JPH1078383A

JPH1078383A - ガス塵埃捕集システム

Info

Publication number: JPH1078383A
Application number: JP23282296A
Authority: JP
Inventors: Toshio Nakano; 寿夫中野; Masahiro Maki; 正博槙; Shozo Sakai; 正三酒井; Koichi Mayama; 晃一真山; Hideki Tomioka; 秀起富岡
Original assignee: Hitachi Device Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd; Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Consumer Electronics Co Ltd; Japan Display Inc
Priority date: 1996-09-03
Filing date: 1996-09-03
Publication date: 1998-03-24

Abstract

(57)【要約】【課題】分析対象範囲が広く、技術的に容易で、かつ、
安価なガス塵埃捕集システムを実現する。【解決手段】分析対象である汚染物を含む気体を吸引口
５から吸引し、該吸引した気体に蒸気発生器１４で生成
した純水蒸気を適量混合し、凝縮器８内に送り、前記気
体が元来含有する水分と共に、凝縮器８内で冷却して凝
縮し、前記汚染物を比較的高濃度に含む凝縮液を生成
し、該凝縮液を回収溜１１に流下させ、成分分析系１３
に送り、かつ、吸引ポンプ７により前記気体の未凝縮分
を放散させる処理を連続して行うガス塵埃捕集システム
において、該システムの配管１５、１８、２０がＳＵＳ
３１６で形成され、かつ、その内表面が酸化クロム層で
被覆されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、水に溶解あるいは
分散するガスと、水に可溶の微小塵埃を含む大気や排ガ
ス等の気体を吸引し、必要ならば吸引気体に純水蒸気を
混合した後、凝縮器内で適当な温度に冷却して、前記ガ
スと前記塵埃を所望の高濃度で含む分析用の凝縮液（す
なわち、捕集液）を得るのに好適なガス塵埃捕集システ
ムに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、大気中の汚染ガスや微小な浮遊塵
埃を、環境測定の対象として分析することがよく行われ
ている。また、特殊な環境であるクリーンルーム内の半
導体部品の生産ラインや、その他の雰囲気が問題となる
生産ラインにおける室内雰囲気の環境測定管理が重要と
なっている。また、煙突の煙やその他の排ガス中の有害
ガスの分析管理も重要となっている。その中で、イオン
性ガスや有機性ガスあるいは極微小浮遊塵埃の分析は特
に重要で、大きな割合を占めるようになっている。特殊
な生産ラインでは、重金属、例えばＦｅ（鉄）、Ｎｉ
（ニッケル）等の汚染を嫌うことがあり、これらの金属
イオンに関係する雰囲気の分析も懸案となっている。な
お、微小浮遊塵埃は、一般に水に可溶なものが多く、実
際上、ガスと識別が難しい。

【０００３】大気中の混入ガス分析装置は、既に種々提
案され、実用化されている。この種の装置は、例えば、
本願と同一出願人による特開平６−１２９９６１号公報
に開示されている。

【０００４】なお、捕集対象のガス状汚染物を濃度Ｘｎ
ｇ／ｌで含む気体を、速度Ｖｌ／分で吸引し、途中で純
水蒸気をＷｇ／分の割合で混合し、凝縮器で冷却して捕
集液をＳｇ／分の割合（すなわち、捕集液の凝縮生成速
度）で回収し、分析して捕集液中の汚染物濃度Ｃｐｐｂ
が得られるとすると、気体中の濃度Ｘと捕集液中の濃度
Ｃとの間には、下記の関係がある。

【０００５】Ｘ＝Ｃ×Ｓ÷Ｖ÷ｋここで、ｋは捕獲係数で、捕集対象の分子種によって異
なる値を取る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】分析する立場から上記
系による捕集液の分析精度の信頼性を考えた場合、捕集
液生成系自体からの汚染がどの程度になるかが重要とな
る。すなわち、捕集液生成系を構成する凝縮器などの形
成材料から、分析対象とする化学種が捕集液へ溶出し、
捕集液を汚染することがあり、凝縮器などの材料の選択
には細心の注意を払う必要がある。

【０００７】一方、いろいろな地点で分析ができるよう
に、蒸気供給器、凝縮器、および回収溜等から構成され
る捕集システムを可搬式とするには、運搬中の振動等の
衝撃による破壊を招かないように、システムの強度を高
くする必要がある。特に、各装置をつなぐ配管部品は、
運搬中の振動の影響を受けてこわれやすいため、主材料
としては鉄が使われていた。このため、鉄製配管などか
ら溶出されるＦｅ、Ｎｉ、Ｍｎ等の不純物のため、これ
らを分析対象とする場合などは、精度の高い分析ができ
なかった。

【０００８】このため、前記公報では、凝縮器の管の内
面に金あるいは白金をメッキしたり、フッ素樹脂を被覆
（コート）することが記載されている。すなわち、分析
対象外である特定の金属のみの材料や樹脂材料で、凝縮
器の管内を被覆することで、分析対象物質の溶出による
汚染を回避する。しかし、これらの管内面の表面加工
は、技術的に難しく、かつ、高価であるという問題があ
る。

【０００９】本発明の目的は、例えばＦｅ、Ｎｉ等の金
属系の汚染物の捕集にも活用可能で、分析対象範囲が広
く、技術的に容易で、かつ、安価なガス塵埃捕集システ
ムを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、分析対象である汚染物を含む気体の吸気
系と、前記気体を冷却して、前記気体が元来保有する水
分を凝縮し、前記汚染物を比較的高濃度に含む凝縮液を
生成する冷却凝縮系と、前記気体の未凝縮分を排気する
排気系と、前記凝縮液を受ける凝縮液回収溜と、前記汚
染物の成分を分析する前記成分分析系へ前記凝縮液を送
液する送液系とを有し、前記各処理を連続して行うガス
塵埃捕集システムにおいて、該システムの水分と接触す
る部分が、ステンレススチールで形成されていることを
特徴とする。

【００１１】また、分析対象である汚染物を含む気体の
吸気系と、吸気された前記気体に水蒸気を混合する水蒸
気混合系と、前記水蒸気を前記気体と共に冷却して、前
記水蒸気と前記気体が元来保有する水分を凝縮し、前記
汚染物を比較的高濃度に含む凝縮液を生成する冷却凝縮
系と、前記気体の未凝縮分を排気する排気系と、前記凝
縮液を受ける凝縮液回収溜と、前記凝縮液の前記汚染物
の成分を分析する成分分析系と、前記凝縮液を前記成分
分析系へ送液する送液系とを有し、前記各処理を連続し
て行うガス塵埃捕集システムにおいて、該システムの配
管系の少なくとも一部が、ステンレススチールで形成さ
れていることを特徴とする。

【００１２】また、前記ステンレススチールがＭｏを含
むオーステナイト系ステンレススチールであることを特
徴とする。

【００１３】また、前記ステンレススチールがＳＵＳ３
１６であることを特徴とする。

【００１４】また、ステンレススチールで形成した前記
水分と接触する部分または前記配管の内表面が、電解研
磨により鏡面に形成されていることを特徴とする。

【００１５】また、ステンレススチールで形成した前記
水分と接触する部分または前記配管の内表面が、酸化ク
ロム層で被覆されていることを特徴とする。

【００１６】また、前記水蒸気を発生させる蒸気発生器
において、純水を接触させて加熱し、前記水蒸気を発生
させる加熱面が、酸化クロムで被覆されたステンレスス
チールで形成されていることを特徴とする。

【００１７】さらに、前記水蒸気を発生させる蒸気発生
器と、前記凝縮液を生成する凝縮器と、前記気体を吸引
する吸引口とをつなぎ、かつ、吸引した前記気体と前記
水蒸気とを混合する配管の内表面が、酸化クロムで被覆
されたステンレススチールで形成されていることを特徴
とする。

【００１８】本発明では、水分と接触する部分を、水に
対して溶解性、腐食性が小さく、溶出による汚染性の少
ないステンレススチール、特にＳＵＳ３１６で形成した
ので、当該システムからの汚染物量を大幅に低減するこ
とができ、気体の成分分析精度を大幅に高めることでき
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する
図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。

【００２０】《システムの全体構成》図１は、本発明の
一実施の形態のガス塵埃捕集システムの全体概略構成図
である。

【００２１】１は吸排気系、２は純水蒸気供給系、３は
気水分離器、４は捕集液送液系、１９は制御系、６ａは
温湿度センサ、５は吸引口、６は流量計、１５は連結
管、１７は純水タンク、１８は給水管、１６は純水供給
ポンプ、１４は蒸気発生器、８は凝縮器、９は凝縮管、
１０は冷却循環液、７は吸引ポンプ、１１は回収溜、１
２は送液ポンプ、２０は送液管、１３は成分分析系ある
いは分取器である。

【００２２】すなわち、この装置では、吸排気系１と純
水蒸気供給系２と気水分離器３と捕集液送液系４とが連
結管１５および送液管２０によって連結されており、さ
らに、これらの系を制御する制御系１９が設置されてい
る。

【００２３】気水分離器３は、凝縮器８とその直下に取
り付けられた回収溜１１から構成され、凝縮器８では凝
縮管９が冷却循環液１０によって冷却されている。吸引
口５から吸引された気体中のガスおよび塵埃成分は、途
中、純水蒸気供給系２から供給される純水蒸気と混合さ
れ、次いで、冷却凝縮される過程で、凝縮液中に濃縮さ
れる形で取り込まれ、回収溜１１に流下して貯溜され
る。

【００２４】回収溜１１に流下した未凝縮気体成分は、
排気管（連結管）１５を経て吸引ポンプ７によって大気
中へ排出される。回収溜１１の底部には１本の送液管２
０が設けられており、回収された凝縮液、すなわち、捕
集液は、送液ポンプ１２により成分分析系１３へ送液さ
れ、分析が行われる。なお、分析はインライン的に行う
場合とオフライン的に行う場合とがあり、インライン的
に行う場合には、成分分析系１３に例えばイオンクロマ
トグラフ等の分析器が直結されている。また、オフライ
ン的に行う場合には、凝縮液を試験管等に次々分け取る
分取器が取り付けられている。また、吸排気系１には流
量計６が取り付けられており、気体は本システムに吸い
込まれた後、気水分離器３を経て吸引ポンプ７により一
定の速度で吸引、排出されている。純水蒸気供給系２
は、純水タンク１７、純水供給ポンプ１６、蒸気発生器
１４、およびこれらをつなぐ給水管１８から構成されて
いる。純水供給ポンプ１６によって所定量（適量）の純
水を蒸気発生器１４へ送り、所定量の水蒸気を発生さ
せ、連結管１５によりこの水蒸気を吸引気体と共に凝縮
器８へ送り込む。すなわち、大気中の水分の増減によっ
て、加減して純水の供給を行う。

【００２５】《蒸気発生器》図２は、図１に示した純水
蒸気供給系２の中の蒸気発生器１４の一部断面詳細図で
ある。

【００２６】１４ａは蒸気発生管（給水管１８と一体に
なっている）、１４ｂは純水給水細管、１４ｃは貫通タ
イプ異径継ぎ手、１４ｄはヒートブロック、１４ｅは温
度センサ、１４ｆは保温材、１４ｇは保温材カバーであ
る。

【００２７】蒸気発生器１４は、概ね、これらの部品か
ら構成されている。貫通タイプ異径継ぎ手１４ｃによっ
て、純水給水細管１４ｂが蒸気発生管１４ａに差し込ま
れ、ヒートブロック１４ｄによって加熱された蒸気発生
管１４ａ部に、純水が直接供給される構造になってい
る。

【００２８】貫通タイプ異径継ぎ手１４ｃは、貫通穴を
有し、その穴を貫通した純水給水細管１４ｂが、蒸気発
生管１４ａ中に密閉固定されている。

【００２９】ヒートブロック１４ｄにはカートリッジヒ
ータ（図示省略）が取り付けられ、該カートリッジヒー
タに電力が供給され、適温となるように加熱されてい
る。

【００３０】図１に示す純水供給ポンプ１６によって、
純水が純水給水細管１４ｂに送られ、その先端部から蒸
気発生管１４ａ内へ流れ込むと、蒸気発生管１４ａはヒ
ートブロック１４ｄにより加熱されているので、送り込
まれた純水は、気化して純水蒸気となる。貫通タイプ異
径継ぎ手１４ｃ部においては密閉されているので、発生
した純水蒸気は、内圧が上昇し、継ぎ手１４ｃに対して
逆向きに、すなわち、矢印Ａ方向に順次押し出され、大
気と純水蒸気との混合部の配管１５および気水分離器３
の方へと送られる。

【００３１】《凝縮器》図３は、図１に示した気水分離
器３の中の凝縮器８の一部断面詳細図である。

【００３２】９は凝縮管（連結管１５と一体になってい
る）、１０は冷却循環液、８ａは冷却槽、８ｂは保温
材、８ｃは冷却循環液送入管、８ｄは冷却循環液戻り管
である。

【００３３】凝縮器８は、概ね、これらの各部品から構
成されている。冷却循環液１０は、冷却循環液送入管８
ｃから凝縮器８へ送り込まれ、凝縮管９を浸し、冷却し
た後、冷却循環液戻り管８ｄから図示しない冷却循環液
生成器へと帰還する循環システムになっている。なお、
冷却温度は、該冷却循環液生成器のところで制御されて
いる。

【００３４】連結管１５を介して凝縮器８へ吸引された
大気と純水蒸気の混合ガスは（図１参照）、凝縮管９内
で冷却、凝縮され、凝縮液、すなわち、捕集液が生成さ
れる。生成された捕集液は、自然流下して凝縮器８から
連結管１５を通って回収溜１１へと送られる。なお、図
１に示すように、この回収溜１１の上部に、排気系であ
る吸引ポンプ７が設置されているため、気流は凝縮器８
から回収溜１１へと流れるので、吸引された大気の気流
の流れ方向と捕集液の流下方向とが一致しており、捕集
液は回収溜１１へと押し流され、捕集液が凝縮器８の中
で滞留しないようになっている。すなわち、捕集液の滞
留時間が短いので、凝縮管９の壁面からの溶出による汚
染が受けにくいようになっている。

【００３５】《回収溜》図４は、図１に示した気水分離
器３の中の回収溜１１の一部断面詳細図である。

【００３６】１５は連結管、８は凝縮器、９は凝縮管、
１０は冷却循環液、１１ａは高純度溶融石英製容器、１
１ｂはフランジ、１１ｃはＯリング、１１ｄは連結管１
５の先端の剣先部、１１ｅは枝管、１１ｆは液量監視セ
ンサ、１１ｇは捕集液貯溜部、１１ｈはフランジ１１ｂ
の固定用ボルトである。

【００３７】凝縮器８と回収溜１１との間に、継ぎ目が
あると、捕集液が継ぎ目の間に侵入して滞留しやすい。
これを避けるため、凝縮管９の先端を伸ばしてその下端
が、そのまま回収溜１１の中に差し込まれた構成となっ
ている。なお、凝縮管９の延長部は、フランジ１１ｂ部
のＯリング１１ｃでシールされた状態で回収溜１１へ差
し込まれている。差し込まれた凝縮管９の先端部は、鋭
い剣先部１１ｄに加工されている。

【００３８】回収溜１１は、不純物が溶出しない高純度
溶融石英製容器１１ａとステンレススチール製のフラン
ジ１１ｂとから構成されている。フランジ１１ｂの固定
用ボルト１１ｈは樹脂製で、振動等の衝撃により石英製
容器１１ａが割れにくくなっている。なお、フランジ１
１ｂもテフロン製等とすることにより、石英製容器１１
ａの破壊抑制効果を高めることができる。容器１１ａが
透明な石英製なのは、光センサで構成される液量監視セ
ンサ１１ｆにより、液面を観察するためである。したが
って、センサの種類によっては、容器１１ａは必ずしも
石英製でなくてもよいことは言うまでもない。

【００３９】また、回収溜１１の下部は、細く絞られ、
さらに、枝管１１ｅが一体に設けられ、この枝管１１ｅ
に液量監視センサ１１ｆが取り付けられている。また、
回収溜１１の最下部には、成分分析系あるいは分取器１
３へ送液するための細管、すなわち、送液管２０が取り
付けられている。

【００４０】捕集液は、凝縮管９の剣先部１１ｄの最先
端から静かに落下し、回収溜１１の捕集液貯溜部１１ｇ
に溜る。捕集液が、空の状態から溜り、液量監視センサ
１１ｆの取付位置に達すると、該センサ１１ｆが信号を
発生するので、該信号を取り込んだ制御系１９の指令で
送液ポンプ１２が作動して、成分分析系あるいは分取器
１３へ送られ、分析されるシステムになっている。

【００４１】以上の構成の中で、純水、純水蒸気、ある
いは捕集液が接触し、捕集液の汚染を引き起こしやすい
図１に示す連結管１５、送液管２０、および給水管１８
を構成する部分、すなわち、図２の貫通タイプ異径継ぎ
手１４ｃ、純水給水細管１４ｂ、蒸気発生管１４ａ、図
３の凝縮管９、図１の大気と純水蒸気とを混合する部分
の連結管１５等の配管を、素材自体が水に対して溶解
性、腐食性が小さく、溶出による汚染性の少ないＭｏを
含むオーステナイト系ステンレススチール、特に、ＳＵ
Ｓ３１６を用いて形成した。

【００４２】また、捕集液などが該配管の内表面に滞留
すると、不純物の溶出が大きくなるため、電解研摩を施
して該表面を鏡面に仕上げ、該表面積を小さくした。

【００４３】このような構成により、ＳＵＳ３１６自体
の腐食性が小さい特性、つまり、不動態特性により、捕
集液中の配管からのＦｅ、Ｎｉ、Ｍｎ等の汚染物量をそ
れぞれ０．４ｐｐｂ程度、大気換算濃度で０．００１ｎ
ｇ／ｌ程度へ低減することができた。また、配管をＳＵ
Ｓ３１６で形成しているので、振動などに対して強度の
高い構成となっている。したがって、いろいろな地点で
分析ができる可搬式システムを構成するのに有効であ
る。

【００４４】さらに、微量のＦｅ、Ｎｉ、Ｍｎ等の溶出
による汚染を抑制するために、ＳＵＳ３１６からなる配
管の内表面を前記鏡面に仕上げた表面に、酸化クロム層
（Ｃｒ₂Ｏ₃膜）を形成し、該表面を被覆した。これによ
り、上記汚染物量を従来と比較してさらに１／１００程
度とすることができた。なお、通常、酸化クロム層は配
管の内表面と外表面の両方に形成される。

【００４５】これにより、該内表面に捕集液、純水ある
いは純水蒸気が接触しても、分析すべき気体のものでな
い汚れや捕集液の付着、および配管の素材であるＳＵＳ
３１６からのＦｅやＮｉ等の溶出が遮られるので、分析
すべき捕集液の汚染が避けられ、成分分析の精度を向上
することができる。なお、従来のフッ素樹脂膜あるいは
金や白金等のメッキによる被覆は技術的に難しい上に、
高価であるのに対して、酸化クロム層は、配管の素材自
体を酸化処理して表面を被覆できるため、非常に容易か
つ安価に形成でき、かつ、その膜質は緻密で、堅いた
め、傷付きにくく、信頼性が高い。また、酸化クロム層
は水に対して溶解性が小さく、Ｃｒを分析対象とする場
合でもＣｒによる汚染の度合いは非常に小さい。つま
り、全体としては、Ｃｒ酸化物のみで捕集系を構成した
こととなり、Ｃｒ以外に汚染されない分析対象範囲の広
い捕集分析系を実現することができる。

【００４６】なお、図２の純水給水細管１４ｂは純水蒸
気に晒されており、低温の純水が通ることや、ヒートブ
ロック１４ｄの加熱部から離れた部分は冷えているの
で、蒸気が凝縮してその内外の表面を濡らすので、汚染
が生じやすく、また、純水給水細管１４ｂの外表面は蒸
気発生管１４ａの内面に接触しているため、純水給水細
管１４ｂは、その内外の表面とも酸化クロム層で被覆し
た。なお、蒸気供給器１４、凝縮器８、回収溜１１等も
同様の構成としてもよい。

【００４７】すなわち、配管をＳＵＳ３１６を用いて所
定の形状に加工して形成し、該配管内面を電解研摩など
をかけて鏡面に仕上げた後、酸化雰囲気下で加熱酸化し
て酸化クロム層を形成し、次いで、酸処理して該酸化ク
ロム層の表面に存在するＦｅやＮｉ成分を除去し、ＳＵ
Ｓ３１６自体に含まれているＣｒから生成した緻密な酸
化物層、つまり、酸化クロム層を残存させた。

【００４８】以上本発明を実施例に基づいて具体的に説
明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス塵埃
捕集システムによれば、微量のガス状あるいは塵埃状の
汚染成分を含む環境気体を、その汚染成分を高い濃度で
含む液状分析用試料に自動的に変換、生成することがで
きる。また、本システムを構成する配管等をステンレス
スチール、特に、ＳＵＳ３１６で形成し、さらに配管の
内表面等を安価で、形成容易で、信頼性の高い酸化クロ
ム層で被覆することにより、配管等の捕集系自体からの
汚染の極めて少ないシステムを構成することができる。
したがって、成分分析精度が高く、安価で、可搬式にも
適したガス塵埃捕集システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のガス塵埃捕集システム
の全体概略構成図である。

【図２】図１に示した純水蒸気供給系２の中の蒸気発生
器１４の一部断面詳細図である。

【図３】図１に示した気水分離器３の中の凝縮器８の一
部断面詳細図である。

【図４】図１に示した気水分離器３の中の回収溜１１の
一部断面詳細図である。

【符号の説明】

１…吸排気系、２…純水蒸気供給系、３…気水分離器、
４…捕集液送液系、５…吸引口、６…流量計、６ａ…温
湿度センサ、７…吸引ポンプ、８…凝縮器、８ａ…冷却
槽、８ｂ…保温材、８ｃ…冷却循環液送入管、８ｄ…冷
却循環液戻り管、９…凝縮管、１０…冷却循環液、１１
…回収溜、１１ａ…高純度溶融石英製容器、１１ｂ…フ
ランジ、１１ｃ…Ｏリング、１１ｄ…剣先部、１１ｅ…
枝管、１１ｆ…液量監視センサ、１１ｇ…捕集液貯溜
部、１１ｈ…固定用ボルト、１２…送液ポンプ、１３…
成分分析系あるいは分取器、１４…蒸気発生器、１４ａ
…蒸気発生管、１４ｂ…純水給水細管、１４ｃ…貫通タ
イプ異径継ぎ手、１４ｄ…ヒートブロック、１４ｅ…温
度センサ、１４ｆ…保温材、１４ｇ…保温材カバー、１
５…連結管、１６…純水供給ポンプ、１７…純水タン
ク、１８…給水管、１９…制御系、２０…送液管。

フロントページの続き (72)発明者酒井正三千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者真山晃一千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者富岡秀起東京都青梅市今井2326番地株式会社日立製作所デバイス開発センタ内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】分析対象である汚染物を含む気体の吸気系
と、前記気体を冷却して、前記気体が元来保有する水分を凝
縮し、前記汚染物を比較的高濃度に含む凝縮液を生成す
る冷却凝縮系と、前記気体の未凝縮分を排気する排気系と、前記凝縮液を受ける凝縮液回収溜と、前記汚染物の成分を分析する前記成分分析系へ前記凝縮
液を送液する送液系とを有し、前記各処理を連続して行うガス塵埃捕集システムにおい
て、該システムの水分と接触する部分が、ステンレススチー
ルで形成されていることを特徴とするガス塵埃捕集シス
テム。
【請求項２】分析対象である汚染物を含む気体の吸気系
と、吸気された前記気体に水蒸気を混合する水蒸気混合系
と、前記水蒸気を前記気体と共に冷却して、前記水蒸気と前
記気体が元来保有する水分を凝縮し、前記汚染物を比較
的高濃度に含む凝縮液を生成する冷却凝縮系と、前記気体の未凝縮分を排気する排気系と、前記凝縮液を受ける凝縮液回収溜と、前記凝縮液の前記汚染物の成分を分析する成分分析系
と、前記凝縮液を前記成分分析系へ送液する送液系とを有
し、前記各処理を連続して行うガス塵埃捕集システムにおい
て、該システムの配管系の少なくとも一部が、ステンレスス
チールで形成されていることを特徴とするガス塵埃捕集
システム。
【請求項３】前記ステンレススチールがＭｏを含むオー
ステナイト系ステンレススチールであることを特徴とす
る請求項１または２記載のガス塵埃捕集システム。
【請求項４】前記ステンレススチールがＳＵＳ３１６で
あることを特徴とする請求項１または２記載のガス塵埃
捕集システム。
【請求項５】ステンレススチールで形成した前記水分と
接触する部分または前記配管の内表面が、電解研磨によ
り鏡面に形成されていることを特徴とする請求項１また
は２記載のガス塵埃捕集システム。
【請求項６】ステンレススチールで形成した前記水分と
接触する部分または前記配管の内表面が、酸化クロム層
で被覆されていることを特徴とする請求項１または２記
載のガス塵埃捕集システム。
【請求項７】前記水蒸気を発生させる蒸気発生器におい
て、純水を接触させて加熱し、前記水蒸気を発生させる
加熱面が、酸化クロムで被覆されたステンレススチール
で形成されていることを特徴とする請求項２記載のガス
塵埃捕集システム。
【請求項８】前記水蒸気を発生させる蒸気発生器と、前
記凝縮液を生成する凝縮器と、前記気体を吸引する吸引
口とをつなぎ、かつ、吸引した前記気体と前記水蒸気と
を混合する配管の内表面が、酸化クロムで被覆されたス
テンレススチールで形成されていることを特徴とする請
求項２記載のガス塵埃捕集システム。