JPH106509A - Ink jet head joining apparatus - Google Patents

Ink jet head joining apparatus

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JPH106509A
JPH106509A JP16297196A JP16297196A JPH106509A JP H106509 A JPH106509 A JP H106509A JP 16297196 A JP16297196 A JP 16297196A JP 16297196 A JP16297196 A JP 16297196A JP H106509 A JPH106509 A JP H106509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mounting
fixing
ink jet
mounting means
jet head
Prior art date
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Pending
Application number
JP16297196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takaharu Saito
敬治 斉藤
Osamu Nakayama
攻 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP16297196A priority Critical patent/JPH106509A/en
Publication of JPH106509A publication Critical patent/JPH106509A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance aligning accuracy by providing first and second loading means respectively loading two members at the time of assembling an ink jet head and providing a mechanism positionally adjusting the first and second members in X-, Y- and θ-axis directions to the first and second loading means. SOLUTION: When a vibration plate and a nozzle plate as parts of an ink jet head are joined, two through-holes are respectively formed on the respective members. Next, the nozzle plate is placed on a table 41 of a loading means and the vibration plate is placed on a table 11 of a loading means 1 and they are positioned to be fixed. The position of the through-hole of the vibration plate and that of the through-hole of the nozzle plate are detected by CCD cameras 84, 84 and correction quantity is calculated on the basis of the detection result and, on the basis of the calculation result, an X-axis stage 22, a Y-axis stage 25 and a θ-axis turntable 34 are driven to correct the position of the vibration plate. After the vibration plate and the nozzle plate are aligned, the table 11 is raised to joint the nozzle plate and the vibration plate together with pressure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド接合装置に関し、特にインクジェットヘッドを構成す
る2つの部材を接合するインクジェットヘッド接合装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head joining apparatus, and more particularly to an ink jet head joining apparatus for joining two members constituting an ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットヘッドを用いて画像を記
録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等のインクジェ
ット記録装置は、インク滴を吐出するための複数のノズ
ルと、各ノズルに対応して設けた電気機械変換素子や発
熱抵抗体などのアクチュエータとを備えたインクジェッ
トヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じてノズ
ルからインク滴を記録媒体(インク滴が付着するもの)
に吐出することによって、高速、高密度、高品質の記録
を行なうものである。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus, such as a printer, a facsimile, or a copier, which records an image using an ink jet head, includes a plurality of nozzles for discharging ink droplets, and an electromechanical transducer provided for each nozzle. Using an inkjet head equipped with an actuator such as a heater or a heating resistor as a printhead, ink droplets are ejected from nozzles in response to print signals on a print medium (one to which ink drops adhere)
In this way, high-speed, high-density, and high-quality recording is performed by ejecting ink.

【0003】インクジェットヘッドとしては種々の構造
のものが知られているが、例えば、基板上に複数の圧電
素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、
この振動板上に変位部に対応する液室を形成するための
液室形成部材を設け、この液室形成部材上に振動板の変
位部に対向するノズルを形成したノズル板(ノズルプレ
ート)を設けて、圧電素子を駆動することで振動板を介
して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからイ
ンク滴を吐出するようにしたものがある。また、基板上
に複数の圧電素子と液室隔壁となる支柱部とを交互に列
設し、圧電素子に対向するノズルを形成したノズル板を
支柱部に接合して、圧電素子の変位によって対向するノ
ズルからインク滴を吐出するようにしたものもある。
Various types of ink jet heads are known. For example, a plurality of piezoelectric elements are provided on a substrate, and a displacement portion of a diaphragm is joined to the piezoelectric elements.
A liquid chamber forming member for forming a liquid chamber corresponding to the displacement portion is provided on the diaphragm, and a nozzle plate (nozzle plate) having a nozzle opposed to the displacement portion of the diaphragm is formed on the liquid chamber forming member. In some cases, the piezoelectric element is driven to pressurize ink in a liquid chamber via a vibration plate, and eject ink droplets from nozzles of a nozzle plate. Also, a plurality of piezoelectric elements and columns serving as liquid chamber partition walls are alternately arranged on the substrate, and a nozzle plate having a nozzle facing the piezoelectric elements is joined to the columns, and the nozzle plate is opposed by displacement of the piezoelectric elements. In some cases, ink droplets are ejected from a nozzle that performs the operation.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述したようなインク
ジェットヘッドにおいて、高密度、高品質記録を行うた
めにヘッド構成部品の個々の精度を高くしなければなら
ないと共に、ノズル板、振動板、圧電素子等の各構成部
品を接合して組み立てるときの組み立て精度(部品相互
の位置精度即ち接合精度)を高くしなければならない。
In the above-described ink-jet head, in order to perform high-density and high-quality recording, the accuracy of each of the head components must be increased, and a nozzle plate, a diaphragm, and a piezoelectric element are required. It is necessary to increase the assembling accuracy (positional accuracy between components, that is, joining accuracy) when assembling the components such as components.

【0005】特に、組立ての中でも、ノズル板のノズル
と振動板の変位部との位置精度、振動板の変位部と圧電
素子との位置精度、ノズル板のノズルと圧電素子との位
置精度を高くしなければ、圧電素子の変位が効率的に振
動板から液室に伝達されなくなってインクの吐出効率が
低下したり、複数の圧電素子を同時に駆動したときに相
互の干渉を生じて吐出速度が低下したりして、画像品質
が低下するなどの不都合が発生する。
In particular, during assembly, the positional accuracy between the nozzle of the nozzle plate and the displacement portion of the diaphragm, the positional accuracy between the displacement portion of the diaphragm and the piezoelectric element, and the positional accuracy between the nozzle of the nozzle plate and the piezoelectric element are increased. Otherwise, the displacement of the piezoelectric element will not be efficiently transmitted from the diaphragm to the liquid chamber, and the ink ejection efficiency will decrease, or when multiple piezoelectric elements are driven simultaneously, mutual interference will occur and the ejection speed will decrease. Inconveniences such as a decrease in image quality and a decrease in image quality occur.

【0006】したがって、上述したようなインクジェッ
トヘッドを構成している2つの部材を自動的に接合する
インクジェットヘッド接合装置を構成しようとする場
合、2つの部材の位置合せ精度の向上が要求される。
Therefore, when an ink jet head joining apparatus for automatically joining two members constituting an ink jet head as described above is to be constituted, it is required to improve the alignment accuracy of the two members.

【0007】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、位置合わせ精度の向上を図ることができるインク
ジェットヘッド接合装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an ink jet head bonding apparatus capable of improving the alignment accuracy.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェットヘッド接合装置は、イン
クジェットヘッドを構成する2つの第1、第2部材の内
の前記第1部材を載置する第1載置手段と、前記第2部
材を載置する第2載置手段と、この第2載置手段に載置
された前記第2部材を固定保持する固定手段と、前記第
1載置手段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、
前記第1、第2部材の位置を検出する位置検出手段と、
前記第1、第2部材を加熱する加熱手段とを備えて、前
記第1部材と第2部材とを接合するインクジェットヘッ
ド接合装置であって、前記第1、第2載置手段には前記
第1、第2部材をX軸、Y軸及びθ軸方向に位置調整す
る機構を備えている構成とした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an ink jet head joining apparatus for mounting the first member of two first and second members constituting an ink jet head. First mounting means for mounting, the second mounting means for mounting the second member, fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means, and the first mounting means. A moving mechanism for relatively moving the mounting means and the fixing means,
Position detecting means for detecting the positions of the first and second members;
An inkjet head joining apparatus for joining the first member and the second member, comprising a heating unit for heating the first and second members, wherein the first and second mounting units include the second unit. 1. A configuration is provided in which a mechanism for adjusting the position of the second member in the X-axis, Y-axis, and θ-axis directions is provided.

【0009】請求項2のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する2つの第1、第2
部材の内の前記第1部材を載置する第1載置手段と、前
記第2部材を載置する第2載置手段と、この第2載置手
段に載置された前記第2部材を固定保持する固定手段
と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第1部材と第2部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記固定手段を前記第
2載置手段と第1載置手段との間で直線移動させる機構
を備えている構成とした。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an ink jet head bonding apparatus comprising two first and second ink jet heads.
A first mounting unit for mounting the first member among the members, a second mounting unit for mounting the second member, and the second member mounted on the second mounting unit. Fixing means for fixing and holding, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, and the first and second members. An inkjet head joining apparatus for joining the first member and the second member, the heating unit comprising: a heating unit that heats the first member and the second member, wherein the fixing unit linearly moves between the second placing unit and the first placing unit. The system has a mechanism for moving.

【0010】請求項3のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する2つの第1、第2
部材の内の前記第1部材を載置する第1載置手段と、前
記第2部材を載置する第2載置手段と、この第2載置手
段に載置された前記第2部材を固定保持する固定手段
と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第1部材と第2部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記第1載置手段及び
前記固定手段には前記加熱手段を備えている構成とし
た。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an ink jet head bonding apparatus comprising:
A first mounting unit for mounting the first member among the members, a second mounting unit for mounting the second member, and the second member mounted on the second mounting unit. Fixing means for fixing and holding, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, and the first and second members. An inkjet head joining apparatus for joining the first member and the second member, comprising a heating means for heating, wherein the first mounting means and the fixing means include the heating means. did.

【0011】請求項4のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する2つの第1、第2
部材の内の前記第1部材を載置する第1載置手段と、前
記第2部材を載置する第2載置手段と、この第2載置手
段に載置された前記第2部材を固定保持する固定手段
と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第1部材と第2部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記位置検出手段は前
記第1載置手段に設けた第1光源と、前記第1載置手段
と固定手段との間に揺動可能に配設した第2光源と、前
記第1光源及び第2光源からの各射出光を受光する撮像
手段とを備えるとともに、前記第1載置手段には前記第
1光源からの射出光を透過する透過孔を設け、前記固定
手段には前記第2光源からの射出光が透過する透過孔を
設けた構成とした。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet head joining apparatus comprising two first and second ink jet heads.
A first mounting unit for mounting the first member among the members, a second mounting unit for mounting the second member, and the second member mounted on the second mounting unit. Fixing means for fixing and holding, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, and the first and second members. An inkjet head joining device for joining the first member and the second member, the heating device comprising: a first light source provided in the first mounting means; (1) a second light source that is swingably disposed between the mounting means and the fixing means; and an imaging means for receiving light emitted from the first light source and the second light source. The mounting means is provided with a transmission hole for transmitting the light emitted from the first light source, and the fixing means is provided with the second light. Light emitted from has a structure in which a transmission hole for transmitting.

【0012】請求項5のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項1、2及び4のいずれかのインクジェッ
トヘッド接合装置において、前記第1載置手段に載置し
た前記第1部材と前記固定手段で固定保持した第2部材
とを圧接するステーションに前記位置検出手段を配置し
た構成とした。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the ink jet head bonding apparatus according to any one of the first, second and fourth aspects, wherein the first member mounted on the first mounting means and the fixing means. The position detecting means is arranged at a station for pressing the fixedly held second member against the second member.

【0013】請求項6のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項4又は5のインクジェットヘッド接合装
置において、前記位置検出手段には2視野の撮像手段を
備え、一定距離にある2点の位置情報を得る構成とし
た。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the ink jet head bonding apparatus according to the fourth or fifth aspect, wherein the position detecting means includes an image pick-up means having two visual fields, and the position information of two points at a fixed distance is obtained. The configuration was obtained.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明に係るインクジ
ェットヘッド接合装置の正面図、図2は図1の第1載置
手段の要部拡大図、図3は図2の固定手段の要部拡大図
である。このインクジェットヘッド接合装置は、インク
ジェットヘッドを構成する2つの部材(インクジェット
ヘッド部品)として振動板(第1部材)とノズル板(第
2部材)とを接合する装置であって、振動板を載置する
第1載置手段1と、この第1載置手段1を移動させる移
動機構2と、ノズル板を載置する第2載置手段3と、第
2載置手段3に載置されたノズル板を固定保持する固定
手段4と、この固定手段4を第2載置手段3の位置と第
1載置手段1との間で移動させる直線移動機構5と、振
動板とノズル板の位置を検出する位置検出手段6等とを
備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view of an ink jet head bonding apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a main part of a first mounting unit of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of a main part of a fixing unit of FIG. This inkjet head joining apparatus is an apparatus for joining a diaphragm (first member) and a nozzle plate (second member) as two members (inkjet head components) constituting an inkjet head, and places the diaphragm on the same. A first mounting means 1 for moving the first mounting means 1, a moving mechanism 2 for moving the first mounting means 1, a second mounting means 3 for mounting a nozzle plate, and a nozzle mounted on the second mounting means 3. A fixing means 4 for fixing and holding the plate, a linear moving mechanism 5 for moving the fixing means 4 between the position of the second mounting means 3 and the first mounting means 1, and a position of the diaphragm and the nozzle plate. And a position detecting means 6 for detecting.

【0015】第1載置手段1は、図2をも参照して、供
給された第1部材である振動板を載置するテーブル11
を備えている。このテーブル11は、中央凸部12に吸
着用の複数の孔が形成されて図示しない真空発生器によ
って載置された振動板を吸着して固定位置決めする。こ
のテーブル11の側部には90゜の位置関係で振動板に
接触可能な2個のアクチュエータ13を配設し、これら
2個のアクチュエータ13の進退可能な先端部13aに
振動板を当接させて位置決めし、位置決め後先端部13
aを後退させる。
Referring to FIG. 2, the first mounting means 1 includes a table 11 on which the supplied diaphragm as the first member is mounted.
It has. The table 11 has a plurality of suction holes formed in the central convex portion 12 and suction-fixes a vibration plate mounted by a vacuum generator (not shown) to fix and position the vibration plate. On the side of the table 11, two actuators 13 that can contact the diaphragm in a positional relationship of 90 ° are arranged, and the diaphragm is brought into contact with the forward and backward end portions 13a of these two actuators 13. And after positioning, the tip 13
a is retracted.

【0016】このテーブル11はヒータ保持部材15上
に固定している。このヒータ保持部材15の上面側には
断熱材17上に加熱手段である円板状のヒータ16を設
け、またテーブル11の上面側にも断熱材18を付設し
ている。
The table 11 is fixed on a heater holding member 15. On the upper surface side of the heater holding member 15, a disk-shaped heater 16 as a heating means is provided on a heat insulating material 17, and a heat insulating material 18 is also provided on the upper surface side of the table 11.

【0017】この第1載置手段1のテーブル11をX
軸、Y軸及びθ軸方向に移動させる移動機構2は、架台
20上にX軸直動ガイドレール21を敷設し、このガイ
ドレール21上にX軸ステージ22をX軸方向に移動可
能に載置し、このX軸ステージ22上にY軸直動ガイド
レール23を敷設し、このガイドレール23上に摺動す
るブロック24をY軸方向に移動可能に載置し、このブ
ロック24上にY軸ステージ25を取付けている。
The table 11 of the first mounting means 1 is
The moving mechanism 2 for moving in the X, Y, and θ axis directions lays an X-axis linear guide rail 21 on a gantry 20 and mounts an X-axis stage 22 on the guide rail 21 so as to be movable in the X-axis direction. And a Y-axis linear guide rail 23 is laid on the X-axis stage 22. A block 24 sliding on the guide rail 23 is movably mounted in the Y-axis direction. The axis stage 25 is attached.

【0018】このY軸ステージ25には4本のZ軸方向
案内部材27を立設して設け、この案内部材27に昇降
部材28をZ軸方向に昇降可能に装着し、この昇降部材
28を昇降させるアクチュエータであるエアーシリンダ
29をX軸ステージ22上に取付けている。また、案内
部材27の上端部側にストッパを兼ねたショックアブソ
ーバ31を配設し、Y軸ステージ25上には昇降部材2
8の下死点ストッパ部材32を立設している。
On the Y-axis stage 25, four Z-axis direction guide members 27 are provided upright, and an elevating member 28 is mounted on the guide member 27 so as to be able to move up and down in the Z-axis direction. An air cylinder 29, which is an actuator that moves up and down, is mounted on the X-axis stage 22. A shock absorber 31 also serving as a stopper is disposed on the upper end side of the guide member 27, and the lifting member 2 is mounted on the Y-axis stage 25.
8, a bottom dead center stopper member 32 is provided upright.

【0019】そして、昇降部材28上に支持部材33を
固定し、この支持部材33上にθ軸回転台34を固定
し、このθ軸回転台34上に上述した第1載置手段1の
テーブル11を載設したヒータ保持部材15を固定して
取付けている。
A support member 33 is fixed on the elevating member 28, a θ-axis rotating table 34 is fixed on the supporting member 33, and the table of the first mounting means 1 is mounted on the θ-axis rotating table 34. The heater holding member 15 on which 11 is mounted is fixedly attached.

【0020】一方、第2載置手段3は供給された第2部
材であるノズル板を載置するテーブル41を備え、この
テーブル41は、中央凸部42に吸着用の複数の孔が形
成されて図示しない真空発生器によって載置されたノズ
ル板を吸着して固定位置決めする。このテーブル41の
側部には90゜の位置関係でノズル板に接触可能な2個
のアクチュエータ43を配設し、これら2個のアクチュ
エータ43の進退可能な先端部43aにノズル板を当接
させて位置決めし、位置決め後先端部43aを後退させ
る。
On the other hand, the second mounting means 3 is provided with a table 41 on which the nozzle plate as the second member supplied is mounted. The table 41 has a plurality of suction holes formed in a central convex portion 42. Then, the mounted nozzle plate is sucked and fixedly positioned by a vacuum generator (not shown). Two actuators 43 capable of contacting the nozzle plate with a positional relationship of 90 ° are arranged on the side of the table 41, and the nozzle plate is brought into contact with the forward and backward end portions 43a of the two actuators 43. After the positioning, the tip 43a is retracted.

【0021】そして、架台20上に取付けたX−Y軸移
動台45上に4本のガイドシャフト46を立設し、この
ガイドシャフト46にガイドシャフト固定板47をZ軸
方向に昇降可能に取付け、X−Y軸移動台45上にガイ
ドシャフト固定板47を昇降させるアクチュエータであ
るエアーシリンダ48を設け、ガイドシャフト固定板4
7上にθ軸回転台49を載設して、このθ軸回転台49
上に前記テーブル41を固定している。なお、X−Y軸
移動台45及びθ軸回転台49は初期位置合わせを行っ
た後は固定状態にする。
Then, four guide shafts 46 are erected on an XY-axis moving base 45 mounted on the gantry 20, and a guide shaft fixing plate 47 is mounted on the guide shafts 46 so as to be able to move up and down in the Z-axis direction. , An air cylinder 48 as an actuator for raising and lowering the guide shaft fixing plate 47 on the XY axis moving base 45 is provided.
The θ-axis turntable 49 is mounted on the
The table 41 is fixed thereon. It should be noted that the XY-axis moving table 45 and the θ-axis rotating table 49 are fixed after the initial alignment.

【0022】次に、固定手段4は、図3をも参照して、
第2載置手段3のテーブル41に載置されたノズル板を
固定保持する固定プレート51を備え、この固定プレー
ト51は、中央凸部52に吸着用の複数の孔が形成され
て図示しない真空発生器によって載置されたノズル板を
吸着して固定位置決めする。この固定プレート51の下
面側には断熱材53の内側に加熱手段である円板状のヒ
ータ54を設け、また固定プレート51の上面側にも断
熱材55を付設している。
Next, the fixing means 4 will be described with reference to FIG.
A fixing plate 51 for fixing and holding the nozzle plate mounted on the table 41 of the second mounting means 3 is provided. The fixing plate 51 has a plurality of suction holes formed in a central convex portion 52 and a vacuum (not shown). The nozzle plate placed by the generator is sucked and fixedly positioned. A disc-shaped heater 54 as a heating means is provided on the lower surface side of the fixed plate 51 inside the heat insulating material 53, and a heat insulating material 55 is also provided on the upper surface side of the fixed plate 51.

【0023】そして、この固定プレート51はプレート
56に固定し、このプレート56にプレート57を取付
けて、この固定手段4を第1載置手段1と第2載置手段
3との間で往復移動させる直線移動機構5で保持してい
る。
The fixing plate 51 is fixed to a plate 56, a plate 57 is attached to the plate 56, and the fixing means 4 is reciprocated between the first placing means 1 and the second placing means 3. And held by the linear moving mechanism 5.

【0024】この直線移動機構5は架台20上に立設し
た支柱61上に取付けた上板62の下面側に直線案内ガ
イド63を敷設して、この直線案内ガイド63に前記プ
レート57を移動可能に保持すると共に、上板62の第
2載置手段3上方にプレート57を直線案内ガイド63
に沿って直線移動させるアクチュエータであるエアーシ
リンダ64を配設している。
In the linear moving mechanism 5, a linear guide 63 is laid on the lower surface of an upper plate 62 mounted on a column 61 erected on the gantry 20, and the plate 57 can be moved on the linear guide 63. And the plate 57 is placed above the second placing means 3 of the upper plate 62 by the linear guide 63.
An air cylinder 64, which is an actuator that moves linearly along the axis, is provided.

【0025】また、上板62の下面側には第1載置手段
1側での固定プレート51の移動終端を規制する第1ソ
フトアブソーバ65を、第2載置手段2側での固定プレ
ート51に移動終端を規制する第2ソフトアブソーバ6
6を配設している。なお、固定プレート51を保持して
いるプレート57の両端側にはそれぞれ第1,第2ソフ
トアブソーバ65,66に当接するストッパ部材67,
68を設けている。
On the lower surface side of the upper plate 62, a first soft absorber 65 for regulating the moving end of the fixed plate 51 on the first mounting means 1 side, and the fixed plate 51 on the second mounting means 2 side. Second soft absorber 6 that regulates the moving end
6 are arranged. In addition, stopper members 67 abutting on the first and second soft absorbers 65 and 66 are provided on both ends of the plate 57 holding the fixed plate 51, respectively.
68 are provided.

【0026】次に、位置検出手段6は、図2をも参照し
て、第1載置手段1のヒータ保持部材15内側でθ軸回
転台34上に光源保持板71を固定し、この光源保持板
71に一定間隔で第1光源である光源72,72を保持
すると共に、ヒータ保持部材15及びテーブル11には
これらの光源72からの光が透過する光源光透過孔7
3,73を形成している。
Next, with reference to FIG. 2, the position detecting means 6 fixes the light source holding plate 71 on the θ-axis rotating table 34 inside the heater holding member 15 of the first mounting means 1. The holding plates 71 hold the light sources 72, 72 as first light sources at regular intervals, and the heater holding member 15 and the table 11 have light source light transmitting holes 7 through which light from these light sources 72 passes.
3, 73 are formed.

【0027】また、第1載置手段1のテーブル11と固
定手段4の固定プレート51との間には第2光源である
平面光源74を揺動可能に配設している。この平面光源
74は、案内部材27上に取付けたブラケット75で保
持した回転アクチュエータ76によって回動されるアー
ム部材77に固定している。さらに、固定手段4の固定
プレート51及びプレート56には上記光源72,72
及び平面光源74からの光が透過する光源光透過孔78
を形成している。
A flat light source 74 as a second light source is swingably disposed between the table 11 of the first mounting means 1 and the fixing plate 51 of the fixing means 4. The flat light source 74 is fixed to an arm member 77 rotated by a rotation actuator 76 held by a bracket 75 mounted on the guide member 27. Further, the light sources 72, 72 are provided on the fixing plate 51 and the plate 56 of the fixing means 4.
And a light source light transmitting hole 78 through which light from the flat light source 74 passes.
Is formed.

【0028】そして、上板62上にX軸方向に移動可能
でZ軸方向に昇降可能なX−Z軸ステージ81を設け、
このX−Z軸ステージ81でX軸及びZ軸方向に移動さ
れる保持板82を取付け、この保持板82の先端部に保
持板83を取付け、この保持板83に撮像手段であるC
CDカメラ84,84を取付けている。これらのCCD
カメラ84,84は、光源72,72から第1載置手段
1の光源光透過孔73,73及び固定手段4の光源光透
過孔78,78を透過した光及び平面光源74から固定
手段4の光源光透過孔78,78を透過した光を受光す
る位置に設けることで、2つの視野を有する撮像手段を
構成している。
An XZ axis stage 81 is provided on the upper plate 62 so as to be movable in the X axis direction and move up and down in the Z axis direction.
A holding plate 82 that is moved in the X-axis and Z-axis directions by the XZ-axis stage 81 is attached, a holding plate 83 is attached to the tip of the holding plate 82, and the holding plate 83 has a C serving as an imaging unit.
CD cameras 84, 84 are attached. These CCD
The cameras 84, 84 transmit light from the light sources 72, 72 through the light source light transmitting holes 73, 73 of the first mounting means 1 and the light source light transmitting holes 78, 78 of the fixing means 4 and the By providing them at positions where light transmitted through the light source light transmitting holes 78, 78 is received, an imaging means having two fields of view is constituted.

【0029】次に、以上のように構成したインクジェッ
トヘッド接合装置に作用について説明する。まず、図4
及び図5を参照してインクジェットヘッド接合装置で接
合するインクジェットヘッド部品としての振動板B及び
ノズル板Nには、それぞれ位置合わせ用の2つの透孔B
a,Naを所定の間隔で形成している。また、接合前に
振動板B及びノズル板Nには両者を接合するために接着
フィルムをラミネートしている。
Next, the operation of the ink jet head bonding apparatus configured as described above will be described. First, FIG.
Referring to FIG. 5 and FIG. 5, the diaphragm B and the nozzle plate N as the inkjet head parts to be joined by the inkjet head joining apparatus respectively have two through holes B for alignment.
a and Na are formed at predetermined intervals. Before joining, the diaphragm B and the nozzle plate N are laminated with an adhesive film to join them.

【0030】そこで、図示しない供給装置によって第2
載置手段3のテーブル41上にノズル板Nを供給して載
置し、2つのアクチュエータ43の先端部43aに当接
させて位置決めした後、真空吸引によってノズル板Nを
テーブル41上に固定位置決めする。この位置決め後ア
クチュエータ43の先端部43aは退避する。なお、前
述したようにこの第2載置手段3のX−Y軸移動台45
及びθ軸回転台49は、固定手段4の固定プレート51
とテーブル41との初期位置合わせを行った後固定した
ままにしている。
Therefore, a second supply device (not shown) is used.
After the nozzle plate N is supplied and placed on the table 41 of the placing means 3, the nozzle plate N is brought into contact with the tip portions 43 a of the two actuators 43 and positioned, and then the nozzle plate N is fixedly positioned on the table 41 by vacuum suction. I do. After this positioning, the distal end portion 43a of the actuator 43 is retracted. Note that, as described above, the XY-axis moving table 45 of the second
And the θ-axis turntable 49 are fixed to the fixing plate 51 of the fixing means 4.
After the initial alignment between the table and the table 41 is performed, it is kept fixed.

【0031】ここで、固定手段4の固定プレート51が
直線移動機構5によって第2載置手段3側に移動されて
ソフトアブソーバ66にストッパ68が当接して停止し
た状態にあり、第2載置手段3のエアーシリンダ48を
駆動してテーブル41を上昇させ、テーブル41上のノ
ズル板Nと固定プレート51とが接触したときに上昇を
停止して、固定プレート51の真空吸引機構でノズル板
Nを吸着した後、テーブル41側での吸着を解除し、エ
アーシリンダ48によってテーブル41を下降させる。
Here, the fixing plate 51 of the fixing means 4 is moved to the second mounting means 3 side by the linear moving mechanism 5, and the stopper 68 comes into contact with the soft absorber 66 and stops. The table 41 is raised by driving the air cylinder 48 of the means 3, and when the nozzle plate N on the table 41 comes into contact with the fixed plate 51, the lifting is stopped. Then, the suction on the table 41 side is released, and the table 41 is lowered by the air cylinder 48.

【0032】一方、図示しない供給装置によって第1載
置手段1のテーブル11上に振動板Bを供給して載置
し、2つのアクチュエータ13の先端部13aに当接さ
せて位置決めした後、真空吸引によって振動板Bをテー
ブル11上に固定位置決めする。この位置決め後アクチ
ュエータ13の先端部13aは退避する。そして、エア
ーシリンダ29を作動させてテーブル11を上昇させ、
ソフトアブソーバ31に支持部材33が当接したときに
停止して、CCDカメラ84,84からの視写界限度内
にテーブル11が入るようにする。
On the other hand, the diaphragm B is supplied and placed on the table 11 of the first placing means 1 by a supply device (not shown), and is positioned by being brought into contact with the tip portions 13a of the two actuators 13 and then evacuated. The diaphragm B is fixedly positioned on the table 11 by suction. After this positioning, the tip 13a of the actuator 13 is retracted. Then, the air cylinder 29 is operated to raise the table 11,
When the support member 33 comes into contact with the soft absorber 31, the operation is stopped, and the table 11 is set within the limit of the field of view from the CCD cameras 84, 84.

【0033】そこで、CCDカメラ84,84によって
光源72,72から射出されて透過孔73,73を透過
した光を受光して振動板Bを撮像し、この撮像結果を画
像処理して振動板Bの透過孔Ba,Baの位置を識別し
て記憶する。その後、アクチュエータ29によってテー
ブル11を下降させて下死点ストッパ32に当接させて
停止させる。
Then, the light emitted from the light sources 72, 72 and transmitted through the transmission holes 73, 73 is received by the CCD cameras 84, 84, and the diaphragm B is imaged. The positions of the transmission holes Ba, Ba are identified and stored. After that, the table 11 is lowered by the actuator 29 to be brought into contact with the bottom dead center stopper 32 and stopped.

【0034】そして、上述したようにしてノズル板Nを
固定保持している固定プレート51を直線移動機構5に
よって第1載置手段1のテーブル11上に移動させ、ソ
フトアブソーバ65にストッパ67が当接した状態で停
止させる。次いで、回転アクチュエータ75を回転駆動
して平面光源74を固定プレート51の下方に移動させ
て、固定手段4の光源光透過孔78,78を通過した光
をCCDカメラ84,84で受光し、画像処理をしてノ
ズル板Nの透過孔Naの位置を識別して記憶する。その
後、平面光源74を退避位置に揺動して退避させる。
Then, as described above, the fixed plate 51 fixedly holding the nozzle plate N is moved onto the table 11 of the first mounting means 1 by the linear moving mechanism 5, and the stopper 67 contacts the soft absorber 65. Stop in contact. Next, the rotation actuator 75 is rotated to move the planar light source 74 below the fixing plate 51, and the light passing through the light source light transmitting holes 78, 78 of the fixing means 4 is received by the CCD cameras 84, 84, and the image is received. Processing is performed to identify and store the position of the transmission hole Na of the nozzle plate N. Thereafter, the flat light source 74 is swung to the evacuation position and retracted.

【0035】このようにして振動板Bの透過孔Baの位
置とノズル板Nの透過孔Naの位置を検出し、これらの
検出結果に基づいてノズル板Nの位置に対する振動板B
の位置の補正量を演算して、この演算結果に基づいてX
軸ステージ22、Y軸ステージ25及びθ軸回転台34
をそれぞれ駆動して振動板Bの位置補正を行う。そし
て、振動板Bとノズル板Nとの位置合わせを行った後、
エアーシリンダ29を作動してテーブル11を上昇させ
て、ノズル板Nと振動板Bとを圧接する。
In this manner, the position of the transmission hole Ba of the diaphragm B and the position of the transmission hole Na of the nozzle plate N are detected, and based on these detection results, the position of the diaphragm B relative to the position of the nozzle plate N is determined.
Is calculated, and based on the calculation result, X
Axis stage 22, Y axis stage 25, and θ axis rotation table 34
Are driven to correct the position of the diaphragm B. Then, after performing the alignment between the vibration plate B and the nozzle plate N,
The table 11 is raised by operating the air cylinder 29, and the nozzle plate N and the diaphragm B are pressed against each other.

【0036】このとき、テーブル11に設けたヒータ1
6及び固定プレート51に設けたヒータ54を発熱させ
て、振動板B及びノズル板Nにそれぞれラミネートした
接着フィルムを加熱溶融し、ノズル板Nと振動板Bとを
圧接接合する。その後、固定プレート51による吸着を
解除して、テーブル11を下降させ、テーブル11によ
る吸着も解除する。
At this time, the heater 1 provided on the table 11
6 and the heater 54 provided on the fixed plate 51 are heated to heat and melt the adhesive films laminated on the vibration plate B and the nozzle plate N, respectively, and the nozzle plate N and the vibration plate B are pressed and joined. Thereafter, the suction by the fixed plate 51 is released, the table 11 is lowered, and the suction by the table 11 is also released.

【0037】このように、このインクジェットヘッド接
合装置においては、振動板を載置する第1載置手段と、
ノズル板を載置する第2載置手段と、第2載置手段に載
置されたノズル板を固定保持する固定手段と、第1載置
手段を固定手段に対して相対移動させる移動機構と、振
動板及びノズル板の位置を検出する位置検出手段と、前
記振動板及びノズル板を加熱する加熱手段とを備えると
共に、第1、第2載置手段には振動板及びノズル板をX
軸、Y軸及びθ軸方向に位置調整する機構を備えている
ので、振動板とノズル板とを高精度に位置合わせするこ
とができる。
As described above, in this ink jet head bonding apparatus, the first mounting means for mounting the diaphragm,
Second mounting means for mounting the nozzle plate, fixing means for fixing and holding the nozzle plate mounted on the second mounting means, and a moving mechanism for moving the first mounting means relative to the fixing means; Position detecting means for detecting the positions of the vibration plate and the nozzle plate, and heating means for heating the vibration plate and the nozzle plate.
Since the mechanism for adjusting the position in the axis, Y-axis, and θ-axis directions is provided, the diaphragm and the nozzle plate can be positioned with high accuracy.

【0038】また、このインクジェットヘッド接合装置
においては、固定手段を第2載置手段と第1載置手段と
の間で直線移動させる機構を備えているので、第2載置
手段からノズル板を受取ってそのまま第1載置手段上に
移動することができ、振動板とノズル板とを高精度に位
置合わせすることができる。さらに、第1載置手段及び
固定手段には加熱手段であるヒータを備えているので、
振動板とノズル板とを高精度に位置合わせした状態で予
め接着剤をラミネートして両者を圧接接合することがで
きる。しかも、振動板とノズル板に接着剤を塗布するた
めのブリッジを設ける必要がなくなって、塗布の困難性
(位置、量、しみ込みの管理の困難性)を回避すること
ができ、更に接合後のブリッジの切断工程が省略でき
て、工法の短縮化、切断工程によるバリ、歪などの後処
理も不要になる。
Further, in this ink jet head bonding apparatus, since a mechanism for linearly moving the fixing means between the second mounting means and the first mounting means is provided, the nozzle plate is moved from the second mounting means. It can be received and moved on the first mounting means as it is, and the diaphragm and the nozzle plate can be positioned with high accuracy. Further, since the first mounting means and the fixing means are provided with heaters as heating means,
In a state where the diaphragm and the nozzle plate are positioned with high precision, an adhesive is laminated in advance, and the two can be pressed and joined. Moreover, it is not necessary to provide a bridge for applying the adhesive to the vibration plate and the nozzle plate, and it is possible to avoid the difficulty of application (difficulty in controlling the position, the amount, and the penetration), and further, after joining. The bridge cutting step can be omitted, and the post-treatment such as burr and distortion due to the shortening of the construction method and the cutting step becomes unnecessary.

【0039】さらに、位置検出手段として、第1載置手
段に設けた第1光源と、第1載置手段と固定手段との間
に揺動可能に配設した第2光源と、第1光源及び第2光
源からの各射出光を受光する撮像手段とを備えるととも
に、第1載置手段には第1光源からの射出光を透過する
透過孔を設け、固定手段には第1光源及び第2光源から
の射出光が透過する透過孔を設けているので、振動板と
ノズル板とを同じステーションで位置検出して圧接接合
することができるようにでき、両者の位置合わせ精度が
向上する。
Further, as the position detecting means, a first light source provided on the first mounting means, a second light source swingably disposed between the first mounting means and the fixing means, and a first light source And an imaging means for receiving each of the emitted lights from the second light source, the first mounting means is provided with a transmission hole for transmitting the emitted light from the first light source, and the fixing means is provided with the first light source and the second light source. Since the transmission holes through which the light emitted from the two light sources are transmitted are provided, it is possible to detect the position of the vibration plate and the nozzle plate at the same station and join them by pressure, thereby improving the positioning accuracy of the two.

【0040】さらにまた、位置検出手段には2視野の撮
像手段を備え、一定距離にある2点の位置情報を得るよ
うにしているので、対象物が大きなときでも高精度に位
置検出を行うことができて位置合わせ精度が向上する。
Further, the position detecting means is provided with two field-of-view image pickup means so as to obtain position information of two points at a fixed distance, so that position detection can be performed with high accuracy even when the object is large. And the positioning accuracy is improved.

【0041】なお、上記実施例においては、本発明によ
るインクジェットヘッド接合装置で接合する2つの部材
として、ノズルを形成したノズル板と振動板である例で
説明したが、インクジェットヘッドとしては、振動板及
びノズル板の双方にインク流路を形成する層部材を設け
て、振動板及びノズル板の層部材を接合することで全体
として所要のインク流路が形成されるようにしたもの、
或いは振動板又はノズル板の一方にインク流路を形成す
る層部材を設けて、他方の部材と接合することでインク
流路が形成されるようにしたものなどもあり、2つの部
材の一方又は双方がこれらのインク流路を形成する層部
材を設けたものであっても、本発明に係るインクジェッ
トヘッド接合装置で接合することができる。
In the above embodiment, a description has been given of an example in which the two members joined by the inkjet head joining apparatus according to the present invention are a nozzle plate having a nozzle formed thereon and a vibration plate. And a layer member that forms an ink flow path in both the nozzle plate and the nozzle plate, so that the required ink flow path is formed as a whole by joining the layer members of the vibration plate and the nozzle plate,
Alternatively, a layer member that forms an ink flow path is provided on one of the vibration plate or the nozzle plate, and an ink flow path is formed by joining with the other member. Even when both of them are provided with a layer member forming these ink flow paths, they can be joined by the inkjet head joining apparatus according to the present invention.

【0042】また、インクジェットヘッドとしては、予
め基板上に圧電素子及び支柱部を交互に列設したアクチ
ュエータユニットと、ノズルプレート、液室を形成する
液室流路形成部材及び振動板を一体にした液室ユニット
とを別の工程で加工・組付て、これらの各ユニットを接
合するものもあり、このようなアクチュエータユニット
と液室ユニットの接合にも適用することができる。
In the ink jet head, an actuator unit in which piezoelectric elements and support portions are alternately arranged in advance on a substrate, a nozzle plate, a liquid chamber flow path forming member for forming a liquid chamber, and a vibration plate are integrated. There is a type in which the liquid chamber unit is processed and assembled in a separate step, and these units are joined. The present invention can also be applied to the joining of such an actuator unit and a liquid chamber unit.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1のインク
ジェットヘッド接合装置によれば、第1部材を載置する
第1載置手段と、第2部材を載置する第2載置手段と、
この第2載置手段に載置された第2部材を固定保持する
固定手段と、第1載置手段と固定手段とを相対移動させ
る移動機構と、第1、第2部材の位置を検出する位置検
出手段と、第1、第2部材を加熱する加熱手段とを備え
ると共に、第1、第2載置手段には第1、第2部材をX
軸、Y軸及びθ軸方向に位置調整する機構を備えている
構成としたので、第1部材と第2部材とを高精度に位置
合わせして接合することができる。
As described above, according to the ink jet head bonding apparatus of the first aspect, the first mounting means for mounting the first member and the second mounting means for mounting the second member are provided. ,
Fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, and detecting positions of the first and second members; A position detecting means and a heating means for heating the first and second members are provided, and the first and second mounting means are provided with the first and second members.
Since the mechanism for adjusting the position in the axis, Y-axis and θ-axis directions is provided, the first member and the second member can be aligned and joined with high accuracy.

【0044】請求項2のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第1部材を載置する第1載置手段と、第2部
材を載置する第2載置手段と、この第2載置手段に載置
された第2部材を固定保持する固定手段と、第1載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第1、第
2部材の位置を検出する位置検出手段と、第1、第2部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、固定手段を第
2載置手段と第1載置手段との間で直線移動させる機構
を備えている構成としたので、第1部材と第2部材とを
高精度に位置合わせして接合することができる。
According to the ink jet head bonding apparatus of the second aspect, the first mounting means for mounting the first member, the second mounting means for mounting the second member, and the second mounting means. Fixing means for fixing and holding the mounted second member, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, , A heating means for heating the second member, and a mechanism for linearly moving the fixing means between the second mounting means and the first mounting means. The two members can be positioned and joined with high precision.

【0045】請求項3のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第1部材を載置する第1載置手段と、第2部
材を載置する第2載置手段と、この第2載置手段に載置
された第2部材を固定保持する固定手段と、第1載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第1、第
2部材の位置を検出する位置検出手段と、第1、第2部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、第1載置手段
及び固定手段には加熱手段を備えている構成としたの
で、第1部材と第2部材とを高精度に位置合わせした状
態のまま接合することができるとともに、工程の簡略化
を図ることができる。
According to the ink jet head bonding apparatus of the third aspect, the first mounting means for mounting the first member, the second mounting means for mounting the second member, and the second mounting means. Fixing means for fixing and holding the mounted second member, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, , A heating means for heating the second member, and the first mounting means and the fixing means are provided with a heating means, so that the first member and the second member are positioned with high accuracy. Joining can be performed in a state, and the process can be simplified.

【0046】請求項4のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第1部材を載置する第1載置手段と、第2部
材を載置する第2載置手段と、この第2載置手段に載置
された第2部材を固定保持する固定手段と、第1載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第1、第
2部材の位置を検出する位置検出手段と、第1、第2部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、位置検出手段
は第1載置手段に設けた第1光源と、第1載置手段と固
定手段との間に揺動可能に配設した第2光源と、第1光
源及び第2光源からの各射出光を受光する撮像手段とを
備え、第1載置手段には第1光源からの射出光を透過す
る透過孔を設け、固定手段には第2光源からの射出光が
透過する透過孔を設けた構成としたので、振動板とノズ
ル板とを同じステーションで位置検出して圧接接合する
ことができるようにでき、両者の位置合わせ精度が向上
する。
According to the ink jet head bonding apparatus of the fourth aspect, the first mounting means for mounting the first member, the second mounting means for mounting the second member, and the second mounting means. Fixing means for fixing and holding the mounted second member, a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means, position detecting means for detecting the positions of the first and second members, And a heating means for heating the second member, and the position detecting means is swingably disposed between the first light source provided on the first mounting means and the first mounting means and the fixing means. A second light source; and an imaging unit for receiving each of the emitted lights from the first light source and the second light source. The first mounting unit is provided with a transmission hole for transmitting the emitted light from the first light source. Has a configuration in which a transmission hole through which light emitted from the second light source is transmitted is provided. Located detected Deployment can to be able to press bonded, thereby improving both the alignment accuracy.

【0047】請求項5のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項1、2及び4のいずれかのインク
ジェットヘッド接合装置において、第1載置手段に載置
した第1部材と固定手段で固定保持した第2部材とを圧
接するステーションに位置検出手段を配置した構成とし
たので、両者の位置合わせ精度が向上する。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the ink jet head bonding apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein the first member mounted on the first mounting means is fixed by the fixing means. Since the position detecting means is arranged at the station for pressing the held second member against the second member, the positioning accuracy of the two members is improved.

【0048】請求項6のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項4又は5のインクジェットヘッド
接合装置において、位置検出手段には2視野の撮像手段
を備え、一定距離にある2点の位置情報を得る構成とし
たので、大きな対象物であっても高精度に位置検出がで
きて両者の位置合わせ精度が向上する。
According to a sixth aspect of the present invention, in the inkjet head bonding apparatus of the fourth or fifth aspect, the position detecting means includes two-field imaging means, and the position information of two points located at a fixed distance. Is obtained, the position can be detected with high accuracy even for a large object, and the alignment accuracy between the two can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るインクジェットヘッド接合装置の
正面図
FIG. 1 is a front view of an inkjet head joining apparatus according to the present invention.

【図2】図1の第1載置手段の要部拡大図FIG. 2 is an enlarged view of a main part of the first mounting means of FIG. 1;

【図3】図2の固定手段の要部拡大図FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the fixing means of FIG. 2;

【図4】振動板の説明図FIG. 4 is an explanatory view of a diaphragm.

【図5】ノズル板の説明図FIG. 5 is an explanatory view of a nozzle plate.

【符号の説明】 1…第1載置手段、2…移動機構、3…第2載置手段、
4…固定手段、5…直線移動機構、6…位置検出手段、
11…テーブル、15…ヒータ保持部材、16…ヒー
タ、22…X軸ステージ、25…Y軸ステージ、28…
昇降部材、41…テーブル、45…X−Y軸移動台、5
1…固定プレート、54…ヒータ、64…エアーシリン
ダ、72…光源、73…光源光透過孔、74…平面光
源、84…CCDカメラ。
[Description of Signs] 1... 1st mounting means, 2... Moving mechanism, 3.
4: fixing means, 5: linear moving mechanism, 6: position detecting means,
11: table, 15: heater holding member, 16: heater, 22: X-axis stage, 25: Y-axis stage, 28 ...
Elevating member, 41: table, 45: XY axis moving base, 5
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fixed plate, 54 ... Heater, 64 ... Air cylinder, 72 ... Light source, 73 ... Light source light transmission hole, 74 ... Flat light source, 84 ... CCD camera.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクジェットヘッドを構成する2つの
第1、第2部材の内の前記第1部材を載置する第1載置
手段と、前記第2部材を載置する第2載置手段と、この
第2載置手段に載置された前記第2部材を固定保持する
固定手段と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動
させる移動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出す
る位置検出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱
手段とを備えて、前記第1部材と第2部材とを接合する
インクジェットヘッド接合装置であって、前記第1、第
2載置手段には前記第1、第2部材をX軸、Y軸及びθ
軸方向に位置調整する機構を備えていることを特徴とす
るインクジェットヘッド接合装置。
A first mounting means for mounting the first member of the two first and second members constituting the ink jet head; and a second mounting means for mounting the second member. Fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means; a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means; An ink jet head joining apparatus for joining a first member and a second member, comprising: a position detecting means for detecting a position; and a heating means for heating the first and second members, wherein the first and second members are joined together. The first and second members are provided on the X-axis, the Y-axis and the θ
An inkjet head bonding apparatus, comprising a mechanism for adjusting a position in an axial direction.
【請求項2】 インクジェットヘッドを構成する2つの
第1、第2部材の内の前記第1部材を載置する第1載置
手段と、前記第2部材を載置する第2載置手段と、この
第2載置手段に載置された前記第2部材を固定保持する
固定手段と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動
させる移動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出す
る位置検出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱
手段とを備えて、前記第1部材と第2部材とを接合する
インクジェットヘッド接合装置であって、前記固定手段
を前記第2載置手段と第1載置手段との間で直線移動さ
せる機構を備えていることを特徴とするインクジェット
ヘッド接合装置。
2. A first mounting means for mounting the first member among two first and second members constituting an ink jet head, and a second mounting means for mounting the second member. Fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means; a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means; An inkjet head joining apparatus for joining a first member and a second member, comprising: a position detecting unit that detects a position; and a heating unit that heats the first and second members. An ink jet head bonding apparatus comprising a mechanism for linearly moving between the second mounting means and the first mounting means.
【請求項3】 インクジェットヘッドを構成する2つの
第1、第2部材の内の前記第1部材を載置する第1載置
手段と、前記第2部材を載置する第2載置手段と、この
第2載置手段に載置された前記第2部材を固定保持する
固定手段と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動
させる移動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出す
る位置検出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱
手段とを備えて、前記第1部材と第2部材とを接合する
インクジェットヘッド接合装置であって、前記第1載置
手段及び前記固定手段には前記加熱手段を備えているこ
とを特徴とするインクジェットヘッド接合装置。
3. A first mounting means for mounting the first member of the two first and second members constituting the ink jet head, and a second mounting means for mounting the second member. Fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means; a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means; An inkjet head joining apparatus for joining a first member and a second member, comprising: a position detecting means for detecting a position; and a heating means for heating the first and second members, wherein An ink jet head bonding apparatus, wherein the mounting means and the fixing means include the heating means.
【請求項4】 インクジェットヘッドを構成する2つの
第1、第2部材の内の前記第1部材を載置する第1載置
手段と、前記第2部材を載置する第2載置手段と、この
第2載置手段に載置された前記第2部材を固定保持する
固定手段と、前記第1載置手段と固定手段とを相対移動
させる移動機構と、前記第1、第2部材の位置を検出す
る位置検出手段と、前記第1、第2部材を加熱する加熱
手段とを備えて、前記第1部材と第2部材とを接合する
インクジェットヘッド接合装置であって、前記位置検出
手段は前記第1載置手段に設けた第1光源と、前記第1
載置手段と固定手段との間に揺動可能に配設した第2光
源と、前記第1光源及び第2光源からの各射出光を受光
する撮像手段とを備えるとともに、前記第1載置手段に
は前記第1光源からの射出光を透過する透過孔を設け、
前記固定手段には前記第2光源からの射出光が透過する
透過孔を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド
接合装置。
4. A first mounting means for mounting the first member of the two first and second members constituting the ink jet head, and a second mounting means for mounting the second member. Fixing means for fixing and holding the second member mounted on the second mounting means; a moving mechanism for relatively moving the first mounting means and the fixing means; An inkjet head joining apparatus for joining a first member and a second member, comprising: a position detecting means for detecting a position; and a heating means for heating the first and second members, wherein the position detecting means Is a first light source provided in the first mounting means,
A second light source swingably disposed between the mounting means and the fixing means, and an imaging means for receiving each of the light emitted from the first light source and the second light source; The means is provided with a transmission hole for transmitting light emitted from the first light source,
An ink jet head joining apparatus, wherein the fixing means is provided with a transmission hole through which light emitted from the second light source is transmitted.
【請求項5】 請求項1、2及び4のいずれかに記載の
インクジェットヘッド接合装置において、前記第1載置
手段に載置した前記第1部材と前記固定手段で固定保持
した第2部材とを圧接するステーションに前記位置検出
手段を配置したことを特徴とするインクジェットヘッド
接合装置。
5. The ink jet head bonding apparatus according to claim 1, wherein the first member mounted on the first mounting unit and a second member fixed and held by the fixing unit. An ink jet head bonding apparatus, wherein the position detecting means is arranged at a station for pressing the ink jet head.
【請求項6】 請求項4又は5に記載のインクジェット
ヘッド接合装置において、前記位置検出手段には2視野
の撮像手段を備え、一定距離にある2点の位置情報を得
ることを特徴とするインクジェットヘッド接合装置。
6. An ink jet head joining apparatus according to claim 4, wherein said position detecting means includes an image pickup means having two visual fields, and obtains position information of two points located at a fixed distance. Head joining device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0997285A1 (en) * 1998-10-22 2000-05-03 Microjet Technology Co., Ltd Inkjet nozzle aligning apparatus
KR101039852B1 (en) 2010-02-01 2011-06-09 원일파템 주식회사 Surface coating apparatus and coating method of diaphragm for micro-speaker

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