laminated structure. Further, an underlayer or an intermediate layer may be provided between the non-magnetic support and the metal-based magnetic thin film or between layers in the case of a laminated structure for controlling the adhesion and coercive force.

【0012】本発明で採用する非磁性支持体としては、
PET(Polyethylene terephthalate)等のポリエステル
樹脂をはじめとして、ポリオレフィン樹脂、ビニル樹
脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂あるいはポリカー
ボネート樹脂等の有機高分子類が例示される。
The non-magnetic support employed in the present invention includes:
Examples include polyester resins such as PET (Polyethylene terephthalate), and organic polymers such as polyolefin resins, vinyl resins, polyimide resins, polyamide resins, and polycarbonate resins.

【0013】本発明の磁気記録媒体の基本構成として、
非磁性支持体および金属系磁性薄膜以外に、必要に応じ
てバックコート層や、潤滑剤層あるいは保護層等を形成
してもよい。これらの層の材料や形成法は、いずれも従
来の薄膜型磁気記録媒体に採用されているものに準じて
よい。
As a basic configuration of the magnetic recording medium of the present invention,
In addition to the nonmagnetic support and the metal-based magnetic thin film, a back coat layer, a lubricant layer, a protective layer, or the like may be formed as necessary. The materials and forming methods of these layers may be the same as those used in conventional thin-film magnetic recording media.

【0014】本発明の磁気記録媒体の製造方法によれ
ば、磁気特性が安定化するまでに従来200日程度要し
ていた日数を、数日から長くて数十日に短縮することが
できる。20mm未満の幅に裁断した磁気記録媒体を酸
素リッチな雰囲気中に保管することにより、金属系磁性
薄膜の酸化はパンケーキ状ロールの裁断面から主として
進行し、磁気特性、特に電磁変換特性に大きく影響をお
よぼす保磁力は早期に飽和に達する。裁断幅は、磁気記
録媒体の目的用途別に決定すればよい。例えばUマチッ
クフォーマットで19.05mm、VHSフォーマット
で12.7mm、8mmビデオフォーマットで8.0m
m、そしてコンパクトカセットフォーマットで3.81
mm等である。このように20mm未満の幅に裁断する
ことにより、非磁性支持体ウェブの全幅のままのロー
ル、すなわちジャンボロールのままとか、数十mmの広
幅にスリットしたパンケーキ状ロールで保管するより
も、短時間で磁気特性を安定化することができる。また
保管後はさらにスリット工程を経ることなしに、直ちに
カセットへ収納することもできる。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the number of days conventionally required for about 200 days until the magnetic characteristics are stabilized can be reduced from several days to several tens of days. By storing the magnetic recording medium cut to a width of less than 20 mm in an oxygen-rich atmosphere, the oxidation of the metal-based magnetic thin film mainly proceeds from the cut surface of the pancake-shaped roll, and greatly increases the magnetic characteristics, particularly the electromagnetic conversion characteristics. The effecting coercive force reaches saturation early. The cutting width may be determined for each intended use of the magnetic recording medium. For example, 19.05 mm in Umatic format, 12.7 mm in VHS format, 8.0 m in 8 mm video format
m and 3.81 in compact cassette format
mm or the like. By cutting to a width of less than 20 mm in this way, rather than storing the roll with the full width of the non-magnetic support web, that is, as a jumbo roll, or storing with a pancake-shaped roll slit to a width of several tens of mm, Magnetic characteristics can be stabilized in a short time. Further, after storage, it can be immediately stored in a cassette without going through a slitting step.

【0015】また大気圧で保管することにより、保管容
器あるいは保管庫は耐圧構造を採る必要はなく、装置の
簡素化に寄与する。大気より酸素リッチな雰囲気は、空
気に酸素ガスを添加して形成すればよいので低コストで
ある。もちろん酸素ガス100%の雰囲気を用いれば、
短時間で磁気特性を安定化することができる。かかる雰
囲気中で所定時間保管する工程後、この金属系磁性薄膜
上に防錆剤を塗布すれば、以後の磁気特性の変動をほぼ
完全に防止することができる。
Further, by storing at atmospheric pressure, the storage container or storage does not need to adopt a pressure-resistant structure, which contributes to simplification of the apparatus. An atmosphere richer in oxygen than the atmosphere can be formed by adding oxygen gas to air, so that the cost is low. Of course, if an atmosphere of 100% oxygen gas is used,
Magnetic characteristics can be stabilized in a short time. After the step of storing for a predetermined time in such an atmosphere, if a rust preventive is applied on this metal-based magnetic thin film, the subsequent change in magnetic properties can be almost completely prevented.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施形態例
につき図面を参照しながら説明する。始めに本発明の磁
気記録媒体の製造方法で採用した連続蒸着装置の一例
を、図3に示す概略断面図を参照して説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, an example of a continuous vapor deposition apparatus employed in the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to a schematic sectional view shown in FIG.

【0017】図3に示した装置は、一般的なリール・ツ
ー・リール方式の連続蒸着装置である。すなわち、不図
示の真空ポンプにより内部を真空引きされる真空チャン
バ9内には、PETフィルム等の非磁性支持体ウェブを
供給するサプライロール1、非磁性支持体ウェブが巻き
つけられ、その走行と同期して回転する冷却キャン2、
金属系磁性薄膜が蒸着された非磁性支持体ウェブを巻き
取るテイクアップロール3等が配設されている。一方、
真空蒸着手段は、電子銃4より発生した電子ビーム5を
マグネット6により偏向およびスキャンし、この電子ビ
ームをハース7内のCo等の強磁性金属に照射し、これ
を溶解・蒸発するものである。斜方蒸着の入射角度を規
制するために、冷却キャン2に近接して遮蔽板8が配設
されている。なおこのハース内に、Co等の強磁性金属
のペレットやワイアを供給する自動供給装置(不図示)
を有し、蒸発に伴う溶融金属の液面を一定レベルに保つ
ことができるようになっている。
The apparatus shown in FIG. 3 is a general reel-to-reel type continuous vapor deposition apparatus. That is, a supply roll 1 for supplying a non-magnetic support web such as a PET film and a non-magnetic support web are wound in a vacuum chamber 9 in which the inside is evacuated by a vacuum pump (not shown). The cooling can 2 that rotates in synchronization
A take-up roll 3 for winding a non-magnetic support web on which a metal-based magnetic thin film is deposited is provided. on the other hand,
The vacuum evaporation means deflects and scans an electron beam 5 generated from an electron gun 4 by a magnet 6, irradiates the electron beam to a ferromagnetic metal such as Co in a hearth 7, and dissolves and evaporates this. . In order to regulate the incident angle of the oblique deposition, a shielding plate 8 is provided near the cooling can 2. An automatic supply device (not shown) for supplying pellets or wires of ferromagnetic metal such as Co into the hearth.
And the liquid level of the molten metal accompanying evaporation can be maintained at a constant level.

【0018】以下、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
つきさらに詳細に説明を加える。 実施例1 図1の連続蒸着装置を使用し、一例として下記蒸着条件
により、非磁性支持体ウェブ上に金属系磁性薄膜を連続
的に形成した。非磁性支持体ウェブは、厚さ10μm、
幅250mmのPETフィルムを使用し、この表面にア
クリルエステルを主成分とする水溶性ラテックス粒子を
107 個/mm2 の粒子密度となるように塗布、乾燥し
たものである。金属系磁性薄膜条件条件 ペレット Co金属100 % 入射角度 40〜90 ° O2 流量 330 sccm 蒸着時真空度 7×10-2 Pa 蒸着時ライン速度 0.17 m/sec 金属系磁性薄膜厚さ 180 nm
Hereinafter, the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention will be described in more detail. Example 1 A metal-based magnetic thin film was continuously formed on a non-magnetic support web under the following conditions, for example, using the continuous vapor deposition apparatus shown in FIG. The non-magnetic support web has a thickness of 10 μm,
A 250-mm-wide PET film is used, and water-soluble latex particles containing acrylic ester as a main component are applied on the surface thereof to a particle density of 10 7 particles / mm 2 and dried. Metal-based magnetic thin film condition condition Pellet Co metal 100% Incident angle 40-90 ° O 2 flow rate 330 sccm Vacuum degree during evaporation 7 × 10 -2 Pa Line speed during evaporation 0.17 m / sec Thickness of metal-based magnetic thin film 180 nm

【0019】連続蒸着を終えた非磁性支持体ウェブは、
必要に応じてその裏面にバックコート層を形成し、金属
系磁性薄膜表面には例えばパーフルオロポリエーテル等
の潤滑剤を塗布した。その後、8mm幅に裁断してパン
ケーキ状ロールとし、そのままO2 :N2 =5:5(体
積比)の混合ガスを少流量でフローした雰囲気の保管庫
に収納し、実施例1の磁気記録媒体試料とした。保管庫
内の気圧は常時大気圧のままとした。
After the continuous deposition, the non-magnetic support web is
If necessary, a back coat layer was formed on the back surface, and a lubricant such as perfluoropolyether was applied to the surface of the metal-based magnetic thin film. Thereafter, the mixture was cut into a width of 8 mm to form a pancake-shaped roll, and the mixed gas of O 2 : N 2 = 5: 5 (volume ratio) was stored as it was in a storage in an atmosphere in which a small flow rate was flown. A recording medium sample was used. The pressure in the storage was always at atmospheric pressure.

【0020】実施例2 保管庫内の雰囲気をO2 :N2 =8:2(体積比)とし
た以外は実施例1に準拠し、実施例2の磁気記録媒体試
料を作製した。
Example 2 A sample of a magnetic recording medium of Example 2 was prepared in accordance with Example 1, except that the atmosphere in the storage was changed to O 2 : N 2 = 8: 2 (volume ratio).

【0021】実施例3 保管庫内の雰囲気をO2 :N2 =10:0、すなわち、
酸素ガス100%とした以外は実施例1に準拠し、実施
例3の磁気記録媒体試料を作製した。
Example 3 The atmosphere in the storage was changed to O 2 : N 2 = 10: 0, that is,
A magnetic recording medium sample of Example 3 was manufactured according to Example 1, except that oxygen gas was set to 100%.

【0022】比較例 保管庫内の雰囲気をO2 :N2 =1:4(体積比)、す
なわち普通の空気とした以外は実施例1に準拠し、比較
例の磁気記録媒体試料を作製した。
Comparative Example A magnetic recording medium sample of a comparative example was prepared according to Example 1, except that the atmosphere in the storage was O 2 : N 2 = 1: 4 (volume ratio), that is, ordinary air was used. .

【0023】以上のようにして作製した実施例1〜3、
および比較例の磁気記録媒体試料につき、金属系磁性薄
膜の蒸着から10日後、40日後、70日後、100日
後、150日後および200日後に保管庫からその一部
を取り出し、保磁力を測定した。保磁力は、試料振動型
磁束計によった。その測定結果を〔表1〕にまとめて示
す。
Examples 1 to 3 produced as described above,
For the magnetic recording medium samples of Comparative Examples, a part thereof was taken out of the storage at 10, 40, 70, 100, 150, and 200 days after the deposition of the metal-based magnetic thin film, and the coercive force was measured. The coercive force was measured by a sample vibration type magnetometer. The measurement results are shown in [Table 1].

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】またこれらの測定結果を図1および図2の
グラフに示す。
The measurement results are shown in the graphs of FIGS.

【0026】〔表1〕および図1〜図2から明らかなよ
うに、酸素濃度が高いほど、保磁力は短時間で飽和値に
達し、酸素100%(実施例3)では10日間の保管で
ほぼ飽和に達していることが判る。またO2 :N2
8:2(実施例2)では約40日、O2 :N2 =5:5
(実施例1)では100日で保磁力が飽和する。これに
対し、O2 :N2 =1:4すなわち普通の空気の場合に
は、飽和値に達するには200日を要することが判る。
As is clear from Table 1 and FIGS. 1 and 2, the higher the oxygen concentration, the shorter the coercive force reaches the saturation value in a short time, and the storage at 100% oxygen (Example 3) is 10 days. It can be seen that the saturation is almost reached. O 2 : N 2 =
In 8: 2 (Example 2), about 40 days, O 2 : N 2 = 5: 5
In the first embodiment, the coercive force is saturated in 100 days. On the other hand, it can be seen that in the case of O 2 : N 2 = 1: 4, that is, in the case of ordinary air, it takes 200 days to reach the saturation value.

【0027】このように短時間で磁気特性が飽和に達し
た磁気記録媒体は、その後の経時変化は極めて少ないも
のであるが、この後金属系磁性薄膜上に防錆剤を塗布す
ることにより、磁気特性の安定性をほぼ完全なものとす
ることができる。
In the magnetic recording medium whose magnetic properties reach saturation in a short time as described above, the change with time after that is extremely small, but thereafter, by applying a rust preventive to the metal-based magnetic thin film, The stability of the magnetic properties can be made almost perfect.

【0028】以上、本発明の磁気記録媒体につき3例の
実施例および比較例により詳細な説明を加えたが、本発
明はこれら実施例以外にも種々の実施態様が可能であ
る。例えば、パンケーキ状ロールの保管は常温で施した
が、磁気記録媒体に形状不良の発生しない範囲で昇温し
て保管してもよい。
As described above, the magnetic recording medium of the present invention has been described in detail with reference to three examples and comparative examples. However, the present invention can be implemented in various embodiments other than these examples. For example, the pancake roll is stored at room temperature, but may be stored at an elevated temperature within a range that does not cause a shape defect in the magnetic recording medium.

【0029】金属系磁性薄膜としてピュアなCo金属を
採用したが、先述したような各種Co合金系やその他の
強磁性金属を用いても同様の好結果を納めることが可能
である。またCo−Cr合金のごとく垂直磁気異方性を
利用する垂直磁気記録媒体に本発明を採用する場合にも
好結果を得ることができる。
Although pure Co metal is used as the metal-based magnetic thin film, similar good results can be obtained by using various Co alloys or other ferromagnetic metals as described above. Good results can also be obtained when the present invention is applied to a perpendicular magnetic recording medium utilizing perpendicular magnetic anisotropy such as a Co-Cr alloy.

【0030】また実施例では蒸着による金属系磁性薄膜
の製造方法を例示したが、スパッタリング法やイオンプ
レーティング法を用いてもよい。
Further, in the embodiment, a method for producing a metal-based magnetic thin film by vapor deposition is exemplified, but a sputtering method or an ion plating method may be used.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の磁気記録媒体の製造方法の採用により、磁気特性や電
磁変換特性の安定した磁気記録媒体を提供することが可
能となる。
As is clear from the above description, by employing the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium with stable magnetic characteristics and electromagnetic conversion characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例の磁気記録媒体の保磁力の経時変化を示
すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing a change over time of a coercive force of a magnetic recording medium of an example.

【図2】比較例の磁気記録媒体の保磁力の経時変化を示
すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a change over time of a coercive force of a magnetic recording medium of a comparative example.

【図3】連続蒸着装置の概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of a continuous vapor deposition apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…サプライロール、2…冷却キャン、3…テイクアッ
プロール、4…電子銃、5…電子ビーム、6…マグネッ
ト、7…ハース、8…遮蔽板、9…真空チャンバ、10
…O2 ノズル、11…O2 配管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Supply roll, 2 ... Cooling can, 3 ... Take-up roll, 4 ... Electron gun, 5 ... Electron beam, 6 ... Magnet, 7 ... Hearth, 8 ... Shielding plate, 9 ... Vacuum chamber, 10
... O 2 nozzle, 11 ... O 2 pipe

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体ウェブ上に、少なくとも金
属系磁性薄膜を連続的に形成する工程を有する磁気記録
媒体の製造方法において、 前記金属系磁性薄膜が形成された非磁性支持体ウェブ
を、その長手方向に裁断して20mm未満の幅として巻
き取りパンケーキ状ロールとなし、 前記パンケーキ状ロールを、大気より酸素リッチな雰囲
気中で所定時間保管することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。
1. A method for producing a magnetic recording medium comprising a step of continuously forming at least a metal-based magnetic thin film on a non-magnetic support web, comprising: A longitudinally cut width of less than 20 mm to form a take-up pancake roll, wherein the pancake roll is stored for a predetermined time in an oxygen-rich atmosphere from the atmosphere. Production method.
【請求項2】 前記大気より酸素リッチな雰囲気の圧力
は、略大気圧であることを特徴とする請求項1記載の磁
気記録媒体の製造方法。
2. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the pressure of the oxygen-rich atmosphere is substantially atmospheric pressure.
【請求項3】 前記大気より酸素リッチな雰囲気は、酸
素ガスと窒素ガスとの混合ガス雰囲気であることを特徴
とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein the atmosphere richer in oxygen than the atmosphere is a mixed gas atmosphere of oxygen gas and nitrogen gas.
【請求項4】 前記大気より酸素リッチな雰囲気は、酸
素ガス雰囲気であることを特徴とする請求項1記載の磁
気記録媒体の製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein the atmosphere richer in oxygen than the atmosphere is an oxygen gas atmosphere.
【請求項5】 前記パンケーキ状ロールを大気より酸素
リッチな雰囲気中で保管する所定時間は、 前記金属系磁性薄膜の保磁力が増加し、略飽和値に達す
るまでの時間とすることを特徴とする請求項1記載の磁
気記録媒体の製造方法。
5. The predetermined time for storing the pancake-shaped roll in an oxygen-rich atmosphere than the atmosphere is a time until the coercive force of the metal-based magnetic thin film increases and reaches a substantially saturated value. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1.
【請求項6】 前記大気より酸素リッチな雰囲気中で所
定時間保管する工程後、 前記金属系磁性薄膜上に防錆剤を塗布することを特徴と
する請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。
6. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein a rust preventive is applied on the metal-based magnetic thin film after the step of storing the metal-based magnetic thin film in an oxygen-rich atmosphere for a predetermined time. .
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