JPH1070333A - 波長変換固体レーザ装置 - Google Patents
波長変換固体レーザ装置Info
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- JPH1070333A JPH1070333A JP22496196A JP22496196A JPH1070333A JP H1070333 A JPH1070333 A JP H1070333A JP 22496196 A JP22496196 A JP 22496196A JP 22496196 A JP22496196 A JP 22496196A JP H1070333 A JPH1070333 A JP H1070333A
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- Japan
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- light
- wave
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＳＨＧ波の出力低下を殆ど伴うことなく、そ
の出力を安定化することのできる波長変換固体レーザ装
置を提供する。 【解決手段】 出力ミラー５に近接して配置されたブリ
ュースタープレート７により、出力光に含まれる基本波
を、ＳＨＧ波との主透過軸の相違を利用して分離抽出
し、その抽出した基本波の強度を検出器８で検出して、
フィードバック回路９を介して励起用の半導体レーザ１
の駆動用電源１０を制御する。
の出力を安定化することのできる波長変換固体レーザ装
置を提供する。 【解決手段】 出力ミラー５に近接して配置されたブリ
ュースタープレート７により、出力光に含まれる基本波
を、ＳＨＧ波との主透過軸の相違を利用して分離抽出
し、その抽出した基本波の強度を検出器８で検出して、
フィードバック回路９を介して励起用の半導体レーザ１
の駆動用電源１０を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非線形光学結晶を
用いた波長変換固体レーザ装置に関する。
用いた波長変換固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザ装置の光共振器内に非線形光
学結晶を収容することにより、固体レーザ媒質から誘導
放出される基本波の第２光調波を光共振器内で発振さ
せ、その第２高調波（以下、ＳＨＧ波と称する）を光共
振器の出力ミラーを介して外部に出力するようにしるよ
うにした波長変換固体レーザ装置が知られている。
学結晶を収容することにより、固体レーザ媒質から誘導
放出される基本波の第２光調波を光共振器内で発振さ
せ、その第２高調波（以下、ＳＨＧ波と称する）を光共
振器の出力ミラーを介して外部に出力するようにしるよ
うにした波長変換固体レーザ装置が知られている。
【０００３】この種の波長変換固体レーザ装置のうち、
固体レーザ媒質の励起を半導体レーザからの出力光によ
って行うものにおいては、従来、ＳＨＧ波の出力を安定
化する方法として、ＳＨＧ波の出力強度を直接的にモニ
タし、そのモニタ結果に基づいて励起光強度を制御する
方法が採用されている。
固体レーザ媒質の励起を半導体レーザからの出力光によ
って行うものにおいては、従来、ＳＨＧ波の出力を安定
化する方法として、ＳＨＧ波の出力強度を直接的にモニ
タし、そのモニタ結果に基づいて励起光強度を制御する
方法が採用されている。
【０００４】図３はこのような出力安定化手法を採用し
た従来の波長変換固体レーザ装置の構成例を示す図であ
る。この例において、半導体レーザ１１からの出力光は
集光用のレンズ１２，１３を介して励起光として固体レ
ーザ媒質１４に照射される。固体レーザ媒質４の片面に
は、半導体レーザ１１の出力波長を透過させ、固体レー
ザ媒質４からの誘導波長（基本波長）並びにそのＳＨＧ
波長を高反射率のもとに反射させる高反射率コート膜１
４ａが形成されおり、この高反射率コート膜１４ａと、
出力ミラー１５によって光共振器が構成されているとと
もに、その光共振器内に例えばＫＮｂＯ3 等の非線形光
学結晶１６が収容されている。半導体レーザ１１からの
出力光による励起により固体レーザ媒質１４から誘導放
出された基本波が、この非線形光学結晶１６に照射され
ることによりＳＨＧ波が生成される。出力ミラー１５は
ＳＨＧ波を主として透過させ、従ってこの出力ミラー１
５を介してＳＨＧ波が光共振器外に出力される。そし
て、この光共振器外に出力されたＳＨＧ波は、出力ミラ
ー１５に近接配置されたビームスプリッタ１７によっ
て、実際の出力光とモニタ光に分離され、モニタ光が光
検出器１８に導かれてその強度が検出される。この検出
結果は半導体レーザ１１の駆動用電源１９にフィードバ
ックされ、ＳＨＧ出力が一定値を保持するように駆動用
電源１９から半導体レーザ１１に供給すべき電流値が制
御される。
た従来の波長変換固体レーザ装置の構成例を示す図であ
る。この例において、半導体レーザ１１からの出力光は
集光用のレンズ１２，１３を介して励起光として固体レ
ーザ媒質１４に照射される。固体レーザ媒質４の片面に
は、半導体レーザ１１の出力波長を透過させ、固体レー
ザ媒質４からの誘導波長（基本波長）並びにそのＳＨＧ
波長を高反射率のもとに反射させる高反射率コート膜１
４ａが形成されおり、この高反射率コート膜１４ａと、
出力ミラー１５によって光共振器が構成されているとと
もに、その光共振器内に例えばＫＮｂＯ3 等の非線形光
学結晶１６が収容されている。半導体レーザ１１からの
出力光による励起により固体レーザ媒質１４から誘導放
出された基本波が、この非線形光学結晶１６に照射され
ることによりＳＨＧ波が生成される。出力ミラー１５は
ＳＨＧ波を主として透過させ、従ってこの出力ミラー１
５を介してＳＨＧ波が光共振器外に出力される。そし
て、この光共振器外に出力されたＳＨＧ波は、出力ミラ
ー１５に近接配置されたビームスプリッタ１７によっ
て、実際の出力光とモニタ光に分離され、モニタ光が光
検出器１８に導かれてその強度が検出される。この検出
結果は半導体レーザ１１の駆動用電源１９にフィードバ
ックされ、ＳＨＧ出力が一定値を保持するように駆動用
電源１９から半導体レーザ１１に供給すべき電流値が制
御される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
な従来の波長変換固体レーザにおける出力安定化方法に
よると、光共振器から出力されたＳＨＧ波の一部がモニ
タ光として分離されるため、実際に出力光として利用で
きるＳＨＧ波の出力が低下してしまうという問題があ
る。また、光共振器から出力されたＳＨＧ波の一部をモ
ニタ光として分離するためのビームスプリッタは、蒸着
膜を形成する必要があってその製作が容易ではなく、高
価であるという問題もある。
な従来の波長変換固体レーザにおける出力安定化方法に
よると、光共振器から出力されたＳＨＧ波の一部がモニ
タ光として分離されるため、実際に出力光として利用で
きるＳＨＧ波の出力が低下してしまうという問題があ
る。また、光共振器から出力されたＳＨＧ波の一部をモ
ニタ光として分離するためのビームスプリッタは、蒸着
膜を形成する必要があってその製作が容易ではなく、高
価であるという問題もある。
【０００６】本発明の目的は、比較的簡単で安価な構成
のもとに、ＳＨＧ波の出力低下を殆ど伴うことなく、そ
の出力を安定化することのできる波長変換固体レーザ装
置を提供することにある。
のもとに、ＳＨＧ波の出力低下を殆ど伴うことなく、そ
の出力を安定化することのできる波長変換固体レーザ装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、実施の形態を表す図１を参照しつつ説明す
ると、本発明の波長変換固体レーザ装置は、半導体レー
ザ１からの出力光により固体レーザ媒質４を励起すると
ともに、その固体レーザ媒質４を含む光共振器内に非線
形光学結晶６を収容して、固体レーザ媒質４から誘導放
出される基本波の第２高調波を光共振器内で発振させ、
出力ミラー５を介して外部に出力するように構成された
レーザ装置において、光共振器の出力ミラーに近接し
て、当該光共振器からの出力光に含まれる残存基本波を
分離抽出するためのブリュースタープレート７が配設さ
れているとともに、そのブリュースタープレート７によ
り分離抽出された基本波の強度を検出する検出器８と、
その検出器８の出力に基づいて半導体レーザ１の駆動用
電源９を制御するフィードバック回路１０を備えている
ことによって特徴づけられる。
めの構成を、実施の形態を表す図１を参照しつつ説明す
ると、本発明の波長変換固体レーザ装置は、半導体レー
ザ１からの出力光により固体レーザ媒質４を励起すると
ともに、その固体レーザ媒質４を含む光共振器内に非線
形光学結晶６を収容して、固体レーザ媒質４から誘導放
出される基本波の第２高調波を光共振器内で発振させ、
出力ミラー５を介して外部に出力するように構成された
レーザ装置において、光共振器の出力ミラーに近接し
て、当該光共振器からの出力光に含まれる残存基本波を
分離抽出するためのブリュースタープレート７が配設さ
れているとともに、そのブリュースタープレート７によ
り分離抽出された基本波の強度を検出する検出器８と、
その検出器８の出力に基づいて半導体レーザ１の駆動用
電源９を制御するフィードバック回路１０を備えている
ことによって特徴づけられる。
【０００８】ここで、本発明において用いられる非線形
光学結晶６は、温度に対して安定なもの、例えばＬｉＢ
3 Ｏ5 ，β−ＢａＢ2 Ｏ4 等、を用いることが好まし
い。本発明は、光共振器内に非線形光学結晶を挿入した
波長変換固体レーザ装置においては、一般に、光共振器
の出力ミラーを介して外部に出力されるレーザ光はＳＨ
Ｇ波が支配的であるものの、実際には光学系の調整等の
ために基本波も僅かながら含まれること、および、この
ような波長変換固体レーザ装置の光共振器からの出力光
の偏光特性は、ＳＨＧ波と基本波とで主透過軸が直交し
ていること、更に、温度に対して安定な非線形光学結晶
を用いた場合、出力光に含まれる基本波の強度はＳＨＧ
波の強度と正確な相関を有していること、を利用したも
のである。
光学結晶６は、温度に対して安定なもの、例えばＬｉＢ
3 Ｏ5 ，β−ＢａＢ2 Ｏ4 等、を用いることが好まし
い。本発明は、光共振器内に非線形光学結晶を挿入した
波長変換固体レーザ装置においては、一般に、光共振器
の出力ミラーを介して外部に出力されるレーザ光はＳＨ
Ｇ波が支配的であるものの、実際には光学系の調整等の
ために基本波も僅かながら含まれること、および、この
ような波長変換固体レーザ装置の光共振器からの出力光
の偏光特性は、ＳＨＧ波と基本波とで主透過軸が直交し
ていること、更に、温度に対して安定な非線形光学結晶
を用いた場合、出力光に含まれる基本波の強度はＳＨＧ
波の強度と正確な相関を有していること、を利用したも
のである。
【０００９】すなわち、出力ミラー１５を介して光共振
器外に出力されるレーザ光は、ＳＨＧ波と基本波が混在
した光となっており、かつ、そのうちＳＨＧ波はＰ偏光
が大、基本波はＳ偏光が大の、それぞれ強い部分偏光と
なる。従って、出力ミラー５に近接配置されたブリュー
スタープレー７により、光共振器から出力されたレーザ
光のうち、ＳＨＧ波の殆どを透過させ、かつ、基本波の
一部を分離抽出することができ、その分離抽出した基本
波の強度が検出器８によって検出される。この基本波の
強度は、非線形光学結晶６が温度に対して安定な結晶で
あるか、あるいは温度が正確にコントロールされている
限り、ＳＨＧ波の強度と強い相関を持つため、検出器８
による基本波の強度検出結果をフィードバック回路１０
を介して励起用の半導体レーザ１の駆動用電源９に供給
してその出力電流を制御することによって、ＳＨＧ波の
出力を殆ど低下させることなく、その出力の安定化を達
成することが可能となる。
器外に出力されるレーザ光は、ＳＨＧ波と基本波が混在
した光となっており、かつ、そのうちＳＨＧ波はＰ偏光
が大、基本波はＳ偏光が大の、それぞれ強い部分偏光と
なる。従って、出力ミラー５に近接配置されたブリュー
スタープレー７により、光共振器から出力されたレーザ
光のうち、ＳＨＧ波の殆どを透過させ、かつ、基本波の
一部を分離抽出することができ、その分離抽出した基本
波の強度が検出器８によって検出される。この基本波の
強度は、非線形光学結晶６が温度に対して安定な結晶で
あるか、あるいは温度が正確にコントロールされている
限り、ＳＨＧ波の強度と強い相関を持つため、検出器８
による基本波の強度検出結果をフィードバック回路１０
を介して励起用の半導体レーザ１の駆動用電源９に供給
してその出力電流を制御することによって、ＳＨＧ波の
出力を殆ど低下させることなく、その出力の安定化を達
成することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１本発明の実施の形態の構成図
である。半導体レーザ１からの出力光は集光用のレンズ
２，３を介して固体レーザ媒質４に照射される。固体レ
ーザ媒質４のレンズ２，３側の一面には、半導体レーザ
１の出力波長を透過させ、かつ、固体レーザ媒質４から
の誘導放出波長並びにそのＳＨＧ波に対しては高い反射
率を持つ、誘電体多層膜からなる高反射率コート膜４ａ
が設けられており、この高反射率コート膜４ａと出力ミ
ラー５によって光共振器が構成されている。
である。半導体レーザ１からの出力光は集光用のレンズ
２，３を介して固体レーザ媒質４に照射される。固体レ
ーザ媒質４のレンズ２，３側の一面には、半導体レーザ
１の出力波長を透過させ、かつ、固体レーザ媒質４から
の誘導放出波長並びにそのＳＨＧ波に対しては高い反射
率を持つ、誘電体多層膜からなる高反射率コート膜４ａ
が設けられており、この高反射率コート膜４ａと出力ミ
ラー５によって光共振器が構成されている。
【００１１】光共振器の内部には、例えばＬｉＢ3 Ｏ5
またはβ−ＢａＢ2 Ｏ4 等の、温度に対して安定な非線
形光学結晶６が収容されており、半導体レーザ１からの
出力光で固体レーザ媒質４を励起することによって誘導
放出された基本波がこの非線形光学結晶６に照射される
ことにより、ＳＨＧ波が生成される。出力ミラー５は、
このＳＨＧ波を主として透過させ、基本波に対しては高
い反射率を有しているものの、基本波も僅かに透過さ
せ、従って出力ミラー５を介して光共振器外に出力され
るレーザ光は、ＳＨＧ波成分を主体として僅かに基本波
成分が混在した光となる。
またはβ−ＢａＢ2 Ｏ4 等の、温度に対して安定な非線
形光学結晶６が収容されており、半導体レーザ１からの
出力光で固体レーザ媒質４を励起することによって誘導
放出された基本波がこの非線形光学結晶６に照射される
ことにより、ＳＨＧ波が生成される。出力ミラー５は、
このＳＨＧ波を主として透過させ、基本波に対しては高
い反射率を有しているものの、基本波も僅かに透過さ
せ、従って出力ミラー５を介して光共振器外に出力され
るレーザ光は、ＳＨＧ波成分を主体として僅かに基本波
成分が混在した光となる。
【００１２】光共振器から出力されたレーザ光は、出力
ミラー５に近接して光共振器外に置かれたブリュースタ
ープレート７に入射し、このブリュースタープレート７
によって、出力光中に含まれる基本波の一部が後述する
ように分離抽出され、検出器８に導かれてその強度が検
出される。その強度検出結果はフィードバック回路９を
介して半導体レーザ１の駆動用電源１０に供給され、こ
の駆動用電源１０では、検出器８による検出結果が一定
となるように、半導体レーザ１への投入電流値を制御す
る。
ミラー５に近接して光共振器外に置かれたブリュースタ
ープレート７に入射し、このブリュースタープレート７
によって、出力光中に含まれる基本波の一部が後述する
ように分離抽出され、検出器８に導かれてその強度が検
出される。その強度検出結果はフィードバック回路９を
介して半導体レーザ１の駆動用電源１０に供給され、こ
の駆動用電源１０では、検出器８による検出結果が一定
となるように、半導体レーザ１への投入電流値を制御す
る。
【００１３】さて、ミラー５を透過して光共振器外に出
力されたレーザ光の偏光特性は、下記の〔表１〕に光共
振器から出力されたレーザ光の各波長成分ごとの各偏光
成分のパワーの実測結果を例示するように、ＳＨＧ波と
基本波とではその主透過軸が互いに直交しており、ＳＨ
Ｇ波ではＰ偏光強度が大きく、基本波ではＳ偏光強度が
大きい。従って、ブリュースタープレート７の材質並び
に角度を適宜に選定することにより、図２に模式的に示
すように、ＳＨＧ波の主体をなすＰ偏光成分の透過率を
１００％とすると同時に、基本波の主体をなすＳ偏光成
分に対して相当の反射率を持たせることができ、これに
よって光共振器外に出力されたレーザ光から基本波成分
を分離抽出して検出器８に導くことができる。なお、
〔表１〕において各波長成分のトータル光のパワーがＰ
偏光とＳ偏光のパワーの合計と一致していないのは、測
定に用いた偏光子の透過損失によるものである。
力されたレーザ光の偏光特性は、下記の〔表１〕に光共
振器から出力されたレーザ光の各波長成分ごとの各偏光
成分のパワーの実測結果を例示するように、ＳＨＧ波と
基本波とではその主透過軸が互いに直交しており、ＳＨ
Ｇ波ではＰ偏光強度が大きく、基本波ではＳ偏光強度が
大きい。従って、ブリュースタープレート７の材質並び
に角度を適宜に選定することにより、図２に模式的に示
すように、ＳＨＧ波の主体をなすＰ偏光成分の透過率を
１００％とすると同時に、基本波の主体をなすＳ偏光成
分に対して相当の反射率を持たせることができ、これに
よって光共振器外に出力されたレーザ光から基本波成分
を分離抽出して検出器８に導くことができる。なお、
〔表１〕において各波長成分のトータル光のパワーがＰ
偏光とＳ偏光のパワーの合計と一致していないのは、測
定に用いた偏光子の透過損失によるものである。
【００１４】
【表１】
【００１５】今、固体レーザ媒質４としてＮｄ：ＹＡＧ
を用いて、基本波およびＳＨＧ波の波長をそれぞれ９４
６ｎｍおよび４７３ｎｍとしたとき、ブリュースタープ
レート７に合成石英を使用すると、その屈折率は、基本
波の波長に対してはｎ（９４６）＝１．４５１、ＳＨＧ
波の波長に対してはｎ（４７３）＝１．４６６であるか
ら、ＳＨＧ波に対するブリュースター角を求めると、図
２において、 tanθ1 ＝ｎより、θ1 ＝５５．７０° ・・（１） sinθ2 ＝ｎ sinθ2 より、θ2 ＝３４．３０° ・・（２） となる。
を用いて、基本波およびＳＨＧ波の波長をそれぞれ９４
６ｎｍおよび４７３ｎｍとしたとき、ブリュースタープ
レート７に合成石英を使用すると、その屈折率は、基本
波の波長に対してはｎ（９４６）＝１．４５１、ＳＨＧ
波の波長に対してはｎ（４７３）＝１．４６６であるか
ら、ＳＨＧ波に対するブリュースター角を求めると、図
２において、 tanθ1 ＝ｎより、θ1 ＝５５．７０° ・・（１） sinθ2 ＝ｎ sinθ2 より、θ2 ＝３４．３０° ・・（２） となる。
【００１６】このような角度に従って合成石英製のブリ
ュースタープレート７を配置すると、ＳＨＧ波および基
本波の主透過軸の光の透過率、反射率は、
ュースタープレート７を配置すると、ＳＨＧ波および基
本波の主透過軸の光の透過率、反射率は、
【００１７】
【数１】
【００１８】となる。従って、光共振器から出力ミラー
５を介して外部に出力されるレーザ光は、ブリュースタ
ープレート７によって、そこに含まれる基本波の主体を
なすＳ偏光成分の１３％が検出器８に導かれることにな
るが、〔表１〕に示した実測結果によれば、 １．２８×０．１３＝０．１７（ｍＷ） ・・（５） のパワーを持つ光が検出器８に入射することになる。こ
れは、検出器８としてＳｉフォトダイオードを用いて十
分に検出可能（感度０．６Ａ／Ｗ）であり、５００倍程
度のアンプを用いて５０ｍＶの電圧信号を得ることがで
きる。
５を介して外部に出力されるレーザ光は、ブリュースタ
ープレート７によって、そこに含まれる基本波の主体を
なすＳ偏光成分の１３％が検出器８に導かれることにな
るが、〔表１〕に示した実測結果によれば、 １．２８×０．１３＝０．１７（ｍＷ） ・・（５） のパワーを持つ光が検出器８に入射することになる。こ
れは、検出器８としてＳｉフォトダイオードを用いて十
分に検出可能（感度０．６Ａ／Ｗ）であり、５００倍程
度のアンプを用いて５０ｍＶの電圧信号を得ることがで
きる。
【００１９】以上の構成において、非線形光学結晶６と
して、前記したＬＢＯやＢＢＯ等の温度に対して安定な
結晶を用いると、その温度に依存することなく、出力ミ
ラー５を介して共振器外に出力される基本波の強度とＳ
ＨＧ波の強度は極めて強い相関を持つから、出力光に含
まれる基本波をモニタ光としてその強度を検出する検出
器８の出力によって駆動用電源１０の出力電流をフィー
ドバック制御することにより、ＳＨＧ波の出力強度を安
定化することができる。しかも、出力光中のＳＨＧ波
は、ブリュースタープレート７に対しては、その主成分
であるＰ偏光成分は透過率１００％で透過するととも
に、残りのＳ偏光成分についても約８７％の透過率で透
過するから、殆ど出力を損なうことがない。
して、前記したＬＢＯやＢＢＯ等の温度に対して安定な
結晶を用いると、その温度に依存することなく、出力ミ
ラー５を介して共振器外に出力される基本波の強度とＳ
ＨＧ波の強度は極めて強い相関を持つから、出力光に含
まれる基本波をモニタ光としてその強度を検出する検出
器８の出力によって駆動用電源１０の出力電流をフィー
ドバック制御することにより、ＳＨＧ波の出力強度を安
定化することができる。しかも、出力光中のＳＨＧ波
は、ブリュースタープレート７に対しては、その主成分
であるＰ偏光成分は透過率１００％で透過するととも
に、残りのＳ偏光成分についても約８７％の透過率で透
過するから、殆ど出力を損なうことがない。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、光共振
器の出力ミラーに近接してブリュースタープレートを配
置し、そのブリュースタープレートによって光共振器か
らの出力光に含まれる基本波成分を分離抽出してその強
度を検出するとともに、その検出結果に基づいて励起用
の半導体レーザの駆動用電源をフィードバック制御する
から、ＳＨＧ波の出力低下を殆ど伴うことなく、その出
力の安定化を図ることが可能となり、ＳＨＧ波の一部を
分離してモニタ光として用いる従来の安定化方法に比し
てＳＨＧ波を有効に実利用することが可能となった。
器の出力ミラーに近接してブリュースタープレートを配
置し、そのブリュースタープレートによって光共振器か
らの出力光に含まれる基本波成分を分離抽出してその強
度を検出するとともに、その検出結果に基づいて励起用
の半導体レーザの駆動用電源をフィードバック制御する
から、ＳＨＧ波の出力低下を殆ど伴うことなく、その出
力の安定化を図ることが可能となり、ＳＨＧ波の一部を
分離してモニタ光として用いる従来の安定化方法に比し
てＳＨＧ波を有効に実利用することが可能となった。
【００２１】また、モニタ光としての基本波の分離抽出
は、ＳＨＧ波との主透過軸の相違を利用してブリュース
タープレートを用いて行うため、従来のようにＳＨＧ波
の一部を分離する場合のように蒸着膜を必要とするビー
ムスプリッタを用いる必要がなくなる結果、より安価に
モニタ光の分離抽出ができるという利点もある。
は、ＳＨＧ波との主透過軸の相違を利用してブリュース
タープレートを用いて行うため、従来のようにＳＨＧ波
の一部を分離する場合のように蒸着膜を必要とするビー
ムスプリッタを用いる必要がなくなる結果、より安価に
モニタ光の分離抽出ができるという利点もある。
【図１】本発明の実施の形態の構成図
【図２】本発明の実施の形態におけるブリュースタープ
レート７による、光共振器からの出力光の分離作用の模
式的説明図
レート７による、光共振器からの出力光の分離作用の模
式的説明図
【図３】出力安定化機能を持つ従来の波長変換固体レー
ザ装置の例を示す構成図
ザ装置の例を示す構成図
１ 半導体レーザ ２，３ レンズ ４ 固体レーザ媒質 ４ａ 高反射率コート膜 ５ 出力ミラー ６ 非線形光学結晶 ７ ブリュースタープレート ８ 検出器 ９ フィードバック回路 １０ 半導体レーザの駆動用電源
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体レーザからの出力光により固体レ
ーザ媒質を励起するとともに、その固体レーザ媒質を含
む光共振器内に非線形光学結晶を収容して、上記固体レ
ーザ媒質から誘導放出される基本波の第２高調波を光共
振器内で発振させ出力ミラーを介して外部に出力するよ
うに構成されたレーザ装置において、上記光共振器の出
力ミラーに近接して、当該光共振器からの出力光に含ま
れる基本波を分離抽出するためのブリュースタープレー
トが配設されているとともに、そのブリュースタープレ
ートにより分離抽出された基本波の強度を検出する検出
器と、その検出器の出力に基づいて上記半導体レーザの
駆動用電源を制御するフィードバック回路を備えている
ことを特徴とする波長変換固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22496196A JPH1070333A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 波長変換固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22496196A JPH1070333A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 波長変換固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1070333A true JPH1070333A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16821924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22496196A Pending JPH1070333A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 波長変換固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1070333A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002066379A3 (de) * | 2001-02-22 | 2003-10-16 | Carl Von Ossietzky Uni Oldenbu | Verfahren zur stabilisierung der ausgangsleistung eines festkörperlasers und festkörperlasersystem |
| US7817690B2 (en) | 2006-02-02 | 2010-10-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser generator and method of controlling the same |
| US8305681B2 (en) | 2009-08-19 | 2012-11-06 | Lasertec Corporation | Light source apparatus |
| JP2015035469A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 株式会社島津製作所 | 固体レーザ装置 |
-
1996
- 1996-08-27 JP JP22496196A patent/JPH1070333A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002066379A3 (de) * | 2001-02-22 | 2003-10-16 | Carl Von Ossietzky Uni Oldenbu | Verfahren zur stabilisierung der ausgangsleistung eines festkörperlasers und festkörperlasersystem |
| US7817690B2 (en) | 2006-02-02 | 2010-10-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser generator and method of controlling the same |
| US8305681B2 (en) | 2009-08-19 | 2012-11-06 | Lasertec Corporation | Light source apparatus |
| JP2015035469A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 株式会社島津製作所 | 固体レーザ装置 |
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