JPH08285738A - ガス塵埃捕集分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】所望の濃縮率からなる捕集液を精度よく得る。 【構成】ガス塵埃を吸気する吸気装置１０と、純水から
蒸気を形成しこの蒸気を供給する蒸気供給装置２０と、
ガス塵埃と蒸気との混合液を凝縮する凝縮器とこの凝縮
器からの凝縮液中の気体成分を回収する回収溜とからな
る気水分離装置３０と、この気水分離装置からの捕集液
を分析する分析装置４０とを備えるガス塵埃捕集分析装
置において、得ようとする濃縮率に対応するデータを入
力させる入力手段５０と、この入力手段による入力に基
づいて蒸気供給装置によって形成される蒸気量を制御す
る制御装置１０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はガス塵埃捕集分析装置に
係り、たとえば大気中に混入されている微量塵埃成分
（この明細書では分析成分となる物質全般をいう）を分
析するためのガス塵埃捕集分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】このようなガス塵埃捕集分析装置は、一
般には、まず、吸気装置から吸気された大気を蒸気発生
器によって得られる蒸気と混合させて混合物を生成す
る。その後、この混合液はそれを凝縮器に通過させるこ
とによって凝縮（濃縮）がなされ、不要な気体を排気す
るとともに回収がなされる。

【０００３】そして、この回収がなされた捕集液から、
たとえば目的とする分析成分の該捕集液に対する割合か
ら大気にたいするそれを換算するような分析がなされ
る。

【０００４】したがって、捕集液としては、その濃縮率
が高いほど高感度の分析ができるようになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成されたガス塵埃捕集分析装置は、それによって
得られる捕集液の濃縮率は２０１／ｇ程度が限界となっ
ており、これ以上の濃縮率で捕集を行うとすると正確な
濃縮率が得られないといったことが指摘されるに至っ
た。

【０００６】すなわち、濃縮率の大きな捕集液を得よう
とする場合、たとえば吸気される大気と混合させる蒸気
の量を少なくするような試みがなされるが、それにより
捕集が不安定になるため所望の濃縮率が得られないとい
う現象が生じるからである。

【０００７】したがつて、ガス塵埃捕集体系において最
も効率よく捕集液を得るような制御がなされることが要
望されるととともに、この制御にともなって各構成部材
においても正確な濃度を得るための工夫が考察されるに
至った。

【０００８】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、所望の高濃縮率からなる
捕集液を精度よく得ることのできるガス塵埃捕集分析装
置を提供することにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面によって明ら
かになるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、ガス塵埃を吸気する吸気装置
と、純水から蒸気を生成しこの蒸気を供給する蒸気供給
装置と、前記ガス塵埃と蒸気との混合物を凝縮する凝縮
器と、この凝縮器からの凝縮液中の気体成分を回収する
回収溜とからなる気水分離装置と、この気水分離装置か
らの捕集液を分析する分析装置とを備えるガス塵埃捕集
分析装置において、得ようとする濃縮率に対応するデー
タを入力させる入力手段と、この入力手段による入力に
基づいて前記蒸気供給装置によって形成される蒸気量を
制御する制御装置とを備え、この制御装置は、前記吸気
装置から吸気されたガス塵埃中の水分量を算出する水分
量検出手段と、前記凝縮器の温度に対応するデータを入
力させる温度検出手段と、前記凝縮器の温度をパラメー
タとして総水分供給量に対する濃縮率を示す情報が予め
記憶されたメモリと、このメモリ内の情報の参照によっ
て前記温度検出手段によって検出された温度に対する所
望の濃縮率に相当する総水分供給量から前記蒸気量の算
出を行う手段とから構成されていることを特徴とするも
のである。

【００１２】

【作用】このような構成からなるガス塵埃捕集分析装置
によれば、得ようとする捕集液の濃度に関して効率的に
得られる条件を調査した結果を予めメモリに格納させて
おき、該条件に相当するデータ（すなわち、吸気装置か
ら吸気されたガス塵埃中の水分量および凝縮器の温度）
に対して、与えられた所望の濃縮率から最適な蒸気量を
算出しかつ該量に相当する蒸気の発生を促すように制御
されている。

【００１３】このため、所望の高濃縮率からなる捕集液
を精度よく得ることができるようになる。

【００１４】

【実施例】実施例１． 図１は、本発明によるガス塵埃捕集分析装置
の一実施例を示すブロック構成図である。この実施例で
は、たとえば気体中の微量混入ガス塵埃成分を分析する
装置を示している。

【００１５】同図に示すガス塵埃捕集分析装置は、大き
く区分して吸排気装置１０、蒸気供給装置２０、気水分
離装置３０、捕集液分析装置４０、濃度率設定入力装置
５０、および制御装置６０とから構成されている。

【００１６】以下、それぞれの装置について順次説明す
る。

【００１７】〔吸排気装置１０〕塵埃を含む気体を吸引
する吸引口が備えられた吸引管１１があり、この吸引管
１１内の気体は流量計１３を介して一定の速度で気水分
離装置３０に導かれるようになっている。

【００１８】そして、流量計１３によって計測された気
体の速度に対応するデータは後述する制御装置５０に入
力されるようになっている。

【００１９】また、吸引管１１の吸引口の近傍には温度
計１５および湿度計１７が配置され、該吸引口に吸引さ
れる気体の温度および湿度が計測されるようになってい
る。この温度計１５および湿度計１７によって得られた
それぞれ温度および湿度に対応するデータも後述する制
御装置５０に入力されるようになっている。

【００２０】なお、この吸排気装置１０には排気ポンプ
１９が配置され、この排気ポンプによって後述する気水
分離装置３０から回収された気体をたとえば一定の速度
で排気するようになっている。

【００２１】〔蒸気供給装置２０〕純水タンク２１があ
り、この純水タンク２１からの純水は純水供給ポンプ２
３によって汲み上げられ、さらに蒸気発生器２５に供給
されるようになっている。

【００２２】ここで、純水供給ポンプ２３はたとえば電
圧制御によってその回転数を可変でき、蒸気発生器２５
に供給できる純水の単位時間当たりの量を可変できるよ
うになっている。

【００２３】このため、純水供給ポンプ２３の回転数可
変のための駆動装置２７が備えられており、この駆動装
置２７は後述の制御装置６０からの制御信号によって制
御されるようになっている。

【００２４】そして、蒸気発生器２５からの蒸気は気水
分離装置３０に供給されるようになっており、この際
に、吸排気装置１０においてその吸引管１１に導かれて
きた気体と混合されるようになっている。なお、蒸気発
生器２５からの蒸気はこの該蒸気発生器２５に供給され
る純水の量に応じて形成されるものとする。

【００２５】〔気水分離装置３０〕吸排気装置１０から
の気体および蒸気供給装置２０からの蒸気との混合ガス
は凝縮器３１に供給されるようになっており、該混合ガ
スはこの凝縮器３１によって凝縮されるようになってい
る。

【００２６】そして、この凝縮器３１における凝縮度合
いは温度によって左右され、たとえば一定の温度に保持
する等の手段がなされている。この実施例では、特に、
該凝縮器３１の温度を検出する温度計３３が備えられ、
この温度計３３の計測値に対応するデータが後述する制
御装置に入力されるようになっている。

【００２７】また、凝縮器３１からの凝縮操作を施され
た混合ガス凝縮液とともに回収溜３５に供給されるよう
になっている。そして、この回収溜３５によって選別さ
れた不要な気体は前記吸排気装置の排気ポンプ１９を介
して排気されるようになっいる。

【００２８】〔捕集液分析装置４０〕回収溜３５から供
給される液体は分析対象となる成分を含んだいわゆる捕
集液となり、この捕集液は送液ポンプ４１によって分取
器４３に供給され、その後、図示しない分析装置によっ
て分析されるようになっている。

【００２９】〔濃縮率設定入力装置５０〕捕集液分析装
置４０に供給される前記捕集液を所望の濃縮率に設定す
るための入力装置であり、たとえばキーボード等から構
成されている。オペレータは該キーボードにこれから得
ようとする濃縮率に相当する数値を入力すればよいよう
になっている。

【００３０】そして、この濃縮率設定入力装置５０によ
る濃縮率に対応するデータは制御装置６０に入力される
ようになっている。

【００３１】〔制御装置６０〕吸排気装置１０内の流量
計１３からの計測値と温度計１５および湿度計１７から
のそれぞれの計測値とから、吸引管１１に吸引された気
体に含まれる単位時間当たりの水分量を水分計測装置６
１によって算出するようになっている。

【００３２】そして、この水分量に相当するデータはＣ
ＰＵ６２に入力されるようになっている。また、このＣ
ＰＵ６２には、前記濃縮率設定入力装置５０から設定さ
れ濃縮率に対応するデータと、凝縮器３１に備えられた
温度計３３からその温度に対応するデータとが入力され
るようになっている。

【００３３】そして、ＣＰＵ６２は、メモリ６３に予め
格納されている情報を参照して上述した各データに基づ
く信号を作成するようになっている。

【００３４】図２は、該メモリ６３に格納されている情
報を示すもので、この情報に相当するデータがたとえば
テーブルとして格納されている。同図は、横軸に単位時
間当たりの総給水量を、縦軸に濃縮率を示したグラフで
あり、得ようとする濃縮率が設定された場合に凝縮器の
温度をパラメータとして最適な総給水量が定められるよ
うになっている。

【００３５】ここで、総給水量とは、蒸気供給装置２０
からの供給される単位時間当たりの水分量と吸排気装置
１０からの吸気される気体に（水蒸気として）含まれる
単位時間当たりの水分量の加算値である。

【００３６】このため、ＣＰＵ６２によって得られた最
適な総給水量に対応するデータは減算器６４に入力され
るようになっており、この減算器６４によって、該総給
水量に対応するデータから前記水分計測装置６１からの
出力データを減算するようにして、最適な蒸気供給量に
対応するデータを作成するようになっている。

【００３７】そして、このように作成されたデータは制
御装置６０から出力され、この出力によって蒸気供給装
置２０内の駆動装置２７を介して純水供給ポンプを所定
数の回転数になるように制御するようになっている。

【００３８】これにより、蒸気供給装置２０では、設定
された濃縮率に応じた最適な蒸気量を発生させることが
できるようになる。

【００３９】このような実施例からなるガス塵埃捕集分
析装置によれば、得ようとする捕集液の濃度に関して効
率的に得られる条件を調査した結果を予めメモリ６３に
格納させておき、該条件に相当するデータ（すなわち、
吸気装置から吸気されたガス塵埃中の水分量および凝縮
器の温度）に対して、与えられた所望の濃縮率から最適
な蒸気量を算出しかつ該量に相当する蒸気の発生を促す
ように制御されたものとなっている。

【００４０】このため、所望の高濃縮率からなる捕集液
を精度よく得ることができるようになる。

【００４１】実施例２．図３は、本発明によるガス塵埃
捕集分析装置の他の実施例を示すブロック構成図であ
る。

【００４２】同図において、図１と同符号のものは同一
構成となっている部材を示している。図１と比較して、
制御装置６０、およびこの制御装置６０の入出力のため
の構成が異なっている。

【００４３】制御装置６０に、濃縮率設定入力装置５０
からの出力、温度計１５および湿度計１７からの各出
力、流量計１３からの出力がそれぞれ入力されるのは図
１に示した場合と同様であるが、この他に、蒸気供給装
置２０の蒸気供給ポンプ２３からの純水の流量を計測す
る流量計２９から該流量に対応するデータが入力される
ようになっている。

【００４４】そして、凝縮器３１にはその凝縮器３１を
所定の温度に保持するヒータ３７が内蔵されており、こ
のヒータ３７の温度は温度制御駆動装置３９を介する前
記制御装置６０からの出力によって制御されるようにな
っている。

【００４５】制御装置６０は、まず、吸排気装置１０内
の流量計１３からの計測値と温度計１５および湿度計１
７からのそれぞれの計測値とから、吸引管１１から吸引
された気体に含まれる単位時間当たりの水分量を水分計
測装置６１によって算出するようになっている。

【００４６】この水分計測装置６１からの出力は加算器
６５に入力されるようになっている。一方、この加算器
６５には蒸気供給装置２０内の流量計２９からの出力が
入力されており、この出力と前記水分計測装置６５から
の出力との加算がなされ供給水量に相当するデータが出
力されるようになっている。

【００４７】そして、この供給水量に相当するデータは
ＣＰＵ６２に入力されるようになっている。また、この
ＣＰＵ６２には、前記濃縮率設定入力装置５０から設定
され濃縮率に対応するデータが入力されるようになって
いる。

【００４８】そして、ＣＰＵ６２は、メモリ６３に予め
格納されている情報を参照して上述した各データに基づ
く信号を作成するようになっている。

【００４９】このメモリには図２に示した情報が予め格
納されており、設定された濃縮率と算出された供給水量
との関係から凝縮器の最適な温度が判るようになってい
る。

【００５０】この温度に対応するデータは、制御装置６
０から出力されるようになっており、温度制御駆動装置
３９を介して凝縮器３１内のヒータ３７を該温度に設定
するようになっている。

【００５１】これにより、設定された濃縮率に応じて凝
縮器３１の温度を最適な値に設定させることができるよ
うになる。

【００５２】このようにした場合でも、実施例１と同様
な効果が得られるようになる。

【００５３】実施例３．図４は、本発明によるガス塵埃
捕集分析装置の他の実施例を示すブロック構成図であ
る。

【００５４】この実施例は、図１および図３に示す各構
成部分を組み合わせて各共通部分に共通機能をもたせた
構成となっている。

【００５５】その動作は、制御装置６０内のスイッチ６
６の動作で、たとえば図３に示した凝縮器の温度制御動
作から図１に示した蒸気流量制御動作への切り替えがで
きるようになっている。

【００５６】このように構成した場合に次のような効果
を奏するようにできる。すなわち、メモリ６３内に格納
されている図２に示した情報は、いくつかの温度を限ら
れた範囲内でパラメータとして設定しているものである
ことから、凝縮器３７における温度制御動作の際にこの
設定された温度範囲以外の温度になってしまうことがあ
り、凝縮器を所定温度に設定できなくなる場合が生じ
る。

【００５７】このような場合において、蒸気流量制御動
作に変更することによって所望の濃縮率を得ることがで
きるようになる。

【００５８】なお、図４においてスイッチ６６は温度制
御動作の側に切り変わっており図３に示す構成と同様の
動作をするようになっている。また、スイッチ６６の切
り変え状態の情報はＣＰＵ６２に入力されるようになっ
ているとともにＣＰＵ６２はその出力信号の選択（温度
制御動作のための出力信号かあるいは蒸気流量制御のた
めの出力信号の選択）がなされるようになっている。

【００５９】実施例４．図５は前記回収溜３５の一実施
例を示す構成図である。

【００６０】同図において、回収溜３５はその上部にフ
ランジからなる蓋部３５１を備えた筒状容器３５２から
なり、該筒状容器３５２は蓋部３５１の側において大き
な口径を有する部分３５２Ａと該蓋部３５１と反対の側
において小さな口径を有する部分３５２Ｂとを有して形
成されている。この場合の口径比はたとえば１０：１の
関係になっている。

【００６１】このような構成は、凝縮液が溜る部分にお
いて特に口径を小さくしたものであるが、その理由はそ
の内壁面の占める面積を小さくして飛散された凝縮液の
付着量をできるだけ少なくしようとすることにある。凝
縮液の付着量が多くなれば捕集される液の正確な濃度を
算出できないからである。

【００６２】凝縮器３１から凝縮された液は細径の連結
管３５０を介して導かれるようになっており、さらに、
この連結管３５０は前記蓋部３５１を貫通することによ
って回収溜３５内に導かれるようになっている。なお、
回収溜３８内に導かれる連結管３５０の周囲には冷却水
が流れる構成となっており、これにより凝縮液は一定の
温度に保持されて回収溜内に供給されるようになってい
る。

【００６３】回収溜３５内の連結管３５０は容器３５２
の口径の段差部の近傍に至るまで延在されており、しか
も、その先端は、図中円Ａ内にその拡大図を示すよう
に、一側面から先端方向に切り欠いた形状を有する尖鋭
体となっている。なお、円Ａ内の連結管３５０は２個示
しており、それらは９０°方向からそれぞれ観た図を示
している。

【００６４】このように構成することによって、連結管
３５０に導かれる回収液はこの連結管３５０の先端にお
いて飛散することなくそのまま落下できることが判り、
周辺の容器側壁面に付着する確率が極めて少なくなる。
したがって、回収液の正確な濃度を算出できるという効
果を奏する。

【００６５】また、口径の小さな部分３５２Ｂにおける
容器３５２の外方には、さらに口径の小さな細管３５３
が該容器３５２の中心軸方向に沿って延在されて配置さ
れ、その両端は容器３５２に接続されている。このよう
に容器３５２に対して枝管状に形成された細管３５３は
計量計として機能するものであり、その一部に液面セン
サ３５４が取り付けられている。この液面センサ３５４
は容器３５２内に回収される凝縮液の生成速度を検出す
るものであり、この生成速度は凝縮液から得られた塵埃
の割合を大気に対する塵埃の割合に換算する際のデータ
として用いられるものである。

【００６６】このように、特に枝管を設けこの枝管から
凝縮液の生成速度を求めるようにしたのはその正確な測
定を行ない得るようにするためである。すなわち、容器
３５２から直接液面を測定した場合、その壁面に付着し
た液によって正確な測定ができないためである。

【００６７】実施例５．図６は、前記捕集液分析装置４
０内の分取器の一実施例を示す構成図である。

【００６８】気水分離装置３０からの捕集液は送液ポン
プ４１によって捕集液注入ノズル４３１に導かれるよう
になっている。

【００６９】この捕集液注入ノズル４３１は、試験管４
３２を円形に順次配置させる円形ラック４３３内の該試
験管４３２のうちの一つに捕集液が注入されるように配
置されている。円形ラック４３３はその中心軸を中心と
して回転（たとえば図中Ｄ方向に）するようになってお
り、この回転は前記送液ポンプ４１の駆動に同期させて
間欠的になされるようになっている。

【００７０】すなわち、同図に示すように、円形ラック
４３３には試験管４３２と後に詳述するドレイン管４３
４とが複数個交互に配置されている。そして、この円形
ラック４３３は、通常の動作において、前記捕集液注入
ノズル４３１を通して一の試験管４３２に捕集液の注入
がなされてその注入が終了するまで停止している段階
と、その後、隣接するドレイン管４３４を通過してさら
に隣接する他の試験管４３２が前記捕集液注入ノズル４
３１の個所に位置付けられまで回転する段階とがあるよ
うになっている。この場合、送液ポンプ４１は試験管４
３２に捕集液を注入する段階で駆動させるようになって
いる。

【００７１】前記ドレイン管４３４は、底を有さない筒
状部材から構成され、必要時において、捕集液注入ノズ
ル４３１の下方に位置付けられるように制御されるよう
になる。このように構成されている理由は、捕集液注入
ノズル４３１からの捕集液を試験管４３２に捕集する際
に、いまだ捕集液の濃度が均一化されていない場合があ
ったり、また、他の供給路内の異物が混入している場合
があったりすることから、最初の段階において得られる
捕集液を廃液処理扱いにするためである。

【００７２】このため、ドレイン管４３４を通して落下
する捕集液注入ノズル４３１からの捕集液はこの捕集液
注入ノズル４３１の直下に配置されたドレイン受け口４
３５を介して廃液タンク４３６に蓄積されるようになっ
ている。

【００７３】このようにした場合、捕集液注入ノズル４
３１は常時固定された配置とすることにができ、捕集液
を廃液処理する場合においていわゆる首振り機構等のよ
うな構成を設ける必要がないという効果を有する。

【００７４】また、試験管４３２とドレイン管４３４と
を交互に配置させることによって、隣接する試験管４３
２に捕集が終了した捕集液注入ノズル４３１からの滴
（しずく）がこれから捕集しようとする試験管４３２に
滴下される確率が極めて少なくなる。該滴（しずく）は
ドレイン管４３４を通して廃液処理される確率が大きい
からである。

【００７５】また、このようなドレイン管４３４を備え
ておくことによって、洗浄等も行い易くなる効果を奏す
る。

【００７６】実施例６．図７は、蒸気供給装置２０内の
蒸気発生器２５の一実施例を示す構成図である。

【００７７】同図において、純水供給ポンプ２３からの
純水は比較的細い管からなる供給管２５０に導かれるよ
うになっている。供給管２５０は蒸気供給装置２０内の
蒸気発生管２５１内にその中心軸に沿って挿入されてい
る。蒸気発生管２５１は気水分離装置３０へ導かれる連
結管３００とたとえば一体に構成され、前記供給管２５
０の口径に比較して大きな口径を備えたものとなってい
る。

【００７８】前記供給管２５０はその中心軸が該蒸気発
生管２５１のそれとほほ一致して配置されており、該蒸
気発生管２５１の入口に設けられた密封栓２５２によっ
て固定されているとともに、その先端は該蒸気発生管２
５１のほぼ中央に至るまで延在されている。

【００７９】蒸気発生管２５１は、その周囲においてカ
ートリッジヒータ２５５を内蔵するヒートブロック２５
３が配置され、このヒートブロック２５３によって加熱
されるようになっている。なお、ヒートブロック２５３
は、その内部に配置されている加熱制御温度センサ２５
４からの出力に基づいて所定かつ一定の加熱温度が保持
されるようになっている。また、ヒートブロック２５３
の周囲には保温材２５６が配置され、熱の外方への伝達
を防止できるようになっている。

【００８０】このため、前記供給管２５０からその先端
に導かれた純水は、蒸気発生管２５１内の高温によって
蒸気となり、この蒸気は連結管３００へと導かれるよう
になっている。

【００８１】ここで、本実施例では、前記供給管２５０
の先端が、図中円Ｂ内にその拡大図を示すように、蒸気
発生管２５１の内壁面側に湾曲しかつ該内壁面に当接す
るようにして構成されている。

【００８２】このような構成とすることにより、供給管
２５０の先端から蒸気発生管へ導かれる純水は水滴にな
らないうちに全て蒸気になってしまうことになり、供給
される純水の量と生成される蒸気の量との間に差が生じ
るようなことがなくなる。

【００８３】したがって、純水の量制御を行うことによ
って蒸気量の制御を行う場合、その制御を正確に行うこ
とができるようになる。

【００８４】上述した各実施例では、汚染ガスを対象と
した気体中の微量混入ガス塵埃成分を分析する装置を示
したものであるが、これに限定されることはなく、たと
えば、工場内のクリーンルーム内の空気、煙突内のガ
ス、その他排ガス内の有毒ガス等を対象としたものであ
ってもよいことはもちろんである。

【００８５】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によるガス塵埃捕集分析装置によれば、所望の濃
縮率からなる捕集液が精度よく得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるガス塵埃捕集分析装置の一実施例
を示すブロック構成図である。

【図２】図１に示すメモリに予め格納されているデータ
情報の一実施例を示すグラフである。

【図３】本発明によるガス塵埃捕集分析装置の他の実施
例を示すブロック構成図である。

【図４】本発明によるガス塵埃捕集分析装置の他の実施
例を示すブロック構成図である。

【図５】図１に示した回収溜の一実施例を示す構成図で
ある。

【図６】図１に示した分取器の一実施例を示す構成図で
ある。

【図７】図１に示した蒸気発生器の一実施例を示す構成
図である。

【符号の説明】

１３……流量計、２３……純水供給ポンプ、２５……蒸
気発生装置、３１……凝縮器、３３……温度計、３５…
…回収溜、４１……送液ポンプ、４３……分取器、６２
……ＣＰＵ、６３……メモリ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 槙 正博 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 真山 晃一 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 関野 良彦 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 石割 修一 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス塵埃を吸気する吸気装置と、純水か
   ら上記を生成しこの蒸気を供給する蒸気供給装置と、前
   記ガス塵埃と蒸気との混合物を凝縮する凝縮器とこの凝
   縮器からの凝縮液中の気体成分を回収する回収溜とから
   なる気水分離装置と、この気水分離装置からの捕集液を
   分析する分析装置とを備えるガス塵埃捕集分析装置にお
   いて、 得ようとする濃縮率に対応するデータを入力させる入力
   手段と、この入力手段による入力に基づいて前記蒸気供
   給装置によって形成される蒸気量を制御する制御装置と
   を備え、 この制御装置は、前記吸気装置から吸気されたガス塵埃
   中の水分量を算出する水分量検出手段と、前記凝縮器の
   温度に対応するデータを入力させる温度検出手段と、前
   記凝縮器の温度をパラメータとして総水分供給量に対す
   る濃縮率を示す情報が予め記憶されたメモリと、このメ
   モリ内の情報の参照によって前記温度検出手段によって
   検出された温度に対する所望の濃縮率に相当する総水分
   供給量から前記蒸気量の算出を行う手段とから構成され
   ていることを特徴とするガス塵埃捕集分析装置。
2. 【請求項２】 ガス塵埃を吸気する吸気装置と、純水か
   ら蒸気を形成しこの蒸気を供給する蒸気供給装置と、前
   記ガス塵埃と蒸気との混合液を凝縮する凝縮器とこの凝
   縮器からの凝縮液中の気体成分を回収する回収溜とから
   なる気水分離装置と、この気水分離装置からの捕集液を
   分析する分析装置とを備えるガス塵埃捕集分析装置にお
   いて、 得ようとする濃縮率に対応するデータを入力させる入力
   手段と、この入力手段による入力に基づいて前記凝縮器
   の温度を制御する制御装置とを備え、 この制御装置は、前記吸気装置から吸気されたガス塵埃
   中の水分量を算出する水分量検出手段と、前記蒸気供給
   装置によって形成される蒸気量を検出する蒸気量検出手
   段と、前記凝縮器の温度をパラメータとして総水分供給
   量に対する濃縮率を示す情報が予め記憶されたメモリ
   と、このメモリ内の情報の参照によって前記水分量検出
   手段と蒸気量検出手段によって検出された総水分量に対
   する所望の濃縮率に相当する凝縮器の温度の算出を行う
   手段とから構成されていることを特徴とするガス塵埃捕
   集分析装置。
3. 【請求項３】 分析成分を含む凝縮液を回収する回収溜
   であって、該凝縮液を導く連通管が貫通された蓋部を備
   える容器で構成されているととともに、該容器は前記蓋
   部の側の口径に対して前記蓋部と反対の側の口径が小さ
   くなっており、かつ前記連通管の先端は該口径の段差部
   近傍にまで延在されていることを特徴とする回収溜。
4. 【請求項４】 分析成分を含む凝縮液を回収する回収溜
   であって、該凝縮液を導く連通管が貫通された蓋部を備
   える容器で構成されているとともに、前記連通管の先端
   はその側面から先端にかけて切り欠かれた尖鋭部となっ
   ていることを特徴とする回収溜。
5. 【請求項５】 分析成分を含む凝縮液を回収する回収溜
   であって、該凝縮液を導く連通管が貫通された蓋部を備
   える容器で構成されているととともに、前記容器の側面
   に回収液の液面を検知できる枝細管が設けられているこ
   とを特徴とする回収溜。
6. 【請求項６】 請求項３ないし５記載の回収溜が請求項
   １および２記載のうちのいずれか一方のガス塵埃捕集分
   析装置に適用されてることを特徴とするガス塵埃捕集分
   析装置。
7. 【請求項７】 分析成分を含む捕集液を分取する分取器
   であって、該捕集液を供給する捕集液供給ノズルと、複
   数の試験管とドレイン管とを交互に円形状に配置させる
   ラックとを備え、このラックは間欠回転することにより
   前記ノズルからの捕集液が各試験管に順次注入されるよ
   うに構成されていることを特徴とする分集器。
8. 【請求項８】 ラックを介して前記捕集液供給ノズルの
   直下にはドレイン受け口が配置され、前記ドレイン管を
   通して捕集液が前記ドレイン受け口に導かれるようにな
   っていることを特徴とする請求項７記載の分集器。
9. 【請求項９】 請求項７および８記載の回収溜が請求項
   １および２記載のうちのいずれか一方のガス塵埃捕集分
   析装置に適用されてることを特徴とするガス塵埃捕集分
   析装置。
10. 【請求項１０】 周囲が加熱される蒸気発生管と、この
    蒸気発生管の一端に挿入されかつ純水が供給される供給
    管とを備える蒸気発生管とを備える蒸気発生装置におい
    て、 前記蒸気発生管に挿入された供給管の先端が該蒸気発生
    管の側壁面側に湾曲されて該側壁面に当接されているこ
    とを特徴とする蒸気発生器。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の蒸気発生器が請求項
    １および２記載のうちのいずれか一方のガス塵埃捕集分
    析装置に適用されてることを特徴とするガス塵埃捕集分
    析装置。